Principe)de)capteur)iner,el))

Les)capteurs)iner,els)caractrisent)des)
phnomnes)lis))dplacement))vitesse)
variable)(acclra,on))et))la)gravita,on.))
Exemple):)acclromtre)(voiture,)avion),)
gyroscope)(orienta,on)du)vecteur)de)champ)
gravita,onnel)))
Au)cur)de)capteur)iner,el):)une)masse))

Capteurs)iner,els))base)de)
MEMS)
Dimitri)Galayko)

1)

3)

Sommaire)

Principe)de)capteur)iner,el))
Une)masse):)une)source)de)la)force)dentre)

Principe)de)fonc,onnement)des)capteurs)
iner,els)
Composantes)des)capteurs)iner,els:)

F#

Rsonateurs))
Transducteurs))
Interfaces)lectriques)

a#
x)

m)

Capteur)de)gravita,on:)F=mg#
Capteur)dacclra,on):)F=Dma##
Les#capteurs#iner/els#mesurent#la#force#F#

Prsenta,on)du)miniDprojet))concep,on)
dacclromtre))
2)

4)

Principe)de)capteur)iner,el)

Principe)de)capteur)iner,el)

Comment)mesurer)une)force)?))
Lassocier))un)ressort)
Mesurer)la)dforma,on)du)ressort)(principe)dune)
balance)))
k)

x=F/k)

m)

F#

an,rms =

k)
m)

x)

x) 0)

5)

Principe)de)capteur)iner,el)

f0=23.7)kHz,)m=2.2eD10)kg,)Q=5:)
) ) ))an,rms=4.8eD3)m/s2)ou)0.5mg/Hz1/2)

7)

Il)sagit)donc)de)mesurer)le)dplacement)!))
Lien)entre)le)dplacement)et)lacclra,on)?)
La)loi)de)Newton)crite)dans)le)repre)li)au)
support)de)la)masse)mobile)(x)sur)le)transp.)
prcdent)))

k)
m)

F#

4kbT 0
mQ

Principe)du)capteur)iner,el)

EstDce)un)rsonateur)?)

x=F/k=maext/k)

Bruit)dans)les)acclromtres:)limites)
physiques))la)resolu,on)
Dans)une)bande)de)1)Hz,)le)r.m.s.)de)la)force)
de)bruit:) Fn = 4kbT
Pour)lacclra,on:))

k)
m)

kx x + F = m
x, o F = maext ou F = mg

x)

x) 0)
)
2)
0 = k / m
Oui)!)Sachant)que)))))))))))))))))))))),)on)a)x=a
ext/0
Plus)0)est)grand,)plus)x)est)pe4t)

Dans)le)domaine)de)Laplace:))
x( p)
1
)
=
,
F( p)

6)

k + p + mp 2

8)

Principe)du)capteur)iner,el)

Mesure)de)la)posi,on)

Schma)en)boucle)ouverte):)
Force))
dentre)

Dplacement)

X)

Capacit)

C)

C)

Tension)

U)

Choix)du)transducteur)capaci,f):)c(x))est)
linaire/nonDlinaire)

Masse+ressort)
(rsonateur))

Schma)en)boucle)ferme):)))
Force))
dentre)

+)

Erreur)de)
)trainage)

D)

Depl.)

Masse+ressort)
(rsonateur))
Force)de)contreDrac,on)

X)

Capacit)

C)
F)

C)

U)

Correcteur) Out)
(PI,)PID))

U)

Choix)de)la)mesure)diren,elle/unipolaire))

9)

Principe)du)capteur)iner,el)

11)

Mesure)de)la)posi,on)

Conversion))posi,onDtension)):)capaci,ve)ou)
pizolectrique)
Nombreuses)techniques)de)mesure)de)la)capacit))cf.)
plus)loin)
Boucle)ouverte)ou)boucle)ferme)?)Boucle)ferme)!)
Pourquoi)?))
Tous)les)bienfaits)de)systmes)en)boucle)ferme))
amliora,on)de)la)linarit,)de)la)bande)passante,)de)la)
stabilit)
Systme)plus)complexe,)car)ncessite)une)transduc,on)
)tensionDforce),)mais)naturellement)faisable)avec)MEMS.)
10)

Choix)de)la)mesure)diren,elle/unipolaire))

Technique)de)la)mesure)de)la)capacit)?))
12)

Mesure)de)la)posi,on)

Mesure)de)la)posi,on)
Mesure)de)capacit))unipolaire)):)capacits)
commutes))

Mesure)de)capacit))unipolaire)):)
amplicateur)de)transimpdance))

On)mesure)la)vitesse)et)non)pas)la)posi,on)si)
Vs)est)une)source)DC!))

13)

Mesure)de)la)posi,on)

1,)2):)les)horloges)en)opposi,on)de)phase))
Mesure)directe)de)la)capacit)!)Insensible))la)
capacit)parasite)
)

15)

Mesure)de)la)posi,on)

Mesure)de)capacit))unipolaire)):)
amplicateur)de)transimpdance))

Mesure)de)capacit))unipolaire)):)dtec,on)
synchrone)

Ici,)Vs)est)AC,)on)mesure)la)posi,on)!))
)quoi)sert)la)rsistance)RF)?))

Lavantage):)rcupra,on)du)signal)))basse)
frquence,)trs)able))
Linconvnient):)ncessite)un)ltre)analogique)
14)

16)

Vm
C4a

C4b

C2b

C2a

V
Mesure)de)la)posi,on)
C3a

Mesure)de)la)posi,on)

Vout

out

C1a
C3b
Mesure)de)capacit))diren,elle)):)principe))

C1b

Exemple)dun)circuit)complet)pour)une)
congura,on)diren,elle)(PhD)de)A.)Babak))

Vm
Mesure)diren,elle))sor,e)unipolaire)
Figure 5. Simplified equivalent circuit of the sensor.

Vm
C4

C2

Vout

Vout
C1

C3

Mesure)diren,elle))sor,e)diren,elle)

Vm

17)

19)

Figure 3.5: Schematic diagram of a reference-capacitor-less SC readout circuit.

The amplification capacitors are binary-weighted and are programmable through a 4-

Mesure)de)posi,on))

Mesure)de)la)posi,on:)conclusion))

bit digital word. The fully-differential scheme helps to reduce common mode noise

such as the substrate noise. Using CMOS switches, there is no need for the delayed

Mesure)diren,elle)
))sor,e)unipolaire)

version of the non-overlapping clocks. There are two clock phases, 1 & 2, involved

Mesure)diren,elle)ore)davantage)de)
in the souplesse)pour)raliser)les)circuits)
circuit. In the sampling phase ( =high, =low), C
and C
are charged
with 0.5V
and amplification capacitors (C ) are discharged to zero (Figure 3.6).
lectroniques)
Les)capacits)commutes)ou)une)dtec,on)
synchrone)sont)des)techniques)u,lises)pour)
mesurer)une)capacit)
1

DD

Figure 3.1: Schematic diagram of a reported capacitive microaccelerometer.

Figure 3.1: Schematic diagram of a reported capacitive microaccelerometer.

Mesure)diren,elle)
))sor,e)diren,elle)

18)

Figure 3.2: Schematic diagram of a fully-differential capacitive microaccelerometer.

S1,2

R1,2

A1,2

20)

Fonc,onnement)en)boucle)ferme)

6.2 PRINCIPLE OF OPERATION

block
Lavantage)?)Le)transducteur)reoit)
The Functional
diagram of a closed-loop capacitive microaccelerometer system

uniquement)lerreur)de)trainage,)1D2)ordres)
is shown in Figure
6.1.

de)grandeur)plus)faible)que)la)force)dentre):)
NonDlinarit)!))
Rapidit)(bande)passante)largie))!))

Force))
dentre)

+)

Erreur)de)
)trainage)

D)

Depl.)

Masse+ressort)
(rsonateur))
Force)de)contreDrac,on)

X)

Capacit)

C)
F)

C)

Fonc,onnement)en)boucle)ferme)
Lobjec,f):)maintenir)le)transducteur)prs)de)
la)posi,on)dquilibre)
Architecture)SigmaDDelta)!))
Fext +
-

Hc(z)

V
Sense
Element

U)

Digital

Position
Sense

Preamp

Out

Compensator Comparator
and Latch

Correcteur) Out)
(PI,)PID))

6.2 PRINCIPLE OF OPERATION

U)

21)

V
Electrostatic
Force Transducer

The Functional block diagram of a closed-loop capacitive microaccelerometer system

23)

is shown in Figure 6.1.

Figure 6.1: Functional block diagram of an electromechanical accelerometer.

The accelerometer includes parallel-plate and comb-drive capacitors around its body

Fonc,onnement)en)boucle)ferme)

(Figure 6.2). The proof mass movement changes the parallel-plate and comb-drive

capacitances. The actuator is a part of the accelerometer including comb drives and

parallel-plate
feedback
capacitors.
ContreDrac,on)un)ac,onnement)capaci,f)!)

Pourquoi)sigmaDdelta)?)
The accelerometer
parallel-plate and comb-drive capacitors around its body
includes
La)force)de)retour)est)quadra,que)en)fonc.)de)U)
(Figure 6.2). The proof mass movement changes the parallel-plate and comb-drive
Donc,)dicile))raliser)quand)le)systme)est)
capacitances. The actuator is a part of the accelerometer
including
comb drives
and
Figure
2: System
diagram
with forward path lead compensator
analogique)
parallel-plate feedback capacitors.
) ) ) ) ) ) ) ) )SigmaDDelta:)le)retour)est)
) Micromachined
) ) ) Accelerometer
) ))bangDbang),)+1)ou)D1)
Page 9
Lemkin, et.)al.: A)3-Axis) Surface
- To Appear at ISSCC 1997, Session 12.4
) ) ) ) ) ) ) ) )En)plus,)une)conversion))
) ) ) ) ) ) ) ) )analogiqueDnumrique)!))
)
Figure 6.1: Functional block diagram of an electromechanical accelerometer.

Cs):)sensing)capacitors)
CC)CP):)feedback)actuators)
)gap)closing)and)area)
)overlap)

22)

Figure 6.2: Schematic diagram of a capacitive microaccelerometer with parallel-plate

sense CS and comb-drive CC feedback electrodes.

Fonc,onnement)en)boucle)ferme)

24)

Figure 6.2: Schematic diagram of a capacitive microaccelerometer with parallel-plate

sense CS and comb-drive CC feedback electrodes.

Bibliographie)
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iner/al#sensors,#MEMS#technologies,#Electronic)Engineering)Times)
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Delta#Interface#IC#for#Integrated#Sub6Micro6Gravity#Capaci/ve#SOI#
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M.)Kraw)et)al.,)Closed)Loop)Micromachined)Iner,al)Sensors)with)
Higher)Order)SDDModulators,)2001)Interna4onal)Conference)on)
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25)