Microscopie Électroniques

Pr. Mohammed DAHBI

Module: « Techniques spécifiques d'analyse »

Master Spécialisé « Chimie Analytique et démarche Qualité »

Année universitaire 2022/2023

Plan du cours

1 – Introduction, quelques rappels utiles…

2 – Interactions rayonnement - matière (électrons, photons…)

3 – Les techniques d’observation

- microscopie optique
- microscopie électronique à balayage
- microscopies à champ proche
-
4 – La microscopie électronique en transmission (TEM-STEM)

5 – Les techniques d’analyse

- analyses chimiques par voie physique
- microanalyse X par sonde électronique
- quelques techniques diverses

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La démarche analytique

nature du problème
l’échantillon est-il imposé (expertise)?
ou libre?
est-il le résultat d’un étude plus générale ?
peut-on le découper ? ...
nature des informations
recherchées
résolutions nécessaires
composition résolutions spatiales
structure et spectrales,
propriétés particulières limite de détection
...
dimensions
quelle(s) technique(s) nature et préparation nature (solide, liquide, poudre…)
employer ? de l’échantillon préparation (polissage, lame mince ..)
contraintes métallisation..
particulières ?

Conditions Pour chaque technique, en fonction

de l ’échantillon, des informations
d’analyse et de la résolution désirées

traitements
résultats
ANALYSE(S) des données Conclusions
bruts
et statistiques

3
 Caractéristiques à prendre en compte..

Il existe des centaines de techniques expérimentales, représentées par leurs

sigles ou leurs acronymes (généralement anglo-saxons). La presque totalité de
ces techniques est fondée sur le principe de l’excitation (au sens large) de
l’échantillon par un faisceau de particules, dites « primaires » et par l’analyse des
faisceaux de particules, dites « secondaires » qui en résultent.

On peut donc les classer en fonction de la nature des particules primaires et
secondaires (tableau 1).

On peut également les classer en fonction de la résolution spatiale et des

limites de détection.

4
Caractéristiques à prendre en compte..

1 – Energie et interactions
(classement en fonction de la nature des particules primaires et secondaires)

Selon la quantité d’énergie transférée de la particule incidente à l’échantillon, la nature des interactions
ainsi que celle du milieu susceptible d’être concerné sont très différentes.

 A faible énergie (de quelques meV à quelques dizaines d’eV), si le milieu est de structure moléculaire,
on observe des excitations des niveaux rotationnels, vibrationnels ou électroniques de la molécule.
Dans un milieu cristallin, on observera des excitations collectives élastiques quantifiées (les
phonons) et dans un métal, des excitations également quantifiées du gaz d’électrons libres (les
plasmons).

 Lorsque l’énergie augmente, au-delà de la centaine d’eV, les interactions font intervenir le nuage
électronique, par excitation des niveaux externes puis par ionisation des niveaux de cœur.

 Au-delà du MeV, on voit apparaître des réactions nucléaires.

5
Caractéristiques à prendre en compte..

1 – Energie et interactions (suite)

Dans le cas d’un rayonnement primaire de nature électromagnétique, les énergies

sont comprises entre 10-9 et 109 eV et donnent naissance à de nombreuses
techniques expérimentales

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 Caractéristiques à prendre en compte..

Classement en fonction de la résolution spatiale et des limites de détection

RESOLUTION (résolution spatiale)

La distance minimale séparant deux points infiniment petits du plan objet que l'on pourra
détecter sur le plan image.

LIMITE DE RESOLUTION
Dans des conditions expérimentales données, c’est la plus petite distance séparant deux
points reconnus comme des objets distincts.

POUVOIR DE RESOLUTION
La meilleure résolution atteignable pour un instrument particulier et dans les conditions
d’observation optimum.
Distinction entre résolution et pouvoir de résolution :
• Le pouvoir de résolution est une propriété de l’instrument, et c’est une valeur absolue
et théorique.
• La résolution sera toujours égale ou inférieure au pouvoir de résolution, et c’est une valeur
qui va dépendre des conditions expérimentales d’observation.

7
Caractéristiques à prendre en compte..

Interférence/diffraction/cohérence
Un système optique idéal produit une image exacte de l’objet où chaque point de l’objet est
reproduit correctement. Le phénomène de diffraction rend malheureusement le phénomène
impossible.
Le phénomène de diffraction provient de l’inflexion du trajet de la lumière au passage à
proximité d’un obstacle. Le bord de l’obstacle se comporte alors lui-même comme une source
lumineuse. Si la lumière est suffisamment cohérente, on voit apparaître des franges
d’interférence sur l’image.

Des franges d’interférences entre la lumière

diffractée par la fente et l’onde d’origine,
au bord d’une fente.

8
Caractéristiques à prendre en compte..

Le critère de résolution d’Abbe

Le caractère ondulatoire de la lumière pose des limites dans la taille des détails qui peuvent être
observé. Abbe (1893) a montré que le plus petit détail « résolvable » correspond à ½ de la
longueur d’onde utilisée pour l’observer. Donc la moitié de la longueur d’onde correspond au
pouvoir de résolution ultime que peut donner un instrument.

Microscopie optique  = 500 nm  résolution ultime ~ 250 nm

Microscopie électronique  = 0,005 nm  résolution ultime ~ 0,0025 nm

pour une tension d’accélération de 60 kV

Grossissement limite
Le plus grand grossissement que puisse produire un instrument est limité par la relation suivante:

Grossissement limite = Pouvoir de résolution de l’œil / Pouvoir de résolution du microscope

Pour la microscopie optique, avec un pouvoir de résolution d’approximativement 0.25µm, le

grossissement limite (utile) est de ~250µm/0.25µm = 1000X. La valeur de 250µm pour le pouvoir
résolutif de l’œil correspond à des conditions de vue moyenne.
Selon le critère de Abbe, le M.E.T. sous une tension d’accélération de 60 kV produit une radiation de
longueur d’onde  = 0.005 nm, et a donc un pouvoir de résolution ultime de 0.0025 nm. Dans ces
condition, le Grossissement limite du M.E.T. serait de 100 millions de fois !!!! En pratique, le
M.E.T. ne permet pas de dépasser des grossissement de 1,000,000X (1 Million), car de
nombreux défauts limitent la performance des lentilles et la formation de l’image.
9
Caractéristiques à prendre en compte..
Classement en fonction de la résolution spatiale et des limites de détection
1 – La résolution spatiale
Le plus petit élément de volume observable ou analysable
Cas des techniques utilisant une imagerie directe
Critère de Rayleigh
C’est la capacité du microscope à produire des images séparée de deux points rapprochés.

En théorie, une lentille idéale produit une image où chaque point de l’objet est représenté
par un point dans l’image.
En réalité, chaque point est représenté par un disque de diffusion (Disque de Airy) dans le
plan de l’image. Ce disque de diffusion est due au phénomène de diffraction induit par
le diaphragme de la lentille et son diamètre dépend de l’angle d’ouverture défini par
le diaphragme.

u v grossissement = v/u
O I


diaphragme lentille
disque de
Airy

10
Caractéristiques à prendre en compte..
Classement en fonction de la résolution spatiale et des limites de détection
1 – La résolution spatiale

Le diamètre D du disque de Airy correspond à :

critère de
1,22.
D= Rayleigh

intensité
n.sin()
IM
 = longueur d'onde
I > 0,26 IM
n = indice de réfringence
 = demi-angle d'ouverture

distance
r
Mais la valeur de la constante 1.22 dépend de la cohérence
de la source lumineuse et du contraste.

La plus petite distance entre deux disques de Airy pour qu’ils apparaissent partiellement séparés est
égale au ½ diamètre du disque.
Cette distance d = ½ D correspond à : 0,61
d
nsin
optique :
pouvoir séparateur (formule d ’Abbe)
- œil : 0,1 à 0,2 mm
- microscope optique : 0,2 m
- microscope électronique : 0,15 nm à 0,2 nm
(  = 0,0025 nm à 200 keV)

11
Caractéristiques à prendre en compte..

Pour un certain nombre de techniques, la résolution spatiale correspond au volume

de l’échantillon qui participe à l’émission et d’où provient donc l’information utile.
Ce sont en général des techniques utilisant l’imagerie indirecte (par balayage) ou
un faisceau incident fixe.

volume analysé ou excité

fluorescence X : cm3
microanalyse X : m3
résolution latérale résolution en profondeur
STEM : nm3
profondeur analysée
diamètre de la surface analysée
du nm (10-3 µm) au cm…
du nm (10-3 µm) au cm…

spectrométrie
Auger spectrométrie
XPS
100 m

10 nm
très variables d’une technique 10 nm
à l’autre…

1 m
1 m

microanalyse X

12
Résolution latérale comparaison entre quelques techniques
atome
et en profondeur
résolution latérale
1Å 1 nm 10 100 1µm 10 100 1 mm
monocouche
STM-AFM
microsonde microscope
1 nm
SIMS

résolution en profondeur
STEM ESCA-XPS
10

SDL
100

EPMA
1µm

10 XRF

100

Analyses chimiques
1 mm

24

13
Caractéristiques à prendre en compte..

2 – La résolution spectrale (ou énergétique)

cas de l’analyse d ’un rayonnement (électromagnétique, électronique…) :

caractérise la capacité d ’un système (spectromètre ) à séparer des rayonnements d ’énergie

très proche

source instrument observateur

(atome, nuage électronique, noyau) spectromètre
émission X Possède sa propre dispersion
émissions radioactive statistique qui introduit un
émissions électroniques élargissement de la raie analysée...

Mn K
« largeur naturelle » de raie :

Intensité
Spectromètre WDS
largeur énergétique « à mi-hauteur » (cristal LIF) Mn K
(dispersion énergétique du rayonnement émis) risque d’erreur
dans l’identification
intensité
des rayonnements
phénomène quantique 1 analysés
(principe d’incertitude lié
à la durée de vie d ’un état Détecteur Si(Li)

excité ou ionisé)
Détecteur à
E  h/2 E scintillation
0,5

6.6 10-16 eV.s 5,8 6,0 6,2 6,4 6,6

Énergie (keV)

10-15 s comparaison entre différents spectromètres :

énergie
- WDS (cristaux monochromateurs) : 10 eV
- EDS (détecteur solide diode) : 135 eV
E < 1 eV
- détecteur à scintillations : 500 eV

14
Caractéristiques à prendre en compte..

3 – La limite de détection

La plus petite quantité de matière détectable

Très variable d’un instrument à l’autre, elle dépend également :

 de la nature de l’élément analysé

 de la nature de l’échantillon…

 temps d’acquisition et des conditions analytiques

Varier considérablement d’une technique à l’autre:

• de 0,01% (10-4) pour la microanalyse EDS,
• elle peut atteindre quelques ppm (10-6 ou 0,0001%) en fluorescence X,
quelques ppb (10-9) en émission ionique secondaire,
• voir quelques ppt (10-12) dans le cas de l’ICP-MS (torche à plasma associée à
un spectromètre de masse)…

15
Caractéristiques à prendre en compte..

Calcul (approché) de la limite de détection

En raison de la présence du fond continu et de la
dispersion statistique, il n ’est pas possible de
intensité mesurer des concentrations aussi faibles que l’on
mesurée souhaiterait…
(I)
fluctuations
statistiques On définit la limite de détection comme étant la plus
de l’émission faible teneur analysable, c’est à dire qui est distinct
du fond continu.

Généralement, 99,7% du rayonnement étant compris

dans une bande de 3 autour de la valeur moyenne,
la limite de détection est définie comme la concentration
3 fluctuations qui donne un signal égal à :
statistiques
du fond continu
IBF + 3
fond continu

1 2 dans une distribution Poisonnienne

limites de composition
détection = IBF

Si la droite d’étalonnage est de la forme : I =aC + IBF

3 IBF
alors :
Clim =
a

16
Caractéristiques à prendre en compte..

Techniques d’Analyse Que

cherche-t-on
à caractérisation
Composition connaître ? mécanique
chimique
traction
fatigue
fluage
résilience
ténacité…
Validation =
Caractérisation,
résultat d’expérience

Cristallographie, Microstructure
texture..
Topographie…
Techniques relief
rugosité…
d’Observation

17
Les techniques d’observation et les différentes échelles

microscopie
macroscopie
microstructure
nanoscopie
(atomique)

m cm mm m nm Å
fractographie chimie et physique du solide
mécanique de la rupture
mécanique
micrographie TEM microscopies
à champ proche
microscopie (AFM, STM)
optique Sonde Atomique°

oeil
MEB

microscopie électronique

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 Œil + cerveau

- premier instrument d’observation…

- élément final indispensable de tout instrument…

- sert à interpréter les images observées…

- remarquable instrument mais…

- a des limites
- peut facilement être abusé

-sensibilité :
- 20 niveaux de gris environ…
- plusieurs dizaines de milliers de nuances chromatiques…

19
quelques informations supplémentaires sur l’œil…

structure de la rétine

La rétine comporte 7 millions de cônes, sensibles aux

formes et aux couleurs (soit environ 750000 nuances
chromatiques différentes) et 130 millions de bâtonnets,
sensibles à la lumière (vison corpusculaire et
monochrome)

vision des couleurs

L’œil humain possède 3

récepteurs différents (trichromie) :
bleu, vert et rouge (les gènes
responsables de ces 2 derniers
sont sur le chromosome X ce qui
explique certains troubles de la
vision (daltonisme) presque
exclusivement réservés à
l’homme …

20
vision des couleurs (suite)

21
Résolution angulaire : 1 minute d’arc

Résolution spatiale: Cela correspond environ à

0,1 mm sur un écran d’observation…

Conséquences :

C’est la première limite :

pour qu’une image soit « nette » (=pas de flou apparent) la dimension
du « pixel » (point image élémentaire) sur l’écran ou la photo doit être
inférieure à la résolution de l’œil…

- en imagerie numérique, impose un nombre minimum de pixels (1000 au moins)

- en microscopie électronique à balayage, relation entre le grandissement

et la taille maximale de la sonde ….

22
! on le trompe facilement !

23
Compléments sur les images numériques

une image est définie par 3 nombres :

- le nombre de pixels horizontaux x (« ligne ») définition
- le nombre de pixel verticaux y
- la profondeur en bits

ce dernier nombre détermine le nombre de niveaux de gris ou de couleurs de la photo

x et y représente la définition de l’image…
Ne pas oublier que la sensibilité de l’œil en niveau de gris est médiocre
(quelques dizaines), le codage sur 8 bits (1 octet)(256 niveaux de gris)
est donc largement suffisant…
la sensibilité aux nuances chromatiques est beaucoup plus élevée
(plusieurs dizaines de milliers) donc les images couleurs pourront être
codée sur 16, 24, 32 bits…
En résumé :
-La définition d’une image doit être suffisamment élevée pour que l’œil ne
puisse pas distinguer les pixels : en général 1000 pixels/ligne est suffisant
(sauf s’il faut agrandir l’image)
-Pour la profondeur, en imagerie N&B (MEB, TEM…) on se contente généralement
de 8 bits/pixel
- L’imagerie couleur est codée généralement en 16 bits (65000 couleurs) mais on
aller jusqu’à 24 à 32 bits/pixel

24
712x484
(337 Ko)

x2

1424x968
(1348 Ko)

x2

25
 1024x1024
1224 Ko

512x512
258 Ko

Influence de la définition de l’image

TIFF – 256 niveaux de gris 256x256

66 Ko

26
2146x1691 (3 550 Ko)
x4

même en agrandissant fortement l’image on ne distingue pas les pixels

27
Microscopie optique

La microscopie optique permet d’améliorer les capacités d’observation de l’oeil en réduisant la

résolution spatiale à 0,2 μm.

La contrainte principale tient dans la nature

échantillons plans, polis (attaque chimique éventuelle)

résolution (pouvoir séparateur) :

longueur d’onde (0,4 – 0,8 µm)

0,61 
d
n sin 

indice du milieu ouverture du faisceau

air :1
>70°(>95%)
eau : 1,33
huile de cèdre : 1,5
monobromophtalène : 1,65
objectifs
à
immersion de 0,2 µm à 0,3 µm grossissement maximum : 1000

28
Résolution (pouvoir séparateur)

Essentiellement, c’est accéder a un bon pouvoir séparateur d.

phénomène de diffraction par les ouvertures:

A' et B' sous forme de taches a cause

du phénomène de diffraction

29
 Résolution (pouvoir séparateur)

La caractéristique principale de tout microscope est sa résolution ou pouvoir séparateur d.

L’effet d’ouverture limitée de l’objectif, l’mage d’un point n’est pas un point mais
un disque (tache) : appelé tache d’Airy.

George Airy (1801-1892)

La tache d′Airy est la figure de diffraction résultant de la traversée d'un trou circulaire par
la lumière.
𝟎, 𝟔𝟏  (diffraction par les
Le diamètre de la tache est donné par l’expression : dd = bords de l’objectif)
n sin
Lorsque d diminue, on dit qu’on améliore la résolution. Pour y arriver :
diminuer  augmenter  ou n

30
 Résolution latérale

A. Ouverture numérique, résolution

Définition : O.N. = n sin

Tache de diffraction R = 1.22 f λ/D

Puisque sin α = D/2f,

R = 0.61 λ/O.N.

31
 Résolution spatiale

Pour un bon objectif: NA = 1.4, R = 250 nm

32
 Résolution (pouvoir séparateur)

Augmenter la résolution :
• augmenter l’indice n : objectifs à immersion (eau n=1.33, huile n=1.55)
• augmenter l'angle , en construisant des objectifs à focale très courte, que l'on approche très près

Ouverture maximale : N.A. = 1.4, grossissement x100, objectif immersion huile

Pour une longueur d'onde de 500 nm, R = 214 nm.

Limite de séparation de l'œil humain : 100 mm, soit un gain de 500.

Récemment, N.A. = 1.45 (grossissement x60, immersion huile)

Pour la microscopie de fluorescence en onde évanescente :

N.A. = 1.4, n=1.55,  = 64.6°

N.A. = 1.45, n=1.55,  = 69.3°

Réflexion totale interface verre/eau q = 62.5°

33
 Pourquoi l'imagerie électronique ?

Rayonnement lumineux: La microscopie photonique (optique)

(Premier microscopie en 1590 par Janssen père et fils:

λ ≈ 0,5 μm ; sinα ≈ ½ Le Hollandais Van Leeuwenhoek (1632−1723) est
généralement reconnu comme le père de la microscopie:
d ≈ 0,6 μm Mot microscopie invente en 1645 par Demisiano)
Grandissement ≈ 1000
Profondeur de champ très faible

microscope de Leeuwenhoek (1650)

Microscope confocale à balayage laser (2000) microscope de Hooke (1670)

34
 Pourquoi l'imagerie électronique ?

Qu'est ce qu'un microscope?

Instrument qui: - donne une image grossie d'un petit objet (grossisement)
- sépare les détails de celui-ci sur l'image (résolution)
- rend les détails visibles à l'œil ou avec une caméra

35
Pourquoi l'imagerie électronique ?

• Pour voir un objet de taille d il faut un rayonnement dont

la longueur d'onde associée  est telle que :  < d

exemple : avec la lumière visible, la résolution limite est

de l'ordre de 0.25 µm

• Pour observer la structure de la matière à l'échelle

atomique il faut donc un rayonnement tel que  ≤ 0.1 nm

 Rayonnement électromagnétique avec  ≈ 0.1 nm :

rayons X problème : on ne sait pas faire de
microscope à rayons X
 diffraction des rayons X
 Pourquoi l'imagerie électronique ?

Rayonnement X: La microscopie X
λ ≈ 1Å; mais l’optique est compliqué à cause d'une réfraction très faible.
L'indice moyen vaut n ≈ 1− 10−4.

 Optique réfractive:
Des lentilles réfractives sont à l'étude en incluant des bulles
d‘air dans un capillaire rempli d'un liquide adhésif.

Exemple: 102 microlentilles focalisent les RX sur 5x19 μm2

un faisceau de taille 0,4x1,7 mm2 au synchrotron, avec une
transmission de 30%

 Optique diffractive:
Des lentilles de Fresnel ( basé sur le principe de la cohérence
des ondes et le phénomène de diffraction par réseau zoné).

Il existe de vrais microscope X en sortie des lignes de lumière

De certains synchrotrons (ESRF, SOLEIL).
(Résolution attendue 5nm)

37
 Pourquoi l'imagerie électronique ?

Rayonnement électronique: La microscopie électronique

λ ≈ 0,025Å ; α ≈ 10 mrad
d ≈ 1,5 Å (de l'ordre d'un rayon atomique)
Grandissement ≈ 10 000 000

• Diffraction
Grande brillance et petite taille de sonde  0.1 nm

• Imagerie
Développement des correcteurs d’aberration sphérique
Résolution ponctuelle  0.075 nm

• Spectroscopie
- Canon à émission de champ
grande brillance dispersion en
énergie faible (0.65 eV)
- Développement des monochromoteurs
∆E ≈ 0.15 - 0.20 eV

 Le TEM : Un outil parfaitement adapté à

l’étude du nanomonde
38
 Pourquoi l'imagerie électronique ?

Rayonnement électronique: La microscopie électronique

 Rayonnement électronique
• dualité onde - corpuscule / relation de De Broglie (1924) :

h h
= =
mv 2mE

 = 2.51 pm pour E = 200 kV

• possibilité de focaliser les faisceaux électroniques

 lentilles électrostatiques
 lentilles magnétiques

 conception du premier microscope

électronique en transmission (1931)
E. Ruska et M. Knoll
Ernst Ruska (Prix Nobel 1986) 1931

39
Pourquoi l'imagerie électronique ?

Types de rayonnements et résolution

Il existe deux types de rayonnements selon leur nature :
les rayonnements électromagnétiques et les rayonnements corpusculaires.

1- Rayonnements électromagnétiques : (, RX, UV, IR…)

Ces rayonnements sont constitués d’un B ( ) se propageant dans le vide

E = h  = hc /  => = hc/E

avec h : constante de Planck,  la fréquence et c la vitesse de la lumière dans le

vide

Numériquement : (Å) = 12 400 / E(eV)

2- Rayonnements corpusculaires : (protons, électrons, neutrons)

Ces rayonnements sont constitués de particules de masse m animées d’une vitesse v.

40
Pourquoi l'imagerie électronique ?

De Broglie
Selon la théorie de Louis de Broglie (1927), à toute (1892-1987)
particule en mouvement est associée une onde de
longueur :
h h
= =
mv 2mE

Dans le cas des électrons très énergétiques, il faut tenir compte de la masse
relativiste :
v2 −1
m = m0(1 − 2 )
c
Pour des énergies E ≤ 200 keV, on peut utiliser la relation simplifiée :
𝟏𝟐,𝟐𝟔
= (E en eV et  en Å)
𝑬
E (keV) 100 200 1000
 (Å) 3.7 10−2 2.5 𝟏𝟎−𝟐 8.7 10−3
41
Pourquoi l'imagerie électronique ?

Pour le microscope électronique on ne sait pas construire des objectifs à

grande ouverture et l'indice de réfraction du vide est égal à 1.

Le gain en résolution n'est donc lié qu'au gain considérable sur  donc .

Pour les électrons, l'expression se simplifie car sin  ~  et n = 1

𝟎. 𝟔𝟏 
dd =

E (keV)  (Å)  (rad) d (Å)

100 3.7 10−2 5 10−3 4.51

200 2.5 𝟏𝟎−𝟐 " 3.05

1000 8.7 10−3 " 1.06

42
Pourquoi l'imagerie électronique ?

• Les longueurs d’onde accessibles à notre œil appartiennent à la gamme

400/800 nm.

•Les photons de cette longueur d’onde traversent donc les objets ayant une
dimension inférieure à 400 nm. Ainsi, il n’est pas physiquement possible de voir
des objets de quelques nanomètres

• Impossible « d’imager » des nanostructures avec des microscopies

optiques « classiques », quelque soit le grossissement

Développement de techniques alternatives

43
Microscopie électronique

Deux principaux types de techniques sont couramment utilisées pour

étudier des nano-objets et l’arrangement de ceux-ci sur des surfaces

Les méthodes utilisant des sondes Les sources à faisceaux d’électrons,

nanométriques (atomiques) qui en où un faisceau d’électrons de la
interagissant avec les objets à même longueur d’onde que les
étudier, permettent de les imager dimensions des systèmes à
caractériser (quelques nanomètres,
RX) est utilisé

44
 Les types de Microscopie électronique

Trois types principaux : en transmission, à balayage et tunnel

en transmission
(MET ou TEM)
à balayage
(MEB ou SEM)
microscopies à
champ proche
(AFM, STM)
45
 Ce cours présente les différentes techniques
d'observation et la caractérisation d’objets de dimension
nanométrique
 Les techniques d’observation
• La microscopie électronique à balayage (MEB)
• La microscopie électronique en transmission (TEM-STEM)
• La microscopies à champ proche (tunnel)

 Les techniques d’analyse

• L'analyses chimiques par voie physique (EDS, WDS)
• La microanalyse X par sonde électronique

46