Physique Et Technologie Du Vide

cole Polytechnique, PHS4312 Couches minces
1
2. Physique et technologie du vide
Hiver 2006
2.1 Notions de base
2.1.1. Introduction et remarques historiques
2.1.2. Thorie cintique des gaz
2.1.3 Pression
2.2 coulement de gaz
2.2.1 Flux de gaz
2.2.2 Conductance
- Rgimes molculaire
- Rgimes visqueux et transitoire
2.2.3 Vitesse de pompage
2.3 Systmes vide
2.3.1 Construction des systmes vide (pouss, ultra-pouss)
2.3.2 Pompage - principes, pompes primaires et secondaires,
transport/collage des molcules
2.3.3 Mesure de la pression - principes, mesures directes et indirectes
2.3.3 Composants de systmes vide - joints, transitions, matriaux
2.3.4 Considrations industrielles
2
Hiver 2006
2.1 Notions de base
2.1.1 Introduction et remarques historiques
3
Hiver 2006
Systme vide
4
Hiver 2006
5
Hiver 2006
6
Hiver 2006
Exprience de Magdeburg
7
Hiver 2006
2.1.2. Thorie cintique des gaz (rappel)
A: Gaz parfait
Loi de Boyle: PV =const. =R
o
T
Loi gnrale pour les gaz
( )
o
W
PV R T
M
W = masse
M = masse molculaire
Nombre de molcules par unit de volume
( ) ( )
18
9, 656 x 10
A
o
N
P P
n
R T T
_

,
N
A
= 6,023 x 10
23
molcules par mole nombre dAvogadro
L
n
= 2,687 x 10
19
molcules par cm
3
nombre de Loschmidt
8
Hiver 2006
9
Hiver 2006
B: Gaz rel
10
Hiver 2006
( )
( )
2
o
A
P V b R T
V
1
+
1
]
( )
( )
2
A
correction pour des forces d'attraction
4
b = 4N correction volumique
3
A
V
3
8
quation pour des gaz rels Van der Waals
diamtre de la molcule
11
Hiver 2006
12
Hiver 2006
13
Hiver 2006
14
Hiver 2006
C: Vitesse des molcules
Approximation des gaz idaux:
pas de forces entre les molcules
sphres lastiques indpendants
distance large p.r. la taille
collisions lastiques continues
change dnergie cintique
Maxwell-Boltzmann:
n nombre de molcules par unit de volume
(v, v + dv) intervalle de vitessefraction f
v
des molcules
M masse molculaire
T temprature absolue
(2-1)
15
Hiver 2006
Vitesse dans une direction :
Vitesse la plus probable v
m:
Vitesse moyenne v:
Vitesse moyenne quadratique (v
2
)
Exemple: Air, T = 300K, v = 4.6 x 10
4
cm/s
16
Hiver 2006
Effet de M et T
17
Hiver 2006
Distribution des vitesses des molcules (exemples pour N
2
et He)
18
Hiver 2006
2.1.3 Pression
2.1.3.1 Notions de base
N
A
nombre dAvogadro
Units: 1 Pa = 1 N/m
2
1 torr = 1 mm Hg
1 atm = 760 torr
Relations: 1 atm = 1,013 x 10
6
dynes/cm
2
= 1,013 x 10
5
Pa
1 torr = 1,333 x 10
3
dynes/cm
2
= 133,3 Pa
1 bar = 0,987 atm = 750 torr
Parcours libre moyen
d
c
2
n = 1 = 1 / d
c
2
n
Exemple - air: P= 1 atm, d
c
= 0,5 nm, = 50 nm, ou = 0,005 / P [torr]
(2-4)
P = n M v
2
/ 3 N
A
= n R T / N
A
= nkT
19
Hiver 2006
( )
2
1
2 1
/ 1
T
C
n
T
C
T
1
+
]
1
+
]
C Constante de Sutherland
parcours libre
parcours libre
T
T
T

quation de Sutherland
Effet de la temprature sur le parcours moyen libre
- diamtre de la molcule
20
Hiver 2006
21
Hiver 2006
Relation entre les paramtres
22
Hiver 2006
2.1.3.2 Exemples spciaux
A: Gamme des pressions
dans differents types
dapplication
23
Hiver 2006
24
Hiver 2006
B: Lair et la pression dans latmosphre
25
Hiver 2006
26
Hiver 2006
C: Taux dimpact des molcules sur la surface
- nombre de molcules qui frappent un lment de surface par unit de temps
x x
0
v dn

_

,
2
x
x x
0
M Mv RT
n v exp dv n
2 RT 2RT 2 M

1
n v
4

( )
1
]
1
2
2
A
P
moles/ cm s
N
2 MRT

[ ]
( )
1
]
1
2
22 2
P torr
3,513 x 10 molcules/cm s
MT

27
Hiver 2006
Exemples
1. Passage travers dune ouverture A (cm
3
):
? taux de dpart:
? flux volumique par seconde
dV/dt = A/n = 3,64 x 10
3
(T/M)
1/2
A [cm
3
/s]
Exemple: Air, 300K, A [cm
2
], dV/dt = 11,7 A [l/s]
2. Couches de contamination
Formation dune monocouche de contamination ( ~ 10
15
at./cm
2
)
Temps de contamination caractristique:
Exposition dune surface au collage (probabilit = 1):
1 L (Langmuir) = 10
-6
torrs ~ 0,38 monocouche
Air, T=20 degC, 1 atm.....monocouche dans 3,5x10
-9
s
28
Hiver 2006
29
Hiver 2006
30
Hiver 2006
2.2 coulement des gaz
31
Hiver 2006
2.2.1 Rgimes dcoulement
32
Hiver 2006
Nombre de Knudsen:
K
n
= / D
(D diamtre du tuyau, - viscosit)
K
n
<0,01
0,01<K
n
<1
>1
Nombre de Reynolds:
Re
D

33
Hiver 2006
Taux dcoulement:
C conductance
Dbit net dans le plan dun orifice:
Conductance dun orifice:
Pour lair 300K:
Systmes des conductances:
En srie: En parallle:
Analogie avec les circuits lectriques
( ) [ ]
1 2
/ Q C P P ton l s
[ ]
/ l s ( )
1 2
A
( )
1
2
3, 66 / C T M A
[ ]
11, 7 / C A l s
1 1
tot i
c c

tot i
c c

2.2.2 coulement et conductance dans le rgime molculaire
34
Hiver 2006
35
Hiver 2006
Conductance de diffrents
systmes dans le rgime
molculaire
36
Hiver 2006
Exemple 1:
Jeu de pige froid
(D = 10 cm)
1
2 5
3
4
6
919 /
4065 /
331 /
58, 6 /
303 /
40 /
tot
C l s
C l s C
C l s
C l s
C l s
C l s

37
Hiver 2006
Exemple 2:
coulement travers un coude (rgime molculaire)
Correspondance un tuyaux de longueur quivalente:
( ) [ ]
1
3
2
1 2
3,81 / / 1.33 C T M D L L D + +
( ) ( )
1 2 1 2
1.33
e
L L L L L D + < < + +
38
Hiver 2006
2.2.2 coulement et conductance
dans le rgime visqueux
39
Hiver 2006
1
2
2
0,998 mkT

,
avec la correction de Sutherland
(1 Pa-s = 1 kgm
-1
s
-1
= 10 poise)
1
2
2
0,998
1
mkT
c
T

_

,
_
+

,
Nombre de Reynolds
Re
D
Viscosit des gaz

(q. 2.71, Roth)
[1 poise = 1 gcm
-1
s
-1
]
40
Hiver 2006
41
Hiver 2006
Conductance dun orifice:
Conductance et dbit dun
tuyau cylindrique:
( )
( )
4 2 2
1 2
4
1 2
/16
/ 8
Q a L P P
a L P P P

1
]
1
]
( )
-2 4
1 2
/ 3, 27x10 / C Q P P D L P 1
]
[ ] [ ] [ ] [ ]
( )
4
,20
2 , , , /
182 /
Aiz C
D a cm P ten poise C l S
C D L P
C =
42
Hiver 2006
43
Hiver 2006
C
m
= conductance dans le rgime molculaire
[ ] ( )
1
3
2
1
2 / /
6
m o
C R T M D L
C
v
= conductance dans le rgime visqueux
4
128
v
D
C P
L
quation de Knudsen:
( )
( )
1
2
1
2
,
1 / /
1 1, 24 / /
m
o
v
m
o
C C J o
M R T DP
C
J
C
M R T DP
+
+
+
quation gnrale pour le flux
2.2.3 coulement dans le rgime transitoire - molculaire/visqueux
44
Hiver 2006
( ) [ ]
( )
1
2
1
2
/ 6 / 128 / 2 1
116 /
/ 13, 5
v m o i
i
i
C C M R T DP
PD T M torr em
D

1
]

Exemple: Air, T = 20
o
C
( )
2
3 2
1 271 4790
1 316
13, 5 x 5 x 10 6, 7 x 10
i
DP DP
J
DP
PD torr em
+ +
+

Au point i:
45
Hiver 2006
46
Hiver 2006
2.2.3 Vitesse de pompage
47
Hiver 2006
A: Calcul de la vitesse de pompage
Vitesse de pompage S: volume de gaz qui passe travers de lentre par unit de temps la
pression P (au niveau de la pompe):
[ ]
/ / S Q P l S
Q dbit sortant du systme
P, S quantit au niveau de lentre
1
p
p
S
S
S
C
+
Sp vitesse de pompage intrinsque de la pompe , S
p
= Q/P
p
Q
p
dbit parasite (dgazage, flux inverse)
1
p
p p p
p
Q
Q S P Q S P
S P
1

1
1
]
Q = 0 taux de flux ultime implique P
0
(pression ultime)
Vitesse effective:
p p o
Q S P
( ) / 1 0
o
p o
P
S Q p S S pour P P
P
_

,
48
Hiver 2006
B: Systme sans et avec le flux parasite
49
Hiver 2006
50
Hiver 2006
C: Les sources de flux parasite
51
Hiver 2006
52
Hiver 2006
53
Hiver 2006
D: Vitesse de pompage effective
54
Hiver 2006
( )
( )
p p
d VP
dP
Q V
dt dt
dP t
V S P Q
dt

P
i
la pression initiale, P
0
la pression ultime
( ) ( )
/
exp
/
p p p o
i p p i o
P t Q S S t P t P
P Q S P P V
_

,
E: Temps de pompage
t = (V/S) log (P
0
/P)
55
Hiver 2006
56
Hiver 2006
57
Hiver 2006
F: Conception des systmes vide
58
Hiver 2006

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