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Composants optoélectroniques

P. Lévêque

CNRS-InESS, Strasbourg
Plan du cours

1 Introduction
2 Interaction rayonnement-semiconducteur
3 Photodétecteurs
4 Emetteurs de rayonnement à semiconducteur
Plan du cours

1 Introduction
2 Interaction rayonnement-semiconducteur
3 Photodétecteurs
4 Emetteurs de rayonnement à semiconducteur
Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Principe : jonction p-n polarisée en direct



E
p n
VF 
FE W
EC diffusion
EFp EFn
eVF
EV
diffusion 
FE
Jonction p-n polarisée en direct
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Principe : jonction p-n polarisée en direct


Ln
EC
p
h
EFn
EFp eVF
EV
n

W Lp
Jonction p-n polarisée en direct
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rappel : jonction p-n polarisée en direct


Ln Lp
p n
VF
W
dp xp xn dn x
x’c xc
Ln(p) << dn(p)
 eVF  (x n  x)/L p
p n  p no  p n  e kT  1e
 
 
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rappel : jonction p-n polarisée en direct


Ln Lp
p n
VF
W
dp xp xn dn x
p x’c xc
jp (x)  eD p
x
en i2 D p  eVF  (x  x)/L
jp (x)  e kT  1e n p
N d L p  

Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Principe : jonction p-n polarisée en direct

Si VF est suffisante W étroite rôle mineur dans émission


Injection de trous dans zone de type n
en i2 D p  eVF 
jp (x n )  e kT  1
N d L p  

Injection d’électrons dans zone de type p
en i2 D n  eVF 
jn (x p )  e kT  1
Na Ln  
 
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Principe : jonction p-n polarisée en direct


Courant total J conservatif (indépendant de x)
J  jp (x n )  jn (x p )

 eVF  en i2 D p en 2 D 

J  e kT  1  i n
  N d L p N a L n 
  

JS
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Principe : jonction p-n polarisée en direct


Taux d’injection des porteurs minoritaires
jn (x p ) jp (x n )
γn  ; γp 
J J

γ n Dn Lp Nd μ n τp Nd
   1 (n >> p)
γ p DpLn Na μ p τn Na

Recombinaisons essentiellement dans zone p


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure LED

Al
SiO2
p
n

substrat
Au
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Spectre d’émission
Lié à Eg de SC de type p et au dopant utilisé

III-V miscibles : GaAsxP1-x ; GaxIn1-xP


Eg = Eg (x)

Emission dans le bleu difficile

GaN
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Spectre d’émission
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Spectre d’émission
Matériau Pic (nm) Couleur Rendement (%)
GaAs (Si) 1000 IR 10
GaAs (Zn) 900 IR 0.1
GaP (Zn, O) 699 Rouge 4
GaAs0.6P0.4 (Te) 644 Rouge 0.2
GaAs0.35P0.35 (S, N) 632 Orange 0.2
GaP (N) 690 Jaune 0.1
GaAs0.15P0.85 (S, N) 589 Jaune 0.05
Gap GaP (N) 570 Vert 0.1
indirect
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement Rendement quantique interne i


Taux de recombinaison radiatif
rr rr
ηi  
r rr  rnr
Δn Δn
or rr   ; rnr  
τr τ nr
τ nr
ηi  1 (nr >> r SC à gap direct)
τ r  τ nr

Rendement radiatif
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement Rendement optique o

Photons réabsorbés avant sortie de la diode


Réflexion totale

Loi de Snell-Descartes
2
Air (n2 = 1)
n1sin1 = n2sin 2

1 Semiconducteur (n1 ~3.5)

rt sin π/2 


sinθ rt   θ rt  16
3.5
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement Rendement optique o


Photon sortant
de la diode
Photon réfléchi
à interface air/SC Angle solide couvrant espace :
rt
2π π
Ω o   dφ  sinθdθ  4π
0 0
Angle solide sous-tendu par rt :
 2π θ rt
Ω rt   dφ  sinθdθ  2π1 - cosθ rt 
0 0
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement Rendement optique o


Ω rt 2π1 - cosθ rt  θ 2rt
ηo  T T (1 - R)
Ωo 4π 2
n = 3.5 o = 1 %
+ interface transparent en plastique d’indice np = 1.5
o = 4 %

+ interface hémisphérique (incidence normale)


T = 96 %
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement

Rendement quantique externe e


N ph Nb photons émis
e = i o =
N él. Nb porteurs traversant p-n

Rendement global 
Wopt.
η
Wél.
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Rendement Rendement global 


Wopt.
η
Wél.

N ph h E g /e
η  ηe
eVN él. rs I  Vd

LED AlGaInP (rouge / jaune)  > lampe à incandescence


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

Modulation par courant injecté dans la diode

Fréquence de modulation limitée par diffusion dans jonction


Ln
- dp >> Ln p n
- Vo >> V1
Vo+V1sin(t) W
- faible injection
 ~ constant dp
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

Distribution des électrons dans zone p :

Δn(x, t)  2 n(x, t) Δn(x, t)


 Dn 
t x 2 τn

avec Δn(x, t)  Δn o (x)  Δn1 (x)e jt

Vo V1sin(t)
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

Distribution des électrons dans zone p :

 2 n o (x) Δn o (x)
 0 Ln  Dn τn
x 2 L2n
avec
Dn τn
 2 n1 (x) Δn1 (x) L*n 
 0 1  jωτ n
2
x L*n2
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

Distribution des électrons dans zone p :


(x - x p )
-
Ln
Δn o (x)  Δn o (x p )e
(x - x p ) (dp >> Ln)
-
L*n
Δn1 (x)  Δn1 (x p )e
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

Courant traversant la jonction :

J = jn(xp) + jp(xn) ~ jn(xp)

 Δn(x, t)   Δn o   Δn1  jωt


J  eD n    eD n   eD n  e
 x  x p  x  x p  x  x p

eD n
soit J  J o  J ωe jωt
avec Jω  Δn1 (x p )
L*n
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure


Nombre de photons émis (/cm2 s) : N
N ph Nb photons émis
e = i o =
N él. Nb porteurs traversant p-n

Δn  Δn  Δn
o dx  η e j ωt 1 dx
N  ηe  dx  ηe  e 
x τ n x τ n x τn
p p p

L*n
soit N  N o  Nω e jωt avec Nω  ηe Δn1 (x p )
τn
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure

eD n L*n
Jω  Δn1 (x p ) et Nω  ηe Δn1 (x p )
L*n τn

Nω Modulation du rayonnement


Efficacité de modulation R ω 
Jω Modulation du courant
d’excitation
2
ηe  L n 
*
ηe 1
R ω  
 
e  Ln  e 1  jωτ n
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure


ηe 1
Efficacité de modulation R ω  
e 1  jωτ n
ηe
avec R o  (efficacité de modulation basse fréquence)
e
1 Ro
et ωc  R  R ω  (passe-bas)
τn 2
 ω 
1   
 ωc 
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure


ω
Fréquence de coupure f c  c

1
or τ n  (B : probabilité de transition radiative)
Bpo

fc augmente si po (dopage) augmente

Utilisation de forts dopages dans limites de solubilité


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure


ωc Bpo
Fréquence de coupure f c  
2π 2π
Ex : GaAs
Limite de solubilité ~ 1018 /cm3 et B = 7.2x10-10 cm3/s

fc = 114 MHz
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Temps de réponse, fréquence de coupure


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Brillance : Br (W/sr m2)


Emission dans demi-plan et non isotrope

Bro brillance dans direction axiale ; S surface émettrice


Flux d’énergie t = SBro
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles

3 applications usuelles :

- affichage
- photocoupleurs
- transmission par fibre

Application conditionne la structure


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : affichage

- Emission dans le visible (Eg)

- Surface émettrice suffisante (géométrie)


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : photocoupleurs

Circuit 1 Circuit 2

LED Photo diode (Si)

Transmission de signaux logiques entre 2 circuits isolés

Emission LED compatible avec Si : GaAsP


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : transmission par fibres

- Emission LED compatible avec  = 1.3 ou 1.5 µm

- Possibilité de modulation
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : caractéristique commune

Fort rendement quantique interne i (nr >> r)

Matériaux purs (chimique et cristallographique)

Réalisations de couches épitaxiées


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : Molecular Beam Epitaxy (MBE)


Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : Molecular Beam Epitaxy (MBE)

Ga

Ultravide (10-10 Torr)


As
Dopage durant croissance
Nettoyage substrat in-situ
P
Tsubstrat ~ 400-900 °C
Vitessedépôt ~ 10-3-0.3 µm/min
dopants
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : GaAs0.35P0.65 (orange)


contact
isolant
Couche active
injection des électrons (n)
GaAs0.35P0.65 p Recombinaison (p)
GaAs0.35P0.65 n
gap direct pour x = 0.35
GaAs0.35P0.65 Couche tampon
GaAsxP1-x (0<x<0.35) accord du paramètre de maille

GaP n+ Germe (cristal) + conductivité

contact
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Structure des LEDs usuelles : GaAs0.35P0.65 (orange)

Encapsulation

- Protection de LED et contacts


- Augmente rendement (discontinuité d’indices,
diminution de réflexion : incidence normale)
Photoémetteurs
Diode électroluminescente LED

Exemple de LEDs usuelles


Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe
LASER : Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation

- 1917 : découverte de l’émission stimulée (Einstein)


- 1960 : premier LASER à rubis (Maiman)
- 1958 : théorie de LASER à semiconducteur (Aigrain)
- 1962 : premier LASER à semiconducteur (AsGa)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Laser E
3
2

Pompage
(excitation externe)
1
0

Durée de vie dans état 2 >> durées de vie transitions (3 → 2) et (1 → 0)

N2 > N1 : inversion de population


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Spécificité des lasers à semiconducteur

Niveaux discrets remplacés par bandes d’énergie

N2 > N1  EFn-EFp > Eg (condition d’inversion)

Rayonnement amplifié réabsorbé par transitions intrabandes


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Spécificité des lasers à semiconducteur


EFn-EFp > Eg (condition d’inversion)

E E
E
EFn EFn
EC EC
EC
Eg Eg
Eg
EV EV
EV EFp
EF EFp

N(E) N(E)
N(E)
Équilibre thermodynamique Inversion (0 K) Inversion (RT)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Spécificité des lasers à semiconducteur


Rayonnement réabsorbé par transitions intrabandes

E = h
h

E = h
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Jonction p-n dégénérée polarisée en direct

Régions n et p très fortement dopées ; régime de forte injection

Extréma BV et BC perturbés

Gap effectif E’g < Eg

Laser à injection ou diodes lasers


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Jonction p-n dégénérée polarisée en direct

p n p n
Ec Ec
Eg EFc
Ev Ev
EF EFv VF

Eg

Equilibre thermique Polarisation directe


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : Jonction p-n dégénérée polarisée en direct

p n p n
Ec Ec EFc
Ev Ev Eg VF
EF EFv
Eg d
Zone d’inversion
Equilibre thermique Forte injection
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Principe : caractéristiques communes

- faibles dimensions (~ µm)


- puissance et cohérence spatiale << lasers conventionnels
- rendement >> lasers conventionnels (conversion efficace)
- grande facilité de modulation (transmission par fibres)
- spectre couvert visible  proche IR (III-V ; II-VI)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain : g(E)

(E) : flux de photons dans le matériau

1 d E 
Gain g(E) 
 (E) dx
(gain ↔ coefficient d’absorption (E) si g(E) < 0)

Φ(E)  Φ o (E)eg E x
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain : g(E)

rst(E) : taux d’émission stimulée

rst(E) = (Nb photons créés par stimulation) / V t

rst (E)
g(E) 
Φ(E)

Injection donnée, g = g(E)


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain : g(E)

Condition d’émission stimulée :

g(E) > 0 (inversion de population)


et
g(E) supérieur aux pertes (transitions intrabandes)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain : g(E) Transitions intrabandes

Absorption par porteurs libres (Auger)


E = h
h Coefficient d’absorption
par porteurs libres p(E)

E = h Coefficient net d’absorption


A(E) = g(E) - p(E)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain net : A(E) = g(E) - p(E)

Condition d’émission stimulée : A(E) > 0

- augmentation de l’intensité du signal lumineux émis


- directivité de l’émission (direction la + grande de diode)

Diode superradiante
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain
Electrodes métalliques Zone active

p d
n

L : longueur de la diode ~ 300 µm


d : épaisseur de zone active ~ 0.2 µm
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain

Semiconducteur, n ~ 3.5

Réflexion (~ 30 %) interface air / SC

Cavité résonante (Fabry-Pérot)


Photon stimulé Photons transmis
émis p
d
n
L
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain Photon stimulé


émis M1 p
M2/3
d
M4/5
n
L
Flux en M1 : (E)  flux (E)eA(E)L en M2 (avant réflexion)
 flux R(E)eA(E)L en M3 (après réflexion)
 flux R(E)e2A(E)L en M4 (avant réflexion)
 flux R2(E)e2A(E)L en M5 (après réflexion)
Résonance si R2(E)e2A(E)L > (E)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain Condition de résonance : R2(E)e2A(E)L > (E)

1 1
g(E)  α p (E)  Ln 
L R

Avec p(E) ~ 70 cm-1 ; n = 3.6 ; R ~ 30 % ; L = 300 µm

g(E) > 100 cm-1


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Gain résonance
g(E) (cm-1) émission
stimulée
150
p+ (1/L)Ln(1/R)
100
p
50
E0
E
E < E’g E’g E1 E2 E’2 E’1 E > E0
Pas de photon A(E) < 0 A(E) < 0 Pas d’inversion
émis émission émission émission
spontanée spontanée spontanée
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  sans résonance


 (E -ΔF) 
rst (E)  rsp (E)1 - e kT  où F = EFn - EFp
 
 
drst (E)
Position de raie stimulée : 0
dE
 drsp (E)  1 1
   rsp (E)
eΔF E /kT   1
 dE 
  rst max kT

> 0 (inversion)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  sans résonance


drst (E)  drsp (E)  1 1
0    rsp (E)
eΔF E /kT   1
 dE 
dE   rst max kT

 drsp (E)  Raie d’émission stimulée sur flanc


  0
 dE  montant de rsp(E) = f(E)
  rst max

 drsp (E)  Forte injection (F grand)


lim  
 0 raie d’émission stimulée
ΔF   dE  r max au maximum du spectre d’émission
st
spontanée
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  sans résonance

(E) Très forte injection


Pic d’émission émission stimulée
stimulée au maximum
de rsp(E) à très forte Forte injection
injection émission stimulée

Pic d’émission
stimulée sur le flanc
montant de rsp(E)
E
Faible injection
pas d’émission stimulée
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  avec résonance

k=1 k=2 k=3 d

milieu d’indice n L

Résonance possible pour k modes avec 2nL = k


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  avec résonance

k 2nL  λ n 
2nL = k    1
2
λ λ  n λ 

entre 2 modes, k = -1

1
λ2  n  λ2
distance intermode λ  n  λ  
2L  λ  2nL
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spectrale du rayonnement  avec résonance

E (eV)

E (eV)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spatiale du rayonnement L ~300 µm

d d < 1 µm

1%

n
l ~ 10 µm
Variation d’indice (~ 1 %) dans zone de forte injection
Guide d’onde (confinement)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spatiale du rayonnement L ~300 µm

Amplification maximale d < 1 µm


dans la direction la plus
grande (L)

l ~ 10 µm
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Distribution spatiale du rayonnement


L ~300 µm
 = 1 µm ~ d ~ l
Ouverture faisceau
conditionnée par
d < 1 µm
diffraction
λ
1
θ1   6
l
2 λ
l ~ 10 µm θ 2   60
d
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo Emission stimulée


~J

Jo
J
Flux (E)
Courant excitateur J Emission spontanée
~J
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

J = jn(xp) + jp(xn) ~ jn(xp) (n >> p)

jn Δjn
Hypothèses : - zone active homogène 
x d
- e- injectés recombinés dans zone active
 
jn x p  d  0
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

 
  
jn Δjn jn x p  jn x p  d

jn x p

J   
x d d d d
dn J
 r (équation de continuité)
dt ed
Taux de recombinaison des e- stimulés dans mode i
n
r  R sp  R st    R st i
τn i
Durée de vie des e- en régime d’émission spontanée
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

Taux de recombinaison des e- stimulés dans mode i

Taux d’émission de photons stimulés dans mode i

i=1 i=2 i=3 d

~
milieu d’indice n L
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

Taux de recombinaison des e- stimulés dans mode i

Taux d’émission de photons stimulés dans mode i

R st i  A i (n)Ni

Densité de photons sur le mode i


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

R st i  A i (n)Ni où Ai(n) ~ gain du laser

On stipule Ai(n) = Ain avec Ai (cm3/s)

dn J J n
 r     A i nN i
dt ed ed τ n i
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo Ni
Recombinaison de photon dans mode i ri 
dN i τN
 g i  ri
dt
Durée de vie d’un photon dans mode i
dans la cavité
Génération de photon dans mode i

n
g i  A i nN i  γ i
τn

Probabilité de génération spontanée d’un photon dans mode i


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo

N : Durée de vie d’un photon du mode i dans la cavité

1 c 1  1 
 ~  α p  Ln  
τN n  L  R 

~
Vitesse du photon dans cavité d’indice n
Pertes dans la cavité
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
dn J n
    A i nN i
dt ed τ n i

dN i n Ni
 A i nN i  γ i 
dt τn τ N

Hypothèses : - diode monomode

- i ~ 0
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
dn J n
   AnN
dt ed τ n

dN N
 AnN 
dt τN
En régime stationnaire, J constant  n et N constants
N n J
 
τ N τ n ed
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
N n J
 
τ N τ n ed

Si J < Jo, N négligeable
(rayonnement spontané seulement)

Jτ n n J
n et R sp  
ed τ n ed

Jo
J
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
N n J
 
τ N τ n ed

Joτn
Si J = Jo no 
ed
dN N 1
et  AnN  0 no 
dt τN Aτ N

ed ed c  1  1 
Jo   ~  α p  Ln   Jo
J
Aτ N τ n Aτ n n  L  R 
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
N n J
 
τ N τ n ed

Joτn
Si J > Jo n  no 
ed
(n diminue car émission stimulée → n sature)
J no
  An o N  0
ed τ n
1  J  τN J
N   1  J  J o  Jo
Aτ n  J o  ed
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Courant de seuil : Jo
Mode plus intense peut changer
au cours du temps
(influence dans communication par fibres)

Comportement réel

diodes multimodes
zone active non homogène
(comportement filamentaire)

E (eV)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure 

Variation linéaire  = f(J)


Modulation d’amplitude
pour communication par fibre

Jo
J
Fréquence de coupure fc conditionnée par n
LED émission spontanée, n ~ 1 ns
Diode laser, n plus faible (émission stimulée)  fc plus grande
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
J’ = J + Jejt avec J > Jo ; J << J – Jo

n’ = n + nejt

N’ = N + Nejt
dn J n dn' dn
   AnN   jtΔne jt
dt ed τ n dt dt

dn' J  ΔJe jt n  Δne jt


dt

ed

τn
 
 A n  Δne jt N  ΔNe jt 
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
dn' J  ΔJe jt n  Δne jt
dt

ed

τn
 
 A n  Δne jt N  ΔNe jt 
dn J n
En régime stationnaire, 0   AnN  0
dt ed τ n
 1  ΔJ
Δn   AN  jω   AnΔN 
 τn  ed
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
dN N
De même,  AnN 
dt τN

 1 
ANΔn -   An  jω  ΔN  0
 τN 
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
 1  ΔJ
Δn   AN  jω   AnΔN 
 τn  ed

 1 
ANΔn -   An  jω  ΔN  0
 τN 
1  J  τN
N   1  J  J o  (J > Jo)
Aτ n  J o  ed
et
1
n  no  (n sature car émission stimulée)
Aτ N
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
 1 J  ΔN ΔJ
Δn   jω   
 τn Jo  τ N ed
1  J  Δn
  1 Δn - jω 0
τ N τn  Jo  τN

1  J  1 J
On pose ω02    1 et 
τ N τn τn Jo
 Jo 
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
ΔN ΔJ
Δn β  jω  
τ N ed

Δn
ωo Δn - jω 0
τN
ΔJ 1 1
Δn 
ed ωo β/ωo   jω/ωo   ωo /ω 

ΔJ 1
ΔN  τN
ed ωo2  ω 2  jβ
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
ΔN 1 ΔJ/J o
modulation 
N τ N τ n ωo2  ω 2  jβ

β 1 ΔJ/J o
On pose γ  et A o 
ωo τ N τ n ωo2

Amplitude de modulation A  Δ N A o

N 1/ 2
 2 
  ω 2  2 ω 2

 1  2   γ 2 
  ωo  ωo 
 
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
A ~ Ao si  << o

ΔN Ao
A  A ~ Aoo2/2
N 1/ 2
 2
2
2 si  >> o
 ω  2ω 
 1  2   γ 2 
  ωo  ωo 
  A = Amax = Ao/
si  >> o
1/ 2
ωo 1  1  J 
Fréquence de résonance fo     1 
2 π 2 π  τ N τ n  Jo  

Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure
100

Amax
10

J=1.01J o J=1.5J o
fo augmente
A/Ao

1
J=1.1J o
avec J
0.1
fo

0.01
0.01 0.1 1 10
1/2
 nN
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Fréquence de coupure

Ordres de grandeur
n ~ 10-9 s (LED émission spontanée)
1 c 1  1  avec p ~ 60cm-1, L ~ 300 µm
 ~  α p  Ln   ~
R ~ 30 % et n ~ 3.5
τN n  L  R 
N ~ 10-12 s 1/ 2
1  1  J 
Pour J = 1.1Jo fo    1   1.6 GHz
2 π  τ N τ n
 Jo  

10 x supérieure à fc pour LED


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structure réelle des diodes lasers : double hétérojonction (DH)


L ~300 µm

p GaAs
1 µm
d ~ 0.1 µm

l ~ 10 µm
Confinement des électrons et des photons dans zone active
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structure réelle des diodes lasers

Confinement des photons dans zone active par variation


importante d’indice entre AlGaAs et GaAs (~ 5 %)

n~
Meilleur confinement que dans homojonction ( ~  1% )
n
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structure réelle des diodes lasers

Confinement des électrons


dans zone active par variation
du gap entre Al0.7Ga0.3As (1.9 eV)
et GaAs (1.4 eV)
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structure réelle des diodes lasers


Irradiation aux protons
Confinement supplémentaire des électrons
dans zone active par irradiation
sélective aux protons

zones fortement résistives

Zones résistives
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structure réelle des diodes lasers : double hétérojonction (DH)

Confinement des électrons et des photons dans zone active


limite le courant de seuil Jo

Utilisation de puits quantiques (hétérostructures qqs 10 nm)


augmente encore confinement des électrons
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structures verticales (VCSEL)

Vertical Cavity Surface Emitting Laser

Emission de lumière ┴ zone active

- Nombreux lasers sur même substrat


- Connexion plus simple avec fibres optiques
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structures verticales (VCSEL)

Mais un seul passage


des photons dans zone active

résonance

Puissance faible
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structures verticales (VCSEL)

Distributed Bragg Reflectors


+ confinement
Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structures verticales (VCSEL)

Distributed Bragg Reflectors :

multicouches de semiconducteur
d’indice différent

Réflectivité ~ 99.9 % (/ 30 % pour miroirs classiques)


Photoémetteurs
Laser à semiconducteur

Structures verticales (VCSEL)


Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs

-Diode électroluminescente LED


-Laser à semiconducteur
-Emetteurs à SC et télecommunications
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Choix de l’émetteur

- Spectre d’émission compatible avec fibres optiques


- Modulation
- Couplage émetteur / fibre
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Choix de l’émetteur

Fibres optiques :
- transparence et faible dispersion  = 1.3 - 1.5 µm
- diamètres qqs µm → qqs 100 µm

Emetteurs :
- rayonnement modulable  = 1.3 - 1.5 µm
- surface active de faibles dimensions

LED’s et diodes lasers


Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Choix de l’émetteur

LED’s : Diodes laser :

 moins chères  surface active plus faible


 meilleure durée de vie  rayonnement + monochromatique
 facilement modulables  rayonnement + puissant et directif

Diminue dispersion intermode


Favorise couplage
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Ouverture numérique de la fibre gaine


~
n2
~
n0 cœur
r 
Fibre
 ~
n1
~
n2

Fibre à variation brutale d’indice


Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Ouverture numérique de la fibre ~


n2
~ ~
n sinα  n sinα
~
n0
r
o 1 r 
~
Réflexion totale  n1
~
~
n2
n2

sinθ c  ~
n1
Angle d’incidence maximal m ↔ c
 ~ 2 ~2  Ouverture Numérique ON
 1  n2 
n
α m  Arcsin ~ 
 n0
 
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Ouverture numérique de la fibre ~


n2
~
n0
r

 ~ 2 ~2 
 1  n2 
n  ~
n1
α m  Arcsin ~ 
 n0 ~
n2
 
Ex :
Cœur en silice dopée (SiO2-GeO2) : ~ n1  1.53
~
Gaine en silice pure (SiO2) : n 2  1.5
~
Fibre dans l’air : n 0  1
ON = 0.3 et m = 18° (fibres à gradient d’indice moins tolérantes)
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplage émetteur-fibre

LED de surface émettrice S ↔ fibre de section de cœur > S

Flux d’énergie transmis par la fibre :  f  S  Br dΩ


Ωm
LED ~
n2
~
n0
m
Ω m  2π1 - cosα m 
m ~
n1
~
n2

S
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplage émetteur-fibre
αm
 f  S  Br dΩ Φ f  2πS  Br sinαd où Br : brillance
Ωm 0

or Br = Bro cos (Bro : brillance dans direction axiale)

2
ON
Φ f  πSBrosin 2α m  πSBro
~
n2 0
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplage émetteur-fibre

ON 2
Φ f  πSBro : flux transmis par fibre
~
n2
0
Φ t  πSBro : flux total émis par la diode

Rendement de couplage c

Φ f ON 2 ~ n12  ~n 22
ηc   
Φt ~
n02 ~
n 02
c ~ 10 % pour ON = 0.3
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplage émetteur-fibre
Φ f ON 2 ~ n12  ~n 22
Rendement de couplage : ηc  
~ 2

~
Φt n0 n 02

Si surface de la fibre Sf < S  c réduit de Sf / S

Couplage optimal si ON maximal et Sf > S


Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages LED-fibre
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages LED-fibre
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages LED-fibre
Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages diode laser-fibre


Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages diode laser-fibre


Photoémetteurs
Emetteurs à SC et télécommunications

Couplages diode laser-fibre


Composants Optoélectroniques

Références
H. Mathieu : Physique des semiconducteurs et des composants électroniques
Masson
S.M. Sze : Semiconductor devices
Wiley

http://britneyspears.ac/lasers.htm
http://www.arcelect.com/fibercable.htm
http://www.lanshack.com/fiber-optic-tutorial-fiber.asp
http://www.nepcorp.com/
http://www.rohm.com/products/shortform/18led/led_index.html
http://micro.magnet.fsu.edu/primer/lightandcolor/ledsintro.html
http://en.wikipedia.org/wiki/Light-emitting_diode
http://www.ecse.rpi.edu/~schubert/Light-Emitting-Diodes-dot-org/

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