Cours n°4

Capteurs piézoélectriques
 I/ Introduction

I.1/ Effet piézoélectrique et effet pyroélectrique

I.1.1/ Effet piézoélectrique

Apparition de charges électriques sous l’effet d’une

contrainte mécanique

I.1.2/ Effet pyroélectrique

Apparition de charges électriques sous l’effet d’une

contrainte thermique
 I.2/ Principe de la piézoélectricité

L’application d’une contrainte mécanique sur un matériau piézo-

électrique ( Ex : Quartz) entraîne une déformation suscitant
l’apparition de charges électriques (polarisation électrique)
égales et de signes contraires sur les faces opposées du matériau
mesure de la différence de potentiel proportionnelle à
la force appliquée
 I.3/ Quels types de capteurs ?

Ce sont des capteurs actifs

Mesure de forces et des grandeurs physiques s’y ramenant

(pressions, vibrations, accélérations, couples …)

Mesures quasi-statiques ou dynamiques

II/ Effet piézoélectrique longitudinal du quartz

II.1/ Dimensions du cristal de quartz

Au repos (pas de contraintes)

c Cristal Electrodes
métalliques

a

Les électrodes sont neutres

 II.2/ Maille du quartz non contraint

Matériau : SiO2 (silice)

Si4+
CRISTAL AU REPOS
024- 024- (PAS DE CONTRAINTES)
x BARYCENTRES DES
CHARGES + ET -
Si4+ Si4+ CONFONDUS
024-
 II.3/ Contrainte longitudinale

Application d’une contrainte longitudinale par l’intermédiaire de

la force F
Barycentre 
F
des charges
Si4+ Apparition d’un moment
024-
024-
x dipolaire parallèle à la
d
x direction de contrainte au
Si4+ Si4+
024- niveau atomique

Barycentre F
des charges +
DEFORMATION DU CRISTAL
SOUS CONTRAINTE
 II.4/ Répartition des charges sur les électrodes
 -
-------------
++++++++++
-------------
Electrodes Cristal  : densité surfacique
++++++++++ de charges
-------------
++++++++++

 +

Les électrodes sont chargées par influence

PAS DE CIRCULATION DE CHARGES DANS LES

ELECTRODES

LE CRISTAL SE COMPORTE COMME S’IL ETAIT CHARGE SUR LES 2

FACES OPPOSEES
II.5/ Expression de la charge Q en fonction de la force F
appliquée
F

Si4+ Module de piézoélectricité longitudinal

024- x 024-  = d11 P

d Pression physique
x exercée sur les 2 faces
Densité de charge
Si4+ Si4+ surfacique
024-
Q = d11 F
F
Q = .S et F = PS => indépendant des
dimensions
 III/ Effet piézoélectrique transverse du quartz

III.1/ Contrainte transverse

Barycentre
des charges Si4+ Apparition d’un

0 4- moment dipolaire
F 2 024- F
x
perpendiculaire à la


Si4+
x  direction de
Si4+
contrainte au niveau
024-
Barycentre atomique
des charges
DEFORMATION DU CRISTAL
SOUS CONTRAINTE
 III.2/ Répartition des charges sur les électrodes
+
Sous contrainte ++++++++++
-------------
++++++++++
Electrodes Cristal  : densité surfacique



de charges
-------------
++++++++++
-------------
-

Les électrodes sont chargées par influence

PAS DE CIRCULATION DE CHARGES DANS LES

ELECTRODES

LE CRISTAL SE COMPORTE COMME S’IL ETAIT CHARGE SUR LES 2

FACES OPPOSEES
 III.3/ Expression de la charge Q en fonction de la force F
appliquée

Si4+
 = d12 P
024-
x 024-
F F
d
x
Si4+ Si4+ b Dépendant
024- Q  d12 F des
c
dimensions

Pour le quartz : d11 = -d12 = 2,3 10-12 C/N

IV/ Accéléromètre piézoélectrique

IV.1/ Quel est son avantage par rapport à un accéléromètre

classique (piézo-résistif) ?

- Céramiques ou quartz très rigides => fréquence de résonance

élevée

Intérêt : la zone de travail en fréquence est plus étendue

- Faible amortissement dû aux pertes mécaniques par hystérésis

(de l’ordre de 0,01)

- Grande gamme en étendue de mesure : de 0,001 g à 100 000 g

- Très robuste
IV.2/ Sensibilité mécanique

V.2.1/ Position du problème

Boîtier
x

Amortissement
b
x
Masse sismique x0
a
M b
Ressort

Vibrations

0
 V.2.2/ Equation régissant le mouvement exprimée dans le
repère de la masse sismique
Frottement visqueux
Accélération de la
masse sismique Rappel élastique

2
d y( t ) dy( t )
M 2
b  ky( t )   M  ( t )
dt dt
Accélération
Notation Cœfficient de mesurée
complexe frottement visqueux
où y = x-x0

M( j) 2 Y  bjY  k Y   M
 ( t )   cos t
Conditions initiales
y( t )  Y cos (t  )
V.2.3/ Solution : Sensibilité mécanique dynamique

Y M 1

 k  2 2 2
  f   
2  f  
 1   f    4 z  f  
  0    0 
 

1 k b 1
Où : f0  et z
2 M 2 kM
Fréquence de Facteur
résonance d’amortissement
IV.3/ Expression de la sensibilité de l’accéleromètre

IV.3.1/ Equation globale

Vs Relation de passage
S  S1 . S2 Electrique / Mécanique
 Vs Q
.
1 Q Y
Y 02
Où S1   « Sensibilité mécanique »
 2
 2   
2
1     2z  
 2    
 0  0

« Sensibilité électrique +
 effet piézoélectrique »
d11 k
Vs 1 c k : raideur de l’élément
Et S2  
Y Cp 2 piézoélectrique
  
1    Cp : capacité de l’élément
 c  piézoélectrique
 IV.3.2/ Sensibilité électrique

Un capteur piézoélectrique (générateur de charge électrique au cours du

temps) peut être représenté par le schéma électrique équivalent suivant :

i R osc .R p R osc .R p
Cp Rosc R eq    R osc
R osc  R p  R 
Vs R p 1  osc 
 Rp 
Rp  
Rp >> Rosc

Capteur Impédance
piézoélectrique d’entrée d’un
oscilloscope
Vs R osc 1 R osc .C p
 Z eq  
I 1  j R osc C p C p 1  j R osc .C p


j
Vs 1 R osc .C p V 1 c
  s 
j Q C p 1  j R osc .C p Q Cp 1  j 
c

Fonction de Transfert
électrique
IV.3.3/ Relation de passage électrique/mécanique

En fonctionnement quasi-statique on a la relation :

Q = d11 F = d11 k Y

En fonctionnement dynamique on a la relation :

Q d11 .k

Y 1 j 
1

Où, 1 >> 0 et c Production de charges

électrique très rapide
 + 20 dB/décade

20 Log S(f)

20 Log S(0)
- 40 dB/décade
20 Log S(0)- 3 f1>>f0
Bande passante
0 dB
Log f
fc f0 fMAX f1

A l’échelle des fréquences contenues dans la bande passante, ce

phénomène dynamique de production de charge électrique suite
à une contrainte mécanique est « vu » comme un gain pur
(indépendant de la fréquence) de valeur d11 . k
IV.4/ Grandeurs d’influences

- Température (effet pyroélectrique, sensibilité thermique …)

- Câbles de liaison (=> amélioration par un dispositif électronique ?)

- Fixation sur la structure vibrante (utilisation d’un film d’huile pour

améliorer le contact) => abaissement de la fréquence de résonance

- Couple de serrage de l’accéléromètre sur la structure vibrante :

la raideur (108 à 109 N/m) est d’autant plus grande que le couple est
important
IV.5/ Evolution des matériaux au cours du temps
V/ Capteurs de force piézoélectriques

V.1/ Principe du capteur de force piézoélectrique

Installation d’une précontrainte  apparition de Q

une traction (à mesurer) diminue cette précontrainte mais le cristal reste en

compression  mesure différentielle
Traction à mesurer

précontrainte
 V.2/ Capteur de force 3D

Utilisation de céramiques empilées (rondelles de charges) possédant un

module de piézoélectricité de cisaillement élevé.

Sensible à la
compression

Sensible au
 cisaillement

électrodes en couches minces réalisées par évaporation sous vide (ne résistent pas à
la traction si les rondelles ne sont pas précontraintes)
 V.3/ Empilement de rondelles piézoélectriques

V.3.1/ Empilement en parallèle

+
-
-
+ Charge x 2
-

Capacité x 2
+
 V.3.2/ Empilement en série

Piézo stack
+
+ Tension à vide x 2
- Impédance x 2
+
- (donc capacité / 2)

-
V.4/ Avantages et inconvénients des céramiques

V.4.1/ Avantages

- Modules piézoélectriques élevés => sensibilités élevées

- Forte permitivité diélectrique => Cpiézo élevée => peu

sensible au capacités parasites (fil de liaison)

- Mise en forme plus aisée et moins coûteuse que pour les

matériaux piézoélectriques naturels (usinage, moulage,
polissage possibles …)

- Réponse plus uniaxe (moins d’effets transverse)

- Robuste ...
 V.4.2/ Inconvénients

- Cœfficients pyroélectriques importants

- Variation des modules de piézoélectricité en

fonction de la température

- Hystérésis

Conclusion : peu linéaire et sensible à la grandeur d’influence

température
VI/ Montages amplificateurs associés aux capteurs
piézoélectriques

Montage à amplificateur de tension

Dépend des capacités du générateur de charge et des fils de liaison

Mesures aléatoires à basses fréquences

Montage à amplificateur de charges

Indépendant des capacités du générateur de charge et des fils de liaison

Mesures précises à basses fréquences

 VI.1/ Montage à amplificateur de tension

VI.1.1/ Schéma électrique équivalent

i
Cp Rf Re

Rp Cf Ce
vm

Capteur piézoélectrique Fils de liaison Impédance d’entrée

de l’amplificateur de
Rp : résistance d’isolement du cristal piézoélectrique tension
Schéma électrique équivalent simplifié

i2
i1
i Ceq  C p  Cf  Ce

Ceq Req
1 1 1 1
vm   
R eq R p R f R e
VI.1.2/ Sensibilité

i  i1  i 2 I  I1  I2
Signaux
sinusoïdaux

I1
v m  R eq I 2 vm 
j Ceq 
 I
q( t )   i( t )dt Q
Signaux j
sinusoïdaux

vm 1 j R eqCeq 
 Passe haut d’ordre 1
Q Ceq 1  j R eqCeq 

1
On pose : 0 
R eq Ceq
 VI.1.3/ Inconvénient du montage à amplificateur de tension

La pulsation 0 dépend des caractéristiques :

- du générateur de charge (Rp, Cp),

- des fils de liaison (Rf, Cf),

- de l’entrée de l’amplificateur (Re, Ce).

0 n’est pas " aussi petit que l’on veut " et peut ne pas être stable
(température, variation suivant la longueur des fils de liaison)

Ce montage n’est pas adapté pour amplifier des signaux de faibles

pulsations
VI.2/ Montage à amplificateur de charge

VI.2.1/ Fonction réalisée

Amplificateur
Q NQ
de charge

Amplificateur
Q V
de charge
Tension

Quel est son rôle ? court -circuiter le générateur de charge

 VI.2.2/ Schéma électrique équivalent

CCR

-
i
Cp Rf
+
v
Rp Cf

Capteur piézoélectrique Fils de liaison Amplificateur de

charge
Rp : résistance d’isolement du cristal piézoélectrique
VI.2.3/ Sensibilité

Dans le cas où l’amplificateur opérationnel est idéal (gain infini), on a

la relation entre les potentiels V+ et V- aux bornes d’entrée de
l’amplificateur :

V V-
Dans le montage précédent V+ = V- => pas de différence de potentiel dans
les branches « Cp », « Rp », « Cf » et « Rf »

=> la totalité des charges par unité de temps provenant du capteur

piézoélectrique chargent la capacité CCR

V 1
Donc 
Q CCR

Sensibilité indépendante des caractéristiques du

générateur de charge et des fils de liaison
VI.2.3/ Schéma électrique équivalent pour des
RCR
signaux de très faibles pulsations
CCR

-
i
Cp Rf
+
v
Rp Cf

Capteur piézoélectrique Fils de liaison Amplificateur de

charge
Rp : résistance d’isolement du cristal piézoélectrique
VI.2.4/ Sensibilité

i  i R CR  i CCR I  I R CR  ICCR
Signaux
sinusoïdaux

ICCR
v   R CR I R CR v
j CCR 
 I
q( t )   i( t )dt Q
Signaux j
sinusoïdaux

V 1 j R CR CCR 
 Passe haut d’ordre 1
Q CCR 1  j R CR CCR 

1
On pose : '0 
R CR CCR
 VI.2.5/ Avantage du montage à amplificateur de charge

La pulsation ’0 ne dépend plus des caractéristiques des éléments

en entrée de l’amplificateur (capteur, fils, impédance d ’entrée de
l’amplificateur)

’0 peut être " aussi petit que l’on veut " et est stable

Ce montage est adapté pour amplifier des signaux de très faibles

pulsations
VII/ Quelques applications capteurs piézoélectriques dans l’industrie
automobile
VII.1/ Ordre de grandeur des accélérations mises en jeu dans le secteur de l’automobile
VII.2/ Mesure de forces et accélérations par capteurs piézoélectriques miniatures
Mesure de forces

Amplificateurs de charges
ou mesure de la tension
directe

Mesure
d’accélérations
 VII.3/ Surveillance de la combustion : capteur de cliquetis

Moteur à 4 cylindres : 1 capteur

Moteur à 5/6 cylindres : 2 capteurs => commutation de l’un à l’autre
Moteur à 8/12 cylindres : 2 capteurs au moins => commutation de l’un à l’autre

Signature
vibratoire
VII.3/ couplemètre piézoélectrique

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