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Anne 2012
THESE
Prsent en vue de lobtention du diplme de
DOCTORAT
Pr
Universit de Annaba
Devant le jury :
Prsident :
Abdelaziz Drici
Pr
Universit Annaba
Examinateurs :
Ameur Zegadi
Pr
Universit Stif
Amara Otmani
Pr
Universit de Skikda
Mohamed Benabdeslam
Pr
Universit Annaba
Bouzid Boudjemaa
Pr
Universit de Skikda
Remerciements
Je tiens remercier en premier lieu Dieu (ALLAH) qui ma donn la force, le courage
et surtout la patience pour continuer ce travail.
un regard pertinent sur mon travail. La partie exprimentale de ce travail doit beaucoup sa
comptence technique et son savoir faire.
Rien que grce dieu et son grand pouvoir que la prsente thse a pu, voir le jour
aprs le noir
Rsum
Des chantillons du CuInSe2 ont t prpars par quatre mthodes
diffrentes: sous forme de poudre prpare par la mthode mcano-synthse
utilisant deux temps diffrents (t= 15 et t= 30 min). La deuxime technique cest
la synthse du lingot du CuInSe2 par la SHS (Self Propagating Hight
Temperature Synthesis) ou auto-combustion par un passage dun courant
lectrique utilisant une plaque de graphite. Des couches minces CuInSe2 ont t
dposes par lvaporation thermique partir de ces dernires mthodes
(mcano-synthse et SHS) et par la Co-vaporation. Ltude structurale de tous
les chantillons synthtiss par toutes les techniques a permis de mettre en
vidence lexistence de la phase chalcopyrite. Laffinement par la mthode
Rietveld utilisant le programme Maud confirme la phase chalcopyrite des
couches minces. Lanalyse par le MEB montre que ces couches minces ont une
taille nanomtrique. Ltude de labsorption optique a confirm que ces
matriaux sont bien adapts la conversion photovoltaque, et ont un gap
dnergie autour de 1.00 eV. Les analyses par spectromtrie de photolectrons
XPS des lments Cu, In et Se, ont t effectues en utilisant les niveaux
Cu2p3/2, In3d5/2, et Se3d5/2 permet destimer la composition atomique des
chantillons. Ltude des couches minces Co-vapores, a montr le rle
important jou par les joints de grains dans le mcanisme de conduction des
porteurs de charges. Ainsi, le modle de Mott a t vrifi basse temprature,
contrairement lmission thermoonique (Modle de Sto) qui est
prpondrante haute temprature.
. CuInSe2 CuInSe2
) (
.
.
.
.
CuInSe2 .
1.00
)105 .(1-
)(XPS
Se In Cu.
)(
.
CuInSe2 :
) (XPS .
Abstract
CuInSe2 was fabricated via mechanical alloying of Cu, In, Se and self
propagating high temperature synthesis (SHS) or self-combustion. The latter
materials were thermally evaporated to obtain nanostructured thin films. The
ball milled powder is achieved with a rotational disc speed of 300 rpm and a
milling time of 15 and 30 min. However, the SHS process was carried out on the
mixed cold pressed powder of Cu, In and Se, owing to a graphite plate heated by
a high intensity electrical current. Also, The film of CuInSe2 was deposited by
Co-evaporation technical. The investigated materials were analysed by X-ray
diffraction. They exhibited a chalcopyrite like-structure. Rietveld method
combined with fourier analysis using Maud program was exploited to fit X-ray
diffraction data. The chemical bounding is studied by X-ray photoelectron
spectroscopy (XPS). SEM analysis revealed that the obtained thin films were
nanostructured. The absorption coefficient values (>10-5 cm-1) of CuInSe2
derived from the transmittance measurement confirm that this material is very
suitable for photovoltaic solar cells conversion, and they have an direct band
gaps 1.00 eV. The thin films of CuInSe2 were deposited by Co-evaporation
have been shown that the transport mechanism of charge carriers is dominated
by grain boundaries conduction process. Hence the interpretation of the
conductivity data is consistant with Mott law at low temperature. However,
thermoionic emission (Seto model) is predominant in the high temperature
region.
Key words: CuInSe2, Chalcopyrite, Thin films, mechanical alloying, Self-combustion (SHS),
absorption, XPS, Conductivity.
Titre
Page
Figure 1-1
Figure I-2
11
12
17
Figure I-5
18
Figure I-6
20
Figure I-7
21
Figure I-8
21
Figure I-9
23
structure chalcopyrite
Figure I-10
23
Figure I-11
25
26
lnergie h [39]
Figure I-13
29
Figure II-1
34
34
35
Figure II-4
36
broyage
Figure II-5
36
37
synthse.
Figure II-7
39
Figure II-8
41
Et vibratoire de 1D et 3D
Figure II-9
43
ractifs solides.
Figure II-10
44
Figure II-11
47
Figure III-1
Balance lectronique
51
Figure III-2
Pulvrisette.6
52
Figure III-3
52
Figure III-4
Flux dazote
53
Figure III-5
54
Figure III-6
Mortier en agate
54
Figure III-7
55
Figure III-8
56
Figure III-9
Racteur.
57
Figure III-10
58
Figure III-11
Systme damorage.
59
Figure III-12
60
Figure III-13
Evaporateur Balzers
61
Figure III-14
62
Figure III-15
Dispositif de la Co-vaporation
64
Figure III-16
Principe du rayon-X
66
Figure III-17
67
Figure III-18
Interaction dctron-matire.
69
Figure III-19
71
Figure III-20
72
Figure III-21
74
solide)
Figure III-22
75
Figure IV-1
80
83
Figure IV-3
84
SHS.
Figure IV-4
Figure IV-5
85
86
88
la mthode SHS.
Figure IV-7
89
Figure IV-8
92
93
Maud.
Figure IV-10
96
min.
Figure IV-11
97
Figure IV-12
99
Figure IV-13
100
30 mn.
Figure IV-14
101
Figure IV-15
103
104
105
de la mthode SHS.
Figure IV-18
106
Figure IV-19
108
Figure IV-20
109
Figure IV-21
111
112
113
114
115
117
Co-vapore
Figure IV-27
118
Figure IV-28
a), b), c) Reprsentation des raies de Cu2p, obtenues aprs dcapage 2 min
121
d), e), f) Reprsentation des raies de In3d, obtenues aprs dcapage 2 min des
122
g), h), i) Reprsentation des raies de Se3d, obtenues aprs dcapage 2 min des
123
126
Figure IV-32
128
131
Titre
Caractristiques des couches absorbantes chalcopyrites
Rendement et caractristiques de quelques couches absorbantes en htrojonction
avec CdS
Quelques proprits physiques et chimiques des lments Cu, In et Se
Proprits Physico-chimique du CuInSe2
Positions des atomes de Cu, In et Se dans la maille chalcopyrite du CuInSe2
Page
9
10
13
16
19
Tableau I-11
Tableau II-1
Tableau II-2
Tableau II-3
47
Tableau III-1
Tableau III-2
50
55
Tableau III-3
Tableau IV- 1
60
81
Tableau I-7
Tableau I-8
Tableau I-9
Tableau I-10
22
24
24
26
27
29
45
46
86
Tableau IV- 3
89
Tableau IV- 4
Taille des grains de chaque pic du CuInSe2 en couche mince prpare par Co-
89
vaporation
Tableau IV- 5
90
Tableau IV- 6
94
Tableau IV- 7
118
Tableau IV- 8
118
Tableau IV- 9
118
Tableau IV10
130
CuInSe2
I.3.9. Les proprits lectriques des matriaux ternaires Cu (In, Ga) (S, Se) 2...........24
I.3 .10. Les proprits optiques...26
I.3.11. Les dfauts dans le CuInSe2....28
I.3.12. Les diffrents composants de la photopile...29
II.1. Introduction..32
II.2. Broyage mcanique haute nergie......32
II.2.1. Introduction.....32
II.2.2. La mcano-synthse..32
II.2.2.1. Principe..33
II.1.2.2. Les mcanismes de broyage mcanique haute nergie.......35
II.2.2.3. Paramtres influenant la nature du produit obtenu
par mcano-synthse.....38
II.2.3. Transformation de phase..39
II.2.4. Les diffrents broyeurs mcaniques.....40
II.3. SHS ''Self-propagating High-temperature Synthesis''..42
II.3.1. Introduction......42
II.3.2. Aspect gnral de la mthode SHS......42
II.3.3. Principe.....43
II.3.4. Paramtres typiques du processus....44
II.3.5. Domaine dapplications....45
II.4. La technique par vaporation thermique..46
II.4.1. Structure de couches minces dposes par vaporation thermique......47
IV.1.Introduction.78
IIV.2. Analyse par diffraction des rayons X...78
IV.2.1. Echantillons prpar par mcano-synthse (MC)...78
IV.2.1.1. Dtermination des paramtres cristallins ...81
IV.2.1.2: Taille des grains .....81
IV.2.2. Echantillon massif prpar par SHS...82
II.2.3. CuInSe2 en couches minces prpares par mcano-synthse...84
IV.2.4. CuInSe2 en couche mince prpare par auto-combustion SHS..87
IV.2.5. CuInSe2 en couches minces dposes par Co-vaporation.88
IV.3. Affinement des diffractogrammes (cas des couches minces).....90
IV.3.1. Principe de la mthode de Rietveld....90
IV.4. Lanalyse par EDX.....95
IV.4.1. CuInSe2 prpar par mcano-synthse (t=30 min).....95
IIV.4.2. CuInSe2 prpar par SHS......96
IV.4.3. CuInSe2 en couches minces....97
IV.5. Lanalyse par microscope lectronique balayage .......99
IV.5.1. CuInSe2 en poudre prpar par la mcano-synthse..99
IV.5.2. CuInSe2 en poudre prpar par la mthode auto-combustion (SHS.101
IV.5.3. Morphologie des couches minces.....102
IV.5.3.1. Morphologie des couches minces obtenues par mcano-synthse102
IV.5.3.2. Morphologie des couches minces obtenues par SHS....105
IV.5.3.3. Morphologie des couches minces obtenues Co-vaporation106
IV.6. Les proprits optiques.....106
IV.6.1. La transmission.....107
IV.6.1.1. La transmission des couches minces du CuInSe2 prpares par
mcano synthse.....107
IV.6.1.2. La transmission de couche mince du CuInSe2 prpares par
SHS.....109
IV.6.2. Labsorption......110
IV.6.2.1. Labsorption des couches minces du CuInSe2 prpares par
mcano-synthse.....110
IV.6.2.2. Labsorption de couche mince du CuInSe2 prpares par SHS..111
IV.6.2.3. Labsorption des couches minces du CuInSe2 prpares par CoEvaporation..112
IV.6.3. Le gap dnergie...113
IV.6.3.1. Le gap dnergie des couches minces du CuInSe2 prpares par
mcano-synthse (MC).......113
IV.6.3.2. Le gap dnergie de couche mince du CuInSe2 prpares par
SHS.............................................................................................................115
IV.6.3.3. Le gap dnergie des couches minces du CuInSe2 prpares par la CoEvaporation..116
IV.7. Analyse par photo-spectroscopie (XPS)...117
IV.7.1. Introduction..117
IV.7.2. Description de la mesure...118
IV.7.3. Rsultats de XPS des couches minces de CuInSe2.......119
IV.8. Les proprits lectriques..125
IV.8.1. Introduction...125
IV.8.2. Conductivit du CuInSe2 en couche mince...125
III.8.3. Mcanismes de transports dans notre couche mince..127
IV.8.3.1. Domaine des basses tempratures (modle de Mott)..127
IV.8.3.2. Domaine des hautes tempratures (Modle de Sto)..130
Conclusion gnrale132
Annexe II...150
IV.1. Fiches ASTM de CuInSe2150
IV.2. Fiches ASTM de In2Se3....152
Rfrences du Annexe I....153
Introduction gnrale
Introduction Gnrale
Si la tendance se maintient, les besoins nergtiques des socits industrialises et en
voie de dveloppement ne feront que crotre dans le futur. Pour le moment, la principale
source dnergie provient des combustibles fossiles qui engendrent plusieurs problmes
environnementaux comme la pollution et la production de gaz effet de serre. Il faut
galement considrer le fait quils ne sont pas inpuisables, ni renouvelables.
Il est donc primordial de dvelopper de nouvelles sources dnergie qui pourront suffire
la demande sans pour autant contribuer aux problmes environnementaux actuels. Une
source qui est disponible en abondance est lnergie solaire; de plus, les rayons du soleil
peuvent tre transforms en lectricit de faon propre et relativement efficace, selon la
mthode et les matriaux utiliss. Le soleil fournit en moyenne 1,2x 1014 kW par jour la
terre. Ceci reprsente plus de 10 000 fois la demande nergtique de la population mondiale.
Introduction gnrale
silicium poly-cristallin, dont la part tend augmenter. La recherche de nouveaux semiconducteurs inorganiques destins la conversion photovoltaque porte actuellement sur des
composs comme la chalcopyrite CuInSe2 (CIS) ou le tellurure de cadmium (CdTe).
Le but de ce travail, est llaboration et la caractrisation des proprits structurales,
morphologiques, optiques et lectriques de matriau ternaire de type Cu-III-VI2 et
spcifiquement le CuInSe2 (CIS). Le CuInSe2 en poudre prpar par la mcano-synthse. Le
lingot de CuInSe2 synthtis par une nouvelle technique dlaboration appel (Self
Propagating Higth Temperature Synthesis (SHS)) ou auto-combustion et les couches minces
du CuInSe2 dposes par la mthode dvaporation thermique partir de la mcano-synthse
et la SHS, et des couches minces dposes par la mthode de Co-vaporation.
Le chapitre III nous dcrivons dune faon dtaille les techniques exprimentales de la
prparation de nos chantillons de compos CuInSe2 (CIS): en poudres obtenus par mcanosynthse, un lingot prpar par SHS, et des couches minces dposes par vaporation
thermique partir du CuInSe2 prpar partir broyage et celle synthtis partir de la SHS et
des couches minces Co-vapores. Ce chapitre aborde ensuite la prsentation de techniques
danalyse et de mesure mise en uvre dans ce travail. Ainsi, les techniques de caractrisation
structurales, physico-chimique, morphologiques, optiques et lectriques sont dcrites.
Introduction gnrale
Dans la conclusion, les principaux rsultats sont rsums et des suggestions sont
prsentes pour des recherches futures.
Chapitre I
______________________________________
CHAPITRE I
Gnralit sur les cellules solaires et
le compos CuInSe2
____________________________
Chapitre I
Chapitre I
grille face avant et un contact ohmique ralis face arrire de la cellule puis dbites dans la
charge. La cellule photovoltaque constitue ainsi un gnrateur lectrique lmentaire.
La figure I.1 reprsente une conversion directe de la lumire en lectricit dun semiconducteur.
Par principe, une couche mince est une fine pellicule dun matriau dpos sur un autre
matriau, appel "substrat" dont lune des dimensions quon appelle lpaisseur a t
fortement rduite de telle sorte quelle varie de quelques "nm" quelques "m" (typiquement
ce sont des couches de 10 100 nanomtres dpaisseur). Cette faible distance entre les deux
surfaces limites entrane une perturbation de la majorit des proprits physiques [1, 3], trs
souvent un tel petit nombre des couches atomiques possde des proprits trs diffrentes. Par
exemple la rflexion optique ou l'absorption peuvent tre matrises de manire trs prcise,
de mme pour la conductivit lectrique.
Chapitre I
La diffrence essentielle entre le matriau l'tat massif et celui en couches minces est
lie au fait que dans ltat massif on nglige gnralement avec raison le rle des limites dans
les proprits, tandis que dans une couche mince ce sont au contraire les effets lis aux
surfaces limites qui sont prpondrants. Il est assez vident que plus lpaisseur sera faible
plus cet effet de bidimensionnelle sera important. En revanche, lorsque lpaisseur d'une
couche mince dpassera un certain seuil leffet d'paisseur deviendra minime et le matriau
retrouvera les proprits bien connues du matriau massif [1].
Chapitre I
proprits des films constitue un frein au dveloppement de son utilisation. Des cellules
amorphes avec des rendements excdant lgrement les 10% ont t ralises.
b) Silicium microcristallin
Cette filire reste une utilis pour raliser des cellules solaires en couches minces de Si.
En effet le silicium ncessite des paisseurs de plus de 10 microns pour esprer un rendement
de conversion suffisant. La solution est de prlever dans une plaquette de Si monocristalline un
film pais de quelques dizaines de microns et de rapporter sur un support faible cot
substrat en verre . Mais linconvnient est de sciage de la plaquette qui sont engendres des
pertes de matire do un autre problme viter.
Chapitre I
avait t dpose. La rponse photovoltaque de ces dtecteurs pour une lumire incidente
travers la fentre CdS donnait lieu de trs hauts rendements quantiques ( 70%)
uniformes entre 0,55 et 1,25 m. Ces htrojonctions avaient des rendements solaires de
l'ordre de 5%. Les composs ternaires chalcopyrites qui peuvent jouer le rle dabsorbeur
sont principalement CuGaSe2, CuInS2, Cu (In Al) Se2 et Cu (In Ga) Se2 dont les
caractristiques structurales, optiques ainsi que les rendements actuels en couches minces
sont indiqus dans le tableau I.1.
Matriau
a (nm) c (nm)
CuInSe2
0,577
1,155
0,572
CuInS2
CuGaSe2
Gap dnergie
1,05 eV
Rendement
thorique
25%
Rendement
actuel
13,5% [4]
1,143
1,20 eV
27,5%
18,8% [5]
0,551
1,106
1,53 eV
28,5%
11,4% [6]
0,560
1,099
1,68 eV
26%
8,3% [7]
m pour le
Chapitre I
I.2.5. Performance des cellules solaires base de quaternaire Cu (In Ga) Se2 avec la
couche tampon CdS
Notons que les principales caractristiques dune photopile (jonction p-n) sont :
-le rendement ()
-la tension de circuit ouvert (Vco)
-la densit de courant de court circuit (Jcc)
-la facteur de forme (FF)
Cest caractristiques I-V (courant-tension) qui dfinit ces paramtres.
Nous portons dans le tableau I.2, les rendements les plus levs de quelques diffrentes
couches minces absorbantes.
Couche
absorbante
Eg (eV)
Voc
(MV)
Jcc
(MA/CM2)
FF
(%)
exp
(%)
Rf
1.02
515
41.2
72.6
15.4
[8]
CuInSe2 ou
CIS
1.05
484
36
75
13.5
[4]
Cu (S, Se) 2
CuGaSe2
CuInS2
Cu (In, Al) Se2
Cu (Ga, In)
Se2
(CIGS)
1.12
1.68
1.53
1.16
1 ,12
1.20
/
861
729
621
689
678
/
14.2
21.8
36.0
35.71
35.22
/
67.9
71.71
75.5
78.12
78.65
15.2
8.3
11.4
16.9
19.2
18.8
[9]
[7]
[6]
[10]
[11]
[5]
10
Chapitre I
11
Chapitre I
12
Chapitre I
Paramtre
Cu
In
Se
63.546
[Ar] 3d10 4s1
114.818
[Kr] 4d10 5s2 5p1
78.96
[Ar] 3d10 4s2 4p4
8.96
7.31
4.79
1083.4
2595
156.61
2080
217
685
0.596
4.01
0.116
0.816
10-12
0.0204
7.726
5.786
9.752
Electrongativit
1.9
1.78
2.4
127.8
155-162 .6
116
Tableau I.3: Quelques proprits physiques et chimiques des lments Cu, In et Se.
Chapitre I
14
Chapitre I
Chapitre I
Caractristiques
CuInSe2
Rf
paramtres cristallins
a ()
C ()
C /a
5,78
11,62
2,007
[35]
densit (g.cm-3)
5,75
[35]
[36]
[37]
[38]
16
Chapitre I
La structure chalcopyrite de CuInSe2 selon le plan (112) est reprsente dans la figure I.6.
17
Chapitre I
(112)
Plane
Se
Cu
In or G a
a
a
(I-1)
RIn-Se=[(u-1/2)2+(1+(c/2a)2/16]1/2a
(I-2)
Le dplacement u de lanion de sa position idal dans une structure chalcopyrite scrire sous
la forme :
U=1/4+ (/a2) avec =R2Cu-Se-R2In-Se
(I-3)
Chapitre I
(0, 0, 0)
(1/2, 0, 1/4)
In
(1/2, 1/4, 0)
(0, 0, 1/2)
(1/2, 0, 3/4)
Se
Tableau I.5: Positions des atomes de Cu, In et Se dans la maille chalcopyrite du CuInSe2
Nous utiliserons ces paramtres comme des donnes pour laffinement de programme Maud
utilisant la mthode de Rietveld (chapitre IV).
19
Chapitre I
20
Chapitre I
21
Chapitre I
Dans le tableau I.6, ci-dessous [47] les valeurs de lnergie libre G en Kcal. mol-1 298 K
sont donnes pour diffrentes phases.
Phase
G (Kcal.mol-1)
CuInSe2
Cu2Se
CuSe
CuSe2
In2Se3
InSe
-48,185
-17,108
-10,203
-7,58
-75,065
-26,883
Tableau I.6: Energies libres donnes dans les conditions normales de temprature de
pression [47].
On remarque que les phases CuInSe2, Cu2Se et In2Se3 ont des nergies libres plus faibles,
et par consquent, elles sont les plus probables se former.
22
Chapitre I
23
Chapitre I
cc
(eV)
so
(eV)
CuInSe2
0.578
1.005 0.006
0.233 1.038
1.042
1.273
[48]
CuGaSe2
0.561
0.985 -0.112
0.231 1.729
1.813
2.016
[49]
CuIn3Se5
0.574
1.006 -0.08
0.27
1.23
1.48
[36]
1.17
Tableau I.7 : Les paramtres de la structure de bande pour quelques composs base de
cuivre.
I.3.9. Les proprits lectriques des matriaux ternaires Cu (In, Ga) (S, Se) 2
Les proprits lectriques du matriau sont gouvernes par les dfauts intrinsques et
extrinsques. Le ternaire CuInSe2 peut prsenter une conductivit de type p ou n par excs ou
manque de slnium (suivant les carts la stchiomtrie). Plusieurs auteurs ont monts que
le rapport Cu/In est un paramtre important qui contrler le type de conductivit. Il a t aussi
montr quen agissant sur les rapports Se/ (Cu+In), ou peut varier le type de conductivit
[50]. Ces rsultats sont rsums dans le tableau I.8.
[Se] / [Cu+In] > 1
Type p
Rsistivit
faible
Type p
Rsistivit
moyenne ou
Type n
Rsistivit forte
Type p
Rsistivit
faible
Type p
Rsistivit forte
ou
Type n
Rsistivit faible
Tableau I.8: Type de conduction dans CuInSe2 en fonction des concentrations des
lments.
24
Chapitre I
Se
VIn VCu
Type p
In2Se3
InCu
CuIn
VSe Type n
Cu2Se
Type n
In
Cu
Figure I.11: Diagramme de phase ternaire Cu-In-Se montre la relation entre le type de
Conductivit et les dfauts dans le CIS stchiomtrique [51].
Nous avons ainsi rsum dans le tableau suivant les valeurs des grandeurs lectriques
usuellement rencontres dans la littrature dans le cas de monocristaux de CuInSe2, CuInS2,
CuGaSe2. Les paramtres fournis ici ont tous t mesurs temprature ambiante. La valeur
la plus leve de la mobilit (p) des trous pour des films quaternaire Cu (In Ga) Se2, obtenue
par pitaxie est de 200 cm2 / Vs avec une densit des porteurs de charges de 1017 cm-3[52]. Le
monocristal de CuInSe2 a une mobilit (p) comprise entre 15-150 cm2/Vs. Les mesures des
valeurs de la mobilit des lectrons (e) dun monocristal de CuInSe2 montre que celleci
varie entre 90 et 900cm2 / Vs [53].
25
Chapitre I
Conductivit
S.cm-1
Mobilit
cm2.v-1s-1
Densit de porteurs
cm-3
0,02-0,3
0,1-5
10-100
300-800
1014-1018
5.1015-1017
[54]
[55]
0 ,001-1
0,002-1
10-200
10-450
6.1014-1016
3.1016
[56]
[57]
2,4
0,96-1,64
4,1-24
68,4-89
(1,5-18,0).1018 [58]
1017
Chapitre I
La valeur de la largeur de bande interdite de CuInSe2 et CuInS2 est de lordre 1,02 et 1,55 eV
respectivement [37, 48]. CuInSe2 possde un trs fort coefficient dabsorption. Ainsi, pour
fabriquer des cellules un moindre cot, ce matriau est trs intressant car il requiert une
quantit moindre de matire.
Des valeurs de la bande interdite de CuInSe2 obtenus par diffrentes techniques utilises
sont reprsentes dans le tableau I.10.
Mthodes
Type
Evaporation flash
rf
p-n
1,02
[60]
1,01-1,04
[61]
R.F.Sputtring
0,96-1,00
[62]
Spray
0,69-1,62
[63]
1,03
[64]
1,03
[65]
Electrolyse
A(h Eg) m
h
(I-6)
O :
A : est une constante qui dpend de la densit des tats associe au photon absorbe
h : Energie des photons
Eg : le gap dnergie
m : indice dont la valeur dpend de la nature des transitions optiques misent en uvre des le
semi-conducteur.
Il y a deux types de transitions: une transition directe permise et une autre indirecte.
27
Chapitre I
-Si labsorption correspond la premire transition, le coefficient dabsorption est donn par
la relation suivante [37].
(h)=A (h-Eg)
(I-6)
-Si labsorption correspond la deuxime transition, le coefficient dabsorption est donn par
la relation suivante [37].
(h)=A (h-Eg) 3/2
(I-7)
Les dfauts chimiques dans le CuInSe2 ont t tudis en dtail [67] compar aux autres
ternaire de la famille I-III-VI2. La dviation de la composition peut tre dcrire par deux
paramtres x et y qui dterminent respectivement lcart la molcularit et la
stchiomtrie.
x=[Cu]/[In]-1
(I-8)
y=2[Se]/[Cu]+[In]-1
(I-9)
Le type n est caractris par x<0 (riche en indium) et y<0 (dficient en slnium),
cependant le ternaire de type p est obtenu avec x>0 et y<0 ou bien x>0 et y>0 (riche en
slnium). Lidentification des paires de dfauts dominants nest pas simple cause de
lexistence dun grand nombre de possibilits. Cependant en se basent sur les nergies de
formation, calcules pour CuInSe2 par Neumann [68], donnes dans le tableau (I.10), il est
vident que lon obtiendra facilement des dfauts de type InCu ou CuIn. Ensuite le dfaut le
plus probable, celui possdant lnergie de formation immdiatement suprieure aux deux
premiers est lacune de Se (2,4 eV).
28
Chapitre I
Dfaut
Lacunes
Interstitiels
Antisites
Energie de
formation
(eV)
2,4
2,6
2,8
4,4
9,1
22,4
1,4
1,5
5,0
5,5
7,5
7,5
Type de
dfaut
Vse
VCu
VIn
Cui
Ini
Sei
InCu
CuIn
InSe
SeIn
SeCu
CuSe
Tableau I.11: Energie des dfauts intrinsques dans CuInSe2 daprs Neumann [68].
Figure I.13: Vue en coupe dune cellule base de CuInSe2 Source Leca [69].
Et Comme nous pouvons le voir sur la Figure I.13 ci-dessus (cas du CIS), il existe six
lments principaux dans la photopile en couches minces, savoir:
-le substrat : gnralement le substrat le plus utilis est le verre sod ou ordinaire.
29
Chapitre I
A ceci est parfois ajoute une couche anti-rflexion (MgF2). Ces matriaux ne sont bien
videmment pas choisis au hasard et doivent possder des proprits physico-chimiques bien
particulires que nous allons voir maintenant.
30
Chapitre II
______________________________________
CHAPITRE II
Etude bibliographique sur les
techniques dlaborations utilises
____________________________
31
Chapitre II
Deux termes sont couramment utiliss dans la littrature anglo-saxonne pour dsigner le
processus de broyage ractif haute nergie. La mcano-synthse proprement dite est un
puissant outil permettant la production de poudres nano-structures mtastables partir dun
mlange de poudres lmentaires (Mechanical alloying). Paralllement la mcano-synthse
directe , le broyage mcanique (Mechanical grinding) consiste confiner des poudres (de
mtal pur, intermtallique, alliages) de composition stchiomtrique pour obtenir un matriau
nano-structur qui nest pas ncessairement homogne.
II.2.2. La mcano-synthse
La mcano-synthse (Mechanical Alloying, MA) est un procd de synthse par
broyage haute nergie sec des poudres dlments purs qui permet dobtenir toutes sortes
de matriaux.
Elle connat maintenant un dveloppement considrable en raison de lintrt port aux
nanomatriaux et plus gnralement aux matriaux mtastables. Parmi les nombreuses
32
Chapitre II
techniques qui permettent dlaborer des nanomatriaux, la mcano-synthse est une vritable
moyenne pour mlanger et combiner des solides jusqu lchelle atomique et pourrait jouer
un rle important car elle est simple mettre en uvre et permet de produire des quantits
apprciables de matriaux avec une bonne reproductibilit.
Cette technique a t dveloppe accidentellement en 1968 pour la fabrication dalliages
mtalliques. Les mtaux ont t Co-broys dans un broyeur fortement nergtique, produisant
une poudre fine selon un mcanisme altern de fractures et de soudures froides. Gilman et
Benjamin (1983) [1] se sont intresss aux mcanismes de formation des alliages et ont
appliqu la technique un grand nombre dlments mtalliques.
II.2.2.1. Principe
Dans les mthodes de lapproche descendante, on considre principalement les
techniques de broyage. Le broyage pour lobtention des nanoparticules [2-5] est gnralement
ralis dans des broyeurs billes. Le broyage haute nergie consiste agiter plus ou moins
violemment, une poudre et des billes contenues dans une jarre. Sous leffet des collisions, les
grains de poudre sont alternativement dforms plastiquement, fracturs et recolls les uns
aux autres, conduisant un mlange des diffrents constituants. Ces billes rentrent en
collision entre elles, en pigeant des particules (Figure II.1). Comme consquence de cet
impact, les particules emmagasinent de lnergie lastique. En effet, le broyage transmet par
chocs de lnergie au "systme poudres", et cest lnergie dorigine mcanique qui est soit
commue en nergie de raction au sens chimique et permet aux particules de ragir
chimiquement entre elles, soient gnratrice de dfauts qui permettent des transformations de
phase via un changement structural. Lorsquune fissure apparat au sein dune particule, cette
fissure se propage dans la mesure o lnergie cumule excde lnergie ncessaire pour crer
la nouvelle surface. Pour cette raison, les billes utilises sont en gnral en acier ou en carbure
de tungstne, (plus lourdes que les billes cramiques), et lnergie cintique quelles peuvent
transfrer aux particules lors des collisions est grande.
33
Chapitre II
Figure II.1: Diagramme schmatique des diffrents types dimpact possibles pendant le
broyage [4] : De gauche droite : impact frontal, impact oblique, impact multi-bille.
Cest le rapport des frquences de fracture et de collage qui fixe la taille finale des
agrgats de poudre. Ces trois phnomnes sont lorigine de lobtention dune structure
nanocristalline (Figure II.2). La poudre subit donc, au cours du broyage, de svres
dformations plastiques qui engendrent la formation de nombreux dfauts ponctuels (lacunes,
interstitiels), ainsi que des bandes de cisaillement constitues de rseaux de dislocations.
Les dislocations se rorganisent en parois par annihilation et recombinaison afin de former
des joints, et donc des sous-grains [6, 7]. On parle alors de poly-gonalisation des grains.
Poudres lmentaires
Soudage
Rgime stationnaire
34
Chapitre II
(loi de Hall-Petch)
35
Chapitre II
Figure II.4: Diffrentes tapes dans l'volution des poudres lmentaires pendant le broyage
[10].
36
Chapitre II
Fragmentation
La rduction de la matire en petits fragments ou en poudre est obtenue par lopration de
broyage. Gnralement, on distingue trois types de fragmentation :
- la fragmentation grossire,
- la fragmentation fine,
- la fragmentation ultrafine.
A chaque type de fragmentation correspond un appareillage spcifique et des mcanismes de
fragmentation particuliers.
Lagglomration
Lors du Co-broyage, des phnomnes dagglomration apparaissent et sont responsables
de la formation des particules de composite. Lorsque les forces de surface inter-particulaires
deviennent importantes, il y a attraction des particules. Le contact devient permanent et deux
particules nen constituent alors plus quune seule. Ce processus conduit une volution des
distributions granulomtriques puisque les classes de petites tailles se dpeuplent au profit des
classes de tailles plus importantes. La figure II.6, montre un schma de mcanisme de
raction pour la prparation de CuInSe2 par mcano-synthse [11].
Chapitre II
38
Chapitre II
-La contamination : cest le grand dfi du broyage mcanique est difficile liminer. Elle
dpend des plusieurs facteurs l'intensit de broyage, l'atmosphre de broyage et la nature des
quipements de broyage [15].
-Les taux de remplissage en billes et en poudre ont t respectivement fixs 75 % et 25
% volumique par rapport au vide interstitiel laiss libre entre les corps broyant. En ce qui
concerne la jarre en inox, le taux de remplissage en billes est fix 28 % et celui de la poudre
fix 7,3% du volume interstitiel laiss libre entre les billes. Ces taux de remplissage sont des
valeurs standard pour le broyage en voie sche.
Type de broyeur
Temps de broyage
Conditions de
broyage
Temprature de broyage
Broyage
Environnement
Figure II.7: Facteurs considrs pour une exprience de broyage mcanique.
39
Chapitre II
Les broyeurs verticaux a billes (ou Attriteurs): sont largement utiliss dans
lindustrie pour rduire la taille des particules ou homogniser les poudres. Ces broyeurs
permettent de traiter de grandes quantits de poudres. Dans lequel plus de 1000 billes de 0,2
1 cm de diamtre sont maintenues avec la poudre dans un caisson vertical et sont agites par
des lments fixs l'axe, qui tourne (Figure II.8 (a)). Le broyage agit uniquement par
frottements des billes sur la poudre. La temprature moyenne du creuset peut atteindre 150C
[18]. La dure moyenne d'un broyage est de l'ordre de quelques heures.
En laboratoire, il est prfrable de recourir dautres types de broyeurs, certes moins
productifs, mais permettant une tude plus quantitative. Ils sont de deux types : les broyeurs
vibrants et les broyeurs plantaires.
9
Les broyeurs vibrations: le principe du broyeur vibrant est bas sur un mouvement
de vibration haute frquence (20 Hz) dun cylindre contenant la poudre broyer et des billes
dans trois directions orthogonales (Figure II.8 (b)). Ces degrs de libert rendent ainsi tous
les angles de collision accessibles. Le broyage agit uniquement par choc des billes sur la
poudre. Le broyeur vibrant le plus couramment utilis est le SPEX 8000, pouvant contenir de
2 40 billes et traiter une quantit de poudre de lordre de 10 g. Hors chauffage extrieur, la
temprature moyenne du creuset est de l'ordre de 60C [19]. Llvation locale de temprature
peut atteindre 200C [20]. La dure moyenne d'un broyage est de lordre de 24 h.
40
Chapitre II
(a)
(c)
(b)
9 Les broyeurs plantaires: le principe rside dans la mise en rotation d'un plateau sur
lequel on dispose deux jarres tournant elles-mmes dans le sens oppos (Figure II.8 (c)). La
combinaison de ces mouvements cre un effet de frottement des billes qui restent colles
contre la paroi avant dtre renvoyes violemment par la force centrifuge contre la paroi
diamtralement oppose. Les poudres sont ainsi soumises des effets de friction et de choc.
Hors chauffage extrieur, la temprature moyenne du creuset est comprise entre 50C et
120C, suivant la vitesse des billes ; llvation locale de temprature est comprise entre 60 et
300C [21]. Pour viter que l'chauffement soit trop important, le broyage est en gnral
ralis en plusieurs cycles interrompus par des priodes de repos.
Une raction entre les poudres broyer et le matriau constituant les jarres et les billes
peuvent tre observe. Si cela est possible, il est prfrable dutiliser des jarres et des billes de
41
Chapitre II
mme nature que les matriaux broyer. Divers matriaux sont disponibles tels que lacier, le
carbure de tungstne, lagate ou la zircone.
II.3.1. Introduction
Depuis quelques annes se sont dvelopps de nouvelles techniques dlaboration dont
lune dentre elles est la technique SHS '' Self-propagating High-temperature Synthesis''.
Cest une mthode base sur un type de raction se caractrisant par lexistence dun front de
combustion auto-entretenu. Son processus de combustion seffectue dans le sens qui assure
lobtention, en une seule tape, dun produit final ayant une composition chimique dsire et
les meilleures proprits.
La SHS sest considrablement dveloppe et est devenue actuellement une voie importante
de recherche puisque les avantages de cette synthse sont principalement clairs:
a) La gnration de la temprature de raction leve permet la volatilisation des
impurets; ce qui nous donne des produits de haute puret.
b) La nature exothermique simple des ractions SHS permet de produire des
matriaux peu coteux.
c) Le temps trs court de la raction conduit un cot de synthse et dopration
faible.
Chapitre II
lchantillon, faire ragir une couche supplmentaire, qui elle mme chauffera une autre
couche un peu plus cur de lchantillon et nous avons donc une onde de chaleur,
parallle une onde de raction chimique, qui va se propager tout au long de lchantillon
jusqu transformation complte des ractifs. [24] Ce qui nous permet de remarquer les types
de combustion: combustion solide - solide, solide - gaz. [25]
La synthse peut galement se faire sous air [26], sous vide [23] et sous gaz inerte (argon)
[27, 28] ou ractif [23-29]
II.3.3. Principe
II existe des ractions chimiques de synthse entre des particules solides qui sont
suffisamment exothermiques pour que la chaleur libre permette ces ractions de Ces
ractions de sauto-entretenir par une propagation rapide dune onde de combustion. Ces
ractions auto-propages sont appeles SHS '' Self-propagating High-temperature Synthesis'',
nom le plus souvent donn au procd ou plus simplement synthse par combustion
Combustion Synthesis et parfois flamme solide Solid Flame[22]. Il prsente de
nombreux avantages, notamment dans la production de deux grandes familles : les cramiques
et les intermtalliques.
La raction SHS se propage en effet sous la forme dun front de chaleur ou de combustion
(Figure II.10). Le mode de cette propagation est assur par le transfert de chaleur des
43
Chapitre II
produits de combustion leve vers les ractifs froids ; ce transfert est d lexo-thermicit de
la raction.
Le problme rencontr dans ce genre de synthse est de connatre le ou les processus
chimiques qui amorcent et entretiennent la raction et de dterminer le processus limitant.
Donc, la difficult majeure est daller observer au niveau microscopique les interactions qui
vont conditionner la propagation de la raction.
Lame de graphite
Front de combustion
Plots
dalimentation
AB
A+B
Sens de propagation
44
Chapitre II
1500-4000C
Vitesse de propagation
0.1-15 cm/s
0.1-5 mm
Vitesse de chauffage
103 -106
40-500W
0.05-10s
Impurets brles
45
Chapitre II
Borures
CrB, HfB2, NbB2, TaB2, TiB2, LaB6, MoB2, WB, ZrB2, VB, VB2
carbures
TiC, ZrC, HfC, NbC, SiC, Cr3C2, B4C, WC, TaC, VC, Mo2C
Carbonitrures
Carbures cments
Oxides
Composites
Hydrures
Intermtalliques
Nitrures
Siliciures
46
Chapitre II
Chambre vide
Contrleur de la
microbalance quartz
(ADS200)
Pompe secondaire
Zone
I
0,1<TS/TF <0,3
II
0,3<TS/TF <0,5
Colonnaire
III
0,5<TS/TF <0,7
Tableau II.3: Microstructure dune couche mince dpose par vaporation thermique.
47
Chapitre II
48
Chapitre III:
______________________________________
CHAPITRE III
Procdure exprimentale et
techniques de caractrisations
____________________________
49
Chapitre III:
Les poudres de CuInSe2 ou CIS ont t choisies pour leurs faibles granulomtries et leurs
grandes purets. Ce choix a t fait afin dassurer une bonne ractivit des poudres. La taille des
lments: Cu (< 20 m), In (< 60 m) et Se (< 5 m). La taille des lments, leurs formes, leurs
purets et leurs tempratures de fusion sont des paramtres trs important pour la russite de la
synthse. Les caractristiques sont rassembles dans le tableau III. 1.
Elment
Tf (C)
Cu
1083
In
156,3
Se
217
Taille
de Puret
grain (m)
(%)
Poudre fine
99,999
Rfrence et caractristiques
Tucher 30084, Georgia-USA
50
Chapitre III:
c) Broyage
Le mlange stchiomtrique de 2 grammes des prcurseurs a t broy par un broyeur
plantaire (type Fritsch P-6) qui se trouve au sein de notre laboratoire (figure III.2).
Lchantillon est principalement broy grce au choc haute nergie des billes de broyeur, et
galement par friction entre les billes et les parois de la jarre. La jarre, contenant la matire
broyage et les billes, tournent autour de leur propre axe, sur un disque porteur rotatif dans le sens
oppos.
51
Chapitre III:
Couvercle de
protection
Tableau de commande
Vis de fixation
Contre poids
Jarre
Plateau rotatif
Chapitre III:
Avant le broyage, la jarre et les biles sont nettoyes au savon, dgraisses lactone, puis
sches. Avant de fermer la jarre, loxygne a t limin par un flux dargon ou dazote de 15
min (figure III.4).
Mode de fonctionnement
Les forces centrifuges issues des rotations de la jarre et du disque porteur agissent sur le
contenu de la jarre. Au dmarrage du broyeur plantaire, la force centrifuge issue de la rotation
de la jarre provoque le broyage de lchantillon par effet de friction des billes, qui se dplacent
sur la paroi interne de la jarre. A un moment dtermin, la force centrifuge, plus importante, du
disque porteur entrane le dtachement de la poudre et des billes, de la paroi interne de la jarre. A
une vitesse leve, les billes traversent la jarre et crasent la poudre qui se trouve sur la paroi
interne oppose, il sagit en loccurrence, du broyage par effet de choc [1, 2].
53
Chapitre III:
a) Mlange
Aprs la pes stchiomtrique, on mlange un autre chantillon de CuInSe2 pour quelques
minutes par un mortier en agate (figure III.6).
54
Chapitre III:
b) Compaction
La poudre est compacte froid uni-axialement dans une presse (NOSHOK, Germany)
(12 tonnes) (figure III.7 (a)). La matrice utilise est cylindrique avec un contre poinon et
un poinon en acier inoxydable (figure III.7 (b)). Lensemble est plac dans la presse uni
axiale o se fait la compaction en exerant un effort sur le poinon suprieur. La densit
dchantillon cru a t dtermine selon la relation d=m/v o m est la masse de lchantillon
et v est le volume. Les dimensions dchantillon sont mesures avec prcision de 0,01 mm
(pied coulisse).
(a)
Matrice
Support
Indicateur
de pression
Matrice
cylindrique
Un poinon et un
contre poinon
Les caractristiques dchantillon aprs le compactage sont montres dans le tableau III.2.
Masse M (g)
CuInSe2 compact
1,825
Pression P
Hauteur H
(psi)
(mm)
2000
4.1
Diamtre (mm)
55
14
Chapitre III:
Racteur
Porte chantillon
Electrode
Joint
Calotte inferieur
Tige de fixation
filtre
Pompe vide
Gnrateur
de courant
56
Chapitre III:
III.2.2.1.2 Racteur
Le racteur se compose dun tube en Quartz entour du ciment rfractaire (pour lisolation
thermique) qui rsiste trs hautes tempratures et introduit dans un tube protecteur en acier. Les
deux extrmits de lenceinte sont fermes par deux calottes se trouvant dans la partie infrieure
et lautre sur la partie suprieure. Une fentre rectangulaire du tube en acier nous permet de bien
suivre lignition et la propagation du front de combustion comme cest reprsent sur la (Figure
III.9).
Tube en acier
Ciment rfractaire
Tube en quartz
Fentre
Le porte chantillon utilis est en acier dont la gomtrie est plus simple manipuler. Il sert
positionner lchantillon, et se fixe sur la calotte infrieure en parallle de la plaque de graphite.
Il se compose de deux parties, une partie infrieure sous forme de et une partie suprieure sous
forme de U qui se fixe la partie prcdente en se servant des vis (Figure III.10).
.
57
Chapitre III:
1- Absorption du vide.
2- Plaque de graphite pour lamorage.
3- Electrode
4- Alimentation.
5- Porte chantillon.
6- Lchantillon.
7- Racteur.
58
Chapitre III:
Plaque de
graphite
Portechantillon
Electrodes
en cuivre
Joint
Calotte
Infrieure
La raction SHS se fait dans un racteur hermtique avec un vide primaire de lordre de (2
-2
10 MPa) du 30 min. Les vis, le tube pour pompe et les arrives de courants sont bien colmates
ainsi que la fentre du racteur afin de pouvoir contrler l'atmosphre. L'tanchit entre les deux
calottes et le cylindre protecteur en acier est assure par des joints rsistant aux hautes
tempratures. Le vide est assur par durite appropri, reli un vacuomtre pour dterminer la
pression, puis une pompe vide.
L'chantillon est fix sur son support en colmatant deux plaques de graphite aux parois de
la porte chantillon (pour la conservation de la chaleur). Ce systme permet une fixation
horizontale de lchantillon et une direction de propagation du front ractionnel parallle au sens
de compaction froid (Figure III.12).
59
Chapitre III:
1
2
3
CuInSe2
Temps
Intensit
Temps de
et lchantillon (mm)
dignition (s)
dignition (A)
raction (s)
Trs rapide
40
Immdiat
par SHS
Tableau III.3: Paramtres exprimentaux de la SHS.
60
Chapitre III:
Chambre
vide
Pompe
secondaire
61
Chapitre III:
Substrat
La prparation des substrats est une condition essentielle pour la ralisation des couches
minces homognes. Lors de lobtention des couches, la prsence de polluants la surface du
substrat empche les ractions chimiques. Les substrats sont choisis en fonction des mesures
que lon dsire effectuer sur les couches minces. Ces substrats sont dcoups partir de
lames. Nous avons choisi le nettoyage des substrats de la faon suivante
Lavage puis rinage leau distille.
Lavage lalcool absolu dans une cuve ultrasons pendant 10 mn.
Rinage lactone.
Schage avec du papier filtre ou un flux dazote, en vitant au maximum llectrisation de la
surface qui provoque le dpt de poussire, pour rduire les possibilits de contaminations, les
lames sont nettoyes le plus tard possible et manipules avec des pincettes.
Les substrats sont ensuite fixs sur un porte substrat en cuivre. Un thermocouple cuivre
constantan est fix laide de laque dargent sur le substrat pour contrler la temprature de
chauffage du substrat lors du dpt. Pour sassurer quil n ya pas de gradient de temprature
lors du chauffage du substrat. Nous avons utilis deux thermocouples, un fix sur la surface
62
Chapitre III:
de dpt et lautre face externe du substrat. Le chauffage du substrat est assur par une lampe
infra rouge.
b) La ralisation du vide
Nous avons utilis des enceintes vide de forme cylindrique en verre. Les enceintes
sont quipes un seul creuset, porte substrat positionn en face du creuset, et un quartz
solidaire avec le porte- substrat. Le systme de pompage primaire est assur par une pompe
palette qui est associe une pompe turbo molculaire pour le vide secondaire. Lensemble
permet darriver un vide limite de lordre 2.10-5Torr, avec un temps de dpt 15 min et une
temprature du substrat est 400 C.
Chapitre III:
cycles dentre dair/pompage primaire pour liminer les vapeurs de slnium rsiduelles trs
toxiques. Par mesure de scurit, le port dun masque gaz est indispensable chaque
ouverture de lenceinte.
Lampe
I.R
Alimentation
de la lampe
64
Chapitre III:
65
Chapitre III:
Dhkl=K/cos
(III.2)
d=
a.c
c2 (h2 + k 2 ) + a2l 2
(III.3)
Chapitre III:
diffraction. Pour contourner ces problmes exprimentaux, il est possible de simuler les
diagrammes de manire globale laide dun affinement structural par la mthode de Rietveld
[3].
La mthode de Rietveld est une mthode danalyse en diffractomtre de rayons X sur
poudre. Elle ft dveloppe en 1969 par le cristallographe nerlandais Hugo Rietveld.
67
Chapitre III:
Cette mthode daffinement de structure (et non de dtermination de structure) utilise une
technique de minimisation de moindres carrs permettant dapprocher partir dun modle
structural le diagramme exprimental.
68
Chapitre III:
Chapitre III:
Chapitre III:
suivants : ultravioletvisible, infrarouge et micro-onde. Dans notre cas, nous avons utilis un
spectrophotomtre enregistreur doubles faisceaux, dont le principe de fonctionnement est
reprsent sur la figure III.19, par lequel nous avons pu tracer des courbes reprsentant la
variation de la transmittance, en fonction de la longueur d'onde dans le domaine de lUVvisible et proche de linfrarouge (200-800 nm). En exploitant ces courbes, il est possible
destimer lpaisseur du film, et de dterminer ses caractristiques optiques: le seuil
d'absorption optique, le coefficient d'absorption, la largeur de la bande interdite, lnergie
dUrbach et lindice de rfraction [5, 6].
a) Spectre de transmission
Pour dterminer la transmittance de nos couches minces de CIS, nous avons utilis un
spectrophotomtre UV-Vis de type (UV-3101 PC-SHIMADZU) double faisceau, lun pour
la rfrence (le verre : parce quil nabsorbe pas la lumire dans le domaine spectral), lautre
71
Chapitre III:
pour lchantillon (le verre + la couche mince de CuInSe2); la gamme spectrale stend de la
longueur donde = 200 2000 nm avec une rsolution de 5 nm. Les spectres obtenus
donnent la variation relative de la transmittance T(%) en fonction de la longueur donde
(nm).
Les constantes physiques utilises dans les calcules sont dfinies dans la figure III.20.
Figure III.20: Systme dune couche mince absorbante sur le substrat transparent.
T est la transmission ou la transmittance, est le coefficient dabsorption du film, est la
longueur d'onde de la lumire incidente, n et s sont les indices de rfraction du film et de
substrat respectivement et d est lpaisseur de film. Pour dterminer le coefficient
dabsorption (), nous avons utilis la relation de Bouguer- Lambert-Beer ou souvent appele
tout simplement ; la loi de Beer [8] :
T=e- d
(III.4)
(cm1) =
100
1
ln
d(cm) T(%)
(III.5)
Cette relation approximative est tablie, en ngligeant la rflexion toutes les interfaces;
air/couche, air/substrat et couche/substrat [9]. Connaissant lpaisseur de la couche, d, il est
donc possible de dterminer le coefficient dabsorption pour chaque valeur de la transmittance
qui correspond une nergie.
72
Chapitre III:
(III.6)
1/2
en
fonction de lnergie dun photon en balayant tout le domaine dnergie on a trac (h) 2 en
fonction de lnergie dun photon E= h (sachant que :
h (eV ) =
hc
12400
( A)
Chapitre III:
Ecin
E0
Ecin
Ecin=0
ech-sp
ech
NV
sp
NF
Spectromtre
EL
i
Echantillon
Figure III.21: Schma de principe de la mesure de lnergie de liaison en XPS (cas du solide)
Cependant comme la montre la formule ci-dessus pour un spectromtre donn les nergies.
74
Chapitre III:
L
Re l
(III.7)
Electromtre
Rgulateur
Cryostat
Echantillon
75
Chapitre III:
Les mesures dans le cryostat sont effectues sous un vide de lordre 10-6 Torr. Le
substrat est plaqu contre un porte chantillon en cuivre. Au niveau de lchantillon, les
contacts lectriques sont tablis par deux points fins on or. La variation de la temprature se
fait par circulation dhlium en utilisant un compresseur adapt.
76
Chapitre IV :
______________________________________
CHAPITRE IV
Rsultats exprimentaux &
Discussions
____________________________
77
Chapitre IV :
Chapitre IV :
temps de broyage (t=120 min) et une vitesse de broyage (v=300 tours/minute) [4]. Lanalyse par
diffraction des rayons-X a confirme aussi la prsence de cette phase In2Se3 dans le cas de la
dposition des couches minces CuInSe2 par la slnisation utilisant les conditions suivants ; une
temprature (T= 250 C), un temps de dpt (t= 30 min) et sous pression (P= 4x10-5 mbar) [5].
La figure IV.1 (b), montre un spectre du CuInSe2 broy par un temps de 30 min et une
vitesse 300 tours/minute. Les rais caractristiques de la phase chalcopyrite sont trs intenses, avec
une orientation prfrentielle selon le plan (112). Ce rsultat est bon accord avec la littrature [6].
Il est clair que lorsque le broyage est effectu pendant 15 minutes, la phase CuInSe2 nest pas
obtenue. Ceci est probablement d linsuffisance du temps de broyage pour lobtention dun
mlange homogne. Nanmoins, lorsque le broyage est effectu pendant 30 min, la phase
CuInSe2 est obtenue en prpondrance.
Nous pouvons alors conclure que, les paramtrs essentielles influencent sur lobtention de
la phase CuInSe2 prpar par la mcano-synthse sont: le temps de broyage, la vitesse de rotation
de la jarre et le rapport de la masse des billes sur de la poudre (BPR). Notre tude est base sur
leffet de la variation de temps de broyage sur la formation de la phase chalcopyrite CuInSe2.
79
10
20
40
30
40
80
(3 05 )(32 3 )
(4 0 0)
(2 1 7)(4 1 1)
(3 1 6)
(3 12 )
(20 4 )
30
(10 5)(2 1 3)
(1 1 2)
20
(2 11 )
(10 3 )
(20 0)
(10 1 )
U n it a rb itra ire
50
50
60
60
(3 1 6 )
(4 0 0 )
(3 0 1 )
(1 1 6 )
(1 0 5 )(2 1 3 )
(2 1 1 )
(1 0 3 )
In 2S e 3
(2 0 0 )
In 2 S e 3
U n it a rb itra ire
(1 1 2 )
Chapitre IV :
Rsultats exprimentaux & Discussions
(a)
70
70
2 ( )
(b)
80
2 ()
Figure IV.1: Spectres de diffraction des rayons-X du CuInSe2 prpar par diffrents temps de
Chapitre IV :
(d hkl )2
h2 + k 2 l 2
+ 2
a2
c
(IV.1)
O d est la distance entre les plans rticulaires (), h, k et 1sont les indices de Miller des plans, et
a et c sont les paramtres de maille (). Dans le cas dune structure ttragonale, a = b. Les
paramtres cristallins du CuInSe2 en poudre prpar par la mcano-synthse (t=15 et t=30 min) a,
c et le rapport c/a sont calcules selon le plan (112) et sont indiqus dans le tableau IV.1.
Autres Rsultats
Nos rsultats
Paramtres cristallins ()
c/a
Rfrences
a ()
c ()
t=30min
5.7650
11.541
2.002
[6]
t=120min
5.808
11.65
2.005
[7]
t=120min
5.816
11.464
1.972
[4]
t=15min
5.715
11.251
1.968
t=30min
5.781
11.590
2.004
Tableau IV.1: Comparaison entre les paramtres cristallins de maille de nos chantillons avec
des autres rsultats du CuInSe2 prpar par mcano-synthse (MC).
IV.2.1.2: Taille des grains
La taille des grains a pu tre estime partir des largeurs mi-hauteur et de la relation de
Scherrer. Il est possible, en utilisant le diagramme de diffraction des rayons X, de relier
llargissement mi-hauteur des raies la taille moyenne des cristallites par la relation suivante :
L=
K
D cos
(IV.2)
81
Chapitre IV :
O :
L : Taille moyenne des cristallites
: Longueur donde des rayons X
D : Elargissement rel de la raie de diffraction
: Angle de diffraction
K : Constante (K=0.9 lorsque D est pris mi-hauteur de la raie de diffraction).
Selon lquation (IV.2), la taille des cristallites est inversement proportionnelle la largeur
mi-hauteur des pics de diffraction qui est lie la cristallinit de la phase. Donc, plus la largeur
mi-hauteur est faible, plus la phase est cristalline et plus les cristallites sont grosses. La taille
des grains du CuInSe2 prpar par broyage est de 33 et 18 nm respectivement. On remarque que
quand le temps de broyage augmente, la taille des grains de CuInSe2 diminue. Chaque grain est
constitue de diffrents domaines [8] ou bien plusieurs cristallites et donc la taille de cristallite est
gnralement plus petite que celle du grain. On peut obtenir exprimentalement la taille des
grains par exemple par le microscope balayage (MEB) ou par le microscope force atomique
(AFM).
82
Chapitre IV :
La figure IV.3, reprsente le spectre de diffraction des rayons X du CuInSe2 prpar par
SHS. Il montre une phase unique CuInSe2 avec une orientation prfrentielle selon la direction
(112) avec de prsence des pics caractristiques de la phase chalcopyrite tels que ; (101), (103),
(211), (105)/(213), (312), (400) et (316). Nous pouvons alors conclure que la fabrication du
CuInSe2 par la mthode SHS est possible. Cette nouvelle technique est plus rapide que les
mthodes conventionnelles et moins onreuse.
Gnralement lidentification de la structure chalcopyrite est base principalement sur la
prsence des raies caractristiques de la chalcopyrite qui sont mentionnes prcdemment (raies
des faibles intensits qui nexistent pas pour la structure sphalrite). Dautre part, la prsence de
certaines rflexions doubles, telles que : (204)/(220), (116)/(312), (316)/(332), peut aussi
confirmer la structure chalcopyrite. Wada et al [9] ont fabriqus un chantillon du CuInSe2 par la
mthode mcano-chimique, qui est une forme de la technique SHS, ils ont trouvs une phase
unique du CuInSe2.
83
20
30
40
50
60
(316)
(400)
(213)
(105)/(213)
(220)
(211)
(101)
(103)
(200)
Unit arbitraire
(112)
Chapitre IV :
70
80
2-Thta (Degres)
84
Chapitre IV :
Le diagramme des rayons X des couches minces du CuInSe2 obtenus par mcano-synthse
(t=15 et t=30 min) est reprsent sur la figure IV.5.
partir de la figure IV.5 (a), il est clair que la phase In2Se3 observe sur la figure IV.1 (a)
(CuInSe2 prpar par broyage 15 minute) a disparue pour le CuInSe2 en couche mince, cela est
due aux conditions de croissance des couches minces tels que: la temprature de creuset, la
temprature du substrat et le temps de dposition. Tous ces critres jouent un rle trs important
dans la cristallisation des matriaux. Dans notre cas cest la recristallisation de couche mince de
CuInSe2 prpar par broyage (t=15 min).
La figure IV.5 (b), montre un spectre de diffraction des rayons X de la couche mince du
CuInSe2 prpar par la mcano-synthse pendant 30 minutes. La phase chalcopyrite a t
identifie, les paramtres cristallins a, c et c/a sont montrs dans le tableau IV.2, Ces paramtres
peuvent tre compars avec ceux de la littrature [13-15].
85
20
30
40
50
(501)
(501)
(424)
(316)
(312)
(220
(a)
10
(400)
(211)
(103)
(101)
(b)
(312)
(220)
Unit arbitraure
(112)
Chapitre IV :
60
70
80
90
2 ()
Nos rsultats
Paramtres cristallins ()
c/a
Rfrences
a ()
c ()
t=30 min
5.800
11.645
2.002
[9]
t=120min
5.696
11.657
2.046
[4]
t=15min
5.742
11.541
2.009
t=30min
5.775
11.551
2.003
Tableau IV.2: Comparaison entre les paramtres cristallins de maille de nos chantillons avec
des autres rsultats du CuInSe2 en couches minces prpar par mcano-synthse (MC).
La taille des grains des couches minces du CuInSe2 prpares par mcano-synthse (t=15 min, t=
30 min) est 14 et 11 nm respectivement.
86
Chapitre IV :
87
Chapitre IV :
La figure IV.6 reprsente un spectre de diffraction des rayons X de la couche mince du CuInSe2
prpar par auto-combustion (SHS). Les pics caractristiques de la phase chalcopyrite sont
10
20
30
40
50
60
70
80
(336)
(424)
(316)
(400)
(301)
(211)
(103)
(200)
(312)
(204)
Unit arbitraire
(112)
prsents.
90
2 ()
Figure IV.6: Spectres de diffraction des rayons-X de couche mince du
On a utilis une longueur donde CuK=1,54 (). Le diagramme des rayons-X des couches
minces de CuInSe2 est reprsent sur la figure IV.7. On voit trois pics principales, correspondent
la structure chalcopyrite ont une forte intensit. Les paramtres cristallins a, c et c/a sont montrs
dans le tableau IV.3, ces paramtres peuvent tre compars avec ceux de la littrature [13-15].
88
Chapitre IV :
2500
1500
(220)
1000
(312)
Intensit
2000
500
0
10
20
30
40
50
60
70
2
Figure VI.7. Diagramme de rayons X dune couche mince du CIS Co-vapore.
hkl
2hkl ()
dhkl
a ()
c ()
c/a
()
(112)
26,73
3,35
(220)
44,55
2,03
(312)
52,92
1,73
5,74
5,74
11,86
11,50
a moy
c moy
()
()
5,74
11,68
c/a
2,06
2,03
2,00
Taille des
Taille moyenne
grains (nm)
(112)
27,94
(220)
24,43
(321)
16,80
23,05
Tableau IV.4. Taille des grains de chaque pic du CuInSe2 en couche mince prpare par Covaporation
89
Chapitre IV :
Les paramtres libres de distorsion sont donns par les quations suivantes:
X =
d I VI =
d III VI =
1 c2
1
(
)
32 a 2
16
a2X
a2(
(IV.3)
4a 2 + c 2
64
(IV.4)
1
4a 2 + c 2
X )2 +
2
64
(IV.5)
Les valeurs des paramtres libres de distorsion du CuInSe2 prpar par diffrents mthodes
dlaboration sont rassembles dans le tableau suivant.
Mthode
dI-VI
dIII-VI
t=15min
t=30min
par SHS
Couche mince
(t=15min)
Couche mince
(t=30min)
Couche mince
(par SHS)
Couche mince par
Co-vaporation
0.2575
0.2530
0.2572
0.2443
0.24853
0.25252
0.25176
0.24676
0.24356
0.25054
0.24700
0.25051
0.2439
0.24756
0.25159
0.2449
0.24651
0.24988
0.2413
0.24534
0.25124
Tableau IV.5: Les paramtres libres de distorsion du CuInSe2 prpar par diffrents mthodes
dlaboration.
Chapitre IV :
diffractogramme exprimental par une technique de minimisation de type moindre carr. Cet
algorithme de Rietveld tient compte des caractristiques instrumentales (la courbe de rsolution
du diffractomtre), des paramtres structuraux (paramtres de maille et positions datomiques) et
microstructuraux (taille et dformation des cristallites) de lchantillon.
Les donnes ncessaires pour cette analyse doivent comporter le groupe despace, le
nombre des atomes, les positions datomes, les sites doccupations et les paramtres de rseau
cristallographique. Lexploitation seffectue laide du llogiciel MAUD (Material Analysis
Using Diffraction) [16]. Cest un programme gnral de diffraction/analyse de rflectivit
principalement bas sur la mthode de Rietveld.
Nous prsentons dans ce qui suit les diffractogrammes de la couche mince prpare par
vaporation thermique partir la mcano-synthse en utilisant pour lajustement le programme
Maud (Figure IV.8). Laffinement a t effectu avec les paramtres de la phase tetragonale de
groupe despace I42 et des paramtres cristallines fix et pris gal des fiche ASTM (a =0.578 nm
et c=1.1629 nm).
91
Chapitre IV :
(b)
(a)
92
Chapitre IV :
La figure IV.9. Reprsente un spectre daffinement par Maud dune couche mince du
CuInSe2 prpar par SHS.
Les spectres des rayons XRD ont t ftes par le programme Maud [11], qui bas sur la
mthode de Rietveld [20] combine lanalyse de Fourier. Lestimation moyenne des paramtres
microstructuraux (taille des cristallites et des microdformations) a t tire partir du modle
iso-tropique [21]. La taille de cristallites (s) et r.m.s microdformation (2)
1/2
, sont valus
partir du modle anis-tropique bas sur les de rgles Popa [17], quand les profils dlargissement
sont dpendent des indices de Miller (hkl). Tous les paramtres sont affins par un processus
itratif de minimisation des moindres carrs. Le choix du fit le plus satisfaisant est fait sur la base
derreur rsiduelle pondre (Rw) dfini comme suit:
N ( yi yic )2
Rw = i =N1
yi
(
2
)
i
i =1
1/ 2
(IV.6)
93
Chapitre IV :
GOF=
(IV.7)
Rw
Rexp
Ou
R exp
( N P)
= N
yi
i =1
1/ 2
(IV.8)
Paramtres
cristallins
a(nm) c (nm)
0.577
0.579
0.577
Microdformation
GOF
22
12
9
0.0033
0.1002
0.0016
1.096
1.103
1.117
1.162
1.164
1.161
On remarque que les valeurs des paramtres cristallins et la taille des grains calcules par Maud
sont proches que celles calcules par les quations (IV.1) et (IV.2). Donc la mthode de Reitveld
qui utilise le programme Maud est efficace et utile pour laffinement.
94
Chapitre IV :
95
Chapitre IV :
96
Chapitre IV :
97
Chapitre IV :
Cu: 20 at. %
In: 26 at. %
Se: 54 at. %
(a)
Cu: 18 at. %
In: 27 at. %
Cu : 27 atm.
% at. %
Se: 55
Cu
:
27
atm.
In : 21 atm. % %
21atm.
atm.%%
SeIn: :52
Se : 52 atm. %
(b)
98
Chapitre IV :
Cu: 21 at. %
In: 23 at. %
Se: 56 at. %
(c)
Les rsultats de lEDX suggrent que nos couches minces sont riche en Se. Elles sont soit
par Se en interstitielle (accepteur), le Se antisite (Se sur site Cu) (doneur) ou Se antisite (Se sur
site In) (accepteur).
99
Chapitre IV :
(a)
(b)
100
Chapitre IV :
(b)
Chapitre IV :
102
Chapitre IV :
(a)
(b)
Figure IV.15: Visualisation par MEB de la surface dune couche du CuInSe2 obtenu
par mcano-synthse (t=15 min).
103
Chapitre IV :
(a)
(b)
Figure IV.16: Visualisation par MEB de la surface dune couche du CuInSe2 obtenu
par mcano-synthse (t=30 min).
104
Chapitre IV :
(b)
Figure IV.17: Visualisation par MEB de la surface dune couche du CuInSe2 obtenu
partir de la mthode SHS.
105
Chapitre IV :
Chapitre IV :
Afin de calculer la valeur de bande interdite, Eg, nous utilisons la formule reliant le coefficient
dabsorption la largeur de la bande interdite et la nature de transition, qui scrit sous la forme
[25]. Le spectre dabsorption dun semi-conducteur permet destimer son gap et de dterminer les
origines possibles de labsorption. Le compos ternaire CuInSe2 est reconnu pour tre un semiconducteur gap direct. La relation donnant le coefficient dabsorption en fonction de lnergie
est la:
A
(h Eg )1/ 2
h
(IV.9)
Soit encore :
(h)2 = A(h Eg )
(IV. 10)
O : A et B des constants respectivement dans les cas de transitions directe permise et directe
interdite (gap optique).
-h : nergie des photons lumineux en (eV)
-Eg : nergie de la bande interdite en (eV)
IV.6.1. La transmission
Chapitre IV :
La figure IV.19 ((a), (b)), illustre in spectre de transmission des couches minces de
CuInSe2, sur les quels on distingue trois zones:
-I: une zone de forte absorption (E>Eg) o la disparition des franges nous prive de la
dtermination de lindice.
-II: une zone de faible absorption (on sapproche de la valeur du gap E Eg, une partie des
photos est absorbe) o lon peut distinguer les franges dinterfrences dont lamplitude avec la
longueur donde. On utilise les franges pour dterminer lindice de rfraction et connaissant
celui-ci avec la transmission, on dtermine le coefficient dabsorption.
-III: une zone o labsorption est ngligeable (zone de transparence), lorsque E<Eg, la
transmission atteint alors un plateau, les maximums et les minimums des transmissions ont
chacun une valeur constante. Dans cette zone, on dtermine lordre dinterfrence, lpaisseur de
la couche et lindice de rfraction.
80
70
(a)
Transmission (%)
60
50
40
(b)
30
20
III
10
II
0
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2200
2400
108
Chapitre IV :
70
60
Transmission (%)
50
40
30
20
10
0
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2200
On peut calculer lpaisseur de la couche mince partir des franges dinterfrences des spectres
de transmissions. Swanepoel et al ont dvelopps le mlode [26] pour calculer les paisseurs de
ces couches partir des relations suivantes [26]:
d=
m1m 2
2(m1n(m 2 ) m 2 n( m1 ))
(IV.11)
Ou n( m ) = n( m ) + [ M ( m )] 2 n s ( ) 2
Et M ( m ) =
(IV.12)
2n s ( ) n s ( ) + 1
2
Tm ( m )
2
(IV.13)
109
Chapitre IV :
Ou
m1 et m2: les valeurs minimales
n(m1) et n(m2): Indice de rfraction des longueurs d'onde minimales.
Tm (m): les valeurs maximales de la transmission de longueur donde minimale.
n (s) : lindice de rfraction du substrat.
Aprs les calcules, les valeurs des paisseurs des couches minces du CuInSe2 prpares par
mcano-synthse (t=15 min et t= 30 min) et par SHS sont : 580 nm, 550 nm et 460 nm
respectivement.
IV.6.2. Labsorption
110
Chapitre IV :
3,50x10
3,25x10
3,00x10
2,75x10
2,50x10
2,25x10
2,00x10
(cm -1)
(b)
(a)
0,8
0,9
1,0
1,1
1,2
1,3
1,4
h (eV)
111
Chapitre IV :
3,5x10
3,0x10
-1
(cm )
2,5x10
2,0x10
1,5x10
1,0x10
0,8
0,9
1,0
1,1
1,2
1,3
1,4
h (eV)
112
Chapitre IV :
50000
40000
30000
20000
10000
-10000
1,0
1,5
2,0
IV.6.3.1. Le gap dnergie des couches minces du CuInSe2 prpares par mcano-synthse
(MC)
Il est possible de dterminer de faon plus prcise la largeur de la bande interdite, Eg, partir de
lextrapolation de la partie linaire de la courbe reprsentant la fonction (h) 2=f(h) et de son
intersection avec laxe des abscisses (axe des nergies de photons). La variation de cette fonction
de nos mesures obtenues est reprsente sur la figure IV.24.
113
Chapitre IV :
2,70E+011
2,40E+011
(a)
2,10E+011
(h) 2
1,80E+011
(b)
1,50E+011
1,20E+011
9,00E+010
6,00E+010
Eg=0.94 eV
Eg=1.02 eV
3,00E+010
0,6
0,8
1,0
1,2
1,4
h
Figure IV.24: Dpendance de (h) 2 en fonction de lnergie de gap (h)
des dpts des couches minces de CuInSe2 prpares par mcano-synthse :
(a) 15 min, (b) 30 min.
Les valeurs Eg de ces couches minces du CuInSe2 prpares partir de la poudre broye par
mcano-synthse: 15 min et 30 min sont 0.94 eV et 1.02 eV respectivement. Ces valeurs sont
dans la gamme des valeurs prvues par la thorie (0.8 -1.6 eV) [27] et trs comparative celles
dArsene (0.90 -0.99 eV) obtenues pour des lingots par la zone fondue [1] et celles donnes par
Folmer et al (0.85-1.15 eV) [28] et Malar et al (0.97 eV [29]. Ces valeurs aussi sont identiques
ceux trouves par autres auteurs (1.06-1.04 eV) [30-38]. Dautres chercheurs utilisant diffrents
techniques [8, 39, 40] ont trouves les mmes valeurs de Eg que nos chantillons (1.02 eV).
Hrig et al. [41] ont calcul un gap optique de lordre de 0.941 eV, dautre part une valeur
de lordre de 1.05 eV est obtenue par Wagne et al. [42]. Ashour [43] a labor des couches
114
Chapitre IV :
2,70E+011
2,40E+011
(h) 2
2,10E+011
1,80E+011
1,50E+011
1,20E+011
9,00E+010
6,00E+010
Eg=0.98 eV
3,00E+010
0,6
0,8
1,0
1,2
1,4
h
Figure IV.25: Dpendance de (h)
en fonction de lnergie de
gap (h) dun dpt de couche mince du CuInSe2 prpare par SHS.
115
Chapitre IV :
IV.6.3.3. Le gap dnergie des couches minces du CuInSe2 prpares par la Co-vaporation
A partir des donnes exprimentales, la reprsentation de (h) 2 en fonction de lnergie
du rayonnement incident, permet de vrifier cette relation et dvaluer le gap du matriau. La
figure IV.26, reprsente la courbe (h) 2 en fonction de h .
116
Chapitre IV :
1,5x10
(h )2(eV cm-1)2
1,0x10
5,0x10
1,02 eV
0,0
0,5
0,6
0,7
0,8
0,9
1,0
1,1
1,2
1,3
1,4
1,5
Energie h (eV)
117
Chapitre IV :
Couche mince
de CuInSe2
Laque dargent
Substrat de verre
Porte-substrat
Des analyses haute rsolution sont ralises pour les domaines dnergie correspondant
aux rais : Cu2P, In3d, Se3d, O1s et C1s. Les tudes quantitatives de lXPS sont bases sur la
dtermination des rais des pics avec des facteurs de sensibilit de Cu, In et Se : 5. 3 ; 3.8 et 0.58
respectivement, qui sont donns par le constructeur Leybord, pour Cu2P3/2, In3d5/2, Se3d, O1s et
C1s respectivement.
Le profil est tudi par lenregistrement successif des spectres XPS obtenus par un
dcapage utilisant des ions dargent. Le dcapage est ralis sous une pression infrieure
118
Chapitre IV :
Chapitre IV :
respectivement: 19%: 26%: 55%, 17%: 27%: 56% et 20 %: 23%: 57%. Aprs dcapage, la
contamination de surface disparat et les raies sortent mieux. Ces compositions ne sont pas trs
diffrentes des compositions values par EDX.
Les rsultats suggrent que nos couches minces sont riches en Se. Ce type de dfaut a t
interprt par EDX (elles sont soit par Se en interstitielle (accepteur), le Se antisite (Se sur site
Cu) (donateur) ou Se antisite (Se sur site In) (accepteur)) [61]. Lapparition du pic Se dans nos
mesures est alors en bon accord avec la mesure de la composition. En consquence le pic Se est
d lexcs de slnium dans nos matriaux [61].
120
Chapitre IV :
Cu
Cu
195
230
225
185
220
CPS
190
180
215
175
210
170
205
(a)
(b)
200
165
960
955
930
925
960
955
930
x 102
Cu
290
Cu
280
270
CPS
CPS
235
Cu
2
x 10
2
x 10
Cu
200
260
250
240
230
220
960
(c)
955
930
925
Figure IV.28: a), b), c) Reprsentation des raies de Cu2p, obtenues aprs dcapage 2 min des
couches minces de CuInSe2 prpares partir de la mcano-synthse (t=15 min, t=30 min) et
partir de la SHS respectivement.
121
925
Chapitre IV :
In 3
CPS
CPS
16
12
14
(d)
(e)
12
10
450
Binding Energy (eV)
440
460
440
In 3
3
x 10
450
Binding Energy (eV)
In 3d
30
25
CPS
460
In 3d
14
10
x 10
18
In 3d
16
20
In 3
3
18 x 10
20
15
(f)
10
460
450
Binding Energy (eV)
440
Figure IV.29: d),e), f) Reprsentation des raies de In3d, obtenues aprs dcapage 2 min des
couches minces de CuInSe2 prpares partir de la mcano-synthse (t=15 min, t=30 min) et
partir de la SHS respectivement.
122
Chapitre IV :
22
Se 3d
28
26
24
22
CPS
18
16
14
20
(g)
62
60
58
56
54
Binding Energy (eV)
60
52
50
(h)
64
x 102
62
60 58 56 54
Binding Energy (eV)
52
50
Se 3
64
18
16
55
50
45
40
CPS
CPS
32
30
20
12
x 10
Se 3
36
34
Se 3
2
24 x 10
35
30
25
(i)
20
64
62
60
58
56
54
Binding Energy (eV)
52
50
Figure IV.30: g), h), i) Reprsentation des raies de Se3d, obtenues aprs dcapage 2 min des
couches minces de CuInSe2 prpares partir de la mcano-synthse (t=15 min, t=30 min) et
partir de la SHS respectivement
123
Chapitre IV :
Les tableaux (IV.7, IV.8 et IV.9) montres les rsultats de XPS des couches minces de CuInSe2.
Prpares par mcano-synthse (t=15 min, t=30 min) et par SHS respectivement.
Elment
Cu
In
Se
Le niveau
Cu 2p3/2
Cu 2p1/2
In 3d5/2
In 3d3/2
Se 3d5/2
Se 3d
Energie (EG)
932.60
952.80
444.90
452.30
54.36
55.29
Le niveau
Cu 2p3/2
Cu 2p1/2
In 3d5/2
In 3d3/2
Se 3d5/2
Se 3d
Energie (EG)
932.80
952.20
444.80
452.30
54.22
55.00
Elment
Cu
In
Se
Le niveau
Cu 2p3/2
Cu 2p1/2
In 3d5/2
In 3d3/2
Se 3d5/2
Se 3d
Energie (EG)
932.60
952.20
444.80
452.50
54.30
55.10
Tableau IV.9: Rsultats de XPS de CuInSe2 en couche mince prpar par SHS.
124
Chapitre IV :
Cu
(In,Ga)Se2 conciliant un bon contrle ainsi quune bonne reproductibilit de la croissance des
couches minces et un faible cot de production. Nos couches minces Co-vapores et leurs
mesures de conductivit courant continu ont t obtenues au laboratoire (LAMP de Nantes). En
effet, la conductivit dans ces matriaux haut rendement photovoltaque [62], est un paramtre
de caractrisation trs cruciale pour leur emploi dans la conversion de lnergie solaire. Elle rend
compte des diffrents mcanismes de conduction qui rgissent son comportement et qui son
gnralement lis aux vibrations du rseau (phonons) et aux impurets. Dans le cas particulier des
couches minces poly-cristallines leffet des joints de grains est prpondrant.
Cu %
= 1,29. Cette composition
In%
prsente un excs de cuivre et le dfaut le plus probable serait un atome de cuivre en substitution
sur un site dindium (CuIn) et son type de conduction est p. Il est que M. Varela et al [63], ont
t obtenus des couches minces de CuInSe2 Co-vapores de type p dont la conductivit dpend
galement du rapport Cu/In. La valeur de la conductivit varie de 10
-6
102 S .cm
-1
lorsque le
125
Chapitre IV :
-1
-1
-1
ln(ohm cm )
-2
-3
-4
-5
-6
-7
0
10
15
20
25
30
35
40
45
-1
1000/T(K )
On observe dans cette figure (IV.31), que la conductivit lectrique augmente avec la
temprature. Ce comportement est caractristique des matriaux semi-conducteurs. On
remarquera galement que la conductivit lectrique crot trs lentement dans le domaine des
basses tempratures alors quelle crot beaucoup plus rapidement dans le domaine des hautes
tempratures. La conductivit de notre couche mince de CuInSe2 300 K est 0.54 cm-1-1. Les
deux valeurs des nergies dactivation associes ces deux domaines de tempratures sont
respectivement 10 et 120 meV. basse temprature lnergie dactivation du processus de
conduction est relativement faible est elle est due lexcitation des porteurs de charges partir
dun niveau accepteur lger, ou la prdominance dun mcanisme de conduction par saut. Cette
valeur 10 meV est bien plus faible que les nergies dactivations associes aux diffrents dfauts
intrinsques [60, 64, 65, 66]. Il est toutefois signaler les rsultats des mesures de transport dans
les cristaux de CuInSe2 de type-p [67] dans la plage de temprature variant de 20 300 K sont
interprts assumant lexistence dune bande dimpuret.
126
Chapitre IV :
A.H.Moharram et al [68], ont effectus des mesures de conductivit sur des couches minces
covapores partir de deux sources et ont conclus que lnergie dactivation ainsi que la densit
des tats localiss aux de Fermi diminuent lorsque le rapport Cu/In augmente.
o lnergie
T0 1 / 4
T
= 0 exp
(IV.15)
(IV.16)
127
Chapitre IV :
-1
ln(sigma T1/2)(ohm-1cm-1K-1)
-2
-3
-4
-5
-6
-7
-8
0,32
0,34
0,36
0,38
1/4
0,40
0,42
-1/4
1/T (K )
N (EF )
8K
1/ 2
0 = 3e 2 ph
Chapitre IV :
9
R=
8KTN (EF )
1/ 4
W=
3
4RN (EF )
1/2
-1
cm
41.5634
R=
N ( EF )
1/ 4
En plus du paramtre T0/T, nous avons calcul le produit R>>1, W>>KT pour satisfaire
aux conditions de validit du mode de conduction (VRH). La valeur de T0 est de lordre 9,78.104
K est comparable aux rsultats obtenus pour dautres couches minces poly-cristallines de
CuInSe2 [72,73]. Plusieurs auteurs [30, 74-78] ont galement rencontr ce mode de conduction
dans le CIS poly-cristallin, obtenu partir de diverses mthodes dlaborations.
129
Chapitre IV :
R 100K
(ev cm )
(cm)
(105 cm-1)
9,78.104
7,9.1015
2,409. 10-6
1,54
3,722
21,694
Rf [79]
10.34. 106
2.03 1019
Rf [30]
1.4105
2.61018
100 K
1.21106
2.3
13.39
1.21
3.3
19.13
Echantillon
T0 (K)
N(EF)
-1
Notre
-1
W 100K
(meV)
chantillon
CuInSe2
K1.910-6
Rf [75]
5.97105
0.621018
2.7210-6
200K
0.411018
Rf [74]
200K
19(200K)
0.04810-6
Rf [80]
4.1104-
9.11019-
Par CSVT
5.2106
1.11022
Rf [81]
0.84104
4.611022
Par
1.8-7.1
13.1-54.2
120K
120K
0.87 10-7
7.5
vaporation
Tableau IV.10 : Paramtres de Mott du mode de conduction par sauts distance variable dans
le CuInSe2
e 2 Ln
E
exp A
1/ 2
(2m * KT )
KT
(IV.17)
130
Chapitre IV :
-0,5
ln( T1/2)(ohm-1cm-1K1/2)
-1,0
-1,5
-2,0
-2,5
3,50
3,75
4,00
-1
1000/T(K )
131
4,25
Conclusion gnrale :
Conclusion gnrale
Depuis plus de quarante ans, la course des diffrents groupes de recherche et des
socits vers la diminution du prix du watt dlectricit produite par photovoltaque, conduit
au dveloppement de nouveaux matriaux semi-conducteurs, considrs actuellement comme
matriaux prometteurs pour les applications photovoltaques. Parmi ces candidats, la couche
mince de dislniure de cuivre et dindium CuInSe2 sous sa structure chalcopyrite. Par rapport
au silicium, les cellules solaires base de ce semi-conducteur permettraient un rendement
lev, une excellente stabilit, une excellente rsistance aux irradiations et une dure de vie
leve. Beaucoup des efforts sont employs pour dvelopper des nouvelles techniques pour
fabriquer ce semi-conducteur, vu ses avantages, notamment sa facilit mettre au point, la
simplicit de son quipement.
132
Conclusion gnrale :
Lanalyse par diffraction des rayons X a bien montr que le matriau CuInSe2 prpar
par mcano-synthse (t=30 min et v=300 tours/minute), par SHS et les couches minces du
CuInSe2 dposes par vaporation thermique obtenues partir des poudre broyes et celle
obtenue par auto-combustion et les couches minces dposes par Co-vaporation, prsentent
une structure chalcopyrite et une dorientation prfrentielle suivant la direction (112). Nous
avons dtermin les paramtres du rseau, la taille des grains et leurs valeurs ont t trouves
trs proches de celles donnes dans la littrature. Le raffinement par la mthode Rietveld
utilisant le programme Maud confirme la phase chalcopyrite des couches minces nous a
permis destimer la taille des grains de ces matriaux ainsi leurs paramtres cristallins dont les
valeurs sont comparables celles donns par les fiches ASTM (American Society Testing
Materials) .
Ltude de la transmission des toutes les couches minces du CuInSe2 prpares partir
de la mcano-synthse (t=15 min et t=30 min) partir de la SHS et par Co-vaporation a
montr que ces matriaux possdent des coefficients dabsorption (>105 cm-1) et des bandes
interdites directes de lordre de (1.00 eV). Ces deux paramtres confirment la possibilit
dutiliser ces composs comme couches absorbantes dans la fabrication des cellules
photovoltaques.
Conclusion gnrale :
effectues en utilisant les niveaux Cu2p3/2, In3d5/2, et Se3d5/2. La mesure par photo
spectroscopie XPS a permet destimer de la composition atomique des chantillons.
134
Rfrences dAnnexe I
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partement de Physique, Faculte des Sciences, Universite Badji Mokhtar, Annaba, Algeria
Laboratoire dEtude et de Recherche des Etats Condenses (LEREC), De
Deparetment des Mines, Universite de Badji Mokhtar, Annaba, Algeria
c
LAMP, Universite de Nantes, 2 Rue de Hossinnie re, BP 92208, 44322 Nantes Cedex 3, France
d
Laboratoire dEtude de Surfaces et Interfaces de la Matie re Solide (LESIMS), Departement de Physique, Faculte des Sciences, Universite Badji Mokhtar,
Annaba, Algeria
b
a r t i c l e i n f o
abstract
CuInSe2 was fabricated via mechanical milling of Cu, In, Se and self-propagating high
temperature synthesis (SHS). The latter materials were thermally evaporated to obtain
nanostructured thin lms. The ball milled powders are obtained using a rotational disk
speed of 300 rpm and a milling time of 15 and 30 min. On the other hand, the SHS
process was carried out on the mixed cold pressed powder of Cu, In and Se, owing to a
graphite plate heated by a high intensity electrical current. The investigated materials
were analyzed by X-ray diffraction. They exhibited a chalcopyrite like-structure.
Rietveld method combined with Fourier analysis using Maud program was exploited
to t X-ray diffraction data. The chemical bounding is studied by X-ray photoelectron
spectroscopy (XPS). SEM analysis revealed that the obtained thin lms were nanostructured.
& 2011 Elsevier Ltd. All rights reserved.
Keywords:
CuInSe2
Mechanical alloying
Self-propagating high temperature
synthesis (SHS)
Thin lms
XRD
1. Introduction
The ternary semiconductor of the IIIIVI2 (ICu, Ag;
III In, Ga, Al; VIS, Se, Te) family, which crystallizes in
the chalcopyrite structure (space group) have attracted
considerable interest because of their potential use for
solar cells applications. Each I- and III-atom is tetrahedrally co-ordinated to four VI atoms, while each VI-atom is
tetrahedrally co-ordinated to two I-atoms and two IIIatoms in an ordered manner. If I- and III-atoms are
randomly distributed, the sphalerite structure (space
n
Corresponding author. Tel.: 213 0774 98 39 35;
fax: 213 38872500.
E-mail address: h_linda21@yahoo.fr (L. Saad Hamideche).
1369-8001/$ - see front matter & 2011 Elsevier Ltd. All rights reserved.
doi:10.1016/j.mssp.2011.10.002
146
Vacuum absorption
Graphite plate
Electrode
Sample
Thermocople
Reactor
Welding transformer
200 A
Fig. 1. Scheme of the reactor and ignition system used in the horizontal
SHS process.
Rw
Rexp
where
"
#1=2
NP
Rexp PN
i 1 yi
Grain size
S (nm)
Milling (t 15 min)
Milling (t 30 min)
SHS
Thin lm (t 15 min)
Thin lm (t 30 min)
Thin lm (SHS)
0.571
0.578
0.580
0.574
0.577
0.573
1.125
1.159
1.137
1.154
1.155
1.147
1.970
2.005
1.960
2.010
2.002
2.002
33
18
70
14
11
30
(112)
c/a
10
20
30
(501)
(312)
(501)
(424)
(316)
(400)
(312)
40
50
60
70
80
(501)
(424)
(316)
(400)
(312)
(220)
(103)
(200)
(211)
(217) (411)
(316)
(305) (323)
(400)
(312)
(105) (213)
(b)
(c)
90
2-Theta (Degrees)
(112)
(211)
(220)
(103)
(a)
(316)
(400)
(105) (213)
(301)
(116)
c (nm)
(220)
(211)
(103)
In Se
(200)
In Se
(112)
(103)
(200)
(b)
(101)
(a)
a (nm)
(220)
Method of preparation
(211)
0:9l
b cos y
(112)
Table 1
Lattice parameters, c/a ratio and the grain sizes of the CIS milled powder,
SHS ingot and thermally deposited thin lms.
(112)
(112)
(101)
147
10
20
30
40
50
60
2-Theta (Degrees)
Table 2
Rened crystalline parameters for CuInSe2 thin lms.
(400)
(217) (411)
(316)
(312)
(105) (213)
(220)
(301)
(211)
(103)
(200)
(101)
(c)
70
80
90
a
t 15 min 0.577
t 30 min 0.579
SHS
0.577
c
1.162
1.164
1.161
19
14
34
0.003
0.100
0.001
1.096
1.103
1.117
148
Fig. 4. Rietveld renement using the MAUD software for CuInSe2 thin lms deposited from mechanically alloyed powders ((a) 15 min, (b) 30 min and
SHS bulk compound (c)).
149
milling conditions can signicantly inuence the obtention of CuInSe2 phase, since repeated welding, fracturing
and rewelding of powder particles are involved in the
process. The optimized variables namely milling time,
ball-to-powder weight ratio and milling speed were
30 min, 11/1 and 300 rpm, respectively.
3.2. X-ray of CuInSe2 thin lms deposited from mechanically
alloyed powders (MA) and SHS bulk compound
The X-ray diffraction of CuInSe2 thin lms obtained by
thermal evaporation as depicted in Fig. 3(a)(c) shows the
prominent and characteristic peaks of the chalcopyritelike structure, which is suitable for photovoltaic conversion. It is worth noting however, that the observed foreign
phase in the milled powder (Fig. 2(a)), namely In2Se3 does
no longer exist in the deposited thin lm. This is likely to
be due to the lm growth conditions namely the crucible
source temperature, substrate temperature and deposition time which have a favorable effect on the improvement of the material crystallinity. Furthermore, it was
possible to achieve good quality thin lms prepared from
SHS CuInSe2 bulk compound. Hence, the SHS process is
Fig. 5. Scanning electronic micrographs of CuInSe2 prepared by mechanically alloyed powders ((a) 15 min, (b) 30 min and SHS bulk compound (c)).
Fig. 6. Scanning electron micrographs of CuInSe2 thin lms deposited from mechanically alloyed powders ((a) 15 min, (b) 30 min and SHS bulk
compound (c)).
aggregates present in both milled powders. The morphology of the compound obtained by SHS is however different. Some unlled spaces and voids are present in the
image (Fig. 5(c)). This is likely to be due to the rapid and
exothermic character of the self-propagating combustion
mode of the heat reaction in the SHS process.
Fig. 6(a)(c) shows SEM images of thermally evaporated CuInSe2 thin lms surface. The surfaces morphology
are relatively compact and dense with nano-size particles.
However, the average crystallite sizes as obtained
from the XRD data for thin lms deposited from milled
powders (15 and 30 min) and SHS bulk compound
are 14, 11 and 30 nm, respectively. It may therefore be
possible that, each grain observed under the SEM prole
contain a number of individual crystallites, approximately
equal.
x 10
x 10
24
In 3
Cu
Cu
195
18
22
16
In 3d
x 10
200
Se 3
150
190
20
180
CPS
185
CPS
CPS
14
12
18
16
175
170
10
14
12
165
950 945 940 935
Binding Energy (eV)
930
925
460
290
450
Binding Energy (eV)
3
x 10
30
62
60
58
56
54
Binding Energy (eV)
52
50
52
50
52
50
60
55
270
In 3d
Cu
280
25
50
45
250
CPS
260
CPS
CPS
64
440
In 3
x 10
Cu
x 10
955
Se 3
960
20
240
40
35
30
15
230
25
220
20
10
945
940
935
930
925
460
450
x 10
235
x 10
58
56
54
36
18
32
16
215
28
CPS
CPS
220
Se 3d
30
225
CPS
60
34
230
14
26
24
22
210
12
20
205
18
10
200
960
62
20
Cu
Cu
x 10
64
440
Se 3
950
In 3
955
In 3d
960
955
930
925
460
16
450
Binding Energy (eV)
440
64
62
60
58
56
54
Binding Energy (eV)
Fig. 7. High-resolution XPS spectrums in Cu2p3/2, In3d5/2 and Se3d5/2 regions for CuInSe2 lms deposited from mechanically alloyed powders ((a, b, c)
15 min and (d, e, f) 30 min and SHS bulk compound (g, h, i)).
151
Annexe I
I.1. Le cuivre
Le cuivre, qui est un lment connu depuis des millnaires, tient son nom du latin
cyprium aes qui signifie bronze de chypre [1]. Le cuivre est un mtal de transition de couleur
rouge brun, mallable et ductile. Il existe ltat naturel plusieurs minerais de cuivre (la
chalcopyrite CuFeS2, la chalcosite Cu2S et la malachite CuCo3 (OH) 2) dont on extrait
finalement le cuivre aprs plusieurs traitements. On value 10 millions de tonnes environ la
production annuelle mondiale de cuivre.
Le cuivre est un trs bon conducteur de la chaleur et de llectricit. Le cuivre est
principalement utilis pour raliser des pices de monnaie, des conducteurs lectriques, des
appareils thermiques (serpentins de chauffe-eau, chaudire,.). Il entre galement dans la
composition de nombreux alliages tels que: les bronzes, les laitons, les antifrictions (industrie
automobile), les cupro-aluminiums, le duralumin (A-U4G : trs utilis dans la construction
mcanique car sa rsistance est comparable celle des aciers doux et sa densit diffre
peine de celle de laluminium), le maillechort (Cu-Nil8Zn27),. . La configuration
lectronique fondamentale du cuivre est 4s1 3d10. Elle devrait tre 4s2 3d9, cette anomalie
confre une meilleure symtrie donc une plus grande stabilit la couche 3d.
I.2. Lindium
Lindium quant lui a t dcouvert par Reich et Richter en 1863 [2]. Il tient son nom
de la couleur bleu indigo de sa raie d'mission [1]. Lindium est un mtal mou de la troisime
colonne de la classification priodique. Lindium est un sous-produit de la production du
Zinc et du plomb. On peut en outre trouver de lindium dans des minerais tels que les
blendes, les smithsonites et les calamines [2]. Cependant, contrairement au cuivre, cest un
mtal peu abondant sur terre, ce qui constitue l un obstacle au dveloppement de nouveaux
matriaux tels que CuInSe2 ou CuInS2. Par ailleurs, lindium reste trs utilis pour le
146
Annexe I
matriau semi-conducteur InP qui tient une part importante dans le secteur des
communications par fibres optiques.
La configuration lectronique fondamentale de lindium est 5s2 5p1. Lindium possde
une lectrongativit (selon Pauling) de lordre de 1,7. Cest un atome relativement gros
(le rayon atomique de lindium est gal 155 pm et le rayon ionique dIn+2 est de 81pm).
I.3. Le slnium
Le slnium a t dcouvert par Bezelius en 1817. A linstar dautres lments tels que
lhlium, le mercure ou le plutonium son nom voque un astre (Seln =Lune en grec) [1]. Le
slnium est un lment trs peu rpandu sur terre. On peut toutefois en trouver dans des
minraux rares que sont la crooksite et la clausthalite. La principale source industrielle du
slnium est la boue anodique qui rsulte du raffinage lectrolytique du cuivre impur issu de
minerais de sulphure de cuivre. Le slnium est surtout utilis dans la confection de piles
solaires, la xrographie, les diodes, Le slnium possde par ailleurs des vertus curatives
dose homopathique alors quil se rvler dangereux (voire cancrigne) plus forte dose.
Cela implique videmment de prendre les prcautions ncessaires lors de son utilisation. La
configuration lectronique fondamentale du slnium est 4s2 4p4.
Quant llectrongativit de cet lment, elle est de 2,4. Les rayons ioniques Se-2 et
atomiques du slnium est plus important que ceux du soufre car il possde plus dlectrons
priphriques et sont respectivement de 196 et 115 pm. On peu prsenter quelques valeurs
des grandeurs physico-chimiques des ces lments mtalliques dans le tableau I-1 suivant.
147
Annexe I
Grandeurs
Cu
Ga
In
63.546
69.723
114.82
8.96
5.907
7.31
4.79
Z-ration
0.437
0.593
0.841
0.864
1084
29.9
156.76
221
2567
2403
2073
685
0.596
0.0678
0.116
10 -12
4.01
0.406
0.816
0.02
13.05
5.59
3.263
6.69
7.726
5.999
5.786
9.75
5421
7620
6730
1757
148
Se
78.96