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Cours

Cours
composants
composants optoélectroniques
optoélectroniques

Masters TC et TSE

MOHAMED AGHOUTANE

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 1


Composants optoélectroniques
• Interaction Rayonnement – SC
– Photons, électrons
– Interaction électron – Photons
– Absorption
– Émission
• Photo-détecteurs
• LEDs
• Lasers
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Rayonnement électromagnétique

Equations de Maxwell:

 H
ro tE   µ0
t   j (t k.r)

  E
 EE 
 E
E00eej ( t  k . r )

ro t H  
t

divE  0   2 pulsation

divH  0 k vecteur d’onde
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Rayonnement électromagnétique
• Aspect ondulatoire:
ondulatoire • Aspect corpusculaire:
corpusculaire
– Onde – « grains » de lumière
  j (j(t t kk.r.r) )
EE  EE00ee • photon
– Énergie
– Vitesse de l’onde
EEpp hh 
 cc

vv   n : indice
kk nn – Qté de mouvement
nn rr
pp kk
– Vitesse de groupe

 – Relation de dispersion
vvgg  cc
kk EEpp  kk (vide n =1)
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Électrons : dualité onde - corpuscule
• Aspect corpusculaire:
• Aspect ondulatoire: – Dans le vide
11 22
EE  mvmv
• Relation de de Broglie 22
ppmvmv
hh
  EE
pp22 22kk22

pp 22mm 22mm

– Dans un cristal
pp  kk p2
E  V (r )
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Interaction électrons - photons
• 3 processus: 11..24
24 2
2
eV))
EE((eV ;;kk 
– Absorption ((µm
µm)) 
– Émission spontanée
– Émission stimulée (dans les lasers)

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Règles de sélection
Ee-

• Conservation de l’énergie
et de la qté de mouvement:
– Absorption

EEf f EEi i EEphoton


photon

ppf f  ppi i  ppphoton
photon

kélectron
– Émission
EEi i EEf f EEphoton
photon

ppi i  ppf f  ppphoton


photon

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques   1


9
 1
a
Règles de sélection
Eph 1  1
k photon  
Ee- 1000

• Conservation de l’énergie
et de la qté de mouvement:

 kkff kkii  kkphoton


 photon kphoton

Conservation de l’énergie:
Si absorption, Eph > Eg

Conservation de p:
Ordre de grandeur de k
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 1 kélectron
10
a
Compte tenu
Compte tenu du
du faible
faible kkphoton les
photon les
transitions optiques
transitions optiques nene peuvent
peuvent se se
faire que
faire que verticalement
verticalement en en kk

Intérêt àà adapter
Intérêt adapter EEgg àà l’énergie
l’énergie du
du
photon àà détecter
photon détecter
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Différents processus de transition
inter-bandes

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Recombinaison radiatives et non
radiatives

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Absorption, émission spontanée
et stimulée
•Pseudo niveau de Fermi
•Taux net d’émission de photon
•Recombinaison: durées de vie
•Vitesse de recombinaison en surface
•Génération de porteurs en excès

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« envoi » des électrons et des trous
dans les bandes « n’importe comment »!

--------
---- ----
-- --
Recomb
EF e-h

+ + +
++++

Hors équilibre retour équilibre


équilibre

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2 grandeurs régissent les états:
• Temps entre 2 chocs: temps de relaxation  : lors
d’un choc l’électron perd de l’énergie (10 -13 à 10-12 s)
• Durée de vie des électrons dans une bande (10-9 à10-3
s)  vie

• Si  vie   les porteurs « ont le temps » de se


thermaliser en bas de bande puis se recombiner.
Du fait de la différence entre ces deux temps il
existe un état de pseudo-équilibre pour les e - et
les h+
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Retour à l’équilibre
EFn --------
---- ----
-- --

EF
+ +
+++ ++++
EFp +++++

On coupe
l’excitation
Hors équilibre équilibre

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Taux net d’émission de photon -1
C’est le nombre de photon d’énergie E émis par unité
de temps et de volume
r ( E )  rspont ( E )  N ( E )rstim ( E )  N ( E )rabs ( E )

nb ph émis nb photon D( E )
de manière spontanée N ( E )  E / kT
dans le matériau e 1
par s et cm3

rrspont
spont
est
est indépendant
indépendant de
delalaprésence
présence
de
dephoton
photondans
danslelematériau
matériau
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Taux net d’émission de photon -2
r ( E )  rsp ( E )  N ( E )rstim ( E )  rabs ( E ) 

rst: taux d’émission stimulée


(Bilan énergétique de ce qui est
stimulé de haut en bas et
de bas en haut)

r ( E )  rsp ( E )  N ( E )rst ( E )
rrst(E)>0
st(E)>0

émission
émissionde
dephoton
photon(ampli
(amplide
delum)
lum)
rrst(E)<0
st (E)<0 
absorbe
absorbeun
unrayonnement
rayonnementdedephoton
photon
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Taux net d’émission de photon -3

Soit un système à 2 niveaux Ei et Ej

Ei , gi
rrsp (E))
sp(E 
ii
A
jj
Aijij.g.gifiif.ig.gj.(
j .(11ffj j))

E = E i - Ej
nb d’e- ds l’état i
Proba. pour que cette
Ej , gj recombinaison soit radiative

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Taux net d’émission de photon -4
E’ Dans le cas d’un SC, il y a
un pseudo continuum d’états
E=E’-E’’ Émission d’un photon d’énergie E

B( E ' , E ' ' ) : proba pour la transition de E’ à E’’


soit radiative
E’ ’


rsp (E)  B(E' ,E)Nc (E')fc (E')Nv (E'E)(1  fv (E'E))dE'
E'

E'
rst (E)  B(E' ,E)Nc (E' )Nv (E'E)[fc (E')  fv (E'E)]dE'

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Taux net d’émission de photon -5
Rq: on peut montrer que dans les matériaux dopés,
B est constant au voisinage des extrema de bandes

Semi-conducteur Nature du Gap B (cm-3s-1)


(SC
>>BB(SC

Si indirect 1.8 10-15


Ge indirect 5.3 10-14
indirect)
direct)>>
gap indirect)

GaP indirect 5.4 10-14


gapdirect)

GaAs direct 7.2 10-10


GaSb direct 2.4 10-10
gap
(SCgap

InP direct 1.3 10-9


BB(SC

InAs direct 8.5 10-11


InSb direct 4.6 10-11

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Taux net d’émission de photon -6
Émission spontanée:
Rsp   rsp ( E )dE  Bnp
E

 kT 
E  F

Émission stimulée: rst ( E )  rsp ( E ) 1  e  avec F  E f c  E f v


 

L’émission stimulée existe si rst(E) > 0


Efc --------
La condition d’amplification implique : ----

F  E  E  E f v  Eg h Eg
fc

SC dégénéré n et p ou plutôt Efv ----------


Inversion de population ----------
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Taux net d’émission de photon -7
Si on écrit le nb de photons dans le matériau:
D( E )
N ( E )  N 0 ( E )  N ( E ) avec N 0 ( E )  E / kT
e 1
Alors

 NN((EE)) 11ee ((EEFF))/ /kT



kT

rr((EE))  rrspsp((EE))11((11 )) EE/ /kTkT 
  NN00((EE)) e
e 
 1
1 
Taux net d’émission
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Taux net d’émission de photon -8
• À l’équilibre thermodynamique :

 1  e E / kT 
N ( E )  0 et F  0  r ( E )  rsp ( E )1  0
 1 e 
E / kT

• Sous faible excitation d’un rayonnement(E>Eg):


N ( E )
N ( E )  0 et F  0  r ( E )   rsp ( E ) 0
N0 (E)
Le semi-conducteur absorbe le rayonnement
• Forte excitation (E>Eg et Eg>>kT/e):
 N ( E )  E / kT  F / kT 
N ( E )  0 et F  0 
 r ( E )  rsp ( E )1  (1  )(e e )   0
 N0 (E) 

Le semi-conducteur émet un rayonnement d’énergie E


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Recombinaison des porteurs en excès –
durée de vie
Comment se recombinent les porteurs et à quelle « vitesse » ?

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Recombinaison des porteurs en excès – durée de vie

En d’autres termes, 2 « chemins » possibles pour la recombinaison:


- radiatif
- non radiatif

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Recombinaison des porteurs en excès – durée de vie
Taux global d’émission de photon R  taux de recombinaisons radiatives

n  n0  n et p  p0  p
n concentration en électrons libres
n0 concentration d’équilibre en électrons libres

n, p concentration en excès d’e- et h+

dn dp
R    Bn p  Rst
dt dt
R taux de recombinaisons par cm3 par s
B coefficient ambipolaire de recombinaison

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Recombinaison des porteurs en excès – durée
de vie

R  R0  R  B (n0  n)( p0  p )  Rs t 0  Rst


En régime de faible injection (n et p petit / régime d’inversion, Rst est
négligeable et R s’écrit en négligeant le terme du 2° ordre:
Taux de recombinaisons
R  Bn0 p  Bp0 n radiatives des porteurs

p n  rp 
1
et  rn 
1
R   avec
 rp  rn Bn0 Bp0

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Recombinaison des porteurs en excès – durée
de vie
•• Dans
Dans lala mesure
mesure ouou n
n == p
p (création
(création de
de paires
paires
électron
électron –– trou):
trou):
1 1 1
 
r  rn  rp

•• Dans
Dans un
un semi-conducteur
semi-conducteur dopé,dopé, la
la durée
durée de
de vie
vie
radiative
radiative est
est celle
celle des
des porteurs
porteurs minoritaires
minoritaires (SC
(SC
n: n  p     d' où   
n: 0 0 rn rp )) r rp

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Recombinaison des porteurs en excès – durée
de vie non radiative
• « chemin non radiatif »:
– Centres de recombinaison
– Émission phonon ou effet Auger

• On attribue à ce type de recombinaisons,


une durée de vie non radiative:

nrnr
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Recombinaison
Recombinaison des
des porteurs
porteurs en
en excès
excès

• Les processus sont additifs.


• La durée de vie globale est donnée par:

11  11  11
 
 rr nrnr
• On définit le rendement radiatif par:
11
rr  nrnr
  1 

1  11 rr nrnr
nrnr rr
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Évolution temporelle de la densité de porteurs
!!
ion
j ec t
e in
bl
Fai

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Vitesse de recombinaison en surface

• À la surface, états énergétiques spécifiques:


– Rupture de la périodicité du cristal
– Adsorption d’atomes étrangers

• Présences d’états de surfaces centres de


recombinaisons supplémentaires

• À la surface, la densité de porteurs est plus


faible que dans le volume.
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Vitesse de recombinaison en surface

!
es !iv
diat
n ra
s no
so n
inai
omb
Rec

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Vitesse de recombinaison en surface

GaAs S = 106 cm/s

InP S = 103 cm/s

Si S = 101 cm/s

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Vitesse de recombinaison en surface

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Création de photo-porteurs en excès

• Plusieurs moyens pour la création:


– Photo - excitation avec E>Eg
– Injection électrique
– Effet avalanche ou tunnel

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Photo - excitation
• Les caractéristiques du rayonnement sont:
– Longueur d’onde  ou son énergie E=h
– L’intensité I
– La puissance P en watts

nb de photons qui
 arrive /s et/cm3
T
P(W)=0(E). h
r Puissance
Énergie des
photons
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Photo - excitation
• Soit R(E) le coefficient de réflexion ou pouvoir réflecteur:

• Si E=h >Eg, il y a absorption  on définit le coefficient d’absorption 


r (E)  R(E)0 (E)
T (E)  (1  R(E))0 (E)

1 d(E, x)

(E, x) dx
(E, x)  T (E,0)e (E)x

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Photo - excitation

• Taux de génération d’électrons g(E,x):


– Si on « perd » d photons, on « gagne » d
électrons (rendement quantique =1)
  la variation du nombre de photons par unité
de volume est :
(E, x)
g(E, x)  
x

– On écrit alors:
g(E, x)  [1  R(E)]0 (E)(E)e (E)x
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Photo - excitation

• Le taux de génération global g(x) (si pas


monochromatique) est alors donné par:
n  r  3.5

g(x)  g(E, x)dE
E
• Pour le calculer: 2
 1n 
– R(E) ? Au voisinage du gap R  cte     30%
1n
– 0(E) ?
– (E) ? On peut l’approximer par 1 échelon
• = 0 si E < Eg
• cm-1 si E > Eg
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Coefficient d’absorption
• Dans le cas de transitions
verticales, la relation liant
k
l’énergie du photon (>Eg) et Ec
le vecteur d’onde est: Ee
EFn
EFp Eg 
22kk22 11 11 22kk22 Eh
EEgg  (( *  * ))EEgg  *
22 m mc* mmv* 22mmr* Ev
c v r

k=0

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Coefficient d’absorption
• Pour une lumière non polarisée dans un SC,
le coefficient s’écrit: 2

 22 
2  2p  N () 2 1
2  2p 22pp2cv
cv  20eV

e
e   cvcv  Ncvcv() 2 m1  20eV
2n c  m  m   3 m mm00
2nrrc 00m00 m00   3
 
((23
23eVeVpour
pourGaAs)
GaAs)
• La densité d’états jointes:
** 33//22 11//22
22((m ) (  
mrr ) (  Egg ) E )
NNcv ( ) 
cv () 
JJ11m
m
33
2233

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Taux d’émission (expressions)
• Lorsque un électron et un trou se trouvent
«vertical en k », il peuvent se recombiner :
– Spontanément:
1 e ²n   e ²n   2p22
W ( )  1  e²nrr p 2  e²nrr
2
(2pcvcv ) s11
em() 
Wem  cv 
2 33 22 pcv 3 2 ( )s
 00m
00 33 2
m00cc  00m
66 3 2
m0cc  m m0
0 0

– De façon stimulée:
ee²²nnrr 22 11
W (  ) 
Wstst ()  p
22 33 22 pcv
n
cv nph
( ω) s
ph(ω) s
33
00m m00cc 
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Gain du matériau
• C’est la différence entre le coefficient d’émission et le
coefficient d’absorption:
 2p22 
 
2 
g( )  ee  2p cvcv NNcvcv(())22 fee (Eee )fhh (Ehh )  (1  fee (Eee ))(1  fhh (Ehh ))
2
g()  2n c m  m   3 f (E )f (E )  (1  f (E ))(1  f (E ))
2nrrc 00m00 m00   3
 

k
Ec
 2p22 
 

2 
ee  2p cv NNcv(())22 ee ee
2 h h
Ee
gg(()) 2n c m  mcv  cv 3 ff (E(E ))(1(1ffh (E(Eh )))) EFn
2nrrc 00m00 m00   3
  EFp Eg 
 2p22 
 
2 
g( )  ee  2p cvcv NNcvcv(())22 fee (Eee )  fhh (Ehh )  1
2 Eh
g()  2n c m  m   3 f (E )  f (E )  1
2nrrc 00m00 m00   3 Ev
 

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Gain du matériau

• Si fe(Ee) = 0 et fh(Eh) =0
2  2p22 
 ee  2p cv NNcv(())22
2
gg(()) 2n c m  mcv  cv 3 000011(())
2nrrc 00m00 m00   3
 

• Pour que le gain soit >0 (inversion de


population) ee ee hh hh
ff ((EE ))ff ((EE ))11

• Et alors
I(I(xx))II00exp(
exp(ggxx))II00

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recombinaisons

• On a défini précédemment Rspon ( coef de


recombinaisons) : regardons plus en détails
en fonction de la population électronique

 
Rspon  Wem d()NCV f e (Ee ) f h (Eh )  
d()NCV f e (Ee )f h (Eh )
1
0 
Rspon 

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recombinaisons
• Considérons la recombinaison de trous:
– Injection de porteurs minoritaires (n>>p et
fortement dopé n)
~1

Rspon 
1
0  
d()NCV f e (Ee ) f h (Eh )  
3/2
    *
1 1 m
Rspon 
0 
d()NCV f h (Eh ) 
0
d()NV f h (Eh ) *r 
m 
 h
3/2 3/2
1  m*r  1  m*
Rspon 
0  m*h   d()NV f h (Eh )   *r 
0  mh 
p

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recombinaisons
• Considérons la recombinaison de trous:
– Forte injection (important dans le cas d’1
densité d’elec. et de trous injectée élevée)

f e (Ee ) fh(Eh) 1


1 1 1
Rspon 
0 
d()NCV  n  p
0 0

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recombinaisons
– Considérons la recombinaison de trous:
– faible injection (on utilise Boltzmann)

 ( Ec  EFn   ( EFp  Ev   (  E ) 


f e
( E e )f h ( E h ) exp
kT
 exp
kT
 exp
kT

     
3/ 2 3/ 2
1  2 2 mr*  1  2 2 mr* 
Rspon    exces
np , R spon    ( p0 n  n0 p )
2 0  kTme*mh*  2 0  kTme*mh* 
k
• Si n=p alors on peut définir un taux de Ec
Ee
recombinaison de porteurs en excès unique nr EFn

EFp Eg
2 * 3/2
1 1  2 mr  Eh
 (n0  p0 )  r   0
r 20  kTm*em*h  Ev
Pourquoi ?
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recombinaisons
• Considérons la recombinaison de trous:
– Inversion (transparence) (important dans le cas
des lasers)
f e
 
( E e )  f h ( E h )  1 (coef emission  coef absorption)
e e
 h h

• Supposons f (E )  f (E )  1 / 2 
n p
Rspon  
4 0 4 0
Utile pour estimer le courant de seuil d’un laser
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Régime de
Faible
injection
Durée de vie radiative r (s)
Densité usuelles pour
le fonctionnement du
laser

fe=fh=1

0

cm-3
Nd ( pour les trous injectés dans un SC n)
n=p (pour paires e-h injectées dans une région)
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Photo - excitation


x g(x)
g(x)  [1  R]0 (E)e dE
Eg cm-1

g(x)  [1  R]0e x


x
1 1
(x  0.1µm)   Importance de la vitesse
e 3
1 1 de recombinaison en surface
(x  0.2µm)  
9 10
1 Ex: 10W/cm2, =0.75 µm, =7 103 cm-1 pour GaAs. G?
(x  1µm)  10  0 Popt (7.103 cm1 )(10Wcm2 )
e G   2,65.1023 cm 3 s 1
 19
(1.65eV )(1.6.10 J )

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 54


Injection électrique
Polarisation d’une jonction pn en direct. Le système est hors
équilibre. Le retour à l’équilibre s’accompagne de recombinaisons,
qui si elles sont radiatives, émission de photons.

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Homo-jonction à semi-conducteur

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 56


Homo-jonction à semi-conducteur

 Dp n2 Dn n2i  eV / kT
I  eA  i  (e  1)
 P ND N NA  

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Courant dans une Jonction pn

 DDpp N  
DDnn N eee(V(VVVDD) )//kTkT
I IeA
eA NAA NDD e
 
p
p

nn 

eVDD Eg
eV Eg((EEFF EEVV))pp ((EECC EEFF))nn 00

0 0 VVthth VVDD  EEgg //ee


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I(V) fonction du matériau

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Tension pour I=20 mA (figure de mérite)

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Les photo-détecteurs
Les photo-détecteurs

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Les photo-détecteurs
• Rôle : convertir un signal lumineux en signal
électrique
• Propriétés attendues:
attendues
– Grande sensibilité
– Linéarité (surtout si signal analogique)
– Large bande passante électrique
– Fiabilité
– Faible coût
– Facilité de mise en œuvre
– Encombrement

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Les photo-détecteurs
• Solution dans le visible et proche IR:
– Jonction pn montée dans un boîtier comportant
une fenêtre transparente au rayonnement.
• Deux montages possibles:
– Jonction non polarisée  montage
photovoltaïque. Il est utilisé pour la conversion
de l’énergie solaire en électricité.
– Jonction polarisée en inverse  montage
photoconducteur. Il est utilisé pour la détection
de la lumière : photodiode PIN, ADP,
phototransistors
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Les photo-détecteurs

mode photocourant mode photovoltage

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Les photo-détecteurs
• Matériaux pour les détecteurs optiques
– Disponibilité du substrat
• Si, GaAs, Ge et InP
• SC avec maille « adaptée » à ces substrats
– Application communications longues
distances
• Adaptés aux fibres optiques (1.55µm et 1.3 µm)
• GaAs interdit (0.8 µm)
• InGaAs, InGaAsP, GaAlSb, HgCdTe, GaInNAs

• In 0.53Ga 0.47As le plus utilisé
• Ge comme photo-détecteur à avalanche

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Les photo-détecteurs

– LANs (qq kilomètres)


• GaAs émetteurs (0.8µm) mais pas chers !
• Si comme photo-détecteurs (photodiodes à avalanche)
– Détection « infrarouge »
• >20 µm
• HgCdTe, PbTe, PbSe, InSb
• Détecteurs inter sous-bandes GaAs/AlGaAs
– Détecteurs rapides
• GaAs « low temperature »  1 ps

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 66


Distribution des photo-porteurs

dn((xx,,tt))  11 dJ
dn dJnn  r  g dp((xx,,tt))
dp 1 dJpp
1 dJ
  rnn  gnn   rrpp  ggpp
dt
dt ee dx
dx dt
dt ee dx
dx

Dans le cas des électrons:


n
J n  neµn E  eDn
x
g n  g p  g  (1  R)0e  e
x x

n  n0
rn 
n flux qui pénètre le matériau
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Distribution des photo-porteurs

• 2 composantes pour le champ électrique


– Champ interne Ei
– Champ externe appliqué Ea
V
L Ea 
L
h

V
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 68
Distribution des photo-porteurs
• À cause des mobilité
différentes, champ
interne Ei n(x,t)  Ei
p(x,t) .
• En fait en 10-12 s, la
neutralité est rétablie, 
n(x,t)  p(x,t) .
• Les électrons et les trous
diffusent ensemble
C’est la diffusion ambipolaire
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Distribution des photo-porteurs

épais mince quelconque

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Cellule photoconductrice

Vs

d
L

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 71


Cellule photoconductrice
• Conductance à l’obscurité:
 0  e( µn n0  µ p p0 )
• Conductance sous éclairement:
  e( µn (n0  n)  µ p ( p0  p ))

• Soit une variation de la conductance:


µp
  enµn (1  ) avec p  n  GL p
µn
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Cellule photoconductrice

• Si on applique une tension courant:

J  ( J d  J L )  ( 0   ) E

• Le photo-courant:
µp
I L  J L A  epµn (1  ) AE
µn

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 73


Cellule photoconductrice

• En se rappelant que µE est la vitesse des


porteurs, on peut définir un temps de
transit: L
ttr 
µn E

• Le photo-courant s’écrit alors:


p µp
I L  eGL ( )(1  ) AL
ttr µn

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 74


Cellule photoconductrice

• Le photo-courant « primaire » généré par


l’éclairement est:
I L P  eGL AL

nb photons/s/cm3 surface
• Le gain de la cellule est donné par:
IILL pp
G 
µµpp
G  ((11 ))
IILL
P
P tttrtr µµnn
C’est la rapport entre le taux de collecte des charges par les contacts au taux de
génération de ces charges
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 75
Cellule photoconductrice
• C’est quoi le gain ?
– Si >1, les électrons peuvent parcourir plusieurs fois le circuit
avant de se recombiner avec un trou.
• Ex: L=100µm, V=10V, p=1µs
• Comment améliorer le gain de la cellule?
– Durée de vie élevée
– Temps de transit faible (petit L et/ou fort champ E)

• Inconvénient:
– Fort courant d’obscurité bruit
Utilisation de diode en inverse
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 76
Principe de la photodiode p-n

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 77


Principe de la photodiode p-n
• Seuil de détection: E=h>Eg

1 et 3 : photo-courant de
diffusion

2 : photo-courant de
génération

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 78


Photodiode sous éclairement

pn  GL po

pn (x)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 79


Calcul du courant
 2 (n p ) n p  (n p )
Dn  GL  
x ²  n0 t
x x
  en x  0, n p (0)   n p 0
n p ( x)  Ae Ln
 Be Ln
 SP en x , n p ()  SP  GL n 0

x

n p ( x)  GL n 0  (GL n 0  n p 0 )e Ln

Courant de

d (n p )
saturation, existe
eDn n p 0 même à
J n1 ( x  0)  eDn  eGL Ln  l’obscurité!
dx x 0
Ln
Prof.M.AGHOUTANE Photocourant
composants dans les
optoélectroniques 80
régions de diffusion
Calcul du photo-courant
d (n p )
Région p : J n1  eDn
ph
 eGL Ln
dx

d (pn )
Région n : ph
J p1  eD p  eGL L p
dx

Et la ZCE ? J L1  e  GL dx  eGLW Hyp: GL = cte

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 81


Photodiode p-n

• Le photo-courant est donc généré dans la ZCE et


dans les régions neutres sur la longueur de
diffusion Ln et Lp, soit finalement sur W+Ln+Lp.

Rem: GL n’et pas constant ! On


I ph  eGL ( L p  Ln  W ) A doit prendre une valeur
moyenne en toute rigueur

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 82


Photodiode p-n
eV

I   I ph  I 0 (e kT
 1) en inverse I  ( I 0  I ph )

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 83


Photodiode p-n

• Constante de temps:
– Courant de diffusion : lent 10-8 à 10-9 s
– Courant de génération : rapide ttr =W/vs (10-10 à 10-11 s)
• Donc il « faut »:
– Absorption uniquement dans la ZCE
– Zone frontale très mince
– W large mais pas trop sinon ttr trop grand (W=1/)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 84


Photodiode p-n

• Rendement quantique (quantum efficiency):

N e (paires collectées)
  40 à 80 %
N p (photons incidents)

– Fonction du coefficient d’absorption


– Fonction de la longueur d’onde ( fh

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 85


Photodiode p-n
• Sensibilité (responsivity):
I ph N e .e e
S    ( )
Poptique N p .h hc
sensibilité

longueur d’onde (µm)

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Photodiode PIN
• But : améliorer la sensibilité pour les
grandes g et la vitesse .
• Comment ? Augmenter la zone de collecte
des photons (g grand ray. pénétrant)
• On intercale une région intrinsèque entre p
et n+. Si polarisation suffisante, ZCE
envahit la région intrinsèque  vitesse
augmente

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 87


Photodiode PIN

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 88


Photodiode PIN
• Choix du matériau dépend de l’application:
– Communication (émetteur GaAs/AlGaAs)
• Détecteur Si (vitesse non critique)
• Détecteur Ge (g > 10µm)
• 1.55µm + vitesse  détecteurs InGaAs
– Vision nocturne:
• HgCdTe
• InAs, InSb
– « solar blind » + UV:
• GaN, AlGaN
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 89
Photodiode PIN
• « design » de la structure:
– Réflexion sur surface (perte :2 – 3%)
– Maximiser l’absorption dans ZCE (*)
• Attention à la vitesse
– Miroir métallique
– Minimiser les recombinaisons
• Matériau de haute pureté
– Minimiser le temps de transit
• ZCE la plus petite possible (voir *)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 90


Rendement d’une photodiode PIN
• Taux de génération dans le SC:
GL ( x)  J ph (0)(1  R ) exp(x)
• Jph(0(0) Flux de photons (nombre par cm2 et par seconde)

• Photocourant
W
I L  eA  GL ( x)dx eAJ ph (0)(1  R )(1  exp(W ))
0

• rendement IL
det 
eAJph (0)

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Photodiode pin
• Linéarité de la réponse : meilleure que 1% sur 7
ordres de grandeur
• Capacité de la jonction: limite la vitesse
– C diminue si tension inverse augmente
– C augmente si surface sensible augmente
• Courant d’obscurité:limite la détection
– Élevé pour détection IR
– Fonction de la température (*2 si T=10°C pour Si)
• Tension de claquage
– Tension max supportable par le composant

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 92


Photodétecteur à avalanche (APD)
• Dans une p-i-n , le gain est au plus unitaire
• Dans APD, on peut aller à quelques
centaines
• Comment?
– Utilisation du phénomène d’avalanche dans les
jonctions pn
– Condition: avoir des électrons « chauds »
– Très utilisés dans les applications télécoms
– Inconvénients: « bruiteux » (processus
aléatoires), sensible à la température

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 93


Photodétecteur à avalanche (APD)
(Ge, Si)
• « design »
– ZCE qui permette
d’absorber la lumière

– qq µm (gap direct) à qq 100


µm pour SC à gap indirect

– La zone d’absorption et la
zone d’avalanche distincte

• APD « reach through »

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 94


Photo-détecteur à avalanche (APD)
Contact avant
• APD à hétéro-jonction
– Meilleures InGaAs p-
performances InGaAs n+
InP n-
– Gap direct  région
d’absorption et Substrat n+ InP
d’avalanche fines

Contact arrière
• Facteur de multiplication:
photons
1 R: résistance équivalente (série + effet Thermique + …)
M n n : paramètre d’ajustement (dépend du design)
 V  IR  V: tension appliquée
1    VB: tension de claquage
 VB 
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Cellule solaire
• Application importante
des pn : convertir
l’énergie solaire en
énergie électrique
• 2 modes:
– Mode photoconductif
– Mode photovoltaïque

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Cellule solaire
Courant débitée par la diode (courant inverse compté positif)

eV
I  I ph  I s (e mkT
 1)

Deux paramètres :
• la tension de circuit ouvert
mkT I ph
Vco  ln(1  )
e Is
•Le courant de court circuit
I cc  I ph
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Cellule solaire
Puissance débitée: Droite de charge 1/Rc
eV

P  VI  VI ph  I s (e  1)V
kT

Puissance maximum (dP dV  0)


permet de déterminer la
résistance de charge Rc

 eVm  eVm / kT I ph
1  e  1
 kT  Is
Vm
eV Rc   1
I m  I s m e eVm / kT Im
kT

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 98


Cellule solaire
Influence de la résistance série

eV j

I  I ph  I s (e mkT  1)
V  V j  rs I
e (V  rs I )
I  I ph  I s (e mkT
 1)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 99


Cellule solaire
Rendement de conversion

Vm I m 6.2 eV 0.5 eV
conv 
Psolaire

Fill factor:

I mVm
Ff 
I ccVco

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Coefficient d’absorption

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 101


Cellule solaire à base de silicium
amorphe et polycristallin

• Poly cristallin:
– Le plus courant
– Rendement de l’ordre de 13%
– Rendement faible sous faible éclairement
• Amorphe (a-Si)
– CVD Technique (600°C)
– Surface importante, enroulable
– Règles de sélection verticales en k disparaissent
– Meilleur coefficient d’absorption
– Pas cher !
– Rendement faible (6%)
– vieillissement

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 102


Cellule solaire

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 103


Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 104
+50%

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Diodes électroluminescente

LED ou DEL

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 106


Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 107
Choix du matériau : dépend de l’application

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 108


LED
• Rapport taux
d’injection:
n n

p p

1. Région la plus radiative: type p


2. Région p : 2 à 3 Ln (h sort !)
3. Modification du gap (fort
dopage)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 109


Recombinaisons dans la région p

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Utilisation d’hétéro-jonction

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 111


Utilisation d’hétéro-jonction

• Améliore le confinement
dans la région active
• Inconvénient: résistance
plus grande
• On fait des hétéro-
structures graduelles

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Carrier loss in double heterostructures

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 113


Carrier overflow in double heterostructures

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Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 115
Utilisation d’hétéro-jonction
• Couches de confinement (« blocking layers »)

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Conversion tension - lumière

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 117


• L’énergie d’un électron injecté est convertie
en énergie optique:

V = h  / e ≈ Eg / e

• Existence d’une résistance série

• Perte d’énergie par émission d’un phonon


Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 118
Eg EC  E0 EV  E0
V   I Rs  
e e e

I Rs resistive loss
EC – E0 electron energy loss upon injection into quantum well
EV – E0 hole energy loss upon injection into quantum well
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 119
Leds et rendements
# of photons emitted from active region per second Pint / (h )
int  
# of electrons injected into LED per second I/e

# of photons emitted into free space per second


extraction 
# of photons emitted from active region per second

rendement optique

# of photons emitted into free space per sec. P / (h)


ext    int extraction
# of electrons injected into LED per sec. I/e

P « rendement à la prise »
power 
IV « wallplug efficiency »
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 120
Spectre d’émission (1)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 121


Spectre d’émission (2)

E / (k T)
I(E)  E  Eg e

Maximum de l’intensité d’émission

E  Eg  12 k T

E  1.8 k T

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Spectre d’émission (3)

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Spectre d’émission (4)

• Largeur de spectre relativement étroit


comparé au spectre visible
• Pour l’œil humain led  monochromatique

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Leds : extraction de la lumière

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 125


Cône de sortie de la lumière

• Une fraction des photons réfléchie à l’interface semi-conducteur – air .


• Si l’angle d’incidence proche de la normale, extraction possible.

• Loi de Descartes:
2 2
 n  1   3.5  1 
R     30%
 n  1   3.5  1 

nsc sin  c  nair sin   nair


Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 126
Cône de sortie de la lumière

D’après la relation précédente c  16


Entre 0 et 16°, la transmission T varie de 70% à 0

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 127


Cône de sortie de la lumière
Pescape 2r 2 (1  cosc )

Psource 4r 2

Pescape 1   c 2  1
 1  1     c2
Psource 2   2  4

c critical angle of total internal reflection


Problem: Only small fraction of light can escape from semiconductor

Pescape 1 nair 2

Psource 4 ns 2
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 128
Distribution spatiale du rayonnement

Psource nair 2
Iair  2 cos 
4 r ns2

Iair emission intensity in air


 angle with respect to surface normal

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 129


Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 130
Rendement quantique externe

Couplage avec fibre optique:




 n2

n1


n2
n0

pertes

angle maximum 1 2 2 1/ 2  1
 A  sin  (n1  n2 )   sin 1 ( An )
1

 n0  n0
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 131
Rendement quantique externe

Si la source a une distribution en « cosinus » (Lambertian),


la fraction de lumière couplée dans la fibre est donnée par:

A
II (())sin sindd
  
A

sin AA 10


sin
ph 22
10%
00 ph
fibre / 2/ 2 %

fibre
00
IIphph(())sin
sindd

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 132


LED à émission horizontale

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 133


LED àà émission
LED émission par
par la
la surface
surface

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 134


Utilisation de substrat transparent

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 135


Utilisation de substrat transparent

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 136


Utilisation de miroirs de Bragg (DBR)
(cas de substrat absorbant = 50% perte)

• DBR accordé en maille avec la DH


• DBR doit être conducteur (suivant géométrie de la diode)
• DBR doit être centré sur la longueur d’onde de fctment.

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 137


Utilisation de miroirs de Bragg (DBR)
(cas de substrat absorbant = 50% perte)
2
 n   2N

 1   r1  
  nr 2  
R 2N 
 1   nr1  
 n  
  r2  

2Bragg  n
stop  _
neff
1
1 1
neff  2  
 n1 n2 
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 138
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 139
Le LASER à semi-conducteur

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 140


Laser à SC
•• 1° MASER
1° MASER en
en 1954
1954
•• 1° LASER
1° LASER en
en 1962
1962

–– MASER
MASER::Microwave
MicrowaveAmplification
Amplificationby
byStimulated
Stimulated
Emissionof
Emission ofRadiation
Radiation

–– LASER
LASER::Light
LightAmplification
Amplificationby
byStimulated
StimulatedEmission
Emission
ofRadiation
of Radiation

–– Laser
LaserààSC
SC::Aigrain
Aigrainen
en1958
1958
–– Le
Lepremier
premierààSC
SCenen1962
1962avec
avecdu
duGaAs
GaAs

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 141


Laser à SC
• Fonctionnement: 0
– Inversion de population
– Laser à 4 niveaux N1
h
N2
• Pompage
– N1 augmente et N2 diminue 3
– Tant que N2>N1 le photon incident induit des transitions de N2 vers N1
– Si N1>N2, le photon incident induit des transitions de N1 vers N2 par
émission stimulée
– N1>N2  inversion de population ( Temp<0) ie l’état d’énergie
supérieur plus peuplé

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 142


Laser à SC

EFn --------
N1 ----
--
h
h
N2
+
+++
EFp +++++

États discrets États continus

Effet Laser : N1>N2 Ici EF > Eg


EF = EFC -EFV
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 143
Laser à SC : pertes par effet Auger

Dans le SC, le photon incident EFn --------


peut être absorbé par un électron ----
--
(ou trous) de la bande de conduction
qui « saute » sur un niveau énergétique h 1

plus haut: c’est l’effet Auger +


+++
Donc EFp +++++

Effet LASER :
EF > Eg et effet Auger (2) < Absorption normale (1)
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 144
Laser à SC

• Jonction PN doublement
dégénérée !
• La zone active plus côté
p que côté n (voir LED)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 145


Laser à SC

• Différences entre laser conventionnel et SC


– La taille : du mètre au µm
– La Puissance : kW au W
– Cohérence spatiale et temporelle plus petites pour SC
– Rendement : meilleur pour le laser à SC (pas de
pompage)
– Possibilité de modulation : il suffit de moduler le
courant dans la pn !
– Tout le spectre de l’UV à l’IR accessible

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 146


Laser à SC : gain du Laser

• Gain (ou coeff d’amplification) du Laser: même


définition que le coefficient d’absorption
1 d(E) Avec (E) le flux de photons
g(E) 
(E) dx
• Soit rst(E) le nb de photons émis par émission
stimulée par unité de temps et de volume
d
rst(E)*S*dx = rst(E) dx = d  rst (E)
dx
1
g(E)  rst (E)

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 147
Laser à SC : gain du Laser

• Amplification:  g(E) >0  rst(E) >0  EFC-


EFV >E
• g(E) >0 condition nécessaire et pas suffisante car
il y a absorption par les porteurs libres (Auger)
g (E)   P (E)
Soit A(E) le gain net :
Si A(E) >0, condition
AA((EE))  gg((EE))PP((EE)) nécessaire et suffisante
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 148
Laser à SC : gain du Laser
• si A(E) < 0  LED ( uniquement émission
spontanée
• si A(E) > 0 l’amplification commence dans le
matériau. Or l’émission n’est pas isotrope!
p

Le photon 1 sera bcp plus amplifié


2
Zone 1
que le photon 2 car son chemin est
active
plus long  émission sera
directive
n Ce n’est pas encore un LASER
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 149
Laser à SC : diode superradiante

Led

2
1

n superradiante

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 150


Laser à SC

• Le SC a un indice n important (3.5). Il


existe une réflexion (R=30%)  des
photons vont « rebrousser » chemin et être
encore amplifiés : on a une cavité
résonnante on va donc encore augmenter
la densité de photons, mais attention, pas
« n’importe » lesquels !!!

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 151


Laser à SC: cavité de Fabry - Pérot

• Cavité de Fabry – Pérot : sélection de


modes d’oscillations :
k = 2 n L

n : indice du milieu (SC)


L : longueur de la cavité

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 152


Laser : condition d’oscillation

• en 1: 1 ( E )
n
• en 2: 2 ( E )  1e A( E ) L

1 2

• en 3: 3 ( E )  1e A ( E ) L R1 4
3


• en 4: 4 ( E )  1e 2 A( E ) L
R1

• en 5: 5 ( E )  1e
2 A( E ) L
R1 R2 p

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 153


Laser : conditions d’oscillation
En 5 et en 1, on est au même « endroit ».
2 cas :
• soit 5  1
n
• soit 5  1
Dans le cas où 5  1 , le système
1
peut diverger en théorie. 2
4
1
R1 R2e 2 AL  1  2 AL  ln 3

R1 R2 5

1 1
 A ln
2 L R1 R2
1 1 p
 A  ln Si R1=R2
L R
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 154
Laser
• Condition d’amplification : A(E) > 0

1 1
• Condition d’oscillation : A( E )  ln
L R
– Dans ce cas, le gain est supérieur aux pertes de la cavité

• Résumé:
– g(E) > 0 cond. nécessaire => LED
– g(E) >p(E) cond. suffisante (ampli) => LED superradiante

1 1
– g ( E )   P ( E )  ln cond. d’oscillation : Laser
L R
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 155
Laser

• Pour E>E0 : émission


spontanée : c’est une LED
• Si E<E1 et E>E’1
émission spontanée car
émission stimulée
« mangée » par P(E)
• E1<E<E2 et E’2<E<E’1
amplification mais pas
oscillation : superradiante
• E2<E<E’2 : laser

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 156


Laser: émission multimode

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 157


Laser:
Laser: émission
émission multimode
multimode

• La cavité sélectionne un certain nombre de


modes définis par:

2
2nL  kk
nL  
• n: indice, L: longueur de la cavité, k: ordre
d’interférence
2 dn 1 dn
dn 11
 11µµ pour
  (n   ) avec
avec pourGaAs
GaAs
2L d dd
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 158
Spectre monomode et multimode

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 159


Laser: distribution spectrale

• Le spectre du rayonnement LASER est donné par le


spectre du rayonnement stimulé rst(E):
 kT 
E  F

rst ( E )  rsp ( E ) 1  e  avec F  EFC  EFV


 
• Position de la raie du spectre stimulé: on dérive l’éq
ci-dessus.
• Le max est obtenu drst(E)/dE= 0
drsp ( E ) rsp ( E ) 1
 . F  E En inversion, F>E  pente >0
dE kT
rst max
e kT
1
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 160
Laser: distribution spectrale
• Le max de la raie de
l’émission stimulée se
trouve sur le flanc « basse
énergie » de la raie
d’émission spontanée
• Si F>>E (on augmente
l’excitation) exp ( )
tend vers l’infini 
drsp(E)/dE tend vers 0, ie
sommet de la raie
E.spontanée
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 161
Laser: distribution spatiale
l=10µm

• L’indice est plus fort dans la


région stimulée: L=100µm
– Amélioration du gain et du
confinement optique
• Émission du photon à
p
l’extérieur : sortent du coté L
• Longueur d’onde du 0.2 à 1 µm

rayonnement et largeur de la n

fente similaires (µm) 


réfraction
• Ouverture du faisceau

– horizontal 
1
h  
 6
l 10
– vertical  1
 v    60
Prof.M.AGHOUTANE e 1composants optoélectroniques 162
Laser: courant de seuil

m d e ut

n
tio
b

ca
i fi
oscillations

pl

l ’a
• Si pas inversion
LED, le flux est
proportionnel au
1000
courant
• Quand Ef atteint la
100
bande (BC et BV) et
que g(E) > p(E) 
surlinéarité du flux 10

E. spontanée
I0 I
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 163
Laser: courant de seuil

• Équation régissant le problème:


– La recombinaison des e- est provoquée par les
photons population d’e- et de photons
interdépendantes.
– On pose
• n: l’excédent d’électrons (du à l’injection)
• N: l’excédent de photons

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 164


Laser: courant de seuil
• Durée de vie des photons dans la cavité:
– Absorption
– Émission hors de la cavité
– Coefficient effectif d’absorption
1 1
 p  ln
2 L R1 R2

– En moyenne le photon est absorbé sur 1/


1/  1 c 1 1 
N    v   p  ln 
v N n 2 L R1 R2 

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 165


Perte globale de la cavité
Laser: courant de seuil

ed 1 1 ed c  1 1  1
J th    p  log   g th
A  n  N A n nindice  2L R1 R2  

Gain au seuil
Facteur de gain, constante de la cavité
propre au composant

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 166


Laser: courant de seuil

• Au-delà du seuil:
– Oscillation sur le mode sélectionné par la cavité
– Durée de vie des électrons excédentaires
diminue (proba émission stimulée augmente)
– Densité n=n0

J n
 AnN   0
n N
ed N (J  J0 )
J 0 n ed
n0 
ed
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 167
Laser: courant de seuil
en0 d
J th 
n
• Courant de seuil est
proportionnel à l’épaisseur de
la cavité si la couche active
est suffisamment large !
• Si d plus petite que la
longueur d’onde d’émission,
le confinement optique
commence à décroître et le
courant de seuil augmente
• Si d de l’ordre de qq 100
Angstrom, effets quantiques

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 168


Laser: Confinement optique:
Zone active Onde optique
confinée

région p

cavité
F ( z ) dz
Constante diélectrique

région n
2
 F ( z) dz

Distance perpendiculaire à la cavité (z)

1 1
=> Condition d’oscillation: g   i  (1  ) e  log
2L R1 R2
Gain modal:
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 169
Laser: Confinement optique:

D 2
2 2
 avec D  ( n  n 2 1/ 2
e) d
2 D 2
 i

d=250 ang

2 2
sp  (ni2  n 2 ) d 2
2 e

N pd p
mp    N p sp
N p d p  N b db

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 170


Diode laser à hétérojonction enterrée

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 171


Diode laser monomode

• But: obtenir un rayonnement monofréquence


• Idée de base: réduire la longueur L de la cavité
jusqu’à ce que l’espacement entre 2 modes
longitudinaux (c/2nL) soit supérieur à la courbe de
gain.
• Difficultés:
– Cavité très courte (environ 5µm pour les laser à cavité
verticale = VCSELs)
– Contrôle strict de L pour stabiliser la raie
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 172
Diode laser monomode
2 dn 1
  (n   )
2L d

Ec Ec

Un seul mode sera amplifié d’énergie EC


 émission monomode

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 173


Laser à émission verticale : VCSELs

• Jusqu’à présent, on a étudié les lasers à


émission par la tranche (« edge emitting »)
• La condition d’oscillations laser s’écrit:
1 1
g   P  log
2L R1 R2

• Comme R=0.3, on doit avoir L de l’ordre de


100 µm pour avoir Jth raisonnable.
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 174
Laser à émission verticale : VCSELs

• Dans le cas de VCSELs, les miroirs sont


placés au dessus et au dessous de la couche
active on peut réduire L d’un facteur 10,
ie L = 10 µm.
• Pour maintenir un courant de seuil correct,
réalisation de miroirs avec des R=99% voir
plus !

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 175


Laser à émission verticale : VCSELs
On adapte le « pic »
de réflexion des DBR
en fonction de la
courbe de gain de la
couche active.
2
 n   2N

 1   r1  
  nr 2  
R 2N 
 1   nr1  
 n  
  r2  

Avec:
• nr1<nr2
• d1=d2
• Prof.M.AGHOUTANE
L de l’ordre de 10 composants optoélectroniques 176
Laser à émission verticale : VCSELs

• Avantages:
– Taille réduite du composant
– Lumière sort perpendiculairement (télécom)
– L petite, donc courant de seuil faible (< 100µA)
• Difficultés:
– Injection du courant (DBR dopés)
– Faible puissance de sortie (volume actif petit)!)
– Échauffement du dispositif (résistance importante
• Dégradation de performances
• Courant de seuil

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 177


Laser à émission verticale : VCSELs

• Modification de la condition
d’amplification:
gLeffi Leff
RR11RR22ee22((gLeff  ( L  Leff ))
i Leff e e ( L  Leff ))  1
1
Leff  N p d P
N P : nb de puits quantiques
d P : largeur des puits quantiques

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 178


Influence de la température
• Température et courant de seuil:
– Courant de seuil augmente
• « aplatissement » des fonctions de Fermi  augmentation de
l’injection pour atteindre les conditions d’inversion
– Augmentation du courant de fuite
• Les porteurs peuvent franchir les couches de confinement
(« cladding layers ») et une part du courant ne sert pas à l’effet
Laser
– Augmentation de l’effet Auger
• Processus non radiatif !

On essaye d’avoir
J th (T )  J exp(T / T0 )
0
th T0 le plus grand possible.
Pour GaAs , 120 K
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 179
Influence de la température

•• Température
Température et
et spectre
spectre d’émission
d’émission
–– Modification
Modification du
du gap:
gap:
•• Déplacement
Déplacementdu
duspectre
spectrevers
versles
lesbasses
bassesénergies
énergies
–– 33àà44Angstrom
Angstrom//KK
–– Modification
Modification du
du la
la cavité
cavité et
et des
des indices:
indices:
q 0
qq  2 L ; q 
nr

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 180


Rendements de la diode Laser
Rendement quantique interne: c’est pareil que pour la LED

NP
i 
Ne
Puissance optique interne: c’est la puissance créée par
émission stimulée. On néglige la puissance émise par
émission spontanée

Pint  i h ( I  I th ) / e
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 181
Rendements de la diode Laser
Pertes sur Pint: deux contributions

•Contribution proportionnelle aux pertes de


propagation : terme en Pint
•Contribution due à l’émission de lumière vers
l’extérieur: terme en rad Pint

Puissance optique émise par les 2 faces du Laser:

Popt  Pint rad /( rad   )  Pint (1   /  rad )


Popt  i h / e ( I  I th ) /(1   /  rad )

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 182


Rendements de la diode Laser

Rendement différentiel : deux définitions

dN P d ( Popt / h )
d    i /(1   /  rad ) Sans dimension
dN e d ( I / e)

d ( Popt )
 
'
d en mW/mA
dI
Attention : ici Popt est la puissance émise par les 2 faces!!
Dans les docs, c’est par une face!!
Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 183
Rendements de la diode Laser

• Rendement global

  Popt / Pelec

C’est celui qui intéresse l’utilisateur. Il détermine les


mesures à prendre pour évacuer la chaleur.

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 184


Références:
Références:

• H.Mathieu Physique des SC et Composants électroniques, Dunod, 2002


• F. Schubert, Light emitting diodes, « www.lightemittingdiodes.org »
• J. Singh, optoelectronics devices, McGrawHill, 1996
• D.A. Neamen, « semiconductors physics and devices », McGrawHill, 3° Ed,
2003

Prof.M.AGHOUTANE composants optoélectroniques 185

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