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Comment fonctionne une pompe à

membrane ?

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Les pompes à vide à membrane sont des pompes à déplacement par oscillation.
Elles appartiennent à la famille des pompes à vide à transfert de gaz. En raison
de la plage qu'elles offrent, elles entrent dans la catégorie du vide grossier. Elles
sont importantes dans les laboratoires où une pression de seulement quelques
mbar est requise. Elles sont donc utilisées dans les laboratoires de chimie, dans
le cadre de procédés pharmaceutiques ou médicaux, entre autres applications. 

Principe de fonctionnement
Les pompes à vide à membrane sont des pompes à vide à compression sèche
mono ou multi-étagées (des pompes à membrane comportant jusqu'à quatre
étages sont en cours de fabrication). La circonférence d'une membrane est
tendue entre une tête de pompe et la paroi du carter (Fig. 2.1). Elle est déplacée
par oscillation au moyen d'une bielle et d'un excentrique. La chambre de
pompage ou de compression, dont le volume augmente et diminue
régulièrement, assure l'action de pompage. Les vannes sont disposées de telle
sorte que pendant la phase où le volume de la chambre de pompage augmente,
elle est ouverte à la conduite d'admission. Pendant la compression, la chambre
de pompage est reliée à la conduite d'échappement. La membrane assure une
fermeture hermétique entre la chambre d'engrenage et la chambre de
pompage, de sorte qu'elle ne contient jamais d'huile ni de lubrifiants (pompe à
vide à compression sèche). La membrane et les vannes sont les seuls
composants en contact avec le fluide à pomper. Lorsque la membrane est
recouverte de PTFE (téflon) et que les vannes d'admission et d'échappement FR
sont fabriquées en élastomère hautement fluoré, comme c'est le cas pour la
pompe DIVAC de Leybold, il est alors possible de pomper des vapeurs et des
gaz agressifs. Ces pompes sont donc parfaitement adaptées aux systèmes de
vide dans les laboratoires de chimie.

vacuum
generation
graphics
Fig. 2.1 Schéma de conception d'un étage de
pompe à membrane.

1) Couvercle de carter 2) Vannes 3) Couvercle 4) Disque de la membrane 5)

Membrane 6) Disque de support de la membrane 7) Bielle 8) Disque excentrique

Avantages des pompes à membrane

Récemment, les pompes à membrane ont gagné en importance, principalement
pour des raisons environnementales. Elles constituent une alternative aux
pompes à vide à jet d'eau, car les pompes à membrane ne produisent pas
d'eaux usées. Globalement, une pompe à vide à membrane permet
d'économiser jusqu'à 90 % des coûts de fonctionnement par rapport à une
pompe à jet d'eau. Par rapport aux pompes à palettes rotatives
(/fr/knowledge/vacuum-fundamentals/vacuum-generation/how-does-an-oil-
sealed-rotary-displacement-pump-work), la chambre de pompage des pompes
à membrane ne contient pas du tout d'huile. De par leur conception, aucun joint
d'arbre immergé dans l'huile n'est requis. 

Limites des pompes à membrane

En raison de la déformabilité élastique limitée de la membrane, seule une
vitesse de pompage relativement faible est obtenue. Dans le cas de ce principe
de pompage, un volume reste au point mort haut, appelé « espace mort », d'où
les gaz ne peuvent pas être évacués vers la conduite d'échappement. La
quantité de gaz qui reste à la pression d'échappement se dilate dans la
chambre de pompage en expansion lors de la course d'aspiration suivante, la
remplissant ainsi, de sorte que lorsque la pression d'admission diminue, la
quantité de nouveau gaz entrant diminue de plus en plus. Le rendement
volumétrique se dégrade donc continuellement pour cette raison. Les pompes à
vide à membrane ne sont pas en mesure d'atteindre un taux de compression
supérieur au rapport entre l'« espace mort » et le volume maximal de la
chambre de pompage. Dans le cas des pompes à vide à membrane mono-
étagées, la pression limite pouvant être atteinte est d'environ 80 mbar. Les
pompes bi-étagées telles que la pompe DIVAC de Leybold peuvent atteindre
une pression d'environ 10 mbar (voir Fig. 2.2), les pompes à trois étages
peuvent atteindre une pression d'environ 2 mbar et les pompes à membrane à
quatre étages peuvent atteindre une pression d'environ 5·10-1 mbar. 

vacuum
generation
graphics
Fig. 2.2 Principe de fonctionnement d'une pompe à
membrane bi-étagée. Ouverture et fermeture des vannes,
du circuit et du mécanisme de pompage pendant les
quatre phases successives d'un tour de bielle (a-d)

Compatibilité avec les autres pompes et applications

Les pompes à membrane offrant une pression limite aussi faible, par exemple FR
les pompes à membrane à trois têtes et à quatre têtes, peuvent être utilisées en
tant que pompes primaires pour les pompes turbomoléculaires avec des étages
de traînée moléculaire entièrement intégrés (pompes turbomoléculaires
(/fr/knowledge/vacuum-fundamentals/vacuum-generation/how-does-a-
turbomolecular-pump-work) composées ou à large gamme). On obtient ainsi un
système de pompage totalement sans huile, ce qui est très important pour les
dispositifs de mesure impliquant des systèmes de spectromètres de masse
(/fr/knowledge/vacuum-fundamentals/mass-spectrometers/quadrupole-mass-
spectrometer) et des détecteurs de fuites. Contrairement aux pompes à
palettes rotatives, cette combinaison de pompes pour détecteurs de fuites
(/fr/knowledge/vacuum-fundamentals/leak-detection/mass-spectrometer-leak-
detectors) offre l'avantage de ne pas dissoudre naturellement l'hélium dans la
pompe à membrane, ce qui permet d'éviter totalement la formation d'un fond
d'hélium. Cependant, le vide limite d'une pompe à palettes rotatives lubrifiée ou
d'une pompe à spirales est nettement supérieur à celui des pompes à
membrane, même à quatre têtes.

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