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MES U R E D E D É P L A C E M E N T

Quel capteur choisir pour

une mesure sans contact ?

Qu’ils soient placés au-dessus d’un convoyeur ou intégrés à un banc d’essai, les à la valeur de déplacement souhaitée. Le
capteurs de déplacement passent facilement inaperçus. Pourtant, leur rôle est principal intérêt de la méthode, c’est sa
souvent stratégique. Suivant les cas, ils réalisent des mesures dimensionnelles, robustesse. Comme les capteurs à courants
ils contrôlent des positions ou des niveaux, ils mesurent une épaisseur… bref, ils de Foucault ne “voient” rien d’autre que les
savent tout faire, ou presque. Mais le choix du “bon” capteur n’est pas si facile. matériaux conducteurs électriques, ils sont
Suivant les besoins ou les contraintes de l’application, certaines technologies sont insensibles à tout le reste. On peut donc les
plus adaptées que d’autres. Les capteurs sans contact, par exemple, sont les seuls utiliser dans les environnements difficiles
à pouvoir contrôler des objets en défilement à haute cadence, mesurer des dépla- (en présence de poussières, d’humidité,
cements rapides, ou contrôler des matériaux fragiles. Reste ensuite à choisir la d’huile, etc.). Les capteurs fonctionnent aussi
technologie la plus adaptée… dans des ambiances où règnent des tempé-
ratures élevées (au-delà de 150 °C) ou s’ils
sont soumis à de fortes pressions. La préci-

L
sion est relativement importante (typique-
es capteurs de déplacement sont de très nombreux critères à prendre en ment jusqu’au dixième de micromètre),
utilisés dans de très nombreuses compte : la robustesse, bien sûr, mais aussi mais la distance de mesure demeure faible
applications de contrôle industriel. les caractéristiques métrologiques (préci- (quelques millimètres).
Suivant les besoins, on les emploie sion, résolution, distance de travail…), la Reste que la variation d’impédance mesurée
pour évaluer la qualité dimensionnelle des stabilité thermique, la fréquence d’utilisa- est sensible à de nombreux autres facteurs,
produits, pour contrôler des mouvements, tion, etc. Toutes ces variables imposent de tels que la nature du matériau, son homo-
ou encore pour surveiller des niveaux de bien connaître les avantages et les restrictions généité, sa conductivité électrique ou encore
remplissage. Pour répondre à chacune de ces d’usage des différents procédés de mesure son épaisseur. Cette contrainte nécessite de
applications, les capteurs doivent s’adapter en fonction des besoins de l’application. prendre plusieurs précautions, et en particu-
aux conditions les plus Parmi les nombreux principes de mesure lier d’étalonner correctement le capteur pour
variées… et parfois employés, quatre technologies ont large- chaque application, avant d’effectuer les me-
L’essentiel
aux environnements ment fait leurs preuves : les capteurs à cou- sures. Malgré cela, les capteurs à courants de
 Il existe une grande variété
les plus hostiles. Ils rants de Foucault, les capteurs capacitifs, la Foucault restent incontournables dans plu-
de capteurs de déplacement peuvent être plongés triangulation laser et la mesure confocale. sieurs types d’applications. On les utilise
sans contact, mais chaque dans l’huile, subir de Chacune d’entre elles présente des caracté- généralement lorsqu’il est nécessaire de me-
technologie a un champ fortes variations de ristiques qui lui sont propres. surer des déplacements très faibles à grande
d’applications qui lui est température ou être vitesse et dans un environnement difficile.
propre. exposés à des vapeurs Courants de Foucault : Grâce à leur robustesse, ils fonctionnent dans
 Les courants de Foucault, chaudes. Ils doivent la robustesse avant tout les bancs de test moteur, ou même au cœur
par exemple, sont privilégiés parfois contrôler des Le principe de la mesure par courants de
dans les environnements pièces soumises à de Foucault n’est rien d’autre qu’un procédé
difficiles, tandis que fortes vibrations, dans inductif. Les capteurs sont constitués d’une
la mesure capacitive est des champs électro- bobine alimentée en courant alternatif. Celle-ci
appréciée pour sa précision magnétiques intenses, émet un champ magnétique de fréquence
élevée. ou encore à grande élevée qui provoque l’apparition de courants
 La mesure confocale et distance. Comme sou- de Foucault dans tout objet conducteur placé
la triangulation laser, quant vent dans ces cas-là, il à proximité (c’est la loi d’induction de
à elles, offrent des vitesses
n’existe pas de techno- Faraday). Le champ généré par les courants
d’acquisition plus faibles,
logie “idéale” pouvant induits engendre une force opposée à celle
mais elles conviennent
à d’autres matériaux et répondre à l’ensemble de la bobine, et donc une variation d’impé-
fonctionnent à plus grande des applications. Pour dance de cette dernière. Cette variation
Les capteurs de déplacement sont souvent utilisés dans un
distance. choisir le capteur le dépend entre autres de la distance entre le environnement industriel difficile. La robustesse est
plus adapté, il y a donc capteur et l’objet. En la mesurant, on accède donc un critère important dans le choix du principe de mesure.

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Les capteurs chromatiques confocaux sont privilégiés dans tous les cas où la résolution requise est importante, ou lorsque
la triangulation laser est problématique. On les utilise par exemple pour contrôler la topographie des surfaces,
ou pour réaliser des mesures dans des cavités étroites. Comme la méthode est coaxiale, il n’y a pas de phénomène de zone d’ombre.
des machines-outils (pour vérifier, par
exemple, qu’un outil est correctement placé,
ou qu’un mécanisme de va-et-vient fonc-
tionne bien). Les courants de Foucault pé-
nètrent également les matériaux isolants,
une propriété intéressante lorsqu’on sou-
haite mesurer la distance entre le capteur et
un métal recouvert d’une couche isolante.
Autre application typique : les bancs d’essai
qui contrôlent automatiquement la qualité
dimensionnelle des soudures sur des pièces
en mouvement. Seuls les courants de
Foucault s’affranchissent en effet des pertur-
bations électromagnétiques liées au robot de
soudage. Le mouvement des bords de sou-
dure peut être mesuré avec une précision de
l’ordre du micromètre, voire mieux.
Le procédé capacitif,
pour une précision élevée
Dans le procédé capacitif, le capteur et l’objet
dont on souhaite mesurer le déplacement
agissent comme un condensateur à plaques.
Lorsqu’un courant alternatif de fréquence
constante traverse le condensateur, l’ampli-
tude de la tension alternative présente au
niveau du capteur est proportionnelle à la
distance entre le capteur et l’objet.
Les capteurs capacitifs se distinguent par une
précision et une résolution particulièrement
élevées. Certains modèles proposés par Micro-
Epsilon permettent ainsi d’aller jusqu’à
10-10 m, voire mieux. Le procédé s’applique
à tout type de matériau diélectrique, et
même à des matériaux isolants, s’ils viennent
modifier la constante diélectrique du milieu
situé entre les deux électrodes. Dans ce cas,
c’est grâce à un câblage électronique spéci-
fique (et sous certaines conditions) que l’on
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peut détecter cette variation et obtenir un
signal de mesure. Le capteur capacitif fonc-
tionne à des températures élevées (au-delà
de 150 °C) et il n’est pas affecté par les
variations de température, puisqu’elles n’ont
pas d’influence sur le diélectrique. Pour la
même raison, il est aussi opérationnel dans
le vide ou soumis à de fortes pressions, et il
n’est pas influencé par l’hétérogénéité du
matériau. En revanche, il requiert un envi-
ronnement propre et il est sensible à l’humi-
dité. Autre limitation, une distance de travail
généralement très faible (de l’ordre de 1 ou
2 millimètres).
Les capteurs capacitifs sont privilégiés dans
les applications nécessitant la mesure de très
faibles déplacements à fréquence élevée, avec
une très haute précision. Comme la méthode
n’est pas ponctuelle, on l’utilise également
pour contrôler des matériaux fibreux, ou
toutes sortes de pièces dont la surface est
hétérogène. Autres exemples d’applications,
le contrôle des optiques de réduction utili-
sées dans la fabrication des microproces-
seurs, ou encore la mesure de la déformation
des disques de frein sur bancs d’essai. Pour
connaître la déformation qu’ils subissent lors
d’un freinage, les disques de frein sont en
effet soumis à des vitesses de rotations im-
portantes et à des températures élevées (jus-
qu’à 600 °C). Il faut donc que le système de
mesure fonctionne à haute fréquence, sans
être influencé par les variations des propriétés
magnétiques ou conductrices de la pièce
sous l’effet de la température. La déforma-
tion mesurée étant de l’ordre de 100 micro-
mètres, le capteur doit aussi afficher une
haute résolution. Dans de telles conditions,
seul le capteur capacitif convient.
Solutions
Dans les capteurs à triangulation laser,
une diode émet un faisceau laser vers l’objet
à mesurer. Le faisceau réfléchi est renvoyé
suivant un certain angle vers le récepteur.
Lorsque l’objet se déplace, l’angle de réception
varie, et avec lui la position du spot lumineux
sur le détecteur.
La triangulation laser :
une mesure à distance
Contrairement aux deux capteurs précé-
dents, basés sur un principe électromagné-
tique, les capteurs à triangulation laser utili-
sent un procédé optique. Leur principe est
relativement simple. Une diode émet un
faisceau laser vers l’objet à mesurer. Le fais-
ceau réfléchi à la surface de l’objet est alors
renvoyé suivant un certain angle sur un cap-
teur numérique de type CCD ou CMOS (ou
sur un élément analogique PSD). Lorsque
l’objet se déplace, l’angle de réception du ➜
Les questions à se poser
pour faire son choix
Pour choisir le capteur le plus adapté à l’applica-
tion, il faut prendre en compte un grand nombre
de critères. Voici quelques questions à se poser :
• Quels sont la plage de mesure et le degré de
précision requis ?
• Sur quoi porte la mesure ?
(déplacement, épaisseur, courbure, etc.)
• De quel matériau se compose l’objet à mesurer ?
(Est-il transparent ? réfléchissant ?
homogène ? etc.)
• Comment la surface de l’objet se présente-t-elle ?
(Y a-t-il un relief important ?
La surface est-elle homogène ?)
• L’objet à mesurer est-il conducteur électrique ?
• A quelle température le capteur sera-t-il utilisé ?
• La température ambiante est-elle constante
ou variable ?
• Dans quel environnement le capteur sera-t-il
employé ? (poussières, humidité, projections
d’huile, vapeurs chaudes, etc.)
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Solutions
Caractéristiques des différentes méthodes
Principe de mesure Courants de Foucault Capacitif Triangulation laser Confocal chromatique
Précision Elevée Très élevée Moyenne Elevée
Résolution Moyenne Très élevée Moyenne Elevée
Plage de température Oui Oui Oui Oui
• Jusqu’à 40 °C Oui Oui Non Oui
• Jusqu’à 90 °C Oui Oui Non Oui
• Jusqu’à 150 °C Oui Oui Non Non
• Au-delà de 150 °C
Encombrement du capteur Faible Faible Moyen Faible
Robustesse Elevée Moyenne Moyenne Elevée
Distances de mesure Faible Faible Elevée Moyenne
Fréquence de mesure Très élevée Très élevée Elevée Elevée
Type d’objet mesuré :
• Transparent Non Oui (sous conditions) Oui (sous conditions) Oui
• Métaux Oui Oui Oui Oui
• Isolant Non Oui (sous conditions) Oui Oui

Le contrôle s’effectue parfois dans un environnement soumis à de fortes vibrations,
ou à des champs électromagnétiques intenses. De même les capteurs peuvent
subir de fortes variations de température.
D’autres types de capteurs, avec ou sans contact
Les mesures capacitives, à courants de Foucault,
confocale ou à triangulation laser ne sont pas
les seules méthodes utilisées dans la mesure de
déplacement. D’autres procédés sans contact
ont également fait leurs preuves. C’est le cas, par
exemple, des capteurs magnétostrictifs ou
des capteurs inductifs. Moins coûteux (et moins
précis) que les capteurs à courants de Foucault,
ces derniers conviennent à tout type de
matériau ferromagnétique. Citons également
les capteurs à ultrasons, privilégiés dans
le contrôle de niveaux. Dans les procédés
optiques, on peut citer les capteurs basés sur la
mesure du temps de vol. La mesure est moins
précise que le procédé confocal ou à triangula-
➜ faisceau réfléchi varie, et avec lui la posi-
tion du spot lumineux sur la barrette CCD.
En mesurant cette position, on accède alors
à la distance entre l’objet et le capteur.
La méthode a largement fait ses preuves
depuis plusieurs années. Elle n’est pas aussi
précise que les procédés électromagnétiques,
mais elle offre un avantage de taille : la dis-
tance entre le capteur et la surface à mesurer
s’étend de quelques millimètres à un mètre,
voire plus. Une spécificité intéressante, en
particulier lorsque l’objet à mesurer est
chaud ou lorsqu’il est soumis à des mouve-
ments de forte amplitude. Mais cet avantage
constitue aussi le principal inconvénient des
capteurs à triangulation laser. Il faut en effet
veiller à ce que le récepteur puisse toujours
tion laser, mais elle s’applique à très grande
distance (jusqu’à plusieurs centaines de mètres).
Enfin il existe également plusieurs procédés
optiques basés sur la mesure de front d’onde,
la conoscopie, ou encore l’interférométrie.
Les procédés sans contact confèrent aux
capteurs une fiabilité élevée et une longue
durée de vie. Aucune force n’est exercée sur
le capteur ou sur l’objet à mesurer. Mais il existe
aussi des capteurs de déplacement à contact
tels que les capteurs linéaires de type LVDT,
ou, pour une meilleure précision, les capteurs
intégrant des règles gravées. Chaque méthode,
là aussi, a un champ d’applications qui lui est
propre.
“voir” le faisceau réfléchi. Lors de la mesure
dans des alésages, ou dans tout type de
cavité, cela n’est pas toujours le cas. D’autre
part, plus le capteur est éloigné, moins la
mesure est précise. A grande distance, les
capteurs sont aussi plus encombrants. Enfin
la taille du spot (due au phénomène de
Speckle) limite la résolution spatiale du cap-
teur. Malgré cela, la triangulation laser reste
une méthode ponctuelle autorisant le con-
trôle d’objet de petite taille. Contrairement
aux capteurs basés sur un procédé électro-
magnétique, il n’est pas nécessaire d’analyser
de grandes surfaces pour ensuite moyenner
les mesures.
Malgré tout, il y a “laser” et “laser”. Les cap-
teurs à triangulation disponibles sur le mar-
ché varient sur une très large échelle de coût.
Un modèle à plusieurs milliers d’euros
n’aura bien sûr pas les mêmes caractéristi-
ques qu’un modèle à 200 euros. Les diffé-
rences portent essentiellement sur la linéarité
du capteur, ainsi que sur sa capacité à mesurer
des pièces plus ou moins brillantes ou ab-
sorbantes. De même, il existe aussi des cap-
teurs à triangulation laser relativement
“basiques” limités à des applications de
détection Tout-Ou-Rien.
La triangulation laser convient à un large
spectre d’applications (les matériaux contrôlés
peuvent être conducteurs ou isolants, leurs
surfaces plus ou moins réfléchissantes, etc.).
Les capteurs sont, par exemple, utilisés dans
l’industrie du bois, pour contrôler le flanc
des troncs d’arbres débités dans les scieries.
Ils sont alors directement intégrés dans les
déligneuses.

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Les capteurs à courants de Foucault sont privilégiés dans
les applications difficiles. Ils sont aussi capables
de réaliser des mesures à travers un matériau plastique.
Dans le principe de mesure capacitive, le capteur et l’objet
remplissent la même fonction que celle des électrodes
d’un condensateur à plaques.
La mesure confocale,
pour toutes les surfaces
A l’origine réservée au contrôle des états de
surfaces, la mesure confocale à codage chro-
matique fait aussi partie des procédés opti-
ques utilisés dans la mesure de déplacement.
Le principe consiste à “éclater” le spectre de
la lumière blanche et à faire en sorte que
chaque longueur d’onde corresponde à une
distance entre le capteur et l’objet. En prati-
que, une source de lumière polychromatique
est transmise au capteur. Les lentilles de ce
dernier sont agencées de telle manière que
le spectre de la lumière est divisé en un
continuum de longueurs d’onde mono-
chromatiques suivant le sens de l’axe opti-
que. Le faisceau lumineux est focalisé sur la
surface de l’objet à mesurer à travers un colli-
mateur. Les couleurs spectrales sont ainsi
focalisées à des distances différentes. Pour la
mesure, le capteur “reconnaît” la longueur
d’onde de la lumière qui se focalise sur l’ob-
jet à mesurer. La lumière réfléchie par ce
Quelques ordres de grandeur*
Principe de mesure Courants
de Foucault
Etendue de mesure (EM) 0,4 - 80 mm
Linéarité (% de l’EM) +/- 0,2
Résolution maximale (% de l’EM) 0,00003
Fréquence de mesure Jusqu’à 100 kHz
Plage de température De - 0 à 150 °C
*Valeurs estimées par Micro-Epsilon
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Les capteurs à triangulation laser comptent parmi les modèles les plus fréquemment utilisés dans la mesure de déplacement sans contact. Leur principal
avantage réside dans leur portée élevée. La distance entre le capteur et l’objet à mesurer s’étend en effet de quelques millimètres à un mètre, voire plus.
En revanche, les capteurs sont relativement encombrants (surtout à grande distance).
Utiliser la longueur d’onde de la lumière
comme moyen de mesure présente de mul-
tiples avantages. Il est possible d’obtenir une
résolution allant jusqu’au nanomètre, tout
en conservant des profondeurs de champ
importantes. D’autre part, la superficie du
spot de mesure est beaucoup plus faible que
celle de la triangulation laser. La méthode
offre donc une résolution latérale très élevée.
Enfin, la mesure est coaxiale. Il n’y a donc
pas de phénomène de zone d’ombre dû au
relief de la surface. Seule limitation, la mé-
Les capteurs sont souvent intégrés à des bancs d’essais pour
réaliser des mesures d’épaisseurs, de distances, ou contrôler
thode requiert un environnement sans con-
toutes sortes de mouvement. densation d’eau, en particulier dans la tra-
jectoire du faisceau.
point est en effet reproduite à travers une La mesure confocale est utilisable dans tous
structure optique sur un spectromètre qui les cas où la résolution requise est impor-
identifie les couleurs spectrales reçues. tante, ou lorsque la triangulation laser est
Chacune d’entre elles correspond à une va- problématique. Il est possible, par exemple,
leur de distance. Le principe de la mesure de mesurer l’épaisseur de matériaux trans-
confocale à codage chromatique s’applique parents à l’aide d’un seul capteur. Le procédé
aussi bien à des surfaces réfléchissantes que est aussi utilisé dans l’aéronautique ou le
transparentes ou diffusantes. nucléaire pour effectuer des mesures d’alé-
sages. Il existe également des sondes minia-
tures pour accéder aux endroits difficiles
d’accès. Autre exemple, Micro-Epsilon a conçu
un banc d’essai pour contrôler par mesure
Capacitif Triangulation Confocal confocale les installations solaires et les revê-
laser chromatique tements des écrans d’affichage. Les capteurs,
placés sur une poutre de mesure, survolent
0,05 - 10 mm 0,5 - 750 mm 0,12 - 25 mm
le verre en contrôlant l’épaisseur, la planéité,
< +/- 0,05 +/- 0,03 < +/- 0,05 et en détectant les fissures. Pour ce type d’ap-
0,000075 0,005 < 0,004 plications, la mesure confocale s’est avérée
Jusqu’à 50 kHz Jusqu’à 20 kHz Jusqu’à 30 kHz incontournable.
De - 50 à 200 °C De 0 à 55 °C De 10 à 80 °C
Marie-Line Zani-Demange
d’après Florian Hofmann et
Marc Rosenbaum, Micro-Epsilon
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