Cours « Capteurs »

septembre 2010

Raoul Herzog
raoul.herzog@heig-vd.ch
bureau C01a
tél : 024 557 61 93

slide 1
Objectifs du cours de capteurs

1)) Connaître qquelques

q principes
p p p physiques
y q de différents capteurs
p
2) Connaître quelques principes du conditionnement du signal
3) Connaître les caractéristiques et les limitations de différents
capteurs

point de vue utilisateur :

• bon choix du capteur
p ppour une application
pp concrète
• savoir utiliser un capteur

point
i t de
d vue développeur
dé l :
• concevoir et développer un capteur

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Différents aspects dans les capteurs

principes physiques
exploités
ié

conditionnement
diti t du
d signal
i l

transport de l‘information
bus de capteurs

technologie, produits

point de vue utilisateur

choix du capteur
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motivation (1)
Une voiture moderne comprend une centaine de capteurs !
Capteurs liés au
- moteur et système de traction,
- au confort,
- à l‘environnement,
- et surtout à la sécurité
Quelle: BMW AG

Objectif des constructeurs d‘automobiles : zéro accidents

Eviter tout accident, même si le conducteur est inattentif et/ou pétulant.

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capteurs pour la sécurité des voitures

• reconnaissance de piétons
p
• distance entre les voitures sur l‘auto-
route

capteur de pression des pneus

 transmission sans fil

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motivation (2)
Il n‘y a plus de constructeur d‘automobile suisse, mais ...
La Suisse est très forte dans le domaine des capteurs.
(exemples d‘entreprises suisses : Posic, LEM, Vibromètre, Sensirion,
Baumer, Kistler, ...)

L capteurs : un domaine
Les d i
• de haute technologie
• de multi-technologie
pphysique,
y q , chimie,, matériaux,, mécanique,
q , électronique,
q , traitement du
signal, « intelligence », techniques de miniaturisation, ...

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motivation (3)
Les capteurs : un domaine innovateur
• du
d conditionnement
di i d signal
du i l
au capteur « intelligent »
• p. ex. numérisation dans le capteur
•p
p. ex. compensation
p des dérives thermiques
q
• p. ex. autocalibration
• p.
p ex
ex. transmission sans fil

miniaturisation sur le chipp :

MEMS
micro electromechanical systems

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classification des mesurandes
• mécanique
q
déplacement, vitesse, accélération, force, pression, masse, débit, ...
• électrique
courant, charge, impédance, ...
• thermique
th i
température, flux thermique, ...
• magnétique
champ magnétique, perméabilité, ...
• radiation
lumière visible,
visible rayons X
X, radioactivité
radioactivité, ...
• bio / chimique
h idi é détection
humidité, dé i de d gaz, sucre, hormones,
h paramètres
è vitaux
i
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 Généralités : capteurs et chaînes d‘acquisition

Conditionneur signal
mesurande élément sensible traitement des
typ. grandeur (transducteur) signaux
électrique
non-électrique exploitable

grandeurs d‘influence
(perturbations)

Idéalement, le signal de sortie du capteur devrait être une image fidèle du

mesurande,, mais ...

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problèmes ...

• le signal fourni par le capteur dépend

aussi des grandeurs d‘influences
d influences (p.
(p ex.
ex dérives thermiques
thermiques,
bruit de mesure, etc.).
• une variation du mesurande provoque une variation retardée du signal
de sortie (temps de réponse fini).
• le fait d‘introduire un organe de mesure peut déjà changer
l‘environnement, et le mesurande.

 Le but réaliste consiste à avoir une image du mesurande

aussii fidèle
fidèl que possible
ibl (mieux
( i : aussii fidèle
fidèl que nécessaire
é i !)
slide 10
grandeurs d‘influence, exemples
• température ambiante
• pression, accélération, vibrations
• humidité
• champs
p magnétiques
g q
• tension d‘alimentation
• lumière ambiante
Possibilités pour réduire l‘effet nocif des grandeurs d‘influence :
• blindage,
bli d iisolement
l t
• stabiliser les grandeurs d‘influence à des valeurs connues, et
é l
étalonner le
l capteur
• compenser les grandeurs d‘influence (p.ex. montage différentiel)

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exemple « micro-capteur intelligent »
capacité miniaturisée avec un diélectrique en polymère hydrophile
technologie
g CMOS
changement d‘humidité  changement de capacité  signal utile
avec compensation des grandeurs dd‘influence
influence (température)
et calibration automatique

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 Courbe d‘étalonnage statique, cas idéal
réponse du capteur
s  F (m)

nécessite une mesure de référence

du mesurande !
mesurande

s
sensibilité du capteur en régime statique: S (pente locale)
m m
i

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linéarité
réponse
p du capteur
p

(droite de régression)

mesurande m

La linéarité s‘exprime en %, c‘est l‘erreur relative maximale

entre la droite de régression et la caractéristique réelle.

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définition : résolution, étendue de la mesure
La résolution
L é l ti d‘und‘ capteur
t estt la
l plus
l petite
tit variation
i ti dud mesurande
d
que le capteur est capable de décéler (à ne pas confondre avec la
précision).
é ii )
étendue de la mesure :
• zône nominale
= plage nominale du mesurande (fonctionnement normal)
• zône de non-détérioration
hors specs,
p , ne fonctionne pplus,, mais ppas de destruction
„absolute maximum ratings“
• zône de non-destruction
modification permanente des caractéristiques !

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rapidité d‘un capteur
• bande passante
fréquence de coupure où la sensibilité a diminué de -3dB
• temps de réponse
saut du mesurande : le temps nécessaire pour que le signal du capteur
arrive dans une fourchette de 5% de la valeur finale

 bande passante et temps de réponse sont liés.

3
pour un système linéaire : Trépp  3  
2   fc

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erreurs de mesure

• erreurs systématiques
y q
(p.ex. dérives, viellissement, mauvaise utilisation, etc
• erreurs accidentelles (aléatoires)
p.ex. bruit, parasites, etc

slide 17
erreurs de mesure

slide 18
Caractéristiques statistiques d‘un capteur

Précision = Fidélité (répétabilité) + Justesse

slide 19
Choix du capteur
• nature du mesurande, capteur basé sur quel principe physique ?
• performances (résolution,
(résolution précision,
précision plage de mesure,
mesure ...)) ?
• caractéristiques d‘environnement, grandeurs d‘influence ?
• encombrement ?
• pprix ?
• fiabilité (MTBF : Mean Time Between Failures) ?
1
MTBF 

1 N N déf
: taux de défaillance  
N ppopp t

slide 20
« courbe de baignoire »

 : taux de défaillance

défaillances
prématurées
usure
viellissement

défaillances aléatoires

temps (vie du produit)

slide 21
 éléments fonctionnels d‘un capteur
énergie d‘excitation énergie d‘alimentation

modification signal
mesurande de l‘élément sensible signal électrique utilisable
tili bl

élément transducteur conditionneur

sensible

grandeurs d‘influence
(perturbations)

slide 22
exemples d‘éléments sensibles

accéléromètre MEMS

slide 23
exemples d‘éléments sensibles

slide 24
exemples d‘éléments sensibles

slide 25
exemples d‘éléments sensibles

• polymère qui change ses propriétés électriques en fonction de

l‘h idi é ambiante
l‘humidité bi
• jauge de contrainte
• fil chaud pour mesurer la vitesse d‘un écoulement de fluide
• bilame, thermistance

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Capteurs (transducteurs) passifs

• capteurs résistifs

• capteurs inductifs

• capteurs capacitifs

Capteurs (transducteurs) actifs

• capteurs piézoélectriques

• capteurs
t ttachymétriques
h ét i

slide 27
Capteurs résistifs
• capteurs potentiométriques
mesure du
d déplacement
dé l t linéaire
li é i / angulaire
l i
• jauges de déformation / contrainte
mesure de déformation, force / effort, couple, pression
• capteurs thermiques
mesure de température et de débit
• capteur dd‘humidité
humidité

slide 28
rappel : structure de la matière
Influence du nombre d’électrons contenus dans la couche de valence

1 2 ou 3 électrons
1, él t Couche 4 5,
4, 5 6,
6 7 ou 8 électrons
él t
de
valence ?
4 électrons
(quelques cas)
Les électrons
libres sautent Dopage non Capture des
d’un atome à ? électrons libres
l’autre
oui

Semi
Semi-
C d t
Conducteur I l t
Isolant
conducteurs
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capteur potentiométrique (bas de gamme)

slide 30
linéarité

slide 31
résolution limitée du potentiomètre bobiné

slide 32
inconvéniants des capteurs potentiométriques
• contact du curseur  usure, durée de vie limitée
• frottement (finesse)
• vitesse limitée
• coefficient de température
• bruit du potentiomètre
• résolution limitée

slide 33
écran tactile résistif

slide 34
Effet piézorésistif (à ne pas confondre avec piézoélectrique)

d dV
 C
 V

C : constante de Bridgman
C = typ.
yp 1.13 ... 1.15 ppour des jjauges
g métalliques
q
C = typ. 100 pour les jauges à semiconducteur

slide 35
 facteur de gauge (sensibilité relative)
l
R
A
paramètres l,, , et A changent
Les 3 p g simultanément,, et les effets se rajoutent
j
Après linéarisation, on trouve :

dR dl
 (1  2  C (1  2 )) 
R l
déformation 
changement
h relatif
l if facteur de jauge
de la résistance

slide 36
jauge de contrainte

slide 37
Jauge de contrainte collée sur une
structure mécanique

slide 38
jauge de contrainte collée sur une structure
mécanique (p.ex. barre de traction)
permet aussi de mesurer des forces

corps d‘épreuve

: mesurande primaire

loi de Hook :
A : section du corps dd‘épreuve
épreuve
E : module de Young
mesurande secondaire
slide 39
caractéristique déformation / contrainte

contraainte  [N/m2] = [Pa]]

rupture
t

zône à déformation plastique

 irréversible

zône élastique
 loi de Hook

2% max
déformation  = L / L

slide 40
Grandeurs d‘influence

• température
influence sur résistivité & différence dans les coefficients de dilatation
 jauges à semiconducteurs sont très sensibles à la température
autoéchauffement  courant de mesure typ. limité à ~20 mA pour
jauges métalliques.
éta ques.
• tension thermoélectrique à la jonction de 2 métaux différents
(élé
(élément
t thermocouple)
th l )

slide 41
différentes configurations en pont de Wheatstone

buts :
• augmenter la sensibilité
• augmenter la linéarité
• compenser les dérives thermiques

F
p. ex.
R0 (1  x)

R0 (1  x)

slide 42
caractéristiques typiques des gauges

métallique semiconducteur

plage de mesure 10-7 ... 0.04 10-9 ... 0.003

facteur de gauge 1.8 ... 2.35 50 ... 200

résistance  120, 350, ..., 5‘000 1‘000, ..., 5‘000

tolérance de la résistance 0.1% ... 0.2% 1% ... 2%

taille, mm 0.4 ... 150 1 ... 5

standard : 3 ... 6
slide 43
 capteurs de force piézorésistifs basés sur semi-
conducteurs
d t
F>0

capteur miniature de force, circuit intégré SMD

incorpore un pont de Wheatstone

slide 44
exemple de produits industriels

slide 45
capteur de force 6 axes basé sur jauges de contrainte

mesure les forces Fx, Fy, Fz, et les couples Tx, Ty, Tz

applications p.ex. en robotique

slide 46
capteur de force pour mesurer la force de retenue de
la ceinture de sécurité

slide 47
application atomic force microscope „AFM“

slide 48
mesure de pression différentielle

élément sensible : diaphragme déformable

slide 49
autre application : accéléromètre

élément sensible = masse sismique + gauge de force

slide 50
 modélisation d‘un capteur d‘accélération
boîtier
mesure indirecte de l‘accélération
m
par la déformation de l‘élément de support
masse sismique
de la masse sismique
q

k d
buts :
accél :
• trouver
t l bande passante du
la d capteur
t !
mesurande
• comment dimensionner les éléments sensibles pour que le capteur
délivre un signal de sortie qui reproduit le plus fidèlement possible
l‘allure du mesurande ?

slide 51
Capteurs thermiques

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sondes en platine
• fil de platine (état de pureté : 99.999 %) enroulé sur un support
 précis, mais très cher
• déposition film mince de platine, ~1 m d‘épaisseur sur support
 réponse rapide, moins cher

R(T) = R0 (1+ T) : comportement linéaire

PT100, PT1000
précision typique : 0.1% ... 1%
: typ.
typ 0.385
0 385 % / °C
comparaison : une résistance de précision a un coefficient de
températ re de 50 ppm = 50 * 10-6 (80 x moins qu‘une
température q ‘ ne sonde de PT)

slide 53
plage de mesure
sonde platine : typ. de -200°C ... 650°C, voire plus
pour les très hautes températures, on utilise plutôt le tungsten

symboles IEC normalisés :

slide 54
thermistances à semiconducteur
comportement nonlinéaire, souvent de type exponentiel

• PTC (= positive temperature coefficient)

• NTC (= negative temperature coefficient)
• CTR ((= critical temperature resistance)

slide 55
allures typiques

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