TI-capteurs Définitions

Date de publication : 10 mars 2009
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Capteurs - Définitions, principes de

détection
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PARMANTIER, Frédéric KRATZ
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Capteurs
De´ finitions, principes de de´ tection
par Yves PARMANTIER
Inge´ nieur de recherche
Animateur du poˆ le Capteurs - Automatismes, universite´ d’Orle´ ans
et Fre´de´ ric KRATZ

Professeur des universite´ s
´
Institut Prisme, ENSIB (E cole nationale supe´ rieure d’Inge´ nieurs de Bourges)
Responsable de l’e´ quipe – projet MCDS (mode´lisation, commande et diagnostic
des syste`mes)
1. De´ finitions........................................................................................ R 400 – 2 1.1

ments de la chaıˆne de mesure...................................................... — 2 1.2 Transformation
grandeur physique .......................................... — 2 1.3 Type
capteur .................................................................................. — 2
2. Terminologie en me´ trologie.......................................................... — 3 2.1 Caracte´ ris
me´ trologiques ......................................................... — 3 2.2 Termes relatifs aux conditio
fonctionnement d’un capteur ..... — 4 2.3 Quelques autres termes u
s ........................................................ — 4
3. Principes de de´ tection utilise´ s dans les capteurs.................... — 5 3.1 Variation d
sistance ....................................................................... — 5 3.2 Va
d’induction .......................................................................... — 8 3.3 Variation de ca
´ .......................................................................... — 10 3.4 Variation de quantite´ d’e´lec
´ ...................................................... — 11 3.5 Variation de
quence ....................................................................... — 11 3.6 Variation de caracte´ ristiq
composant e´lectronique.................. — 11 3.7 Variation de flux lumineux : capteurs optiq
optoe´lectronique. — 11 3.8 Balance de force a` sys
asservi................................................... — 13
Pour en savoir plus.................................................................................. Doc. R 401
L e capteur (en anglais sensor ou transducer) est le premier maillon de la
8
chaıˆne de mesure. Il fournit un signal e´lectrique proportionnel a` la grandeur
4
3
physique a` mesurer.
0
0
Dans cette premie` re partie, nous e´ tudierons les de´ finitions et le vocabulaire
2
de la me´ trologie, ainsi que les principes de de´ tection utilise´ s pour re´ aliser les
capteurs.
m
Cet article est la nouvelle e´ dition de l’article Capteurs re´ dige´ par Jacques
o
c
Toux, auquel sont emprunte´ s certaines extraits.
e
l
r
La seconde partie [R 401] de´ taillera la constitution des capteurs.
u
u
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie
r
a
est strictement interdite. – © Editions T.I. R 400 – 1
P
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CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
–––––––––––––––––
modifie le signal suivant spe´ cification.

1. De´ finitions &
Boucle de re´gulation. Ensemble des e´le´ments utilise
´ s pour l’as servissement a` une grandeur de consigne. Une
´ boucle de re´ gula tion va du (ou des) capteur(s) a` l’actionneur
1.1 E le´ments de la chaıˆne de mesure comme organe de sor 8
tie. Les e´le´ments interme´ diaires traitent ge´ ne´ ralement le

Les professionnels, utilisateurs et constructeurs de signal par
capteurs, ont de´ fini dans un groupe de travail de la
3
CIAME (Commission indus trie-administration pour la voie e´lectronique ou pneumatique. Une boucle de re´ gulation peut
mesure) le langage a` utiliser.
.
& ´ utiliser des techniques analogiques ou nume´ riques.

Capteur. E le´ment d’un appareil mesureur servant a`
7
la prise d’in formations relatives a` la grandeur a`

0
mesurer. 2
&
Selon cette de´ finition, le capteur constitue ne´ Chaıˆne de mesure. Suite d’e´le´ments transducteurs et
cessairement le pre mier e´le´ment transducteur. d’organes .
& ´
5
Transducteur. E le´ment qui sert a` transformer, de liaison d’un instrument de mesure allant du capteur, premier
suivant une loi de´ termine´ e, la grandeur mesure´ e (ou
9
bien une grandeur de´ja` trans forme´ e de la grandeur

mesure´ e) en une autre grandeur ou une autre valeur /
de la meˆme grandeur avec une pre´ cision spe´ cifie´ e e´le´ment de la chaıˆne, au dispositif indicateur, de stockage ou de
et qui constitue un ensemble pouvant eˆ tre utilise´ se´
/
pare´ment.
& ´
e
Transmetteur. E le´ment influence´ par une grandeur l

traitement qui en est le dernier e´le´ment.
physique mesure´ e, qui transmet un signal. Ce peut eˆ
l
tre un assemblage d’e´le´ - ments constitue´ d’un

capteur, d’un amplificateur ou d’un convertis seur qui
e
& obtenir
Instrument de mesure. Ensemble de moyens techniques desti
e
une force F proportionnelle a` la grandeur mesure´ e (pousse´ e,

d
pres
e
ne´s a` exe´ cuter les mesures en atelier ou en -
laboratoire et a` mate´ - u
i
rialiser les mesures. sion, acce´le´ ration, etc.), on dispose d’un signal e´lectrique tradui
l 9
o 0
sant cette grandeur. On a la` un capteur sans source d’e´ nergie

h
& ´
E valuation. L’e´ valuation consiste a` constater, en utilisant des
0
me´ thodes d’essais approprie´ es, les performances et les caracte´ s
ris a
t :
s
tiques de l’instrument de mesure ou du capteur, objet de l’essai.
r
o
v
i
i
t
exte´ rieure : le capteur constitue un ge´ ne´ rateur d’e´

n
u
1.2 Transformation de la grandeur nergie dont la modulation est inte´ rieure au capteur.
Dans cette cate´ gorie figurent les capteurs a` variation
-
de flux magne´ tique. Cette variation, proportionnelle aux

variations de la grandeur a` mesurer, induit aux bornes
d’une bobine ou d’un sim ple conducteur une force e
5
physique ´lectromotrice E, qui peut eˆ tre module´ e en fre´ quence
8
(alternateur) ou bien en amplitude (dynamo tachyme´
trique).
4
& Des exemples de tels capteurs sont donne´ s dans le tableau 1.

Transformations directes. Les variables physiques sont en ge´ ne
´- &
0
Avec apport d’eńergie exte´rieure. Conside´ rons un
potentiome` tre rotatif dont l’axe est entraıˆne´ par un e´le
0
ral traduisibles directement en variables e´lectriques : par exemple,

0
´ment sensible primaire, par exemple un indicateur de

niveau. Si l’on applique aux bornes du potentiome` tre
2
le couple thermoe´lectrique ou certaines sondes de mesure de pH.

7
une tension fixe E, la tension recueillie entre l’une de ses
extre´mite´ s et le curseur solidaire de l’axe est
e
proportionnelle a` la hauteur du niveau. On a la` un
d
capteur avec apport exte´ rieur d’e´ nergie (tableau 2). Le
mode de modulation de´ pend des circuits de mesure
associe´ s (exemples : modulation d’amplitude d’une ten
& Transformations indirectes. Les variables me´ caniques et certai
t
e
sion alternative alimentant un transformateur diffe´ rentiel,
modula tion de fre´ quence d’un circuit accorde´, etc.).
nes variables physiques ne´ cessitent une transformation pre´
alable &
p
Avec eńergie moduleé par la grandeur a` mesurer.

Dans une sonde ionique, la conductivite´ du milieu
m
permettant la traduction en grandeur e´lectrique.

o
module le courant d’un cir cuit e´lectrique. Le capteur doit

eˆ tre conside´ re´ comme un re´ cepteur d’e´ nergie. On
c
peut citer aussi le cas des mesures d’analyse spec trale

Le capteur comporte alors deux e´le´ments sensibles : par exem ou` l’on excite la matie` re le plus souvent par un
l
e
rayonnement, la cristallographie par rayons X ou g, etc.

(figure 1).
&
r
ple, dans un capteur de force a` jauges de contrainte, nous Capteurs passifs, capteurs actifs, conditionneurs. Il est
u
trouvons impor tant de donner quelques de´ finitions fre´
o
quemment utilise´ es quel que soit le type de capteur
le corps d’e´ preuve, ou e´le´ment primaire, qui relie le phe´ nome` conside´ re´ : les capteurs dont le signal e´lectrique de
ne a` ´livre´ est une variation d’impe´ dance sont dits « passifs
», car ils ne´ cessitent une source d’e´ nergie e´lectrique
p
pour que l’on puisse lire le signal de mesure.

un deuxie`me e´le´ment sensible, le pont de jauges de contrainte, Le circuit dans lequel ils sont incorpore´ s s’appelle le
e
qui « conditionneur ».
r
Tableau 1 – Exemples de capteurs sans apport d’eńergie

v
assure la transformation en grandeur e´lectrique. Ces e´le´ments

i
l exte´rieure
e
secondaires peuvent eˆ tre actifs ou passifs.

d
Grandeur ´ Relation Symbole

E le´ment
mesureé sen sible
e
Force F Cristal pie´ Q = KF

zo e
a
´lectrique
1.3 Type de capteur
t
n
Tempe´ Couple V = f (q)
e
rature q thermo
m
& e´lectrique
Sans apport d’eńergie exte´rieure. Un quartz pie´ zoe´lectrique
u
sou
c
mis a` une force F voit apparaıˆtre sur ses faces une charge e´lec Flux d’e´ Cellule V = f (R)
ner gie
o
d
photo
rayonne´ e voltaı¨que
R
trique Q proportionnelle a` F. Chaque fois que l’on peut
Vitesse dx/dt Ge´ ne´ E=f Q charge e´lectrique, V diffe´ rence de potentiel, E force e´lectromo
rateur (dF/dt) = trice, F flux magne´ tique, K coefficient de proportionnalite´.
a` induction K (dx/dt)
u
r
a
R 400 – 2 est strictement interdite. – © Editions T.I.
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––– CAPTEURS
Tableau 2 – Grandeurs de traduction e´ lectrique
Grandeur Transformations possibles

de traduction
Re´ sistance R :
R=f (p, ‘, s)
p re´ sistivite´, ‘ longueur, s section
Capacite´ C :
C=f (S, e, e)
S surface des armatures, e
distance entre armatures, e
permittivite´ u
Inductance L :
o
L=f (‘, S, m, n) t
‘ longueur, S surface d’une spire, n

c
nombre de spires, m perme´ abilite

´ e
Inductance mutuelle : r
M=f (L1, L i
v
Tension V :
V = f (w, M1, M
5
(M1, M2 e´ tant ge´ ne´ ralement

4
fonction d’un parame` tre

6
de circuit magne´ tique)

0
pulsation, M1, M2 inductances

0
mutuelles 7
Figure 1 – Modulation d’un rayonnement par modification

3
1
e
.
t
des proprie´ te´s de transmission d’un mate´ riau soumis

7
m
0
2
o
a` une contrainte ou a` une de´ formation
.
c
2. Terminologie en me´ trologie

e
l o
d e
e
e
d
2.1 Caracte´ ristiques me´ trologiques
a
Les liens entre un capteur et la grandeur qu’il mesure sont de´ fi
& Loi de conformite´. Droite ou courbe repre´ sentant la
t
relation fonctionnelle liant la grandeur d’entreé a` la
nis par ses caracte´ ristiques d’emploi. grandeur de sortie.
n
& ´
E cart de conformite´. Plus grand e´ cart entre la
e
& ´ courbe d’e´ talon nage et la courbe repre´ sentant la loi

u
E tendue de mesure. Valeur absolue de la diffe´ rence entre les de conformite´.
c
valeurs extreˆmes pouvant eˆ tre prises par la grandeur a` mesurer, &

o
Exactitude (pre´ cision). Qualite´ qui caracte´ rise
d
l’aptitude d’un capteur a` donner des indications proches

de la valeur vraie de la grandeur mesure´ e.
pour lesquelles les indications d’un capteur, obtenues a` Erreur de pre´ cision. Erreur globale d’un capteur dans
les condi tions de´ termine´ es d’emploi et comprenant
l’inte´ rieur e
l’erreur de justesse ainsi que l’erreur de fide´lite´.

C
du domaine nominal d’emploi en une seule mesure, ne doivent L’erreur de pre´ cision est de´ termine´ e en composant
les erreurs e´le´mentaires, pour le domaine d’emploi
-
conside´ re´.
Le Vocabulaire international des termes fondamentaux
et ge´ ne´ - raux de me´ trologie publie´ par l’ISO
pas eˆ tre entache´ es d’une erreur supe´ rieure a` l’erreur (Organisation internationale de normalisation) au nom du
9
maximale BIPM, de l’OIML, de la CEI et de l’ISO (identique a` NF X
0
07-001, cf. [Doc R 401]) retient le mot exacti tude, au lieu

0
tole´ re´ e. de pre´ cision.
2 Se reporter a` l’article Vocabulaire de la mesure [R 113] dans le pre´ sent traite´.
& Fide´lite´. Qualite´ qui caracte´ rise l’aptitude d’un

s
r
capteur a` donner, pour une meˆme valeur de la grandeur
a
mesure´ e, des indications concordant entre elles, les

m
erreurs syste´matiques des valeurs varia bles n’e´ tant

pas prises en conside´ ration.
D’apre` s cette de´ finition, la fide´lite´ caracte´ rise
:
l’aptitude d’un cap teur a` donner des indications qui ne

n sont pas entache´ es d’erreurs fortuites.
o
&
i
& Erreur de fide´lite´. C’est un indice de dispersion des

t
Porteé minimale, porteé maximale. Valeurs de la

indications d’un capteur pour une se´ rie d’indications
grandeur a` mesurer correspondant aux limites minimale correspondant a` une meˆme valeur de la grandeur
et maximale de l’e´ tendue de mesure. mesure´ e.
& Pour repre´ senter cet indice, on adopte souvent l’e´
Ze´ro. Valeur prise comme origine de l’information de
cart type qui est appele´ alors « erreur moyenne
´livre´ e par le capteur.
quadratique de fide´lite´ » pour une se´ rie d’indications
Ce sera, suivant le cas : conse´ cutives dans des conditions de´ termi ne´ es
– soit la valeur de l’information de sortie pour une d’emploi du capteur.
valeur nulle de la grandeur d’entreé ; & Justesse. Qualite´ qui caracte´ rise l’aptitude d’un
– soit la valeur de l’information de sortie qui correspond capteur a` donner des indications e´ gales a` la valeur de
a` la por te´ e minimale. la grandeur mesure´ e, les erreurs de fide´lite´ n’e´ tant
& pas prises en conside´ ration.
Sensibilite´. Pour une valeur donne´ e de la grandeur
D’apre` s cette de´ finition, la justesse caracte´ rise
mesure´ e, la sensibilite´ s’exprime par le quotient de la l’aptitude d’un capteur a` donner des indications qui ne
variation de la grandeur de sortie par la variation sont pas entache´ es d’er reurs syste´matiques.
correspondante de la grandeur mesure´ e.
Erreur de justesse. Somme alge´ brique (re´ sultante)
´ des erreurs syste´matiques entachant l’indication d’un
& E cart de lineárite´ (dans le cas d’une re´ action line´
aire). Plus grand e´ cart entre la courbe d’e´ talonnage et capteur dans des condi tions de´ termine´ es d’emploi.
une ligne droite appele´ e « meilleure droite » obtenue & Mobilite´. Qualite´ qui caracte´ rise l’aptitude d’un
par la me´ thode des moindres carre´ s. L’e´ cart de line´ capteur a` re´ agir aux petites variations de la grandeur
arite´ s’exprime en pourcentage de l’e´ tendue de mesure´ e.
mesure.
u
r
a
P
CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
–––––––––––––––––
Erreur de mobilite´ : variation maximale de la &

Re´versibilite´ (hyste´re´ sis). Qualite´ qui caracte´ rise
grandeur mesure´ e qui ne provoque pas de variation de
´ celable de l’indication du capteur. l’aptitude d’un capteur a` donner la meˆme indication
lorsqu’on atteint une meˆme valeur de la grandeur
& ´ mesure´ e, que cette valeur ait e´ te´ atteinte par
Erreur de ze´ro (appeleé e´ galement « biais »). E cart
variation croissante continue ou de´ croissante continue
entre la valeur mesure´ e et la valeur the´ orique de
de la grandeur.
l’information de sortie d’un cap teur, pour la valeur ze´ ro
ou pour la valeur prise comme origine de la grandeur & Erreur de re´versibilite´. Diffe´ rence des indications
mesure´ e. lorsqu’on atteint la meˆme valeur de la grandeur mesure
´ e soit par variation croissante continue, soit par
variation de´ croissante continue de la grandeur.
L’erreur de re´ versibilite´ est e´ gale a` l’e´ cart e
maximal constate´ sur ces deux valeurs dans l’e´ tendue

l
susceptible de modifier les caracte´ ristiques me´ trologiques du

de mesure. cap
Pratiquement, la valeur retenue pour l’erreur d’hyste´
re´ sis est e´ gale a` la moitie´ de l’erreur de re´
versibilite´. Elle s’exprime en pour centage de la valeur
r
de l’e´ tendue de mesure. teur. Cette grandeur peut eˆ tre de nature me´ canique,
& thermique, o
Finesse. Qualite´ exprimant l’aptitude d’un capteur a` p
e´lectrique, chimique, etc.

donner la valeur de la grandeur a` mesurer sans
modifier celle-ci par sa pre´ sence.
Remarque : le vocabulaire international ISO retient le
e
terme 8
&
Domaine nominal d’emploi. Le domaine nominal d’emploi est
3
« discre´ tion », pour cette caracte´ ristique. i
1 e
de´ fini par les valeurs limites que peuvent atteindre et conserver
& Rapidite´. Qualite´ qui exprime la manie` re de suivre dans le de
temps
d
2
les variations de la grandeur a` mesurer. t
façon permanente, d’une part la grandeur a` mesurer, d’autre part
2
e
Remarque : la caracte´ ristique la plus inte´ ressante a` connaıˆtre

les grandeurs d’influence, sans que les caracte´ ristiques (en
9
a
particu
pour caracte´ riser la rapidite´ de´ pend essentiellement de la
/
grandeur t
lier me´ trologiques) du capteur soient modifie´ es (les erreurs

n
corres
a` mesurer ; elle peut eˆ tre la bande passante a` x %, le temps de
e
l
e
pondantes ne de´ passent pas les valeurs

l
maximales tole´ re´ es).

i
re´ ponse a` x % a` un e´ chelon, etc.

m
& Domaine de non-de´te´rioration. Le domaine de non-de´ te´

e
o
rioration
d
& est de´ fini par les valeurs limites que peuvent atteindre
e
Classe de pre´ cision. La classe d’un appareil de mesure corres
u
et conserver, e
pond a` la valeur du rapport entre la plus grande erreur possible et C
i
q
d’une part la grandeur a` mesurer, d’autre part les grandeurs d’in
l
o
l’e´ tendue de mesure. -
fluence, sans que les caracte´ ristiques (en particulier me´

Classe = 100 × La plus grande erreur possible
c
9
trologiques)
0
t
e
du capteur soient alte´ re´ es apre` s retour dans le domaine
Étendue de mesure 0
nominal.
i
&
s
Rangeabilite´. On de´ finit la rangeabilite´ par le rapport minimal

r
m
n
u
entre l’e´ tendue de mesure et la pleine e´ chelle.
:
)
8
C
4
2.2 Termes relatifs aux conditions

(
e
6
0
t
de fonctionnement d’un capteur

a
é
0
Domaine de non-destruction
0
2
p
Domaine de non-détérioration
&
T
Conditions de re´fe´rence. Se´ rie de valeurs assorties de tole´

ran
e
Domaine nominal
e
d’emploi
ces, ou de domaines re´ duits fixe´ s pour les grandeurs d
d’influence,
n
fl
e n
r
t
i
qui sont spe´ cifie´ es pour effectuer les essais comparatifs.

G
& Grandeur d’influence. Grandeur qui, applique´ e de l’exte´ rieur,

c
est Grandeur à
indique´ es par le cap teur. Elle concerne un capteur
Étendue de mesure individuellement de´ signe´.
& ´
Reproductibilite´. E troitesse de l’accord entre les re´
sultats des mesures d’une meˆme grandeur dans le cas
ou` des mesures indivi duelles sont effectue´ es suivant
Figure 2 – Domaine de fonctionnement diffe´ rentes me´ thodes, au moyen de diffe´ rents
instruments de mesure, par diffe´ rents observateurs,
& Domaine de non-destruction. Le domaine de non- dans diffe´ rents laboratoires, apre` s des intervalles de
destruction est de´ fini par les valeurs limites que peuvent temps assez longs par rapport a` la dure´ e d’une seule
atteindre, d’une part la grandeur a` mesurer, d’autre part mesure, dans diffe´ rentes condi tions usuelles d’emploi
les grandeurs d’influence sans qu’il y ait destruction du du capteur utilise´.
capteur, mais dans lequel les caracte´ risti ques (en
particulier me´ trologiques) du capteur peuvent eˆ tre alte´ & ´
- re´ es plus ou moins profonde´ment et d’une manie` re Re´pe´tabilite´. E troitesse de l’accord entre les re´
permanente (cf. figure 2). sultats de mesure successifs d’une meˆme grandeur
effectue´ s avec la meˆme me´ thode, par le meˆme
observateur, avec les meˆmes instruments de mesure,
2.3 Quelques autres termes utilise´s dans le meˆme laboratoire, et a` des intervalles de temps
assez courts.
& De´rive. De´ placement lent et progressif du ze´ ro, ou
& Erreur de re´pe´tabilite´. C’est un indice de dispersion
plus ge´ ne´ rale ment de l’indication, au cours du temps.
des indica tions d’un capteur pour une se´ rie de mesures
conse´ cutives effec tue´ es dans les meˆmes conditions,
& par un meˆme observateur, avec les meˆmes me´ thodes
Erreur moyenne. Pour une valeur donne´ e de la
grandeur a` mesu rer, c’est la moyenne arithme´ tique et a` des intervalles de temps assez courts.
des erreurs obtenues au cours de l’e´ talonnage par
valeurs croissantes et par valeurs de´ croissantes de la &
Interchangeabilite´. Qualite´ qui caracte´ rise l’aptitude
grandeur a` mesurer.
d’un capteur a` se substituer a` un autre capteur sans
alte´ rer pour autant les per formances d’une chaıˆne de
& mesure ou d’une boucle de re´ gulation.
Courbe d’e´talonnage. Elle exprime la correspondance
Nota : l’interchangeabilite´ implique certaines conditions sur les caracte´
entre les valeurs de la grandeur mesure´ e et les valeurs ristiques ge´ o me´ triques du capteur aussi bien que sur ses caracte´ ristiques
me´ trologiques.
u
r
a
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––– CAPTEURS
3. Principes de de´ tection

0
extensome´ triques [R 1 860] dans le pre´ sent traite´ ). Les

extensome` -
utilise´s dans les capteurs
2
5
tres a` jauges de contrainte (stain gauge ou strain gage) sont re´ ali
9
Le tableau 3 donne, dans les grandes lignes, les diffe´ se´ s sur la base d’un e´le´ment re´ sistif, monte´ en pont, qui de´
rents princi pes de de´ tecteurs utilise´ s. tecte la
1
3.1 Variation de re´sistance /
de´ formation de la structure sur laquelle les jauges sont colle´ es.
3.1.1 Capteur potentiome´ trique
Le potentiome` tre (figure 3) fournit une relation line´ l
e
aire entre la variable Z x et la tension de sortie V s, a` Dans le montage en pont, le signal est pre´leve´ aux bornes de la
condition que le dispositif de mesure de cette dernie` re dia
ait une impe´ dance d’entre´ e suffisam ment grande.
l
Les voltme` tres et les millivoltme` tres e´lectroniques

ont une impe´ - dance d’entre´ e supe´ rieure a` 1MW.
Compte tenu de la dissipation maximale admissible dans gonale de mesure, le signal correspondant au niveau de re´ fe´
les divers e´le´ments du diviseur de ten sion, la tension e
rence
E sera choisie aussi e´leve´ e que possible. Le circuit d
ainsi constitue´ est asyme´ trique : la tension

correspondant au niveau de re´ fe´ rence de la grandeur
a` mesurer n’est pas nulle. peut eˆ tre annule´ par un e´ quilibrage du pont (figure
4).
L’e´ volution dans la fabrication des potentiome` tres
e
permet une mesure continue graˆ ce aux pistes q
plastiques, sans supprimer pour autant l’effet d’usure i

On a :
locale qui limite l’emploi de ce type de capteur.
l
E
8
3.1.2 Capteur extensome´ trique S= 4Â

n
3
t
DRi
1
2
a
Ce type de capteur est le plus utilise´ (cf. article Capteurs a` jauges

c
.
Ri
s
e a
t
i=1 m
e
ou` DRi
v
Riest la variation relative de re´ sistance de chacune des n
i
i
t
n
3.1.2.2 Jauges a` trame pelliculaire

jauges :
Ce type de jauges est le plus courant (figure 5).
- Les fabricants ont fait de gros efforts pour ame´liorer ce
type de produit en travaillant sur la nature et la qualite´ du
support (sup port polyimide, polyimide renforce´, e´
poxyde, e´ poxyde renforce´ ), sur la ge´ ome´ trie de la
5
DR jauge permettant de compenser, par exem ple, le fluage

D‘ des capteurs, sur la nature des me´ taux utilise´s :
4
R=K ‘ Constantan (cuivre-nickel), Karma (nickel-chrome), Isoe
6
´lastic (le plus courant, fer-chrome-molybde` ne),

manganine et platine tungste` ne (qui offre un facteur de
3
jauges de 4, au lieu de 2 pour les autres me´ taux).

avec K facteur de jauge,
Cette me´ thode permet la fabrication de jauges de
0
D‘ forme adapte´ e a` la mesure souhaite´ e (jauges

diaphragme pour les capteurs de pression par exemple)
7
‘ allongement des jauges. et la fabrication d’e´le´ments re´ sistifs (cuivre pur ; Balco,
nickel) qui permettent la compensation des capteurs en
tempe´ rature.
e
d
La gravure permet de fabriquer des jauges de
contrainte a` haute impe´ dance (5 000 W) utilise´ es
e
dans les transmetteurs 4-20 mA.
t
Des e´le´ments re´ sistifs place´ s dans les branches du pont &
Caracte´ristiques :
permet
– pre´ cision : mieux que 10-4,
p
m
tent des mesures a` mieux que 10-4. – tempe´ rature : 130 C,
o
c
– prix : bas sur grande se´ rie.
xs
e
3.1.2.1 Jauges colleés a` fil
u sx
x
o
Les jauges a` fil ont longtemps e´ te´ utilise´ es dans les mesures
p x
extensome´ triques en ge´ ne´ ral ; l’e´ volution des technologies a

e
vu
r
v
disparaıˆtre ce type de jauges au profit de produits plus modernes
i
et plus performants. Toutefois, dans les mesures a` haute tempe´

d
ra
Figure 3 – Montage potentiome´ trique
ture ou sous flux de neutrons, les jauges a` fil sont toujours pre´
e
sen
t
tes. Elles sont constitue´ es par un fil replie´, soutenu par un

support
t
provisoire d’assemblage et bloque´ sur la structure par une projec
n
tion d’alumine (proce´ de´ Rokide) ou par une colle haute tempe´ ra
m
u
ture (800 a` 1 200 C).
c
&
d
C
– pre´ cision : 10-3,
9
– tempe´ rature : 1 200 C,
0
– prix : e´leve´.
0
Figure 4 – Montage des jauges extensome´ triques

en pont de Wheatstone
2
u
r
a
P
CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
–––––––––––––––––
Tableau 3 – Transformations possibles d’une grandeur mesureé (non e´lectrique) en grandeur susceptible
d’eˆ tre mesureé par des proce´de´ s e´lectriques et e´lectroniques
Grandeur ´
mesureé E le´ments traducteurs
Variation Variation Variation Variation Variation Variation Variation Variation Va

de re´ d’inductio de de de fre de de flux de force du
sistance n magne capacite´ quantite´ ´quence caracte (rayon e´lec
´tique d’e ´risti que nement) tromotri pa
´lectricite´ de ce ou d’o
composant de po ultra
tentiel
Longueur, Conductiv Re Variation : Re´ Transpar Sonde Re´

e´paisseur ite´ ´luctanc – de sonance en ce a` effet des
Potentio e surface me´ aux Hall son
me´ trique variable des e canique rayons
Extenso Transfor ´lectro des X, g et b
me´ trique ma teur Interfe´ ro
diffe´ - – de distance
me´ trie
rentiel – de
Courants permitti vite
de ´
Foucault
Force, poids Potentio Magne´ Variation : Pie´ zo Corde vi Effet pie Magne´ Pot
me´ - tos – de e´lectricite brante ´ zo FET tos magne´
trique triction surface ´ Quartz, (tran triction tique
Extenso Mutuelle des e Photo ce´ - sistor a` Flux lumi
me´ - in ´lectro des e´lectricite ramique effet de neux
trique ductance ´ champ)
Pie´ zore´ – de
sistif distance
Effet e
´lectret
Pression Potentio Transfor Variation Pie´ zo Quartz, Effet pie Flux lumi
me´ - ma teur de e´lectricite ce´ - ´ zo FET neux
trique diffe´ - distance ´ ramique Fibre op
Extenso rentiel des e Lame vi tique
me´ - Mutuelle ´lectrodes brante Flux io
trique in Effet e´lectret nique
Fil chaud ductance
De Potentio Variation : Variation : Corde Codeur Re´

´placement me´ - – de vibrante optique des
– d’entrefer
trique distance Flux lumi son
Extenso – de re
des e neux
me´ - ´luc tance
Courants ´lectro des
trique
de – de surface
Foucault
Allongeme Extenso ´ Corde

nt relatif me´ - E lectrodes vibrante
trique scelle´ es
en
deux points
Temps Quartz
Position, Potentio Re Variation Codeur Re´

niveau me´ - ´luctanc de optique des
trique e distance son
Codeur variable des e
´lectrodes
Vitesse Fil chaud Effet Dop Flux lumi

lineáire (vitesse de pler- neux
fluides) Fizeau
Lame vi
brante
Vitesse Potentio Charge et Roue pho Flux lumi
angulaire me` - tre de´ charge nique neux
asservi du Dynamo
conden
sateur
Tempe Sonde pla Quartz Couples

´rature tine ou a` oscillant thermoe
se ´lec
miconduc triques
teur (ther
mistances)
Conductivite´ Mesure
directe
Humidite´ Variation Variation

d’e´lectrode de
permittivit
e´
die´lectrique
e
a
u
r
a
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––– CAPTEURS
Tableau 3 – Transformations possibles d’une grandeur mesureé (non e´lectrique) en grandeur susceptible d’eˆ tre
mesureé par des proce´de´ s e´lectriques et e´lectroniques (suite)
Grandeur ´
mesureé E le´ments traducteurs
Variation Variation Variation Variation Variation Variation Variation Variation Va

de re´ d’inductio de de de fre de de flux de force du
sistance n magne capacite´ quantite´ ´quence caracte (rayon e´lec
´tique d’e ´risti que nement) tromotri pa
´lectricite´ de ce ou d’o
composant de po ultra
tentiel
pH, pK Charge et ´
de´ - E
charge du lectrode
condensa spe´
teur cifique
Couple Extenso Optique Flux lumi

me´ - et neux
trique mesure
du de´
phasag
e
Acce´le Extenso Re Variation Pie´ zo Corde Effet pie Pot

´ration, me´ - ´luctanc de e´lectricite vibrante ´ zo FET magne´ -
vibrations trique e distance ´ tique
Potentio variable des e Effet Hall
me´ - ´lectrodes
trique
3.1.2.3 Jauges de´poseés sous vide

7
Cette technologie (figure 6) consiste a` de´ poser sous 2

Cette me´ thode permet la fabrication de capteurs a` haute perfor
vide une couche me´ tallique mince (infe´ rieure a` 50 nm) sur une mance, surtout en tempe´ rature (voisine de 400 C).
couche iso
2
lante et a` graver, chimiquement ou sous faisceaux d’ions, des e´le

5
´-
1
&
3
ments re´ sistifs permettant de remplacer les jauges colle´

2
es. /
/
t
e
– pre´ cision : 0,5 x 10-4, m
3.1.3.1 Jauges diffuseés
l
u
l
i
c
l
– tempe´ rature : 400 C, La re´ sistance de jauge est obtenue par la diffusion d’impurete´ s
o
d
– prix : plus e´leve´ que les jauges colle´ es. de type P dans un substrat de silicium. La diffusion
simultane´ e e
e
dans un meˆme substrat (souvent utilise´ comme e´le´ment
sensible)
u
l
3.1.2.4 Jauges a` fils tendus
-
Dans ce type de capteur (figure 7), la jauge de contrainte est

a
c
de quatre re´ sistances formant, apre` s connexion, un pont de
9
constitue´ e par des fils tendus sur des ergots fixes A, avec un 0
point Wheatstone complet permet de fabriquer des capteurs miniaturise´

0
s
2
i
mobile B solidaire d’une membrane M. Les fils sont tendus sur des s
s r
r
a
e
ressorts R maintenant une tension permanente sur les fils. m
Sous l’effet de la pression, la membrane va se de´ former, la ten

:
sion me´ canique sur les fils va diminuer sur les brins centraux, aug
t
menter sur les brins exte´ rieurs, l’ensemble e´ tant monte´ en

8
pont.
4
&
3
0
0
– pre´ cision : 10 C,
2
7
– tempe´ rature : 300 C,
d
– prix : e´leve´ ou tre`s e´leve´,
t
– fragilite´ forte sous pression maximale.
p
c
3.1.3 Capteurs a` jauges pie´zore´sistives
l
e
Figure 5 – Jauges a` trame pelliculaire
L’effet pie´ zore´ sistif est utilise´ dans les capteurs a`

jauges a` semi u
p
conducteur, diffuse´ es ou colle´ es.
r
L’application d’une contrainte modifie la re´ sistivite´ du silicium
v
dope´, en modifiant a` la fois le nombre des porteurs et

leur mobilite´. e
La grandeur et le signe de la variation obtenue de´ pendent de la
e
concentration des porteurs et de l’orientation cristallographique de
a
la contrainte applique´ e [1].
Figure 6 – Jauge de´poseé sous vide
u
r
a
P
CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––––––– c
Figure 8 – Capteur de pression a` jauges pie´zore´sistives

diffuseés 0
Figure 7 – Jauge a` fils tendus 2
d
(figure 8) a` haut signal e´lectrique (100 mV), le facteur de jauge
e
e´ tant tre`s e´leve´ (175 a` 200).
t
&
c
r
– pre´ cision : 10-3,
u
o
– tempe´ rature d’utilisation : capteur tre` s sensible a` la tempe´ ra
p
e
ture (limiteé a` 150 C environ).
r
3.1.3.2 Jauges semiconductrices colleés
a
Ce type de jauges (figure 9) est dit « de´ coupe´ ». Elles sont for
n
me´ es d’un brin unique de silicium dope´ paralle`le a` la diagonale
e
1
du cube cristallin pour le silicium type P, perpendiculaire
pour le
.
2 m
7 u
silicium type N.
.
c
2
o
2
.
d
Ces jauges e´ tant forme´ es d’un brin unique, elles ont une sensibi
5
lite´ transverse pratiquement nulle ; raccorde´ es par bonding, elles

/
l
-
9
sont ensuite colle´ es sur la structure comme les jauges des autres
d
0
0
types classiques.
e 2
o
r
h
a
a m
:
élément double, dit « en U », permettant de fabriquer des

jauges plus petites
Figure 9 – Jauges semiconductrices colleés
Figure 10 – Capteur de de´placement a` variation

d’inductance mutuelle
3.2 Variation d’induction

3.2.1 Mutuelle inductance
Dans ce montage, on fait en ge´ ne´ ral varier le
couplage entre deux enroulements secondaires S 1, S2 et
un enroulement primaire double P 1, P2 parcouru par un
courant alternatif, cette variation de couplage est effectue
´ e en diffe´ rentiel (figure 10a).
Le de´ placement axial du noyau central N, obtenu au
moyen de deux membranes de guidage M, fait varier en
sens inverse les entrefers e 1 et e2. La re´luctance du
circuit correspondant variant corre´lativement, le
couplage entre primaire et secondaire se trouve modifie´.
Les f.e´.m. induites varient en sens inverse et proportion
nellement au de´ placement. Ces f.e´.m., apre` s
redressement, sont
u
r
a
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––– CAPTEURS
oppose´ es dans le circuit de mesure comportant un secteur.

galvanome` tre indicateur ou enregistreur (figure 10b).
Nota : f.e´.m (forces e´lectromotrices). 3.2.2 Re´luctance variable
Les avantages de cette me´ thode re´ sident Les capteurs de ce type utilisent ge´ ne´ ralement des
principalement dans la robustesse, l’inutilite´ circuits syme´ - triques. Conside´ rons, a` titre
d’amplification (l’amplitude de modulation pouvant d’exemple, le circuit de la figure 11. La re´luctance d’un
atteindre 30 %) dans la plupart des cas, la facilite´ de tel circuit magne´ tique est e´ gale a` :
stabi lisation de la tension alternative qui peut, dans
certains cas, eˆ tre pre´leve´ e directement sur le R = R1 + R2 + R3
1
R1 = 2 ð1/mÞ ð‘/sÞ re´luctance du noyeau de fer,
R2 re´luctance parasite fixe des entrefers non variables,
R3 re´luctance de l’entrefer variable ( ‘1
m0s par exemple).
avec m perme´ abilite´ du noyau,
‘ longueur du noyau,
s section du noyau,
8
3
m0 perme´ abilite´ du vide.
1
0
Pour la position me´ diane de la palette mobile P :
2
r
2
‘1 = ‘2 = ‘0
u
Lorsqu’on fait varier l’entrefer ‘1 de + Dx, l’entrefer ‘2 varie de e
/ e
e
– Dx. t
e
l
e
l’induc
On peut ge´ ne´ ralement ne´ gliger R1 et R2 devant R3 d’ou` t
e
tance du capteur : n
d
m
2
i
L = m0N s/‘1 e
a
avec N nombre de spires. -
Figure 11 – Capteur de de´placement a` variation de re´luctance

e
i
0
s
et 2
DL/L = - ðDx/‘1Þ
s
v a
m
n
I0 e´ tant l’intensite´ du courant pour la position d’e´ quilibre, on aura

-
3.2.3 Transformateur diffe´ rentiel

5
en fonction du de´ placement Dx une variation de

8
courant : Le transformateur diffe´ rentiel (figure 12) est constitue´
4
6
de deux enroulements secondaires place´ s syme´
triquement par rapport au primaire. Le de´ placement d’un
DI = I0 noyau ferromagne´ tique modifie le couplage entre le
2 primaire et chacun des secondaires relie´ s en opposition,
1 + ðR/LwÞ · Dx les forces e´lectromotrices induites par mutuelle induc tion
3
0
se soustraient.
0
0
‘1 3.2.4 Magne´ tostriction
Les proprie´ te´ s magne´ tiques de certains corps (fer,
2
cobalt, nickel, etc.) varient lorsqu’on soumet ces corps a`

une contrainte me´ ca nique (effet Villari). C’est ainsi que,
e
Pratiquement, on redresse les courants et on les oppose de lorsqu’un barreau en me´ tal magne´ tique de longueur ‘
d
s’allonge de D‘ sous l’action d’une force F, on constate
manie` re a` annuler la composante continue et a` avoir une une diminution de l’induction B :
compen
CdB = D‘/‘
e
ou` C est une constante.
Dans le nickel par exemple, une contrainte de 10 MPa
t
sation automatique des de´ rives. Toutefois, ces

re´ duit l’ai mantation de 5 % environ. La valeur du
relations ne sont p coefficient C de´ pend, entre autres, de la valeur initiale
m
du champ.
valables que pour autant que Dx reste suffisamment faible devant ‘.
o
L’induction pre´ alable peut eˆ tre celle d’un barreau de
´ja` aimante´ en alliage de nickel, ou bien celle que l’on
c
obtient en faisant passer un courant continu dans un

l
e
enroulement d’excitation. Ge´ ne´ ralement, le magne´
tisme re´manent du barreau donne un flux suffisant.
En disposant une bobine concentrique, on peut induire
dans cette dernie` re des f.e´.m. conse´ cutives aux
variations de flux.
Erwing ayant ve´ rifie´ que, pour de faibles variations
ds de contrainte, l’induction varie line´ airement, on peut e
´ crire :
K ds/dt = dF/dt
avec F flux magne´ tique,
K constante.
et si l’on envisage une variation pe´ riodique de la

contrainte : s = s0 + s1 sin wt
la f.e´.m. induite est :
E = - NðdF/dtÞ = - Ks1 wN cos wt
N nombre de spires.
La f.e´.m. induite est donc proportionnelle a` la vitesse

de variation de la contrainte et, pour obtenir la variation
d’amplitude de la contrainte, il y a lieu d’inte´ grer cette f.e
´.m. au moyen d’un circuit approprie´.
Figure 12 – Sche´ma e´lectrique simplifieé du

transformateur diffe´ rentiel
u
r
a
P
CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
–––––––––––––––––
/
Les barreaux au nickel avec une bobine concentrique peuvent
eˆ tre utilise´ s pour la re´ alisation de capteurs de vibrations ou

l
d’acce´ -
i
e
le´ rations, ou pour la mesure directe d’efforts variables (figure 13).
d
u
3.2.5 Courants de Foucault
q
Figure 13 – Principe de la magne´ tostriction h

En approchant d’une plaque me´ tallique (figure 14) une bobine
t
alimente´ e par une tension alternative constante, V e, il se de´

a
veloppe
c
dans la plaque me´ tallique des courants de Foucault. Lorsque la

e
dis
t
s
tance d diminue, les pertes par courants de Foucault augmentent,
r
v
entraıˆnant un accroissement du courant d’alimentation I, et inver
i
n
sement lorsque d augmente.
u
3 5
3.3 Variation de capacite´

1
8
7
.
4
0
6
2
3
2
0
Figure 14 – Capteur a` courants de Foucault

5
.
0
3.3.1 Variation de surface active des armatures
9
0
1
2
7
e
Il s’agit la plupart du temps de condensateurs plans ou de
d
condensateurs cylindriques dont l’armature subit le de´ placement

a`
p
traduire par une variation de capacite´.
m
o
– Pour le condensateur plan (figure 15a), la variation de capacite´
c
dC est proportionnelle a` la variation da de l’angle de recouvrement

e
r
des armatures fixe et mobile.
u
o
– Pour le condensateur cylindrique (figure 15b), on a :
p
r
C = 2 p e 0 er ‘
v
e
ln ðr2/r1Þ
d
Figure 15 – Capteurs a` variation de capacite´ par armature mobile

e
t
avec e0 permittivite´ du vide,
e
a
er permittivite´ relative du die´lectrique,
e
‘ enfoncement du cylindre de rayon r1 dans le
m
u
cylindre de rayon r2.
c
Figure 16 – Capteur a` variation de capacite´ par variation de

e
3.3.2 Variation de distance entre les armatures distance entre les armatures
C
d‘ = 0, le pont est e´ quilibre´ : Vs = 0. Pour un de´

de l’ar
-
placement d‘ mature mobile, la tension de sortie Vs

est proportionnelle a` d‘. La sensibilite´ d’un tel
condensateur est beaucoup plus impor tante que dans le
Le condensateur est destine´ a` la traduction de de´ placements
cas d’une variation de surface (exemple : 10 -2 mm pour le
9
rec capteur Fogale).
0
0
tilignes, il est inse´ re´ dans un montage en pont (figure 16). Pour 3.3.3 Variation de permittivite´
2
Les capteurs de ce type sont constitue´ s par deux

armatures d’un condensateur a` air entre lesquelles on
s
r introduit un die´lectrique de forte permittivite´. Ce die

a
´lectrique est en ge´ ne´ ral un liquide car le proce´ de´

m
est surtout utilise´ en capteur de niveau (figure 17).

Le syste`me est e´ quivalent a` deux condensateurs en
paralle`le, de capacite´ s C1 et C2 ; la capacite´ totale est :
:
‘
n
C = C1 + C2 = e0 e ðerx + L - xÞ
3.3.4 Effet e´lectret
o
Cet effet est la proprie´ te´ qu’ont certains die

´lectriques solides (polyme` res : PTFE, Te´ flon,
polypropyle` ne, etc.) de conserver une polarisation apre`
s application d’un champ e´lectrique.
Une feuille de plastique me´ tallise´ e (figure 18)
constitue une e´lec trode d’un condensateur et repose sur
une deuxie`me e´lectrode dont la surface est gaufre´ e. Si
l’on applique une pression sur la face supe´ rieure, la
membrane se de´ forme et la capacite´ entre les deux e
´lectrodes varie.
u
r
a
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
v
––––––––––––– CAPTEURS
i
6
Figure 19 – Capteur a` effet pie´zoe´lectrique
3
0
3.4 Variation de quantite´ d’e´lectricite´
2
&
Pie´ zoe´lectricite´. L’effet pie´ zoe´lectrique (figure 19) est la
particula
Figure 17 – Capteur de niveau a` variation de capacite´ par e
variation de permittivite´
t
rite´ que posse` dent certains mate´ riaux (quartz, ce´

Électrode ramiques PZT, etc.) p
en Téflon, acier…
Espaceur m
de se polariser e´lectriquement lorsqu’ils sont soumis a` des
Couche d’air o
contraintes me´ caniques convenablement oriente´ es par rapport

aux
Face métallisée
de la membrane axes cristallographiques.

Boîtier
r
Isolant La quantite´ d’e´lectricite´ apparaissant en surface du cristal peut

Plaque fixe
o
électrique
e
s’e´ crire :
r
3
l
q = KF
1
e
.
d
2
avec K module pie´ zoe´lectrique ou constante de Curie,

2
. e
Figure 18 – Microphone a` e´lectrets (d’apre` s P. Chabot et A. Boissinot)

e
a
F contrainte me´ canique.
/
Pression
e
&
V Photoe´lectricite´. La cellule photoe´lectrique permet de mesurer
Membrane m
piézoélectrique
u
des rayonnements (cas de la mesure de tempe´ rature)

ou peut eˆ tre o
utilise´ e comme e´le´ment sensible secondaire pour transformer

une
Électrodes
métalliques
e
Support C
grandeur physique en courant e´lectrique.
i 9
Ce type de capteur fait partie d’une famille de´ taille´ e dans le
l
0
0
paragraphe 3.7.
e 2
r
e
a
u
q m
h
:
t
e t
e
rendant variable l’e´ paisseur de la lame d’air entre un
quartz oscillant et l’une de ses e´lectrodes, on peut
modifier la fre´ quence d’oscillation.
Sur un diaphragme de quartz, d’autres solutions sont
possibles en mesurant la fre´ quence par des re´
sonateurs a` ondes de surface.
3.6 Variation de caracte´

ristique de composant
Figure 20 – Corde vibrante e´lectronique
3.5 Variation de fre´quence Effet pie´ zo-FET ou pie´ zo-transistor
Le transistor pie´ zoe´lectrique a` effet de champ (pie´
& zo-FET) est un e´le´ment actif inte´ gre´ conçu et re´
Corde vibrante. Dans ce type de capteur, le corps d’e´
preuve est une corde d’acier tendue entre deux points alise´ pour avoir une sensibilite´ maximale a` la
ancre´ s dans une struc ture ou dans un e´le´ment de contrainte. La force applique´ e est transmise par une
capteur. pointe qui modifie la conduction dans la jonction e
´metteur-base (figure 21).
Un dispositif d’excitation fait vibrer la corde. Un
dispositif de de´ tection mesure les variations de fre´
quence directement lie´ es a` la tension me´ canique ou 3.7 Variation de flux lumineux : capteurs
a` un de´ placement (figure 20). optique et optoe´lectronique
La fre´ quence propre de la corde est : Se reporter a` l’article De´ tecteurs de rayonnements optiques [R 6 450]
1 ffiffiffiffiffiffiF dans le pre´ sent traite´, et Physique des dispositifs e´lectroniques [E 1 100] dans
f 0 = 2‘ rS
´
r le traite´ E lectronique (cf. [Doc. R 401]).
3.7.1 Photode´ tecteurs

avec F force applique´ e, &
Cellule photoconductrice. La photoconduction re´ sulte
‘ longueur de la corde, d’un effet photoe´lectrique interne. La lumie` re libe` re
S section de la corde, dans le mate´ riau semi conducteur des charges e
r masse volumique. ´lectriques provoquant une augmentation corre´lative de
la conductivite´ (figure 22).
& Quartz et ce´ramiques. Les quartz et ce´ ramiques sont Le courant photoe´lectrique Ip s’e´ crit :
utilise´ s en pie´ zoe´lectricite´. On peut mesurer des
A
pressions, des forces, etc., en exploitant la variation de Ip = V ðsph - soÞ L
fre´ quence d’un quartz ou d’une ce´ ramique. avec V tension applique´ e,
Si le quartz est excite´, sa fre´ quence de re´ sonance
sera modifie´ e par l’application d’un de´ poˆ t, par sph conductivite´ photo-induite,
exemple, ou par la modification d’un de´ bit de fluide. En so conductivite´ a` l’obscurite´.
u
r
a
P
CAPTEURS
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
–––––––––––––––––
1
Figure 21 – Capteur a` transistor pie´zo-FET
.
Rayonnement F
d
e s
r
u
m
l
:
a
e
Figure 22 – Cellule photoconductrice i
o
t
t
r
Jonction
& P
Photodiode a` jonction PN. La zone de charge d’espace, localise´ N
e
e
i
v
E
n
entre une jonction d’un semi-conducteur de type N et d’un semi Électron
u Trou
conducteur de type P, est de´ nue´ e de porteurs libres en e´ Atome accepteur Atome donneur
-
quilibre a`
5
WT
cause du champ e´lectrique qui e´ tablit entre les deux e´le´ments Charge d’espace
8
de
4
jonction PN
semi-conducteur une barrie` re de potentiel F (figure 23). Celle-ci a
6
est modifie´ e par une tension exte´ rieure applique´ e. Un courant

0
tra
0
0
VN
verse alors la jonction. V (x)
2
F
e
d
Sous l’action du rayonnement lumineux, il y a augmentation des
VP
porteurs minoritaires et le courant traversant la diode s’e´ crit :

t
e
potentiel correspondant
p
b
m
I = I0 ½exp ðe V/kT Þ - 1 - Iph
o
Figure 23 – Repre´sentation d’une jonction PN a` l’e´quilibre

avec I0 courant de saturation inverse, thermodynamique en circuit ouvert (d’apre` s
l
e
http://www.brive.unilim.fr/
files/fichiers/quere/Elec_phys/CHAP_2.pdf)
r
e charge de l’e´lectron,
p
&
Photodiode a` avalanche. En appliquant a` une diode
e
une tension inverse infe´ rieure a` sa tension de
r
v
claquage, l’e´ nergie des porteurs cre´ e´ s par effet
V tension applique´ e, photoe´lectrique est suffisante pour ioniser par choc des
atomes de la zone de transition et cre´ er une nouvelle
i
paire e´lectron-trouqui, a` son tour, peut reproduire le

e
meˆme processus. Il y a multiplication des porteurs et la

diode est le sie` ge d’un phe´ no me` ne d’avalanche, qui
e
k constante de Boltzmann, est line´ aire : le courant d’origine photoe´lec trique est
t
e
multiplie´ par un facteur controˆ lable par la tension
inverse.
a
3.7.2 Fibres optiques

t
T tempe´ rature thermodynamique,
Les fibres optiques sont des guides d’ondes
n
m
lumineuses tre` s uti lise´ es en transmission
u
Iph courant duˆ a` l’e´ clairement. d’informations.
c
d
o
Elles peuvent aussi eˆ tre employe´ es en modulateurs

de signaux optiques : sous l’action d’une grandeur
physique (contraintes, de´ formations), la fibre optique
Ces photodiodes peuvent fonctionner en mode modifie les conditions de propaga tion de la lumie` re ;
photoconducteur e
c’est la fibre qui constitue l’e´le´ment sensible.
C
Se reporter a` l’article Capteurs a` fibres optiques [R 412] dans le pre´ sent traite´.
(une source polarise la diode en inverse, et le signal est recueilli
Exemple d’un capteur : une illustration sche

´matique du transduc teur de tempe´rature a` fibres
optiques de la se´rie de produits WLPI d’Opsens
aux bornes d’une re´ sistance) ou en mode photovoltaı¨que (Canada) apparaıˆt sur la figure 24. Son principe de
(aucune fonc tionnement repose sur un interfe´rome`tre a`
polarisation fait d’un cris tal dont la bire´fringence de
9
source de polarisation externe). ´pend fortement de la tempe´rature (brevets en

0
instance). Un polariseur rectiligne est place´ sur la

face d’entreé du cristal bire´fringent et sa face arrie`re
2
est recouverte d’un miroir die´lec trique. Cet ensemble ondes.
forme un interfe´rome`tre a` polarisation a` deux
u
r
a
P
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
––––––––––––– CAPTEURS
3
grandeur
1
Cristal biréfringent à dépendance

.
thermique et d’épaisseur
Fibre
optique
Lumière
non polarisée
Polariseur
Différence de marche
rectiligne
de l’interféromètre
de mesure ds = 2 B ds
Figure 24 – Transducteur de tempe´ rature a` base d’interfe´

rome` tre a` polarisation (document Opsens, Canada)
3.8 Balance de force a` syste`me asservi

Le principe de mesure fait appel a` une me´ thode de
ze´ ro. Par un syste`me d’asservissement, on oppose a` la force a`
mesurer une force e´ gale, connue et de signe oppose´. La
grandeur d’asservisse 8
ment, ge´ ne´ ralement un courant e´lectrique, repre´ sente la
2
de sortie. La figure 25 illustre le principe. Figure 25 – Capteur a` balance de force, ou e´quilibre de forces
7
8
4
u
r
a
P
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Date de publication : 10 mars 2009

Capteurs - Définitions, principes de

PARMANTIER, Frédéric KRATZ

Document téléchargé le : 05/12/2018

tous droits réservés

et Fre´de´ ric KRATZ

1. De´ finitions........................................................................................ R 400 – 2 1.1

L e capteur (en anglais sensor ou transducer) est le premier maillon de la

modifie le signal suivant spe´ cification.

tie. Les e´le´ments interme´ diaires traitent ge´ ne´ ralement le

& ´ utiliser des techniques analogiques ou nume´ riques.

la prise d’in formations relatives a` la grandeur a`

bien une grandeur de´ja` trans forme´ e de la grandeur

Transmetteur. E le´ment influence´ par une grandeur l

tre un assemblage d’e´le´ - ments constitue´ d’un

une force F proportionnelle a` la grandeur mesure´ e (pousse´ e,

ne´s a` exe´ cuter les mesures en atelier ou en -

sant cette grandeur. On a la` un capteur sans source d’e´ nergie

me´ thodes d’essais approprie´ es, les performances et les caracte´ s

exte´ rieure : le capteur constitue un ge´ ne´ rateur d’e´

de flux magne´ tique. Cette variation, proportionnelle aux

& Des exemples de tels capteurs sont donne´ s dans le tableau 1.

ral traduisibles directement en variables e´lectriques : par exemple,

´ment sensible primaire, par exemple un indicateur de

le couple thermoe´lectrique ou certaines sondes de mesure de pH.

Avec e´nergie module´e par la grandeur a` mesurer.

permettant la traduction en grandeur e´lectrique.

module le courant d’un cir cuit e´lectrique. Le capteur doit

peut citer aussi le cas des mesures d’analyse spec trale

rayonnement, la cristallographie par rayons X ou g, etc.

pour que l’on puisse lire le signal de mesure.

Tableau 1 – Exemples de capteurs sans apport d’e´nergie

assure la transformation en grandeur e´lectrique. Ces e´le´ments

secondaires peuvent eˆ tre actifs ou passifs.

Grandeur ´ Relation Symbole

Force F Cristal pie´ Q = KF

Tableau 2 – Grandeurs de traduction e´ lectrique

Grandeur Transformations possibles

‘ longueur, S surface d’une spire, n

nombre de spires, m perme´ abilite

(M1, M2 e´ tant ge´ ne´ ralement

fonction d’un parame` tre

de circuit magne´ tique)

pulsation, M1, M2 inductances

Figure 1 – Modulation d’un rayonnement par modification

des proprie´ te´s de transmission d’un mate´ riau soumis

2. Terminologie en me´ trologie

& ´ courbe d’e´ talon nage et la courbe repre´ sentant la loi

valeurs extreˆmes pouvant eˆ tre prises par la grandeur a` mesurer, &

l’aptitude d’un capteur a` donner des indications proches

l’erreur de justesse ainsi que l’erreur de fide´lite´.

07-001, cf. [Doc R 401]) retient le mot exacti tude, au lieu

& Fide´lite´. Qualite´ qui caracte´ rise l’aptitude d’un

mesure´ e, des indications concordant entre elles, les

erreurs syste´matiques des valeurs varia bles n’e´ tant

l’aptitude d’un cap teur a` donner des indications qui ne

& Erreur de fide´lite´. C’est un indice de dispersion des

Porte´e minimale, porte´e maximale. Valeurs de la

Erreur de mobilite´ : variation maximale de la &

maximal constate´ sur ces deux valeurs dans l’e´ tendue

susceptible de modifier les caracte´ ristiques me´ trologiques du

Finesse. Qualite´ exprimant l’aptitude d’un capteur a` p

e´lectrique, chimique, etc.