MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A

BALAYAGE
I. Analyse par émission des Rayons X (RX) – microscopie électronique
1. Rappel sur la production des RX : Nature électromagnétique des RX :
Les rayons X sont une forme de rayonnement électromagnétique à haute
fréquence constitué de photons dont la longueur d'onde est comprise
approximativement entre 0,001 nanomètre et 10 nanomètres (10-12 m et 10-
8 m).
En général les rayonnements
électromagnétiques, entre autre les
RX, se présentent donc sous les
deux aspects complémentaires,
ondulatoires (celui d’une onde
caractérisée par sa longueur d’onde
l) et corpusculaires (celui des
photons X de masse m et de célérité
c).

Les RX dans l’échelle des longueurs d’onde

II. Spectre des raies
C’est l’ensemble des longueurs d’onde des RX émis par
une cible métallique donnée. Soit une cathode de cuivre
que l’on bombarde avec un faisceau d’électron accéléré
sous une tension V (20 à 50 KV). La nature de la
variation émise en fonction de la longueur d’onde est
représentée par un spectre dit continu.

1. Principe de formation des spectres de raies

La formation de spectre de raies peut être expliquée par un phénomène
d’ionisation des atomes de la cathode sous l’effet de bombardement
électronique. On parle alors d’ionisation des couches profonde de l’atome.

Lorsque l’électron tombe du niveau n au niveau de la couche K, on a la relation suivante :

DE = Ek – En = Wk – Wn= hnKn
Si Wk – Wn augmente, nKn augmente aussi et l diminue.
Pour comprendre la formation des raies d’émission X, il faut faire intervenir les nombres
quantiques.
Exemple : le cuivre
Les niveaux d’énergie relatifs aux nombres
quantiques sont représentés par la figure
suivante. Il y a lieu la formation de 3 types de
raies, k, L, M
Les raies de la série K sont produites par les
transitions de type : L et M vers K
Les raies de la série L proviennent d’électron
des couches M et N. il faut noter que le
niveau L Comprend trois sous niveaux : L1,
L2, L3.
La notation de raies se fait alors par les
désignations : Ka1, Ka2, Ka3, Kb1, Kb2,
La1, La2, …On note que leur intensités
décroissent dans le sens a, b, g, …, 1, 2, 3, …
Raies caractéristiques principales du cuivre
Raies l nm I/I0
Kb1 1,3921 14
Ka1 1,5405 100
Ka2 1,5443 50
Lb1 13,057 50
La1 – La2 13,330 110

Le spectre de cuivre raies d’émissions

I- INTERACTION ELECTRONS-MATIERE
Le bombardement d’un échantillon par un faisceau d’électrons, dit primaire, entraîne l’émission
de divers signaux électroniques et électromagnétiques suite à l’interaction électrons- matière
(Figure 4):
• Emission d’électrons secondaires :

selon le concept moderne de la matière, l’atome se compose d’un

noyau positif autour duquel gravite un cortège d’électrons. Un
électron entrant peut interagir avec des électrons en orbite. Ils
peuvent alors être éjectés hors de l’atome et constituent
l’émission d’électrons secondaires. Ces électrons arrachés au
solide étudié forment des images avec une résolution pouvant

atteindre 3 à5 nm. Le contraste de l’image est principalement

donné par le relief de l’échantillon mais peut aussi provenir de la Figure 4 : Représentation schématique de
présence d’éléments dans l’échantillon possédant de grandes l'interaction entre un faisceau d'électrons et la
surface d'un échantillon
différences de numéro atomique.
 émission d’électrons rétrodiffusés : les électrons primaires accélérés
venant frapper l'échantillon et le pénétrant peuvent parcourir une
trajectoire aléatoire dans la matière qui leur fera perdre une fraction de
leur énergie. Après ce parcours au sein de la matière, ils peuvent resurgir
à la surface de l’échantillon puis être détectés. Du fait de leur plus
grande énergie (>>50 eV), les électrons rétrodiffusés peuvent provenir
d'une profondeur plus importante. La résolution de l'image en électrons
rétrodiffusés sera moins bonne qu'en électrons secondaires (6-10 nm).
Suivant le type de détecteur utilisé, les électrons rétrodiffusés fournissent
une image topographique (contraste en fonction du relief) ou une image
de composition (contraste en fonction du numéro atomique).

Le faisceau d'électrons primaire est suffisamment énergétique pour ioniser l’atome par arrachement d’électrons
présents sur les premières couches électroniques (couches profondes). L’atome se retrouvera dans un état excité
instable qui entraînera un retour vers son état d’équilibre. Ce retour à l’équilibre peut se faire de deux façons.
Émission de rayons X (transition radiative) : un photon X est émis par transfert d’un électron d’une couche supérieure vers le
trou laissé par l’électron arraché sur la couche profonde (Figure 6).

 Un exemple de transitions autorisées pour un élément donné, le cuivre, est

reporté sur la Figure. La résolution spatiale d'analyse dépend de l'énergie de la
raie X détectée, de la nature du matériau, de la fluorescence secondaire. Elle est
d’une façon générale supérieure au micromètre.
La Figure 7 montre un spectre de distribution d'énergie selon le type d'électron
émis.

Figure 7 : Représentation schématique de la distribution

en énergie des électrons réémis par un échantillon (E0 :
énergie du faisceau incident).
Pour clore cette liste de phénomènes émergeant
de l’échantillon, il peut être ajouté:

• cathodoluminescence : lorsque des matériaux

isolants ou semi-conducteurs sont bombardés
par le faisceau d'électrons, des photons de
grande longueur d'onde (ultraviolet, visible) sont
émis. Le spectre obtenu dépend du matériau
étudié et de sa pureté.
• électrons transmis : ces électrons apparaissent
dans le cas d’utilisation d’échantillons minces
(épaisseur de 10 nm à 1 mm). Ils concernent la
microscopie électronique à transmission (MET).
Ils ne correspondent donc pas au MEB, qui est
une étude des signaux réfléchis.
Spectroscopies à sonde électronique
Faisceau incident
d’électrons
(primaires)

Nom Sigle Rayonnement analysé Informations

Microanalyse par EPMA Rayons X Composition élémentaire
sonde
électronique
Spectrométrie Auger AES-E Electrons Auger Composition
d’excitation élémentaire, état
électronique chimique et liaisons
Spectrométrie de EELS Electrons Composition
perte d’énergie des diffusés élémentaire, état
électrons inélastiques chimique et liaisons
En pénétrant dans l'échantillon, le fin
pinceau d'électrons diffuse peu et
constitue un volume d'interaction (Figure
8) dont la forme dépend principalement
de la tension d'accélération et des
numéros atomiques des différents
éléments formant l'échantillon. Dans ce
volume, les électrons et les
rayonnements électromagnétiques
produits; sont utilisés pour former des
images ou pour effectuer des analyses
physico-chimiques. Pour être détectés,
les particules et les rayonnements
doivent pouvoir atteindre la surface de
l'échantillon. La profondeur maximale de
détection, donc la résolution spatiale,
dépend de l'énergie des rayonnements.
Figure 8: Poire de diffusion
III- MATERIEL ET PREPARATION D’ECHANTILLONS
A - Constitution d’un MEB

Le MEB est constitué d’une source d'électrons

accélérés, de lentilles électromagnétiques
appelées condenseurs, d’un système de
balayage, de lentilles électromagnétiques
objectives, de divers détecteurs (électrons
secondaires, électrons rétrodiffusés,
spectromètre de rayons X...) et d'une
visualisation électronique pour traiter et
former l'image. Figure 9 : Représentation schématique du MEB.
 1- Sources d'électrons
accélérés

Il existe trois sortes de filaments se

regroupant en deux familles de sources :

- Famille des sources

thermoioniques:

Un matériau chauffé par effet Joule est

soumis à un fort champ électrique qui
entraîne l’arrachement d’électrons. Ceux-
ci sont alors fortement accélérés par une
différence de potentiel appelée tension
d’accélération dont la gamme peut varier
de 5 à 25kV.
 - Famille des canons à émission de
champ

Une pointe très fine soumise à une différence de

potentiel importante génère un champ électrique
E=dV/dx

Le gradient de champ sera fortement influencé

par la géométrie de la pointe et sera maximum à
son extrémité. De celle-ci, des électrons seront
arrachés puis accélérés par la tension
d’accélération.

Tableau récapitulatif
2- Système de balayage

Le faisceau électronique balaye la surface de l’échantillon selon une trame rectangulaire.

Les électrons secondaires produits sont collectés par un détecteur qui les convertit en un
signal. Ce signal est amplifié puis utilisé pour moduler la brillance d’un tube cathodique. Ce
dernier est également balayé de façon synchrone avec le faisceau d’électrons. Il s’établit ainsi
une correspondance entre la brillance d’un élément d’image sur l’écran du tube cathodique et
le nombre d’électrons secondaires émis par un point de l’échantillon. Le rapport entre la
surface balayée sur le moniteur et la surface balayée sur l’échantillon constitue le
grandissement ou grossissement (en anglais, magnification). La modulation de la vitesse de
balayage permet de faire varier le temps de mesure sur un point de l'échantillon. Une vitesse
rapide suffira pour l’imagerie vidéo tandis qu’une vitesse lente sera requise pour l'obtention de
film photographique ou polaroïd.
NB.
Le contrôle du balayage de la surface de l'échantillon est assuré par des bobines de
déflexion, alimentées par une source électrique délivrant un courant en dents de scie
(déviation en x) et un courant en escalier (déviation en y) : le faisceau se déplace donc
sur la surface de l'échantillon suivant des lignes xx' qui se décalent parallèlement à
elles mêmes selon la direction y

Figure 4 : Principe du balayage d'un MEB

 3- Détecteurs

Il est possible de "fabriquer" des images avec l'ensemble des électrons ou des rayonnements réémis par le matériau
(voir interaction électrons-matière). On utilise généralement les électrons secondaires, les électrons rétrodiffusés et les
photons X pour obtenir des images, car ceux-ci sont réémis de façon préférentielle (Figure 7).

a - Détecteurs d'électrons secondaires

Figure 10 : Représentation schématique du détecteur d’électrons
Les détecteurs sont formés d’un scintillateur et d'un secondaires.
photomultiplicateur (Figure 10). Les électrons
secondaires de faible énergie émis, sont soumis à un
faible potentiel de l'ordre de 200V qui les attire. Le
scintillateur les transforme alors en photons. Ils sont
ensuite à nouveau convertis en électrons par le
photomultiplicateur. Une suite de dynodes les
amplifie de façon à fournir un signal détectable.
 b - Détecteurs d'électrons rétrodiffusés

Ils sont formés d'un semi-conducteur (jonction pn)

ayant une forme de disque. Les électrons de forte
énergie (EE0) ne sont pas déviés par un faible
potentiel. En effet, leur grande énergie cinétique (5-
20keV) les rend insensibles à un champ électrique tel
que celui créé par le collecteur de 200V du détecteur
des électrons secondaires. Le détecteur ne reçoit que
les électrons rétrodiffusés issus de parties visibles de Figure 11 : Représentation schématique de
la détection des électrons rétrodiffusés.
l’échantillon (Figure 11).
 c - Détecteurs de rayons X
Il existe deux types de détecteurs : les détecteurs à dispersion d'énergie à semi- conducteur Si (Li) notés EDX ou EDS (Energy
Dispersive X-Ray or Spectrometer) et les détecteurs à cristal analyseur notés WDX ou WDS (Wavelength Dispersive X-ray or
Spectrometer).
- Exemple : détecteur à dispersion d'énergie Si(Li) :
fenêtre en berrylium paire électron-
trou
FET
Les photons X pénètrent par la fenêtre de Field Effect Transistor

béryllium puis frappe une jonction pn polarisée Photon X

en inverse (Figure 12).

P I N
- +
Vide + Température (77K)

Figure 12 : Détecteur à dispersion d’énergie (EDX).

La mesure des photons est obtenue par l’amplitude des impulsions (courants) qu’ils produisent et donc proportionnelle au
nombre d’événements N (paires). Il s’agit ensuite de sélectionner ces impulsions suivant leur amplitude. Ceci est réalisé via
l’analyseur multicanal qui affecte à chaque impulsion un canal. En général, il possède 2048 ou 4096 canaux. L’ensemble des
canaux représente le spectre d‘énergie sous forme d’histogramme (Figure 13).
Pour les deux types de détecteurs, on obtient une distribution de photons X (intensité correspondant à un
nombre de photons X) en fonction de leur énergie (de l’ordre de 0 à 10- 25keV) (Figure 13). Cette intensité
est proportionnelle non seulement à la quantité des différents éléments présents au sein du matériau étudié
mais aussi à la population des niveaux électroniques intervenant dans les transitions. Il existe des tables
donnant l’ensemble des raies d’émission X possibles pour les différents éléments de la classification
périodique. Dans l’exemple donné ci-dessous, on observe les raies d’émission pour un matériau donné.
L’analyse est reportée sous forme d’un tableau à la suite de la Figure 13. Ceci est la partie visible du spectre.
A savoir qu’il existe d’autres raies d’émission X ayant des énergies soit très faibles (<200eV), soit très fortes
(>25KeV). Ces raies ne sont pas observables par ce type de détecteur.
Figure 13 : spectre de distribution en énergie des photons X.
 Eléments Type de Raies Position en Energies en (eV)

Oxygène Ka 523

Silicium Ka 1740

Plomb Ma1 2346

L2a1 10549
L2b1 12611

Cuivre Ka 8047

Etain L3b1 3444

L3b2 3901
 2. - Lentilles électromagnétiques
Elles sont formées d’une bobine électrique et de pièces polaires en fer
doux. Lorsqu’un courant électrique passe par la bobine, il se crée un
champ magnétique entre les pièces polaires. En faisant varier ce
courant, il est possible de modifier le grandissement fourni par la
lentille. De façon identique aux lentilles optiques, les lentilles
magnétiques présentent des aberrations sphériques et d’astigmatisme.
L’aberration sphérique se produit lorsque le grossissement au centre de
la lentille diffère de celui des bords. L’astigmatisme se rencontre en
présence d’une différence entre le grossissement horizontal et le
vertical ; c’est à dire qu’à un cercle de l’échantillon correspond un
ovale sur l’écran. Ces deux aberrations sont corrigibles par des moyens
électroniques.
Préparation d'échantillon:

Beaucoup d’échantillons ne nécessitent aucune préparation préalable sinon leur pose sur un support adéquat.

En revanche, dans le cas d’échantillons contenant des composés volatils tels que l’eau, leur élimination sera

indispensable étant donné la présence d’un vide secondaire (10-4 Pa). Le processus de lyophilisation est

fréquemment utilisé sur les matériaux biologiques.

La nature conductrice de l’échantillon sera aussi un critère très important pour l’étude par microscopie

électronique à balayage. En effet, le bombardement de l’échantillon par un faisceau intense d’électrons peut

provoquer des phénomènes de charges locales. Dans le cas d’un matériau conducteur, il évacuera ces charges

rapidement via le porte échantillon relié à la masse (notez qu'il est possible d'obtenir des images à partir de ce

courant de "fuite" d’électrons). Par contre, si le matériau est isolant, il se chargera avec accumulation de charges

négatives à la surface balayée de l’échantillon.

Ces charges négatives formeront un potentiel qui aura tendance à repousser les
électrons du faisceau incident. On crée alors une zone non visible due à la
déviation des électrons incidents, "un blanc", qui s’amplifie et donne
l’impression d’une image se déplaçant toute seule.
Pour remédier à ce problème, il suffit de déposer une fine couche d’un
matériau conducteur : du carbone amorphe ou de l'or. Le dépôt de carbone est
obtenu par évaporation sous vide primaire d'un fil de carbone. Celui d’or se fait
par une pulvérisation cathodique. Notez que d’une façon générale, le dépôt de
carbone est utilisé dans le cadre d’analyse EDX et celui d’or pour l’obtention
d’images de grande qualité à des fins photographiques.
Le faisceau incident d'électrons très énergétique peut être aussi à l’origine d’une
détérioration du matériau. Pour pallier cette fragilité, une réduction de la
tension d’accélération (énergie) du faisceau incident à quelques keV peut suffire.
Un complément peut être obtenu via un refroidissement de l’échantillon.
II. IMAGES - ANALYSES
• A - Images
• Les électrons secondaires et les électrons
rétrodiffusés produisent des images ayant
des contrastes différents, on distingue
plusieurs types de contraste dont les
principaux : le contraste d'ombrage, le
contraste d'inclinaison et le contraste de
numéro atomique.

1. - Images avec les électrons secondaires

Le contraste d’ombrage est obtenu à partir des
électrons secondaires. En effet, ceux-ci peuvent
provenir d’une (ou des) partie(s) "cachée(s)" de
l’échantillon car leur trajectoire n’est pas
forcément rectiligne (Figure 15).
Figure 15 : Photographies de divers contrastes
possibles. Contrastes d’inclinaison (a), d’ombrage (b),
d’arêtes (d), d’inclinaison et d’arêtes (e), de pointes (f) fournis
par un détecteur d’électrons secondaires et
contraste d’ombrage (c) fourni par un détecteur
d’électrons rétrodiffusés.
• Le contraste d’inclinaison est obtenu à partir de faces
plus ou moins inclinées par rapport au faisceau incident
d’électrons. Le taux de réémission des électrons
secondaires est plus important si la face est inclinée car
la diffusion des électrons incidents surviendra dans une
zone de l’échantillon moins profonde (Figure 14). Il en
découle une image vidéo présentant une partie inclinée
de l’échantillon plus blanche que celle horizontale
(Figure 15).

Figure 15 : Photographies de divers contrastes

possibles. Contrastes d’inclinaison (a), d’ombrage (b),
d’arêtes (d), d’inclinaison et d’arêtes (e), de pointes (f) fournis
par un détecteur d’électrons secondaires et
contraste d’ombrage (c) fourni par un détecteur
d’électrons rétrodiffusés.
2- Images avec les électrons
rétrodiffusés:
• Le contraste de numéro atomique
est obtenu avec les électrons
rétrodiffusés car le taux de
réémission est proportionnel au
numéro atomique. Par conséquent,
deux éléments de valeur Z très
éloignés fourniront une image très
contrastée (Figure 15). La partie
blanche de l’image correspondra à
l’élément le plus lourd (Z grand) et Figure 15 : Photographies de divers contrastes possibles.
la partie sombre à l’élément le plus Contrastes d’inclinaison (a), d’ombrage (b),
léger (Z petit). d’arêtes (d), d’inclinaison et d’arêtes (e), de pointes (f) fournis
par un détecteur d’électrons secondaires et
contraste d’ombrage (c) fourni par un détecteur
d’électrons rétrodiffusés.
• 3- Cartographies X
A l’aide d’un détecteur à dispersion d’énergie, il
est possible de faire une cartographie X. Elle est
obtenue par un balayage point à point de la
surface du matériau avec détection synchrone
de l’émission X de l’élément choisi. Un
traitement informatique du signal permet
d’extraire une image propre à chaque élément
constituant l’échantillon. Un exemple d’étude
d’un alliage étain- plomb est donné sur la Figure
16. Dans un premier temps, une analyse
qualitative permet de repérer l’élément
constituant chaque grain. Puis, une
cartographie X, ici du plomb et de l’étain, de la
même surface permet d’identifier et d’associer
chaque grain à son élément.
• B - Analyses
L’émission de rayons X permet de remonter à
la composition élémentaire de l’échantillon
étudié (voir interaction électrons-matière et
détecteurs). Une analyse rapide permet
d’identifier qualitativement les éléments
contenus dans l’échantillon (analyse
qualitative). Il est possible également grâce à
des programmes informatiques d’extraire du
spectre obtenu le pourcentage en poids de
chaque élément, voire le pourcentage en poids
de différents composés (analyse quantitative).
Un exemple est reporté sur la Figure 17.
Figure 17 : Spectre d’un échantillon contenant différents composés
complété par l’analyse quantitative (tableau).
• III- APPLICATIONS
La plupart des matériaux peuvent être étudié au moyen d'un microscope électronique à
balayage. On peut citer :
• les métaux : étude de la structure d'un alliage, mise en évidence de défauts,
étude de faciès de fracture, étude de corrosion, état de surface...
• les céramiques : observation et analyse de matériaux...
• les textiles , le bois : identification de fibre, de substance.. des échantillons
biologiques : insectes, micro-crustacés.... etc...

On retrouve des microscopes électroniques à balayage dans de nombreux

centres de recherche publics et privés, mais aussi dans des industries
(microélectronique, Renault...), des musées et au sein de la police scientifique.
• Un exemple : applications
des images en électrons
rétrodiffusés et de la
microanalyse de rayons X
pour l'étude de la matière
picturale. L’étude du
prélèvement vert de
l’oeuvre de Paolo
Veneziano, la Vierge et
l'Enfant (musée du Louvre),
a démontré qu’il était formé
de 3 couches : gesso, bleu Figure 18 : Images en électrons rétrodiffusés de l‘épaisseur
d'azurite + jaune de plomb (gauche) et spectre d'un grain de jaune de plomb et d'étain
et d'étain variété II, feuille variété II (plomb, étain, silicium) (Paolo Veneziano, la Vierge
d'or (Figure 18). et l'Enfant, Louvre).