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c h a î N e d e F I Lt r at I O N

Filtration de l’air
en salle propre

de 3 520 particules supérieures ou poussières qui se présentent. On

Par dAniel BeRtin, administrateur de l’aspec égales à 0,5 µm par m3.
Un autre aspect d’importance pour
Pour garantir une filtration efficace d’une salle propre,
la définition d’une chaîne de filtra-
il est nécessaire de commencer par connaître la teneur tion est la maîtrise de la pollution
interne, donc du recyclage.
de l’air en nombre de particules pour choisir la classe
de filtres la plus adaptée à la zone ; sans oublier les outils
Le filtre est un appareil qui va cap-
l’aspect recyclage.
ter les particules contenues dans le
flux d’air qui le traverse. Le rende-
ment de cette opération est défini
utilise pratiquement l’efficacité
qui est la valeur numérique du
rendement ramenée en pourcen-
tage. Le filtre précédent a une effi-
cacité E = 75 %. Exprimée en pour-
centage, la pénétration également
employée, est 100-efficacité. Ainsi
pour le filtre ci-dessus la pénétra-
tion est 100 - 75 = 25 %.
Ce sont les filtres à base de média
qui sont les plus utilisés dans le

U
comme le rapport entre ce qui domaine de la salle propre. Ils
ne des conditions du d’origine anthropogène sont très est capté et ce qui se présente au sont divisés en deux catégories :
bon fonctionnement variées, l’être humain à lui seul filtre. Ainsi un filtre de rendement les filtres de ventilation et ceux à
d’une salle propre est peut produire quelques 1 000 000 de R = 0,75 retient les trois quarts des haute efficacité.
la teneur de l’air en particules > 0,3 µm par minute au
nombre de particules. repos. On comprendra aisément
A Efficacité des différentes catégories de filtres
Les filtres sont les outils indispen- que la concentration en particules
sables pour résoudre ce problème. de l’air est un élément important Catégorie Classe P de Efficacité Em % Efficacité
De nombreuses études donnent des pour dimensionner les filtres de C finale en % mini
en Pa Poussière Particules pour
indications sur la composition de premier rang. synthétique de 0,4 µm 0,4 µm
l’air extérieur. Entre l’air de l’antarc- Un deuxième élément d’im- G1 250 50 ≤ R< 65
tique qui affiche 5 000 particules portance est le travail fait par Grossier G2 250 65 ≤ R < 80
par litre et celui de l’environnement M. Whitby aux États-Unis, qui a G3 250 80 ≤ R < 90
d’un fumeur qui comprend environ permis de mettre en évidence G4 250 90 ≤ R
Moyen M5 450 40 ≤ Em < 60
100 milliards de particules par litre, que 99,9 % de l’aérosol atmosphé-
M6 450 60 ≤ Em < 80
il y a toutes sortes de qualité d’air. rique est inférieur à 1 µm. Ces don-
F7 450 80 ≤ Em < 90 35
L’aérosol atmosphérique est d’ori- nées nous permettent de choisir Fin F8 450 90 ≤ Em < 95 55
gine naturel et anthropogène. Les les filtres de centrales pour pro- F9 450 95 ≤ Em 70
sources naturelles sont principale- téger les filtres finisseurs. À titre
ment les océans, les volcans et les d’exemple, l’air d’une salle propre Les filtres à air à haute efficacité sont définis par la norme NF eN 1822.
feux de brousse. Les contaminations classe ISO 5 ne devra pas avoir plus

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Les filtres de ventilation sont régis propreté finale de la salle. La

par la norme NF EN 779. Ils sont B Groupes et classes suivant la NF EN 1822-1 protection des filtres finisseurs
utilisés comme épurateurs de est fondamentale pour leurs
Groupe Valeur globale Valeur locale (a) (b)
l’air dans les CTA, en gaine et en de filtre
durées de vie. Elle doit être par-
reprise et comme protection des Classe Efficacité % Pénétration % Efficacité % Pénétration % faitement maîtrisée pour pré-
filtres de procédé. Ils ne doivent de filtre voir leur remplacement, qui est
E10 ≥ 85 ≤ 15 -(c) -(c)
pas être utilisés comme finisseur. toujours une opération délicate
E11 ≥ 95 ≤5 -(c) -(c)
Ils comportent eux-mêmes trois dans ce contexte. Il est impor-
E12 ≥ 99,5 ≤ 0,5 -(c) -(c)
catégories : les filtres « grossiers », tant d’espacer au maximum ces
H13 ≥ 99,95 ≤ 0,05 ≥ 99,75 ≤ 0,25
les « moyens » et les « fins ». changements et dans certains
H14 ≥ 99,995 ≤ 0,005 ≥ 99,975 ≤ 0,025
Les efficacités, des filtres dits cas ne plus avoir à le faire durant
« moyen » et « fin », sont mesu- U15 ≥ 99,999 5 ≤ 0,000 5 ≥ 99,997 5 ≤ 0,002 5 toute la vie de l’installation. C’est
rées à l’aide d’un aérosol de dia- U16 ≥ 99,999 95 ≤ 0,000 05 ≥ 99,999 75 ≤ 0,000 25 le cas de nombreuses salles de
mètre 0,4 µm, et pour les médias U17 ≥ 99,999 995 ≤ 0,000 005 ≥ 99,999 9 ≤ 0,000 1 microélectronique.
synthétiques la charge électrique
a) Voir 7.5.2 de 1822-1 et 1822-4.
doit être évaluée. Les tests pour les Calcul de
b) des valeurs de pénétration locale inférieures à celles indiquées dans le tableau
filtres « moyen », « fin » et « gros- l’empoussièrement :
peuvent être convenues entre le fournisseur et l’acheteur.
sier » sont destructifs. Ils évaluent loi des perméances
c) Les filtres du groupe e (classes e10, e11 et e12) ne peuvent pas être soumis à un
l’efficacité moyenne du filtre. Les Il ne s’agit plus de décontaminer
essai d’étanchéité à des fins de classification.
filtres à air à haute efficacité sont l’air extérieur pour obtenir une
définis par la norme NF EN 1822 qualité d’air légèrement supé-
et servent à assurer le niveau de du filtre. Depuis janvier 2010, elle • Groupe U : filtres ULPA (filtres à rieure à celle de l’air extérieur,
propreté nécessaire à un process. définit trois groupes de filtres : très faible pénétration). il faut obtenir un air ayant des
Avec cette norme les fabricants ont • Groupe E : filtres EPA (filtres à Les filtres EPA peuvent se trou- caractéristiques bien précises
un référentiel commun : la MPPS haute efficacité). ver en CTA ou en gaine comme notamment en nombre de par-
(most penetrating particule size) • Groupe H : filtres HEPA (filtres à ultime protection des finisseurs ticules. Chacun des filtres de
qui établit l’efficacité la plus faible très haute efficacité). HEPA ou ULPA qui assurent la la chaîne de filtration doit
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avoir son rôle, il faut choisir la MPPS. On peut être plus pré-
le filtre finisseur en premier pour C Groupes et classes suivant la norme cis si on connaît les efficacités
pouvoir décider des autres étages. ISO 29463-1 - octobre 2011 des filtres en fonction de la taille
Pour ce faire, il est indispensable particulaire. Le tableau d’effica-
Classes Valeur globale Valeur locale
d’avoir une idée même approxi- et Groupes cité particulaire des filtres donne
Efficacité % Pénétration % Efficacité % Pénétration %
mative de la quantité de parti- des valeurs (données à titre indi-
ISO 15 E ≥ 95 ≤ 5 - -
cules que nous allons avoir en catif) qui peuvent servir pour ce
ISO 20 E ≥ 99 ≤ 1 - -
aval d’une série de filtres afin de type de calcul.
ISO 25 E ≥ 99,5 ≤ 0,5 - -
se situer dans la norme EN 14644- En prenant comme hypothèse que
ISO 30 E ≥ 99,9 ≤ 0,1 - -
1. On utilise alors la perméance P nous avons affaire à un aérosol
ISO 35 H ≥ 99,95 ≤ 0,05 ≥ 99,75 ≤ 0,25
qui est le rapport entre la quan- monodispersé. Une façon simple
tité qui traverse le filtre et celle ISO 40 H ≥ 99,99 ≤ 0,01 ≥ 99,95 ≤ 0,05 de calculer est de multiplier les
qui se présente. On a donc P =1 - R ISO 45 H ≥99,995 ≤ 0,0055 ≥ 99,975 ≤ 0,025 perméances des différents filtres
=1 - (E/100). En termes de nombre ISO 50 U ≥ 99,999 ≤ 0,001 ≥ 99,995 ≤ 0,005 par exemple. Prenons deux filtres
de particules on aura P=N/n avec ISO 55 U ≥ 99,999 5 ≤ 0,000 5 ≥ 99,997 5 ≤ 0,002 5 ayant les efficacités suivantes vis-
N le nombre de particules qui se ISO 60 U ≥ 99,999 9 ≤ 0,000 1 ≥ 99,999 5 ≤ 0,000 5 à-vis des particules de 0,5 µm :
présentent et n nombre de par- ISO 65 U ≥ 99,999 95 ≤ 0,000 05 ≥ 99,999 75 ≤ 0,000 25 • un F7 = 70 % la perméance sera
ticules qui passent à travers le ISO 70 U ≥ 99,999 99 ≤ 0,000 01 ≥ 99,999 9 ≤ 0,000 1 de 1- 0,7 = 0,3.
filtre. Considérons une chaîne ISO 75 U ≥ 99,999 995 ≤ 0,000 005 ≥ 99,999 9 ≤ 0,000 1 • un H10 = 98 % la perméance sera
de filtration composée de trois de 1- 0,98 = 0,02.
test effectués à la MPPS : particule comprise généralement entre 0,12 et 0,25 µm.
étages de filtration en série d’effi-
cacités respectives E1, E2, E3 pour Si nous avons un air contenant
une taille donnée de particules. P2 = n2 / n1. De même P3 = n3 / n2. chaîne de filtration s’obtient 100.10 6 particules de 0,5 µm,
Les perméances correspondantes La perméance globale Pg de la en faisant le produit des per- nous aurons à l’aval de cette
sont P1= 1 - (E1 / 100) P2 = 1 - (E2 / 100) chaîne est Pg = n3 / N. Si on a sa méances de chacun des filtres chaîne de filtration approxima-
P3 = 1 - (E3 / 100). Soit N le « nombre valeur, elle permet de calculer qui la composent. tivement : 100.106 × (0,3 × 0,02)
initial » de particules dans l’air ce qui sort quand on connaît ce Dans le cadre de la classification = 600 000 part de 0,5 µm. Le calcul
qui se présente. À la sortie du pre- qui se présente. ISO, on doit obtenir des concen- de la salle propre devra tenir
mier filtre, il reste n1 particules trations finales en fonction de compte d’autres paramètres tels
données par P1 = n1/N. Au deu- n3 n3 n2 n1 la taille particulaire. On peut que la concentration émise dans
Pg = = × × = P3 × P2 × P1
n n2 n1 n
xième filtre il se présente n1 par- faire des calculs « pessimistes » la salle par le procédé, par les
ticules et il en ressort n2 tel que La perméance globale d’une en prenant les perméances pour hommes et le taux d’air recyclé.
Cette loi des perméances ne peut
s’appliquer que sur une chaîne
D Tableau d’efficacité particulaire des filtres
de filtration utilisant les filtres
Particules 5 µm 3 µm 1 µm 0,5 µm 0, 3 µm 0,1 µm en fonction de leurs « compé-
Filtres tences » (exemple : ne pas utiliser
M5 85 % 65 % 10 % 5% un filtre de ventilation comme
finisseur…).
M6 90 % 85 % 45 % 25 % 20 % 15 %
F7 99 % 95 % 85 % 70 % 60 % 50 %
les chaînes de filtration
F8 99 ,90 % 99,50 % 98 % 90 % 80 % 70 % Dans un circuit aéraulique, la
E10 99 % 98 % 95 % 92 % chaîne de filtration sera établie
H13 99,99 % 99,995 % 99,99 % 99,97 % en fonction de la classe ISO choi-
sie et de « l’emploi » du filtre.
H14 99,9995 % 99,999 % 99,997 % Quand l’efficacité finale néces-
U15 99,9999 % 99,9997 % saire est fixée, la séquence de
U16 99,99999 % 99,99997 % filtration doit répondre à deux
critères essentiels : la propreté
ces valeurs (données à titre indicatif) peuvent servir de base pour le calcul des concentrations finales en fonction de la taille des particules. désirée de la salle et le mini-
mum de coût d’exploitation. Les

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chaînes de filtration, présentées
dans le schéma du local air condi-
tionné en bureau, sont données à
titre indicatif. Elles peuvent être
adaptées en fonction des besoins
particuliers d’un procédé ou des
lieux : bord de mer, désert, tro-
piques… Dans une CTA sur l’air
neuf, il est généralement admis
après un G4 de mettre un filtre
à poches de type M6 ou F7. Il doit
protéger la batterie et réduire
ainsi les fréquences de nettoyage.
En sortie, on pourra choisir un
F8 ou F9 rigide pour protéger les
gaines et le local. Dans tous les
cas, au rejet et à la reprise, les
filtres sont à adapter au procédé
et à la réglementation en vigueur.
SP83_17-38.indd 31
1 local air conditionné en bureau ou ERP
chaînes de filtration (données à titre indicatif).
d ossi er 31
Salle à écoulement
turbulent
Jusqu’à la classe ISO 6 de la norme
NF EN 14644, c’est l’écoulement
utilisé avec un taux de recyclage
qui varie selon le procédé.
Les classes ISO 7 et ISO 8 sont
utilisées par exemple dans une
cabine de peinture dans l’automo-
bile (ISO 8) avec zéro particule de
taille supérieure à 5 µm, un local
de stockage (ISO 7-8) ou une phar-
macie (ISO 7-8) (figure 2).
Salle à écoulement
unidirectionnel
À partir de la classe ISO 5,
la norme NF EN ISO 14644-1
recommande sans l’imposer
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2 Salle à écoulement turbulent 3 Cas du secteur pharmaceutique et apparenté

Local de la classe ISO 7.

4 Cas du secteur de la microélectronique

Le système de classe « a dans B » permet l’utilisation de toutes sortes

d’équipements d’épurations.

6 Schéma d’une zone 3 en milieu hospitalier

application que l’on trouve pour les doigts blancs ISO 4 ou ISO 3 au repos.

5 Schéma d’une zone 1 en milieu hospitalier

disposition de la zone 3 : réanimation, soins intensifs, chirurgie, chimiothérapie…

7 Schéma d’une zone 4 en milieu hospitalier

La zone 1 ne nécessite qu’une climatisation de confort.

E Activités exercées en production

et classes de propreté de l’air
Classe Niveau de risque Exemples de zones
IS O1-3 Risques très Hot process, photolithographie et gravure,
importants implanteurs
ISO 3-5 Risques importants Zones chargement, déchargement

ISO 5-7 Risques mineurs Zones périmétriques, couloirs, maintenance

ISO 7-8 Risques très limités découpe, contrôle final

disposition de la zone 4 : un bloc opératoire aseptique, cancérologie, greffé,
Le niveau de risques diffère selon les zones. ophtalmologie…

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d’utiliser ce type d’écoule-
ment. À la différence du f lux
turbulent, il permet une évacua-
tion « calme » de la contamina-
tion. Cette disposition entraîne
de lourdes conséquences sur
l’installation, la maintenance
et les coûts de fonctionnement.
En effet, ce type d’installation
entraîne 500 à 600 volumes heure
de renouvellement dans la salle.
Dans la pratique, les vitesses de
soufflage varient de 0,3 à 0,5 m/s.
Cette opération est assurée par
des recycleurs qui doivent bras-
ser l’air dans des conditions de
pertes de charges minimum pour
éviter toutes vibrations parasites
et échauffements.
Cas du secteur pharmaceutique
et apparenté
Le système de classe « A dans B »
permet l’utilisation de toutes
sortes de systèmes d’épurations
qui vont de la salle complète aux
isolateurs, aux hottes ou aux PSM
(poste de sécurité microbiolo-
gique) (figure 3). Cette disposition
est requise pour les remplissages
en aseptique. Les préparations de
type pesées, mélange, nécessitent
une classe C. Les équivalences
entre BPF et NF EN ISO 14644
sur le plan particulaire sont les
suivantes :
• La classe A correspond à une
classe ISO 5 sous flux unidirection-
nel au repos et en activité.
• La classe B correspond à une
classe ISO 5 au repos et ISO 7 en
activité.
• La classe C correspond à une
classe ISO 7 au repos et ISO 8 en
activité.
• La classe D correspond à une
classe ISO 8 au repos.
Cas du secteur de
la microélectronique
On notera l’utilisation de charbon
actif pour excréter dans certaines
salles comme la lithophotogra-
phie les pointes de contamination
moléculaire et sur l’air neuf
les contaminants extérieures
(figure 4).
Cas du secteur hospitalier
Le guide Uniclima « Traitement de
l’air en milieu hospitalier » définit
quatre zones à risques (figures 5
à 7).
La zone 1 ne nécessite qu’une cli-
matisation de confort.
La zone 2 peut recouvrir de la
médecine interne ou spécialisée,
hôpitaux de jour à orientation
infectieuse.
La zone 3 : réanimation, soins inten-
sifs, chirurgie, chimiothérapie…
La zone 4 : un bloc opératoire
aseptique, cancérologie, greffé,
ophtalmologie…
En conclusion, cette succession
de filtre opère une filtration
sélective des particules, d’où la
nécessité de bien les situer dans
la chaîne. Il convient d’augmen-
ter la protection du finisseur à
mesure que la classe devient
plus contraignante, son rem-
placement devenant de plus en
plus problématique. Par ailleurs,
la chaîne de filtration doit être
définie en ayant présent à l’es-
prit que le coût d’un filtre est la
somme de plusieurs éléments
en plus de son cout d’achat (la
main-d’œuvre, la consommation
d’énergie et le traitement du
déchet). Le coût total d’un filtre
de ventilation doit être amorti
par l’économie qu’il peut entraî-
ner sur la maintenance de l’ins-
tallation, comme par exemple,
les fréquences de nettoyage des
gaines, batterie… On s’apercevra
en faisant les calculs qu’il y a tou-
jours surdimensionnement de
la chaîne de filtration par rap-
port à la classe souhaitée. La pro-
preté de l’air soufflé n’est donc
plus un problème, mais ne doit
pas cacher les difficultés tech-
nologiques pour atteindre cet
objectif. n

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