Introduction 

:
Au cours de ces dernière années et grâce aux progrès réalisés dans les
domaines de l'électronique, de l'imagerie, de l'acquisition et des traitements
des données, les techniques de microscopie électronique se sont
considérablement développées et perfectionnées. Parmi toutes les
microscopies électroniques, la microscopie électronique à balayage (MEB). Est
une des méthodes d'observation et d'analyse les plus usité en geologie, science
des matériaux et biologie. Cette nouvelle technologie a permis, du fait de sa
profondeur de champ , l'observation de relief d'échantillon massifs.

Principe :
Le microscopie électronique à balayage n'est pas proprement dit un
microscope conventionnel dans le sens optique du terme . En effet , il n'y a pas
formation d'une image par une lentille objectif comme cela est le cas en
microscopie optique et en microscopie électronique en transmission mais
l'image est formé de manière séquentielle en balayant la surface de
l'échantillon et en recueillant les particules émises.

Instrumentation :
Le schéma ci résume les composants essentiel d'un microscope électronique à
balayage. Le microscope et notamment la cathode est placé dans un vide plus
ou moins poussé qui dépend de la nature du filment
(10-5 torr pour un filament de tungstène à 10 -11 torr pour un canon à émission
de champ).
● Le canon à électrons (1) :
 Qui produit le faisceau électronique,ce canon est porté à la masse -Vo. Les
tensions d'accélération courante se situent entre 10 et 50 Kev. L'anode est à la
masse(2). Le filament est soit un filament de tungstène, de LaB6 ou à effet de
champ.

● Le Système des condensateurs (3) :

Permet de former une image réduite du crosse over qui est ensuite projeté par
une lentille objectif su l'objet. Ces
Condenseurs permettent d'agir sur l'ouverture du faisceau et donc la taille de la
sonde d'analyse (jusqu’à 0.5 nm).

● Le Système de balayage (4) :

Formé par les bobines de déflexion permet de déplacer le sonde sur l'objet. Le
grandissement est déterminé entre l'amplitude du balayage image et celui de
l'objet. Ce spot est ensuite projeté sur l’échantillon par une lentille objectif (5).

● Échantillon- détecteur :