ECOLE

SUPERIEURE DE
MAT ÉRIALE

GYROSCOPE À
MEMS
PRÉPARER PAR:
-KAMEL RACHID ÉLABORÉ PAR:
-BEN MAKHLOUF ANIS -MC,AIT SAADI KARIMA
-REHAIL ZIN EL DINE
 Plan de travail:
1)_Définition sur notre technologie de gyroscope MEMS
2)_ Description et principe de fonctionement de l'application
3)_Gyroscopes MEMS VSG - une brève description de leur construction et de leur
fonctionnement de base

4)_ Contrôle adaptatif d'un gyroscope MEMS par les méthodes Lyapunov
5)_ LES Déferents types de gyroscopes a méms et ses domaine d’utilisation

5-1/Gyroscope MEMS CRS43

5-2/ Gyroscope MEMS TL720D
5-3/ Gyroscope MEMS TL73 5G
5-4/ Gyroscope MEMS TL725D

6)_conclusion
 1/Définition sur notre technologie de gyroscope MEMS:
Les gyroscopes MEMS , ou à proprement parler les capteurs de vitesse angulaire MEMS, sont
utilisés chaque fois que la détection de la vitesse de virage (°/s) est requise sans point de
référence fixe. Cela sépare les gyroscopes de tout autre moyen de mesure de la rotation, tel
qu'un tachymètre ou un potentiomètre.
Les gyroscopes MEMS de Silicon Sensing utilisent tous la même technologie unique et
brevetée d'anneau résonant VSG pour détecter le taux de rotation grâce à un phénomène
connu sous le nom de coriolis . La construction de base et les principes de fonctionnement
sont expliqués brièvement ci-dessous.
Silicon Sensing a produit le premier MEMS VSG à la fin des années 1990. Depuis lors, plus de
20 000 000 de gyroscopes MEMS ont été livrés à des milliers de clients satisfaits. À notre
connaissance, la quasi-totalité de ces gyroscopes fonctionnent toujours de manière
satisfaisante après 20 ans de service continu, ce qui témoigne de la fiabilité du VSG . Il existe
désormais trois générations de MEMS VSG ; Inductifs, capacitifs et PZT, permettant à Silicon
Sensing de produire une large gamme de gyroscopes MEMS VSG, depuis des capteurs à puce à
faible coût et de précision (par exemple PinPoint ® ) jusqu'aux modules gyroscopiques MEMS
hautes performances de qualité FOG (par exemple CRH02 et CRS39 ).
Dans les années 1970, les gyroscopes optiques sont apparus. Les RLG (Ring Laser Gyro) et les
FOG (Fibre Optic Gyro) utilisent le déphasage de la lumière se déplaçant dans des directions
opposées autour d'une longueur de trajet fixe pour détecter la vitesse angulaire. Les RLG et les
FOG sont très précis mais assez complexes et sont donc relativement volumineux et coûteux à
fabriquer.
Au cours des vingt dernières années, le monde des capteurs inertiels a basculé avec
l'émergence des capteurs de vitesse « à semi-conducteurs » non rotatifs, appelés improprement
gyroscopes. Silicon Sensing a été l’une des premières entreprises à exploiter commercialement
le potentiel des gyroscopes à semi-conducteurs dans les années 1980, avec le lancement
du gyroscope mems VSG (Vibrating Structure Gyroscope).
 2/Description et principe de fonctionement de l'application:
• La détection de mouvements de rotation est importante pour les secteurs de
l'automobile et de l'aviation ainsi que pour les systèmes de navigation GPS et de
surveillance de la santé. Aujourd'hui, les gyroscopes basés sur la technologie des systèmes
microélectromécaniques (MEMS) peuvent être miniaturisés pour s'adapter aux
smartphones avec une consommation d'énergie minimale. De tels systèmes surveillent le
mouvement d'une masse résistante aux vibrations, fixée à un cadre de montage via une
structure MEMS en forme de ressort, dans toutes les directions spatiales. Les gyroscopes
MEMS sont souvent associés à des accéléromètres, fournissant ainsi des mesures en six
dimensions à partir d'un seul appareil.
• La masse étalon est souvent forcée de vibrer périodiquement dans une direction à l'aide
d'électrodes d'entraînement (qui identifient le mode d'entraînement). Une fois que
l'appareil subit un mouvement de rotation, la masse subit la force de Coriolis dans son
plan de référence tournant : cela se manifeste par un léger déplacement selon une
direction perpendiculaire à celle définie par le mode d'entraînement . La détection de
l'amplitude de ce déplacement (via ce que l'on appelle le mode détection) fournit la vitesse
angulaire de rotation. Ce type de dispositif de détection de mouvement de rotation est
souvent appelé gyroscope vibratoire Coriolis (CVG).
3/Gyroscopes MEMS VSG - une brève description de leur
construction et de leur fonctionnement de base:
Tous les gyroscopes MEMS VSG de Silicon Sensing utilisent un anneau vibrant
ou résonant fabriqué à l'aide d'un procédé de silicium en vrac DRIE (Deep
Reactive Ion Etch). L'anneau annulaire est soutenu dans l'espace libre par huit
paires de rayons symétriques en forme de « patte de chien ». Le processus de
gravure en masse du silicium et la conception unique et brevetée de l'anneau
permettent des propriétés géométriques à tolérance étroite pour un équilibre
précis et une stabilité thermique et, contrairement aux autres gyroscopes MEMS,
il n'y a pas de petits espaces susceptibles de créer des problèmes d'interférence
et de friction. Ces caractéristiques contribuent de manière significative à la
stabilité du biais et du facteur d'échelle de référence de VSG en matière de
température et d'immunité aux vibrations et aux chocs. Un autre avantage de
cette conception est son immunité inhérente à l'erreur de vitesse induite par
l'accélération, ou « sensibilité g ».
• Des actionneurs/transducteurs sont fixés à la surface supérieure du périmètre de l'anneau de
silicium et sont connectés électriquement à des plages de connexion sur silicium via des pistes
sur les rayons. Ceux-ci actionnent ou « entraînent » l'anneau dans son mode de vibration
Cos2θ à résonance (comme frotter un doigt mouillé sur un verre à vin le faisant « sonner ») ou
détectent un mouvement radial du périmètre de l'anneau provoqué par l'actionneur
d'entraînement principal ou par l' effet de force de Coriolis lorsque le gyroscope tourne
autour de son axe de détection, qui passe par le centre de l'anneau. La combinaison de la
technologie des transducteurs et des transducteurs de détection secondaires améliore le
rapport signal/bruit du VSG , dont l'avantage est un dispositif à très faible bruit avec une
excellente instabilité de polarisation et ARW (Angular Random Walk).
4/Contrôle adaptatif d'un gyroscope MEMS par les méthodes Lyapunov:
L'invention concerne deux contrôleurs adaptatifs pour un gyroscope MEMS
vibratoire. Les deux contrôleurs règlent la fréquence naturelle de l'axe
d'entraînement sur une fréquence présélectionnée, régulent l'amplitude de la
vibration de l'axe d'entraînement, annulent l'erreur de quadrature due au
couplage de rigidité et amènent la vibration de l'axe de détection à zéro pour une
opération de force de rééquilibrage. Le premier contrôleur est basé sur un
modèle basse fréquence moyenné, et le second est basé sur le modèle de
gyroscope complet. Les deux contrôleurs sont simulés avec succès pour le
gyroscope de l'axe Z de Berkeley. La fonction Lyapunov utilisée est essentielle
pour obtenir une bonne réponse transitoire, en particulier pour les boucles de
force de rééquilibrage et de contrôle automatique du gain. Pour implémenter le
modèle complet de contrôleur avec des mesures de déplacement uniquement et
aucune mesure de vitesse
 5/LES Déferents types de gyroscopes a méms et ses domaine d’utilisation:
1/Gyroscope MEMS CRS43:
un gyroscope robuste et abordable produit en série pour les applications industrielles et commerciales. Les capteurs
de vitesse angulaire sont utilisés lorsque la détection de la vitesse de rotation est nécessaire sans point de référence
fixe. Le capteur émet une tension continue proportionnelle à la vitesse de rotation et à la tension d'entrée. Détection de
mouvement haute performance, même en cas de chocs et de vibrations sévères. Le CRS43 a été développé pour
offrir aux clients existants du CRS03 une alternative à faible coût, "drop-in". Le système MEMS de précision VSG5
(cinquième génération de gyroscope à structure vibrante) de Silicon Sensing, qui connaît un grand succès, fournit
l'élément central de détection de la vitesse angulaire.
1-1/Caractéristiques principales CRS43:
_Gyroscope MEMS à axe unique haute performance
_technologie VSG de 5ème génération Gamme dynamique ±100°/s et ±200°/s

_alimentation de 75 à 5,25 V
_Large plage de température de fonctionnement -40°C à +85°C

_Excellentes performances en fonction de la température

_Caractéristique de dérive répétable ,Faible bruit, Fonctionnement sous chocs et vibrations élevés et Haute fiabilité Boîtier métallisé

_Conforme à la directive RoHS

1-2/Applications CRS43:
_Stabilisation d'antennes et de plates-formes
_Agriculture de précision
_Véhicules autonomes et ROVs
_Systèmes de mesure d'attitude
_Navigation personnelle
_Aide à l'abandon du GPS
2/Gyroscope MEMS TL720D:
TL720D est un capteur d'attitude dynamique IMU de petit volume nouvellement développé par la
société RION, basé sur la dernière plate-forme de mesure inertielle MEMS, au moyen de l'algorithme
d'attitude dynamique pour la vitesse angulaire du gyroscope, il peut simultanément sortir l'angle
d'azimut du porteur. Le produit a intégré en interne l'algorithme de navigation inertielle breveté de RION,
par le modèle de fusion de données d'angle d'attitude, peut résoudre le problème de dérive à court
terme du gyroscope autant que possible Ce produit est spécialement utilisé pour la voiture robot,
l'orientation azimutale du véhicule AVG, le contrôle d'attitude et d'autres applications connexes du
drone, au lieu des défauts traditionnels de guide de barre magnétique du véhicule robot, pas besoin à la
disposition du site de la bande magnétique, est les composants de navigation nécessaires pour la
prochaine génération de véhicule robot de traçage et de conduite automatique.
2-1/CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES(avantage et désavantage) :
★ Sortie d'angle d'azimut
★ Forte résistance aux vibrations
★ Poids léger
★ Longue durée de vie, forte stabilité
★ Economique
★ Tout à l'état solide
★ Design compact et léger
★ Sortie RS232/RS485 en option
★ Alimentation électrique DC5V
2-2/Domaine d’ application:
★ Camion AGV
★ Navigation automobile
★ Réalité virtuelle 3D
★ Stabilité de la plate-forme
★ Système de sécurité automobile
★ Équipement d'antenne satellite monté sur Turck
★ Contrôle industriel
★ Robot
3/Gyroscope MEMS TL73 5G:
TL735G est un mesureur d'attitude à trois axes de haute précision développé par RION Technology sur
la base de la dernière plateforme de mesure inertielle MEMS de la société. Il fournit en temps réel l'angle
azimutal horizontal et la vitesse angulaire de l'objet en exécutant un algorithme d'attitude dynamique sur
la vitesse angulaire du gyroscope. Le produit intègre l'algorithme de navigation inertielle breveté de
RION. Grâce à la fusion de données multi-modèles de l'angle d'attitude, la dérive à court terme du
gyroscope peut être résolue dans une large mesure. L'angle d'azimut de ce produit a une fonction de
stockage de mise hors tension, et convient aux indications d'angle de commutateur rotatif haute tension
dans la surveillance des antennes 5G, les panneaux d'affichage extérieurs et d'autres industries.
3-1/CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES(avantage et désavantage) :
★ Super compatibilité électromagnétique
★ Sortie de taux angulaire en temps réel
★ Sortie d'azimut horizontal et d'angle d'attitude
★ Longue durée de vie, forte stabilité
★ Accélération de l'axe avant
★ Tout à l'état solide
★ Conception compacte et légère
★ Sortie RS485 en option
★ Alimentation électrique DC9~36V -
•
3-2/Domaine d’ application:
★ Surveillance d'antenne 5G
★ Panneau d'affichage extérieur
★ Réalité virtuelle 3D
★ Plate-forme stable
★ Système de sécurité automobile
★ Drone
★ Équipement d'antenne satellite monté sur véhicule
★ Contrôle industriel
★ Robot
4/Gyroscope MEMS TL725D:
TL725D est un gyroscope IMU spécialisé dans la navigation pour la conduite automatique des véhicules
agricoles. Avec un gyroscope trois axes et un accéléromètre trois axes intégrés de qualité industrielle, le TL725D
peut toujours fournir des données d'attitude régulières dans des conditions de travail à fortes vibrations.
Développé sur la base de la plate-forme de mesure inertielle MEMS et de l'algorithme d'attitude dynamique du
taux angulaire du gyroscope, il fournit en temps réel des données dynamiques sur l'angle d'inclinaison, l'angle
d'azimut horizontal, le taux angulaire sur trois axes, l'accélération sur trois axes et l'accélération axiale du corps
avant. Le TL725D est spécialement appliqué pour les machines agricoles automatiques visant un fonctionnement
précis et efficace. C'est un composant indispensable de la nouvelle génération de machines agricoles.
4-1/CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES(avantage):
• Sortie azimut horizontal et angle d'attitude
• Sortie de la vitesse angulaire en temps réel
• Longue durée de vie et grande stabilité
• Accélération de l'axe avant Conception compacte et légère
• Tout à l'état solide
• Alimentation électrique DC9~36V Poids léger
• faible bruit
4-2/Domaine d’ application:
_VERSION POUR MACHINES AGRICOLES
_pour l'électro-optique
_pour AGV
_pour applications marines
6/Conclusion:
• Le gyroscope vibrant MEMS est un capteur inertiel important des appareils
électroniques intelligents modernes dans plusieur domaine comme la mécanique le
transport , l’agriculture ,,,,etc , donc il faut mieux dévelopée cet téchnologie (méms)
pour un bon utilisation de gyroscope dans tout les domaines dans le future
Merci pour
votre
attention