Capteurs industriels de vibration

par Bernard GARNIER

Ingénieur civil de l’École nationale des ponts et chaussées
Consultant, BlueSolutions

1. Définitions et principes généraux des capteurs de vibration R 6 193 – 2

2. Technologies permettant de réaliser des capteurs
de vibration ...................................................................................... — 2
3. Accéléromètres industriels........................................................... — 3
3.1 Domaine de mesure ........................................................................... — 3
3.2 Accéléromètres piézo-électriques industriels.................................... — 3
3.3 Accéléromètres piézorésistifs industriels .......................................... — 4
4. Capteurs industriels de vitesse vibratoire................................. — 5
5. Capteurs de déplacement vibratoire industriels ...................... — 5
6. Capteurs de forces et « têtes d’impédance » ........................... — 6
7. Capteur à prétraitement intégré.................................................. — 7
8. Précautions de montage des capteurs de vibrations .............. — 7
8.1 Masse maximale du capteur .............................................................. — 7
8.2 Méthode de fixation ........................................................................... — 7
9. Précautions de câblage des capteurs de vibrations ................ — 7
Pour en savoir plus.................................................................................. Doc. R 6 193

C et article traite des capteurs de vibration considérés dans leur ensemble, la

vibration étant la grandeur de sortie à mesurer en un point quelconque
d’un objet vibrant. L’article ne traite que des technologies matures conduisant
à des dispositifs robustes et peu sensibles aux perturbations extérieures, appli-
cables aux mesures industrielles de terrain.
Un capteur de vibration est défini par : la grandeur qu’il mesure (déplace-
ment, vitesse ou accélération vibratoire), le domaine de mesure exprimé en
niveau absolu ou relatif, la précision requise et les conditions d’environnement.
Dans tous les cas, le capteur se doit d’être aussi « neutre » que possible. La
fidélité d’un capteur est la capacité à fournir exactement la même réponse
chaque fois qu’il est soumis au même stimulus. Pour cela, il doit être insensible
aux variations de température, au vissage et dévissage sur une embase, etc. Il
doit aussi présenter une grande stabilité, c’est-à-dire ne pas changer de sensibi-
lité en vieillissant, même en milieu hostile (radiations…), du moins à l’échelle des
étalonnages périodiques. Il doit être parfaitement linéaire pour ne pas introduire
de distorsion harmonique, donc avoir une fonction de transfert aussi « plate »
que possible dans une large bande de fréquence et dans une grande dynamique
de mesure compte tenu de la dynamique intrinsèque très grande des phénomè-
nes vibratoires. Il aura une faible diaphonie que ce soit vis-à-vis du bruit ambiant
(faible sensibilité microphonique), ou de la présence de vibrations dans des direc-
tions autres que son axe de mesure. Il sera insensible aux influences électroma-
gnétiques qu’on rencontre en milieu industriel, notamment près des génératrices
et moteurs électriques de forte puissance. Son optimisation est à la fois un pro-
blème de mesure et de coût qui ne sera pas développé ici.
Pour des utilisations particulières, il est possible de demander aux fournis-
seurs des capteurs appariés entre eux beaucoup plus finement que la classe
de précision moyenne.
Le meilleur capteur ne fournira des indications pertinentes que s’il est aussi
implanté correctement, ce qu’on précise au paragraphe 8.

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1. Définitions et principes
généraux des capteurs
de vibration
Un capteur de vibration est un transducteur capable de convertir
en signal électrique le niveau de vibrations qu’il subit à un instant
donné.
Il sera dit différentiel s’il mesure le mouvement dynamique relatif
entre ses deux points d’attache : c’est typiquement le cas des cap-
teurs inductifs à noyau plongeur, ou celui des vibromètres laser. Si
l’on ne peut garantir la totale immobilité d’une des deux interfaces,
il sera dit relatif. L’avantage qui les fait choisir est l’accès direct à la
mesure d’un découplage (au sens explicité dans l’article Vibrations
des structures industrielles. Notions de physique des vibrations
[R 6 190]) par exemple pour mesurer l’efficacité d’une suspension
ou d’un amortisseur, ainsi que la capacité à mesurer de très grands
déplacements vibratoires, évidemment dans le domaine des très
basses fréquences. Dans le cas du laser, c’est la possibilité de
mesurer par effet Doppler la vibration de parties mobiles (arbres
tournants…) et celle de structures si frêles qu’elles seraient modi-
fiées par le poids d’un capteur si petit soit-il.
Le capteur de vibration sera dit absolu s’il n’a qu’une seule inter-
face. La solution presque universelle est celle du capteur inertiel,
c’est-à-dire que la transduction est faite en mesurant l’effort
appliqué, par l’interface soumise aux vibrations, à un élément forte-
ment massique (« contre-masse » M) interne au capteur, qui s’op-
pose à la vibration g par son inertie, développant l’effort résistant
F = M.g. Plusieurs possibilités permettent la transduction de cet
effort résistif, comme l’interposition de céramiques piézo-électri-
ques et l’implantation au sein du capteur de jauges de contrainte,
pour ne citer que les plus courants.
Tableau 1 – Capteurs de vibration : classement des principales technologies (•)
Variable détectée Mécanique
Linéaire Angulaire
Règle divisée, Disque divisé,
Déplacement
comptage N (•) comptage N (•)
Vitesse Stroboscopie, A ou N (•)
Masse sismique asservie en position
Accélération
neutre, servoaccéléromètres, A (•)
Ressort de raideur connue, mesure du
Force
déplacement relatif, A ou N
Systèmes vibrant à fréquence propre
Saccades, chocs élevée (105 à 106 Hz), capteur d’émission
acoustique, A (•)
(•) Transducteur à maturité industrielle, A : analogique, N : numérique.
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2. Technologies permettant
de réaliser des capteurs
de vibration
Sur un plan plus général, la diversité de l’offre en termes de cap-
teurs de vibration peut se mesurer à l’importance des manifesta-
tions internationales : citons le salon international des capteurs de
mesure.
Un certain nombre de capteurs sont décrits en détail dans diffé-
rents articles du traité Mesures et Contrôle : Capteurs [R 410], Cap-
teurs de déplacement [R 1 800], Mesures de vitesse et circuits asso-
ciés [R 1 810], Accélération [R 1 812], Extensométrie [R 1 850],
Capteurs à jauges extensométriques [R 1 860] et Accéléromètres
inertiels [R 1 930]. Dès lors ne sont rappelés ci-après que les
aspects directement liés à l’objectif de mesurer des vibrations
dans un contexte industriel.
Les techniques classiques de mesure sont fondées sur les lois de
l’inertie, de l’induction et de la piézo-électricité. Le tableau 1 donne
une vision assez complète des diverses options de transduction
applicables à la mesure des vibrations.
Pour mener à bien le choix d’un capteur de vibration, il convient
de préciser :
– les conditions d’emploi, avec ou sans contact matériel et ajout
de masse toléré entre le capteur et la structure, etc. ;
– l’étendue du domaine de mesure ;
– la classe de précision requise.
On distingue globalement :
– les capteurs de déplacement vibratoire, qui sont toujours
relatifs ;
Principe de transduction
Électrique Optique
Linéaire ou angulaire Linéaire ou angulaire
Capteur résistif, à piste, A ou N (•) ; capteur
Holographie et interférométrie
inductif à transformateur différentiel, A (•) ;
laser, N (•)
capteur capacitif, à signal A (•)
Induction d’un conducteur dans un champ Effet Doppler sur lumière laser
magnétique, A (•) réfléchie, N (•)
Accéléromètre piézo-électrique avec sys-
tème masse-ressort à fréquence propre
f0 >> f, A (•)
« Rondelles de force » en céramique pié-
zo-électrique, possibilité de combinaison
pour mesurer les 6 composantes (forces et
moments)
Induction avec système masse-ressort à
...
fréquence propre fo >> f, d’où x (t ) , signal
A
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– les capteurs de vitesse vibratoire, souvent dits vibromètres, qui
sont en général relatifs ;
– les accéléromètres, toujours absolus ;
– les capteurs d’effort vibratoire ;
– les détecteurs de la dérivée de l’accélération (donc la dérivée
troisième du déplacement vibratoire), encore appelée « saccade »
(jerk), mais qui n’ont pas encore atteint le stade industriel.
Les tableaux 2, 3 et 4 montrent dans la suite de l’article, pour
différents principes constructifs, l’ordre de grandeur des limites
pouvant être atteintes, respectivement en déplacement, vitesse,
accélération, dans une bande de fréquence également indiquée.
La plupart de ces capteurs sont uniaxiaux par construction, c’est-
à-dire qu’ils mesurent la vibration selon un axe principal et s’effor-
cent d’être insensibles aux autres composantes. On peut ensuite
constituer un capteur « multi-axial » en montant dans le même boı̂-
tier le nombre voulu de capteurs élémentaires dans la géométrie
voulue.
Nota : les dispositifs de mesure des contraintes mécaniques (tels que les vernis cra-
quelants, les jauges de contrainte ou la photo-élasticimétrie), utilisés comme tels, per-
mettent aussi de mesurer des effets des vibrations, mais de manière indirecte à travers
la déformation du « corps d’épreuve » sur lequel ils sont implantés. Même si remonter à
des niveaux vibratoires relatifs est possible dans le cas de formes simples (arbre cylin-
drique, aubage droit…), cette approche est par trop indirecte pour être traitée ici.
En matière de dynamique intrinsèque d’une chaı̂ne de mesure
complète, on atteint avec les meilleures conceptions une limite de
l’ordre de 80 dB, bien qu’utilisant les composants et circuits à plus
faible bruit du marché. Pour dépasser cette limite, il est nécessaire
d’introduire des gains variables dans la chaı̂ne de mesure.
On remarquera aussi que les étendues de mesure de loin les plus
larges tant en fréquences qu’en niveaux sont offerts par les accélé-
romètres piézo-électriques et piézorésistifs. Une qualité de ces der-
niers, non mentionnée dans le tableau, est leur grande résistance
aux chocs, alors que les accéléromètres piézorésistifs sont limités
par la fragilité de la micropoutre qui supporte la masse sismique
(voir exemple ci-après).
3.2 Accéléromètres piézo-électriques
industriels
Le premier principe de transducteur est le montage « Tonpilz »
d’origine germanique, autrement dit « champignon sonore ». Le
chapeau du champignon est la masse sismique, le pied l’assem-
blage de rondelles piézo-électriques, et le mycélium l’embase atta-
chée à la structure. Alors que dans les sonars cet assemblage est
utilisé tel quel, il est mis dans un boı̂tier fermé dans le contexte
des mesures vibratoires (figure 1).

3. Accéléromètres industriels Un autre montage classique est de faire travailler la céramique

3.1 Domaine de mesure
Le domaine de mesure typique des divers types d’accéléromè-
tres industriels est indiqué dans le tableau 2. On notera que tous
les types de capteurs ne permettent pas la mesure de la compo-
sante statique – mais ce n’est pas un désavantage dans la mesure
où cela dispense de la compensation de la pesanteur, nécessaire
dès qu’on veut mesurer des niveaux d’accélération faibles.
en cisaillement, en excentrant la masse sismique. En montant
trois céramiques en triangle équilatéral, on a un montage symé-
trique très avantageux (« Delta-Shear ») qui a fait la renommée
d’un constructeur leader du marché de la mesure de laboratoire.
D’autres détails constructifs ont une grande importance pratique,
comme la conception de l’embase pour éviter que les contraintes
de vissage n’influencent la sensibilité de la céramique, la compen-
sation des dérives thermiques, l’étanchéité du connecteur, etc. Il y a
donc chez les divers constructeurs un « métier » important, qui
peut justifier des écarts de performance significatifs, et le choix du

Tableau 2 – Ordre de grandeur des limites atteintes au moyen de capteurs d’accélération

industriels (1)

Accélération Fréquence f
Principe Mise en œuvre
(m.s-2) (Hz)

Résistif :

– potentiométrique 10-2 à 102 0 à 102 Capteurs à piste moulée

-5 4 3
– extensométrique 10 à 10 0 à 10 Jauges à fil collées

Inductif 10-5 à 103 0 à 103 À mutuelle inductance

-3 2 2
Électromagnétique 10 à 10 0 à 10 À zéro asservi
-9 -7
Électrostatique 10 à 10 ª 0 En impesanteur

Piézorésistif 10-8 à 103 ª 0 à 104 Semi-conducteur

Piézo-électrique :

– tous usages 10-4 à 105 1 à 104 ⎫

⎬ À quartz ou à céramique
– émission acoustique niveau imprévisible 102 à 106 ⎭

Sensibilité décroissante
Optoélectronique à effet Doppler 10-2 à 103 Dérivation du signal de vitesse
quand f croı̂t
(1) Une ligne de ce tableau ne correspond pas à un capteur déterminé, mais indique une performance réalisable par au moins un capteur fondé sur le principe
énoncé.

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« bon capteur » pour une application donnée est déterminant pour

l’exploitabilité des données.
Dans tous les cas, lorsque l’embase est soumise à une accéléra-
tion, la contre-masse résiste par inertie, et des charges électriques
apparaissent aux bornes de la céramique, proportionnelles à l’accé- g /gréf (dB)
lération. La sensibilité s’exprime donc en picocoulombs par m.s-2 – 20
encore que beaucoup utilisent des « g » (accélération de la pesan-
teur) soit 9,81 m.s-2 comme référence d’accélération vibratoire, par
habitude. 0
103 104 105
Ces dispositifs ont toutes les caractéristiques d’un système Fréquence (Hz)
masse-ressort et sont sujets par conséquent à une résonance qui
limite leur bande passante en fréquence. Bien que la céramique
piézo-électrique soit un matériau raide, cela impose de réduire la
masse sismique pour offrir une bande passante qui dépasse
10 kHz à 1 dB (ou 10 %), domaine de mesure minimum lorsqu’un
D
risque de gêne acoustique est en jeu, ce qui impose de rejeter la
1
fréquence propre f0 au-delà de 20 kHz. Comme f0 = K / M , la A
2π
B
masse M de la contre-masse doit être réduite en conséquence en
fonction de la raideur K de la céramique. C

On verra aussi qu’une autre raison de limiter la masse du capteur

est d’éviter que celui-ci n’influence localement la réponse de la
structure qu’on instrumente. Dès lors, la masse totale du capteur
idéal n’est que de quelques dizaines de grammes.
Le choix des céramiques piézo-électriques, lui, doit tenir compte
de la sensibilité thermique (et la minimiser, voire la compenser), de
la tenue au vieillissement, etc., ce qui contraint aussi la solution.
Dans ces contraintes de masse et de matériau, la sensibilité
typique n’est que de quelques picocoulombs par m.s-2.
Dès lors, pour être opérationnel dans des ambiances électroma-
gnétiques parfois sévères, l’élément sensible du transducteur et ses
moyens d’acquisition et de traitement associés doivent être aussi
rapprochés que possible. L’emploi de microcoaxiaux à blindage
graphité (« câbles minibruit ») améliore déjà la transmission vers
un « amplificateur de charge » à quelques mètres de distance,
mais la solution la plus commode industriellement est l’utilisation
d’accéléromètres à électronique intégrée, comme l’exemple de la
figure 1. Le microcircuit réalise à la fois une conversion d’impé-
dance (la céramique a une impédance électrique très élevée, la
suite de la chaı̂ne de mesure requiert une impédance basse) et un
gain. Le gain du circuit est réglé lors du montage pour normaliser
la sensibilité (à 10 mV/(m.s-2) à titre indicatif pour cet exemple), en
vue de simplifier l’étalonnage global de la chaı̂ne de mesure. La
courbe d’étalonnage montre clairement la résonance de la contre-
masse sur la raideur de la céramique en très haute fréquence.
Beaucoup d’appareils de mesure sont aujourd’hui directement
interfaçables avec des accéléromètres à électronique intégrée,
mais comme il n’existe pas de standardisation stricte du courant
d’alimentation et de la sensibilité, cette compatibilité n’a rien d’uni-
verselle et doit être examinée attentivement. À défaut, un ensemble
de conditionneurs devra être utilisé entre les capteurs et la chaı̂ne
de mesure (enregistreurs, analyseurs de spectres…).
La rapidité d’acquisition et de traitement des mesures incite à
augmenter le nombre P de points retenus pour le problème traité
soit P = 10n avec 1 ł n ł 3, ce qui est également rendu possible
par l’abaissement du coût des capteurs.
3.3 Accéléromètres piézorésistifs
industriels
Le principe de ces accéléromètres est de mesurer la déformation
d’une poutre mince qui maintient la masse sismique en porte-à-
faux vis-à-vis de l’embase. La transduction se fait par des jauges
de contraintes semi-conductrices. Les accéléromètres piézorésistifs
sont donc eux aussi des systèmes masse-ressort utilisés bien en
F
E
gréf accélération de référence (par exemple 1 g, g étant l'accélération
de la pesanteur)
Caractéristiques : A masse sismique
- sensibilité à 120 Hz : 97,8 mV/g B rondelle de quartz
à 40 Hz : 96,6 mV/g piézo-électrique
à 10 Hz : 91,7 à 93,3 mV/g C électrode
à 5 Hz : 76,8 à 93,8 mV/g D préamplificateur
- bande passante à 10 % : 13,9 kHz E embase taraudée
- fréquence propre : 23,65 kHz F prise miniature
Figure 1 – Accéléromètre à quartz piézo-électrique, à électronique
intégrée Metravib. Fonctionnement « Tonpilz » en compression
deçà de leur résonance, et les commentaires précédents sur les
compromis sous-jacents à leur conception restent identiques.
On a choisi d’illustrer ici une réalisation particulière par micro-
usinage d’une plaquette de silicium, avec les moyens habituels de
fabrication des semi-conducteurs. En effet, dans la perspective
d’une réduction importante des coûts d’une chaı̂ne de mesure
accélérométrique, alliée à une compacité et une légèreté accrues
qui multiplient les possibilités d’utilisation, il est intéressant de
jouer la carte des microtechnologies en élaborant des microcap-
teurs sur substrat silicium (figure 2).
L’élément sensible, de quelques micromètres seulement, est réa-
lisé avec les techniques habituelles de production des circuits élec-
troniques intégrés (micro-usinages par voie liquide ou par bombar-
dement ionique, dépôts alternant des strates isolantes et des
strates conductrices ou semi-conductrices, etc.). Le même cristal
de silicium peut recevoir divers circuits de conditionnement et de
traitement, d’où le concept de capteur intelligent, c’est-à-dire déli-
vrant une information (par exemple, « le moteur présente du cli-
quetis »), et non plus une simple mesure d’accélération.
Ces capteurs et chaı̂nes complètes de mesure des vibrations
subminiatures sont appelés à un avenir considérable, avec l’essor
des micro et nanotechnologies, et on n’en imagine encore que
très partiellement le champ d’applications (domotique, sécurité…).

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procédant par liaisons mécaniques avec les structures en essai.

Les vibromètres à laser présentent deux avantages sur ces
derniers :
B
– l’absence de contact physique, à la différence d’un capteur de
type classique qui est soit maintenu à courte distance de l’objet
A vibrant (quelques millimètres par exemple dans le cas d’un capteur
de proximité inductif ou électrostatique), soit fixé sur l’objet en le
D surchargeant de la masse du capteur, donc de 1 à 100 g dans le
cas d’un accéléromètre ;
– l’étalonnage par construction, essentiellement lié à la longueur
d’onde du rayonnement servant de référence.
C E
Le principe de fonctionnement de ces vibromètres est fondé sur
la détection de la variation de fréquence du laser modulé par l’effet
Doppler créé sur le rayon réfléchi par la surface vibrante. La vitesse
vibratoire de l’objet est proportionnelle à la variation de fréquence
A lame flexible en porte-à-faux d’un signal de référence modulé par l’effet Doppler.
B pistes conductrices Suivant la technologie des composants optiques mis en œuvre
C zone des jauges piézorésistives diffusées (laser, diode laser, fibre optique, filtre, objectif…), les particularités
D liaisons (fil d'or) des divers vibromètres industriels diffèrent, ainsi que :
E languette de contact
– les domaines de mesure en amplitude et fréquence ;
– les limites de la distance opératoire séparant le vibromètre de
Les contraintes induites par la flexion de la lame sont traduites par un
pont de quatre jauges piézorésistives diffusées dans le rétreint.
la cible en un point de l’objet vibrant.

Figure 2 – Cellule accélérométrique piézorésistive Vectacell

(d’après doc. Vectavib)
4. Capteurs industriels
de vitesse vibratoire
D’autres types de transduction donnent accès à la vitesse vibra-
toire (tableau 3), en particulier ceux qui exploitent la loi de Max-
well, puisque l’intensité qui traverse un bobinage en mouvement
dans un champ magnétique est proportionnelle à la vitesse du
mouvement. Il s’agit évidemment alors d’un mouvement relatif, et
la question de la stabilité du point de référence est une contrainte
forte pour des mesures industrielles.
C’est alors là que l’intérêt de mesures basées sur la détection de
l’effet Doppler causé par la vitesse d’un point vibrant illuminé par
un laser, donc sans contact mécanique, se révèle pleinement : la
référence peut se situer à plusieurs mètres de l’objet vibrant, res-
tant hors de l’influence de ce dernier. Un autre atout est de n’intro-
duire aucune perturbation sur la structure mesurée, un simple
ruban adhésif suffisant comme réflecteur ; de ne requérir aucun
joint tournant sur un ensemble en rotation, etc.
La vibrométrie laser s’est donc développée sur le marché de la
mesure avec la mise au point de vibromètres compacts et assez
faciles d’utilisation (malgré la complexité du processus physique
sous-jacent) qui viennent compléter la gamme des capteurs
5. Capteurs de déplacement
vibratoire industriels
On retrouve, dans les technologies de transduction donnant
accès au déplacement vibratoire, les techniques grapho-mécani-
ques très anciennes (tableau 4). Le choix d’un tel type de capteur
n’a de sens qu’en très basses et extrêmement basses fréquences,
puisque les amplitudes décroissent rapidement quand la fréquence
augmente. Ces capteurs ne concernent donc que des applications
spécifiques, telles que la surveillance sismique. Il existe des réalisa-
tions de capteurs tant linéaires qu’angulaires.
L’immense majorité des capteurs fait appel à une transduction
mécano-électrique (en tension ou en courant), permettant de larges
amplifications ainsi que l’acquisition, le traitement et la mémorisa-
tion par des systèmes informatiques.
Les vibromètres laser présentés au paragraphe précédent peu-
vent aussi être conçus comme capteurs de déplacement vibratoire :
le déplacement de l’objet illuminé est proportionnel au nombre des
franges d’interférences généré entre les rayons incidents et les
rayons rétrodiffusés, dans une même direction, par l’objet : le
déplacement vibratoire normal au rayon est déduit du comptage
des franges.
Une autre approche optique de la mesure des déplacements
vibratoires est l’interférométrie holographique qui a donné lieu à

Tableau 3 – Ordre de grandeur des limites atteintes au moyen de capteurs de vitesse industriels (1)
Vitesse Fréquence
Principe Mise en œuvre
(m.s-1) (Hz)

Électrodynamique :

– linéaire ª 0 à 1 ª 0 à 103 Champ magnétique et bobine mobile

– angulaire ª 0 à 102 tours/s 0 à 102 tours/s Dynamo tachymétrique

-5
Optoélectronique à effet Doppler 10 à 1 ª 0 à 10 4
Rétrodiffusion de rayons laser
(1) Une ligne de ce tableau ne correspond pas à un capteur déterminé, mais indique une performance réalisable par au moins un capteur fondé sur le principe
énoncé.

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Tableau 4 – Ordre de grandeur des limites

atteintes au moyen de capteurs de déplacement industriels (1)

Déplacement Fréquence
Principe Mise en œuvre
(m) (Hz)

Grapho-mécanique (vibrographes) 10-3 à 10-2 10-1 à 103 Stylet sur papier ciré

Résistif :

– à piste :

• linéaire 10-2 à 1 0 à 10
Pistes bobinées ou moulées

• angulaire 0 à 350 0 à 10 tours/s

– extensométrique fonction du support Jauges à fil collées

Inductif :

– linéaire 10-7 à 10-2 0 à 102

Transformateur différentiel ou inductance
mutuelle
– angulaire 0 à 360 0 à 102 tours/s

Électrostatique 10-8 à 10-3 0 à 104 Métrologie capacitive

Optique et optoélectronique :

– à traits :

• linéaire 10-7 à 1 0 à 102

Règle ou disque gravés ou codés
• angulaire 0 à 360 0 à 102 tours/s

– photométrique 10-4 à 10-3 0 à 104 Fibres optiques et réflexion

-7 -1 2
– interférométrique 10 à 10 0 à 10 Comptage de franges
-8 -3
– à effet Doppler 10 à 10 ª 0 à 10 4
Intégration du signal vitesse
(1) Une ligne de ce tableau ne correspond pas à un capteur déterminé, mais indique une performance réalisable par au moins un capteur fondé sur le principe
énoncé.

des réalisations intéressantes conduisant, par exemple, après expo-
sitions photographiques successives, à des mesurages de défor-
mées précises à 0,1 mm près sur des structures d’échelles très
variées (de quelques millimètres carrés à quelques dizaines de
mètres carrés). L’ISL (Institut franco-allemand de recherches de
Saint-Louis), qui travaille de longue date sur ces problèmes, envi-
sage la mesure de déplacement 3D en temps quasi réel sur sites
industriels, avec la possibilité de mise en œuvre de la cinéhologra-
phie interférométrique. Un avantage est de fournir en une seule
mesure la carte complète du champ vibratoire de la face illuminée,
au lieu d’une mesure ponctuelle.
Remarque : ces travaux, ainsi que d’autres analogues, sont
délicats à rationaliser. Simplifiés au niveau des normes pour
en vulgariser la diffusion, ils n’en restent pas moins fort
complexes.
6. Capteurs de forces
et « têtes d’impédance »
Une rondelle de matériau piézo-électrique peut facilement être
insérée dans une interface entre deux structures (par exemple
entre une machine et sa fondation) pour mesurer les efforts
dynamiques transmis. Elle sera le plus souvent mise en précon-
trainte par un boulon central. Les efforts transmis se partageant
entre la rondelle piézo-électrique et cette tige de précontrainte sui-
vant l’exact prorata de leurs raideurs respectives, qui peuvent être
étalonnées très précisément, permettent de déterminer l’effort
total. On appelle ce dispositif de mesure des efforts vibratoires
« capteur de forces » ou « rondelle de charges ». Réalisées en géné-
ral en quartz piézo-électrique pour présenter une très grande rai-
deur intrinsèque, elles ne mesurent que les efforts dynamiques.
De manière similaire à la construction des accéléromètres, les
détails constructifs sont essentiels pour assurer une mesure de
bonne qualité. Il faut aussi que les surfaces en présence soient rec-
tifiées et graissées ; on interpose le plus souvent des rondelles spé-
cialement conçues. Ces dernières peuvent être rotulées pour garan-
tir un parfait alignement des surfaces en regard.
On trouve dans les catalogues des constructeurs tant des disposi-
tifs uniaxiaux que biaxiaux ou triaxiaux, associant des anneaux de
céramique polarisés dans des axes différents. En montant quatre
rondelles entre deux interfaces rectangulaires, on peut constituer
une « balance de forces » donnant directement accès, après condi-
tionnement, aux six composantes du torseur d’efforts dynamiques.
Dans le contexte de l’analyse dynamique des structures par mise
en vibration artificielle (cf. article Vibrations des structures industriel-
les. Outils et méthodes d’analyse expérimentale [R 6 192] § 1.2.3), on
trouve sur le marché des dispositifs imbriquant un capteur d’effort et
un accéléromètre, dits « tête d’impédance », destinés à instrumenter

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–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– CAPTEURS INDUSTRIELS DE VIBRATION
l’interface entre le vibrateur et la structure excitée, et assurer ainsi la
mesure du rapport g/F défini comme l’accélérance (dénominations
normalisées des relations entrée/sortie ponctuelles en analyse vibra-
toire d’après la norme ISO 7626-1). Par traitement, on peut facile-
ment réaliser le calcul d’intégration simple ou double pour remonter
respectivement de l’accélération à la vitesse ou au déplacement
vibratoire ; on peut ainsi déterminer n’importe laquelle des gran-
deurs définies dans l’article [R 6 191], parmi lesquelles l’impédance
dynamique, d’où le nom de ce dispositif.
Il est important de garder en mémoire que l’insertion d’une tête
d’impédance dans la commande mécanique crée une discontinuité
de raideur et de masse plus élevée que l’utilisation d’un anneau de
force et d’un accéléromètre miniatures. La discussion des erreurs
introduites doit être entreprise, cas par cas, déjà en basse fré-
quence ( ª 10 à 102 Hz). De 102 à 103 Hz environ, les attelages méca-
niques d’insertion de la tête d’impédance posent eux-mêmes des
problèmes de rupture d’impédance et/ou de résonance parasite.
La crédibilité des résultats doit être démontrée dans tous les cas
d’emploi et, a fortiori, pour des fréquences atteignant ou dépassant
103 Hz.
7. Capteur à prétraitement
intégré
On trouve sur le marché des transducteurs permettant de satis-
faire à des normes particulières.
Exemples de transducteurs de grandeurs normalisées
& La valeur efficace Vf de la vitesse vibratoire est la grandeur de
référence des machines tournantes ayant une fréquence de rotation
entre 10 et 200 s-1 (NF E 90-300, mai 1978). Les mesures de Vf
effectuées sur les chapeaux de paliers de machines sont prévues
dans les limites 0,28 < Vf (mm.s-1) < 45 et pour les fréquences
10 < f (Hz) < 1 000.
& L’accélération équivalente aeq, qui tient compte d’un effet de
cumul des vibrations tridirectionnelles, est la grandeur utilisée pour
l’évaluation de l’exposition des individus aux vibrations transmises
aux membres supérieurs. Il s’agit de mesurer les vibrations intenses
qui peuvent être transmises par les machines-outils et pièces vibran-
tes aux mains et aux bras des personnes qui les utilisent (NF E 90-
401-2, avril 2001 et NF EN ISO 5349-1). Les limites de la cote d’alerte
dues à aeq, soit 6 < aeq (m.s-2) < 20, dépendent aussi de la durée t
d’exposition journalière aux vibrations, soit 0,5 < t (h) < 6, et de la
gamme de fréquence dans les limites 5 < f (Hz) < 1 500.
8. Précautions de montage
des capteurs de vibrations
Le meilleur capteur de vibrations du monde ne peut fournir de
résultats fidèles qu’aux conditions suivantes :
– il ne doit pas altérer la réponse qu’aurait la structure vibrante
en son absence ;
– il doit retranscrire totalement le mouvement du point de la
structure où on l’a implanté.
Le premier point pose avant tout la question d’une miniaturisa-
tion suffisante, la perturbation fondamentale étant la masse du
capteur. Le second point pose, lui, la question de la qualité du cou-
plage entre capteur et structure.
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8.1 Masse maximale du capteur
Pour fournir un guide concret à l’expérimentateur, on s’intéresse
au cas d’une plaque plane – donc facile à modéliser analytique-
ment – d’épaisseur h, en matériau de module d’Young E et de den-
sité r, dont les ondes vibratoires longitudinales ont une célérité CL,
et dont on veut mesurer les vibrations avec un accéléromètre de
masse mA.
On démontre que la perturbation de la masse mA est une fonc-
tion qui croı̂t avec la fréquence. Dès lors, un accéléromètre donné
ne permet la mesure sans perturbation notable de la vibration de la
plaque que jusqu’à une fréquence maximum fMAX donnée par la
formule suivante :
fMAX < 0,2 ρCLh2 / mA
où CL est la racine de (E/r).
À titre d’exemple, si l’on dispose d’un accéléromètre de 10 gram-
mes, on pourra effectuer des mesures de vibrations sur une plaque
d’acier jusqu’aux fréquences maximales suivantes :
 plaque épaisseur 1 mm : fréquence max = 840 Hz ;
 plaque épaisseur 2 mm : fréquence max = 3 370 Hz ;
 plaque épaisseur 3 mm : fréquence max = 7 600 Hz.
Bien entendu, ces chiffres sont près de trois fois plus faibles pour
de l’aluminium. C’est donc une limite qui peut être vite atteinte, en
particulier quand on conduit des essais sur des maquettes à échelle
réduite.
Réciproquement, on peut déduire la masse maximale du capteur
en fonction des objectifs en fréquence de l’essai.
8.2 Méthode de fixation
Le second paramètre important est la rigidité du couplage offert
par l’interface utilisée entre le capteur et la structure. Ce point est
traité par la norme ISO 5348 à laquelle on se reportera très
utilement.
L’usage d’un aimant en interface de l’accéléromètre est très com-
mode pour des mesures rapides en divers points d’une structure
métallique courante, mais cesse d’être utilisable au-delà de 2 kHz.
Tenu à la main, c’est à peine 500 Hz que l’on peut atteindre avec
un capteur sur une pointe de touche ! Un adhésif double face
mince permettra d’atteindre 5 kHz (les versions épaisses étant à
proscrire absolument).
Pour aller au-delà de 5 kHz, il est possible d’utiliser de la cire en
couche très mince (f maximale environ 10 kHz), mais la solution la
plus sûre reste une liaison par goujon en prenant soin de graisser
l’interface. Réalisée par un filetage directement sur la structure,
localement rectifiée, on peut atteindre 20 kHz, voire plus ! Une solu-
tion moins contraignante et très fiable est de coller, avec un ciment-
colle à très haut module, des embases isolantes électriquement
dotées d’un embout fileté au pas des embases d’accéléromètres,
que l’on graissera. Un avantage supplémentaire est que les points
de mesure sont bien matérialisés, et que l’on garantit ainsi la repro-
ductibilité de mesures de contrôle ultérieures. Cette approche n’est
pas irréversible, ces ciments-colles à haut module étant cassants,
dès lors un léger coup de maillet suffira à décoller les embases et
à éliminer les traces de colle.
9. Précautions de câblage
des capteurs de vibrations
Les signaux électriques générés par la plupart de ces transduc-
teurs sont, avant amplification, extrêmement ténus : typiquement,
la sensibilité d’un petit accéléromètre piézo-électrique de type
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CAPTEURS INDUSTRIELS DE VIBRATION –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––

« Tonpilz » n’est que de quelques picocoulombs par « g », donc les

charges mises en jeu par une mesure courante à peine de l’ordre
du nanocoulomb ! Certes, cela représente encore un nombre
appréciable d’électrons (dont la charge élémentaire est égale à
- 1,6 ¥ 10-19 C) mais reste un signal extrêmement faible pour
Ne doit pas
l’électronicien. vibrer
En particulier, il est du même ordre de grandeur qu’un certain Objet vibrant
nombre de phénomènes parasites :
– la génération de charges électriques par une fluctuation de tem- Ne doit pas
vibrer
pérature (thermoélectricité) ;
– la génération de charges électriques par les mouvements rela-
tifs entre conducteurs et isolants (triboélectricité) ;
– les influences électromagnétiques entre conducteurs proches
(EMC-EMI : electromagnetic compatibility – electromagnetic À fixer à l’objet
interference). vibrant
Chaque fois que l’expérimentateur utilise des capteurs sans
préamplificateur intégré, et/ou que ses systèmes d’acquisition
sont déportés à une distance appréciable des capteurs (par exem- Figure 3 – Précautions typiques de câblage des accéléromètres piézo-
ple pour des questions de sécurité), il se doit de prendre d’extrê- électriques pour éviter les bruits tribo-électriques induits
mes précautions : par la vibration des câbles (source : ISO/DIS 5348)

– attendre la stabilisation en température, utiliser si besoin des

interfaces isolantes ;
– immobiliser les câbles des accéléromètres pour éviter qu’ils
vibrent eux-mêmes (voir norme ISO 5348, dont est extraite la
figure 3) ;
– utiliser des câbles « à faible niveau de bruit triboélectrique »
spécialement conçus (tels que les coaxiaux « minibruit », avec une
couche de graphite en périphérie du conducteur) ;
– dissocier dans le routage des câbles les tensions élevées et les
basses tensions, les hautes impédances et les faibles impédances,
les signaux forts et les signaux faibles, et prendre un soin extrême
dans la conception des borniers et passages de cloisons ;
– tester et retester le dispositif expérimental, et en particulier
conduire des mesures de référence en déconnectant physiquement
les capteurs de réception et les isolant le temps de la mesure de
contrôle sur un pavé de mousse souple, tout le reste du dispositif
expérimental et son environnement étant en conditions nominales
(excitateurs activés à pleine puissance, systèmes de refroidisse-
ment en route…).

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