Applications duales des actionneurs piézoélectriques amplifiés Thème

Applications duales des actionneurs piézoélectriques

amplifiés
FRANK CLAEYSSEN, FRANÇOIS BARILLOT, GÉRALD AIGOUY, ALEXANDRE PAGÈS, THOMAS
MAILLARD, CHRISTIAN BELLY, ADRIEN GUIGNABERT, MATTHIEU LOGEAIS, ALEXANDRE
BATAILLE, ETIENNE BETSCH, GLADYS JAUSSAUD, MARC FOURNIER, MATHIEU BARRAJA,
JONATHAN STENTZ
CEDRAT TECHNOLOGIES S.A., 59 Ch. du Vieux Chêne - Inovallée - 38246 MEYLAN cedex, France

Résumé : Depuis plus de 20 ans, sous contrats CNES, DGA et ESA, les actionneurs piézoélectriques ont
trouvé des applications dans les instruments d’optiques spatiales. Des exemples récents incluent le micro
mécanisme de pointage de précision BSA pour ATLID ou la motorisation de compensation de filé de
miroir MEFISTO. Ces mécanismes assurent des mouvements précis et rapides tout en étant compacts,
légers et résistants aux chocs et vibrations. Ces avantages leur permettent de couvrir aussi de nombreux
besoins hors spatial, en stabilisation active et micro scanning dans des caméras Infra Rouge, en micro
motorisation en instrumentation ou en actionnement de puissance tels que le contrôle actif d’écoulement
en aérodynamique.

Abstract: For more than 20 years, under CNES, DGA and ESA contracts, piezo actuators have found
applications in space optic instruments. Recent examples include the ATLID BSA small Tip Tilt for
precision pointing and MEFISTO, a Tip Tilt for satellite motion compensation. These space mechanisms
perform high precision motions while being compact, lightweight and resistant to external vibrations and
shocks. These advantages allow also to cover many other needs, such as active stabilisation or micro
scanning in IR imagers, micro motorisation in instrumentation or power actuation as in active flow
control in aircraft.

Mots clés : actionneur piézoélectrique, moteur piézoélectrique, mécanisme, micro positionnement,

stabilisation active, pointage optique, tip-tilt, jets synthétiques

micromoteurs linéaires ou rotatifs pas à pas SPA, ainsi

1. Introduction
Pour des besoins duaux tels que de l’amélioration
d’images en satellite d’observation, d’orientation de
faisceaux laser en interférométrie laser (lidars,
horloges), de micro positionnement de sondes ou de
stabilisation active d’instrumentation embarquée, le
CNES, la DGA et l’ESA ont perçu l’intérêt des
actionneurs piézoélectriques dès les années 1990 : Les
céramiques piézo multicouches (MLA) faisaient leur
apparition, offrant des déformations actives de l’ordre
de 1/1000 et des forces élevées >20MPa, avec des
tensions de commande <200V, compatibles des
électroniques spatiales. Ces propriétés leur confèrent de
la haute résolution et de la raideur, engendrant une
que de solutions d’actionnement de puissance.
2. Mécanismes de pointage spatiaux
Grâce à l’héritage de PHARAO pour le CNES, CTEC
a développé le mécanisme BSA d’ATLID [6] (Fig. 1)
du satellite EARTHCARE de l’ESA pour AIRBUS. Le
BSA est un Tip-Tilt à 4 APA60SM® équipé de jauge
de contrainte (SG). Ce mécanisme de pointage optique
offre une course >3mrad, une résolution <0.4µrad, une
bande passante >2kHz. Il a passé les tests de vibrations
et de chocs >100g. Les modèles de vols ont été livrés
en 2016.

bande passante élevée. Par contre, la course réduite et

la fragilité des MLA nus étaient un frein à leur
application.
Pour exploiter le potentiel et contourner les limites des
MLA, CEDRAT TECHNOLOGIES (CTEC) a
développé les actionneurs piézo amplifiés APA®.
Grâce à leur coque assurant amplification et
précontrainte, ils produisent des courses de 20µm à Figure 1: BSA ATLID Figure 2: MEFISTO
2mm, des forces de 20N à 2kN, tout en assurant les
tenues aux vibrations et chocs de lancement requises. Dans le cadre du projet DGA RAPID MEFISTO pour
Les APA® sont à présent utilisés pour des mécanismes la Composante Spatiale Optique de défense, CTEC a
XY, des Tip-Tilts, etc. Ils sont aussi à la base de étudié la faisabilité d’un mécanisme (fig.2) destiné à

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assurer de la compensation de filé en satellite

d’observation. Grâce à 8 APA120ML, il entraine un
miroir de 730gr, suivant une dent de scie de fréquence
> 100Hz avec une erreur de vitesse <1%, tout en tenant
les contraintes de lancement.

3. Micro-mécanismes de caméras

Figure 5: RSPA Figure 6: FSM-MSPA

A partir de 2000, CTEC s’est engagée sur la
démocratisation de ses technologies spatiales pour
4. Actionnement de puissance
adresser des applications non spatiales. Ainsi, en
optronique, depuis 2006, CTEC fabrique des micro-
Les grands actionneurs APA® (types ML, L, XL)
mécanismes XY (fig.3) et Tip-Tilt (Fig.4) à base
adressent plutôt des applications dynamiques de
d’APA XS pour cameras Infra Rouge. En cumul, puissance. En machines d’essai, ils sont utilisés pour
environ 10 000 APA® ont ainsi été intégrés. réaliser des shakers, des machines de cyclage en
Par exemple, avec les acquis PHARAO et ATLID,
traction, des tribomètres. En machine-outil, ils réalisent
CTEC a développé des Tip-Tilts DTT35XS-SG. Grâce
de l’anti-vibration ou de l’assistance vibratoire à
à leur grande bande passante et des résolutions
l’usinage. En fluidique, les APA® adressent des
illimitées, ces mécanismes de pointage optique rapide
électrovannes rapides, des régulateurs de pression et
assurent simultanément les fonctions de stabilisation
des compresseurs. En aéronautique, leurs applications
active sur 0-100Hz et de micro scanning, conférant à la concernent le contrôle actif d’écoulement, via des
caméra une très haute qualité d’image. Ces fonctions volets actifs et des jets.
sont assurées dans l’environnement vibratoire de la Ces applications de puissance émergent plus
caméra, avec une durée de vie de plus 20 ans sur plus
tardivement que les précédentes car plusieurs
de 1010 cycles.
problèmes doivent faire l’objet de montées en TRL, qui
seront soutenues par TOTAL dans le projet ALICOP:
gestion des échauffements, tenue en contraintes, besoin
de puissance élevée. Ainsi, pour actionner un APA L à
pleine course à 1kHz, un courant de 20A à 170V est
nécessaire, ce qui est à présent possible grâce aux
électroniques SA75D à récupération d’énergie
Figure 3: XY25XS Figure 4: DTT35XS développées par CTEC.
Grâce à ces solutions d’actionnement de puissance,
5. Micromoteurs piézoélectriques CTEC innove par exemple avec l’ONERA : En 2016,
le jet pulsé VIPER à base d’APA L alimenté par une
SA75D, a permis d’établir un record avec un débit de
Les petits APA® ont aussi permis l’émergence de
462g/s/m à Mach 1 de 0 à 500Hz. Sur cette base, des
nouveaux actionneurs à grandes courses avec blocage à
jets synthétiques sont développés dans le cadre du
l’arrêt : les moteurs de la famille SPA. Ces moteurs
projet DGA RAPID ASPIC.
fonctionnent par accumulation de pas, de l’ordre d’une
course d’APA, obtenus par effet inertiel. Le cumul de
pas permet ainsi aux modules MSPA d’entrainer
tangentiellement une charge sur des courses
potentiellement illimitées avec une résolution
submicronique.
Ces micromoteurs assurent ainsi des fonctions
d’entrainement d’optiques ou d’échantillons en linéaire
sur plusieurs cm, en rotatif sur 360° (fig.5) ou sur 3 Figure 7: Jet VIPER, base du projet ASPIC
degrés de liberté Rx, Ry, Tz (fig.6). Ils trouvent leurs
applications en instrumentation optique, rayon X,
MEB…

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6. Conclusion & Remerciements

Partant d’applications spatiales, les actionneurs

piézoélectriques APA® se sont largement diffusés en
optronique et en instrumentation.
Via leur mise en moteur SPA, ils assurent des micro-
motorisations ‘direct drive’ rotatives ou linéaires à
longue course, innovantes.
Des travaux en cours leur permettent aussi d’entrer
dans les domaines de la productique, des machines
d’essai, de la fluidique et de l’aéronautique.
Les auteurs remercient chaleureusement les différents
partenaires qui ont accompagné CTEC dans ces
développements, notamment BPI France, CNES,
DGA, ESA, ONERA, TOTAL.

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