LE JOURNAL DE PHYSIQUE TOME 38, JUIN 1977, 669

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Physics Abstracts
5.480 -
6.500

EXCITATION DES IONS N+2 DANS DES DÉCHARGES R.F. (*)

A. RICARD, M. TOUZEAU
Laboratoire de Physique des Plasmas (**), Bâtiment 212
Université Paris-Sud, Centre d’Orsay, 91405 Orsay, France
et

M. MOISAN
Laboratoire de Physique des Plasmas, Université de Montréal, Canada

(Reçu le 30 decembre 1976, révisé le 18 février 1977, accepte le 22 fevrier 1977)

Résumé. L’excitation de l’azote par collisions électroniques dans des décharges R.F. est étudiée
2014

à partir de l’émission des bandes moléculaires. Aux fortes valeurs de nx R et de ne/nx, les raies ioniques
sont excitées par collisions électroniques sur les ions N+2(x). Les résultats expérimentaux, obtenus
pour nx R 5 x 1015 cm-2, montrent que la section efficace d’excitation des ions N+2 publiée par
Lee-Carleton (1968) est d’un ordre de grandeur trop élevée.
Abstract. Excitation of nitrogen by electron collision in R.F. discharges is studied from the
2014

emission of the molecular bands. For high values of nx R and ne/nx, the ionic lines are excited by elec-
trons colliding with N+2(x) ions. The expérimental results, obtained in the range

nx R 5 x 1015 cm-2,
show that the N+2 excitation cross-section published by Lee-Carleton (1968) is an order of magnitude
too high.

1. Introduction. La connaissance des mécanismes

-

scopie sont compl6t6es par celles de la densit6 des

d’excitation et d’ionisation dans les d6charges 6lec- electrons.
triques d’azote est fondamentale pour 1’6tude des
reactions en chimie des plasmas. 2. Sources à plasmas et dispositifs de mesures. -

Suivant les valeurs de nx R et du degr6 d’ionisation Le dispositif experimental est represente sur la
ne/nx (nx concentration des neutres, R rayon du tube figure 1. Le tube a d6charge (T) est en quartz de dia-
a d6charge et n, concentration des electrons), les metres extérieur 12,4 mm et int6rieur 10,1 mm. 11
raies ioniques de l’azote peuvent 8tre excitées direc- peut 8tre excite soit par un surfatron (S1), soit par un
tement par collisions électroniques sur le fondamental surfaguide (S2). Une cavite de mesure (C) permet de
neutre ou en plusieurs 6tapes par 1’intermediaire determiner la concentration electronique a 5 cm de la
du fondamental ionique. Les bilans d’excitation
sont 6tablis a partir de sections efficaces experimen-
tales. Les deux valeurs publi6es dans la litt6rature
pour la réexcitation de l’ion sont en profond d6saccord
entre elles. Nos resultats permettent d’61iminer l’une
d’entre elles.
Le plasma d’azote est produit par des d6charges
R.F. designees par surfatron et surfaguide [1]. Ces
plasmas sont tres stables et peuvent atteindre des
degr6s d’ionisation 6lev6s. Les mesures de spectro- FIG. 1. -

Schema du montage
experimental : (S1) Surfatron,
gap g = 2 (S2) Surfaguide. (C) Cavit6 de mesure, mode
mm.
TM 010,1= 5 cm. (T) Tube a d6charge, dia. 10,1-12,4 mm.
(*) Communication presentee au Congres National de Physi- [Schematic of the experimental system : (Si) Surfatron,
que des Plasmas. Paris, 6-10 decembre 1976. gap g = 2 mm. (S2) Surfaguide. (C) Probe cavity, mode TM 010
(**) Laboratoire Associ6 au C.N.R.S. I 5 cm. (T) Discharge tube, dia. 10.1-12.4 mm.]
=

Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphys:01977003806066900

670
sortie de l’une des structures (S1) ou (S2). Les mesures
spectroscopiques sont effectuees au travers de la
cavite de mesure (C) par un trou d’observation de
diametre 4 mm.
Le tube (T) est reli6 a un bati a vide secondaire
muni d’un dispositif de remplissage en gaz. Un vide
limite voisin de 5 x 10-’ torr peut 8tre obtenu avant
l’introduction de 1’azote.
Les structures R.F. (surfatron et surfaguide) sont
plac6es autour du tube a d6charge. Elles produisent
une onde de surface qui se propage le long du tube
et qui possede un champ electrique de sym6trie
azimutale (m =
0). La propagation de cette onde
assure le maintien de la d6charge. Ces plasmas sont
tres calmes, d6pourvus de stries et parfaitement
reproductibles du fait qu’il n’existe qu’un seul mode
de propagation.
Le surfatron utilise fonctionne a la frequence de
350 MHz, ses dimensions sont : diametre 7,5 cm,
longueur 5 cm, gap g 2 mm (cf. Fig. 1). La puis-
=
sance H.F. effectivement transmise au plasma est
comprise entre 100 et 150 W pour une pression d’azote
variable de 0,5 a 3 torr.
Le surfaguide est constitue d’un guide d’ondes
perc6 suivant son grand cote. 11 est alimente en continu
par un magnetron fonctionnant a la frequence de
2 450 MHz et d6livrant une puissance de 300 W.
Comme le montre la figure 1, le tube a d6charge est
place suivant 1’axe des trous du surfaguide dont les
diam6tres sont de 1,2 a 2 fois plus grands que celui
du tube a plasma. Au voisinage des trous, la paroi du
guide d’onde est amincie pour éviter de perturber la
propagation des ondes de surface. Un court-circuit
mobile, place en bout de guide, permet d’obtenir le
maximum de la puissance U.H.F. a 1’emplacement
du tube a plasma. Les pressions d’azote utilisées
sont de 0,1 et 0,2 torr.
Les concentrations 6lectroniques sont mesur6es
avec une cavite hyperfréquence (diametre 15,5 cm,
longueur 4 cm) r6sonnant sur le mode TM 010. Cette
m6thode donne de bons resultats pour les d6charges
entretenues par le surfatron. Pour le surfaguide, les
mesures [6] de la longueur A de l’onde de surface
et l’utilisation de la courbe de dispersion f2/fp2=
g(À.)
pour 1’onde m = 0 ( f frequence de 1’onde, fp fr6-
quence plasma) permettent d’obtenir la densite des
electrons.
Les mesures spectroscopiques sont r6alis6es au
moyen d’un spectrometre Jarrel-Ash 75.150 muni
d’un photomultiplicateur EMI 9.558 C.
3. Bilan d’excitation de 1’azote. -
L’excitation de
1’azote (niveau vibrationnel v’) par collisions 6lectro-
niques (e) est 6tudi6e a partir des reactions suivantes :
ou k et I representent des coefficients de collisions
qui s’expriment a partir de la section efficace a du
processus considere et de la fonction de distribution
en vitesse des electrons f(w) suivant la relation :
3.1 DOMAINE D’EXCITATION DES RAIES IONIQUES EN
DEUX ETAPES. 11 est possible de comparer les taux
-
d’excitation directe (reaction 2) et a partir de l’ion
(reaction 3) dans un diagramme : degr6 d’ionisation,
temperature electronique. Ces deux taux sont égaux
lorsque :
ou nx, nxsont respectivement les concentrations des
neutres et des ions. En considerant que la plupart des
ions sont dans 1’etat N2 (x) et que le plasma est 6lectri-
quement neutre, la relation (5) donne 1’expression du
degr6 d’ionisation suivante :
Les coefficients de collisions k’ (0, 0) et IB+ (0, 0)
pour 1’excitation de la raie ionique N+, A =
3 914,4 A
(v’ =
0, v" =
0) sont calcul6s a partir des sections
efficaces r6pertori6es dans la ref. [2]. Une publication
r6cente de Crandall et al. [3] indique que la section
efficace d’excitation de l’ion N2+ (B) (reaction 3)
précédemment publiee par Lee-Carleton (dans la
r6f. [2]) est surestim6e d’un facteur 20 environ. Diff6-
rents coefficients de collisions, calcul6s pour une
distribution maxwellienne des vitesses 6lectroniques,
sont repr6sent6s sur la figure 2; ils sont calculés à
partir de sections efficaces de raies. On calcule le
coefficient d’excitation de N2 (B, v’ =
0) par exemple
en utilisant la relation :
ou ABX est le coefficient (remission spontanee.
Les courbes de la figure 2 permettent de calculer la
variation de
Les resultats obtenus sont report6s sur la figure 3,
les deux courbes indiqu6es correspondent aux deux
valeurs possibles de lB (o, 0). Dans la region inf6-
rieure (1), 1’excitation directe est dominante tandis
que dans la region superieure (2), c’est 1’excitation
a partir de l’ion qui 1’emporte.
 671

FIG. 2. -

Variation des coefficients d’excitation des niveaux FIG. 3. Variation du degr6 d’ionisation avec la
-

temperature
N (C3 IIu, v’2) et N2+(B2 I:, v’ 0) en fonction de la temp6-
= =
des electrons. Les courbes repr6sentent la variation
rature des electrons (distribution maxwellienne).
[Excitation rate coefficients for the N2 (C3 IIu, v’ 2) and=

Ni(B2 Iu+, v’ =
0)
suivant les references [2] et [3]. Zone 1 : excitation directe
levels versus the electron temperature (maxwellian distribution).]

Les resultats obtenus [4] dans une colonne positive Zone 2 : excitation de l’ion Ni (X2 Ni(B2
Ig+) -+ Eu ) .
a faible densite de courant (2 x 10-2 A/cm2) se [Ionization rate versus the electron temperature. The curves are

placent dans la region 1 du diagramme de la figure 3.

Les d6charges R.F. (surfatron-surfaguide) sont situ6es
en partie dans la region 2. Les points experimentaux the references
following [2] and [3]. Part 1 : Direct excitation
de ces d6charges sont d6duites de la mesure du degr6 N2(X1 E +) , N+(B 2 Eu ). Part 2 : ionic excitation
d’ionisation et de 1’estimation de la temperature
6lectronique a partir de la courbe universelle de
Brown-Von Engel [5]. Pour nx R 1015 CM-2, les
temperatures 6lectroniques sont calculees suivant le Pour 1’excitation a partir de l’ion N2 (x) (reaction 3) :
regime de la chute libre. Pour nx R > 1015 cm-2, la
diffusion des electrons est ambipolaire. Des exp6-
riences r6centes [6] ont permis de verifier ce modele
pour les d6charges R.F. utilis6es.
3.2 RAPPORT D’INTENSITÉS DE RAIES IONIQUE ET ou Q(2, 0) est calcule a partir de la relaxation colli-
NEUTRE. Le rapport (r) des intensités de la raie
-
sionnelle avec les neutres (quenching) des niveaux
ionique N’, A = 3 914,4 A (transition B2 E:, N2 (B, 0) et N2(C, 2) (ref. [4]). Ce coefficient est voisin
v’ = 0 - x2 Eg+, v" 0) et de la raie neutre voisine
=
de 1 pour les pressions p 0,5 torr, Q(2, 0) 0,75 =

N2, A 3=
943 A (transition C3 IIu, v’ 2 -+ B3 IIg, =
a 1 torr et Q(2, 0) 0,52 a 3 torr.
=

v" - 5) s’exprime en fonction des coefficients de Les variations

collisions des reactions (1) a (3). Dans le cas de 1’excita-
tion directe (reactions 1 et 2) :

sont d6duites des courbes de la figure 2. Les degr6s

d’ionisation sont mesures pour differents nx R et les
672
temperatures 6lectroniques calculées [5]. Nous avons
v6rifi6 [4] avec une colonne positive que les temp6ra-
tures ainsi calcul6es sont en accord avec les mesures
par sondes entre 5 x 10-2 et 5 x 10 -1 torr.cm.
Les variations de r, et r2 avec n. R, calcul6es pour
les d6charges R.F., sont repr6sent6es sur la figure 4,
avec les deux valeurs possibles de r2 (r6f. [2 et 3]).
Les valeurs du rapport r 1 (3 914 Å)/I (3 943 A)
=
mesurées dans les d6charges R.F. et, a titre de compa-
raison, dans une colonne positive sont également
reportees sur la figure 4. On constate, comme cela
a ete mentionn6 dans la ref. [4], que les resultats
obtenus pour :
avec la colonne positive sont caractéristiques de
1’excitation directe des ions N’ B par collisions 6lec-
troniques. Dans ce domaine experimental, la distri-
bution des electrons est effectivement maxwellienne
et le rapport r 1 (3 914 Å)/I (3 943 A) peut consti-
=
tuer une m6thode de mesure de la temperature 6lec-
tronique.
FIG. 4. -
Variation du rapport des intensit6s des raies spectrales
N!(B,O -+ X, 0), A 3 914 A et N2(C, 2 -+ B, 5), A 3 943 A.
= =
Les courbes sont calculées a partir des degr6s d’ionisation mesures
dans les d6charges R.F. : rl, excitation directe N2(X) -+ N2+(B, 0),
N2(C, 2) ; r2, excitation N’(X) -+ Ni (B, 0) et N2(X) -+ N2(C, 2),
suivant les references [2] et [3]. Les valeurs exp6rimentales des
d6charges R.F. et d’une colonne positive C+ (r6f. [4]) sont indiquees.
[Ratio of the spectral line intensities N2+(B,O) -+ (X, 0),
A = 3 914 A and N2(C, 2 - B, 5), A =3 943 A. Curves are cal-
culated from the ionization rates measured in the R.F. discharges :
71’ direct excitation N2(X) -+ N2+ (B, 0), N2(C, 2); r2, excita-
tion NI(X) -+ N2+ (B, 0) and N2(X) -+ N2(C, 2), following the
references [2] and [3]. The experimental values are given for the
R.F. discharges and a positive column C+ (ref. [4]).]
Les valeurs expérimentales trouvées dans les d6char-
ges R.F. pour nx R 5 X 1015 cm-2 correspondent
Bibliographie
[1] MOISAN, M. et al., I.E.E. Conf. Publ. 143 (1976) 382.
[2] LABORIE, P. et al., Sections efficaces électroniques. 2 (Dunod)
1971.
[3] CRANDALL, D. H. et al., Phys. Rev. A 9 (1974) 2545.
[4] HOCHARD, L., RICARD, A., TOUZEAU, M., Rapport interne
L.P. 148 Orsay (1975).
assez bien a la courbe r1 + r2 (3) bien que les densit6s
6lectroniques dans ces d6charges ne soient pas suffi-
samment 6lev6es pour s6parer nettement les courbes
r1 et r1 + r2 (3). Toujours est-il que la section efficace
de Lee-Carleton [2] donne des valeurs r, + r2 (2)
trop 6lev6es. Notre interpretation rejoint celle de
McLean et al. [7] qui ont 6tudi6 l’émission des raies
Ni, À 3 914 Å et N2, À 3 371 A dans un melange
= =
N2-10 % H2, photoionis6 a la suite d’une impulsion
laser. Les conclusions de McLean et al. [7] ont 6t6
critiqu6es par Meyerott [8] qui introduit le role
possible des especes m6tastables N 2(A 3 E u +, al IIg)
dans 1’excitation de 1’6tat N2(C’ llu).
Dans notre experience, la distribution des electrons
a basse pression (nx R 5 X 1015 cm-2) est maxwel-
lienne et nous pouvons determiner [5, 6] la temp6ra-
ture electronique. Ainsi, les resultats report6s sur la
figure 4 correspondent a des temperatures 6lectroni-
ques comprises entre 2,5 et 5 eV. Ces valeurs permet-
tent raisonnablement d’exclure 1’excitation de C3 H.
par l’intermédiaire des niveaux m6tastables (a1 I7g,
A3 Eu+). En effet, d’apres Meyerott [8], ce processus
est important a des temperatures électroniques plus
faibles (Te 1"-1 1 eV). En ce qui conceme 1’excitation
du niveau ionique Ni(B2 Eu ), la reaction (3) ne
considere que la derniere 6tape du processus. Nous
n’avons donc pas besoin de connaitre les m6canismes
de peuplement du fondamental ionique.
A des pressions plus fortes :nx R > 5 x 1015 cm- 2,
nos valeurs exp6rimentales du rapport
croissent plus vite que les valeurs calcul6es. Dans ce
domaine, il convient de consid6rer d’une part que la
distribution des electrons n’est plus maxwellienne et
d’autre part que les molecules m6tastables peuvent
alors servir de relai a 1’excitation de 1’azote.
4. Conclusion. Les plasmas d’azote a faible
-
pression et fort degre d’ionisation produisent une
emission spectrale riche en raies d’ions N’. Pour
nx R 5 x 1015 cm-2, les resultats experimentaux
obtenus avec les d6charges R.F. (surfatron et surfa-
guide) indiquent une excitation directe de N2(x) par
collisions 6lectroniques a laquelle s’ajoute une faible
excitation de l’ion N2+ (x) suivant la section efficace
de Crandall [3]. La section efficace publi6e par Lee-
Carleton [2] donne des valeurs calcul6es d’un ordre
de grandeur trop élevé. Des experiences avec de forts
degr6s d’ionisation ( > 10- 3) sont pr6vues.
[5] BROWN, S. C., Basic Data of Plasma Physics (M.I.T. Press)
1959.
[6] ZAKREWSKI, Z. et al., Plasma Phys. (à paraître 1977).
[7] McLEAN, E. A. et al., Phys. Lett. 38A (1972) 209.
[8] MEYEROTT, R. E., Phys. Lett. 48A (1974) 491.