MICROSCOPE

ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE

Pr, belakhmima 2023-2024

INTRODUCTION

 La microscopie est un ensemble de techniques permettant

d’obtenir une image des structures. Elle permet de rendre
visible les éléments invisibles à l’œil nu, soit par leur taille, soit
par leurs couleurs.
 Lamicroscopie est un ensemble de techniques d’imagerie
des objets de petites dimensions. L’unité de mesure utilisée
en microscopie est le µm, nm et A °.
INTRODUCTION

 Le pouvoir séparateur est la capacité de distinguer deux

points adjacents comme distincts. L’œil a la capacité de
distinguer des particules d’un diamètre pouvant atteindre 0,1
mm. Toutefois, elles doivent être séparées entre elles d’une
distance d’au moins 50 μm.

 Lepouvoir séparateur de l’œil est de 50 μm. On parle de

résolution
INTRODUCTION

 Laqualité d’un microscope

ne dépend pas du
grossissement, mais du
pouvoir séparateur, c’est-à-
dire de la capacité que
possède cet instrument
pour séparer 2 points
voisins. Rien ne sert
d’agrandir une image qui
serait floue
PRINCIPE
 Le principe est dans tous les cas le
même : une onde est envoyée sur
la préparation ou émise par la
préparation. Cette onde est
captée par un objectif qui la
concentre et passe par un oculaire
qui crée une image observable,
cette image est soit observée à
l’œil nu, soit photographiée, soit
enregistrée par caméra et stockée
sur ordinateur pour retraitement
TYPE DE MICROSCOPE

 Les performances de tout instrument optique sont

cependant limitées par la résolution appelée aussi pouvoir
séparateur. Autrement dit, en dessous d’une certaine taille,
on ne peut plus discerner les détails de l’objet observé. Mais
ce n’est qu’au XIXème siècle que l’opticien allemand Ernst
Abbe a montré que le pouvoir séparateur de tout
microscope avait une limite physique dont la valeur est du
même ordre de grandeur que la longueur d’onde de la
lumière utilisée.
TYPE DE MICROSCOPE

 La relation bien connue en optique s’écrit :

 La valeur de d est la distance de résolution

n l’indice de réfraction du milieu
λ la longueur d’onde
α ouverture angulaire de l’objectif
CHOIX DU TYPE DE MICROSCOPE
TYPE DE MICROSCOPE

 La microscopie est divisée en deux grands

groupes :

 la microscopie optique λ la longueur d’onde

entre 400 et 700nm
 Cet appareil utilise des lentilles optiques pour
former l’image en contrôlant le faisceau lumineux
et pour illuminer l’échantillon.
 Elle permet l’observation de la structure globale.
Les meilleurs microscopes optiques sont limités à
un grossissement de 2000 fois
TYPE DE MICROSCOPE
 la microscopie électronique:
 Peutêtre classifier en plusieurs catégorie selon le où les
détecteurs ainsi le principe de fonctionnement.
 M.E.B.

 M.E.T.

 XPS

 AFM
CHOIX DU TYPE DE MICROSCOPE
CHOIX DU TYPE DE MICROSCOPE
M.E.B.
M.E.B.
M.E.B. : ANATOMIE
M.E.B. : SOURCE D’ELECTRONS
« CANON À ÉLECTRONS »

 Dans un microscope, on utilisera 2

mécanismes pour produire des électrons libres:
soit par émission thermo-ionique soit par
émission de champ.
 Les 2 mécanismes d’émission se laissent
décrire, avec une très bonne approximation,
par le modèle des électrons libres.
M.E.B. : CANON À ÉMISSION
THERMO-IONIQUE
 Dansle cas particulier d’un métal chauffé dans le
vide à une température suffisante, un certain
nombre d’électrons de conduction acquièrent
une énergie nécessaire pour franchir la barrière
de potentiel φ, de l’ordre de quelques volts; le
métal s’entoure d’un nuage électronique.
 Enchauffant un filament métallique, dans le vide,
et en accélérant les électrons par un potentiel U,
on obtient un faisceau d’électrons d’énergie :
E = eU
M.E.B. : CANON À ÉMISSION
THERMO-IONIQUE

 La densité d’émission thermo-ionique J de la source est exprimée

par l’équation de Richardson-Dushmann :

 où eφ = W est le travail d’extraction

 T = la température de chauffage du filament
 k = constante de Boltzmann
 A0 = 120 A/cm2K2 constante universelle.
M.E.B. : CANON À ÉMISSION
THERMO-IONIQUE
M.E.B. : CANON À ÉMISSION
THERMO-IONIQUE
M.E.B. : CANON À ÉMISSION DE
CHAMP
Les canons à émission de champ (FEG
= Field Emission Gun) utilisent un autre
mécanisme d’émission.
Lorsqu’un métal est soumis à un champ
électrique suffisamment élevé, de
l’ordre de 10^9à 10^10 V/m, les
électrons de la bande de conduction
peuvent franchir la barrière de
potentiel de surface, même à
température ambiante
 M.E.B. : INTRODUCTION À L’OPTIQUE
ÉLECTRONIQUE

• L’accélération des électrons dans un champ

électrostatique entre la cathode et l’anode

• l’action du champ magnétique avec une

symétrie axiale comme les lentilles
électromagnétiques

• l’application de champ magnétique et

électrique
M.E.B. : INTRODUCTION À L’OPTIQUE
ÉLECTRONIQUE
Les caractéristiques principales en optique
électronique d’un électron sont sa masse au
repos m0 et sa charge -e Dans un champ
électrique E et un champ magnétique B, les
électrons sont soumis à une force de Lorentz
M.E.B. : LES LENTILLES ÉLECTROSTATIQUES

En principe, ce sont 2 plaques (chapitre

2), percées en leur milieu, coaxiales et
ne se trouvant pas au même potentiel.
La convergence (inverse de la distance
focale) 1/f d’une lentille électrostatique
est donnée par une relation de la forme:
M.E.B. : LES LENTILLES ÉLECTROSTATIQUES

En principe, ce sont 2 plaques, percées

en leur milieu, coaxiales et ne se
trouvant pas au même potentiel. La
convergence (inverse de la distance
focale) 1/f d’une lentille électrostatique
est donnée par une relation de la forme:
M.E.B. : LES LENTILLES MAGNÉTIQUES

Dans les microscopes électroniques modernes, les lentilles

magnétiques seront pratiquement toujours utilisées à cause de
leurs faibles coefficients d’aberration et de leurs systèmes de
réglage plus surs que pour les lentilles électrostatiques. Elles se
composent d’une bobine où passent le courant, d’une cage
en fer doux pour focaliser le champ et d’une pièce polaire en
matériau doux magnétiquement, extrêmement homogène et
isotrope. La convergence est
M.E.B. : LES SYSTÈMES DÉFLECTEURS

La conception d’un microscope électronique, aussi minutieuse soit-

elle, ne permettra jamais d’avoir un alignement correct, c’est-à-dire
que le faisceau primaire passe dans l’axe optique de toutes les
lentilles. Autrefois, on bougeait le canon à électrons, les condenseurs
et les différentes lentilles intermédiaires et de projection de façon
mécanique de manière à avoir coïncidence de leurs axes avec l’axe
de la lentille objectif. L’ajustement mécanique crée des instabilités
surtout au niveau du vide.

Les microscopes modernes sont équipés de systèmes déflecteurs qui

permettent d’ajuster le faisceau primaire à l’axe optique de chaque
bobine.
M.E.B. : LES SYSTÈMES DÉFLECTEURS
M.E.B. : FONCTIONNEMENT
M.E.B. : CHAMBRE D’OBSERVATION
M.E.B. : PLATINE PORTE-OBJET
M.E.B. : SYSTEME DE POMPAGE

• Pompe à membrane

• Pompe à palettes

• Pompe à piston
M.E.B. : MODES DE DETECTION :
DÉTECTEUR D’ÉLECTRONS RÉTRODIFFUSÉS
Le détecteur, un semi-conducteur spécialement
développé par JEOL est divisé en 5 groupes, ce qui
permet de sélectionner le signal adapté selon le but de
l’observation.
Sélection angulaire
M.E.B. : MODES DE DETECTION :
DÉTECTEUR D’ÉLECTRONS RÉTRODIFFUSÉS
Le détecteur, un semi-conducteur spécialement
développé par JEOL est divisé en 5 groupes, ce qui
permet de sélectionner le signal adapté selon le but de
l’observation.
Sélection angulaire
M.E.B. : MODES DE DETECTION :
DÉTECTEUR D’ÉLECTRONS RÉTRODIFFUSÉS
Selon l’angle des électrons rétrodiffusés, on améliore les
informations de composition par le capteur intérieur,
alors qu’on améliore les informations topographiques
par les capteurs extérieurs. De plus, en comparant les
contrastes du corps fluorescent sous le film d’aluminium,
on peut étudier les différentes informations liées à la
profondeur.

Reconstruction 3D
M.E.B. : MODES DE DETECTION :
DÉTECTEUR D’ÉLECTRONS SECONDAIRE

Ce détecteur collecte à la
fois des signaux d’électrons
et de photons. Il améliore le
rapport signal/ bruit et affine
la résolution topographique.
M.E.B. : MODES DE DETECTION : DÉTECTEUR
E.B.S.D. ELECTRON BACKSCATTER DIFFRACTION

Ce détecteur dédié à la
cartographie cristallographique à
haute résolution, par diffraction
des électrons rétrodiffusés
M.E.B. : MODES DE DETECTION : DÉTECTEUR
E.D.S : ENERGY DISPERSIVE SPECTROSCOPY

Le système EDS permet d'effectuer

une analyse élémentaire et
chimique d'un échantillon. En se
basant sur l’energie des RX capté
 M.E.B. : MODES DE DETECTION : DÉTECTEUR
W.D.S : WAVELENGTH DISPERSIVE SPECTROSCOPY
La spectroscopie de rayons X à dispersion
de longueur d'onde ou ‘Wavelength
Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une
analyse élémentaire et chimique d'un
échantillon à l'intérieur d’un microscope
électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une
microsonde. Les détecteurs WDS recueille
des données précises à l'échelle micro et
nanométrique.
 M.E.B. : MODES DE DETECTION : COUPLAGE

MEB-Raman

Un couplage qui donne des

spectres permettant
d’identifier les phases sans
ambiguïté et avec une
grande précision
M.E.B. : NATURE ET PRÉPARATION DE
L’ÉCHANTILLON
M.E.B. : UTILISATION
M.E.B. : ÉTUDE DE CAS