MICROSCOPE ELECTRONIQUE

BALAYAGE
 Historique

Le microscope électronique à balayage (MEB) a été imaginé pour la première fois en

Allemagne, dans les années 1930, par Knoll et Manfred von Ardenne et il fallut
attendre les travaux de Oatley à Cambridge en 1953 pour que le microscope à
balayage naisse réellement et devienne l'instrument commercial que nous
connaissons aujourd'hui.

Mais la microscopie électronique à balayage a connu son véritable essor entre 1948
et 1965, grâce aux progrès techniques de la télévision et des détecteurs d'électrons.

Cette nouvelle technologie a permis, du fait de sa profondeur de champ,

l'observation du relief d'échantillons massifs.

Le pouvoir séparateur d'un microscope optique (son grossissement) est limité par la
longueur d'onde de la lumière visible ; aucun détail de dimension supérieure à
0,2 µm ne peut être observé.

En raison de leur courte longueur d’onde associée, les électrons accélérés

constituent un choix idéal pour observer la matière.

Les microscopes électroniques à balayage permettent d’obtenir des images point

par point (6 à 10 nm).
 GENERALITES

Microscope électronique à balayage ou (MEB) ou Scanning electron microscope (SEM)

Le microscope électronique à balayage permet d'obtenir des images de surfaces de

pratiquement tous les matériaux solides, à des échelles allant de celle de la loupe
(x10) à celle du microscope électronique en transmission (x500.000 ou plus).

Ces images présentent une grande profondeur de champ et donnent des

renseignements sur le relief.

Le MEB conventionnel fonctionne dans un vide ordinaire (10-5 à 10-6 mbar).

Les échantillons peuvent être massifs, de dimension allant de quelques mm

(particules) à une dizaine de cm de diamètre.

Équipé de détecteurs appropriés, le MEB permet de faire entre autres de la

microanalyse X (Microscopie Electronique Analytique) .
 PRINCIPE

Le principe du balayage consiste à explorer la surface de l'échantillon par lignes

successives et à transmettre le signal du détecteur à un écran cathodique dont le
balayage est exactement synchronisé avec celui du faisceau incident.

Faisceau d’e-

Échantillon
Un oscilloscope cathodique est synchronisé avec ce balayage : on applique
simplement un courant provenant de la même source aux bobines de
déflexion de la colonne et de l'oscilloscope.

Il y a donc une relation directe entre un point de l'échantillon et un point de

l'écran. Le grossissement obtenu est le rapport des dimensions balayées sur
l'échantillon et sur l'écran ; il peut atteindre 400 000 sur les instruments
récents. On le contrôle simplement à l'aide d'une boite de résistances qui
permettent de modifier la tension appliquée aux bornes des bobines de la
colonne.
 PRINCIPE

Interactions du faisceau électronique avec l'échantillon

Cela consiste à mettre un échantillon sous vide, puis à le bombarder avec un

faisceau d'électrons.

les électrons primaires, issus du canon à électrons, frappent la surface de

l'échantillon ; il y a interaction entre ces électrons et les atomes (noyaux et électrons)
de l’échantillon.

Il est donc possible de recueillir des images agrandies formées avec ces
corpuscules, à condition de les produire, de les propager, de pouvoir rassembler en
un même point du récepteur tous les électrons issus d’un même point de l’objet, ce
qui impose l’emploi d’optiques électroniques (bobines déflectrices).
 PRINCIPE

Certains électrons sont diffusés de manière élastique, c'est-à-dire en conservant leur

énergie cinétique ; se sont les électrons dits « rétrodiffusés » (back-scattered
electrons).

Au cours du choc, certains électrons primaires cèdent une partie de leur énergie
cinétique aux atomes, provoquant l'ionisation de l'atome par éjection d'un électron dit
« secondaire ».

L'énergie des électrons secondaires étant faible (quelques dizaines d'eV), seuls
les électrons venant des couches superficielles ressortent de la matière.

L'atome ainsi ionisé se désexcite ; un électron d'une couche supérieure descend

occuper la place laissée vide, ce qui provoque soit l'émission d'un photon X (émission
secondaire), soit d'un électron Auger.

L'échantillon doit conduire l'électricité afin de pouvoir évacuer les électrons. S'il est
isolant, il faut auparavant le métalliser, c'est-à-dire le recouvrir d'une fine couche de
carbone ou d'or.
PRINCIPE

Selon le nombre de détecteurs

utilisé, on peut analyser les
électrons secondaires, les
électrons rétrodiffusés, les
électrons Auger ou les rayons X.

Les émissions non détectées se

dissipent en chaleur dans les
parois de la chambre de
l’échantillon ou sont mises à la
terre.
 PRINCIPE

Interaction élastique (énergie cinétique conservée):

-avec le noyau : électrons rétrodiffusés avec angle de déviation très important et peu
de perte d'énergie = électrons rétrodiffusés.

-avec le nuage électronique : électrons rétrodiffusés avec faible déviation et faible

perte d'énergie.

CHOCS ELASTIQUES ELECTRONS RETRODIFFUSES

 PRINCIPE

Interactions inélastiques (énergie cinétique faible)

-freinage = fond continu rayons X

-éjection d'électrons de conduction (peu liés) = électrons secondaires

- éjection d'électrons internes : électrons secondaires + désexcitation = photons X

Augers cathodoluminescence

CHOCS INELASTIQUES ELECTRONS SECONDAIRES

 ELECTRONS RETRODIFFUSES

 Les électrons rétro-diffusés sont des électrons primaires qui ont réagi de façon élastique
avec des noyaux d'atomes de l'échantillon.

Ils peuvent être libérés à une plus grande profondeur, dans l'échantillon que celle des
électrons secondaires.

 Leur énergie est aussi beaucoup plus grande (>50 eV). Ils ont une sensibilité topographique
inférieure aux électrons secondaires.

 Ils fournissent, par contraste de phase, des informations sur la densité des phases
minérales présentes.
Les éléments chimiques possédant un numéro atomique élevé (charge positive du noyau plus
grand) produisent d'avantage d'électrons rétro-diffusés que ceux ayant un numéro atomique
faible.
 ELECTRONS RETRODIFFUSES

 Plus le contraste de phase est élevé, plus la différence de densité entre les
minéraux (ou phases) est grande.

Des images en contraste chimique (électrons rétrodiffusés)

 ELECTRONS SECONDAIRES

Les électrons secondaires sont produits par l'effet de répulsion des électrons
primaires (faisceau d'électrons) sur les électrons des couches électroniques
des atomes composant l'échantillon analysé.

Les électrons secondaires sont éjectés des couches atomiques et possèdent

une énergie inférieure à 50 électrons volt (eV).

En raison de leur faible énergie, ils sont détectés seulement s'ils ont été
produits près de la surface de l'échantillon (au plus 500 A)
 RAYONS-X

Lorsqu'un électron, provenant de l'interaction entre le faisceau primaire et l'échantillon

est éjecté d'une couche atomique interne, l'atome est déstabilisé.
Il libère de l'énergie en remplaçant l'électron éjecté par un électron d'une couche
externe .
La quantité d'énergie libérée pour passer d'une couche externe à une couche interne
se fait sous forme d'un rayon"x" caractéristique de chaque élément en cause.
L'énergie des rayons"x" est donc fonction de la différence d'énergie entre les couches
impliquées.
Les rayons"x" de la couche K représentent l'émission la plus importante et sont utiles
principalement pour identifier les éléments au-dessous du numéro atomique 35.
Les rayons"x" émis des couches L et M permettent d'identifier les éléments au-dessus
de ce numéro.
RAYONS-X
 ELECTRONS AUGER

Émission d'électrons Auger :

ce sont des électrons dont la faible énergie est caractéristique de l'élément

émetteur (utilisés pour l'analyse élémentaire) et du type de liaison chimique.
Un électron d'une couche supérieure vient combler la case quantique laissée
vacante par l'électron éjecté.
Si l'énergie de transition est élevée, on peut avoir deux cas :
 il y a émission d'un photon fluorescent, qui du fait de son énergie, est un
photon X, on parle de fluorescence X ;

 ce photon X peut être recapturé par l'atome lui-même et provoquer l'éjection

d'un électron périphérique, c'est l'émission Auger.
 Formation des images

Les principales interactions électron-matière sont:

 Les électrons rétrodiffusés, d'énergie comparable à celle des électrons

incidents.

 Les électrons secondaires, arrachés à la matière par les électrons incidents

ou rétrodiffusés, d'énergie beaucoup plus faible.

 Les électrons Auger, de très faible énergie, ne pouvant être étudiés que dans
des conditions d'ultra-vide.

 Les photons visibles (cathodoluminescence) spécifiques de certains

matériaux ou impuretés

 Les photons X, donnant accès à l'analyse.

Domaine d'émission des diverses interactions

Poire de diffusion
 Classification des différents évènements intervenant dans le MEB

Type de
Effets Applications
collision

Contraste atomique
Élastique Électrons rétrodiffusés
Effets de diffraction

Rayonnement de freinage entraînant

Microanalyse X
l'émission de rayons X caractéristiques

Électrons Auger Analyse de surface

Effets radiatifs Cathodoluminescence

Inelastique Émission d'électrons secondaires Topographie

Génération de paires électron-trou Contraste de potentiel

Électrons transmis Etat cristallin - Composition

Électrons absorbés Topographie - Composition

Tous ces signaux peuvent servir à former une image. Le détecteur de base du
MEB (E.T. : Everhart-Thornley) récupère un mélange en proportion variable
d'électrons secondaires et d'électrons rétrodiffusés, proportion dépendant de
l'énergie primaire, de la distance échantillon-objectif, de l'angle d'incidence du
faisceau primaire, du matériau observé.

D'autres détecteurs permettent de discriminer les électrons secondaires des

électrons rétrodiffusés.
 Imagerie en électrons secondaires

Dans le mode le plus courant, un détecteur d'électrons transcrit le flux d'électrons en

une luminosité sur un écran de type télévision.

En faisant bouger le faisceau (spot) sur la pièce par un mouvement de balayage, on

relève des variations de contraste qui donnent une image de la surface avec un effet
de relief.

Notez que la couleur sur la micrographie (noir et blanc) est une reconstruction par un
système électronique et n'a rien à voir avec la couleur de l'objet.

La détection des électrons secondaires est le mode classique d'observation de la

morphologie de la surface.

Les électrons secondaires captés proviennent d'un volume étroit (environ 10 nm). De
fait, la zone de réémission fait à peu près le même diamètre que le faisceau. La
résolution du microscope est donc le diamètre du faisceau, soit environ 10 nm.

Une grille placée devant le détecteur d'électron, polarisée positivement (200-400 V),
attire les électrons.
 Imagerie en électrons secondaires

Les électrons émis imprègnent une plaque photographique ou un écran cathodique

qui se traduit par une tache plus ou moins claire qui dépend de la quantité d’électrons
émis.

Plus le nombre d’e- émis est grand plus la tache est claire.

Le rendement d'émission des électrons secondaires (produits sur une profondeur

inférieure à 5 nm) est fonction du numéro atomique des atomes constitutifs
du spécimen, mais surtout de l'angle entre le faisceau incident et la surface
analysée
 Imagerie en électrons secondaires

Comme la vitesse de production des ES est constante le long du trajet, une surface
inclinée apparaîtra plus claire sur l'image : le signal S sera relié à S 0 à incidence
normale par S = S0 / cos θ , et, en dérivant : dS / dθ = (S0 / cos²θ ).sinθ
dS / S = [(S0 / cos²θ ).sinθ .dθ .cosθ ] / S0 = tgθ dθ

Quand la surface est inclinée,

le parcourt du faisceau est
R = R0/ cosθ plus grand, la quantité d’ES
augmente et l’image sera plus
claire

5nm
 Imagerie en électrons secondaires

Electrons de forte
énergie (non collectés)
Electrons de faible
énergie collectés

La grille attire les e-

vers le détecteur
200-400 V
La quantité d'électrons secondaires produite dépend peu de la nature chimique de
l'échantillon, mais elle est fonction de l'angle d'incidence du faisceau primaire avec la
surface.

Plus l'incidence est rasante, plus le volume excité est grand, donc plus la production
d'électrons secondaires est importante, d'où un effet de contraste topographique (une
pente apparaît plus « lumineuse » qu'un plat).
 Imagerie en électrons secondaires

Le contraste (variation locale de l'émission électronique) de l'image provient d'effets

topographiques, chimiques et structuraux, régissant la retrodiffusion et l'émission
secondaire.

 effet d'inclinaison de la surface par rapport au faisceau incident (a): l'intensité

d'émission secondaire est minimale à la normale du faisceau, maximale en incidence
rasante;

 effet d'arête et de pointe (b,c): l'émission secondaire est plus intense sur des
pointes et des arêtes fines et il apparaît une surbrillance de celles-ci;
 Imagerie en électrons secondaires

 effet d'ombrage : le détecteur étant monté latéralement sur le microscope, toutes

les parties de l'échantillon ne le "voient" pas sous le même angle, et la probabilité
pour les électrons d'atteindre le collecteur est plus faible pour les parties "à l'ombre";

 effet de composition de l'échantillon : un élément de numéro atomique élevé

rétrodiffuse davantage les électrons primaires, et ceux-ci excitent sur leur trajet de
sortie un surplus d'émission secondaire. Ce contraste est visible si le contraste de
relief est suffisamment doux ou si la différence de numéro atomique est suffisamment
grande.
 Imagerie en électrons secondaires

L'image en électrons secondaires se caractérise par une très bonne définition,

jusqu'à des grandissements compris entre x 20.000 et x 50.000 en
conventionnel, jusqu'à >500.000 en haute résolution, avec des résolutions
latérales limites de 10 à 200 Å.
(Image en électrons secondaires d’une patte de mouche)
 Imagerie en électrons secondaires

Surface d'un copeau d'alliage cuivre-bérilium

 Électrons rétrodiffusés

Les électrons rétrodiffusés proviennent d'un volume plus important ; le volume

d'émission fait donc plusieurs fois la taille du faisceau.

Les électrons rétrodiffusés possèdent

une énergie qui est environ celle du
faisceau incident (chocs élastiques).

La zone de production sera donc

importante et d'autant plus grande que la
tension d'accélération des e- primaires
sera grande.

La résolution sera d'autant plus grande

Profondeur du faisceau que la tension sera faible, mais attention
(en bleu) on produit d'autant moins de ER que la
tension est basse.
 Électrons rétrodiffusés

La résolution que l'on peut obtenir avec le MEB dépend de la taille de la zone d'où
provient le signal utilisé pour former l'image (en rouge sur la figure). La résolution sera
déterminée par le diamètre sur lequel va "sortir" le signal que l'on va utiliser pour
former l'image.

Il ne sera pas possible d'observer des détails de taille inférieure à ce diamètre qui est
de 100nm pour les électrons rétrodiffusés. (environ 10nm pour les ES).

Les électrons rétrodiffusés traversent une épaisseur importante de matière avant de

ressortir (de l'ordre de 500 nm).

La quantité d'électrons capturés par les atomes rencontrés, et donc la quantité

d'électrons rétrodiffusés qui ressortent, dépend de la nature chimique des couches
traversées ; le taux d'émission électronique augmente avec le numéro atomique.
 Électrons rétrodiffusés

On obtient donc un contraste chimique, les zones contenant des atomes légers (Z
faible) apparaissant en plus sombre.

En revanche, le taux d'émission dépend peu du relief, l'image apparaît donc « plate ».

les électrons rétrodiffusés permettent de distinguer les éléments ou les phases suivant
leur numéro atomique

surface d'un bronze fonte à graphite

 Électrons rétrodiffusés

Le numéro atomique fait également varier la profondeur de pénétration des

électrons.

Plus le numéro atomique de la cible est élevé et moins les électrons du faisceau
pourront y pénétrer.

Un élément lourd donnera un signal intense et donc une zone claire;

De la même façon la pénétration sera plus grande lorsque la surface sera

perpendiculaire au faisceau incident.

En conclusion la meilleure résolution est obtenue secondaires sur des matériaux de

poids atomique élevé.
 Émission Rayons-X

Zone de production des rayons X

Les rayons X peuvent parcourir des distances

relativement importantes dans les matériaux.

La résolution obtenue avec les RX sera donc

toujours faible. Elle va dépendre essentiellement
du poids atomique du matériau. Plus Z est petit et
plus la résolution est faible.
 Émission Rayons-X

Le principe est simple:

L'échantillon est bombardé par un faisceau d'électrons d'énergie de l'ordre de

10 à 40 keV (en pratique, souvent dans un microscope électronique à
balayage standard). L'impact provoque l'émission des rayons X
caractéristiques des éléments constituant l'échantillon.

L'émission se produit dans une "poire" de dimensions de l'ordre du

micromètre, avec deux conséquences :

 la résolution spatiale de l'analyse est de l'ordre du µm

 la profondeur analysée est également de l'ordre du micron.
 Émission Rayons-X

Détection:

Les photons X possèdent une énergie caractéristique propre à chaque élément

qui les a émis.

La détection des rayons X se fait en fonction des longueurs d'onde

(spectrométrie à dispersion de longueur d'onde, WDS) ou en fonction de
l'énergie (spectrométrie à dispersion, EDS) des rayons X.

Les rayons-X sont très pénétrants et sont émis d’une poire d’interaction de
l’ordre du micron cube.
On peut résumer l'essentiel de l'examen des éléments du microscope en quelques
remarques utiles tant pour la pratique devant l'instrument que pour le dépouillement
d'images.

 Le contraste et les effets d'ombrage de l'image "conventionnelle" proviennent des

électrons rétrodiffusés, la définition, la finesse du détail topographique, des
électrons secondaires.

 L'information chimique « simple » vient des électrons rétrodiffusés, et est bien

marquée à énergie élevée. L'information chimique venant des électrons secondaire
est bien réelle mais complexe et visible à basse énergie.

 A énergie élevée, beaucoup de rétrodiffusés, à énergie faible, beaucoup de

secondaires.

 A énergie élevée, la taille de sonde est optimale, à énergie faible, le volume

d'interaction est minimal
 APPAREILLAGE

Schéma de principe d’un MEB

 Imagerie en électrons secondaires

Schéma d'une colonne de microscope électronique à balayage

 Le canon à électrons

Les électrons sont produits par effet thermoélectronique à partir d'un filament de
tungstène porté à haute température puis extraits au niveau du "Wehnelt" qui a aussi
pour fonction de focaliser les électrons en un point ("cross over") qui sera l'équivalent
d'une source lumineuse ponctuelle.
Les électrons sont ensuite accélérés vers l'anode
 Le canon à électrons

Certains appareils utilisent une cathode émettrice composée d'une pointe de ZrO/W
SE (schottky emission) fonctionnant à 1700 degrés Kelvin.

Shéma de l'émetteur ZrO/W ES

Le faisceau d’électrons

Les lentilles électromagnétiques sont des

bobines dans lesquelles on peut faire passer
des courants. Les champs créés permettent
de focaliser le faisceau électronique sur la
pièce à observer en une sonde très fine.

Des bobines déflectrices assurent la

déviation périodique du faisceau dans deux
directions perpendiculaires pour que ce spot
électronique balaie la partie observée de
l’objet.
 Le balayage

Le contrôle du balayage de la surface de l'échantillon est assuré par des bobines de

déflexion, alimentées par une source électrique délivrant un courant en dents de scie
(déviation en x) et un courant en escalier (déviation en y) : le faisceau se déplace
donc sur la surface de l'échantillon suivant des lignes xx' qui se décalent
parallèlement à elles mêmes selon la direction y
 Électrons rétrodiffusés

L'image formée à faible amplification représente une surface d'environ 6 mm2 de

l'échantillon. À plus forte amplification la surface peut représenter 0.09 um 2 de
l'échantillon.

L'amplification de l'image correspond à une diminution de la surface balayée sur

l'échantillon
 Détection des électrons

Trois détecteurs sont le plus souvent utilisés:

 Détecteurs pour les électrons secondaires

Détecteurs pour les électrons rétro-diffusés

Détecteurs des rayons-X

Pour ces derniers, on distingue:

 les détecteurs en spectroscopie d'énergie ou Energy dispersive spectrometry

(EDS)

 les détecteurs en spectroscopie en spectroscopie de longueur d'onde:

Wavelenght Dispersive Spectrometry ou "microsonde de Castaing".
 Détection des électrons secondaires

Le détecteur d' électrons secondaires ET (Everhart-Thornley) est composé

principalement d'une cage de Faraday, d'un scintillateur et d'un photo-multiplicateur.
Les signaux détectés sont inférieurs à 50eV (ES faible énergie).
La cage de Faraday attire vers elle les électrons secondaires émis dans toutes les
directions. Cette attraction n'est pas suffisamment élevée pour dévier de leur
trajectoire les électrons primaires et rétro-diffusés ayant des énergies supérieures à
50eV.
 Détection des électrons secondaires

Le scintillateur transforme les électrons secondaires en signal lumineux. Une tension

de 12 kV accélère les électrons secondaires (faible énergie) à leur arrivée dans le
détecteur, ce qui assure l'excitation du scintillateur.
L'impact avec le scintillateur produit des photons, conduits par un guide de lumière à
la fenêtre d'entrée d'un photomultiplicateur qui amplifie le signal lumineux sans
introduire un bruit de fond significatif.
Ce signal est alors utilisé pour former l'image sur l'écran cathodique du microscope.
 Détection des électrons secondaires

On élimine les électrons réto-diffusés tout en augmentant la proportion des électrons

secondaires en :
 rapprochant l'échantillon de l'objectif
 basculant l’échantillon
 diminuant l’énergie du faisceau primaire.

Pour éliminer les électrons rétrodiffusés et n'avoir qu'un signal de secondaires, on

place un deuxième détecteur dans la colonne, au-dessus de l'objectif, qui va
récupérer les secondaires remontants le trajet optique à contre sens.
 Détection des électrons rétrodiffusés

Le détecteur à d'électrons rétro-diffusés est formé d'un anneau semi-conducteur situé à la

base de la lentille électromagnétique finale .
 Détection des électrons rétrodiffusés

Le détecteur à d'électrons rétro-diffusés est formé d'un anneau semi-conducteur situé à la

base de la lentille électromagnétique finale . Lorsque les électrons rétro-diffusés frappent la
surface du semi-conducteur, une ségrégation ionique s'y produit. La présence d'un champ
électrique interne est assurée par une diode de silicone située dans le semi-conducteur. Elle
permet l'attraction de la charge négative à un pôle du semi-conducteur et de la charge positive à
l'autre pôle. Ce courant électrique est mesuré et amplifié, puis transmis à l'écran. Le détecteur
doit être placé le plus près possible de l'échantillon de façon à assurer une détection efficace. La
sensibilité du détecteur permet la détection d'électrons d'énergie supérieure à 50 eV .
Détection des électrons rétrodiffusés

détecteur d'électrons rétodiffusés (YAG)

 Détection des rayons-X (EDS)

Les détecteurs en spectroscopie d'énergie ou Energy dispersive spectrometry

(EDS)

Le détecteur de rayons"x" utilisé se présente sous la forme d'un petit tube recourbé
de 30 degrés d'angle à son extrémité et contenant un semi-conducteur constitué
d'un cristal de silicone et lithium appelé "SiLi".
 Détection des rayons-X (EDS)

Le détecteur de rayons"x" utilisé se présente sous la forme d'un petit tube recourbé
de 30 degrés d'angle à son extrémité et contenant un semi-conducteur constitué
d'un cristal de silicone et lithium appelé "SiLi".
Ce détecteur absorbe les rayons"x" émis dans sa direction ce qui provoque la
libération d'électrons dans le semi-conducteur.

Chaque rayon"x" réagit donc plusieurs fois avec les atomes du cristal semi-
conducteur. La libération de charges négatives entraîne la formation d'ions positifs
(charges positives).
Le principe de la détection revient donc à mesurer le nombre de charges créées
dans le cristal durant l'absorption des rayons"x".

Une certaine tension est appliquée au cristal, de façon à attirer les charges positives
et négatives vers un des deux pôles du cristal, formant ainsi un faible courant
électrique.
 Détection des rayons-X (EDS)

Il est nécessaire de maintenir le détecteur à basse température pour deux raisons :

 avoir une conductivité électrique minimale du semi-conducteur en dehors de la

présence de paires électrons-trous

 réduire au maximum le bruit de la chaîne d'acquisition ; le préamplificateur,

constitué d'un transistor à effet de champ (FET) est d'ailleurs également refroidi.

Le cryostat, maintenu sous vide, est fermé par une fenêtre qui doit rester
transparente aux photons X : elle peut être en béryllium (permettant la détection des
éléments à partir du sodium) ou en polymère ultramince (permettant la détection à
partir du bore). L'inconvénient de ce dernier type de fenêtre est d'être extrêmement
fragile.
 Système de pompage

Un ensemble de pompage automatique composé d'une pompe à palette, et une

pompe à diffusion d'huile parfois remplacée par une pompe turbomoléculaire permet
de vider la colonne en moins de deux minutes.

Par un jeu de diaphragmes judicieusement disposés on peut travailler au niveau de

la chambre objet à des pressions quasi atmosphériques ! (Voir le Microscope
Environnemental.)

Il s'agit d'un MEB à pression variable Il fonctionne comme tous les MEB en vide
secondaire (10-3 Pa) mais peut fonctionner, et c'est là son originalité, en vide
primaire (gamme de 1 à 270 Pa), ce qui permet de ce fait l'observation directe
d'échantillons dans leur état naturel.

Il n’est donc plus nécessaire de recourir aux techniques de préparation souvent

indispensables en microscopie électronique à balayage (notamment la métallisation
des échantillons non-conducteurs).