Extrait 42409210

M E S U R E S - A N A LY S E S
Ti673 - Mesures mécaniques et dimensionnelles
Mesures tridimensionnelles
et états de surface
Réf. Internet : 42409
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III
Cet ouvrage fait par tie de
Mesures mécaniques et dimensionnelles
(Réf. Internet ti673)
composé de :
Grandeurs mécaniques Réf. Internet : 42407
Mesures acoustiques et vibratoires Réf. Internet : 42420
Métrologie optique et photonique Réf. Internet : 42143
Mesures de longueurs et d'angles Réf. Internet : 42408
Mesures tridimensionnelles et états de surface Réf. Internet : 42409
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IV
Cet ouvrage fait par tie de
Mesures mécaniques et dimensionnelles
(Réf. Internet ti673)
dont les exper ts scientifiques sont :
Hervé GILLES
Professeur des Universités, ENSICAEN, laboratoire CIMAP
Marc PRIEL
Directeur honoraire du Centre de métrologie scientifique et industrielle, LNE
(Laboratoire national de métrologie et d'essais)
V
Les auteurs ayant contribué à cet ouvrage sont :
Aurélie BONNEFOIS Christian FRETIGNY

Pour l’article : R1393 Pour l’article : R1394
Christian BONZOM Michel KASSER

Pour les articles : R1220 – R1221 – R1222 Pour l’article : R1384
Patrick BOUCHAREINE Jean-Paul MATHIEN

Pierre BOURDET Bernard RAPHET

Pour l’article : R1316 Pour les articles : R1230 – R1231
Kévin COSSU Jean-Claude RIVOAL

Guillaume DRUART Hichem SAHLI

Éric FARGIER Marie-Thérèse VELLUET

Pour les articles : R1220 – R1221 – R1222 Pour l’article : R1393
VI
Mesures tridimensionnelles et états de surface
(Réf. Internet 42409)
SOMMAIRE
1– Forme et position Réf. Internet page
Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 1 R1220 11
2– Mesures tridimensionnelles Réf. Internet page
Logiciels des machines à mesurer tridimensionnelles R1316 21
Contrôle des machines à mesurer R1318 27
Le GPS : utilisation en positionnement et surveillance R1384 29
Mesures dimensionnelles par vision R1392 31
Caméras plénoptiques pour l'imagerie tridimensionnelle R1393 33
3– États de surface Réf. Internet page
États de surface. Caractérisation R1230 41
États de surface. Mesure R1231 47
Métrologie des surfaces R1390 51
Microscopie à force atomique (AFM) R1394 55
VII
Ｑ
1– Forme et position Réf. Internet page
2– Mesures tridimensionnelles
3– États de surface
Ｙ
Ｑ
ＱＰ
ｒ￩ｦ￩ｲ･ｮ｣･＠ｉｮｴ･ｲｮ･ｴ
ｒＱＲＲＰ
Erreurs de forme, de position,

d’orientation, de battement. Partie 1
Ｑ
par Christian BONZOM
Professeur agrégé de mécanique IUFM Midi-Pyrénées
et Éric FARGIER
Responsable de l’unité Métrologie LNE Sud
(Laboratoire national de métrologie et d’essais)
1. Éléments géométriques constitutifs d’une pièce ........................... R 1 220v2 – 2

2. Définitions ................................................................................................. — 3
2.1 Introduction.................................................................................................. — 3
2.2 Définitions et termes généraux .................................................................. — 3
2.3 Défauts de forme, défauts d’orientation et de position ........................... — 3
2.3.1 Classement des défauts de surface en six ordres............................ — 3
2.3.2 Défauts de forme ................................................................................ — 4
2.3.3 Défauts d’orientation et de position.................................................. — 4
3. Spécification par zone de tolérance .................................................. — 5
es erreurs de forme et de position relative des éléments géométriques

L constitutifs d’une pièce mécanique sont dus, lors de leur élaboration : aux
imperfections des outils de production qui les génèrent, aux efforts de coupe, aux
contraintes induites par les dispositifs de préhension, aux échauffements, etc.
L’examen des défauts d’une surface réelle appartenant à une pièce mécanique,
permet :
— de vérifier l’aptitude de cette pièce à assurer la ou les fonctions auxquelles
elle participe au sein du mécanisme dans lequel elle est montée ;
— de déterminer les faiblesses de son processus d’élaboration.
Les moyens de mesure actuels, associés aux chaînes de mesures électro-
niques et informatiques, permettent de contrôler les formes réelles par rapport
à des formes de référence très précises, quasi parfaites, et même à des défini-
tions mathématiques.
Grâce à la diffusion croissante de moyens de mesure élaborés, telles les
machines à mesurer tridimensionnelles à logiciels mathématiques intégrés, il
est possible de déterminer rapidement par numérisation, les erreurs de forme,
d’orientation et de position des éléments d’une pièce mécanique.
Les normes fixant le tolérancement des défauts de forme, d’orientation et de
position (NF E 04-552, 553, 554/ISO 1101) donnent une définition purement géo-
métrique du problème, faisant abstraction du processus de contrôle. Toutefois,
le concept GPS (voir article [R 1 210] « Spécification géométrique des produits »
de J. H. Marchèse), qui est au cœur de l’activité de spécification géométrique des
produits, permet de rapprocher la démarche de spécification fonctionnelle du
produit (réalisée par le bureau d’études) et la démarche de qualification du pro-
ｐ｡ｲｵｴｩｯｮ＠Ｚ＠､￩｣･ｭ｢ｲ･＠ＲＰＰＵ
duit (laboratoire de métrologie).
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite.
© Techniques de l’Ingénieur R 1 220v2 − 1
ＱＱ
ｒＱＲＲＰ
ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 1 ___________________________________________________________________
L’utilisation rigoureuse des normes de spécifications géométriques permet au

bureau d’études, lors de la phase de conception, de réaliser une définition claire
et cohérente des produits.
Cette définition peut ensuite être interprétée de façon univoque par les acteurs
des phases de réalisation et de qualification du produit.
Le présent dossier fait une présentation des erreurs de forme et de position
Ｑ relative des éléments conformément à la norme NF E 04-552. Cette norme per-
met d’exprimer la tolérance de forme et de position relative par la définition
d’une zone de l’espace géométriquement définie, à l’intérieur de laquelle doit
se trouver l’élément tolérancé. La zone de tolérance définit les limites accepta-
bles des imperfections des surfaces réelles, compatibles avec des conditions
strictement fonctionnelles.
Ce texte reprend certains éléments du dossier Erreurs de forme et de position, rédigé par
Louis-Paul GAZAL et Roger RECORDIER.
1. Éléments géométriques
constitutifs d’une pièce
Point
■ Le point
En général, en raison de la fragilité des matériaux qui ne permet

pas de garantir l’acuité absolue des arêtes, sur les pièces mécani-
ques le point n’a pas de représentation matérielle.
Point
Il intervient cependant souvent comme élément fictif dans les
objets (centre d’une sphère ou sommet d’un cône). Cône
Exemples : le sommet d’un cône (voir figure 1), l’intersection des

trois plans des faces d’un parallélépipède, le centre d’un cercle ou Cercle Cylindre
d’une sphère (voir figure 1). Surface quelconque
Plan
■ La ligne
Ligne
Droite
La ligne est un élément fictif qui résulte de l’intersection de deux
surfaces (intersection des deux flancs d’un filet par exemple).
Comme pour le point, le caractère fictif de la ligne résulte du fait que
pour limiter l’agressivité d’une arête mais aussi les risques d’ébré-
chage on casse volontairement les angles (chanfrein).
Exemple : la ligne intersection des deux flancs d’un filet de vis Figure 1 – Éléments géométriques
(voir figure 1).
■ La droite
Le cas le plus fréquent sur les pièces mécaniques est l’intersection
La droite est une ligne particulière qui résulte de l’intersection de d’un cylindre et d’un plan, l’axe du cylindre étant confondu avec un
deux plans. Pour les mêmes raisons que la ligne, la droite est un élé- axe normal au plan (voir figure 1).
ment fictif. La droite peut aussi être une représentation immatérielle
de l’élément médian d’une pièce de révolution (cylindre, cône, ■ Le plan
sphère) (voir figure 1).
Exemple : glissière en vé d’une machine outil, arête d’un prisme, Le plan qui est très présent dans les pièces mécaniques est un élé-
etc. ment réel obtenu par divers moyens d’élaboration : fraisage, dres-
sage, rectification, rodage, etc.
■ Le cercle
Le marbre en est une représentation la plus parfaite ; il est réalisé
Le cercle est un élément fictif qui résulte de l’intersection d’une le plus souvent en granit rodé et poli.
surface de révolution (cylindre, cône, sphère) avec un plan perpen-
diculaire à l’axe, ou avec une autre surface de révolution de même axe. Exemples : table de machine, plans de joints, etc.
R 1 220v2 − 2 © Techniques de l’Ingénieur
ＱＲ
ｒＱＲＲＱ

Ｑ
Professeur agrégé de mécanique IUFM Midi-Pyrénées
et Éric FARGIER
1. Défauts de forme ..................................................................................... R 1 221 – 2

1.1 Tableau des symboles................................................................................. — 2
1.2 Les différents défauts de forme.................................................................. — 2
1.3 Méthodes et moyens de contrôle des erreurs de forme .......................... — 4
1.4 Références spécifiées (ISO 5459) ............................................................... — 7
2. Défauts d’orientation ............................................................................. — 9
2.2 Les différents défauts d’orientation ........................................................... — 9
2.3 Méthodes et moyens de contrôle des erreurs d’orientation.................... — 10
3. Défauts de position................................................................................. — 12
3.2 Les différents défauts de position .............................................................. — 13
3.3 Méthodes et moyens de contrôle des erreurs de position ...................... — 15
4. Défauts de battement............................................................................. — 15
4.2 Les différents défauts de battement .......................................................... — 15
5. Moyens de mesure tridimensionnels.................................................. — 17
es spécifications géométriques (NF E 04-552) (ISO 1101) : que le bureau

L d’études porte sur un dessin de définition garantissent des écarts géométri-
ques entre le nominal théorique imaginé et le réel réalisé compatibles avec les
conditions fonctionnelles.
Les défauts pris en compte sont classés en quatre catégories :
— défauts de forme ;
— défauts d’orientation ;
— défauts de position ;
— défauts de battement.
Pour ces différents défauts, l’exposé des différentes syntaxes utilisables par le
concepteur sera dans cette partie accompagné :
— d’un décodage (au sens de la norme ISO) nécessaire à leur interprétation ;
— d’une approche des moyens de contrôle associés.
© Techniques de l’Ingénieur R 1 221 − 1
ＱＳ
ｒＱＲＲＱ
ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 2 ____________________________________________________________________
1. Défauts de forme
– 0,02
1.1 Tableau des symboles 0,02
20 h7
Ｑ
(0)
Tolérance de forme : différents symboles

Plan de projection
Plan parallèle au
Cas général Cas particulier plan de projection
Forme Rectitude
d’une ligne Figure 1 – Défaut de rectitude des droites d’un plan
quelconque Circularité
Forme d’une Planéité

surface 0,02
quelconque Cylindricité – 0,02
ø 20 h7
Comme cela a été vu précédemment, pour ce type de défaut il
n’est pas besoin d’indiquer de référence (sauf exceptions que nous
verrons par la suite).
Figure 2 – Défaut de rectitude des génératrices d’un cylindre
1.2 Les différents défauts de forme

– ø 0,02 ø 0,02
1.2.1 Défauts de rectitude

ø 20 h7
■ Rectitude des droites d’un plan (figure 1)
Interprétation : la ligne intersection de la surface réelle avec tout
plan parallèle au plan de projection doit être comprise entre deux
droites parallèles distantes de 0,02 mm. Figure 3 – Défaut de rectitude de l’axe d’un cylindre
■ Rectitude des génératrices d’un cylindre (figure 2)

Interprétation : la ligne intersection de la surface réelle avec tout
plan radial passant par l’axe du cylindre doit être comprise entre
deux droites parallèles distantes de 0,02 mm. a b
■ Rectitude de l’axe d’un cylindre (figure 3)
ø 30 h7
ø 15 h7
Interprétation : l’axe réel du cylindre doit être compris dans un

cylindre de diamètre 0,02 mm.
■ Remarques
Zone commune
• La tolérance de rectitude concerne la forme d’une ligne d’élé- – ø 0,02
ment isolé. Dans ces conditions, ce tolérancement ne permet pas de
décrire une surface car il ne s’adresse qu’à la qualité géométrique
de la ligne considérée indépendamment de sa position et de son Zone Axe réel
orientation. de tolérance
commune
• L’indication de la rectitude de l’axe d’un cylindre (figure 3) se dif-
férencie de celle de la rectitude des génératrices d’un cylindre
(figure 2) par : b
Axe réel
— la correspondance qui existe entre la flèche de la spécification
et la flèche de cote (∅ 20 h7) ;
— le symbole « ∅ » qui précède la dimension de la zone de
tolérance : c’est ce symbole qui fixe la forme géométrique de la zone ø 0,02 a
de tolérance.
■ Rectitude en zone commune (figure 4)
Dans l’exemple montré sur la figure 4 pour garantir la correspon-
dance des axes des deux portées de diamètres ∅ 15 h7 et ∅ 30 h7,
une spécification de rectitude en zone commune a été utilisée. Figure 4 – Défaut de rectitude en zone commune
R 1 221 − 2 © Techniques de l’Ingénieur
ＱＴ
ｒＱＲＲＱ
____________________________________________________________________ ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 2
Interprétation : en utilisant la rectitude en zone commune, on

impose aux axes réels des deux cylindres spécifiés d’être compris
dans un cylindre (tube) de diamètre ∅ 0,02 mm qui a la particularité b
de s’étendre d’une portée à l’autre. a
Remarque : la zone commune peut associer plus de deux élé- 0,02

ments d’une pièce si évidemment ces éléments participent à la
même fonction (portées de roulements de broche de machine-outil
Ｑ
par exemple).
1.2.2 Planéité (figure 5)

b
a
Interprétation : la surface réelle doit se trouver à l’intérieur de la
zone définie par deux plans parallèles distants de t = 0,02 mm. t = 0,02
La planéité s’adresse uniquement à la qualité géométrique de la

surface spécifiée, indépendamment de sa position ou de son orien-
tation par rapport à d’autres éléments. R
R élément réel t valeur de la tolérance
Remarque : comme pour la rectitude on peut utiliser la notion de
planéité en zone commune.
Figure 5 – Défaut de planéité
1.2.3 Circularité (figure 6)
Interprétation : le pourtour de chaque section du cylindre doit

pouvoir être placé entre deux cercles coplanaires et concentriques
dont la différence de rayon est de 0,02 mm. 0,02
t = 0,02
La couronne formée par les deux cercles représente la zone de
tolérance.
Remarque : ce tolérancement ne permet pas de décrire une sur-
ø 20 h7
face car il ne s’applique qu’à la qualité géométrique de la ligne cir-
culaire indépendamment de sa cote nominale, ici ∅ 20 h7.
Plan définissant une section droite

1.2.4 Cylindricité (figure 7)
Interprétation : le cylindre réel doit pouvoir être placé entre deux Figure 6 – Défaut de circularité
cylindres coaxiaux dont la différence de rayon est t = 0,02 mm.
Remarque : la tolérance de cylindricité permet de limiter les
défauts de circularité des sections mais aussi la rectitude des géné-
ratrices de la surface tolérancée. Elle s’applique à la qualité géomé- 0,02
trique de la surface indépendamment de son diamètre ∅ et de son
orientation par rapport à d’autres surfaces.
1.2.5 Lignes quelconques (ISO 1660) (figure 8) ø 20 h7
Interprétation : le profil théorique de la ligne spécifiée est défini à

l’aide des cotes théoriques encadrées. La zone de tolérance est, t = 0,02
quant à elle, définie par deux lignes enveloppes d’un cercle de dia-
mètre ∅ t dont le centre se déplace sur le profil théorique. Le profil
réel doit être compris dans la zone de tolérance déterminée. Figure 7 – Défaut de cylindricité
Remarque : la zone de tolérance n’est pas localisée dans le plan de

projection.
1.2.7 Tolérance de forme quelconque
avec référence (figure 10)
1.2.6 Formes quelconques (ISO 1660) (figure 9)
Contrairement aux autres spécifications de forme, les tolérances
de ligne quelconque et de forme quelconque peuvent s’appuyer sur
Interprétation : la surface réelle du trou oblong doit être comprise une référence ou un système de références.
dans la zone de tolérance. La zone de tolérance est définie par deux
surfaces enveloppes d’une sphère de diamètre ∅t dont le centre se Sur l’exemple précédent, si, fonctionnellement le trou oblong doit
déplace sur une surface théorique définie par les cotes théoriques être positionné par rapport à la surface A, celle-ci peut apparaître
encadrées. dans le cadre de la spécification.
ＱＵ
ｒＱＲＲＱ
Ｑ
R 15 R 15
A t A
35
A-A
t
A øt
Figure 10 – Forme quelconque : tolérance avec référence
Remarque : les références spécifiées sont développées au § 1.4.
øt
1.3 Méthodes et moyens de contrôle
Profil théorique des erreurs de forme
Figure 8 – Ligne quelconque : défaut
1.3.1 Rectitude
Suivant la longueur à contrôler, on utilisera le niveau de précision

ou la règle pour les longueurs inférieures à 1 600 mm, le niveau et
les procédés optiques pour les longueurs supérieures à 1 600 mm.
Dans tous les cas, on compare la ligne réelle avec une ligne de réfé-
R 15 R 15 rence (règle, fil tendu, rayon lumineux).
t
■ Mesure avec règle (figure 11)
La règle est placée sur deux cales. Elle représente la droite théo-
rique. Le coulisseau d’une équerre comporte, à la partie supérieure,
un comparateur et, à la partie inférieure, une touche qui vient palper
35 la surface réelle.
On mesure ainsi les variations de la côte h, donc de la surface S.
øt On reporte les variations sur un graphique : en abscisse, on repré-
sente le déplacement longitudinal suivant la règle et en ordonnée,
les variations de la côte h (Incertitude de mesure de l’ordre de :
0,01 mm).
■ Mesure par niveau (figure 12)
Le long d’une ligne, on déplace un niveau enregistrant à chaque
pas les écarts par rapport à l’horizontale (droite de référence). Arrivé
à l’extrémité, on revient à l’origine de la même façon pour obtenir
Figure 9 – Forme quelconque : défaut une moyenne de résultats (incertitude de mesure de l’ordre de
0,01 mm/m).
Interprétation : comme précédemment, la surface réelle doit être Dans le cas d’une ligne non horizontale, le niveau est monté sur
comprise dans la zone de tolérance définie par deux surfaces enveloppes. un support présentant un même angle d’inclinaison que le plan.
L’indication de la référence A dans le cadre de la spécification ■ Contrôle optique

impose à la zone de tolérance d’être positionnée perpendiculaire- • Lunette autocollimatrice (figure 13) : on mesure une déviation
ment à ce plan. angulaire ou une dénivellation avec une lunette et un miroir mobile.
ＱＶ
ｒＱＲＲＲ

Ｑ
Professeur agrégé de mécanique IUFM
et Éric FARGIER
1. Position de la zone de tolérance ......................................................... R 1 222 – 2

2. Principaux modificateurs ...................................................................... — 3
3. Incidence de la mesure sur la définition du produit...................... — 5
4. Exemple d’interprétation d’une exigence de localisation ............ — 7
5. Conclusion ................................................................................................. — 8
n complément des exigences traitées dans la partie 2, il existe des modifica-

E teurs qui transforment l’interprétation des spécifications auxquelles elles
s’appliquent.
Nous aborderons dans cette partie :
— l’exigence de l’enveloppe ;
— la notion de tolérance projetée ;
— le principe du maximum de matière.
Dans cette partie sera aussi mise en évidence :
— les contraintes d’orientation ou de position des zones de tolérance pour les
différents défauts abordés ;
— l’incidence de la mesure sur la définition du produit.
ＱＷ
ｒＱＲＲＲ
1. Position de la zone 0,02

de tolérance
L’évaluation des défauts de forme, d’orientation mais aussi de
position impose un positionnement dans l’espace de la zone de
tolérance à l’intérieur de laquelle doit se trouver l’élément spécifié. a
Ｑ
Comme nous allons le voir, ce positionnement se fera avec plus
ou moins de contraintes.
0,02 0,02
■ Tolérance de forme
Exemple : planéité d’une surface (figure 1)
Interprétation : comme il a été vu précédemment, et comme la b c
figure 1b le montre, la surface réelle doit être comprise à l’intérieur
de la zone définie par deux plans parallèles, distants de t = 0,02 mm.
Figure 1 – Tolérance de planéité.
Position de la zone de tolérance : si la surface réelle présente un Positionnement de la zone de tolérance
défaut de position et d’orientation par rapport à la définition nomi-
nale de la pièce (voir figure 1c), la zone de tolérance pourra être
positionnée et orientée de façon à contenir au mieux la surface
réelle à contrôler. y
t A
Conclusion : pour les tolérances de forme, la zone de tolérance
n’est ni contrainte en position ni contrainte en orientation. Les tolé-
rances de ligne quelconque et de forme quelconque, lorsqu’elles
15˚ y
s’expriment par rapport à un système de référence font exception à
cette règle. x
x
■ Tolérance d’orientation
A
Exemple : inclinaison d’une surface plane (figure 2)
a
Interprétation : comme il a été vu précédemment, et comme la
figure 2b le montre, la surface réelle doit être comprise à l’intérieur t
de la zone définie par deux plans parallèles, distants de t et inclinés t
d’un angle de 15° par rapport à la surface de référence A.
Position de la zone de tolérance : si la surface réelle présente un 15˚
15˚
défaut de position par rapport à la définition nominale de la pièce
(figure 2c), la zone de tolérance sera positionnée de façon à se
superposer à la surface réelle à contrôler.
A A
Conclusion : pour les tolérances d’orientation, la zone de tolérance
est contrainte en orientation, par contre elle n’est pas contrainte en b c
position.
■ Tolérance de position Figure 2 – Tolérance d’inclinaison.
Positionnement de la zone de tolérance
Exemple : position d’un alésage (figure 3)
Interprétation : comme il a été vu précédemment, et comme la
— une hiérarchisation correcte des intervalles de tolérance ti.
figure 3b le montre, l’axe du cylindre réel doit être compris à l’inté-
rieur de la zone cylindrique de ∅ 0,1 mm (limitée en hauteur par la Interprétation : le système de référence B/A/C permet de définir
distance ᐉ ). un référentiel à l’intérieur duquel doit se trouver la zone de tolérance
Position de la zone de tolérance : la position de la zone de tolé- (figure 4b) :
rance est entièrement définie par le système de référence A, B et C
mais aussi par les cotes encadrées (figure 3c). Contrairement aux • B est la référence primaire, c’est l’axe parfait (DRB) associé au
zones de tolérances relatives aux défauts de forme et d’orientation, plus petit cylindre circonscrit à la surface réelle ;
la zone de tolérance pour un défaut de position ne possède aucun • A est la référence secondaire, c’est le plan tangent extérieur
degré de liberté. matière qui minimise les écarts (PLA). Ce plan est aussi contraint
Remarque : pour une tolérance de position, le système de réfé- perpendiculaire à l’axe défini par la référence primaire B ;
rence utilisé peut laisser subsister un flottement possible de la zone • C est la référence tertiaire, c’est l’axe parfait associé au plus
de tolérance. Pour l’exemple précédent, si le système de référence grand cylindre inscrit à l’intérieur de la surface réelle (DRC) contraint
n’utilise pas la référence tertiaire C, la zone de tolérance n’est pas perpendiculaire à l’axe défini par la référence primaire B et parallèle
contrainte par la cote de 22 mm. au plan défini par la référence secondaire A.
■ Hiérarchisation des défauts
Position de la zone de tolérance : le référentiel de positionnement
Sur le dessin de définition de la figure 4, suite à une analyse fonc- de la zone de tolérance de localisation est défini de la façon
tionnelle, le bureau d’études chargé de son élaboration a fait appa- suivante :
raître sur la surface en biseau des spécifications de forme (planéité),
d’orientation (inclinaison) et de position (localisation). — la droite DRB donne l’axe x ;
La pertinence de cette surabondance de spécifications attachées à — l’intersection de la droite DRB et du plan PLA donne
un même élément est conditionnée par : l’origine O ;
— la justification fonctionnelle des défauts tolérables ; — la droite DRC donne l’axe y.
ＱＸ
1– Forme et position Ｒ
2– Mesures tridimensionnelles Réf. Internet page
Logiciels des machines à mesurer tridimensionnelles R1316 21
Contrôle des machines à mesurer R1318 27
Le GPS : utilisation en positionnement et surveillance R1384 29
Mesures dimensionnelles par vision R1392 31
Caméras plénoptiques pour l'imagerie tridimensionnelle R1393 33
3– États de surface
ＱＹ
Ｒ
ＲＰ
ｒＱＳＱＶ
Logiciels des machines à mesurer

tridimensionnelles
par Pierre BOURDET

Professeur à l’École Normale Supérieure de Cachan Ｒ
1. Principe de la saisie des coordonnées d’un point de mesure ..... R 1 316 - 2
1.1 Qualification du palpeur : définition du repère de mesure ...................... — 2
1.2 Qualification du palpeur : rayon apparent de l’extrémité sphérique
du palpeur .................................................................................................... — 3
2. Structure générale d’un logiciel de mesure sur MMT ................... — 3
3. Logiciels d’acquisition des points mesurés ..................................... — 3
4. Éléments géométriques associés ........................................................ — 4
4.1 Critères d’optimisation................................................................................ — 6
4.2 Méthode mathématique d’association par le torseur de petits
déplacements............................................................................................... — 7
5. Base de données géométriques : éléments mesurés ..................... — 9
5.1 Points mesurés et modèle géométrique associés .................................... — 9
5.2 Représentation des éléments géométriques mesurés ............................. — 10
6. Base de données géométriques : éléments construits.................. — 10
6.1 Construction de points ................................................................................ — 10
6.2 Construction de droites............................................................................... — 12
6.3 Construction de plans ................................................................................. — 13
6.4 Constructions de droite, cercle, sphère, cylindre et cône ........................ — 13
6.5 Construction de repères de dégauchissage (ou repères pièce)............... — 14
7. Mesure de distances et d’angles ......................................................... — 14
8. Contrôle des spécifications normalisées .......................................... — 14
8.1 Tolérances dimensionnelles ....................................................................... — 15
8.2 Tolérances géométriques (ISO 5459, ISO 1101)......................................... — 16
9. Conclusion ................................................................................................. — 21
Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. R 1 316
es machines à mesurer par coordonnées appelées aussi MMT (machines à

L mesurer tridimensionnelles) sont basées sur un principe simple. À l’aide de
règles de mesure de haute précision placées sur les différents guidages d’une
machine, on relève les coordonnées d’un palpeur que l’on vient mettre en con-
tact avec la surface d’une pièce à mesurer.
Les logiciels associés aux machines à mesurer assurent de nombreuses fonc-
tions, l’apprentissage et l’exécution de gamme de contrôle, la commande numé-
rique des déplacements du palpeur suivant des trajectoires prédéfinies, le
traitement statistique des résultats de mesures obtenu sur une série de pièces,
la compensation numérique des 21 défauts géométriques de la machine [1].
Parmi toutes ces fonctions nous nous limiterons dans cet article à celles qui sont
liées au traitement de la mesure, c’est-à-dire celles qui permettent de déterminer
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les coordonnées des points de contact entre le palpeur et la surface à mesurer,
© Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle R 1 316 − 1
ＲＱ
ｒＱＳＱＶ
LOGICIELS DES MACHINES À MESURER TRIDIMENSIONNELLES _________________________________________________________________________________
et qui permettent, par un traitement mathématique des coordonnées, d’effectuer

des mesures dimensionnelles et de vérifier les caractéristiques des tolérances
géométriques des pièces.
Nous ferons donc l’hypothèse que la géométrie de la machine à mesurer et
son système de mesure sont sans défaut, c’est-à-dire que les coordonnées sont
exprimées dans un repère orthonormé avec un maximum de précision vis-à-vis
des défauts macrogéométriques des pièces à mesurer. En outre, afin de simpli-
fier cette présentation, nous considérons, dans tous nos exemples, que la MMT
est une machine à mesurer de type portique sans quatrième axe. Le lecteur
pourra facilement transposer cette présentation à d’autres structures de machi-
nes.
Ｒ
1. Principe de la saisie Coulisseau
des coordonnées Chariot

d’un point de mesure z
En cours de mesure le palpeur est animé, par rapport au bâti de la Portique Sphère du stylet
machine, de trois translations orthogonales dont les valeurs des P de centre ω
déplacements sont mesurées par des règles. À partir d’une origine
machine, définie par exemple par les origines de chacune des règles Sphère étalon y
de mesure, les trois déplacements sont les coordonnées d’un point de centre S
Objet à mesurer
P du coulisseau de la machine à mesurer (figure 1). O
Pour mesurer la forme de tout ou partie de la surface d’un objet S +

posé sur le marbre de la machine, une sphère de centre ω, située à
l’extrémité du stylet, vient toucher successivement différents points
Mi sélectionnés de la surface de l’objet. Tous les points de la surface Marbre
à caractériser ne sont pas accessibles avec une seule orientation du
palpeur. Il est donc nécessaire d’adapter cette orientation pour que
la sphère du stylet vienne en contact avec la surface de l’objet sans
rencontrer d’obstacle (figure 2). À chaque toucher de la sphère du
stylet avec la surface de la pièce, le palpeur de mesure informe la x
partie commande de la machine à mesurer, qui enregistre alors les
trois coordonnées du point P du coulisseau. Les coordonnées des
points de contact Mi seront obtenues par un calcul qui nécessite
pour chaque orientation du palpeur et chaque stylet, une opération Figure 1 – Schéma de principe d’une MMT
de qualification du palpeur. Cette opération permet de définir un
repère de mesure dans lequel seront exprimés tous les points saisis
ωi et de déterminer le rayon apparent de la sphère du stylet néces- référence. Les coordonnées (Xi, Yi, Zi) des points saisis ωi dans le
saire au calcul des coordonnées des points de contact Mi.
repère de mesure sont alors obtenues par les relations :
Xi = XLi − uj
Yi = YLi − vj
1.1 Qualification du palpeur : définition Zi = zLi − wj
du repère de mesure
dans lesquelles XLi, YLi, ZLi représentent les coordonnées lues par
les règles de mesure.
L’objectif est d’exprimer tous les points saisis ωi dans un même Le choix d’une sphère de référence pour matérialiser l’origine du
repère de mesure s’est imposé par l’accessibilité qu’offre cette
repère et ceci quelle que soit la configuration du palpeur utilisé. forme à toutes les orientations possibles du palpeur. Par contre,
Pour cela une sphère de référence, de forme quasiment parfaite, est l’orientation et l’étendue de la calotte de la sphère de référence varie
fixée sur le marbre de la machine, elle matérialise par son centre S avec la configuration du palpeur (figure 3). L’étendue est imposée
l’origine du repère de mesure. Pour chaque configuration j du pal- par le diamètre de la sphère du stylet et sera dans le meilleur des cas
peur correspondant à une nouvelle orientation ou un nouveau sty- légèrement supérieure à une demi-sphère. La position calculée par
let, on vient mesurer la sphère de référence en quelques points et les moindres carrés du centre S de chaque calotte sphérique sera
par un calcul des moindres carrés, on détermine dans le repère de la sensible à la répartition des points mesurés sur la sphère de réfé-
MMT, les coordonnées (uj, vj, wj) du point S. Le centre ω de la sphère rence, et à tout écart de position sur la mesure de l’un de ses points.
du stylet est dans ce cas confondu avec le centre S de la sphère de La dispersion sur le calcul des coordonnées du centre S a une
R 1 316 − 2 © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
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________________________________________________________________________________ LOGICIELS DES MACHINES À MESURER TRIDIMENSIONNELLES
Le comportement du palpeur et de sa chaîne de mesure est varia-

ble suivant la direction de la mesure. Si l’on désire obtenir une
meilleure précision, on choisira un artéfact dont la taille sera obte-
nue par des points de contact sur le stylet, proches de ceux qui
seront effectivement utilisés lors de la mesure de l’objet.
Ainsi on utilisera comme artéfact, une cale étalon si les mesures
sont unidirectionnelles, une bague étalon mesurée en quatre points
diamétralement opposés sur un cercle si les mesures sont bidimen-
sionnelles, enfin une sphère étalon si les mesures sont tridimen-
sionnelles.
Dans la pratique, pour une classe de précision donnée, les logi-
ciels proposent la mesure d’une sphère étalon pour définir à la fois
Ｒ
le repère de mesure et le rayon de compensation du palpeur.
2. Structure générale
d’un logiciel de mesure
sur MMT
Figure 2 – Exemples d’orientations du palpeur
Bien que l’interface entre le logiciel et l’opérateur joue un rôle

important sur la productivité de la mesure, on retrouve dans les
logiciels de mesure tridimensionnelle du marché un ensemble de
fonctions qui sont essentielles à la qualité de la mesure. Toutes ces
fonctions sont indépendantes et l’ordre de leur exécution permet
une grande adaptabilité aux différents cas de géométrie rencontrée.
En pratique nous trouvons plusieurs fonctions principales :
— la qualification des différentes configurations du palpeur par
mesure d’une sphère étalon (cf. § 1) ;
— la définition d’un repère de définition dans lequel sont expri-
mées les trajectoires du palpeur ;
— l’acquisition de points mesurés, en mode manuel à l’aide du
joystick ou en mode semi-automatique ou automatique à l’aide de la
commande numérique des déplacements ;
— la constitution d’une base de données géométriques par des
éléments mesurés ;
— l’enrichissement de la base de données géométriques par la
construction de nouveaux éléments géométriques ;
— le calcul des distances et des angles entre les éléments géomé-
triques constituant la base de données géométriques ;
— la construction de repères permettant d’exprimer les distances
Figure 3 – Orientation et étendue de la calotte sphérique
et les angles en projection sur les axes et les plans d’un repère ;
— enfin, le contrôle et la mesure des spécifications géométriques
ISO.
influence directe sur le « calage » des points mesurés avec différen-
tes configurations du palpeur. Il est nécessaire de limiter cette dis-
persion en utilisant une sphère de référence sans défaut de forme,
et en répartissant régulièrement les points de mesure sur une
calotte sphérique la plus étendue possible. 3. Logiciels d’acquisition
des points mesurés
1.2 Qualification du palpeur : rayon Nous avons vu au paragraphe 1 que la qualification des palpeurs
apparent de l’extrémité sphérique permettait d’exprimer dans un seul repère de mesure, centré en S
du palpeur centre de la sphère de référence, les coordonnées de tous les points
saisis ωi, centres des sphères des stylets. Le point de contact réel
entre le stylet et la surface réelle étant inconnu, on lui substitue par
calcul un point estimé appelé point mesuré Mi (figure 4). Ce dernier
La mesure du rayon apparent du stylet du palpeur est nécessaire est calculé par la relation vectorielle :
pour déduire des points saisis ωi les coordonnées des points de con-
tact entre le stylet et la surface de l’objet à mesurer. Le principe uti-
lisé est simple, à l’aide du logiciel de la MMT, on mesure avec un SM i = Sω i – r j n i
palpeur déclaré de rayon apparent nul, la taille d’un artéfact éta-
lonné. L’écart entre la taille étalonnée de l’artéfact, et la taille mesu- avec rj rayon apparent de la sphère du stylet du
rée par le logiciel donne une valeur du diamètre apparent du stylet palpeur j (cf. § 1),
du palpeur. ni normale à la surface.
ＲＳ
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LOGICIELS DES MACHINES À MESURER TRIDIMENSIONNELLES _________________________________________________________________________________
Palpeur Palpeur
Surface idéale associée localement
à l'ensemble des points saisis
(critère des moindres carrés)
ni ni Point saisi
Point
mesuré ω3 ω2
Point saisi
ω4 ω1
ωi ωi
Ｒ
Mi
Mi
Point Surface ωn Point Surface

mesuré réelle de contact réelle
réel
Figure 4 – Point saisi, point mesuré Figure 5 – Calcul du point mesuré
La précision du point mesuré sera donc fonction de l’estimation

de la valeur de rj et des composantes de la normale n i . Tableau 1 – Écarts (en µm) sur la position du point
La normale à la surface peut être définie de trois façons : mesuré dus à une imprécision sur l’estimation
de la direction de la normale
— elle peut être imposée par l’opérateur, par exemple être paral-
lèle à l’un des axes de la machine, ou encore être donnée par les Erreur sur l’angle Diamètre de la sphère du stylet (en mm)
composantes de la normale théorique à la surface mesurée (cas de
surfaces définies par un ensemble de points et de normales obtenus pente en
par exemple par un logiciel de CFAO); (rad) ∅1 ∅2 ∅4 ∅ 10 ∅ 20 ∅ 40
µm/100 mm
— elle peut être définie directement par la technologie du palpeur
(palpeur statique par exemple [1]); 10−4 10 0,05 0,10 0,20 0,50 1,00 2,00
— elle peut être enfin définie par un calcul qui nécessite que le
2 · 10−4 20 0,10 0,20 0,40 1,00 2,00 4,00
type de la surface à mesurer soit connu, qu’un minimum de points
soient mesurés sur la surface et que les sens d’accostages sur les 3 · 10−4 30 0,15 0,30 0,60 1,50 3,00 6,00
trois axes de la machine soient accessibles par le logiciel.
4· 10−4 40 0,20 0,40 0,80 2,00 4,00 8,00
Ce dernier cas est le plus couramment utilisé, le calcul du point
mesuré peut être le suivant (figure 5) : 5 · 10−4 50 0,25 0,50 1,00 2,50 5,00 10,00
a) association suivant le critère des moindres carrés, d’une sur- 6 · 10−4 60 0,30 0,60 1,20 3,00 6,00 12,00
face de géométrie idéale de type prédéfini, passant au mieux des 7 · 10−4 70 0,35 0,70 1,40 3,50 7,00 14,00
points saisis ωi ;
b) calcul de la normale n i à la surface associée, passant par le 8 · 10−4 80 0,40 0,80 1,60 4,00 8,00 16,00
point saisi ωi et orientée vers l’extérieur de la matière. L’orientation 9 · 10−4 90 0,45 0,90 1,80 4,50 9,00 18,00
de la normale est déterminée par les sens d’accostages sur les axes
de la MMT ; 10 · 10−4 100 0,50 1,00 2,00 5,00 10,00 20,00
c) calcul des coordonnées du point mesuré Mi (ou point de
contact estimé) par la relation vectorielle :
On remarque que la direction de la normale au point de contact
SM i = Sω i – r j n i est obtenue par l’association d’une surface idéale à un ensemble de
points saisis. Les concepteurs de logiciels ont retenu pour cela, le
La surface associée est définie par le dessin de définition et cor- critère des moindres carrés, en effet ce critère est robuste, s’appli-
respond le plus souvent à l’un des quatre types de surfaces que à tous les cas et donne une précision satisfaisante sur la direc-
géométriques : plan, sphère, cylindre ou cône. Dans les autres cas, tion de la normale recherchée. Bien que non prévu par les normes
c’est-à-dire lorsque le type de surface est inconnu ou non prévu par de tolérancement, le critère des moindres carrés est resté dans de
le logiciel, la direction de la normale à la surface peut être fixée par nombreux logiciels, le seul critère proposé dans toute opération
un plan, défini localement par la mesure de deux points supplé- d’association d’une surface ou d’une ligne idéale à un ensemble de
mentaires proches du point saisi. points mesurés.
L’écart entre le point de contact réel et le point mesuré est dû
essentiellement à l’opération de qualification du rayon apparent du
palpeur et à la détermination de la direction de la normale au
contact. En effet, les logiciels ne prennent en compte qu’une valeur
moyenne du rayon de compensation, alors que la distance de
4. Éléments géométriques
déclenchement d’un palpeur dynamique varie de 2 à 4 µm suivant la associés
direction du contact sur la sphère du stylet, d’autre part, une erreur
sur la direction de la normale de 10 · 10−4 radian induit un écart dans
le plan tangent à la surface de 0,5 à 20 µm pour un rayon de stylet L’association d’un élément géométrique idéal à un ensemble de
compris entre 1 et 40 mm (tableau 1). points revient à résoudre un problème mathématique d’optimisa-
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________________________________________________________________________________ LOGICIELS DES MACHINES À MESURER TRIDIMENSIONNELLES
tion sous contraintes. En effet, les lignes et les surfaces réelles

n’étant jamais parfaites, elles sont mesurées par un nombre de Tableau 3 – Nombre de points de mesure
points supérieur au nombre minimal nécessaire à la définition
mathématique de l’élément géométrique correspondant. Il est donc Nombre de points
Nom de l’élément Nombre de points
possible d’associer à un même ensemble de points mesurés, plu- mesurés préconisés
géométrique mesurés minimal
sieurs éléments géométriques de même type, répondant chacun à par les logiciels
un critère exprimant la « meilleure représentation » d’une fonction
technologique que l’élément géométrique réel doit satisfaire. Droite associée 2 3
Les normes de spécification ISO donnent des indications sur la Cercle associé 3 4
« meilleure représentation » d’une surface réelle par une surface Plan associé 3 4
idéale. On peut distinguer deux critères, l’un est relatif à la forme de
l’élément, l’autre à la fonction d’assemblage. C’est ainsi que la Sphère associée 4 9
Ｒ
forme d’un élément peut être caractérisé par un défaut de forme t, Cylindre associé 5 8
caractérisant la distance minimale entre deux enveloppes, centrées
sur l’élément géométrique idéal, et contenant l’ensemble des points Cône associé 6 8
mesurés. La fonction d’assemblage se traduit par un élément géo-
métrique idéal tangent du côté libre de la matière avec, soit une
condition de défaut de forme minimal pour les plans et les cônes,
soit une condition du plus grand élément inscrit ou du plus petit élé- La mesure d’un « vrai » défaut de forme est cependant réalisable
ment circonscrit pour les cercles, sphères et cylindres. Dans le cas en laboratoire sur des machines à mesurer de haute précision. Dans
où il existe plusieurs solutions, la norme (ISO 5459) préconise de ce cas le nombre de points de mesure est important, et le critère
choisir l’élément géométrique correspondant au « débattement d’optimisation minimise l’écart maximal à la surface tangente exté-
moyen » de l’élément idéal. rieure à la matière.
Le tableau 2 résume les différentes possibilités proposées par les Les critères de plus grand élément tangent intérieur et de plus
normes ISO. petit élément tangent extérieur, ne s’appliquent qu’à des éléments
géométriques ayant de la matière sur plus de la moitié de leur pour-
tour. En effet, les résultats obtenus dans le cas contraire sont aber-
rants. Par exemple, dans le cas du plus grand cylindre inscrit, on
Tableau 2 – Critères d’association obtient un cylindre de rayon infini (figure 6), et dans le cas du plus
petit cylindre circonscrit on obtient un cylindre dont le rayon est
Type d’élément Défaut de forme t Assemblage d’un élément déterminé par la seule étendue des points mesurés (figure 7). Dans
géométrique avec t minimal géométrique idéal ces deux cas, il est souhaitable de prendre un critère des moindres
carrés (en imposant si possible le rayon du cylindre associé), ou un
Plan 2 plans parallèles Plan tangent extérieur
distants de t matière avec l’écart critère minimisant la distance entre deux cylindres coaxiaux.
maximal t au plan réel,
minimal
Sphère 2 sphères Plus grande sphère inscrite
concentriques ou plus petite sphère
distantes de t circonscrite
Cylindre 2 cylindres Plus grand cylindre inscrit
coaxiaux distants ou plus petit cylindre
de t circonscrit
Plus grand
Cône 2 cônes coaxiaux Cône tangent extérieur cylindre inscrit
distants de t matière avec l’écart maximal
t au cône réel, minimal
Cercle 2 cercles Plus grand cercle inscrit ou
(dans un plan) concentriques plus petit cercle circonscrit Cylindre nominal
distants de t
Figure 6 – Plus grand cylindre inscrit
Droite 2 droites parallèles Droite tangente extérieure
(dans un plan) distantes de t matière avec l’écart maximal
t à la droite réelle, minimal
Les critères proposés par les normes de tolérancement ne peu-

vent pas être appliqués aux éléments mesurés sur la majorité des
MMT actuellement utilisées. En effet, le critère d’optimisation le
plus souvent utilisé est celui des moindres carrés et la lenteur des
mesures, due essentiellement à la technologie des palpeurs, impose
pour des raisons économiques, que la majorité des éléments
géométriques soient mesurés avec des petits nombres de points
(tableau 3). L’objectif recherché sur une MMT est de situer mathé- Plus petit cylindre
matiquement chaque élément géométrique dans le repère de circonscrit
mesure, sans en définir précisément le défaut de forme au sens de
la norme. Le plus grand des écarts obtenus entre les points mesurés
et l’élément géométrique associé ne devraient pas, comme c’est Cylindre nominal
souvent le cas dans les logiciels, être qualifiés de défaut de forme
mais plus précisément de défaut mesuré. Figure 7 – Plus petit cylindre circonscrit
ＲＵ
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ＲＶ
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Contrôle des machines à mesurer
par Jean-Paul MATHIEN

Ingénieur à la section Métrologie dimensionnelle
Ｒ
du Laboratoire National d’Essais (LNE)
1. Remarque préliminaire : les dilatations............................................. R 1 318 - 2

2. Vérification des performances métrologiques ................................ — 2
2.1 Évolution de la normalisation..................................................................... — 2
2.2 Norme CMMA .............................................................................................. — 2
2.3 Norme française E11-150 ............................................................................ — 3
2.4 Avant-projet de norme ISO 10360-2........................................................... — 4
3. Méthodes de surveillance...................................................................... — 6
4. Mesure des erreurs géométriques....................................................... — 7
4.1 Justesse du positionnement et hystérésis ................................................ — 7
4.2 Orthogonalité ............................................................................................... — 7
4.3 Translations. Écarts de rectitude ................................................................ — 7
4.4 Rotations : lacet, tangage et roulis............................................................. — 8
Pour en savoir plus........................................................................................... Doc. R 1 318
P our les machines à mesurer, comme pour tout autre moyen de mesure, il
a été élaboré progressivement des méthodes et des moyens permettant d’en
déterminer les erreurs géométriques et d’en vérifier le performances métro-
logiques.
L’ensemble de cet article est orienté sur les machines à mesurer par
coordonnées (MMT, machines à mesurer tridimensionnelles). Les méthodes et
les moyens décrits pourront être également appliqués aux machines de mesure
uni- et bidirectionnelles.
Les paragraphes 2 et 3 s’adressent particulièrement aux utilisateurs de MMT.
Ils développent l’état de l’art pour vérifier les performances métrologiques de
la machine (contrôle de réception et surveillance périodique).
À l’inverse, le paragraphe 4 permet aux constructeurs et aux services de mainte-
nance de faire le point sur l’ensemble des moyens à leur disposition pour déter-
miner les diverses erreurs géométriques.
ｐ｡ｲｵｴｩｯｮ＠Ｚ＠ｪ｡ｮｶｩ･ｲ＠ＱＹＹＵ
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ｒＱＳＱＸ
CONTRÔLE DES MACHINES À MESURER ____________________________________________________________________________________________________
1. Remarque préliminaire : — une autre MMT pouvait se trouver à l’extérieur des spécifi-
cations géométriques mais être corrigée par logiciel et néanmoins
les dilatations mesurer avec des incertitudes compatibles.
Actuellement, il est généralement admis que ces caractéristiques
ne présentent pas d’intérêt pour l’utilisateur, si ce n’est qu’elles
La MMT et le produit que l’on mesure subissent des dilatations doivent présenter une bonne répétabilité pour que le logiciel de
et des déformations lorsque leur température évolue. correction soit efficace.
Si la forme du produit est simple, il se dilate lorsque sa température L’ensemble des normes et recommandations mentionnées
augmente, avec une inertie variable selon sa surface d’échange. ci-après stipulent d’évaluer les performances des MMT en termes
La MMT, dont la construction est souvent faite de l’assemblage de mesure de longueur sur des étalons matérialisés raccordés aux
d’éléments en matériaux divers, se dilate, d’une part avec une inertie étalons nationaux, ce qui permet en particulier d’avoir une traçabilité
différente de celle du produit et d’autre part se dilate en se déformant par rapport au mètre.
Ｒ
car une variation thermique est rarement homogène dans
l’ensemble du volume de la machine.
Lorsque la régulation thermique de la salle où est implantée la
machine n’est pas compatible avec les performances attendues, cela 2.2 Norme CMMA
induit des phénomènes dont le plus grave semble être la dégradation
rapide et importante des qualités géométriques de la MMT, pouvant
CMMA : Coordinate Measuring Machine Manufacturers
conduire à éliminer des pièces correctes ou à accepter des pièces
Association.
mauvaises.
Ces recommandations du CMMA, rédigées par l’association des
Rappelons qu’une pièce en acier de 1 m de longueur se dilate de
constructeurs, ne présentent pas le caractère officiel d’une norme
11,5 µm lorsque sa température augmente de 1 oC.
nationale ou internationale.
Les conditions thermiques minimales de la salle sont souvent
Citons, pour mémoire, l’édition de 1982 de cette norme.
indiquées par le constructeur.
L’édition de 1989 de cette norme est présentée dans les
Exemples paragraphes 2.2.1, 2.2.2, 2.2.3 et 2.2.4.
— Une MMT dont les erreurs maximales d’indication sont de l’ordre
de ± (4 µm + 4 · 10–6 · L ) nécessite une salle avec les spécifications
suivantes : 2.2.1 Mesures volumétriques et axiales.
20 oC ± 2 oC Erreurs G et M
• variation de la température dans le temps : 0,5 oC/h
et 0,8 oC/8 h, Sauf accord particulier, la norme recommande l’utilisation de trois
• gradient thermique dans l’espace : 0,5 oC/m. cales étalons de longueur égale à environ 1/3, 1/2 et 3/4 de la capacité
— Une MMT de métrologie dont les erreurs maximales d’indication du plus grand axe. Longueur maximale : 1 000 mm.
sont de l’ordre de ± (1 µm + 1,5 · 10–6 · L ) nécessite une salle avec On effectue une mesure de ces 3 cales dans 4 directions. Le docu-
les spécifications suivantes : ment CMMA préconise les 4 diagonales (figure 1a), mais on peut
20oC ± 1 oC opter pour des mesures parallèles aux axes (figure 1b). Le nombre
• variation de la température dans le temps : 0,2 oC/h de positions volumétriques et (ou) axiales ne doit pas excéder 4.
et 0,5 oC/8 h,
Chaque mesure de cale est répétée 3 fois. On obtient donc
• gradient thermique dans l’espace : 0,3 oC/m.
36 résultats de mesure, mais seulement 12 sont indépendants.
La configuration du palpeur doit être conforme aux spécifications
du constructeur, ce qui peut être limitatif et non représentatif de
2. Vérification certaines applications.
Les erreurs maximales d’indication sont de la forme :
des performances G ou M = K + H · L
métrologiques avec G erreur maximale d’indication parallèle aux axes,
M erreur maximale d’indication dans le volume,
2.1 Évolution de la normalisation K et H constantes spécifiées par le constructeur,
L longueur mesurée.
Durant les premières années qui ont suivi l’apparition des MMT,
les cahiers des charges ne spécifiaient que des tolérances partielles
sur les paramètres géométriques. Les caractéristiques le plus fré-
quemment spécifiées étaient :
— orthogonalités,
— écarts de rectitude,
— erreurs de justesse du positionnement.
Le contrôle de réception et les opérations de maintenance ne
portaient, la plupart du temps, que sur ces paramètres.
Progressivement et parallèlement à l’arrivée des logiciels de
correction des erreurs géométriques, le manque d’intérêt de ces
spécifications est apparu.
On pouvait en effet se trouver confronté aux deux cas de figure
suivants :
— une MMT à l’intérieur des spécifications géométriques pouvait
mesurer avec des incertitudes de mesure incompatibles avec les tolé- Figure 1 – Mesures volumétriques et axiales
rances des produits à contrôler ;
ＲＸ
ｒＱＳＸＴ
Le GPS : utilisation
en positionnement et surveillance
par Michel KASSER
Professeur de géodésie à la HEIG-VD (Yverdon, Suisse),
ancien directeur de l’ESGT et de l’ENSG
1.
1.1
Système GPS....................................................................................
Principes généraux .............................................................................
R 1 384v2 – 2
— 2
Ｒ
1.2 Différents types de récepteurs et de modes de réception ................ — 3
1.3 Méthodes de calcul des observations GPS ....................................... — 3
2. Systèmes de référence employés ................................................ — 4
2.1 Réseaux anciens ................................................................................. — 4
2.2 WGS 84 et référentiels modernes de la géodésie ............................. — 4
2.3 Stations GPS permanentes ................................................................ — 4
3. Contraintes opérationnelles pour les usagers .......................... — 5
4. Autres GNSS : GLONASS, EGNOS, Galileo, Baidou/Compass — 5
4.1 GLONASS ........................................................................................... — 5
4.2 EGNOS ................................................................................................ — 5
4.3 Galileo ................................................................................................ — 6
4.4 Baidou/Compass ................................................................................ — 6
5. Exemples d’utilisation.................................................................... — 6
5.1 Surveillance d’ouvrages d’art et mesure de déformations du sol ... — 6
5.2 Chantier typique : test en charge par GPS d’un pont de grande
taille .................................................................................................... — 7
Pour en savoir plus.................................................................................. Doc R 1 384v2
e GPS (Global Positionning System) représente un moyen de positionne-

L ment mis au point et réalisé par l’armée des États-Unis, dont la conception
date des années 1970, et réellement opérationnel (industrialisation des récep-
teurs, nombre de satellites en service…) depuis le début des années 90.
C’est aujourd’hui un système de positionnement extrêmement employé, cer-
tes par une large gamme d’usagers techniques (navigation aérienne, navigation
automobile, travaux des géomètres, génie civil…) mais aussi et surtout par le
grand public (un récepteur GPS est souvent inclus dans les téléphones porta-
bles : guidage de piétons, localisation de photos, navigation automobile, etc.). À
ses côtés on compte désormais d’autres systèmes spatiaux de même type,
russe (GLONASS), chinois (Baidou/Compass), européen (Galileo), et japonais
(QZSS), l’ensemble formant désormais les GNSS.
La gamme d’exactitude du GPS est très variable selon les technologies utili-
sées, du centimètre jusqu’à quelques mètres.
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est strictement interdite. – © Editions T.I. R 1 384v2 – 1
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LE GPS : UTILISATION EN POSITIONNEMENT ET SURVEILLANCE –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
1. Système GPS tours de phase de l’onde porteuse à chaque instant de mesure

(par exemple toutes les secondes). La mesure sur les codes est
beaucoup moins précise que celle effectuée sur la phase (deux
bits de code C/A sont distants de 300 m dans l’espace, alors qu’un
1.1 Principes généraux tour de phase correspond à 20 cm environ), mais la mesure de
phase a, par contre, l’inconvénient d’être fondamentalement ambi-
Un ensemble de 30 (afin de garantir un effectif de 24 en perma- guë et de souffrir d’une perte de continuité à chaque défaut de
nence) satellites « Navstar », lancés par l’armée des États-Unis à réception du signal, même extrêmement bref.
partir de 1978, orbite vers 20 200 km d’altitude (figure 1). Ceux-ci Le fonctionnement général du système est le suivant : les satelli-
émettent en permanence des signaux radioélectriques sur des por- tes sont tous recalés sur la même échelle de temps ; par contre, le
teuses à des fréquences de 1,2236 GHz (appelée « L2 »), récepteur ne dispose pas au départ d’une heure précise. Il y a donc
1,57542 GHz (appelée « L1 ») et 1,17645 GHz (appelée « L5 ») pour quatre paramètres inconnus au niveau du récepteur ; ses coordon-
lesquels chaque bit d’information est émis à une date extrêmement nées x, y et z, ainsi que son décalage temporel avec l’échelle de
bien connue, grâce à l’emploi, dans chaque satellite, d’un ensemble
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temps des satellites. On observe donc simultanément au moins
d’horloges atomiques. Ces bits, par ailleurs, décrivent la position quatre satellites, ce qui permet de calculer la position du récepteur
du satellite concerné, superposés à divers niveaux de codes dès que l’on connaı̂t celle des satellites. Ce type de fonctionne-
pseudo-aléatoires (certains sont d’accès public : le code C/A, les ment, compte tenu des différentes limites physiques du système,
codes I5 et Q5, et d’autres sont cryptés et donc confidentiels : les peut donner en temps réel une exactitude de l’ordre de quelques
codes Y et M), avec un débit élevé (de l’ordre de 10 Mbit/s), ce qui mètres dans un système de référence absolu et unique pour toute
conduit à une émission à spectre très large et donc à une grande la Terre, ce qui est sans doute primordial pour les applications mili-
insensibilité aux émissions parasites. taires ainsi que divers usages de positionnement civil grand public,
Au niveau du sol, l’usager emploie un récepteur dont le travail mais assez peu utile en topographie où on recherche presque tou-
consiste à observer avec exactitude la date de réception de ces jours une exactitude de l’ordre du cm.
mêmes bits, et à décoder ceux-ci. Pour ce faire, le récepteur effec-
Pour les applications qui nécessitent une grande exactitude, c’est
tue une corrélation entre les signaux reçus et les codes pseudo-
donc une application dérivée qui a été mise sur pied, en partant du
aléatoires qu’il connaı̂t. Lorsque la corrélation maximale est obte-
savoir-faire des radioastronomes, en utilisant ce système en mode
nue, l’écart entre le code théorique et le code observé produit direc-
différentiel : si deux récepteurs (ou plus) reçoivent les mêmes satel-
tement les messages transmis par le satellite (n du satellite, para-
lites au même moment et s’ils sont capables de faire les mesures
mètres de l’orbite et de l’horloge de bord, modèle grossier de l’état
de manière continue (par un asservissement sur la phase du signal
de l’ionosphère, paramètres d’orbite de tous les autres satellites).
émis) pendant de longues durées (de quelques minutes pour une
Cette corrélation maximale est ensuite maintenue par un asservis-
distance de quelques kilomètres à, par exemple, plusieurs heures
sement qui permet, si on le souhaite, de mesurer en continu la
pour de longues distances), le vecteur orienté joignant les deux
phase de l’onde porteuse de L1 et éventuellement de L2 et de L5.
antennes peut être calculé avec une fidélité qui peut être de l’ordre
Si cet asservissement se fait avec une bande passante étroite, le
du centimètre. Les sources d’erreurs résiduelles sont les suivantes :
temps d’initialisation du verrouillage sera long mais le rapport
signal/bruit sera élevé, alors que si le temps d’initialisation est très – la connaissance de la position des satellites, dont les paramè-
bref, ce sera souvent au prix d’une moindre exactitude. La mesure tres d’orbites font partie des informations émises par les satellites
élémentaire peut donc se faire pour chaque fréquence à deux eux-mêmes. Cette position est imprécise au niveau de quelques
niveaux, soit uniquement par datation des bits formant les codes mètres, mais l’observation différentielle élimine la plus grosse par-
(par exemple C/A), soit en y rajoutant la mesure du nombre de tie de cette erreur compte tenu de la grande distance à laquelle
sont les satellites. Lorsque l’on recherche l’exactitude maximale,
on est amené à utiliser les mesures obtenues par des récepteurs
installés en des points connus avec une extrême justesse (centimè-
tre) dans le monde entier (coordonnées elles-mêmes obtenues par
d’autres méthodes spatiales). On recalcule alors a posteriori la
position des satellites avec une incertitude de quelques cm. Depuis
1992, un service international basé sur un groupe de laboratoires
scientifiques volontaires (IGS, pour International GNSS Service)
fournit de telles orbites à des fins scientifiques et en temps différé ;
– la connaissance de l’indice de réfraction des derniers kilomè-
tres de l’atmosphère : cette erreur, difficile à modéliser (la vapeur
d’eau, dont la teneur des basses couches de l’atmosphère est très
imprévisible, en est un facteur prépondérant), s’élimine en partie
lorsque les deux récepteurs sont à la même altitude et dans des
conditions climatiques proches, car l’observation différentielle
soustrait l’un de l’autre deux facteurs mal connus mais presque
égaux, ce qui n’est plus le cas si les altitudes des antennes sont
très différentes (montagne). On note donc sans surprise que la
détermination de la coordonnée verticale (altitude ellipsoı̈dique)
est toujours moins bonne que celle des coordonnées horizontales
(d’un facteur significatif, par exemple de deux dans les meilleurs
cas, jusqu’à cinq et plus dans des configurations de réception
médiocres) ;
– la connaissance du contenu électronique de l’ionosphère. Pour
les ondes radio, l’ionosphère (couche de l’atmosphère allant de 30
à 200 km de hauteur) est une couche très perturbatrice, le signal qui
24 satellites dans 6 orbites planes se propage y est ralenti en fonction de la teneur locale en charges
(4 satellites par orbite) libres (qui varie parfois très rapidement avec le flux de particules
20 200 km d'altitude et 55° d'inclinaison
venant du soleil et de l’espace) et de la fréquence du signal.
Lorsque l’on recherche l’exactitude maximale, en recevant les
Figure 1 – Satellites GPS en orbite deux fréquences émises et en comparant les temps de propagation
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Mesures dimensionnelles par vision
par Hichem SAHLI

Professeur à la Vrije Universiteit Brussel
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1. Structure d’un système de mesure..................................................... R 1 392 - 2
1.1 Éclairage ....................................................................................................... — 2
1.2 Objectif ......................................................................................................... — 2
1.3 Caméra à capteur CCD ................................................................................ — 4
1.4 Carte d’acquisition....................................................................................... — 4
1.5 Analyse du contenu d’une image............................................................... — 4
1.5.1 Indices visuels..................................................................................... — 4
1.5.2 Extraction de paramètres................................................................... — 4
2. Étalonnage de caméra ............................................................................ — 5
2.1 Modèle géométrique de caméra ................................................................ — 5
2.1.1 Projection perspective........................................................................ — 5
2.1.2 Transformation capteur / image ......................................................... — 5
2.1.3 Modélisation des distorsions............................................................. — 6
2.1.4 Transformation objet / caméra ........................................................... — 6
2.1.5 Transformation objet / image ............................................................. — 6
2.2 Calibrage de caméra sans distorsion......................................................... — 7
2.3 Méthode de calibrage de caméra............................................................... — 7
2.4 Calibrage 2D - 2D ......................................................................................... — 7
L a vision industrielle est une technologie utile et souvent nécessaire dont les
performances répondent aux exigences et aux contraintes industrielles. Son
développement a bénéficié des progrès rapides et continus des détecteurs
solides ponctuels, linéaires ou matriciels, ainsi que de la micro-informatique et
de l’électronique de traitement d’images. La vision industrielle peut être définie
comme suit : un ensemble autonome implémenté dans un environnement
industriel et regroupant une caméra ou tout autre capteur optoélectronique sen-
sible aux longueurs d’onde lumineuses ainsi qu’une unité de traitement d’ima-
ges, ces deux systèmes permettant de prendre éventuellement une décision
automatique.
Un secteur particulièrement concerné par la vision industrielle est la métro-
logie 2D ou 3D sans contact. De nombreux systèmes de mesure de positions,
de formes et de distances sans contact sont utilisés dans l’industrie automo-
bile, l’aéronautique, et surtout en milieu hostile (sous-marin, centrale nucléaire,
chaudronnerie, etc.). Un tel système de mesurage est plus compact par rapport
à une machine à mesurer tridimensionnelle (palpeur) pour la même résolution.
En effet, la précision de mesure obtenue en utilisant des caméras industrielles
étalonnées est en général comparable à une machine à mesurer tridimension-
nelle.
Le présent article a pour objet de faire le point sur les systèmes de vision 2D
pour le positionnement, l’identification et la mesure. En se limitant à un sys-
tème de mesure 2D (aspect en surface) dans le domaine du visible, l’objet à
contrôler possède trois dimensions, dont une sera forcément négligée par
rapport aux autres. Cette troisième dimension pourra être contrôlée en
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MESURES DIMENSIONNELLES PAR VISION _________________________________________________________________________________________________
synchronisant plusieurs systèmes de prise de vue et en faisant une étude

simultanée des images qu’ils fournissent. Cette méthode permet de contrôler
des objets de forme complexe, dont aucune dimension ne peut prévaloir sur
les autres. L’objet peut être statique ou en mouvement de translation ou de
rotation dans le contexte de la chaîne de fabrication. On peut dans certains cas
profiter de ce mouvement pour faire plusieurs acquisitions sous des éclairages
différents mettant en valeur l’aspect volumique de l’objet. C’est la position de
l’objet par rapport à la source incidente qui crée l’effet de contraste recherché
dans une image. Les différentes facettes de l’objet doivent apparaître distincte-
ment séparées dans la dynamique de l’image et doivent aussi se distinguer du
fond.
Ｒ Les techniques de vision 3D, qui apportent la possibilité de résoudre des pro-
blèmes spécifiques que l’approche 2D ne permet pas de solutionner de façon
simple (notamment la détermination des cotes de surfaces gauches) ne seront
pas abordées ici. Le lecteur intéressé pourra se reporter à l’article « Perception
géométrique tridimensionnelle en robotique » [R 7 750] dans le traité Informa-
tique industrielle.
1. Structure d’un système

de mesure
Objet
Un système de mesure dimensionnelle par vision se compose

des éléments suivants : Illumination
— un équipement d’éclairage ;
— un objectif (optique) ; a objet mat
— une ou des caméras à capteur CCD ;
— une carte d’acquisition ;
— un micro-ordinateur, un module de traitement d’images et
éventuellement un moniteur de visualisation d’images.
Les paragraphes suivants résument les principes de fonctionne-
ment et les caractéristiques de ces éléments. Objet
Source
lumineuse
Lentille Lentille
1.1 Éclairage
Collimateur
L’éclairage est une étape fondamentale de mesure dimension-
nelle. Il a deux buts essentiels : ressortir toutes les caractéristiques b objet brillant
importantes de l’objet (paramètres de forme de l’objet) et simplifier
le traitement d’images ultérieur (si les détails se distinguent par Figure 1 – Extraction de la silhouette d’un objet (d’après [1])
une intensité lumineuse contrastée par rapport au fond, les fonc-
tions de traitement d’images seront plus simples). La figure 1 mon-
tre deux exemples d’éclairage pour la visualisation de la silhouette
d’un objet (d’après [1]). avec f la distance focale,
La figure 2 montre une configuration d’éclairage pour l’acquisi- u la distance objet-lentille,
tion de plusieurs vues d’un objet. v la distance image-lentille,
m le facteur d’agrandissement.
On fait souvent l’hypothèse d’un système optique centré : l’axe

1.2 Objectif mécanique de la lentille est confondu avec l’axe optique. La
figure 4 illustre le schéma de principe d’un objectif. Les points
Un objectif, composé d’une ou de plusieurs lentilles, forme, à principaux objet H et image H’ sont respectivement les centres
partir d’un objet, une image dont la position et la taille peuvent perspectifs des rayons incidents et des rayons émergents. Théori-
être calculées selon les lois de l’optique géométrique (figure 3) : quement, un système optique centré donne, d’un objet ponctuel,
une image parfaitement ponctuelle dans le plan image dans la
1 1 1 meilleure mise au point.
--- = --- + --- (1)
f u v
En réalité, un système optique donne, pour un objet ponctuel,
v (2) une image qui n’est pas un point lumineux mais une petite tache
m = --- lumineuse plus ou moins étendue. Ce phénomène se traduit par
u
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Caméras plénoptiques
pour l’imagerie tridimensionnelle
par Kevin COSSU
Ingénieur SupOptique, doctorant 3e année
Thales Optronique SA, Onera, Laboratoire Hubert Curien
Guillaume DRUART
Ingénieur SupOptique, docteur en physique
Onera, the French Aerospace Lab
Aurélie MONTMERLE BONNEFOIS

Ｒ
Ingénieur SupOptique, docteur en physique
et Marie-Thérèse VELLUET
Ingénieur SupOptique
1. De l’imagerie 3D stéréoscopique au concept plénoptique .... R 1 393 – 2

1.1 Imagerie 3D ........................................................................................ — 2
1.1.1 Différentes techniques ............................................................. — 2
1.1.2 Stéréoscopie : un cas particulier de la méthode
par triangulation ...................................................................... — 4
1.1.3 Notions clés ............................................................................. — 4
1.2 Naissance du concept plénoptique ................................................... — 7
1.3 La plénoptique aujourd’hui................................................................ — 7
2. Description de la caméra plénoptique........................................ — 8
2.1 Configuration 1.0 ................................................................................ — 9
2.1.1 Concept optique ...................................................................... — 9
2.1.2 Vers la restitution de l’image 3D ............................................. — 10
2.1.3 Avantages et inconvénients .................................................... — 12
2.2 Configuration 2.0 ................................................................................ — 12
2.2.1 Concept optique ...................................................................... — 12
2.2.2 Vers la restitution de l’image 3D ............................................. — 14
2.2.3 Avantages et inconvénients .................................................... — 17
2.3 Variantes : TOMBO, caméra plénoptique 1.2 et caméra
kaléidoscopique ................................................................................. — 17
2.3.1 Concept TOMBO ...................................................................... — 17
2.3.2 Caméra plénoptique 1.2 ........................................................... — 19
2.3.3 Caméra kaléidoscopique ......................................................... — 19
2.4 Comparaison des différents concepts ............................................... — 21
3. Applications ..................................................................................... — 22
3.1 Microscopie de fluorescence ............................................................. — 22
3.2 Alternative à la BOS (Background Oriented Schlieren) .................... — 22
3.3 Mesures 3D de mouvement de particules dans des champs
turbulents (PIV) .................................................................................. — 22
3.4 Intérêt pour le cinéma ........................................................................ — 22
3.5 Pour des besoins médicaux ............................................................... — 23
3.6 Pour la mesure de front d’onde ......................................................... — 23
4. Conclusion........................................................................................ — 23
Pour en savoir plus.................................................................................. Doc. R 1 393
’apparition de capteurs de plus en plus performants et l’augmentation très

L rapide des moyens de calcul ont permis le développement intensif de l’ima-
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gerie 3D que l’on observe aujourd’hui. En effet, les informations volumiques

des scènes (ou des objets) observées apportent des renseignements
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CAMÉRAS PLÉNOPTIQUES POUR L’IMAGERIE TRIDIMENSIONNELLE –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
complémentaires à la simple image 2D. Au-delà des applications grand public

(refocalisation, changement de point de vue), elle permet par exemple l’amélio-
ration de diagnostics pour les besoins médicaux, l’aide à la navigation par la
connaissance 3D du terrain, employée dans l’industrie pour une aide visuelle 3D
pour les robots, ou pour le contrôle de processus industriels. Ce sont des tech-
niques sans contact (profilométrie, silhouettage) et sans inclusion (images 3D
dans les tissus biologiques ou dans les matériaux).
Dans le domaine des caméraphones (appareil photo sur téléphone portable)
qui représente aujourd’hui 80 % du marché des caméras, les industriels ont accé-
léré les avancées technologiques notamment en réduisant la taille des pixels afin
d’améliorer la résolution. En 2015, des pixels de 1,12 mm sont commercialisés et
des pixels de 0,8 mm sont actuellement en développement. La taille des pixels se
Ｒ rapproche des longueurs d’onde du spectre visible (0,4 à 0,8 mm) pour atteindre
bientôt une limite physique. Afin d’augmenter la valeur ajoutée de leurs pro-
duits, les industriels se tournent donc vers plus de fonctionnalisation de ces
caméras. Le développement de caméraphones avec imagerie 3D ou autofocus
numérique prend donc tout son sens. On estime que, d’ici à 2021, le marché
mondial des caméras 3D engrangera près de 10,8 milliards de dollars.
Nota : dans l’article on désignera par « caméra » tout système d’acquisition d’images composé d’un module optique et
d’un module de détection.
Les instruments mis en œuvre pour l’imagerie 3D peuvent être passifs (plé-
noptique, stéréoscopie) ou actifs (triangulation laser, temps de vol).
La caméra plénoptique qui nous intéresse ici est un système permettant de
faire des images stéréoscopiques mais à partir d’une seule caméra. Ce système
intègre une matrice de microlentilles qui peut être située dans le plan image de
la lentille principale ou bien dans un plan intermédiaire. Suivant la configura-
tion optique de l’instrument, les résolutions spatiale et en profondeur ainsi que
la profondeur de champ du système sont différentes. La définition du besoin
permettra donc de choisir la configuration à privilégier.
Nota : un tableau des symboles et abréviations est présenté en fin d’article.
possible de remonter à la distance de ces objets par mesure du

1. De l’imagerie 3D temps écoulé entre l’émission et la réception du signal. L’équation
stéréoscopique au concept qui relie la distance entre l’objet et l’instrument (z), le temps (t) et
ct
la vitesse de la lumière (c) est la suivante : z = (voir figure 1). La
plénoptique 2
résolution de la mesure de profondeur, notée dz, est alors donnée
c
par δ z = δt, dt étant la résolution temporelle du système de
1.1 Imagerie 3D 2
détection. La télémétrie laser ou l’imagerie active 3D sont deux
exemples de systèmes de mesure par temps de vol. La portée de
1.1.1 Différentes techniques tels systèmes est liée à la puissance de la source laser,
Les techniques d’imagerie optique 3D sont nombreuses. Dans un
whitepaper [1] paru en 2014, Perry West propose de les recenser et
en dénombre dix-neuf. Parmi ces techniques, certaines sont très Impulsion Impulsion
émise réfléchie sur
répandues, d’autres sont spécialisées et quelques-unes sont encore t0 voiture t2
au stade de recherche. La plupart font appel à une source lumi- δt
Énergie
neuse ; ce sont des techniques dites « actives ». Mais quelques-

unes utilisent directement le flux émis (ou réfléchi dans le cas de
l’éclairement solaire) par l’objet observé ; ce sont les techniques
dites « passives ». Afin de simplifier la classification de toutes les Temps
techniques existantes, nous les décrirons principalement selon Impulsion
trois grandes familles suivant que la composante distance (z) est réfléchie
mesurée par : sur arbre t1
– le temps de vol. C’est une technique active qui utilise une

source de lumière pulsée (généralement laser ou LED) synchroni-
sée avec un détecteur. Une impulsion lumineuse est émise par la
source et réfléchie par les objets de la scène observée. Il est alors Figure 1 – Principe de la mesure 3D par temps de vol
R 1 393 – 2 Copyright © - Techniques de l’Ingénieur - Tous droits réservés
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––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– CAMÉRAS PLÉNOPTIQUES POUR L’IMAGERIE TRIDIMENSIONNELLE
typiquement quelques km pour une source de quelques dizaines nécessite de mesurer D avec une précision dD égale à :
de millijoules. Quant à la distance minimale qu’il est possible de 2
1⎛ h⎞
mesurer, elle est liée à la durée du pulse et à la sophistication des δ∆ = ⎜ ⎟ δ z ;
2⎝ z ⎠
traitements mis en œuvre : pour un laser avec une durée d’impul-
sion de l’ordre de la nanoseconde, on peut considérer qu’elle est – la triangulation. Cette technique peut être active ou passive.
de l’ordre de quelques m ; Son principe (cf. figure 3a) repose sur la détermination de la posi-
– l’holographie numérique. Il s’agit d’une technique active. Elle a tion longitudinale d’un point (le bateau ici) par la mesure des
pour objectif de mesurer la phase de l’objet, en particulier le terme angles entre ce point et deux autres points de référence (A et B)
de courbure qui permet de remonter à la distance entre l’objet et le de position connue. Ce principe est très ancien et a été proposé
récepteur. La source lumineuse est un laser qui envoie un signal par Thalès au VIe siècle av. J.-C. Dans cette classe, nous trouvons
sur une cible diffusante. Le signal rétrodiffusé engendre un dépha- toutes les techniques utilisant des illuminations structurées telles
sage lié à la distance parcourue, ce signal est comparé par que des barres ou des points, la triangulation par laser, la goniomé-
méthode interférométrique à un signal de référence. Le déphasage trie ou encore la stéréoscopie. La caméra plénoptique est une déri-
entre les deux permet de remonter à l’information de distance. vée de cette dernière. La portée de ces systèmes varie entre quel-
Ｒ
Dans cette famille, nous retrouvons l’interférométrie, la conosco- ques dizaines de centimètres et la centaine de mètres. La
pie. Le principe de l’holographie est présenté figure 2. La résolu- résolution en profondeur dépend de l’écartement entre les deux
tion en profondeur d’une telle méthode peut être donnée par la dif- axes au niveau de l’observateur (la distance B sur la figure 3).
férence de marche qu’il est possible de mesurer avec un tel
concept. Considérons une surface d’onde sphérique de rayon z. À Résolution en profondeur de la triangulation
la hauteur h (rayon du faisceau par exemple), l’écart, noté D, entre
une onde plane et cette onde sphérique est donnée par la relation : En première approximation, la résolution en profondeur est
D = h2/2z. L’estimation de la distance z avec une précision dz δd ⋅ z 2
donnée par la relation : δ z = , avec z la distance
B ⋅f
moyenne d’observation, B l’écartement entre deux caméras
(aussi appelé « base »), f la longueur focale du système
Hologramme optique et dd le décalage minimum mesurable entre l’image
Image virtuelle de deux objets situés à des distances différentes (cf. figure 3b).
Laser illuminateur
Hologramme La résolution angulaire peut également être déduite de la rela-
f ⋅B
tion précédente sous la forme : δα = 2 .
z
Laser de référence Quelques chiffres : résolutions typiques

Laser de référence – La résolution en profondeur d’un système utilisant la technique
temps de vol est indépendante de la distance à laquelle est faite la
Enregistrement Restitution
mesure. Elle ne dépend que de sa capacité à séparer deux impul-
sions. Aujourd’hui, il est possible de travailler avec des impulsions
Figure 2 – Principe de l’holographie : à gauche phase de l’ordre de la nanoseconde, ce qui correspond à une résolution en
d’enregistrement, à droite phase de visualisation profondeur de l’ordre du cm, voire du dm.
B
C1 C2
δd f
A x 1 = y1
y2 x2
A
L1
D
z
L2
B
Y
B
δz
a b
Figure 3 – (a) Principe de la triangulation et (b) application à la stéréoscopie
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CAMÉRAS PLÉNOPTIQUES POUR L’IMAGERIE TRIDIMENSIONNELLE –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
– Pour la technique holographique, la résolution dépend à la fois Suivant l’application visée, on privilégiera une méthode par rap-
de la distance de l’objet d’intérêt et du diamètre du faisceau. Avec port aux autres, typiquement :
cette méthode on peut espérer des précisions de l’ordre du dixième – pour des applications de type aéroportées, aide à la navigation
de la longueur d’onde. Par exemple, pour un objet à 1 m et un diamè- par exemple, nécessitant une résolution décimétrique à une dis-
tre de faisceau typique de 10 cm, si l’on considère une précision de tance de l’ordre de quelques km, les techniques temps de vol sont
l/20 (soit dD = 30 nm dans le visible), on trouve une résolution en les mieux adaptées ;
profondeur de 25 mm. – pour des distances plus courtes de l’ordre de la dizaine de
– La résolution en profondeur d’un système optique utilisant la mètres au mètre et des résolutions de l’ordre du mm comme le
triangulation dépend de la distance de l’objet d’intérêt et de l’écar- contrôle industriel par exemple, la triangulation est la méthode la
tement entre les deux voies de mesure. Par exemple, pour un objet à mieux adaptée ;
1 m avec une base de 10 cm, une distance focale de 500 mm et une – pour la microscopie 3D, on privilégiera les méthodes interféro-
taille de pixel de 5 mm, si on considère une résolution dd égale au métriques assurant des précisions micrométriques et inférieures.
dixième du pixel (valeur typique), on obtient une résolution en profon-
Une analyse comparée des différentes techniques est synthétisée
Ｒ
deur de 500 mm (cf. encadré « Résolution en profondeur de la
triangulation »). sur le tableau 1.
1.1.2 Stéréoscopie : un cas particulier

L’application numérique ci-dessus montre que les différentes de la méthode par triangulation
méthodes n’ont pas les mêmes domaines d’emploi, ni ne permet-
tent les mêmes gammes de résolution. De plus, en fonction des
caractéristiques du système optique et des traitements associés, Le principe de la stéréoscopie repose sur l’utilisation de deux
systèmes imageurs monovoies, espacés d’une distance parfaite-
les précisions données ci-dessus varient dans une large gamme.
ment connue (appelée « base ») et observant une même scène.
La figure 4 permet de donner une idée des domaines distance
Un exemple de stéréoscopie est la vision binoculaire (vision
d’observation/résolution pour les trois techniques. Un comparatif
humaine par exemple). L’espacement entre les deux voies permet
plus poussé des différentes techniques d’imagerie 3D est fait dans d’obtenir sur chacune des caméras une image vue sous deux
l’article [2] ainsi que dans les articles de référence [3] et [4]. angles différents : c’est l’effet de parallaxe. Celui-ci sera d’autant
plus important que l’objet observé sera proche et les voies espa-
cées ; la précision sur la mesure de la distance sera meilleure. Les
deux images peuvent être enregistrées simultanément (deux
Résolution
caméras différentes) ou séparément (avec une même caméra qui
se déplace, approche utilisée pour l’imagerie 3D aéroportée et
1m aérospatiale). La figure 5 illustre ces deux cas de figure.
Temps de vol L’information 3D étant donnée par comparaison des deux images,
tio
n il est important que celles-ci soient enregistrées dans les mêmes
1 mm gu
la
n conditions : objet fixe, pas de vibrations différentielles, même
Tria
repère… Dans le cas où les deux images ne sont pas simultanées
ou que les capteurs ne sont pas sur le même support, un traitement
rie relativement sophistiqué est à prendre en compte pour réduire tous
1 µm mét
rféro les effets différentiels ; mesure sur des amers, recalage des images…
Inte
1.1.3 Notions clés

1 µm 1 mm 1m 1 km & Champ
Distance
On définit comme champ d’une caméra, la portion d’espace qui
est imagée sur le détecteur. Exprimé le plus souvent en degrés, il
est généralement donné suivant chaque axe du détecteur ou bien
Figure 4 – Comparaison des différentes méthodes distance/ suivant la diagonale de ce dernier. On le trouve parfois également
résolution exprimé en mètres à une distance donnée de la caméra. La figure 6
Tableau 1 – Comparaison des différentes techniques

Technique Avantages Inconvénients
Temps de vol – Précision longitudinale indépendante de la distance – Utilisation d’une source laser synchronisée avec le
– Source lumineuse maı̂trisée détecteur
– Fonctionnement jour/nuit – Nécessité de scanner la scène pour faire une image
– Fréquence d’acquisition rapide – Distance minimale d’utilisation
– Adaptée pour des applications moyennes et longues – Portée limitée par la puissance du laser
portées (> km) – Complexité accrue pour résolution en profondeur fine
Holographie – Mesures permettant des précisions inférieures au mm – Utilisation source laser cohérente
(interférométrique) – Faible distance
– Adaptée pour des applications de microscopie – Traitement des données lourd
Triangulation – Facilité de mise en œuvre – Portée limitée

– Système passif – Erreurs engendrées par les occultations dans la scène
– Adaptée pour des applications courte portée (quelques – Seulement pour objets opaques et structurés
m, dizaines de m)
R 1 393 – 4 Copyright © - Techniques de l’Ingénieur - Tous droits réservés
ＳＶ
ｒＱＳＹＳ
––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– CAMÉRAS PLÉNOPTIQUES POUR L’IMAGERIE TRIDIMENSIONNELLE
a
Zone de recouvrement
b
Figure 5 – (a) Appareil photo stéréoscopique des années 1930 et (b) principe de la stéréoscopie aéroportée
illustre dans un cas simple le champ q d’une caméra. L’angle q

représente l’angle de demi-champ de la caméra. Détecteur
& Ouverture
On appelle nombre d’ouverture (F-Number ou F#) d’un système Objectif
optique le rapport entre la focale f ′ de ce dernier et le diamètre de
sa pupille d’entrée FPE. Pour une focale donnée, l’augmentation du
nombre d’ouverture correspond à une réduction du diamètre de la
pupille (fermeture du diaphragme dans le cas d’un objectif photo- θ α
graphique), entraı̂nant une augmentation de la profondeur de Φobj
champ du système (définie plus bas), une réduction de l’éclaire-
ment au niveau du détecteur ou encore une réduction des aberra-
tions géométriques. Les rayons rouges représentés sur la figure 6
définissent le cône d’ouverture du système : plus l’angle a est
grand, plus le système est ouvert.
De par sa définition, le nombre d’ouverture correspond toujours
au cas d’un objet à l’infini, c’est-à-dire le cas où le détecteur est f’
placé à une distance de l’objectif égale à sa distance focale. Dans
le cas d’un objet situé à distance finie, on définit le nombre d’ouver-
Figure 6 – Schéma représentant l’ouverture et le champ d’une caméra
ture de travail (Working F-Number ou WF#) du système comme
étant le rapport entre la distance qui sépare la pupille du plan de
détection et le diamètre de la pupille. débordement. Pour le définir, il faut comprendre que chaque voie
optique va générer une image qui lui est propre sur un même
& Condition de stéréoscopie – le recouvrement détecteur matriciel. Dès lors, il faut éviter que les images des diffé-
La première notion qui intervient lorsqu’on cherche à faire de rentes voies optiques débordent les unes sur les autres et donc
l’imagerie 3D par stéréoscopie est la notion de recouvrement. délimiter convenablement la zone d’image allouée à chaque voie
C’est-à-dire le pourcentage de la scène vu conjointement par deux optique. Le débordement d’une voie sur l’autre réduit les perfor-
voies optiques différentes. Cette notion est importante car c’est mances d’estimation de profondeur du système. Il peut être limité
seulement dans cette « zone de recouvrement » que l’extraction physiquement en ajoutant par exemple des murets entre les diffé-
d’informations sur la distance des objets va pouvoir être possible. rentes voies optiques lorsque c’est possible ou bien il peut être
Par exemple, dans le cas de l’imagerie aéroportée ou aérospatiale anticipé et limité dès l’étape de conception du système en jouant
où on acquiert en continu et on déduit l’information stéréo de deux sur ses paramètres tels que la focale ou la taille de la pupille.
images successives (figure 5), un recouvrement d’au moins 50 % & Qualité image – le vignettage
est nécessaire afin de s’assurer que chaque point de la scène obser-
vée est vu au minimum dans deux images. Typiquement, un recou- Bien connu dans le milieu de la photographie, le vignettage est
vrement supérieur à 55 % est choisi. un effet qui tend à assombrir la périphérie d’une image par rapport
au centre de celle-ci. Il est dû la plupart du temps aux paramètres
& Condition d’isolation des voies optiques – le débordement de la caméra mais est parfois utilisé délibérément par les artistes
Le second facteur qu’il est important de maı̂triser dans le cas des pour rehausser le centre de l’image. Dans le cas de systèmes
caméras multivoies telles que les caméras plénoptiques est le d’imagerie multivoies tels que ceux que nous présentons ici, le
ＳＷ
Ｒ
ＳＸ
1– Forme et position
2– Mesures tridimensionnelles
Ｓ
3– États de surface Réf. Internet page
États de surface. Caractérisation R1230 41
États de surface. Mesure R1231 47
Métrologie des surfaces R1390 51
Microscopie à force atomique (AFM) R1394 55
ＳＹ
Ｓ
ＴＰ
ｒＱＲＳＰ
États de surface
Caractérisation
par Bernard RAPHET
Responsable Qualité et responsable Formation d’ANNECY MÉTROLOGIE
Ancien responsable du service métrologie du CTDEC
(Centre technique de l’industrie du décolletage)
1. Introduction............................................................................................... R 1 230 - 2
Ｓ
1.1 Pourquoi faut-il caractériser la microgéométrie des surfaces ? .............. — 2
1.2 Normalisation et GPS (spécification géométrique des produits) ............ — 2
1.3 Normes d’états de surface et GPS ............................................................. — 3
2. Différents écarts géométriques de l’état de surface..................... — 4
3. Spécifications des états de surface.................................................... — 6
3.1 Indications des exigences d’états de surface ............................................ — 6
3.2 Exemples ...................................................................................................... — 8
4. Paramètres d’états de surface ............................................................. — 10
4.1 Séparation des écarts géométriques ......................................................... — 10
4.2 Paramètres définis par rapport à la ligne moyenne ................................. — 10
4.3 Paramètres définis par rapport aux motifs................................................ — 12
4.4 Paramètres définis par rapport à la courbe de portance.......................... — 18
4.5 Synthèse....................................................................................................... — 21
es propriétés des solides et leur comportement dépendent, souvent, davan-

L tage des caractéristiques de leurs surfaces que de leurs propriétés massiques
ou volumiques. La surface d’un corps solide est la partie de ce solide qui le limite
dans l’espace et le sépare du milieu environnant. Elle est prépondérante pour
assurer des fonctions telles que l’aptitude aux frottements, la résistance à l’usure
ou la corrosion, conduction thermique et électrique, résistance aux contraintes
mécaniques, étanchéité statique ou dynamique, aspect, etc.
Les surfaces industrielles produites par des moyens techniques présentent
toujours des irrégularités par rapport à la surface idéale. Pour les décrire en
toute rigueur, il faudrait utiliser une fonction continue z (x, y) donnant l’altitude
de chaque point par rapport à la surface idéale.
Connaître l’influence de l’état d’une surface sur le fonctionnement d’une
pièce et son comportement dans le temps nécessite de pouvoir caractériser sa
géométrie, macro, micro, voire même nanogéométrie dans certains cas.
Seule la caractérisation des états de surface effectué sur un profil est
normalisée. Le développement des technologies et des équipements permet de
disposer d’une représentation tridimensionnelle de la surface (topographie). Si
cette approche est actuellement le moyen le plus fidèle pour caractériser une
surface, elle n’est pas encore reconnue et son application n’est pas envisageable
en production.
Les problèmes relatifs à la géométrie des surfaces se posent à trois niveaux :
— la conception : quel état de surface convient à la fonction à assurer et
comment doit-on le spécifier sur un dessin technique ?
— la réalisation de la surface : quels moyens mettre en œuvre pour obtenir
l’état de surface souhaité ?
— la mesure de la surface : quels moyens et quelles conditions de mesure

pour vérifier que la surface correspond aux spécifications ? Cet aspect sera traité
dans le dossier [R 1 231].
©Techniques de l’Ingénieur R 1 230 − 1
ＴＱ
ｒＱＲＳＰ
ÉTATS DE SURFACE ____________________________________________________________________________________________________________________
Ce dossier et le suivant [R 1 231] étudient essentiellement les aspects

industriels de la caractérisation et de la mesure d’états de surface, en fonction
de la normalisation en vigueur à ce jour et des travaux en cours.
Les éléments concernant les imperfections (retassures, rayures, pores...) et
l’aspect (couleur, brillance) des surfaces ne sont pas traitées dans ce dossier.
La caractérisation des états de surface sur un profil est actuellement la seule
méthode normalisée.
La normalisation actuelle est une réelle avancée, avec le concept GPS
(Spécification Géométrique des Produits) reconnu et repris par les principaux
pays industriels. Il convient donc de l’utiliser pour spécifier et mesurer les états
de surface, notamment lors d’échanges commerciaux.
Si ce système est très adapté à des surfaces obtenues avec des moyens
d’obtention donnant des profils pratiquement constants (tournage, fraisage,
rectification,...), il l’est beaucoup moins pour d’autres surfaces où les irré-
Ｓ gularités sont inégalement réparties (électroérosion, surface revêtue,...) qui

nécessiteraient une caractérisation tridimensionnelle.
Pour les concepteurs de produits, l’amélioration des performances passe
généralement par la réduction des tolérances dimensionnelles et géomé-
triques, ce qui permet implicitement d’obtenir des états de surface plus fins.
Mais à quel prix ? S’il est évident que l’état de surface est un facteur important
dans la performance d’un produit, le choix du ou des paramètres à spécifier
reste toujours un problème délicat. Le manque de connaissance des relations
entre les fonctions d’une surface et les paramètres d’états de surface fait que
le concepteur spécifie ses produits avec un nombre très restreint de para-
mètres, souvent les mêmes, par habitude.
1. Introduction Le développement de la sous-traitance, la multiplication des

échanges et la mise en place de systèmes d’assurance qualité, ont
mis en évidence la nécessité d’un langage commun, univoque et
reconnu de tous les partenaires pour définir les spécifications d’un
1.1 Pourquoi faut-il caractériser produit. Ainsi est né le concept GPS, Geometrical Products Speci-
la microgéométrie des surfaces ? fication (Spécification Géométrique des Produits).
La spécification géométrique des produits consiste, à définir au
Tous les objets, et notamment les pièces constitutives des travers d’un dessin de définition, la forme, les dimensions et les
produits industriels, présentent des surfaces diverses avec pour caractéristiques de surfaces d’une pièce qui en assurent un fonc-
chacune d’elles une fonction associée qui va de la simple limitation tionnement optimal, ainsi que la dispersion autour de cet optimal
de la matière à la réalisation d’une étanchéité dynamique en pour laquelle la fonction est toujours satisfaite.
passant par la tenue d’un revêtement ou la biocompatibilité pour La fabrication produira des pièces présentant des écarts par
une prothèse médicale par exemple. (0)
rapport à l’optimal, d’une part, et d’une pièce à l’autre, d’autre part.
La microgéométrie de la surface intervient souvent de façon Ces pièces seront mesurées afin de les comparer à la spécification.
déterminante dans son aptitude à satisfaire la fonction attendue. Il est donc nécessaire de pouvoir relier :
Par exemple au niveau des interfaces entre les pièces d’un — la pièce imaginée par le concepteur ;
assemblage avec mouvement relatif, les divers phénomènes de — la pièce réelle fabriquée ;
contraintes et de frottements évoluent continuellement jusqu’à la — la connaissance de la pièce obtenue par mesurage.
perte de performance qui va entraîner la déficience du mécanisme.
■ Le concept GPS
La maîtrise de l’état de surface par le choix d’un ou plusieurs ● Il couvre plusieurs types de normes :
paramètres adaptés permettra de garantir la qualité du fonction-
— de base : règles et procédures de base pour la cotation et le
nement tout au long de la durée de vie du produit.
tolérancement des pièces et produits (exemple : principe de tolé-
rancement de base) ;
— globales : règles pour tout ou partie des normes générales
1.2 Normalisation et GPS (spécification (exemple : température de référence, vocabulaire international de
géométrique des produits) métrologie, guide pour l’expression de l’incertitude, etc.) ;
— générales et complémentaires : règles pour l’indication sur
les dessins, les définitions et principes de vérification (exemple :
Pendant de nombreuses années, chaque pays a développé sa cales étalons, système ISO de tolérances et d’ajustement, etc.).
normalisation. Les principaux donneurs d’ordres, en particulier
« automobiles », ne trouvant pas dans leurs normes nationales, les ● Il couvre plusieurs types de caractéristiques géométriques :
éléments correspondant à leur besoin, ont étudié puis défini — taille, distance ;
d’autres paramètres dans des normes internes (cahier des char- — angle ;
ges). Cette situation a généré au niveau international des normes — forme, position, orientation ;
sans convergence de vue voire contradictoires. — rugosité, ondulation, etc.
R 1 230 − 2 ©Techniques de l’Ingénieur
ＴＲ
ｒＱＲＳＰ
____________________________________________________________________________________________________________________ ÉTATS DE SURFACE
Tableau 1 – Extrait de la matrice GPS

Normes GPS globales
Normes GPS générales
No du maillon 1 2 3 4 5 6
Caractéristique Indication dans la Définition des tolé- Définition des des écarts – Exigences pour Exigences d’éta-
documentation rances – Définitions caractéristiques Évaluation
géométrique de du produit – théoriques et
Comparaison avec les
ou paramètres de limites de la tolérance
l’équipement de lonnage – Étalons
l’élément Codification valeurs l’élément extrait
mesure d’étalonnage
● Maillon 1 : Indication dans la documentation du produit – Codification.

Ce maillon regroupe les normes traitant la façon d’indiquer, sur le dessin, les caractéristiques de la pièce.
● Maillon 2 : Définition des tolérances – Définition théorique et valeurs.
Ces normes fixent les règles permettant de traduire le code en valeurs exprimées en unités SI. Ce maillon traite aussi de la façon de déter-
miner la caractéristique à partir de la géométrie.
● Maillon 3 : Définitions des caractéristiques ou paramètres de l’élément extrait.
Ｓ
Ce maillon définit les caractéristiques de l’élément extrait ; celui-ci est obtenu à partir d’un ensemble de points prélevés sur la surface de
la pièce.
● Maillon 4 : Évaluation des écarts de la pièce – Comparaison avec les limites de la tolérance.
Ces normes spécifient la méthode pour comparer les résultats de mesure aux limites de tolérance, pour décider de la conformité ou non
de la pièce aux spécifications du dessin, en tenant compte de l’incertitude de mesure.
● Maillon 5 : Exigences pour l’équipement de mesure.
Ces normes décrivent les équipements de mesure. Elles définissent les caractéristiques qui influencent l’incertitude de mesure. Elles
peuvent fixer les erreurs maximales pour les caractéristiques définies.
● Maillon 6 : Exigences d’étalonnage – Étalons d’étalonnage.
Ces normes décrivent les étalons d’étalonnage et les procédures d’étalonnage à utiliser pour vérifier les exigences fonctionnelles d’équi-
pement de mesure du maillon 5, et d’assurer la traçabilité à la définition de l’unité SI concernée.
● Il traite des caractéristiques des pièces résultant de différents pro- — NF EN ISO XXXX en France, XXXX étant le numéro de la
cédés de fabrication et des caractéristiques de produits spécifiques. norme ISO ;
● Il intervient aux différentes étapes de développement d’un — DIN EN ISO XXXX en Allemagne, XXXX étant le numéro de la
produit. norme ISO ;
— etc. (0)
■ La normalisation internationale (normes ISO) a créé un comité Les normes ISO ont été toutes révisées ou créées entre 1996 et
technique ISO/ TC 213 « Spécification et vérification dimension- 2002. Leur adoption par les pays européens date de 1997 à 2003.
nelles et géométriques des produits » qui a mis au point, en 1995, Les principales évolutions de la normalisation concernent :
un outil d’analyse et de programmation de la normalisation : la
matrice GPS. Elle permet de visualiser pour chaque caractéristique — les instruments :
dimensionnelle et géométrique les normes existantes, les manques, • les palpeurs à patin ne sont plus normalisés,
les contradictions, les doublons. Chaque étude doit trouver sa place • la valeur vraie d’un paramètre d’état de surface est définie par
dans cette matrice (tableau 1). un instrument de mesure absolue,
• obligation de retirer la forme nominale avant l’application des
■ Les anciennes normes sont donc révisées dans le triple but : systèmes de séparation des écarts géométriques,
— les rendre compatibles avec les définitions GPS ; • le filtre gaussien à phase correcte numérique, défini par la nor-
— prendre en compte les évolutions technologiques ; malisation allemande DIN, remplace le filtre analogique 2 RC.
— uniformiser l’ensemble des normes nationales, à l’heure de la Dans la plupart des cas, le changement de filtre entraîne des diffé-
mondialisation des échanges. rences de l’ordre de – 5 à – 10 % ;
— les paramètres :
• la normalisation du système de séparation par motifs et des
1.3 Normes d’états de surface et GPS paramètres associés R et W (défini par la normalisation française
NF après travaux et définitions des constructeurs automobiles
Les états de surface ont été l’un des premiers sujets à être traité français),
suivant le concept GPS avec l’utilisation de la matrice. Le tableau 2
• le changement de noms pour certains critères,
positionne les différentes normes ISO concernant les états de sur-
face dans la matrice GPS. Cette classification sert également de • la définition de deux nouveaux profils d’état de surface (profil
support à ce dossier. W et profil P ),
• la normalisation ISO d’un système de caractérisation de surfa-
Il existe aujourd’hui une collection de normes ISO (normes inter- ces particulières obtenues par des procédés d’usinage différents
nationales) reconnues par le CEN (normes européennes) et donc par utilisés successivement, surfaces « multiprocess » (défini par la
les comités nationaux des États membres de l’Union européenne. normalisation allemande DIN),
Leur identification, basée sur la normalisation ISO, est la suivante : • la modification de la manière de spécifier les états de surface
— ISO XXXX pour la normalisation internationale ; sur un dessin technique ;
ＴＳ
ｒＱＲＳＰ
ÉTATS DE SURFACE ____________________________________________________________________________________________________________________
Tableau 2 – Normes d’états de surface dans la matrice GPS

Normes GPS générales
No du maillon 1 2 3 4 5 6
Indication Définition Évaluation

Caractéristique dans la des tolérances – Définition des des écarts –
Exigences Exigences
caractéristiques pour d’étalonnage –
géométrique documentation Définitions ou paramètres de Comparaison l’équipement Étalons
de l’élément du produit – théoriques l’élément extrait
avec les limites
de mesure d’étalonnage
Codification et valeurs de la tolérance
NF EN ISO 4287
NF EN ISO 11562 NF EN ISO 4288
NF EN ISO 5436-1
NF EN ISO 12085 NF EN ISO 11562 NF EN ISO 4288 NF EN ISO 3274
Profil de rugosité NF EN ISO 1302 NF EN ISO 5436-2
NF EN ISO 13565-1 NF EN ISO 12085 NF EN ISO 12085 NF EN ISO 11562
NF EN ISO 12179
NF EN ISO 13565-2 NF EN ISO 13565-2
Ｓ
NF EN ISO 13565-3
NF EN ISO 4287 NF EN ISO 5436-1

NF EN ISO 11562 NF EN ISO 4288 NF EN ISO 3274
Profil d’ondulation NF EN ISO 1302 NF EN ISO 11562 NF EN ISO 5436-2
NF EN ISO 12085 NF EN ISO 12085 NF EN ISO 11562

Profil primaire NF EN ISO 1302 NF EN ISO 4288
Imperfections NF EN ISO 8785 NF EN ISO 8785

de surface
— les conditions de mesures :

• l’augmentation des définitions par défaut,
Tableau 3 – Les écarts géométriques, leurs profils
• l’état de surface (trois profils R, W et P ) est défini par une
et la fréquence des défauts
bande de transmission (filtre passe-bas et passe-haut). Ce chan- Écarts Fréquence
gement entraîne une petite réduction de la valeur mesurée et Ordres Profils
géométriques des défauts
réduit l’incertitude de mesure ainsi que les différences entre les
mesures effectuées sur des appareils de marques différentes. Ordre 1 Écart de forme / Basse
Ordre 2 Ondulation Profil W Profil P Moyenne
Ordres 3 et 4 Rugosité Profil R Haute
2. Différents écarts
géométriques Tableau 4 – Classement « pratique »
de l’état de surface des différents écarts géométriques
Un profil de surface est la courbe résultant de l’intersection de la Écart

Distance entre les pics (en µm) comprise entre
surface réelle et d’un plan spécifié. Ce plan est perpendiculaire à la géométrique
surface de l’échantillon et orienté généralement perpendiculaire- Rugosité 2 et 250 à 800
ment au sens des stries d’usinage. Un profil de surface, outre la
forme nominale de la pièce, est composé de différents écarts géo- Ondulation 250 à 800 et 2 500 à 8 000
métriques (figure 1), auxquels correspondent différents profils Écart de forme 2 500 à 8 000 et longueur de l’élément
(tableau 3) :
— profil P, profil primaire (ordre 1 + 2 + 3 + 4), sur lequel sont très rarement. Pourtant la spécification des écarts d’ondulation est
définis les paramètres de structure, désignés par un symbole très importante pour assurer certaines fonctions, comme l’étan-
commençant par la lettre P, par exemple Pt, Pa, etc. ; chéité, le déplacement entre deux surfaces, etc. Des écarts d’ondu-
— profil W, profil d’ondulation (ordre 2), sur lequel sont définis lation conséquents peuvent entraîner des dysfonctionnements tels
les paramètres d’ondulation, désignés par un symbole commen- que fuites, bruits, usure prématurée, etc.
çant par la lettre W, par exemple Wt, Wa, etc. ;
— profil R, profil de rugosité (ordre 3 + 4), sur lequel sont définis La frontière entre la rugosité et l’ondulation est arbitraire,
les paramètres de rugosité, désignés par un symbole commençant aucune définition absolue n’existe. En pratique, le classement
par la lettre R, par exemple Rt, Ra, etc. s’effectue à partir de la distance entre les pics (tableau 4). (0)
La représentation graphique de l’état de surface est toujours La caractérisation de l’état de surface nécessite :
anamorphosée. L’amplification verticale est généralement beau- — une prise de données très fine sur la surface, avec une très
coup plus importante que l’amplification horizontale. Cette ana- grande amplification des données ;
morphose a comme effet de compresser le profil réel et d’en — la séparation des écarts géométriques ;
donner une image très différente de la réalité. (0) — la caractérisation de chaque écart par des paramètres.
Sur les dessins techniques, les écarts de forme et les paramètres Le tableau 5 précise les effets et les origines possibles des
de rugosité sont souvent spécifiés. Mais l’ondulation ne l’est que différents écarts. (0)
ＴＴ
ｒＱＲＳＰ
____________________________________________________________________________________________________________________ ÉTATS DE SURFACE
Hauteur des irrégularités Hauteur des irrégularités

(µm) (µm)
17,5
400
13,5
0
– 400 9,5
– 800
5,5
0 2 4 6 8 10 12 14 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
Longueur d'évaluation (mm) Longueur d'évaluation (mm)
a écart de forme b écart d’ondulation
Hauteur des irrégularités Hauteur des irrégularités
Ｓ
(µm) (µm)
0,8 4
2
0,4
0
0 –2
–4
– 0,4 –6
–8
– 0,8 – 10
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
Longueur d'évaluation (mm) Longueur d'évaluation (mm)
c écart de rugosité périodique d écart de rugosité apériodique
Figure 1 – Les écarts géométriques d’un profil
Tableau 5 – Effets et origines possibles des différents écarts

Écarts Signification Origine
géométriques par rapport à la fonction des écarts
Influent sur : Procédé d’usinage :
— frottement de glissement et roulement ; — déformation de la pièce.
— résistance au matage ; Matériau :
— libération des contraintes internes.
— étanchéité statique et dynamique. Machine :
Écart de forme Créent :
— défaut de bridage ;
— usure ; — flexion des éléments ;
— grippage.
— qualité des guidages ;
— usure des organes.
Diminuent : Procédé d’usinage :
— durée de vie des organes. — mauvais affûtage.
Ondulation Machine :
— vibrations basses fréquences de l’outil ;
— vibrations basses fréquences de la pièce.
Rugosité Influent sur : Procédé d’usinage :
— écoulement des fluides ; — avance de l’arête coupante ;
— étanchéité statique et dynamique ; — avance de la pièce ;
— revêtement ; — géométrie des outils ;
— adhésivité ; — qualité de la meule (rectification) ;
— dépôt électrolytique ; — qualité d’affûtage des outils.
— résistance aux efforts alternés. Matériau :
— hétérogénéité ;
— plasticité.
Machine :
— vibrations hautes fréquences de l’outil ;
— vibrations hautes fréquences de la pièce ;
— qualité du lubrifiant ;
— mode de lubrification ;
— filtrage du lubrifiant.
ＴＵ
Ｓ
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ｒＱＲＳＱ
États de surface
Mesure
par Bernard RAPHET
Responsable Qualité et responsable Formation d’ANNECY MÉTROLOGIE
Ancien responsable du service métrologie du CTDEC
(Centre technique de l’industrie du décolletage)
1. Mesures des états de surface............................................................... R 1 231 - 2
Ｓ
1.1 Estimation des paramètres ......................................................................... — 2
1.2 Règles et procédures de vérification.......................................................... — 2
1.3 Comparaison des valeurs mesurées des paramètres aux limites
de tolérance.................................................................................................. — 3
1.4 Expression du résultat................................................................................. — 4
2. Équipements de mesure d’états de surface ..................................... — 5
2.1 Appareils à palpeur ..................................................................................... — 5
2.2 Évaluation par comparaison viso-tactile ................................................... — 7
3. Raccordement des résultats de mesure d’états de surface......... — 8
3.1 Étalons .......................................................................................................... — 8
3.2 Étalonnage de l’équipement....................................................................... — 8
4. Topographie ............................................................................................... — 11
4.1 Introduction.................................................................................................. — 11
4.2 Paramètres de surface................................................................................. — 12
4.3 Méthodes de mesure................................................................................... — 13
C e document est à lire à la suite du dossier [R 1 230].

Les dossiers [R 1 230] et [R 1 231] présentent, d’une manière non exhaustive,
les connaissances actuellement admises dans le domaine de la caractérisation
de surface à partir essentiellement d’une étude bibliographique et de l’expé-
rience de l’auteur.
Dans le monde industriel, on retrouve aujourd’hui, la présence :
— de plans avec des paramètres correspondants aux anciennes normes
(définitions différentes suivant les pays d’origine) ;
— de matériels d’ancienne génération (paramètres suivants anciennes
normes avec un traitement du signal plus normalisé) ;
— de plans et équipements conformes à la normalisation en vigueur, mais que
peu de gens utilisent correctement ;
— d’équipements permettant la caractérisation tridimensionnelle de l’état de
surface, avec des méthodes de traitement différentes ;
— de documents prénormatifs des paramètres de surface.
Cette situation est due à la récente évolution de la normalisation, et au déve-
loppement des équipements, à l’augmentation des performances du matériel
informatique et des logiciels.
La mesure tridimensionnelle de la microgéométrie est actuellement le moyen
le plus fidèle pour caractériser une surface. Elle permet l’observation,
l’identification et la quantification des irrégularités. Elle permet également la
réalisation d’études sur les corrélations entre la microgéométrie et la fonction
ou le comportement d’une surface. Ces études devraient permettre notamment
de préciser ou redéfinir les limites entre les différents écarts géométriques
(forme, ondulation et rugosité), que ce soit sur un profil ou sur une surface.
ｐ｡ｲｵｴｩｯｮ＠Ｚ＠ｪｵｩｮ＠ＲＰＰＶ
ＴＷ
ｒＱＲＳＱ
ÉTATS DE SURFACE ____________________________________________________________________________________________________________________
En effet, si certaines fonctions nécessite la prise en compte de ces écarts

géométriques séparément, d’autres nécessitent de les caractériser plus globa-
lement (par exemple : forme + ondulation ou ondulation + rugosité ou
forme + ondulation + rugosité).
Historiquement, l’état de surface a été évalué visuellement et/ou tactilement,
puis mesuré sur un profil à l’aide de capteurs avec un traitement du signal plus
ou moins performants (profilométrie), et enfin mesuré sur une partie de la sur-
face (topographie). Les techniques tridimensionnelles ne sont plus réservées
aux laboratoires de recherche. Les prototypes sont devenus des équipements
industriels que l’on retrouve dans des laboratoires d’entreprises ou de sociétés
de services. On peut imaginer qu’au niveau des équipements, les prochaines
étapes seront la mesure tridimensionnelle d’état de surface en production et la
mesure intégrale d’une surface entière (macro, microgéométrie, soit de façon
séparée soit de façon globale).
Ｓ
1. Mesures des états Tableau 1 – Estimation du paramètre
de surface Paramètre
Calcul Calcul
intermédiaire du paramètre
1.1 Estimation des paramètres Moyenne
Calcul du paramètre,
arithmétique des
L’élément à mesurer présente : Paramètre défini avec les données de estimateurs du
par la longueur mesurage obtenues
— des zones homogènes : les valeurs déterminées sur la surface paramètre obtenus
de base sur chaque longueur
entière doivent être utilisées pour la comparaison avec les de base sur toutes les
exigences ; longueurs de base
— des zones non homogènes : les valeurs des paramètres déter- Calcul du paramètre,
minées sur chacune de ces zones doivent être utilisées séparément Paramètre défini avec les données de
pour la comparaison avec les exigences. par la longueur mesurage obtenues
d’évaluation sur la longueur
Lorsque les exigences sont spécifiés par la limite supérieure du d’évaluation
paramètre, il faut utiliser la ou les zones de la surface qui semblent
présenter la valeur maximale du paramètre.
Si la direction n’est pas spécifiée, la pièce doit être positionnée
de sorte que la direction de la section corresponde aux valeurs
maximales des paramètres de hauteurs de rugosité de surface. Tableau 2 – Valeurs par défaut de la longueur d’évaluation
Les paramètres sont estimés sur une longueur d’évaluation. Ils Longueur d’évaluation
sont définis (tableau 1) : Paramètres
par défaut
— soit sur une longueur de base ;
— soit sur la longueur d’évaluation. Il est donc nécessaire pour Paramètres définis par rapport à la ligne moyenne
effectuer une mesure de connaître la longueur d’évaluation. Elle
peut être imposée : Profil de rugosité R longueur
d’évaluation = 5 × longueur de base
— par la spécification (longueur d’évaluation ou longueur de
base) ; Profil d’ondulation W aucune
— par la longueur de l’élément à mesurer ; Profil primaire P longueur totale de l’élément
— ou par défaut.
Les valeurs par défaut, en fonction des familles de paramètres, Paramètres définis par rapport aux motifs
sont précisées dans le tableau 2. (0) Profil de rugosité R 16 mm
Profil d’ondulation W 16 mm
1.2 Règles et procédures de vérification Paramètres définis par rapport à la courbe de portance
1.2.1 Paramètres de rugosité définis longueur

Profil de rugosité R d’évaluation = 5 × longueur de base
par rapport à la ligne moyenne
Profil de rugosité R lié
Afin d’isoler le profil de rugosité, il est important de choisir la aux motifs 16 mm
longueur de base qui correspond le mieux au profil d’état de
surface à mesurer. Le mauvais choix de la longueur d’onde de Profil primaire P longueur totale de l’élément
coupure pour la mesure peut :
— soit ne pas séparer correctement les écarts et donc laisser
dans le profil des éléments de l’ondulation, la valeur des para- — soit trop filtrer le profil et réduire la hauteur des éléments du
mètres de rugosité sera surestimée ; profil, la valeur des paramètres de rugosité sera sous-estimée.
ＴＸ
ｒＱＲＳＱ
____________________________________________________________________________________________________________________ ÉTATS DE SURFACE
(0)
Tableau 3 – Choix de la longueur de base en fonction du profil de rugosité

Profil de rugosité
Nature
du paramètre
non périodique périodique
Conditions de mesure à appliquer
Paramètre Ra – Rq – Rsk Rz – Rp – Rv tous
RSm
spécifié – Rku – Rdq – Rc – Rt les paramètres
Paramètre Ra Rz RSm RSm Longueur de base rc Longueur d’évaluation L n

à estimer (µm) (µm) (mm) (mm) (mm) (mm)
0 < Ra < 0,02 0 < Rz < 0,1 0,013 < RSm < 0,04 0,08 0,4
0,02 < Ra < 0,1 0,1 < Rz < 0,5 0,04 < RSm < 0,13 0,25 1,25
Estimation 0,1 < Ra < 2 0,5 < Rz < 10 0,13 < RSm < 0,4 0,8 4
2 < Ra < 10 10 < Rz < 50 0,4 < RSm < 1,3 2,5 12,5
10 < Ra < 80 50 < Rz < 200 1,3 < RSm < 4 8 40
Ｓ
(0)
Tableau 4 – Conditions de mesure recommandées pour les paramètres liés aux motifs
Rayon maximal
A B Longueur d’exploration Longueur d’évaluation rs
de la pointe du palpeur
(mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (µm)
0,02 0,1 0,64 0,64 0,002 5 2 ± 0,5
0,1 0,5 3,2 3,2 0,002 5 2 ± 0,5
0,5 2,5 16 16 0,008 5±1
2,5 12,5 80 80 0,025 10 ± 2
Sauf spécifications particulières, les valeurs par défauts sont : A = 0,5 mm et B = 2,5 mm (en gras).
Si la longueur de base est spécifiée comme exigence, la

longueur d’onde de coupure, λc, doit être choisie égale à cette Tableau 5 – Choix de la longueur d’onde de coupure
longueur de base. pour séparer les écarts géométriques
Lorsque la spécification de rugosité ne précise pas la longueur
de base : Longueur d’onde de coupure rc Longueur d’évaluation Ln
(mm) (mm)
— choisir la longueur de base, à partir du tableau 3, en fonction
du type de profil de rugosité, du paramètre spécifié sur le plan et 0,8 4
de l’estimation du paramètre Ra ou Rz ou RSm ;
— effectuer une mesure du paramètre Ra ou Rz ou RSm dans les 2,5 12,5
conditions de mesure déterminée ; En gras : conditions recommandées.
— comparer ce résultat à la plage de valeurs données dans le
tableau 3 ;
— si la valeur mesurée est en dehors de la plage des valeurs 1.2.3 Paramètres définis par rapport
correspondants à la longueur de base estimée, régler l’instrument à la courbe de portance
sur la valeur de la longueur de base correspondant au paramètre
mesuré. Faire un nouveau mesurage dans ces nouvelles conditions Pour mesurer les paramètres définis par rapport à la courbe de
et comparer le nouveau résultat aux valeurs du tableau 3. Les portance, l’utilisation d’un équipement avec référence de guidage
valeurs devraient se situer dans la plage ; est recommandée.
— effectuer la mesure du paramètre spécifié. La longueur d’onde de coupure utilisée pour séparer les écarts
géométriques est à choisir dans le tableau 5.
1.2.2 Paramètres définis
par rapport aux motifs 1.3 Comparaison des valeurs mesurées des
Alors que la longueur d’onde de coupure permet de séparer les paramètres aux limites de tolérance
écarts de rugosité et d’ondulation pour les paramètres liés à la
ligne moyenne, ce sont les opérateurs A et B qui sont utilisés pour Il existe deux façons différentes d’interpréter la limite des spéci-
effectuer cette séparation pour les paramètres liés aux motifs. Les fications d’état de surface. (0)
conditions de mesure, et notamment les opérateurs A et B, recom-

mandées sont précisées dans le tableau 4. 1.3.1 Règle des 16 %
Pour calculer les paramètres d’ondulation, le profil primaire doit Lorsque les exigences sont spécifiées par la limite supérieure du
être mesuré par rapport à une référence de guidage. (0) paramètre, la surface est considérée comme étant acceptable si au
ＴＹ
ｒＱＲＳＱ
ÉTATS DE SURFACE ____________________________________________________________________________________________________________________
Pour les paramètres R, si la longueur d’évaluation ne comporte

Tableau 6 – Règles applicables pour les différentes familles pas 5 longueurs de base, leurs limites supérieure et inférieure
de paramètres doivent être recalculées et ramenées à une longueur d’évaluation
égale à 5 longueurs de base, en appliquant la formule suivante :
Paramètres Règle Règle de la valeur
définis par rapport des 16 % maximale σ5 = σn n / 5
à la ligne moyenne X X avec n le nombre de longueurs de base utilisées (inférieur à 5).
aux motifs X Exemple :
à la courbe de portance X X — valeur spécifiée sur le plan : Ra 1,6 µm ;
— longueur de l’élément spécifié : 3,5 mm ;
— longueur de base sélectionnée : 0,8 mm ;
maximum 16 % de toutes les valeurs mesurées du paramètre — longueur d’évaluation, par défaut : 4 mm (5 × 0,8 mm).
considéré, obtenues sur une longueur d’évaluation, dépassent la Il est donc impossible d’effectuer la mesure.
valeur spécifiée. La règle à appliquer est alors la suivante.
Lorsque les exigences sont spécifiées par la limite inférieure du • Prendre le nombre maximal de longueur de base possible pour
paramètre, la surface est considérée comme étant acceptable si au
Ｓ
effectuer la mesure.
maximum 16 % de toutes les valeurs mesurées du paramètre
Dans notre cas, le nombre de longueur de base est
considéré obtenues sur une longueur d’évaluation sont dépassées
3 (3 × 0,8 = 2,4 mm). La longueur de palpage sera égale à 3,2 mm
par la valeur spécifiée.
(2,4 mm + 0,8 mm), 1 longueur de base étant nécessaire pour le
16 % correspond à une valeur mesurée sur 6, hors de la limite fonctionnement correct de l’appareil.
spécifiée, ou 2 valeurs sur 12, etc. La solution la plus utilisée dans l’industrie est le choix d’une longueur
de base plus petite (0,25 mm par exemple), qui réduit ainsi la longueur
1.3.2 Règle de la valeur maximale de palpage à 1,5 mm. Ce choix n’est pas conseillé, une longueur
d’onde de coupure trop petite risque de réduire l’amplitude du signal
Lorsque les exigences sont spécifiées par la valeur maximale du caractérisant l’amplitude des stries de rugosité de façon importante,
paramètre, aucune des valeurs mesurées du paramètre de rugosité réduisant ainsi la valeur du paramètre spécifié.
sur l’ensemble de la surface à contrôler ne doit dépasser la valeur • Recalculer la limite en appliquant la formule suivante :
spécifiée.
Pour désigner la valeur maximale admissible du paramètre, le 3
Ra = ------ × 1,6 = 1,24 µm
suffixe « max. » doit être ajouté au symbole du paramètre. 5
Exemple : Rzmax 10. avec 1,6 la valeur du paramètre spécifié sur le plan (1,6 µm),
1,24 µm la valeur recalculée en fonction des conditions de
palpage utilisées.
1.3.3 Règles applicables pour chaque famille
de paramètres
La règle à appliquer par défaut est la règle des 16 %. L’appli-
1.4 Expression du résultat
cation de ces règles pour les différentes familles de paramètres est La mesure est un résultat de mesure et une incertitude de mesure.
précisée dans le tableau 6. Le compte-rendu de la mesure devrait indiquer au minimum :
— le type d’instrument utilisé ;
1.3.4 Évaluation du paramètre — le type de palpeur et la valeur du rayon ;
Les paramètres d’état de surface ne servent pas à la description — le type de filtre ;
des défauts de surface. Les défauts de surface tels que rayures et — la longueur de base ;
pores ne doivent pas être pris en considération lors de la véri- — la longueur d’évaluation ou le nombre de longueur de base ;
fication de l’état de surface. — l’incertitude de mesure.
Pour décider si une surface est conforme ou non à la spécification, Dans le domaine de l’état de surface l’incertitude est exprimée
une série de valeurs du paramètre d’état de surface doit être utilisée, en pour-cent. Elle est évaluée à partir des composantes suivantes :
chacune déterminée à partir d’une longueur d’évaluation. — écart-type de répétabilité, obtenu sur une série de mesures ;
La fiabilité de la décision de conformité et la précision de la valeur — incertitude-type sur la valeur des étalons de référence, cal-
moyenne obtenue dépendent du nombre de longueurs de base, à culée à partir de l’incertitude donnée sur le certificat d’étalonnage ;
l’intérieur de la longueur d’évaluation sur lesquelles la valeur du — erreur de justesse, écart entre la valeur de l’étalon et la
paramètre d’état de surface est obtenue et aussi du nombre de moyenne d’une série de mesures de l’étalon sur l’appareil.
longueurs d’évaluation, c’est-à-dire du nombre de mesurages le Des exemples d’incertitude de mesure sont donnés dans le
long de la surface. tableau 7. (0)
Tableau 7 – Exemples d’incertitude de mesure

Incertitude de mesure
Type de mesure Ra (en µm) Rz (en µm) Rt (en µm) R (en µm)
< 0,2 > 0,2 <1 >1 <2 >2 < 0,8 > 0,8
Étalon étalonné dans un laboratoire de référence ±4% ±2% ± 10 % ±3% ± 18 % ±5% ±3% ±1%
Étalon étalonné dans un laboratoire industriel ± 15 % ±5% ± 15 % ±5% ± 20 % ± 10 % ± 10 % ±5%
Pièce mesurée en entreprise ± 20 % ± 10 % ± 20 % ± 10 % ± 25 % ± 20 % ± 15 % ± 10 %
ＵＰ
ｒＱＳＹＰ
Métrologie des surfaces
par Patrick BOUCHAREINE

Ancien élève de l’École normale supérieure
Professeur à l’École supérieure d’optique et à l’Université Paris-Sud
1. États de surface et écarts de forme ................................................... R 1 390 - 2

2.
3.
Fréquences spatiales à deux dimensions..........................................
Écarts de forme ........................................................................................
—
—
3
4
Ｓ
3.1 Contrôles de circularité ............................................................................... — 4
3.2 Contrôles de rectitude ................................................................................. — 4
3.2.1 Généralités .......................................................................................... — 4
3.2.2 Méthode optique par lunette autocollimatrice................................. — 5
3.2.3 Mesure de rectitude par interférométrie laser ................................. — 5
3.2.4 Fonction de transfert d’un palpeur en deux points ......................... — 6
3.2.5 Planéité et rectitude............................................................................ — 6
3.3 Contrôles de surfaces optiques par la lumière ......................................... — 7
3.4 Contrôle de surfaces optiques par interférométrie................................... — 7
3.5 Contrôle des plans optiques par l’interféromètre de Fizeau.................... — 8
3.5.1 Généralités .......................................................................................... — 8
3.5.2 Mesures de rectitude et de planéité indépendantes
de la référence ............................................................................................. — 9
4. Contrôle des défauts de courtes périodes spatiales.
Profilométrie par faisceau laser .......................................................... — 10
5. Rugosité...................................................................................................... — 11
5.1 Paramètres de rugosité ............................................................................... — 11
5.2 Méthodes mécaniques par palpeur ........................................................... — 11
5.2.1 Généralités .......................................................................................... — 11
5.2.2 Filtrage lié au palpeur mécanique..................................................... — 11
5.3 Étalonnage des palpeurs pour la mesure des rugosités .......................... — 12
5.4 Méthodes optiques...................................................................................... — 13
5.4.1 Généralités .......................................................................................... — 13
5.4.2 Palpeurs optiques différentiels.......................................................... — 14
6. Au-delà de la rugosité, les nouvelles microscopies,
sondes de surface .................................................................................... — 14
7. Conclusion ................................................................................................. — 15
Pour en savoir plus ......................................................................................... Doc. R 1 390
L a surface d’un solide est un domaine à deux dimensions où se situent les

interactions du solide avec le monde extérieur. La physique des surfaces a
beaucoup progressé en cette deuxième moitié du vingtième siècle, et de nom-
breux domaines d’activités industrielles sont directement concernés par cette
discipline. C’est à la surface d’un solide que se produisent les réactions chimi-
ques qui la font évoluer et que se manifestent les phénomènes de frottements,
d’usure, des adsorptions de contaminants divers. Depuis la métrologie des mas-
ses jusqu’au fonctionnement des paliers, depuis les états rectifiés des surfaces
ｐ｡ｲｵｴｩｯｮ＠Ｚ＠ｳ･ｰｴ･ｭ｢ｲ･＠ＱＹＹＹ
mécaniques jusqu’au superpoli des surfaces optiques, la métrologie des surfa-

ces joue un rôle essentiel dans le contrôle de composants mécaniques, optiques
ou électroniques.
ＵＱ
ｒＱＳＹＰ
MÉTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________
Les propriétés d'une surface sont extraordinairement nombreuses et

complexes. On cherche à les caractériser par des paramètres simples qui ne
donneront bien évidemment jamais une représentation complète de ces proprié-
tés. C'est pourquoi l'expérience est essentielle pour pouvoir déduire des obser-
vations la réponse à la question : la surface remplira-t-elle correctement ses
fonctions ?
Dans la plupart des normes qui traitent des surfaces, l'examen visuel et tactile
est souvent le premier cité. Quoique qualitatif, il représente souvent une syn-
thèse de paramètres difficilement quantifiables par d'autres moyens : texture,
teinte, aspects en lumières diverses, sensations mécaniques et thermiques.
Comme pour un médecin qui sait voir dans une radiographie ou un scanner les
éléments qui lui permettront de déterminer son diagnostic, l'expérience seule
permet à un ingénieur ou à un technicien de tirer des images directes ou indirec-
tes mises à notre disposition par l'instrumentation moderne, les conclusions sur
la conformité de la surface à un cahier des charges particulier.
Ｓ Nous analyserons dans cet article diverses méthodes qui permettent de carac-
tériser les surfaces par leurs propriétés géométriques macroscopiques (forme :
rectitude, planéité ou circularité), et microscopiques (rugosité). Nous décrirons
quelques instruments permettant d'accéder à ces propriétés et nous en citerons
d'autres comme les microscopes en champ proche ou les microscopes à force
atomique.
Nota : nous ne parlerons pas de toute une catégorie d'analyses physico-chimiques des surfaces que l'on trouvera décrites
en particulier dans le volume « Analyse et Caractérisation » :
— Microscopie optique ;
— Microscopies électroniques ;
— Microscopie ionique à effet de champ ;
— Analyse par émission ionique secondaire (SIMS) ;
— Spectroscopie des électrons Auger ;
— Spectroscopie de photo électrons : XPS ou ESCA et UPS.
On trouvera ailleurs une description plus complète des microscopes à effet tunnel (Techniques de l'Ingénieur, [P 895]).
1. États de surface (en anglais « waviness ») qui rassemble les défauts dont les
périodes spatiales sont comprises entre quelques centaines de
et écarts de forme micromètres et quelques millimètres.
Rugosité et ondulation traduisent ce que l’on appelle l’état de
surface.
■ Pour caractériser la géométrie d’une surface, on s’intéres- ■ Ces notions sont illustrées sur les enregistrements de la
sera aux variations de la cote z (x, y ) localement normale à la sur- figure 1. Sur la figure 1a on trouve le profil de surface enregistré par
face moyenne en fonction des paramètres x et y de position sur la palpeur mécanique suivant une ligne droite. On y décèle bien des
surface, et ce, à différentes échelles. défauts de natures diverses, mais il n’est pas possible d’y définir
● À l’échelle de la globalité de la pièce, on s’intéresse aux écarts quantitativement et séparément rugosité, ondulation et écarts de
de la surface moyenne par rapport à une surface idéale de forme forme. On sent bien intuitivement que la rugosité se manifeste loca-
simple : plan, sphère, cylindre ou cône par exemple. Dans cette lement à courte échelle, qu’une tendance à des courbures se des-
étude des écarts de forme, on fera abstraction de la rugosité en défi- sine sur l’ensemble de la pièce, et que des courbures locales
nissant une surface moyenne locale. apparaissent indépendamment.
À une échelle microscopique (quelques micromètres ou quelques ● Les écarts de forme par rapport à une droite sont donnés par
dizaines de micromètres en x et y ), il s’agira de ce que l’on appelle l’enregistrement de la figure 1b. On y a supprimé toutes les fré-
la rugosité, que l’on n’étudiera généralement pas sur toute la quences spatiales supérieures à 0,5 mm–1, c’est-à-dire toutes les
surface, mais sur quelques échantillons judicieusement distribués. périodes spatiales inférieures à 2 mm.
Cela pourra être un élément de surface dont on donnera une image ● L’enregistrement de la figure 1d est au contraire celui d’où l’on
à deux dimensions ou une ligne analysée suivant une dimension. a éliminé toutes les variations dont la fréquence spatiale est infé-
On voit là une difficulté fondamentale dans l’étude des périodes rieure à 3 mm–1, c’est-à-dire toutes les périodes spatiales plus gran-
des défauts pris en compte. Les écarts à une surface simple idéale des que 333 µm. Il met en évidence la rugosité de la surface.
sont variables suivant que l’on prend ou non en compte des défauts ● L’ondulation est la courbe donnée par la figure 1c du profil de
de période spatiale particulière. On appellera écarts de forme les surface d’où sont éliminés par un filtre passe-bande entre 0,5 et
écarts de la surface réelle localement lissée, par rapport à la surface 2 mm–1 les écarts de forme et la rugosité.
idéale. On appellera rugosité les écarts par rapport à une surface Ces périodes et ces fréquences spatiales ont été choisies ici arbi-
lisse mais qui suit les écarts de forme de la surface réelle. Et entre trairement. Les valeurs limites des fréquences spatiales sont
les défauts de rugosité qui ne prennent en compte que les défauts susceptibles de changer en fonction des applications, mais le prin-
de courtes périodes spatiales, c’est-à-dire de grandes fréquences cipe de ces filtrages est fondamental pour comprendre et caracté-
spatiales, et les écarts de forme qui ne prennent en compte que les riser un profil de surface. Nous faisons dans le paragraphe suivant
défauts de grandes périodes spatiales, c’est-à-dire de petites quelques rappels sur ces notions, compliquées ici par le fait que
fréquences spatiales, on distingue ce que l’on appelle l’ondulation nous sommes dans un monde à deux dimensions.
ＵＲ
ｒＱＳＹＰ
____________________________________________________________________________________________________________ MÉTROLOGIE DES SURFACES
z (nm)
20
10
–10
–20
–30
0 5 10 15 20
x (mm)
a profil de surface
z (nm) Ｓ
0
–10
0 5 10 15 20
x (mm)
b écarts de forme
Figure 2 – Deux fréquences spatiales bidimensionnelles
de même période et de directions différentes. Toute fonction
z (nm) des paramètres x et y peut se décomposer en une superposition
de telles ondes qui est son spectre à deux dimensions
10
–10
0 5 10 15 20
représentation d’une fonction à deux dimensions par son spectre
x (mm) est moins intuitive que celle d’un signal temporel, mais le forma-
lisme mathématique de la transformation de Fourier est tout à fait
c ondulation comparable.
Les notions de fonction d’autocorrélation et de densité spectrale
de puissance, bien connues pour les signaux temporels à une
z (nm)
dimension, sont directement transposables à la caractérisation
10
géométrique d’une surface à deux dimensions. Une description
complète de la morphologie d’une surface passe donc par la densité
0 spectrale de puissance de ses écarts à la surface idéale, qui est
–10 donnée par la transformée de Fourier de sa fonction d’autocorréla-
tion. Nous verrons (§ 5.4) une méthode d’analyse des états de
0 5 10 15 20 surface par diffusion de la lumière qui, dans certaines conditions,
x (mm) donne directement la densité spectrale de puissance des rugosités
dans un domaine bien défini de fréquences spatiales.
d rugosité
Toute la difficulté dans l’évaluation des paramètres géométriques
d’une surface est de définir les domaines de fréquences spatiales
Figure 1 – Profil complet, écarts de forme, ondulation et rugosité attribués aux trois catégories de défauts que nous avons distin-
d’une surface enregistrés sur une ligne guées. Les exemples donnés sur la figure 1 sont obtenus par
filtrage numérique, c’est-à-dire que les fonctions de transfert sont
connues exactement (voir les valeurs données dans le paragraphe
précédent). Les signaux enregistrés dans la pratique sont traités par
des filtres analogiques, mécaniques ou électriques, dont les fonc-
tions de transfert ne sont pas bien connues, voire n’existent pas si le
2. Fréquences spatiales processus de lecture n’est pas linéaire. C’est, bien plus que l’étalon-
nage des capteurs utilisés pour mesurer les très petits écarts z (x,
à deux dimensions y ), la raison essentielle des désaccords dans les comparaisons sur
les états de surface et les écarts de forme.
Fonctions d’autocorrélation et transformations de Fourier à deux
dimensions sont tout à fait analogues à ce que l’on connaît à une
La notion de fréquences spatiales est très utile pour comprendre dimension. Lorsque la surface est isotrope, c’est-à-dire lorsque ses
la structure géométrique d’une surface. Cette notion est compliquée propriétés statistiques ne dépendent pas de la direction des
par le fait que nous sommes à deux dimensions, et deux fréquences fréquences spatiales, on peut ramener le problème à une dimension
de même période peuvent différer par leur direction (figure 2). La en analysant une ligne de la surface.
ＵＳ
ｒＱＳＹＰ
MÉTROLOGIE DES SURFACES _____________________________________________________________________________________________________________
3. Écarts de forme
Deux types de formes sont essentiellement contrôlés en optique Capteur submicrométrique
et en mécanique : les plans d’une part, les sphères et les cylindres
de révolution ou tampons et bagues d’autre part. Ces formes
donnent lieu à deux types de mesures : les mesures de rectitude et Échantillon
de planéité d’une part, les mesures de circularité d’autre part.
Les tampons et les bagues lisses utilisés comme références en
mécanique donnent lieu à des mesures de circularité autour de leur Table tournante sur coussin fluide
axe et à des mesures de rectitude le long de leurs génératrices.
3.1 Contrôles de circularité
Ｓ Les contrôles de circularité sont indispensables pour les pièces

mécaniques à symétrie de révolution, en particulier pour les bagues
et les tampons étalons, dont on ne mesure que quelques diamètres.
La mesure de ces diamètres jointe à une étude des défauts de cir-
cularité donne une connaissance beaucoup plus complète de ces Figure 3 – Machine pour contrôle de circularité
étalons.
Dans une mesure de circularité, on fait tourner la pièce ou un
palpeur de grande sensibilité autour d’un de ses axes de révolution,
et on vérifie avec le palpeur que la cote étudiée reste constante
(figure 3). Les palpeurs ont une sensibilité de l’ordre de quelques
dizaines de nanomètres, mais une dynamique généralement
restreinte (quelques dizaines ou centaines de micromètres). Une
des difficultés de ce type de contrôle est d’assurer la coaxialité de
l’axe de rotation de la machine avec l’axe de révolution de la pièce.
Une des limitations à l’exactitude de ce type de mesure est la qualité
de la rotation de la machine de contrôle, laquelle peut être amenée
à supporter des pièces de grandes dimensions et de forte masse
(quelques centaines de millimètres de diamètre, plusieurs kilo-
grammes ou dizaines de kilogrammes). Les paliers à air ou à huile a les défauts de la pièce sont b enregistrement d’un cylindre
permettent d’excellentes performances. La stabilité de la rotation artificiellement augmentés méplaté pour l’étalonnage
est vérifiée grâce à des sphères de référence dont les défauts de par la soustraction du rayon du capteur
sphéricité peuvent descendre au-dessous de quelques centièmes de de la pièce
micromètre. La sphère est en effet la forme géométrique que l’on
sait le mieux approcher par usinage.
Figure 4 – Enregistrements sur une machine de contrôle
Nota : au début de ce siècle les physiciens ont réalisé des prouesses pour mesurer le
volume d’un cube de quartz afin de déterminer la masse du décimètre cube d’eau par la
des défauts de circularité
poussée d’Archimède. C’est maintenant sur des sphères de silicium que l’on espère amé-
liorer la connaissance de la masse volumique de ce matériau pour en déduire la masse
d’un atome de silicium, et donc améliorer la connaissance de la constante d’Avogadro. méplat de 0,25 µm. À cause de l’amplification d’échelle sur la
C’est une sphère de silice qui permet de déceler les défauts de mesure du défaut, l’allure du méplat n’a rien à voir avec son aspect
rotation des machines de contrôle. En faisant tourner la pièce par réel (figure 4b ). Sur les instruments actuels, l’enregistrement
rapport à la machine, ce contrôle permet de corriger ces défauts, graphique est accompagné d’un traitement numérique des données
avec une précision limitée par la répétabilité de la mise en place de qui permet de déterminer les cercles inscrits et exinscrits d’où
la pièce sur la machine et par les fluctuations des défauts de rotation seront extraits les paramètres caractérisant les écarts de circularité.
de la machine. Ceux-ci se combineront au hasard avec les défauts Il est à noter que dans cette mesure, le filtrage des défauts de courte
de circularité des pièces étudiées, tantôt en s’y ajoutant, tantôt en période spatiale comme les rayures ou les poussières pose les
s’en retranchant, ce qui se traduit en moyenne par une addition mêmes problèmes que pour distinguer la rugosité, les ondulations
quadratique des défauts de circularité de la pièce étudiée et des et les écarts de rectitude. C’est un filtrage exprimé ici en nombre
défauts de rotation de la machine de contrôle. d’ondulations par tour qui permettra de comparer différents
contrôles de circularité.
Prenant en compte les défauts des machines, ceux des sphères
étalons, et l’étalonnage des palpeurs, le contrôle des défauts de
circularité des pièces mécaniques s’effectue avec des incertitudes
de l’ordre de quelques dixièmes de micromètre sur des diamètres 3.2 Contrôles de rectitude
allant jusqu’à quelques centaines de millimètres.
Le résultat d’une mesure de circularité apparaît généralement sur
un enregistrement graphique qui n’est pas toujours facile à inter- 3.2.1 Généralités
préter (figure 4). En effet le rayon de la pièce est soustrait pour ne
faire apparaître que les variations de rayon avec une sensibilité Les défauts de rectitude sont également étudiés par palpeur avec
suffisante. Pour étalonner le capteur, on fait parfois usage d’un une machine qui définit elle-même une translation rectiligne pour le
cylindre à méplat, qui engendre un défaut d’amplitude connue. Sur palpeur. Mais ici nous allons voir que les défauts de la machine
la figure 4 on voit ainsi l’enregistrement d’une pièce avec ses peuvent être déterminés et corrigés, et cela sans même qu’il soit
défauts (figure 4a ) et celui d’un cylindre méplaté présentant un nécessaire de disposer d’une référence de rectitude.
ＵＴ
ｒＱＳＹＴ
Microscopie à force atomique (AFM)
par Jean-Claude RIVOAL

Professeur émérite à l’université Pierre-et-Marie-Curie
Laboratoire d’optique physique (CNRS UPR A0005)
et Christian FRÉTIGNY
Directeur de recherche CNRS, laboratoire de physico-chimie des polymères et milieux
dispersés (CNRS UMR 7615)
Ｓ
1. Instrumentation et modes de fonctionnement ............................... R 1 394 – 2
1.1 Microscope................................................................................................... — 2
1.2 Modes de fonctionnement.......................................................................... — 4
1.3 Analyse des modes de fonctionnement .................................................... — 6
2. Applications .............................................................................................. — 10
2.1 Propriétés locales ........................................................................................ — 10
2.2 Nanotechnologies........................................................................................ — 15
3. Conclusion ................................................................................................. — 17
a microscopie à force atomique (AFM : « atomic force microscopy ») a été

L introduite en 1986 par G. Binnig, C.F. Quate et C. Gerber [1], comme une
application du concept de microscope à effet tunnel (STM : « scanning tunneling
microscope ») [R 6 714] permettant l’étude de surfaces de matériaux isolants à
l’échelle atomique. En combinant les principes du microscope à effet tunnel et
du stylet profilométrique, les auteurs démontraient la possibilité d’imager, à l’air
libre, la surface d’échantillons conducteurs ou non, avec une résolution latérale
de 30 Å et une résolution verticale inférieure à 1 Å. La technique a, depuis lors,
été adaptée à différents environnements tels que le vide, le milieu liquide, les
basses températures, les champs magnétiques et aussi pour des applications en
chimie ou en biologie.
L’AFM est basée sur la mesure des forces entre un fin stylet et la surface étu-
diée. Le capteur de force est un ressort-lame (stylet) encastré à une extrémité et
muni d’une pointe à l’autre extrémité, il est encore appelé « cantilever ». Les for-
ces d’interaction modifient la déflection ou la torsion statique ou oscillante du
stylet. La mesure des déformations du « cantilever » dans les microscopes de
force actuels s’effectue, le plus souvent, grâce à la déviation d’un faisceau lumi-
neux (« diode laser ») réfléchi par l’extrémité du stylet, méthode proposée dès
1988 par G. Meyer et N. Amer [2].
Le développement de cette méthode de sonde locale a été rapide aussi bien
dans les laboratoires universitaires qu’en milieu industriel. Des tâches de
contrôle sur des lignes de production sont couramment effectuées à l’aide de ce
dispositif relativement simple à mettre en œuvre. La majorité des utilisateurs
cherche à obtenir des formes ou des tailles caractéristiques de la surface ; en
balayant l’échantillon sous le « cantilever », on obtient l’image AFM recherchée.
Mais on s’est très vite aperçu qu’il était possible avec le même instrument de
proposer des situations originales de « physique au nanomètre ».
ｐ｡ｲｵｴｩｯｮ＠Ｚ＠ｪｵｩｮ＠ＲＰＰＵ
ＵＵ
ｒＱＳＹＴ
MICROSCOPIE À FORCE ATOMIQUE (AFM) __________________________________________________________________________________________________
Dans une première partie, l’instrumentation est décrite et les différents modes
de fonctionnement (contact, résonnant, « tapping », frottement…) sont présen-
tés de façon générale. En insistant sur les potentialités de l’instrument, on expli-
cite les fondements des principales méthodes utilisées, sans être exhaustif. Dans
une seconde partie, des applications physiques dans divers domaines sont
présentées.
1. Instrumentation et modes environnements physiques tels que le vide, les fluides, les basses
températures et les champs magnétiques mais aussi aux applica-
de fonctionnement tions chimiques, optiques, biologiques et métrologiques.
Une illustration de ces différents modes, appliqués à la détection
Ｓ 1.1 Microscope
mécanique, physico-chimique, magnétique, etc., est représentée sur
la figure 3.
Un schéma typique des microscopes de force est présenté sur la 1.1.1 Cantilever et pointe
figure 1. Une pointe miniature, fixée à l’extrémité d’un cantilever,
est proche de la surface d’un échantillon placé sur une platine de Le cantilever et la pointe constituent une partie essentielle de
déplacement (balayage XYZ). Le déplacement relatif de la pointe l’instrument. En raison de la complexité de leur fabrication, les can-
par rapport à l’échantillon donne soit une cartographie de la gran- tilevers sont en général achetés auprès de sociétés commerciales,
deur mesurée, soit une surface d’« isograndeur », si une boucle bien que quelques équipes utilisent avec succès des fils de tungs-
d’asservissement ajuste la hauteur de l’échantillon pour maintenir tène recourbés et dont l’extrémité a subi une attaque chimique.
constante la grandeur mesurée.
Nota : le terme anglais cantilever désigne une pointe suspendue en porte à faux.
La déflection ou la torsion du ressort sous l’effet de la force d’inte-

raction est mesurée par la déviation d’un faisceau laser réfléchi par
l’extrémité du cantilever et collecté sur une diode photoélectrique Laser
segmentée (deux ou quatre cadrans).
Une pointe AFM peut être statique ou mise en mode oscillant. Diode
Dans ce dernier cas, on peut faire vibrer le cantilever grâce à une photoélectrique
pastille piézo-électrique en contact avec son support. Un exemple segmentée
particulier de fixation de cantilever est présenté sur la figure 2. Par
ailleurs, une cale piézo-électrique permet d’ajuster finement la dis-
tance pointe-échantillon et est utilisée pour asservir l’amplitude de
vibration du cantilever.
Cantilever
Sensible aux gradients de température, la pointe peut aussi être et pointe
utilisée comme calorimètre.
Suivant la configuration adoptée, on distingue trois modes de Échantillon
fonctionnement principaux pour l’AFM : statique (continu), dynami-
que (oscillant) ou thermique. La force d’interaction peut être due
aux forces répulsives entre les atomes de la pointe AFM et ceux de
la surface, à des forces de Van der Waals à courte portée, à des Balayage XYZ
forces capillaires, au frottement, à des processus magnétiques ou
électrostatiques si la pointe est conductrice ou recouverte de maté- Figure 1 – Principe du microscope de force
riau magnétique, à des processus catalytiques, etc. Une modifica-
tion chimique de la pointe AFM permet ainsi de mesurer diverses
propriétés de la surface d’un échantillon.
Grâce à une boucle d’asservissement, on peut obtenir des images z
de « hauteur », qui correspondent à une interaction mécanique y
constante. Donnant, en première approximation, des résultats
Pastille Lame ressort Porte- Cale
fidèles à la topographie de l’échantillon étudié, cette méthode four- x piézo-électrique en chrysocale pointe piézo-électrique
nit donc des informations difficiles à obtenir par d’autres techniques
de microscopie. Elle permet, de plus, de : ∆e
— sonder le module viscoélastique d’une surface ou ses proprié- Pointe
Échantillon Ressort ∆e
tés tribologiques (frottement) et/ou adhésives ;
— caractériser les forces d’interaction hors contact entre la pointe Platine
de translation
et l’échantillon. xy
Bien que l’AFM ait été destinée au départ, grâce à son excellente Collage au salol Levier
résolution latérale et transversale, à l’imagerie des surfaces de
matériaux non conducteurs, la technique a été adaptée à divers Figure 2 – Exemple particulier de fixation de cantilever (d’après [3])
ＵＶ
ｒＱＳＹＴ
__________________________________________________________________________________________________ MICROSCOPIE À FORCE ATOMIQUE (AFM)
Mode statique Mode dynamique Mode thermique

(contrainte de surface) (microbalance) (température)
A B
Diffusion dans Thermogravimétrie Réaction catalytique

les polymères
a Budget Sensors™ b Advanced TEC de NanoSensors™
Figure 4 – Cantilevers usuels microfabriqués commerciaux
Reconnaissance
biomoléculaire
Biochimie Calorimètre
Ｓ
Figure 3 – Modes de fonctionnement de l’AFM et applications
(d’après IBM)
Plusieurs caractéristiques sont recherchées :

— extrémité de pointe très fine (quelques nanomètres) pour une
bonne résolution latérale ;
— fréquence de résonance (quelques dizaines de kilohertz)
grande devant les fréquences caractéristiques d’acquisition ;
— raideur déterminée : faible (~ 0,01 N.m–1 pour une bonne
sensibilité en force ou pour éviter d’endommager la surface en
mode contact) ou forte (~ 100 N.m–1 pour des expériences de nano-
indentation).
Ces contraintes imposent une miniaturisation du cantilever.
Figure 5 – Pointe en tungstène
1.1.1.1 Réalisation pratique
Pour obtenir de tels objets, on utilise en général des techniques de
fabrication issues de la microélectronique (gravure, attaque chimi- 1.1.1.2 Pointes spéciales
que…). Les dispositifs ainsi réalisés sont donc, le plus souvent, en
silicium ou en nitrure de silicium, matériaux couramment mis en Les propriétés électriques des surfaces sont obtenues à l’aide de
œuvre par ces techniques. Pour des expériences d’indentation, de pointes rendues conductrices par le dépôt d’une couche métallique,
rayure ou des mesures de résistance de contact, on utilise parfois et les propriétés magnétiques à l’aide de pointes aimantées ou bien
des pointes de diamant de profil particulier. à l’extrémité desquelles est fixée une particule magnétique. Des
techniques chimiques autorisent la modification de la physico-chimie
■ Réalisations commerciales : la figure 4 présente des cantilevers de la pointe (greffage, couches autoassemblées…).
usuels microfabriqués et deux images en microscopie électronique
Pour résoudre les problèmes liés à l’encombrement stérique de la
à balayage (MEB) de la pointe associée. La figure 4a montre un
pointe dans l’étude d’échantillons présentant des structures profondes
exemple de cantilever de chez Budget SensorsTM, partant de la et de faible largeur, un nanotube de carbone peut être attaché à
matrice de cantilevers (4e quadrant) ; dans les quadrants 1 et 2, le l’extrémité d’une pointe (figure 6). Ce nanotube se présente comme
stylet muni de sa pointe, puis un détail de la pointe (3e quadrant), et une pointe de rayon constant et petit (quelques nanomètres) mais
enfin au centre une image MEB de l’extrémité de la pointe. La de longueur élevée (de l’ordre du micromètre). Il possède de plus
figure 4b montre une nouvelle pointe AdvancedTEC de une durée de vie plus élevée que les pointes conventionnelles [5]
NanoSensorsTM dont l’extrémité tétraédrique dépasse l’extrémité [6]. La résolution latérale peut être notablement améliorée [7].
du levier pour permettre un réglage plus aisé.
La longueur des cantilevers est de 100 ou 200 µm, leur épaisseur 1.1.2 Acquisition des signaux
est d’une fraction de micromètre. Leur forme est soit rectangulaire,
soit en forme de V. Les raideurs sont, suivant les géométries, com-
prises entre 0,01 et quelque 100 N.m–1. Les pointes ont en général 1.1.2.1 Conditions de fonctionnement
un rayon de courbure typique dans la gamme de 2 à 50 nm.
Simple et d’encombrement réduit, l’AFM peut être utilisé sous
■ Réalisations de laboratoires de recherche : la figure 5 montre une vide, sous atmosphère contrôlée ou en milieu liquide. Il est cepen-
image MEB de l’extrémité d’une pointe en tungstène couramment dant nécessaire de prévoir une bonne isolation du son et des vibra-
utilisée dans les laboratoires de recherche pour effectuer des tions. Suivant les situations et les performances recherchées, un
mesures AFM couplées à des mesures de microscopie optique en caisson acoustique, une table de balance ou une table optique sont
champ proche [4] [P 862] [R 6 714]. La tige de tungstène a un diamè- nécessaires. Des tables suspendues sont parfois utilisées. Pour le
tre voisin de 1,3 µm, elle est affinée à son extrémité par attaque chi- travail en milieu liquide, l’échantillon et le cantilever baignent dans
mique et ensuite courbée pour être utilisée. le milieu. Des cellules spéciales pour liquides sont proposées par la
ＵＷ
ｒＱＳＹＴ
MICROSCOPIE À FORCE ATOMIQUE (AFM) __________________________________________________________________________________________________
C, C ’
Van der Waals

J D’ A, A ’
B Zéch
Adhérence
Ｓ
Figure 6 – Nanotube de carbone à l’extrémité d’une pointe
S’
plupart des fabricants. Elles sont plus ou moins faciles d’emploi sui- Aller Retour
vant les cas. Des difficultés peuvent apparaître pour des milieux
agressifs ou d’indice de réfraction élevé. Figure 7 – Courbe de force
1.1.2.2 Influence du bruit thermique 1.2.1 Modes contact et frottement

Une bonne stabilité thermique et hygrométrique est nécessaire
pour éviter les dérives : certains cantilevers sont recouverts d’une 1.2.1.1 Courbes de force
couche réfléchissante métallique, ce sont donc des bilames très Les courbes de force peuvent être obtenues expérimentalement
sensibles aux variations des conditions ambiantes. Cette propriété avec l’instrument présenté sur la figure 1. Sans faire vibrer le
est utilisée dans certaines situations pour détecter des réactions cantilever, on fait varier la position verticale (z) de l’échantillon et on
catalytiques. enregistre les déflections du cantilever.
De la même façon, les dilatations des pièces qui forment la tête Une courbe schématique est montrée sur la figure 7 : on y a porté
AFM peuvent être gênantes. Il n’est en général pas nécessaire de la déflection du stylet (α) en fonction de la hauteur de l’échantillon
travailler dans une enceinte régulée, mais quelques précautions élé- (Zéch). On remarque que les trajets aller vers le contact (de droite à
mentaires sont souvent utiles. gauche) et rupture du contact (de gauche à droite) sont différents.
■ À l’aller : loin de la surface, les forces d’interaction sont très

1.1.2.3 Taille des données relatives à l’acquisition faibles, la déflection du cantilever est quasi nulle, c’est la partie hori-
des images zontale à droite (aller AJ et retour D’A’). Dans le vide, dans l’air et
dans certains liquides, l’interaction pointe-surface est attractive et
Il convient de rappeler la taille des données recueillies quand on conduit à une légère déflection du cantilever (vers le bas, ou néga-
acquiert des images. L’AFM a une résolution latérale typique de tive) à l’approche de la surface. L’instabilité correspondante se tra-
l’ordre de quelques nanomètres. Si on désire enregistrer une image duit par le saut vertical JB visible sur la courbe aller.
AFM, de topographie de surface, par exemple de 100 µm × 100 µm, Si l’on continue de rapprocher de la pointe l’échantillon supposé
avec un pas de déplacement (en x ou y) de la platine porte- très rigide, la déflection croît linéairement avec la hauteur de
échantillon de 10 nm, la dimension de l’image est de 108 pixels. l’échantillon sur le trajet BC. (La flèche à l’extrémité d’une poutre encas-
Comme chaque pixel est codé sur deux octets, pour traduire la ten- trée et la déflection au même point sont en effet proportionnelles.)
sion enregistrée sur la photodiode à quatre quadrants et restituer la Cette partie permet l’étalonnage des forces appliquées :
topographie, l’image obtenue représente 200 Mo, soit typiquement déflection → flèche → force appliquée par l’intermédiaire de la raideur.
un quart de la capacité d’un CD actuel ! Un compromis doit donc
être trouvé entre le pas de déplacement, qui fixe la résolution de ■ Au retour : la courbe de force, sur le trajet C’S’, commence par
l’image, et la taille de la zone imagée. Des images de suivre le même chemin qu’à l’aller, mais dépasse la position de
512 pixels × 512 pixels, codées sur deux octets, occupent plus de force nulle ou même celle de la limite du saut au contact à cause de
0,5 Mo. Sur des images de ce type représentant un champ de l’adhésion. Il faut en effet tirer sur le contact pour le rompre. Tant
que le point de rupture n’est pas atteint, la trajectoire est dans le pro-
100 µm, la taille du pixel est d’environ 200 nm.
longement de la droite caractéristique du contact. Quand le point de
rupture S’ est atteint, le cantilever reprend la position très faible-
ment défléchie en D’ à cause des forces interfaciales hors contact.
1.2 Modes de fonctionnement L’adhésion se manifeste ici par une hystérésis sur la courbe de
force. Elle provient de nombreux facteurs : forces de Van der Waals,
bien sûr, mais aussi forces capillaires, électriques dans les liquides.
Elles sont alors affectées par le pH, la force ionique… La courbe de
Selon que la pointe est en contact avec la surface ou non, qu’elle force peut être considérée comme une mesure de l’adhérence. Il
travaille à la résonance du cantilever ou à fréquence nulle, ou bien s’agit de la manifestation de l’adhésion dans un cadre expérimental
que l’échantillon vibre ou non, on obtient des modes opératoires et donné. D’après ces remarques, on conçoit que l’AFM soit sensible
d’imagerie différents. aux propriétés physico-chimiques des surfaces.
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Pierre BOURDET Bernard RAPHET

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1– Forme et position Réf. Internet page

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 1 R1220 11

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 2 R1221 13

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 3 R1222 17

2– Mesures tridimensionnelles Réf. Internet page

Logiciels des machines à mesurer tridimensionnelles R1316 21

Contrôle des machines à mesurer R1318 27

Le GPS : utilisation en positionnement et surveillance R1384 29

Mesures dimensionnelles par vision R1392 31

Caméras plénoptiques pour l'imagerie tridimensionnelle R1393 33

3– États de surface Réf. Internet page

États de surface. Caractérisation R1230 41

États de surface. Mesure R1231 47

Métrologie des surfaces R1390 51

Microscopie à force atomique (AFM) R1394 55

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 1 R1220 11

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 2 R1221 13

Erreurs de forme, de position, d'orientation, de battement. Partie 3 R1222 17

Erreurs de forme, de position,

1. Éléments géométriques constitutifs d’une pièce ........................... R 1 220v2 – 2

es erreurs de forme et de position relative des éléments géométriques

duit (laboratoire de métrologie).

ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 1 ___________________________________________________________________

L’utilisation rigoureuse des normes de spécifications géométriques permet au

En général, en raison de la fragilité des matériaux qui ne permet

Exemples : le sommet d’un cône (voir figure 1), l’intersection des

Erreurs de forme, de position,

1. Défauts de forme ..................................................................................... R 1 221 – 2

es spécifications géométriques (NF E 04-552) (ISO 1101) : que le bureau

ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 2 ____________________________________________________________________

1.1 Tableau des symboles 0,02

Tolérance de forme : différents symboles

Forme d’une Planéité

1.2 Les différents défauts de forme

1.2.1 Défauts de rectitude

■ Rectitude des génératrices d’un cylindre (figure 2)

■ Rectitude de l’axe d’un cylindre (figure 3)

Interprétation : l’axe réel du cylindre doit être compris dans un

____________________________________________________________________ ERREURS DE FORME, DE POSITION, D’ORIENTATION, DE BATTEMENT. PARTIE 2

Interprétation : en utilisant la rectitude en zone commune, on

Remarque : la zone commune peut associer plus de deux élé- 0,02