1ère année de Master de microélectronique/ Mic 09 / Chap.

1 : TECHNOLOGIE DU VIDE

Université de Jijel
Faculté des Sciences et de la Technologie
Département d’Electronique
1ère année de Master de microélectronique – S1

Matière : TECHNOLOGIE DU VIDE ET SALLE BLANCHE

(Mic 09)

Unité d’enseignement : UED 1.1

Semestre : 1 ; VHS : 22h30 (Cours : 1h30)
Crédits : 1 ; Coefficient : 1
Responsable de la matière : Pr B. BIROUK
Email : bbirouk@univ-jijel.dz

Chapitre 1. TECHNOLOGIE DU VIDE

Contenu :
Dans ce premier chapitre, il s’agira d’étudier les Techniques du vide en en donnant au préalable une
définition, et expliquant pourquoi on recherche le vide, et comment on l’obtient. On citera
succinctement les différents types de vide et le matériel qui rentre en jeu, telles que les pompes à
vide, Jauge à vide, enceintes à vide, etc. On fournira une terminologie du vide en présentant les
grandeurs et les paramètres qui permettent de déterminer le vide. Ce chapitre sera clôturé par une
liste non exhaustive des diverses pompes utilisées pour faire le vide.

NB : Dans ce cours, les parties dont la couleur de police est rouge sont là pour donner un plus, mais
peuvent être sautées sans effet globalement sur le cours.
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Introduction
Beaucoup de processus de fabrication de produits (en particulier en électronique) et de
recherche scientifique sont réalisés dans des systèmes sous vide, et ce pour au moins deux
raisons :

 premièrement, à cause de la réaction avec les gaz de l'air ambiant et l’influence des
impuretés qui sont véhiculées par cet air;
 deuxièmement, la fabrication des produits ou la mesure de leurs propriétés peuvent
utiliser des faisceaux d’électrons ou autres, qui pourraient ne pas exister en dehors d'un
vide.

Définitions
Gaz : c’est un milieu formé de particules matérielles (molécules mono ou multi-atomiques)
en perpétuel mouvement.

La pression : c’est par définition la force qu’applique un fluide ou un solide sur une
surface, par unité de cette dernière.

Vide : C’est un espace où le nombre de molécules a été diminué, comparativement à leur

nombre dans les conditions normales de température et de pression. Dans ce cas la pression
est inférieure à patm et la concentration des molécules est < à 2,5.1019 cm-3.

Pression Totale (pt) : La pression totale dans un récipient correspond à la somme des pressions
partielles de tous les gaz et les vapeurs à l'intérieur du récipient.

Pression Partielle (pp) : La pression partielle d'un certain gaz ou de vapeur, est la pression que
le gaz ou la vapeur, exercerait s’il (elle) était seul(e) présent(e) dans le récipient.

Pression en excès ou pression manométrique (p e) : C’est la différence entre la pression

absolue d’un milieu (p abs) et la pression ambiante (p amb) ou atmosphérique (patm), soit :
pe = pabs - pamb
- La valeur positive de pe indiquera une surpression ;
- La valeur négative caractérisera un vide. pabs pamb

Figure 1 : Récipient sur lequel sont indiquées la pression interne et la pression externe.

Dans la théorie cinétique des gaz, la pression p d’un gaz dépend de la concentration de particules n
(nombre de molécules par m3) de ce gaz et de la température thermodynamique T.
Elle a pour expression : p=nkT où k = 1,38.10-23 J/K est la constante de Boltzmann.
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Masse volumique d’un gaz : La masse volumique (notée par la lettre grecque ρ, en kg.m-3 ou g·cm-3 )
est donnée par le produit de la concentration n des particules du gaz, par la masse unitaire m de ces
particules, soit : ρ=nm
Densité ρ d’un gaz : c’est sa masse volumique divisée par celle de l’air, pris dans les mêmes conditions.
La masse volumique de l’air sec, à la température de 0 °C et sous la pression atmosphérique normale,
vaut 1,292 kg.m-3.
Loi des gaz parfaits
La masse molaire M d’un gaz est liée à la masse m d'une molécule de ce gaz, par la relation suivante :
M = NA m
Où NA est le nombre d'Avogadro (ou constante) qui représente le nombre de particules de gaz
contenues dans une mole de ce gaz. C’est le facteur de proportionnalité entre la constante R des gaz
parfaits et la constante k de Boltzmann : R = NA k

Débit volumétrique (ou volume d'écoulement) qv (en l/s, m3/h, cm3/s) : il désigne le volume
du gaz qui circule à travers un élément de tuyauterie, dans une unité de temps, à la pression
et la température régnant à l'instant.

Vitesse de Pompage S (en l/s, m3/h, cm3/s) : C’est le débit volumétrique à travers l'orifice
d'admission de la pompe.
S =dV/dt (ou ΔV/Δt si S reste constant au cours du processus de pompage).

Unités de pression utilisées en technologie du vide :

- Unité du Système International (SI) : le Pascal (valant 1 Nm-2)
- le bar = 106 dyn/cm2 (unité du système CGS : 1 dyn = 1 g cm s-2 = 10-5N)
- le torr = 1 mm Hg

Unités de pression 1 Pa 1 bar 1 kgp/cm2 1 atm 1 torr

1 Pa 1 10−5 1,02.10−5 9,87.10−6 7,5.10−3

1 bar 105 1 1,02 0,987 750,06

1 kgp/cm2 9,8.104 0,98 1 0,968 735,56

1 atm 1,013.105 1,013 1,033 1 760

1 torr 133,3 1,333.10−3 1,360.10−3 1,316.10−3 1

Taleau 1 : Correspondance entre les unités de pression les plus usuelles.

NB : Comme on le voit sur le tableau, l’unité bar peut être approximée par 1 kgp/cm2 ou 1
atm, lorsqu’on ne cherche pas une grande précision.
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L’appareil de mesure de pression s’appelle un manomètre. Lorsque la pression est de l’ordre

de grandeur de la pression atmosphérique ou supérieure, l’appareil utilisé est le baromètre.

Classement des vides :

Un excellent vide peut descendre en dessous de 10-10 Pa, et renfermera moins de 20 milles
molécules par cm3. Pour arriver à un tel vide, on doit passer par plusieurs types de vides qu’on
a classé comme suit :
o Vide grossier (LV, Low vacuum) : 105 – 102 Pa ;
o Vide moyen (MV, Medium vacuum) : 102 – 10-1 Pa ;
o Vide poussé (HV, High vacuum) : 10-1 – 10-5 Pa ;
o Ultravide (UHV, Ultra High vacuum) : 10-5 - 10-10 Pa ;
o Vide extrême (XHV, Extremely high vacuum) : < 10-10 Pa.

10-12 10-7 10-3 1 750 Torr

XHV UHV HV MV LV
NB : Le vide moyen est aussi appelé vide primaire.
Le vide poussé est aussi appelé vide secondaire.
Pour obtenir ce 2ème type de vide, on utilise deux ou plusieurs pompes en série. Par
exemple, la 1ière réalise un vide MV et la 2ème un vide HV (les 2 sont allumées en même temps).

Différents types de pompes :

1- Pompe manuelle pour vide grossier :

L’air est extrait à travers une soupape, puis évacué à travers une seconde soupape, grâce
à une membrane solidaire d’un piston mis en mouvement manuellement.

Soupape
Arrivée des gaz
Evacuation des gaz

Soupape

Piston entraînant Membrane

la membrane

Figure 2 : Principe de fonctionnement d’une pompe manuelle à membrane.

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2- Pompe à palettes :
Elle permet d’obtenir un vide primaire jusqu’à 10-2 Torr. La pompe est constituée d’un
rotor portant des palettes qui peuvent rentrer ou sortir. Ces palettes, en tournant, déplacent
l’air et le comprime, puis l’évacue à l’extérieur à travers une soupape au fond d’un récipient
rempli d’huile. Lorsque les palettes tournent, elles restent toujours en contact continu avec
les parois du stator.

Figure 3 : Principe de fonctionnement de la pompe à palettes

https://fr.wikipedia.org/wiki/Pompe_à_palettes

3- Pompe à diffusion d’huile :

Elle est utilisée comme pompe secondaire et peut donner lieu à un ultravide (La pression
peut descendre jusqu’à 10-9 mbar). L’huile chauffé jusqu’à ébullition, entraîne dans son
mouvement à grande vitesse, les molécules d’air et les envoie vers la pompe primaire travers
un ensemble à jets. Lorsque le jet de vapeur atteint la paroi de la pompe refroidie à l'aide d'un
flux d'air ou d'eau, l’huile se condense et est redirigé vers la chaudière. Les gaz pompés
continuent à s'écouler vers la base de la pompe et sont éliminés.

Figure 4 : Principe de fonctionnement de la pompe à diffusion d’huile.

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4- Pompe Roots :
La pompe Roots porte le nom des frères qui l'ont inventé. La partie mobile est constituée de
deux longs rotors hélicoïdaux, monté l'un dans l'autre perpendiculairement. Les lobes des rotors
déplacent le fluide emprisonné entre elles et la paroi interne, du point d'aspiration au point de
décharge, en un écoulement continu avec le même volume.

Figure 5 : Principe de fonctionnement de la pompe Roots à trèfles

http://pierreprovot.files.wordpress.com/2008/12/pomperot3lobes001.png

5- Autres pompes :
 Pompe à piston (primaire) ;
 Pompe à anneau liquide (primaire) ;
 Pompe à membrane (primaire) ;
 Pompe cryogénique (secondaire) ;
 Pompe turbomoléculaire (secondaire) ;
 Pompe ionique (vide poussé) ; etc.

Jauges à vide :

Une Jauge à vide est un instrument de mesure indirecte de la pression, donc un transducteur. Il traduit
une pression en une autre grandeur généralement soit mécanique (une force, un déplacement, …) soit
électrique (tension, courant, fréquence, composant passif, …). Différents types de jauges mesurent
différentes plages de pression.

 Jauge de pression mécanique : On utilise par exemple, une séparation de la source de vide par
une membrane. Lorsque la pression chute, la membrane se dilate. Un système mécanique
convertit le mouvement de la membrane en une indication à lire.

Figure 6 : Principe d’une Jauge de

pression mécanique.

 Exemples de jauges de pression mécaniques pour faibles pressions (10 à 105 Pa)
- Jauge de bourdon,
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- Jauge de diaphragme piézorésistive,

- Jauge de diaphragme de capacité,

 Jauge de pression électrique : On utilise par exemple, un potentiomètre alimenté par une
tension U. La tension de sortie V évolue avec la variation de la pression du vide. Sa mesure
avec un calibrage donne la pression mesurée.

U
Figure 7 : Principe d’une Jauge
V de pression électrique.

 exemples de jauges de pression électriques pour très faibles pressions

- Jauge Pirani,
- Jauge à thermocouple,
- Jauge d'ionisation, etc.

Figure 8 : Quelques exemples de Jauges à vide.

Figure 9 : Quelques exemples d’enceintes sous vide.