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tu Lobatutoiz d'itude d6
ndtd'
Ce ta€ir d€ nenone a tt' elfectti ar sein
B t{r6 pour leu supoorl leu s p dsnce er srour a nB pa, enk pou eu eurien +u
cous de € amd6de naBil.
Je d€die ce tra!"il :
A toute mafamillz
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-At
uOmmaffe
SOMMAIRE
b Lo
"aadia"ii ilc. nqke..
. tesnkn ? lurfa.'quc .
__.7
d.7 : Les utdes n awpatpnx candrcteus A l ilat inttift iqre et dopis ..... -.. 3
...8
...8
b:cmditiordestabili€............-..............................................,.,......I
1.2.1.1.2:Stsucntreolehodquedesbandes..........................,,.................-I
Rq*tu.c---- ---
Chapttr lI : T€chniques de d6!01 ct caracdrisation dcs couches minces
fl.5.1.a : Desc.ipl'on,,....,,.....,,,
ll.?.2.a : la sp€ctroeopieU\rvsibje...............
LcEopaphqu?...
Et 4 CaMct&aatior eletryue
a{/'-
{$
ll
G /r,
lntroduction Gdndral
ittodtilbn fuhol
lJs oxyd6 h a$parenh contucteuis (TCO) so des matddaux remarqnables dans q€
en iaison de l 4tttenf
nonbreux domines qd peurert €tre [ilisdes daN divers dispositiis
otrique dlns le doE4e
de double popri6te, c@ducivili elecEique et fransp'rence
ieible.c6 t)w Pttpti,tlls lo l?d dcs candidats ideaux pour des applioatlo$ e
oproilecb onique et photorclraique
Pl6ier^ techni|rcs !,t utili\,es pou 'bktu tles litns dnrle de :rt' eL
la nddrqde
, bbjecnf de oe tralail estMa batd des 'ouhes n'tc6 d atrde le zt' d@es Al
par la lsl[iq!€ ellel : sri, cadtinE e1 le drydrel / efet du
dopaee tu
et Ag d6posees
r? pr@ier chapiae de ce t aEil est consacr6 t la descripnor ddtalllde des TCO aFsi
l ink'lt4L'ion dB ohten4ts I
k ohapirre trois cs, .o,rd.rl d to dis46sion e1 des
'isu
slJuoturale, oflique et l:lectique des cotrches minces
ehbor6es'
wacl&isation
06116rolitd zurlesTCO
Ic;nitolitds svr ks (TCo)t
L abjectif tle e chaPrte 6t de pftse er t itdt de t dn des Ica d defaie u,e etuqe
bibliogropliqre gaharole stt I ot'de de tinc Qna) conhe tn nainau Poteniel tD Tc()'
Porni les au I'vl qui prqentent ane banne enbe let Ptottti'tis
'notJ 'lsatiLt
iluniqtes a ap.rqres, en patticuliet tes Ot!'tes ttunsparcnb ACO)
'otdrcteun
IA o,yles tdsPaqtts .oid,ctd^ (fCO) vrt titb/iqta' d bLY d oxrttd nitu tqtt€
d aline.s sidple, binoire et pttts rtcdnent nultiples lls san' appliq&s en tdnt que carcn'es
L\tmib de.* carchd nrEer fCA e abtutrtuut dePendeP le^ Prcpr'ad optiq\2s
et Alech iques ces deb patu'n,tes ette Lonlothes duhAne k'"ps dre' d du46
'l'ie
pdtmates, codne : la shLitile de leiironnedent la tIistaw d I'abtusion lafunction de
selan ta thiorie des bonrles d qe4ie tun Aots ahdiqu^ sant Pasibtes : n4tat
sui-ronrlrcted el isola"l
1
(fco)t
pho'on! du -l$
{
r
(rco)l
tn8patettt (TCO)
1.1.3 : O ercs rk .hoLx ,les oxldcs
'ondu'leurs
Le TCO 1r pt6 apprcPnA 6t ettli qui 'ontre
ne bonne candfttiv" iled'icre nY
bante ,anqore$e aPtique mait n aublie pos
que il rd une linite suPtidre (e
tne
d,teflitree par ta thaoie de uonopon dd eledrcN
setPn
@tducti,itd o et de nMs\nsiar d
e : ]d chzrge itecfDnique
1
- la l6ic e klppknahtoiras daive\t eftoPsuler confle u bau'ttet W/ rc?
utilisail abtuent toriqre paw prot'ger ]d hit' de nati'ret b'tqM
nnt let prcPtiAGs Plts idportantes Pow qr'un Tco ' L obk
jr
dm4hilita nGcdnique
.le ces ptDpri tat rc diPeide\t pN seulement de ld canPosilhi chiflique nots
rco
3,2 - J,3
b1O
to
zTo
(5)
I
4 La nstunceetI@lqk: n"(a) (o/t')
Ld ptuPriAT akcniqu' dd dtls ta'sparents
"naucteurs
en
4 L. mobilitl, (cn'zn S)
I: L libftparcor noYen
YJ : la vitese de l ale.lran
hdt'ridu ot lo
ehtbibti sal le d. doPort ddns le 6eau dn
n l'inttodtcti't Iat)nt danne6 d'Ae ns entaiE llw I'aPpLtilion
Lo6 A\tn laPase
sots ]d bande de cotdu'tior IBC)
Aisi l ir{sie
p,,oao ni* a'an,ci" i^k
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n'"'N anisr^l dans ID bont' de co t'ctiar st bien
'iuA pt6
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l ars'ratlatian de ta coa'lu'1iat
Jacncuekt atteinte d ot
des tisistiiis tris faihles (de lhdre det ta"
tt a aA rcpPartu qu it est P$sible d areih&e
g. M),lotslue td tod de dapage sant ttu Abs [t6]
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Fig,e L5 : Les diffare d fu6es c*tolloEroPniq'es de I axrde le zinc : les alon^
O
tui:ntis anhe de gandes sPnifts grkes les at'tu6 de Zh sont les petites sphi6 tuna
> Ld snucturc heEanak de rrpe WutEire 4t defutje @nne et@t b 'tucrye
thetvtotiyfuniquede\t stable ddts 16 condilio's nohales et t4 kmPeratnle
> La structute Blende k bique) (NaCt) est ihstoble qui apPorait so6 dt:
't
pr$ior ek!a*: ce ltpe de shacture st obsesd la'sque zao est depas' slr
certains subt ts de synetrie crbtque
> la s1tuct ft Rach sdh \Ppanlt ias d4 Prcssiohs t" Ueeles et obt'kle
tF
Iai.i titis sut t s (rco)l
le rcnble de cooftlikdtian 6t 4
Zn
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nak diplncl de 0,1 1 ) tu$ we diection Paru ile i I da c tt st intPo ant 'te
ket'oirPr
que 1^ atones de nn. et d'aryYine n'accuPent que 4A % d'l r'tune dn cnshl ldissont
'les
espdusriaes.le.ayan A,95 ) PoD cette /dsan Pl 'lans '2tuih6 cand'ians les aton's dc
inc et qLAs posible de laEer .laf ces espaces int*stihell* au d a'tus ebnlants Po/ 4es
a- Petufrafies de haile
+
Iciiitatitas sw tes (rco)l|
rclatiar de Angs er il etiste pat chaque naitta, txe rclatiot tetiant les Pln]6 OH) et ti
diilane inter,:ncdairc d qui naus petuettu de daenttuer les patuaA'es de tuoile Ddttl
nne .6, t dPr6sia^ de ta nQi!]e hdaEandb du zao 6t dann'e par ld hmule su Mte :
(r.24
(r2s)
-r <Il-
,l
Iclniruads w les (fco)1,
zn, I92s12F393F3dr4s]
Lo bdhde de volence esi Jomt por les itots 2P de l'oxrgine et ld ltoL' 13 du 2il1c
16
Icinbautei sw tes (rco)ll
puisque ce lle t i Pertnet tle tird d arttes ttnPtitt^ imporlantes teller Iue l 4a Eie de EoP 4
t6 nos6 efecties d$ Jlec,'ans at des trcss Elle Fntet d$i exPliqM let Prop/ietes
'l
electiq$. Ces ddniers Pdt natlill iwnLt ]a nldt deB! qui d son tour Peutrdrier
Vre mdudjeta llerne P 5 td t t cn't) est pasible dohs ZnO de rrPe n et dqs
'aison
dAfa,^ innksiqks, de! doPants
hatixiaE. L o4de de irc sof t' fome masde paiide un kdne de rcliaction lsqte a
ftltacnan et son
2t28. Pot ditteus sousJone de uuchdninces san indice de
'oeJl4ett
1',
Icln&tt As sd les (TCO)I
d'absa4)'iok wtieht m lb,ctial des conditiart d'Abbaratiar dd uuch6 Cel indice a tnP
dl
tu6lefetdune te8iornlcaniqte le t^tal se pala/ise (qllet dnecl) etque 'tveqe
l dpplietion d,r chahP alecthue a tue dAJbman dt dktdt (e{'l
'an&it
iLrse). Le tistat de zno Ab a sotope a coatants de Piinikctricitt sant
difirdE slon \an orieitatiot Fl
L2.L7 : Ptopti4is chituiqw et canqaquas
f
[G!"eruads ,w lrs (rco)l
d'orysiP d, retu, pat ds atones ;hansers Les Aftndt^ du sat4E Il (Al Cd' e! I") so\I
- Efet piAoekcoi@e atefi (et ' 1 2 C/h' Parni le plb h'tt t!' to6 l4
Sni-@hdtckrA
- Mo&ne de cisatltenefi nas vand - 45 5 GPa ('e qui i'di|ue la stabilitt de uisbt
ptusieas aTli.4tk6. Pdtmi .?s drdht Ees on d: I dbondan@ sur tenz sd comPanl16
tu t nd ttiqres, it wtuet orsi de leduite tes canb dz Prcduction [23]
4
Lcl",ittidis su, les (fco)ll
et le dontaine de I'ekctuniq+
idportalte dant t'nttusttie optoAbctunkte Photonltaiile
citos 4lelqa und de '4i
et Ectpe diton'dis une Ploce de chan Ddns ce qui stit no6
ptitc1ales aPPlicoliahs : [34]
t6 lld miles .le ZnO sant utilitf dtns les svi'na lFe's et les dio4d
d. !tuto-dAtuctetr n oriate|
r,
rce"erdtid' sn tes (rco)l,
de la solution s4r
Fl Toaunrt Takieddjne, MAdoie de D6ter intit i a L dld d! ']ibit
les pt.pttatls d6 .oucta nit.s d orlde de
zihc Qno) dtPbsls pdr tPtf, Pt'to$e \'
Uhive'sni de Bt]tu, 2A I 4.
[g] S. Faf a ol, Solar E *st tna:,gtio! &9ota/ Ce|1s 86 P 385-397 Q445)
pa onAB d qne
F 1l BassDn, ! E1,i1. de I ellet d une 'ouche ntnce de Tia2 sn les
O.
Mamneti de Tt2i-
efuL slaie dt Sjticim , Mtnajle de MaEi:ter' Uriwsik Morla*l
I
Icehttutitis sw les (rco)l|
r
Iaantua.lt ,w ks (rco)
Nat*
t3tl totion'gtuw ZsO naa&nrctwes chaPts book t4 Le'turc
Desist ol
Furcnonat N'nostNct'rec ' z
No;6cdk sctqe dnd T@hnotoer' wlumeT dMd'
wans (Etl.), sptinsi booll, A Paftlne et 2408'
da opiqu* z'o:
[34] CMLOVCHE Salin ndnott de hd4istd 4 Ptuprtiti: f'n.tres
M. elblq ,oldi4 en cdchd niices A b8e de CICS '' tntueBit' d' Seril 2012-
Chapitt.II
|rrlilqillrildrlil I
t tilriltilrunnnndtllnlllnrnfom
Ifahniqua d. Apbr d tM&ilntioa 116 tNchd nt
Ces atdpes petre Atu .onpLte^ent sipd/d les !n4 d6 autr6 ou Ctre slpetpda*
- Ia tuw. dL matiriau
'i
depNq
- la .o,nint6 idparls pat te rlbstut dngdzlge tu6 ti.le, @paratw duinab --.
n 5 : Techniqua de &tpit
L alobomtio, .l tne @rche ninu 6t ne atape dqisive mr les pnpria ph
.tu natAou q d,p.i.len| L* neioa* d,labaration pervent ehe ct8saes en
, l
I
J ,fT=
-frr - .-. ..'-
I d. ":alunon-gihficodon,,
appelldtioa &l-gel @ttspoadaht A I dbpvktion
Le baps nacessane .u '\ol" pav re ttusfdn4 4 "sel" est appeL teapt de gel (ou
de s4 et il diste daa voies d. srnth6e tut-gd. 4ui sont :
'Ll
'vl,
+ Le d4,6t de la sotttio, q
scis ttu te stustrut iknobite.
+ La nis m rotatioh: ta phse d @Ab.ation prowqre I,icoutene tu
nqride
I qt^dr de substrdt.
+ Ia rctdtion d !'jtese .oastont pemet I ajectin de I axcg de tiquide sous Jotu
Etutetetes et tz dihinatid de t apai,,ew d,ltn de fdcor u^ifohe.
+ !. adpor.nan d6 solyarb t6 plu wtatjls .tti ac.entue la dihination de I,epabs
lTechdtquet de ddpA d car@dthotton (tet .ouctcs ni
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. Neauasitep6d'Aqutpene lqd
. Facile d'dh$ert^ q@ra dd dilJErkk constita s de ta co/c^e
. Pauet d .btdir des cauchd u^ hanoEaq oyer une tpaisseu/ .onstofie
. donied akla s tus"ttats so,tout sut t* substra^ ptans
,4wt de ttutiw w dAp& d couch* dincer de I o,lde .te zhc put ou dapA on
Prepa@ les hluiod pat Ie procade sot-gel et b produit chiniqu* ,titists sont:
Dd6 @tte .6, b sectqe E enectue fusre ayi. ]e dap6t d Idtittahe d'ue pl
chattdte patdtut q@tq6 nti.ut6, suit par u refu listMt .l* i.tzndlds
conditiorc nMlad4. (1
b ph6e neEdale Ntuite et Mti bim uistu xia Don leJorr 6l rtgli de Mitlr
le grrdient tL ttupaaa& & de l|"C/nk et no6 loi5w ls uh@tilow r6ta pe
120 Binut$ Qh)Apri!, I. rcfoidisenert sa fait paraliknett dte. u Eradl
tmp'lature .le | 0 oc/di" jusqun 25 'C et ftoNmB noc 4huriua6.
estd@Nw I A.ha illor d @oltsr, t labce inc ldt.tt.IUfrcE par c.t 4]1d
lT2chniqu6 rt. dEtu .r et@dnsddoh des u|cres ntn
."1
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t7o
On D : h ldille d6 Smi.s dpnnns en (nk)
1 : la lonEw.lbnae dl|i8Eq"
0p : Ihnsle de ditnctiu eh dega.
.te ruron X en (A"). K
Fechniqt6 rb ddpit d .M.t4rt@id 116 co4ha tu
?cj:- cs (.u+qt
0.4
oi o : 14 conbairl5 (fl cPa).
L id.nnlicotiok de la
laille d6 srdlns Petnet .le datemial ot de datube la Aqit
tlslocatt$ 6 et a6si te ,onbtu da ctwalltq N. stuhant qua :
6-+ tu N=*
1t,7.2 : Iehniqt8 rL ct ae.itzdod opnt|@
(!r,
r = ;roo- L= e-d (rr.6)
(It e)
- D^.Bntodo dtgtP.fl.4r.
opirye An nace (atD) t Jorction de l"keryie de Photo'
Pd. datetnini le sap en
@respond les na^sitius entre les ata6 eknA'r ae h bdnAe de valenc. et 16 atok I
.le la bonde de .ondu.hon ft61
tlr.t t)
Iinka de rqudjN a n ,
L idice de /afrocnon at une gaddr phrsiqu Mns dinension d,liniz pour
nilid nottriet ttuBpe,r .Me le ppofl de 1o cillnG dz ld lMian dM le vide
lo=4532tr
Irechniqu* de d.t6t et coru.t&isati* d"y!!!!!!
abn (a))
: :d udufte (dPtinet
td tisisbnce eh
P=4$2':'d
RO sultats etDiscussion
L eUto-ao, ao muchd ni^ca n*NiE n pmta.ole expinh^tut' d^
chapite m \a EdMter b rrotocoi udiso lour IorM d$ mnch€s d€ aO non d
dopd €n Almiriu .i 6n Agpnt awc des cdceniralion di&ror$ et ue tdp6'aiu6
F-
lJoe"'"
I
tl
rayds X obtenu, n larli. des couch€s sin€s de hO pu.e €t dotas Par i Alu@d
Mgdlsonl lr4sedds ci-dessous :
8:e.J5fl ilii@
t E
t! iche (ASTM de sleclre de diltactio. des iavois x (DR, lat une poudre de zr
FiCure II3: Spect4 ds ruro6 X d^ tot h4 ZnO ptre et dottl Aryent aw dinA
@ncatration A, I 3,5o/a).
@.1) conne no6 ow* dirc p$cAa.nnent .lor. 16 dilltentes tailles akttizs
achdntiloB .le Z4O sobt ftercrpi* da6 les tableN It. t et lll.2 pow zno :
zno : AaP6) resr%tivnu.
(t0, 24.
35.80 2t.3
(002) 24.1
La toile de Cldh minindle est de 21 M trctra pour b fln de ZnO dali Al (!1/a)
(t0, 28,
0.t54t87 (002) 3A
n b couche de Z,O Pure, cecl & aftibuA Pe* ebe au renFt6en'ht dd id!
zn'/
iotut. qui sont rclot emert Eraid* par rdPPdt au ioB zn'z ('t"= 0 089 M et
o,0?4 ,,1. La taillensimoi t/owe patr Jitn ZrO dope As 6vd et la taille ni^inole
ptu Z,O dope Ag 6a/") et d okene ddsi qte b toille de smin dad let flas da
flne pB d tout 86ti/reE liet a!e. lt ahMtation de doPdnt (Ad dans ]e prduM tll
@ M v AaN k i^' chapite lo lomuk (I2) qei now penettta d' ded
coattulnta i m4 da614 couc,.s nircg dbdet Lt caldl d'r Patuh't6
d
(chopite ! (1.24)) dal'sa Me kdietid s* fttat des d6 coucB dApos'
'oxuaintq
udparunt A porddatu: a b Mle. tworqte cn
Le tab!4u ci- d6tow illdtft les ftsultats abt46 sur I etu des cofirai't4 bentd
tuPA aluniniuh Parr ditients cbrcnltutiane da downt
les .o/.hes de
^O
(to')
(002)
- 5J90 -rt|- IJ66 2.5 J
(002) -
5,212 1,34 -4 607
042) 5 212
2.6
(00) 5.21
pics de tlilJrrcti
nifr@tosanss pa. n d,Pla.en^t au d'catzge de la potnian d6
tt6 patu
rawon n I dngle rayelafice dd Pi.d2O) a d\ne tuniirc Ctnitule il ta
efrwd w@ent rldu*e ld co.ttunn* i^tmes dd dttitiod Aabota n
knp,tuture de dapA et 10 P*ence d6 imPuret4 Apr'^ b aoPdEe
td ealzt
cdnoints todi6 dd nN .ouch6 stt titois qte - O 60? GPa et -A 435 CP
silnife 4u it la uae dildlatian de le naile
Yiwnt I e c aou 1 elfet du 'lowEe
at,
(002) J.t90 ,2.84 2.595
(004 s.2t5
0a2) 5.192
riwu c*tallin tel qrc let abnd des doPtus en pasni.n inteditielle
€ ""E
t
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i E
m2 : Catuetbisuim optiqua
miJ : Specnotcopie W-nnnl
L utilidion des cotnd du ZnO dnne coduct*t tronsPa/d1 dans di
Jilns zno pwe et doPl Izho : !11 A, I, 3.5 %) : ZrO : 49 (0, l, 3 5 9/r)l
b ZnO dopi Alusiniuh
Figoe uL6 : spe.:res de transhissioh des corches ninces de ZtO nhbares a 500"C
dilIardld dopose AE n
Figre u.7 : IaEN de h bhde i.EAite optique d4 cotchd oincq de Z,O ion dopa
h) zno,bptlAtuniniw
FisN tI.8 : La ,anation d, gar aptique Ae z,O enfancdo, dr dopase a' jllniniu
3
E
obtution de.eue./isrc
L mortrc que ]e sap optique d6 cotcra
ougMle 4w ta anfutrutiol des dop^nts. Par .onte, t4 wteul
i.,iEulia@e,t a'ec ]a coh.atution ds dapz,t5 4a.
5
{fi
Fgl
FigR ILI I : illEtrc ld heture de l,,heryie d Urb@h
a) ZnO dopd Aluhihitd
La yatidtiot de diso re en Jnndkn de pou@tase au aop,se en
(0%t%3% et 5%) a1 rcsturyae da$ taftcr/e lrtwnte :
180
2AA
tud.dwa1dz,)
Fisue II1. t 3 : vanafiok de t qegie d bbrch e" lonctian de dopage alunihid
b) zno.lopaAry."l
Ia wltu de Eu qui nesurc td taryat de qrca. d. batue uru.tdisatt le
d&otdre. e
wriation de e e Jne'sie pdr bt @chq ZaO .bpe As hoatri
da8 ta Jisue flirutz :
"3*
22_93
a6a tuP@,eea
FiCure lLt4 : writtian de tUwsie d &bach par l.elfet .te tupdse d.dreal
- L'indice de tultuctiot
A lMrtit d4 Wecket de taishittance qistonx da8
appliqunt la klation IL? dr chopitre I nos abten..s les
da icraatilaft ebbo46 mse eit :
Tabletu tL? : indice rte 4@tid det .oucne, ZnO non dopa et dopa Atu^intun
IA Mnatd de I rifactio. e,Io.ction de tau dopaEe doite que ra vle
indie de
dotaN de ltn lie de relnctiah diqinue aw te taf de rrapase n qk e
adp ausnente
ta vahrd de a abteaues so.t sihtt4 e,Ee l.?t et 1.62. Cete dini,u,io, tte hdite
ftttuti@ 4t dbibuae principatehent d I dvsmnbn@ de tu unce,oa,o,
@ poltdrs do
|d.oucnes nin q zno. Ial
LA5
Tahleau tLB : itulice de ftj @tioh des cotcha Zno nat dopi e1 dopt )jryat_
La Jigrte 111.3nonlte ta wnatjon de I'indice de
Janctior du tus de AopaEe qti sant ,atje d,he Ji@, no.
dars be cetaiue con.ernaiat et d the olre duEdenle.tes
3,9
3.J
2.2
le
s
tl
e,R
Fisre ILl 6: R*tttiute et conductii6 ek*iqre d6'|h,s de zao ,41
23,09
3_3 34,21
L8
€
i
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[4] M. S, Kia, K. A. yin, J. S. Son, J, y. Leen, BuL Korean Chek. So.. 33 (1) (2 12)
r235_
No6 arc0! elabor{ dedr si.r de corhes ruc* dc lro pue e. dop6,
prai*e ete oa a fait Al,hiaiun owc tM de dopdse de t%,3% et 5
u1 dopdse par I
la desiine sqie ok d foit un dopaEe pot I Arsut awc ntne btd de dopase ttitniu
ie dap6r ds @ucb6 d €ta liit sur des $bsrats en 6re. patr bu d en!!i4 t innten
tau d€ dopage su 16 propriet& sFuorral4, opriques et alariqu* nous a
erlclgrhe cds ooucn6 ninces par :
l, i,rd? rluenfale flns pd DRX n@tre que tous bs nlns de ZdO non dop
dcs