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IUT Mesures Physiques

CAPTEURS
2ème année

Thomas BEGOU – Marcel PASQUINELLI

Année 2011/2012
Plan du cours (1)

1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

1.1. Le Capteur (Sensor)


1.2. Aspect économique Présentation Générale
1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures

2.1. L’entrée du capteur : Le mesurande


2.2. Le corps d’épreuve
Eléments constitutifs
2.3. Le conditionneur / transmetteur
d’un capteur
2.4. La sortie du capteur
2.5. Les perturbations

3.1. Le microphone à condensateur Exemple d’application

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Plan du cours (2)

2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

1. Réponse statique (caractéristique entrée – sortie)


2. Etendue de Mesure : E.M. (Entrée)
3. Spécification de la sortie
4. Linéarité et erreur de linéarité
5. Sensibilité
6. Hysteresis
7. Résolution
8. Caractéristique de transfert
9. Précision qualitative (fidélité et justesse) et précision métrologique
10. Réponses dynamiques
11. Réponse temportelle (ordre du capteur)
12. Rapidité (temps de réponse)
13. Ecart
14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal
15. Capteur 1er ordre : Relation bande passante / temps de montée
16. Indice de protection IP

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Plan du cours (3)

3ème Partie : LES CONDITIONNEURS

1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils


1.2. Montage potentiométrique simple
1.3. Montage potentiométrique push-pull Conditionneurs pour capteurs passifs
1.4. Montage en pont d’impédance
1.5. Montage potentiométrique avec
amplification du signal

2.1. Capteurs source de tension Conditionneurs de signaux pour


2.2. Capteurs source de courant capteurs actifs et/ou sortie de
2.3. Capteurs source de charge conditionneurs passifs

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1.1. Le Capteur (Sensor)

Définition : Dispositif de métrologie chargé de traduire les variations d'un procédé


physico-chimique en une grandeur exploitable

Procédés physico-
Grandeur quantitative
chimique, mécanique, CAPTEUR exploitable
électrique, ...

Pression, température, - Indication analogique,


débit, vitesse, numérique
accélération,
flux lumineux, - Signal électrique
déplacement, …..

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1.2. Aspect Economique (1)

Secteur M€
ENERGIE 25 -
SECURITE 25
GRAND PUBLIC 25
MEDICAL 25
BATIMENT 40
TRANSPORT 48
TEST/LABORATOIRES 125
INDUSTRIEL 350
AUTOMOBILE 375
DEFENSE/AERONAUTIQUE 470 +

Ventes 2007 de capteurs en France par secteur (M€) – source Cabinet Décision

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1.2. Aspect Economique (2)

Type de mesure M€
DISTANCE 75 -
GAZ 77
NIVEAU 77
FORCE 110
FLUX 110
ELECTROMAGNETIQUE 130
INERTIE 145
TEMPERATURE 150
POSITION 151
PRESSION 170 +

Ventes 2007 de capteurs en France par type de mesures (M€) – source Cabinet Décision

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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (1)

Le Capteur (l'élément qui se trouve en amont d'une chaîne de mesures)

COMPOSANT ESSENTIEL

Bon fonctionnement des systèmes où


Qualité de la mesures
le capteur est intégré
(Mesure simple, contrôle, ...)
(régulation, contrôle in-situ de procédés)
Voir : Exemple 1
Voir : Exemple 2

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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (2)

Exemple 1 : Mesure simple

Source d'énergie

Conditionnement du Exploitation
CAPTEUR
signal (Affichage, lecture, ...)

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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (3)

Exemple 2 : Détection niveau et régulation

Valve automatique

Capteur 1
Niveau MAX

Régulateur

Niveau min
Capteur 2

Les mesures réalisés par les capteurs 1 et 2 permettent par le biais du régulateur de régler
le niveau d’eau dans le récipient.

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2.1. L’entrée du capteur : Le mesurande

Définition : Le mesurande est la grandeur physico-chimique à mesurer, on le notera μ, x,


X ou E pour se référer à l'entrée du capteur.
Exemple : Pression, température, position, déplacement, accélération, tension, pH, ...

On peut distinguer plusieurs type de mesurandes :

X X

t
t

Mesurande constant Mesurande à évolution


temporelle non répétitive

X Mesurande à évolution
t temporelle répétitive
(périodique)

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2.2. Le corps d’épreuve

Définition : Le corps d'épreuve est l'élément d'entrée du capteur qui répond aux
sollicitations du processus physico-chimique.
Soumis au mesurande étudié, il assure la “traduction” en une autre grandeur qui peut être
de nature non électrique, dans ce cas ce mesurande secondaire est ensuite traduit en
grandeur électrique.

Exemple : Capteur de force résistif

Application
d’une Déformation Résistance
FORCE
ΔF ΔL ΔR

Le mesurande primaire est la force appliquée, ΔF, le corps d’épreuve est constitué par un
conducteur métallique qui va se déformer d’une quantité ΔL sous l'action de ΔF, cette
déformation est alors traduite en variation de résistance ΔR.

L’idée : Chercher les relations ...


 ... liant la valeur de la résistance R à la valeur de la force appliquée F R  f (F )
 ... liant la valeur de la variation de la résistance ΔR de la jauge
à la variation de la force appliquée ΔF
R  g(F )

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2.3. Le conditionneur / transmetteur

Définition : Le conditionneur est l'élément de sortie du capteur qui transforme les


variations du mesurande primaire ou secondaire en variations électriques exploitables
(tension, courant, ….).

Exemple : Capteur de force résistif avec son conditionneur


Conditionneur
Application
Déformation Résistance Tension
d’une FORCE

ΔF ΔL ΔR ΔU

Nota : Du point de vue de l'utilisation, on regroupe souvent les fonctions capteur-


conditionneur sous un même terme de capteur ou transducteur.

Application Capteur (ou


TENSION
d’une FORCE transducteur)

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2.4. La sortie du capteur (1)

Définition : La sortie du capteur est noté Y, y ou S. La principale fonction du capteur est


de quantifier le mesurande, cette traduction est généralement réalisée par l'existence d'une
relation mathématique liant la sortie et l’entrée du capteur.

Mesurande Capteur (ou Sortie


X transducteur) Y

Que l’on peut


On cherche un
X  Y mettre sous la X  X 0  X  Y  Y0  Y
lien entre:
forme de

Avec : Y  f ( X ) , Y  g(X ) , X0 et Y0 valeur de X et Y à “l’équilibreˮ

Nota 1 : Si la réponse est linéaire alors y = k.x et Δy = h.Δx ou f(X) = g(X)

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2.4. La sortie du capteur (2)

On peut distinguer plusieurs type de sorties :

Sortie Sortie Tout Ou Sortie


Analogique Rien (TOR) Numérique

17mA 5V 00010111
X

Seuil

0V

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2.4. La sortie du capteur (3)

Nota 1 : Dans de nombreuses applications, le capteur donne une réponse nulle S = S0 =0


pour une valeur particulière m = m0 du mesurande (équilibre) et présente une sortie non
nulle pour les variations du mesurande par rapport à cette valeur d'équilibre :

ΔY = f(Δx)

Exemple : Capteur de pression relative : S = 0 pour P = Patmosphérique

Nota 2 : On recherchera le plus souvent une relation linéaire de la forme S = k.m


(Y = k.X) ou ΔS = k.Δm.

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2.4. La sortie du capteur (4)

Nota 3 : Les grandeurs influentes sont toujours prises en compte dans le processus de
mesure :

 Le mesurande est bruité


 Les caractéristiques métrologiques du capteur sont modifiées

La sortie est alors fonction du mesurande et de ces grandeurs perturbatrices (bruit).

S = f(m) + g(bruit, métrologie)


Il est donc nécessaire :

de préciser les conditions de mesures


de vérifier périodiquement les caractéristiques métrologiques du capteur en
réalisant des calibrations régulières ou des étalonnages certifiés

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2.5. Les perturbations (1)

Définition : Les perturbations sont des grandeurs qui peuvent :


 se superposer au mesurande (grandeurs interférentes ou bruit)
 modifier les caractéristiques métrologiques du capteur (grandeurs modifiantes)
Ces deux processus peuvent s'additionner.

Mesurande Sortie
Capteur
X Y

Grandeurs Grandeurs
interférentes modifiantes
(Bruit) (Pressions,
températures,
rayonnement, ...)

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2.5. Les perturbations (2)

Exemple : Capteur résistif : Jauge de contrainte ou capteur de force

Principe : L'application d'une force ΔF se traduit par une variation de résistance ΔRc de la
jauge, cette variation de résistance est traduite en variation de tension ΔUc par l'intermédiaire
du conditionneur.

Application Capteur (ou


TENSION
d’une FORCE transducteur)
ΔF ΔUc

Hypothèse : Rc  f F 

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2.5. Les perturbations (3)

Exemple : Capteur résistif : Jauge de contrainte ou capteur de force


R0

U0  Relation entre Uc et U0 :
Rc
Uc
Rc
Uc  U0
(Rc  R0 )
F

1
 On veut Uc  U0 pour ΔF=0 (pas de sollicitations) :
2
Rc 1
  Rc  R0
(Rc  R0 ) 2

Hypothèse (lorsqu’une force ΔF est appliquée) : Rc  R0  Rc

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2.5. Les perturbations (4)

Exemple : Capteur résistif : Jauge de contrainte ou capteur de force


R0
 Dérivée de Uc par rapport à Rc :
U0 dUc (Rc  R0 )  Rc R0
Rc  U  U0
Rc  R0 
2 0 2
Uc dRc (Rc  R0 )
Que l’on peut écrire :
F
dUc R0
 U0
dRc 2R0  Rc 2

Si l’on prend R0 telle que R0 >> ΔRcMAX, alors on peut simplifier l’équation de la dérivée,

dUc R0 1
 U0  U0
dRc 4R02 4R0

U0
qui peut être écrit sous la forme : Uc  Rc
4R0

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2.5. Les perturbations (5)

Exemple : Capteur résistif : Jauge de contrainte ou capteur de force

R0
Grandeurs
modifiantes U0
Rc Grandeurs
Uc Interférentes
La stabilité de
l'alimentation de tension U0 (bruit)
ainsi que l’effet de la F
température sur R0 La température
interviennent ici comme conditionne la valeur de
grandeurs modifiantes, Rc, elle agit ici comme
grandeur interférente
U0 = g(T) et R0 = h(T)
U0 ΔRc = f(T)
Uc  Rc
4R0

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3.1. Le microphone à condensateur (1)

Le microphone à condensateur ou sonomètre est principalement dédié à


l’instrumentaion.
Il détecte une pression acoustique p(t) qui se superpose à la pression atmosphérique
P0. Le sonomètre traduit ensuite cette pression p(t) en une tension électrique v(t).

P0 + p(t) v(t)

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3.1. Le microphone à condensateur (2)

1. Le capteur : un transducteur pression / capacité

Principe : Le capteur est constitué de deux armatures métalliques de surface S, séparées


par une distance e et avec l'armature avant mobile.
Une variation de pression Δp se traduit par l'application d'une force F sur l'armature
métallique mobile du capteur modifiant la distance inter armature e. Cette variation sur e
entraîne une modification de la capacité C inter-électrode.

e Surfaces S

S
C 
P0 + p(t) e
P0

Variation de la
position de Tension mesurée
v(t)
l’armature mobile en sortie

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3.1. Le microphone à condensateur (3)

2. Le mesurande μ

Le mesurande correspond à la surpression p(t) générée par la source sonore.

Po + p(t)

P0

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3.1. Le microphone à condensateur (4)

3. Le corps d’épreuve

Le corps d’épreuve du microphone est une membrane ou diaphragme métallique très


léger et mobile d'épaisseur voisine de 10 µm.

Membrane
(≈ 10μm)

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3.1. Le microphone à condensateur (5)

4. Le conditionneur

Le conditionnement du signal a pour objectif l'exploitation quantitative du mesurande, il


est réalisé ici par :

 une source de polarisation externe qui délivre une tension continue au condensateur
 un préamplificateur qui permet d’améliorer le signal de sortie v(t)

Polarisation U0

p(t) v(t)
Cartouche Préamplificateur
microphone

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3.1. Le microphone à condensateur (6)

5. Expression de la sortie et de la sensibilité du microphone

Grandeurs interférentes : La principale grandeur interférente est la pression


atmosphérique ( et ses variations). Pour s'affranchir des variations de ce paramètre, un
orifice interne à la cartouche microphonique permet de maintenir l'égalité des pressions
statiques.

P0

P0 + p(t)

Grandeurs modifiantes : Ce sont la tension de polarisation continue U0 et le gain de


l'amplificateur.

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3.1. Le microphone à condensateur (7)

5. Expression de la sortie et de la sensibilité du microphone

Le constructeur spécifie, après étalonnage, la sensibilité absolue du microphone qui est


donnée par le rapport de la tension de sortie ramené à la pression acoustique.

Exemple : Microphone B&K type 4145 : N° série : 2121932

Sea = Sensibilité absolue : 46,2 mV/Pa


Ser = Sensibilité relative : -26,7 dB (Re 1V/Pa)

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Introduction

Le choix d'un capteur dépend de ses spécifications métrologiques, ses applications sont
elles mêmes conditionnées par le comportement ou la réponse du capteur à une entrée
(mesurande) donnée.

On distingue usuellement les réponses statiques et dynamiques du capteur :

 Dans le premier cas l'entrée ne varie pas ou varie par paliers et la grandeur de
sortie est relevée lorsque tout effet transitoire a disparu.
 La réponse dynamique traduit le comportement transitoire temporel du capteur,
elle renseigne également sur son comportement fréquentiel.

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1. Réponse Statique : Y = f(X) (ou S = f(E))

La réponse statique est généralement obtenue après un étalonnage statique qui consiste
à relever les valeurs de la sortie lorsque l'entrée considérée varie par paliers. Les autres
paramètres (entrées interférentes ou modifiantes) sont maintenus constants.
Elle est représentée par le tracé : Y = f(X)

On peut distinguer
trois comportements : Sortie Sortie Tout Ou Sortie
Analogique Rien (TOR) Numérique

17mA 5V 00010111
X
Seuil

0V

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2. Etendue ou plage de Mesure : E.M. (Entrée)

Les valeurs limites du mesurande qui sont acceptables en entrée du capteur constituent
l'étendue de mesure.
Cette spécification peut aussi s'appeler calibre
.
On l'exprime souvent par l'écart E.M.:

E.M  Xmax  Xmin

Xmax et Xmin sont exprimés dans l'unité de l'entrée X.

Si Xmin = 0, on indique souvent l'étendue de mesure par Xmax

Exemples : E.M. : (-100°C +200°C); ( 0 100 bar); (100N)

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3. Spécification de la sortie (1)

La nature du signal de sortie dépend du type de capteur utilisé, cependant on peut


regrouper les familles suivantes:

Capteur Passif
Le signal de sortie est équivalent à une impédance. Une variation du phénomène
physique étudié (mesuré) engendre une variation de l'impédance. Ce type de capteur doit
être alimenté par une tension électrique pour obtenir un signal de sortie.
Exemple : thermistance, photorésistance, potentiomètre, jauge d’extensométrie appelée
aussi jauge de contrainte…

jauge de contrainte

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3. Spécification de la sortie (2)

Capteur Actif
 Signal de sortie équivalent à une source de tension continue
Exemple : Sortie 0-1V, + 5V, 0-200mV
 Signal de sortie équivalent à une source de courant continu
Exemple : sortie 4-20mA
 Autres signaux de sortie
Exemple : Tension alternative sinusoïdale, sortie impulsionnelle,
sortie numérique, sortie TOR,…

Calibre ou Pleine Echelle (Full Scale Output) : Valeur maximale de la sortie

Exemple de capteur actif : thermocouples, capteur CCD, microphone, ...

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4. Linéarité et erreur de linéarité (1)

Mesurande Capteur (ou Sortie


X transducteur) Y

D’une manière générale, on a : X  Y et X  X 0  X  Y  Y0  Y

avec Y  f ( X ) et Y  g(X )

Définition : Si la réponse du capteur est linéaire alors on aura f(X) = g(X)


Le capteur est dit linéaire si, avec : X1  Y1 et X2  Y2

On a :
 X  X1  X 2  Y  Y1  Y2

 X  aX1  Y  aY1 avec a = cste

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4. Linéarité et erreur de linéarité (2)

Exemple : Capteur linéaire et non linéaire

Y Si la caractéristique Y = f(X) est


1 tracé dans une échelle linéaire,
alors on a :
2
Capteur 1 : linéaire
Capteur 2 : non linéaire
X

Nota : La relation entrée sortie d’un capteur linéaire est donc de la forme :
Y  kX avec k = cste

On appelle souvent capteur linéaire un capteur de caractéristique Y  kX  Y0


Cette dénomination est un abus de langage (voir démonstration).

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5. Sensibilité

Définition : La sensibilité (k, G ou S) du capteur est donnée par le quotient de


l'accroissement de la grandeur de sortie ΔY par l'accroissement correspondant du
mesurande ΔX.

Y dY
G  k  S  lim  (en X = X0)
x 0 X X  X0 dX

Nota : La sensibilité d'un capteur linéaire est constante sur son étendue de mesure.

Exemple : Sensibilité d’un microphone : S = 46,2 mV/Pa


Sensibilité d’un thermocouple : S = qqes dizaines de μV/°C (selon leurs types)

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6. Hystérésis

Définition : Un capteur présente une hystérésis lorsque la valeur de la sortie dépend de la


manière dont celle-ci a été atteinte (mesurande croissant ou décroissant)

Y
2 : Mesurande décroissant

Y02

1 : Mesurande croissant
Y01 X

X0

Exemple : mesure de température par un capteur comportant une protection en


plastique comme les thermistances ou la Pt 100 surmoulée. Des résultats différents sont
obtenus pour une étude par température croissante ou par température décroissante.

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7. Résolution

Définition : La résolution correspond à l'accroissement minimum de la grandeur d'entrée


provoquant une modification de la grandeur de sortie.

Y
Y = f(X) “idéalˮ

Y = f(X) “réelˮ

ΔY ≠ 0

Résolution = ΔXmin

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8. Caractéristique de transfert

Définition : La caractérisitique de transfert détermine la relation entre la l’entrée et la


sortie du capteur. Dans la plupart des applications, quand cela est possible, la sortie du
capteur suit une loi du type :

Y = k.X + Y0

Ou k est la sensibilité du capteur et Y0 le décalage du zéro. (Y = Y0 pour X = 0)

Y
Y = k.X + Y0

ΔY

Y
k
X
Y0
ΔX
0 X
0
Etendue de mesure

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9. Classe de précision (fidélité et justesse) (1)

Pour définir cette notion nous allons considérer le cas ou l'on effectue des mesures en
conditions de répétabilité qui sont les suivantes :

 même mesurande,
 même opérateur,
 mêmes conditions expérimentales.

La valeur vraie du mesurande est Xv, les valeurs mesurées sont notées Xi et la valeur
moyenne des mesures Xi est notée Xm

Capteur non
fidèle
fidèle
et juste Capteur fidèle
non fidèle
et non juste

X m Xv Xm X

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9. Classe de précision (fidélité et justesse) (2)

Les constructeurs indiquent souvent la classe de précision qui permet


d'estimer l’incertitude de mesure.

Exemple : Capteur de force :

 Etendue de Mesure (Full Scale) 100 N


 Précision (Measurement uncertainty) 1 % E.M

Incertitude-type sur la valeur affichée : Elle obéit ici à une loi uniforme (voir cours de
métrologie 1ère année)
a
u (F ) 
3

avec a = 100 * 1% = 1 N, on obtient u(F) = 0,58 N

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10. Réponses dynamiques

Mesurande Capteur (ou Sortie


x(t) transducteur) y(t)

On classe dans cette catégorie les réponses temporelles Y(t) et fréquentielles Y(f) du
capteur.
La réponse temporelle découle de la résolution de l'équation différentielle liant Y(t) à X(t)
exprimée de la façon suivante :

d n y (t ) d n 1y (t ) dy (t )
an  an 1  .............  a1  a0 y (t )  x(t )
dt n dt n 1 dt

n représente l'ordre du système (capteur)

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11. Réponses temporelles (ordre du capteur)

d n y (t ) d n 1y (t ) dy (t )
an  an 1  .............  a1  a0 y (t )  x(t )
dt n dt n 1 dt

La réponse temporelle caractérisée par l'ordre du système détermine les paramètres


métrologiques du capteur.

Exemple : capteur ordre 0

a0 y (t )  x(t ) y (t )  a1 x (t ) y (t )  k.x(t )
0

Exemple : capteur ordre 1

dy (t ) dy (t )
a1  a0 y (t )  x(t )   y (t )  k.x(t )
dt dt

On appelle τ, la constante de temps du capteur et on reconnaît la sensibilité k

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12. Rapidité (temps de réponse) (1)

Le temps de réponse est défini par la réponse du capteur à une variation dite en échelon
de l’entrée. Cette caractéristique est liée à la constante de temps τ.

Exemple : Capteur du premier ordre


On peut schématiser le comportement d'un capteur du premier ordre par le circuit électrique
suivant :

R i(t)
On a : x(t )  Ri t   y (t )

i(t)
dy t 
R
x(t)
C
y(t) avec : i (t )  C
dt

dy t 
d’où : x(t )  RC  y (t )
dt

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12. Rapidité (temps de réponse) (2)

Exemple : Capteur du premier ordre


 0 t 0
Pour déterminer le temps de réponse, x(t) doit être un échelon : x(t )  
 X0 t  0
y(t)
x(t) dy t 
On a : x(t )  RC  y (t )
X0 dt

0,63 X0 Pour t ≥ 0, on a alors :

dy t 
à t = τ, y(t) = X0(1-e-1) = 0,63 X0 X 0  RC  y (t )
0 dt

0 τ t qui a pour solution :

 
t 
Définition : On appelle temps de réponse ou y t   X 0 1  e  
temps de montée du capteur la grandeur  
 
tr = 2,2 τ,
avec τ = RC
La faible valeur de tr caractérise un capteur rapide

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
46/113
13. Ecart ε%

Définition : L’écart représente la valeur mesurée après un temps t comparée à la valeur


correspondant à t =t∞.
On définit ce paramètre par la relation suivante :

y (  )  y (t )
%  .100
y ( )

Il faut préciser la valeur de t choisie pour calculer ce paramètre

Exemple : Capteur du premier ordre y(t)/X0

t ε%
τ 27% 1
3τ 5%
4,6τ 1% 0,5

0
0 1 3 t/τ

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
47/113
14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (1)

Définition : Dans la pratique, on obtient la réponse fréquentielle d’un capteur en assignant


à l’entrée x(t) une variation sinusoïdale et en mesurant l'évolution de la réponse y(t)
lorsque la fréquence de x(t) varie.

Mesurande Capteur (ou Sortie


x(t) transducteur) y(t)

x(t )  X 0 sin( t )  X 0 sin( 2. .f .t ) y (t )  Y0. sin( 2. .f .t )

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
48/113
14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (2)

Fonction de transfert :

On utilise la notation complexe associée à la représentation des signaux sinusoïdaux :

x(t) → X(jω) noté X et y(t) → Y(jω) noté Y


(passage de x(t) à X(jω) par la transformée de Fourier)

On exprime ensuite le rapport qui représente la fonction de transfert du système :

Y ( j )
 H ( j )
X ( j )

La réponse fréquentielle sera complètement décrite par l'évolution du module de H(jω),


noté |H(jω)|, et par l'évolution de son argument, noté Arg(H(jω)) ou φ(jω), qui représente le
déphasage des signaux entrée-sortie.

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (3)

Transformée de Fourier :

La transformée de Fourier est une fonction qui permet de passer du domaine temporelle au
domaine fréquentiel et inversement.

Si on a un signal s(t), sa transformée de Fourier, notée S(ω) sera obtenu par la relation
suivante :
1 
S( )   s t e jt dt
2

Inversement, si on a un signal S(ω), sa transformée de Fourier inverse,


notée s(t) sera obtenu par la relation suivante :

1 
 S  e
 jt
s (t )  dt
2

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
50/113
14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (1)

Rappel 1 : La réponse temporelle d’un capteur du 1er ordre est donné par la relation suivante :

dy (t )
  y (t )  kx(t )
dt

Rappel 2 : Propriétés de la transformée de Fourier de la dérivée d’un signal temporel continu :

 dy (t ) 
TF    jY ( )
 dt 

Compte tenu des deux rappels, la reponse fréquentielle du capteur du 1er ordre peut
s’écrire :

jY    Y    kX ( ) ou jY  Y  k X

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
51/113
14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (2)

Après réécriture de la réponse fréquentielle on obtient :

1
Y 
k avec c  et k la sensibilité du capteur

X 
1 i
c

La fonction de transfert H ou H(jω) s’écrit alors :

Y k
H   H  j 
X 1 j 
c

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (3)

Notion de bande passante : Evolution du module de la fonction de transfert H en fonction de


la pulsation ω.
L’expression de du module de H est la suivante :

k
H 
2
 
1   
 c 

H Bande
passante Avec ωc la pulsation de
coupure et fc la fréquence
k de coupure.
k
2 On appelle l'intervalle [0-fc], la
bande passante du capteur, par
ω extension on appelle fc la bande
passante et on la note BP
ωc

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
53/113
14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (4)

Réponse temporelle : temps de montée tm

y(t)
x(t)
X0 Capteur (ou
transducteur) 0,63 X0

0 0
0 t 0τ t

1 1 BP tm
On a c  donc  
 2 fc 10kHz 35µs
100kHz 3,5µs
De plus, on a tm  2,2 1MHz 350ns
100MHz 3,5ns
2,2 2,2 0,35
d’où t m   
2 fc 2 BP BP Valeurs de temps de montée
pour différentes valeurs de BP

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
54/113
15. Indice de protection IP (1)

Cet indice normalisé caractérise le comportement du capteur vis-à-vis de l’environnement


(protection du matériel) et des utilisateurs (protection des personnes)

Code : IP XY

X = Premier Chiffre caractéristique (immunité vis-à-vis corps solides)


Y = Second Chiffre caractéristique (immunité vis-à-vis des liquides)

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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15. Indice de protection IP (2)

Exemple : Capteur indice IP 67


6 : étanchéité poussière et 7 Protégé contre immersion temporaire.

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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
56/113
Introduction

Rappel : Le conditionneur est l'élément de sortie du capteur qui transforme les variations
du mesurande primaire ou secondaire en variations électriques exploitables (tension,
courant, ….).

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
57/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (1)

La réponse d’un capteur passif à la variation du mesurande ΔX se traduit comme une


variation d’impédance ΔR, ΔL, ΔC.

X Capteur (ou Z
ΔX transducteur) ΔZ

Exemples : Capteurs résistifs : jauges de contraintes, sondes température métalliques,


capteurs de déplacement,

Capteurs capacitifs : microphones, capteurs de déplacement, détecteurs


de proximité,

Capteurs inductifs : capteurs de déplacement, détecteurs de proximité,

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
58/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (2)

Nota : Pour obtenir une sortie équivalente à une variation de tension ΔV ou de courant ΔI,
il sera nécessaire d’ajouter un conditionneur de signal.

X Capteur (ou Z V
Conditionneur
ΔX transducteur) ΔZ ΔV

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
59/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (3)
Application aux capteurs résistifs : R  f(X)

X = X0 + ΔX R = R0 + ΔR

ΔX ΔR

R0 correspond à la valeur à l’équilibre (à spécifier) et ΔR à la variation consécutive à une


variation du mesurande ΔX.

Nota : En général, le capteur fonctionne en petite variation : ΔR << R0

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
60/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (4)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils

Principe de mesure : une source de courant impose la valeur de l’intensité I traversant le


capteur et un voltmètre mesure la tension V à ses bornes.
V
La résistance du capteur R est donnée par : R 
I

I Rf
On mesure la tension V suivante :

V  (R f R R f )I  (2Rf  R )I
I V R La résistance “mesuréeˮ Rm est donc :

Rf V
Rm   2Rf  R
I

Inconvénient : La résistance des conducteurs de liaison Rf s’ajoute à la mesure de R et en


réalité ce montage mesure une résistance effective : Re = R + 2 Rf

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
61/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (5)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils

Le montage 4 fils permet de s’affranchir des valeurs des résistances des conducteurs de
liaison Rf.

I Rf

Rf On mesure directement la tension V  RI


I
Iv = 0 A
La résistance “mesuréeˮ Rm est donc :
I R
V
V
Rm   R
I
Rf

Rf

Inconvénient : Ce montage nécessite plus de câbles que le montage 2 fils.

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
62/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (6)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils

Le montage 3 fils est un bon compromis (nombre de câbles/résistante de liaision) mais il


nécessite la mesure de deux tensions.

I On mesure la tension V1
Rf
V1  (R f R R f )I  (2Rf  R )I
I
On mesure la tension V2
R
V2  Rf I
I V1 Iv = 0 A

Rf La différence des tensions V2 et V1 nous donne


V1  V2  (Rf  R )I
V2 Rf

La résistance “mesuréeˮ Rm est donc :


Rf
V1  V2
Rm   Rf  R
I

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
63/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (7)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils

Précautions à prendre dans tout les cas : En pratique on fixe I de l’ordre de 1mA pour
éviter l’auto échauffement du capteur.

Exemple : Résistance PT100 (100 W /0°C)


Puissance dissipée par effet Joule : P = R I2
Application numérique : P = 102 (10-3)2 = 10-4 W = 100µW

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
64/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (8)
1.2. Montage potentiométrique simple

Principe de mesure : une source de tension alimente un pont diviseur de tension avec une
résistance fixe R1 et une autre représentant le capteur R.

R1
Le montage suivant nous permet d’écrire
la variation de V :

VCC R
RC = R V Vcc
V R1  R

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
65/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)
1.2. Montage potentiométrique simple

Nota : L’évolution de V en fonction de R n’est pas linéaire.

V/Vcc=f(R/R1)

1,0
V R x
0,8  
Vcc R1  R 1  x
0,6
V/VCC

0,4
R
0,2 Avec : x 
R1
0,0
0 5 10 15 20
R/R1

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
66/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.2. Montage potentiométrique simple

Choix de la valeur de R1

Si on fixe la valeur de la résistance R1 égale à R0, et si R=R0+ΔR on obtient :

R Ro  R
V Vcc  Vcc
Ro  R 2Ro  R

dV Ro  R )  R  Ro
Sensibilité du montage : k  Vcc  Vcc
dR Ro  R 2
Ro  R 2

Nota : Si le capteur travaille en petits signaux (R0>> ΔR ), la réponse du conditionneur est linéaire

dV V Vcc
k  cc V  R  kR
dR R 4R0 4R0
0

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
67/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)
1.3. Montage potentiométrique push-pull

Dans ce montage, la résistance fixe R1 est remplacée par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est opposée au premier capteur : R’ = R0 - ΔR

R’ Le montage suivant nous permet d’écrire


la variation de V :

R R0  R
V V  V
VCC R  R ' cc R0  R  R0  R cc
V R
R0  R
V Vcc
2R0

V V
V  cc  cc R
2 2R0

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
68/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.3. Montage potentiométrique push-pull

Ce type de montage est souvent utilisé dans le cas de jauges d’extensométrie identiques
mais subissant des déformations égales en module et de sens opposés.

Jauge 1 / Traction

F F

Jauge 2 / Compression

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
69/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont

Le capteur constitue une branche du pont, ici R2 = R

Le signal de sortie s’écrit de la façon suivante :

V  VAB  VA  VB
VCC R1 R3
V
A B R2
Avec : VA  Vcc
R1  R2
R2 = R R4

R4
et VB  Vcc
R3  R4

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
70/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (11)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont

On obtient alors :

 R2 R4 
V  VA  VB    Vcc
 1
R  R2 R3  R4

VCC R1 R3
V Si on considère R2 = R, alors on a :
A B
 R R4 
R2 = R R4 V    Vcc
 R1  R R3  R4 

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
71/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (12)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont

On parle de pont équilibré lorsque V = V0 = 0

Dans ces conditions, on a :

V  V0  0  R (R3  R4 )  R4 (R1  R )  0  RR3  RR 4  R1R4  RR 4

Ce qui permet de fixer les valeurs de résistance puisque l’on doit avoir RR3  R1R4

Choix pratique : R1 = R2 = R4 = R0, le pont sera à l’équilibre pour la valeur au repos


du capteur R = R0

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
72/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (13)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont

On obtient alors l’expression de V :

R 1 R  R0 R V
V (  )Vcc  Vcc  Vcc  cc R si ΔR << R0
R0  R 2 2(R  R0 ) 2(2R0  R ) 4R0

Avantages du montage en pont :

 si R = R0 alors V = 0,
 le signe de V donne le signe du mesurande,
 si R > R0 , V est positif et si R < R0 alors V est négatif.

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
73/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (14)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage push-pull demi-pont

Dans ce montage, la résistance fixe R1 est remplacée par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est opposée au premier capteur : R’ = R0 - ΔR.
On a alors 2 résistances fixes R3 et R4 et 2 capteurs représentés par R et R’.

On a R2 = R = R0+ΔR et R1 = R’ = R0-ΔR
On a pour signal de sortie :
 R R4 
VCC R1 = R’ R3 V  VA  VB    V
 R'R R  R  cc
 3 4
V
A B
En fixant les valeurs de R4 et R3 égales à R0,on
a alors :
R2 = R R4
 R R0 
V  VA  VB    V
 R'R R  R  cc
 0 0
 R0  R R0 
soit, V    V
 2R R 0R0  cc
 0

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
74/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (15)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage push-pull demi-pont

On obtient alors l’expression de V :

 R0  R R0   1 R 1  Vcc
V   V    
 Vcc  R
 2R R  R  cc  2 2R 2  2R
 0 0 0  0  0

Avantages du montage push-pull demi-pont :

 La composante continue de V est annulée,


 La variation de V avec ΔR est linéaire.

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
75/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (16)
1.4. Montage potentiométrique avec amplification du signal

Ce conditionneur est utilisé notamment pour les photorésistances (R = f(Φ))

A l’entrée de l’amplificateur
opérationnel, on a :

V 
R
V
R  R1 cc

V 
R2
Vcc
R2  R3

Or, on a : V V

R R2
donc : Vcc  Vs
R  R1 R2  R3

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
76/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (17)
1.4. Montage potentiométrique avec amplification du signal

R  R3 1
On obtient alors : Vs  2 . Vcc
R2 R
1 1
R

Pour une photorésistance la Conditionneur pour LDR


variation R = f(Φ)
12
est de la forme

Tension de sortie (V)


10 1
Vs  K ( )Vcc
R  ae b
R1
8 1
R
6

4
R diminue si l’intensité du flux
lumineux 2
augmente 0
100 1 000 10 000 100 000 1 000 000
Resistance (ohm)

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
77/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (1)

La réponse d’un capteur actif à la variation du mesurande ΔX se traduit par une variation
de tension : ΔV, de courant : ΔI ou de charge électrique ΔQ.

X Capteur (ou V
ΔX transducteur) ΔV

Exemples : Variation de tension : sondes température thermocouple,

Variation d’intensité : photodiode,…

Variation de charge : accéléromètre piézoélectrique

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
78/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (2)

Nota : Pour obtenir une sortie équivalente à une variation de tension ΔV ou de courant ΔI,
en théorie, il n’est pas nécessaire d’ajouter un conditionneur de signal, cependant pour
des questions d’adaptation d’impédance, un conditionneur de signal est souvent
nécessaire au montage.

Les capteurs piézoélectriques requièrent un amplificateur de charge qui transforme la


variation ΔQ en variation ΔV.

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
79/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (3)
2.1. Capteurs sources de tension

Exemple : Thermocouple

Schéma électrique équivalent :


i
A
Rs Tension de sortie: vs = v –Rs I
v
Tension de sortie à vide : vs = v
v vs
Impédance de sortie : Rs

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
80/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (4)
2.1. Capteurs sources de tension

Mesure de la tension de sortie : Utilisation d’un voltmètre

i A
Impédance d’entrée du voltmètre : Re
Rs
Re
v Tension mesurée : v m  v
Rs  Re
v Re vs

Re
Si Rs élevée devant Re : v m  v  v
Rs

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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
81/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (5)
2.1. Capteurs sources de tension

Utilisation d’un montage adaptateur d’impédance – Amplificateur suiveur

Impédance d’entrée de l’AO : Ze = ∞

i+ = i- = 0

v+ = v-

v+ = v

Tension sortie : v s  v

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
82/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (6)
2.1. Capteurs sources de courant

Exemple : Photodiode

Schéma électrique équivalent :


i A

v
Courant de sortie: is  i 
Rs
i is

vs Rs Courant de court circuit : Icc = I

Impédance de sortie : Rs

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
83/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (7)
2.1. Capteurs sources de courant

Mesure du courant de sortie :

i A

Rs
im Courant mesuré: i 
m R R i
i s e

vs Rs R
Re Si Rs faible devant Re alors i m  s i
Re

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
84/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (8)
2.1. Capteurs sources de courant

Utilisation d’un montage adaptateur d’impédance – transducteur I-V

R1

1k
Rs est court-circuitée
LM32411
6 V-
-
7 S Tension sortie : v s  R1i
OUT
I 5
Rs + 4 U1B
V+

0
0

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
85/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (9)
2.1. Capteurs sources de charge

Exemple : accéléromètre piézoélectrique

Schéma électrique équivalent :

i A

im
q
q Tension sortie : vs 
Cs
vs Cs
Ze

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
86/113
2. Conditionneurs pour capteurs actifs (10)
2.1. Capteurs sources de charge

Utilisation d’un montage adaptateur d’impédance

LM32411
6 V-
- q
Tension sortie : vs 
7 S C
OUT
q 5
C3 + 4 U2B
V+

0
0

Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
87/113
Introduction

De part la pluraté des domaines d’application, de nombreux et différents types de


capteurs existent. Ils font appel à de nombreux principes de la physique et permettent de
traiter la plus grande majorité des entrées physiques ou chimiques.

Capteurs optiques Capteurs de température Capteurs de position et de déplacement

Capteurs de déformation Capteurs tachymétriques Biocapteurs

Capteurs de force / pesage / couple Capteurs d’accélération / vibration / choc

Capteurs de vitesse / débit / niveau de fluides Capteurs de pression de fluides

Capteurs de mesure de vide Capteurs de rayonnement nucléaire Capteurs acoustiques

Capteurs électrochimique Capteurs de composition gazeuse Capteurs d’humidité

Année 2011/2012
4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
88/113
1. Rappels : Propriétés fondamentales de la lumière (1)

La lumière présente à la fois un aspect ondulatoire et un aspect corpusculaire.

 Sous son aspect ondulatoire, la lumière est vue comme une onde électromagnétique se
propageant à la vitesse c = 299 792 458 m.s-1 dans le vide et à v = c/n dans la matière (n
étant l’indice de réfraction du milieu). Cette onde est caractérisée par sa fréquence ν ou sa
longueur d’onde λ.

Année 2011/2012
4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
89/113
1. Rappels : Propriétés fondamentales de la lumière (2)

 Sous son aspect corpusculaire, la lumière est vue comme une particule élémentaire,
appelé photon, de masse nulle et d’énergie E :

hc
E  h 

h étant la constante de Planck égale à 6,6256.10-34 J.s.

Cet aspect est généralement mis en évidence lors de l’intéraction de la lumière avec la
matière.

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1. Rappels : Effet photoélectrique

Dans la matière, les électrons liés aux atomes peuvent devenir libres si on leur apporte une
énergie E supérieure à leur énergie de liaison El.

L’absorption d’un photon provoquera la libération d’un électron à condition que Ephoton>El.

El Ephoton > El

L’effet photoélectrique entraîne une modification des propriétés électroniques du


matériau et est le principe de base des capteurs optiques.

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1. Rappels : Lumière support d’information

De part ses propriétés physiques, la lumière peut subir de nombreuses modifications de


son rayonnement optique par un mesurande. D’où son utilisation dans de nombreux
capteurs.

Paramètre du rayonnement Caractère de la modification Mesurande primaire

Direction de propagation Déviation Position angulaire, déformation


Epaisseur, composition chimique,
Atténuation par absorption densité de particules en
Flux suspension
Vitesse de rotation d’un disque,
Modulation par tout ou rien
comptage
Changement de fréquence (effet
Fréquence Vitesse de déplacement
Doppler)
Intensité, longueur d’onde Répartition spectrale de l’énergie Température de la source
Déphasage entre deux rayons dû à
Phase Position, déplacement, dimension
une différence de marche
Rotation du plan de polarisation
Polarisation Pression, contrainte
par biréfrengence

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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (1)

La photorésistance (ou cellule photoconductrice) est un composant électronique dont la


résistivité ρ varie en fonction de la quantité de lumière incidente. La photorésistance est
parmi les capteurs optiques l’un des plus sensibles.

V
Rayonnement
Ip (T)

Surface A

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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (2)

Le phénomène physique à la base de son emploi (photoconduction) résulte d’un effet


photoélectrique interne : libération dans le matériau de charges électriques sous
l’influence de la lumière et augmentation corrélative de la conductivité (ou diminution de
la résistivité).

La résistance peut alors s’éxprimée de la façon suivante :

1L 1 L
R 
 A q n A

avec :

 ζ : conductivité du matériau
 q : charge de l’électron
 μ : mobilité de l’électron
 n : densité d’électrons présents (fonction de l’éclairement)
 A et L : surface et longueur de la plaque

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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (3)

Les cellules sont réalisées à l’aide de matériaux semi-conducteurs homogènes


polycristallins ou monocristallins, intrinsèques (purs) ou extrinsèques (dopés) :

 Matériaux polycristallins : CdS, CdSe, CdTe,


PbS, PbSe, PbTe;
 Matériaux monocristallins : Ge et Si purs ou dopés par Au, Cu, Sb, Zn
SbIn, AsIn, PIn, CdHgTe

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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (4)

De façon générale, l’intérêt des cellules photoconductrices réside dans leur rapport de
transfert statique et leur sensibilité élevée d’où résulte la simplicité de certains montages
d’utilisation (exemple : commande de relais, voir TD).

Leur inconvénients majeurs sont les suivants :

 Non-linéarité de la réponse en fonction du flux,


 Temps de réponse en général élévé et bande passante limitée,
 Instabilité (vieillissement) des caractéristiques,
 Instabilité thermique – comme la plupart des capteurs optiques,
 nécéssité de refroidissement pour certains types (selon matériaux utilisés)

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (1)
Rappel : Semi-conducteur de type P et de type N

Le dopage d’un matériau semi-conducteur augmente la densité des porteurs.

 Si ce dopage augmente la densité d'électrons, il s'agit d'un dopage de type N.


 S’il augmente celle des trous, il s'agit d'un dopage de type P.

Les matériaux ainsi dopés sont appelés semi-conducteurs extrinsèques.

Semi-conducteur de type N Semi-conducteur de type P

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (2)
Rappel : Jonction PN

En l’absence de tension
extérieure, le courant
traversant la jonction est nul
(somme de deux courants
égaux et de sens contraire) :

 Courant de diffusion dû aux


porteurs majoritaires,

 Courant de fuite dû aux


porteurs minoritaires
(créations de porteurs
minoritaires aux abords de la
zone de charge d’espace par
agitation thermique).

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (3)

La photodiode est un composant basé sur la jonction d’un semi conducteur de type P et
d’un semi conducteur de type N :

 Chaque photon absorbé par le semi-conducteur peut créer une paire électron-trous,

 sous l’action du champ interne, l’électron se diffuse vers la zone N et le trou vers la
zone P,

 on a une diffusion des trous et des électrons dans des sens opposés,

 ces porteurs donnent naissance à un photocourant de génération.

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (4)

Zone de type P Electrons

Ephoton = h.ν
Avec ν > νS

Trous Zone de type N

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (5)

Au niveau du composant, la photodiode est composé d’un empilement de couches


minces dont les épaisseurs respectives sont de l’ordre du micromètre, voire en dessous.

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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (6)

Le montage de base comporte une source Es polarisant la diode en inverse et une


résistance Rm aux bornes de laquelle est recueilli le signal.

Φ
IR

Vd
Es
VR Rm

Puissance optique

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4. Instrumentation optique : Mesure interférométrique (1)

Les mesures interférométriques sont basés sur un phénomène d’interférences


observées par comparaison entre un signal de référence et un signal modifié par une
source extérieure.

Le mesurande agit sur les conditons de la propagation du signal optique, entraînant une
variation :

 soit de l’atténuation du flux transmis,

 soit de la phase ou de la polarisation du rayonnement à la sortie du guide d’onde.

La modification de l’indice ou de la géométrie du guide d’onde peut être induit par


différents effets :

 Pression,

 Température (variation de l’indice du matériau avec la témpérature),

 Déformation.

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4. Instrumentation optique : Mesure interférométrique (2)
Is

0
Ir ΔΦ

Is

Im

Is  Ir IsIm  2Ir Ir IImmcosΔΦ  1 mm


Zone sensible à un
paramètre externe (pression,
Structure asymétrique température, …)
(un des bras du MZI sert Signaux en sortie des
Structure symétrique Signaux en sortie des
de référence tandis que bras déphasés
(bras du MZI identiques) bras en phase
l’autre est utilisé comme (interférences)
capteur)

Réalisation Laboratoire d’Acoustique de l’Université du Maine – LAUM

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (1)
Rappel : Structure d’une onde plane

 Polarisation rectiligne des


 champs E
et B : le vecteur d’onde k et les   Champ électrtique
vecteurs amplitude des champs Eo et Bo E(z,t)
sont constants.

 Les champs vibrent dans des plans


de polarisation (xOz pour E, yOz pour
B)
Champ magnétique
B(z,t) direction de
 Les champs EM sont constants en
tout point des plans d’onde (xOy) définis propagation
par  z
k .r  cste

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (2)
Rappel : Dispersion d’un milieu matériel

 Relation de dispersion du milieu k   

 Si ε est indépendant de la fréquence k   , le milieu est non dispersif : la


vitesse de propagation est indépendante de la fréquence.
En réalité, seul le vide n’est pas dispersif :
1
c
 o o

 Un milieu matériel est caractérisé par un indice optique


c
n~   n  ik
v
n est appelé indice de réfraction et k coefficient d’extinction.

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (3)
Rappel : Intéraction onde-matière

 Lois de Snell-Descartes
Réflexion
Réflexion 1i  1r
Réfraction
Réfraction n~ sin 1  n~2 sin 2
1

 Lois de Fresnel 
E ip 
n~ cos( )  n ~ cos( ) E pr
2
r~p  2 1 1 2
Rp  r~p  1 1 
n~2 cos(1 )  n
~ cos( )
1 2
Esi Esr

~ cos( )  n
n ~ cos( )
~
rs  2
Rs  r~s
1 1 2 2
~ cos( )  n
n1 1
~ cos( )
2 2 2

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (4)
Principe de la mesure

 Ellipsométrie
- Diagnostic optique dont la profondeur d’analyse est de l’ordre de 1/(αd).
- On sonde donc des épaisseurs variables en fonction de d avec une grande
sensiblité.
de la monocouche à qques 10 μm

 Objectif
- Remonter à la réponse optique ε d’un matériau, généralement à partir d’un
modèle optique et à son épaisseur
- Décrire des structures complexes : multicouches, mileux effectifs,
interfaces, rugosités.
- Décrire la cinétique d’un procédé en temps réel : dépôt ou gravure …

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (5)

i r
Ep  Ep
Eis  Décomposition de l’onde optique
Φ1 Φ1 r selon les vecteurs Ep et Es
Es (respectivement parallèle (p) et
perpendiculaire (s) au plan
d’incidence)

 Ondes réfléchie (Er) et transmise


t
Ep (Et) reliées à l’onde incidente par les
coefficients complexes de Fresnel
Φ2
(rp et rs pour la réflexion, tp et ts pour
t la transmission)
Es

rp
ρ  tan ψ e jΔ
rs

Quantité mesurée par ellipsométrie

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (6)
Schéma de principe d’un ellipsomètre

Synchro Détection
Source de
lumière
Analyse de la
Polarisation
Polarisation

Modulation

Interaction
Echantillon

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (7)
Caractéristique des éléments optiques de l’ellipsomètre

 Source

- Lampe Xénon 125 Watt (plasma)


- Durée de vie de 1000 à 1500h

 Polariseur/Analyseur

- Type Glan taux d’extinction de 10-5


- Grande précision (10-2 degré) due à l’absence d’éléments tournants

 Détecteur

- Photomultiplicateur pour l’UV Visible


- Photodiode InGaAs pour le proche IR

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (8)
Intensité détectée

Source Détecteur
M P
A
Echantillon
p

s
 
Champ électrique détecté Ed  P R P  M M R(M ) S R A  AEi
 2
Intensité détectée Id  Ed  I0  Is sin  (t )  Ic cos  (t )

A partir du traitement du signal sur le détecteur, il est possible de remonter à Δ et ψ à partir


de l’expression de δ(t)

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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (9)
Traitement des données : Echantillon analysé

Couche 1 (n1, k1, e1)

Couche N-1 (nN-1, kN-1, eN-1)

Couche N (nN, kN, eN)

Substrat (ns, ks)

Comment à partir de ψ et de Δ, remonter aux


paramètres des différentes couches?
Nécessité d’utilisé des modèles de
dispersion qui lient n et k et les modélisent
en fonction de la longueur d’onde.

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