Introduction

Demandes industrielles récentes dans les domaines des microsystèmes et la miniaturisation des
dispositifs ont conduit au développement de deux technologies majeures, la micro-électro-
mécanique ~MEM ! Et micro-optique. Une association prometteuse de ces deux technologies
combinées à la microélectronique crée une riche technologie habilitante de micro-opto-
électromécanique

Définition moems
Les systèmes microoptoélectromécaniques (MOEMS), également connus sous le nom de
MEMS optiques , sont des intégrations de systèmes mécaniques, optiques et électriques qui
impliquent la détection ou la manipulation de signaux optiques de très petite taille. MOEMS
comprend une grande variété de dispositifs, par exemple un commutateur optique , une
interconnexion optique , un VCSEL accordable , des micro bolomètres . Ces dispositifs sont
généralement fabriqués à l'aide de micro-optiques et de technologies de micro-usinage standard
utilisant des matériaux tels que le silicium, le dioxyde de silicium , le nitrure de silicium et
l'arséniure de gallium .

Fusion des technologies 

Ce chiffre a d'abord été introduit par M. Edward Motamedi

Schéma d'un micromiroir numérique montrant le miroir monté sur le joug suspendu avec le ressort de
torsion allant de bas en haut à droite (gris clair), avec les coussinets électrostatiques des cellules mémoire
en dessous (en haut à gauche et en bas à droite)

CINÉMA DLP. Une technologie Texas Instruments

MOEMS regroupe deux technologies majeures , les systèmes micro électromécaniques et la

micro-optique. Ces deux technologies impliquent indépendamment un traitement par lots similaire
aux circuits intégrés et un micro-usinage similaire à la fabrication de micro capteurs.
Parallèlement aux développements des MEMS et même plus tôt, la technologie des capteurs a
évolué vers les micro capteurs et s'est associée aux micro actionneurs. Le développement des
micro capteurs et des micro actionneurs était également dû à une technologie mère de micro-
usinage. Le micro-usinage est à la base de tout ce que nous avons aujourd'hui en haute
technologie. Cette technologie n'a jamais été créditée dans l'histoire comme elle le méritait. Il a
été utilisé commercialement dans les années 1960 en Suisse, pour le micro-usinage
du quartz d'ordres de grandeur plus durs que le micro-usinage du silicium. L'acronyme MEMS
était si puissant dans les années 1980 que, sans choix de micro capteurs et de micro actionneurs
incluant le micro-usinage, tous ont rejoint MEMS.

Histoire de MOEMS 
De 1991 à 1993, le Dr M. Edward Motamedi, un ancien innovateur de Rockwell International
dans les domaines des systèmes micro électromécaniques et de la micro-optique , a utilisé en
interne l'acronyme de MOEMS pour les systèmes microopto électromécaniques. Il s'agissait de
faire la distinction entre les MEMS optiques et les MOEMS, où les MEMS optiques pouvaient
inclure l'optique en vrac, mais MOEMS est vraiment basé sur la micro technologie où les
dispositifs MOEMS sont traités par lots exactement comme les circuits intégrés, mais ce n'est
pas vrai dans la plupart des cas pour les MEMS optiques.
En 1993, le Dr Motamedi a officiellement présenté MOEMS pour la première fois, en tant que
combinaison puissante de MEMS et de micro-optique, lors d'une conférence invitée à la
conférence SPIE Critical Reviews of Optical Science and Technology à San Diego. Dans cet
exposé, le Dr Motamedi a présenté la figure ci-dessous, pour montrer que MOEMS est
l'interaction de trois microtechnologies majeures ; à savoir la micro-optique, la micromécanique et
la microélectronique
Description de la technologie
La plateforme « MOEMS » fournit une chaîne alimentaire complète de microsystèmes
optiques avancés incluant les modules photoniques basés sur le micro-usinage de différents
matériaux passifs ou actifs. Il exploite l'intégration des MOEMS (Micro-Opto-Electro-
Mechanical Systems ) avec le micro-usinage du silicium et la combinaison des propriétés
mécaniques du silicium avec les caractéristiques optiques du verre ou du polymère ainsi que
les technologies de nanofabrication de la nanophotonique pour réaliser des structures
microguidées ou photoniques sur niobate de lithium (LiNbO3) pour les microcapteurs
optiques avancés . Ici, il est possible de proposer des plateformes photoniques
hybrides associant LiNbO 3 et silicium pour le contrôle actif de fonctionnalités optiques.

Les plateformes technologiques fourniront les capacités de fabrication de modules

photoniques comprenant des pièces mécaniques telles que des miroirs, des actionneurs
MEMS ou des scanners ainsi que des composants microoptiques réfringents ou
diffractifs en espace libre ou des guides d'ondes actifs .

Intégration MOEMS 3D et alignement de haute précision des composants micromécaniques et

microoptiques pour fournir des réductions de taille, de poids et de puissance des systèmes
photoniques ainsi que de meilleures performances, de nouvelles fonctionnalités et une fiabilité
améliorée. Différentes approches d'intégration sont possibles telles que la technologie multi-
wafers 3D combinant plusieurs puces verticalement en utilisant diverses technologies de
collage.

Partie 2
Les MOEMS s’avèrent être une solution attrayante et peu coûteuse à une gamme de
problèmes de dispositifs nécessitant une fonctionnalité optique élevée et des
performances optiques élevées. Les solutions MOEMS comprennent des dispositifs
optiques pour les systèmes de télécommunication, de détection et mobiles tels que les
rainures en V, les grilles, les obturateurs, les scanners, les filtres, les micromiroirs, les
commutateurs, les aides à l’alignement, les réseaux de lentilles et les emballages
optiques hermétiques à l’échelle des plaquettes. Une équipe internationale de
chercheurs de premier plan a contribué à ce livre, qui présente des exemples et des
problèmes utilisant des dispositifs MOEM de pointe. Il incitera les chercheurs à faire
progresser la conception, la fabrication et l’analyse des systèmes MOEM.

Domaines d'application
Ces technologies peuvent contribuer à la creation de nouveaux produits et de Nouvelles
activités dans un très large éventail d'applications et couvrant plusieurs enjeux sociétaux.

Les exemples incluent le domaine de:

 biophotonique et médecine ( coloscopie, gastroscopie, bronchoscopie à l'aide d'une

variété d' endomicroscopes, microscopes et interféromètres sur puce, systèmes OCT
miniatures, diagnostics au point de service, micro-cytomètres, micro-instruments pour
le diagnostic précoce du cancer , laboratoire-sur-un- frites),
 des micro -écrans (scanners, lecteurs de codes-barres, SLMS, micro-projecteurs,
micro-caméras, HMD),
 microscopie optique (microscopes confocaux miniatures, micro-interféromètres,
endoscopie industrielle),
 microcapteurs optiques (structures guidées actives sur niobate de lithium, etc.) et
bien d'autres encore.
 On peut également prévoir que plusieurs solutions d' Internet des objets (IoT) seront
basées sur des solutions MEMS/MOEMS.