Cours: Elaboration de couche mince

Master Physique Université Gaston Berger

de Saint-Louis

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Chapitre 1: Définition et généralités sur les
couches minces

Chapitre 2: Procédés de dépôt physique

Chapitre 3: Procédés de dépôt chimique

Chapitre 4: Exemple d’application des couches

minces

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Chapitre 1: Définition et généralités sur
les couches minces

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Couches minces-Nanosciences-Nanotechnologies

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COUCHES MINCES

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Couches minces-Nanosciences-Nanotechnologies

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Fine pellicule d’un matériau déposé sur un autre matériau

Épaisseur de la couche: quelques nm à quelques µm

Faible dimension

Perturbation des propriétés physiques

Réflexion optique Absorption optique Conductivité électrique

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 ☺Economique!!!
Couche mince: quel intérêt??
☺Simplicité!!!

MATÉRIAUX UTILISÉS
Caractéristiques d’une couche mince
-Métaux (Cr, Au,…)
-Solidaire du support sur lequel il est déposé
- Alliages (AlCu, ….)
-Influence du substrat
-Composés intermétalliques (TiAl, Fe3Al)
-Propriétés physiques différentes selon substrat
-Polymères (P3HT, PANI, ….)

-Semi-conducteurs (ZnO, Pentacene…)

QUELLE CHANCE!!!!
-Composés réfractaires (SiO2, Si3N4, 9….)
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 Microélectronique Optique Mécanique

- Jonction PN - Photodétection - Résistance à l’usure

- Diode - Couche anti-reflet - Erosion

- Transistor - Affichage écran plat - Barrière de diffusion

Chimie Biologie Nanotechnologies

- Capteurs de gaz - Capteurs biologiques - Capteurs chimiques

- Revêtement catalytique - Biopuces - Capteurs mécanique

- Couches protectrices - Matériau biocompatible - Nano fluidique

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Chapitre 2: Procédés de dépôt physique

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Appareil canon à
électron

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Creuset
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Chapitre 3: Procédés de dépôt chimique

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La vitesse de dépôt

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Kc, Ka: constante standard de réaction cathodique, anodique
αc, αa: coefficient de transfert cathodique, anodique
αc + αa =1 68
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Chapitre 4: Exemple d’application des couches
minces

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 Electronique organique

Fabrication basses Faible coût de Sur substrat Production en

températures fabrication flexible grande surface

Pas besoin de hautes fréquences Pas besoin de forte intégration

OLEDs Cellules Solaires Transistors

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L’électronique organique : transistor organique

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OFET applications

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Transistor organique en couche mince pour des applications capteur

Géométrie des OFETs vs applications (bio)capteurs

1) Bottom gate
Substance à analyser Substance à analyser

interaction entre substance

S D à analyser et SCO
SCO S SCO D
isolant isolant
grille grille
substrat substrat Adapté aux capteurs de gaz
Top contact Bottom contact
2) Top gate grille
grille
isolant déposé directement sur
le SCO
isolant
Adapté aux IS-OFETs (milieu liquide) S isolant D
S SCO D
SCO
substrat substrat
interaction entre la surface du
diélectrique et le liquide à analyser Bottom contact
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Top contact
Les capteurs de gaz

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 Influence de la température de dépôt de la couche mince

Caractéristique électrique

micrographies obtenues par microscopie électronique

à transmission
T joints de grains
Joints de grains
T film plus compact
Film compact joints de grains Réponse du capteur
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 Les capteurs de rayonnement

Schéma du dispositif Caractérisation électrique

Absorption Photogénération Augmentation du

du rayonnement De charges Courant de drain
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Les capteurs d’ions: ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistor)

Ceux sont des transistors à effet de champ sensibles aux ions

Domaines d’applications

Domaine clinique Domaine environnemental

électrode de référence

Détection liquide à analyser Détection

-Ions diélectrique -Pesticide
- ADN - Fertilisants chimiques
-Hormones S Couche mince D -Polluants dans l’eau
substrat
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 électrode de référence oxyde électrolyte

A OH neutre
liquide à analyser
O
diélectrique
A O- donneur
S Couche mince D O

substrat accepteur
A OH+2

défis

Dépôt de diélectrique (1) (2) fonctionnalisation de diélectrique

-interface SC/diélectrique très sensible Sensibilité des ions

-éviter la dégradation du SC à détecter
-Méthode de dépôt douce

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