Les particules sont émises, par effet thermoélectronique, par un canon à électrons,

filament de tungstène à une température de l‟ordre de 2 000 °C. Par rapport à une anode, ce
filament est porté à une tension négative de 100 à 200 kV pour les microscopes courants, et
jusqu‟à 3 MV pour des instruments assez rares. Ce potentiel accélérateur définit l‟énergie des
électrons émis, c‟est-à-dire leur vitesse ou leur longueur d‟onde associée (de 40 à 25.10-4 nm
pour les instruments courants).

Une première lentille magnétique, le condenseur, éclaire l‟échantillon placé dans

la chambre objet. Un porte-objet permet son déplacement dans son plan et son orientation.

Une seconde lentille magnétique de courte distance focale (de l‟ordre du millimètre),
l‟objectif, donne une première image de l‟objet, agrandie quelques dizaines de fois. Enfin,
une lentille de projection fournit l‟image définitive, au grandissement de l‟ordre de 10 000,
sur un écran fluorescent observable visuellement, l'écran pouvant être le miroir de renvoi dans
la direction d'observation, ou sur une plaque photographique. L'ensemble de ces éléments est
enfermé dans une enceinte étanche où règne une pression résiduelle au plus de l‟ordre de
10-3 Pa.

Quoique la longueur d‟onde utilisée soit dix à vingt mille fois plus petite que celles que
met en œuvre le microscope optique.

II. Microscopie électronique à balayage

La microscopie électronique à balayage est utilisée dans de nombreux domaines
scientifiques : domaine médical et biologique mais aussi dans divers secteurs comme les
semi-conducteurs, la métallurgie, les céramiques. C'est un outil de caractérisation des
matériaux solides (pulvérulents ou massifs) permettant de visualiser la forme et la taille des
particules, la topographie, les défauts, les fractures, les faciès et textures des minéraux et
matières premières,…

1. Instrumentation
Un microscope électronique à balayage est un microscope électronique produisant les
images d'un échantillon par balayage de la surface de l‟échantillon à l‟aide d'un faisceau
d‟électrons. Les électrons interagissent avec les atomes de l‟échantillon, générant divers
signaux pouvant être traduits en informations relatives à la topographie de la surface et à la
composition de l'échantillon.

Dr W. NACHIT