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ISBN 2-86883-822-7
O EDP Sciences, 2006
PHYSIQUE
DES PLASMAS COLLISIONNELS
APPLICATION AUX DÉCHARGES HAUTE FRÉQUENCE
l"i
SCIENCES
Dans les années soixante, la physique des plasmas tirait sa visibilité presque exclu-
sivement de l’engouement pour la réalisation d’un réacteur produisant de l’électri-
cité par fusion thermonucléaire contrôlée. Depuis, les applications des plasmas se
sont heureusement multipliées et diversifiées, l’une des plus connues, en dehors de
l’éclairage, étant l’indispensable opération de gravure dans la fabrication des puces en
micro-électronique. En ce début du XXIe siècle, l’utilisation des plasmas est en pleine
expansion et nous pouvons croire, d’après les publications des travaux de recherche
actuels, qu’un nombre sans cesse plus grand d’applications industrielles verra le jour.
Dans ce développement, les plasmas créés par des champs électromagnétiques de fré-
quences radio et de micro-ondes jouent un rôle particulièrement important.
Le présent manuel, qui concerne essentiellement la physique des plasmas utilisés en
laboratoire et dans l’industrie, est davantage centré sur la compréhension des rnéca-
riismes physiques que sur leur description détaillée et finement mathématisée. A ce
premier niveau de contact avec cette discipline, il est, en effet, bien important d’assi-
miler les phénomènes physiques caractéristiques avant d’aborder le formalisme très
développé de la théorie cinétique avec son approche microscopique statistique. Pour
traduire ces phénomènes physiques eri équations, nous ferons appel au modèle liydro-
dynamique, modèle de type fluide, où les grarideiirs physiques sont des valeurs niacro-
scopiqiies résultant de nioyennes statistiques prises sur les grandeurs microscopiques.
Ce manuel, destiné aux étudianh des premiers cycles universitaires et aux ingénieurs
tournés vers les applications, se situe à un niveau de difficulté moindre qiie celui de
DELCROIX et BERS (respectivement, Université Paris XI et Siipélec, et MIT, Etats-
Unis), leur traité constitiiant, en revanche, une suite intéressantje sur le plan théoriqiie.
L’ouvrage est divisé en quatre chapitres. Dans le chapitre 1;sont introduites de façon
progressive et de plus en plus précise les notions fondamentales de la physique des
plasmas. Le chapitre 2 examine de manière détaillée la trajectoire d’une particule
chargée soumise à des champs électrique E et magnétique B de différentes ronfi-
giirations, mettant l’accent sur le transfert d’énergie du chanip E à la particule et
sur sa giration cyclotronique en présence d‘un champ B . Le chapit,re 3 montre coni-
merit obtenir les équations hydrodynamiques (aussi appelées équations de transport)
à partir de l’équation cinétique de BOLTZMANN et fait usage de celles-ci, notaninient
dans l’étude de la diffusion. On y décrit également la formation des gaines ionique et
électronique et leurs caractéristiques. Le quatrième et le dernier chapitre aborde les
mécanismes propres au fonctionnement des décharges de hautes fréquences, 2 faible
pression (< i o torr) et à forte pression (> 100 torr). On y présente, en particulier,
6 AVANT-PROP OS
Les vecteurs sont représentés par des lettres en caractère gras, A . Les tenseurs sont
aussi imprimés en gras : un tenseur d’ordre 2 est souligné une fois, 4; un tenseur
d’ordre 3. deux fois, A.
-
h constante de PLANCK
H champ magnétique
I
- tenseur unité d’ordre 2
3 Jacobien (d’une matrice de transformation de repère)
J densité de courant
Jc courant de conduction
courant de polarisation
constante de BOLTZMANN
coefficient de réaction
épaisseur de gaine
libre parcours entre deux collisions
libre parcours moyen entre deux collisions
masse de l’électron
masse de l’ion
masse de l’atome
tenseur lié à la force magnétique
densité de plasma
densité des ions, des électrons
densité de plasma à la lisière de gaine
densité de molécules (atomes)
densité des atomes à la pression de 1 torr et à 0 “C
nombre de particules déviées élastiquement par un centre diffuseur
nombre de particules dans la sphère de DEBYE
nombre total de particules dans un système
densité d’atomes dans l’état fondamental
densité d’atomes dans l’état excité j
vecteur quantité de mouvement
pression du gaz
pression réduite
pas d’une hélice
section efficace macroscopique pour une interaction de type x
puissance moyenne (sur une période du champ HF) absorbée, par
unité de volume, par les électrons
puissance totale absorbée
impulsion totale gagnée ou perdue par les particules de type (IV
charge de la particule
tenseur de flux d’énergie thermique
vecteur position
rayon de LARMOR
rayon de LARMORdes électrons, des ions
position instantanée du centre de guidage
rayon interne du tube à décharge
rapport de miroir
résistance
énergie cinétique totale gagnée ou perdue par les particules
de type cy
S paramè1,re d’impact
SO paramèixe d’impact critique moyen
LISTE DES SYMBOLES 11
opérateur de collision
temps
température d’un système en équilibre thermodynamique
température des électrons, des ions
température en électron-volt
température du gaz neutre
période du champ HF
période cyclotronique
vitesse d’une particule relativement à la vitesse moyenne
des particules
énergie charactéristique des électrons
énergie d’une particule
différence de potentiel ; aussi énergie
énergie des électrons en électron-volt
vitesse moyenne au sens hydrodynamique (9 3.3)
vitesse de BOHM
vitesse de groupe, de phase d’une onde
vitesse la plus probable d’une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN
vitesse de la particule Q dans le modèle des trajectoires individuelles
( 5 2.1) ; vitesse microscopique (individuelle) d’une particule dans une
distribution des vitesses ( 5 3.1)
vitesse relative microscopique des particules Q et ?!,
vitesse de dérive électrique
vitesse moyenne (sur une période) de dérive de courbure magnétique
vitesse moyenne (sur une période) de dérive magnétique
travail
charge(s) positive(s) de l’ion
degré d’ionisation
nombre d’onde
rapport d’adiabaticité
flux de particules (nombre de particules incidentes par unité de
surface, par seconde)
coefficient de transfert d’énergie lors d’une collision élastique
profondeur caractéristique de pénétration du champ HF
permittivité du vide
permittivité électrique du plasma relative à celle du vide
coefficient de saturation des états relais dans un processus d’ionisation
coefficient de viscosité du fluide
puissance absorbée par électron ; aussi, angle polaire
puissance HF moyenne absorbée par électron
puissance moyenne perdue par électron
conductivité thermique du gaz
longueur d’onde
longueur de DEBYE
longueur de DEBYEdes électrons, des ions
longueur caractéristique de diffusion
moment magnétique orbital
mobilité électronique, ionique
PHYSIQUE DES PLASMAS COLLISIONNELS
perméabilité du vide
masse réduite des particules de type cr et p
fréquence moyenne de collisions pour le transfert de quantité de
mouvement
fréquence moyenne d’ionisation
fréquence d’ionisation directe
fréquence d’ionisation par étapes
fréquence des photons
fréquence moyenne de recombinaison en volume
fréquence de recombinaison à trois corps
fréquence de recombinaison dissociative
densit6 de charges
rayon de courbure magnétique
coefficient d’ionisation par étapes
section efficace microscopique différentielle
section efficace microscopique totale (intégrée)
section efficace microscopique totale de simple collision
section efficace microscopique totale pour le transfert de quantité de
mouvement
conduc-tivité électrique
temps caractéristique
variable microscopique quelconque
potentiel électrique
potentiel appliqué
potentiel du plasma à la lisière de gaine
potentiel du plasma
angle u i m u t a l
énergie. potentielle électrique
tenseur de pression cinétique
pulsation d’un champ électrique alternatif
pulsation cyclotronique
pulsation cyclotronique des électrons, des ions
pulsation des électrons, des ions du plasma
CONSTANTES PHYSIQUES
AUTRESCONSTANTES
1 . 1 . DEFINITION
ET NATURE ESSENTIELLE DU PLASMA
Un plasma est un milieu composé d’électrons et d’ions, libres de se mouvoir dans toutes
les directions de l’espace ; ce milieu gazeux se distingue d’un gaz classique, composé
exclusivement de particules électriquement neutres, par la nature de l’interaction qui
existe entre particules chargées.
Dans un gaz classique, l’interaction entre particules électriquement neutres est à
courte portée et, lorsque la pression du gaz n’est pas très supérieure à la pression
atmosphérique, elle ne met généralement en cause que deux particules à la fois (inter-
action binaire). Dans ce cas, pour deux particules se dirigeant l’une vers l’autre et
séparée d’une distance r , l’interaction est d’abord attractive (force en l / r 7 dite de
VAN DER WAALS) puis, immédiatement avant le “contact” et de façon abrupte, elle
devient répulsive (parfois modélisée par une dépendance de la force en l/r13, 5 1.7.9)l.
Au contraire, l’interaction entre particules chargées (attractive ou répulsive suivant
les charges en jeu) est à longue portée, puisque la force coulombienne entre particules
est en l / r 2 et, de ce fait, chaque particule chargée peut interagir simultanément avec
un très grand nombre d’autres particules chargées. En conséquence :
1 Cette interaction est souvent décrite de façon simplifiée comme une collision entre “boules de
billard”, négligeant alors la phase attractive initiale de l’interaction.
16 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
+ - + - t
- + - + -
Figure 1.1 - Distribution spatiale (très) idéalisée des charges
+ - + - + positives et négatives dans le cas où les particules du plasma
- + - + - sont (presque) au repos.
Une répartition uniforme des charges signifie, en particulier, qu’il n’y a pas de variation
locale importante de l’intensité du champ électrique. Cependant, si par hypothèse une
perturbation survient qui déplacerait ne serait-ce qu’une charge, toutes les charges du
voisinage vont se mouvoir pour compenser l’écart local à l’équilibre ainsi créé. Ceci
montre que le plasma est constitué de particules capables d’un comportement collectif.
2 V
C’est une variante de l’équation de MAXWELL .D = p où D est le vecteur déplacement
(induction électrique).
1.1 - DÉFINITION ET NATURE ESSENTIELLE D U PLASMA 17
Avant d’aller plus loin, examinons, en guise de premiers exemples, deux types très
différents de plasma :
~ le soleil : c’est un plasma complètement ionisé où il n’y a pas d’atomes électrique-
ment neutres ; en son centre, les atomes ont même perdu tous leurs électrons. Comme
l’ont montré les astrophysiciens, plus de 99’9% de la matière (visible) de l’Univers
est sous forme plasma, ce qui en fait donc l’état de la matière le plus répandu.
~ la partie lumineuse d’un tube d’éclairage de type fluorescent : l’ampoule est rem-
plie d’un gaz rare (en général, de l’argon) à environ 3 torr (N 400 Pa)3 avec une
gouttelette de mercure dont la pression de vapeur partielle est de l’ordre du mtorr à
température ambiante. Un champ électrique (alternatif de 50 ou 60 Hz), d’intensité
suffisantje,appliqué au gaz à l’aide de deux électrodes comme le montre la figure 1.2,
rend ce gaz électriquement conducteur, produisant ce que l’on appelle une décharge
électrique dans le gaz ; une partie de cette décharge émet de la lumière. Dans le
cas d’un tube fluorescent classique, c’est le rayonnement UV émis par les atomes
de mercure (raie Hg I 254 nm) qui est transformé en lumière visible, grâce à un
composé de phosphore déposé sur la paroi du tube. Le gaz, dans ce cas, n’est que
partiellement ionisé et “froid” ( N 300 K) alors qu’il est “chaud’ dans le cas d’une
étoile.
W
Figure 1.2 - Schéma de principe d’une décharge électrique en courant alternatif comme,
par exemple, dans le cas d’un tube d’éclairage de type fluorescent.
La résistance R permet d’assurer la stabilité de la décharge.
Remarques générales :
1. Terminologie : différence entre gaz ionisé et plasma. La plupart des décharges de
laboratoire ne sont pas vraiment des plasmas car elles ne contiennent pas que des
particules chargées, mais aussi des atomes et des molécules électriquement neutres,
constituant plutôt un gaz ionisé. Strictement parlant, il conviendrait, en effet, de
réserver l’appellation plasma à un gaz ne comportant que des particules chargées,
mais dans la pratique les deux termes, plasma et gaz ionisé, sont souvent confondus.
La différence entre plasma et gaz ionisé peut se caractériser par le degré d’ionisation
cy4 du milieu :
3 Le torr est une unité pratique de pression utilisée dans de très nombrenses données expérimentales
alors que l’unité du système international est le pascal (1 torr 2 133 Pa). L’avènement de jauge
à pression affichant la valeur en pascal devrait, à terme, faire disparaître le torr.
18 1 - L,E MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
où n, est la densité des ions positifs de charge Ze (ions dits multi-chargés) et nz-,
celle des ions négatifs de charge -e.
I1 faut cependant noter, à titre d’exemples, que les plasmas d’azote, de mercure ou
de gaz rares ne contiennent pas d’ions négatifs.
Origine du terme “plasma”. Ce terme a été introduit par TONKS et LANGMUIR en
1929 pour désigner la partie “colonne positive” (chapitre 4) de certaines décharges
électriques dans un gaz. Tiré du grec ~ A a c r p ace
, mot signifie “figure modelée” (par
exemple de cire ou d’argile), mais veut, également dire fiction, fausse apparence! Le
lien entre le sens étymologique de ce terme et le phénomène physique qu’il décrit
n’est pas évident.
1.2 - DOMAINES
D’ÉTUDE ET D’APPLICATIONS 19
1.2. DOMAINES
D’ÉTUDE ET D’APPLICATIONS
(EXEMPLES)
Bien que la plus grande partie des travaux de recherche en physique des plasmas soit
motivée par des applications, cette discipline, en raison de la très grande variété des
phénomènes observables dans un plasma, a contribué de façon importante à certains
domaines de la physique fondamentale dont celui, par exemple, des effets non linéaires.
La physique des plasmas est une discipline qui fait appel à l’électromagnétisme, à
l’hydrodynamique, à la mécanique statistique et à la physique atomique et molécu-
laire. Pour avoir une vue d’ensemble du vaste domaine de la physique des plasmas,
examinons quelques sujets d’étude en mettant l’accent sur l’aspect applications.
1.2.1. FUSION
T H E R M O N U C L É A I R E CONTRÔLÉE
Figure 1.3 - Vue schématique, en coupe, du réacteur ITER. Les petits rayons horizontal
et vertical sont respectivement de 2,0 et 3,7 m alors que sur le JET, ils ne font
respectivement que 1,25 et 2’10 m. Le grand rayon d’ITER est de 6,2 m comparativement à
2,96 m pour le JET. La puissance électrique requise, en régime continu, est de 110 MW.
(ITER EDA Documentation Series No. 24, publiée par AIEA, Vienne, 2002).
Commencée au début des années 50 par les Militaires, une partie de la recherche
sur la fusion fut rendue publique en 1958 et dotée de budgets civils importants dans
plusieurs pays. Toutefois, vers le milieu des années 90, certains gouvernements se
montrèrent plus critiques à l’égard de ces travaux et en réduisirent les budgets (cas
de la fermeture du Tokamak de Varennes par le gouvernement canadien), arguant de
ce que l’on était encore trop loin d’un réacteur commercial ; en effet, on n’a toujours
pas atteint, (2006) les conditions d’auto-entretien de la fusion. Les recherches se
poursuivent néanmoins sur plusieurs installations en Europe, dont le Joint European
Torus (JET) à Culham, Angleterre et Tore Supra à Cadarache, France. Le J E T
sert principalement à étudier les instabilités de transport, alors que Tore Supra
met en oeuvre des blobines supraconductrices permettant d’accroître l’intensité du
1.2 - DOMAINES
D’ÉTUDE ET D’APPLICATIONS 21
champ magnétique toroïdal tout en minimisant les pertes ohmiques. Ces diverses
études ont mené au projet ITER, tokamak de plus grande taille, doté de bobines
supraconductrices et financé par la communauté internationale (figure 1.3). Cette
installation devrait entrer en service à Cadarache en 2016.
0 Le système à confinement inertiel.
On tire, par exemple, avec un faisceau laser UV intense sur une pastille de deuté-
rium, “pelant” celle-ci et provoquant la compression de la matière ainsi extraite vers
le centre de la pastille : pour arriver à la fusion, le transfert de l’énergie laser à la
matière doit être plus rapide que son expansion subséquente dans la chambre du
réacteur, d’où le recours à un laser à très courte impulsion.
1.2.2. ASTROPHYSIQUE
ET PHYSIQUE
DE L’EN VI RO N N E M EN T SPATI AL
Les étoiles et le flux de plasma émis par le soleil, appelé went solawe, constituent deux
formes distinctes de plasma (au sens strict), le premier étant très dense, le second, au
contraire, très dilu6 et, pour ainsi dire, sans collision.
Plus pr$s de la surface de la terre, il y a les couches ionosphériques ionisées par le vent
solaire (mises en évidence à partir de 1954). Les particules chargées de ces couches
(couche F, par exemple : ne N 5 x lo6 ~ m - T,v ~ , = 50 eV, où T,v est la température
des électrons en électron-volt) sont confinées par le champ magnétique terrestre qui
les force à osciller entre les deux pôles. Ces couches ionosphériques jouent un rôle
essentiel dans la transmission des ondes de basse frequence ( f 5 20 30 MHz). En
~
effet, elles servent de miroir à ces ondes, permettant ainsi leur propagation d’un point
à un autre autour de la terre ; au contraire, aux fréquences plus élevées, il n’y a plus
cet effet de réflexion et les ondes “voyagent” en ligne droite, et il est alors nkessaire
que les antennes émettrice et rkeptrice soient en regard l’une de l’autre pour que
la communication s’établisse (par exemple communication Terre-satellite). I1 y a en
effct réflexion de l’onde sur une couche ionosphérique si la fréquence f de l’onde
est telle que f < f p e où f p e est la fréquence des électrons du plasma (3 1.5), une
fréquence caractéristique du gaz d’électrons. Ainsi pour la couche ionosphhique F où
ne N IO5 - I O 6 ~ m - f~p e, = 2’8 - 9 MHz.
Toujours dans le registre des communications, on s’intéresse aussi aux effets d’une
explosion thermonucléaire dans la haute atmosphère qui produirait un plasma de
très forte densité, emprchant les communications par voie hertzienne jusqu’à des fré-
quences très élevées, notamment les communications avec les satellites (N4 12 GHz) ;
~
un tel plasma, par l’énergie électromagnétique (EM) qu’il engendre, pourrait égale-
ment détruire ces systèmes de communication. Ce phénomène de réflexion ou d’opacité
aux ondes a également été à l’origine de la perte de contact radio avec l’équipage de la
première capsule spatiale au moment où celle-ci revenait dans l’atmosphère terrestre :
l’échauffement du véhicule, par frottement avec l’air ambiant (même si sa densité est
extrêmement faible à cette altitude), était alors tel qu’il y avait eu formation d’un
plasma dense autour de celui-ci.
22 1 - L E MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
Une des conditions nécessaires à l’obtention de l’effet laser est que la densité d’atomes
dans l’état d’énergie supérieur de la transition radiative soit plus grande que celle du
niveau inférieur, situation opposée à celle qui prévaut à l’équilibre thermodynamique
(fj 1.4.2). Pour provoquer cette inversion de population, on peut soit éclairer les atomes
avec une source lumineuse intense (pompage optique ; par exemple, par lampe éclair
UV), soit utiliser les propriétés du plasma gazeux dans lequel se trouvent les atomes ou
molécules émetteurs (pompage par plasma). Le laser He-Ne est un exemple de pompage
d’un laser par plasma : les atomes d’hélium et de néon sont excités par collisions
électroniques dans la décharge du mélange He-Ne ; il s’ensuit un transfert d’énergie
d’un niveau excité de l’hélium vers un niveau du néon situé presque à la même énergie
(transfert dit résonnant), ce niveau du néon constituant le niveau supérieur d’une
transition donnant lieu à une émission laser, par exemple, à 632’8 nm. Ce transfert
est particulièrement efficace parce que l’état excité d’hélium alimentant le niveau
correspondant du néon est un état métastable, c’est-à-dire à plus longue durée de vie
qu’un état radiatif, et ‘donc plus fortement peuplé.
Le champ électrique de la décharge accélère principalement les électrons en raison de leur très
faible inertie par rapport à celle des ions : l’énergie “entre” donc dans la décharge par les électrons
(exercice 2.1). Comme, en outre, le transfert d’énergie électron-neutre et électron-ion lors d’une
collision est très faible (§ 1.7.2), toujours en raison du rapport des masses (à la différence des
collisions ion-neutre et ion-ion), et dans la mesure où le nombre de ces collisions électroniques
est peu élevé, on obtient Te >> Ti.
Le recours à la notion de température pour caractériser l’énergie d’un groupe de particules
suppose que leur fonction de distribution en énergie est maxwellienne ( 5 1.4.2 et annexe I).
1.2 - DOMAINES
D’ÉTUDE ET D’APPLICATIONS 23
1 . 2 . 5 . TRAITEMENT
DE SURFACE
Le traitement de surface par plasma consiste à modifier l’état d’une surface par l’une
des trois méthodes génériques suivantes :
~ dépôt en surface d’une couche mince d’un matériau donné (métal, semiconducteur,
diélectrique, polymère) ;
~ réaction chimique avec la surface même (oxydation, nitruration) ou transformation
physico-chimique de celle-ci (modification de l’adhérence, de l’énergie de surface) ;
~ érosion de la surface soit par une action chimique, qui entraîne la formation d’une
moléciile, de nature volatile, entre un ou plusieurs atomes de la surface et des
atomes ou radicaux provenant du plasma, soit par pulvérisation ionique, du fait
du bombardement par des ions qui kjectent, par effet mécanique, des atomes de la
surface, soit par pulvérisation assistke chimiquement, qui combine le bombardement
ionique et l’érosion chimique.
Ainsi, un plasma produit à partir du gaz CF4 fournit, en volume, les atomes (par
exemple F), les radicaux (par exemple CF,) ainsi que les ions (par exemple CFY) et
les espèces plus complexes nécessaires aux mécanismes d’interaction avec la surface
qui peuvent, en fonction des conditions opératoires, conduire aussi bien à la gravure
de matériaux (Si, W, SiOa) comme le montre la figure 1.4, qu’à un dépôt, par polymé-
risation induite par plasma, de couches minces de type téflonM”. Dans la fabrication
des puces en microélectronique, par suite d’une miniaturisation de plus en plus pous-
sée, la part dévolue aux plasmas ne cesse de progresser dans l’ensemble des opérations
élémentaires à réaliser : nettoyage des surfaces, gravure (réalisation de “motifs” dans
le substrat par érosion de celui-ci), dépôt, implantation ionique (dopage par inclusion
d’ions en profondeur dans le matériau), lithographie (impression et développement
“photographique” des résines permettant de transférer les motifs définissant les cir-
cuits élémentaires), oxydation, traitements thermiques.
8 Ces décharges sont cependant plus chaudes que celles à effet couronne, donc moins hors équilibre
thermodynamique.
24 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION E T PRINCIPALES GRANDEURS
Chambre de post-décharge
(enceinte de stérilisation)
Source de
Grille
supportant
Arrivée
des objets à
des gaz
stériliser
Arrivée des
n des gaz
micro-ondes sur
par pompage
l’applicateur de champ
Les espèces inactivantes, dans le cas d’un mélange N 2 - 0 2 sont, d’une part, les photons
UV provenant de la molécule NO excitée et, d’autre part, l’oxygène atomique. La molé-
cule NO excitée est formée par collisions entre atomes d’azote et atomes d’oxygène
provenant tous les deux de la dissociation par la décharge des molécules N2 et 0 2 du
mélange gazeux initial. Dans les conditions où le pourcentage de 0 2 dans le mélange
N 2 - 0 2 conduit à un maximum de l’intensité UV émise, les micro-organismes exposés
(des spores bactériennes en l’occurrence) sont totalement inactivés par suite des lésions
multiples causées à leur matériel génétique par les photons UV. Par ailleurs, l’oxygène
atomique, très réactif, s’adsorbe à la surface des micro-organismes pour y former,
chimiquement, des composés volatils, résultant en l’enlèvement de matière (érosion)
du micro-organisme, ce qui en réduit la taille et facilite d’autant son inactivation par
les photons UV’’.
9 Une post-décharge en flux s’obtient en faisant en sorte que le gaz excité et ionisé par la décharge
soit très rapidement entraîné dans une autre enceinte, dite de post-décharge, où il n’y a plus de
champ électrique. Pour cela, il faut que l’alimentation en gaz se fasse à un débit suffisamment
élevé car les espèces créées dans la décharge ont une durée de vie limitée ( 5 1 100 ms).
~
1.2.7. ANALYSE
ÉLÉMENTAIRE ( C H I M I E ANALYTIQUE)
1 . 2 . 8 . ECLAIRAGE
Comme applications des gaz ionisés dans le domaine de l’éclairage, signalons, pour un
fonctionnement à faible pression, les lampes à vapeur de mercure (tubes fluorescents
domestiques, figure 1.2) et à vapeur de sodium (lampadaires) ; à haute pression, les
lampes à mercure qui sont des plasmas de très forte densité, le plus souvent, en régime
d’arc électrique (lampadaires). L’éclairage est un marché important où cependant
les avancées n’ont pas été spectaculaires au cours de ces dernières années. Ainsi,
on a timidement comniencé à activer certaines lampes au moyen d’une décharge de
haute fréquence (HF) ayant en vue leur plus grande durée de vie et un éclairage
plus efficace énergétiqiiement. L’année 1994 a vu l’apparition de la première lampe
domestique (General Electric) utilisant un champ électrique H F (- 1,5 MHz) : un
transistor fournissant la puissance HF est logé dans la base de cette lampe dont le
culot de vissage permel sa substitution directe à une lampe à incandescence classique
(rendement énergétique 4 fois plus élevé, durée de vie 10 fois plus grande ; prix de
vente cependant encore assez +lev@).
1.2.9. ECRANS
PLASMA
Dans les écrans plasma, l’image est obtenue à partir de décharges électriques créées
dans des cellules de quelques centaines de microns dont l’ensemble compose des pan-
neaux de grande surface (plus d’un million de cellules pour un panneau de 42” (1,07 m)
de diagonale). Les cellules sont remplies d’iin mélange de gaz à base de xénon, à une
pression inférieure à la pression atmosphérique. Les photons UV émis par chaque
micro-décharge excitent des lumiphores qui &émettent, selon la cellule, des photons
visibles dans l’une des trois couleurs fondamentales, rouge, vert et bleu. Cette tech-
nologie permet de réaliser des écrans plats de très grandes dimensions, d’une qualité
d’image exceptionnelle. très contrastée et extrêmement lumineuse. Les écrans plasma
sont en train de prendre une part croissante (quelques %) du marché global des télé-
viseurs dans le monde.
1 . 3 - DIFFÉRENTS
TYPES DE DÉCHARGE 27
1.2.10. SOURCE
D’IONS
Les sources d’ions positifs sont utilisées dans de nombreux domaines incluant les traite-
ments de surface à forte assistance ionique (gravure par usinage ionique par exemple),
la microélectronique (dopage par implantation ionique), la physique nucléaire et sub-
atomique (sources d’ions mono- et multi-chargés pour accélérateurs) , et le spatial
(sources à effet HALLpour la propulsion ionique, expériences embarquées).
Les sources d’ions négatifs permettent d’obtenir de façon efficace des faisceaux de
neutres de haute énergie. C’est le cas, par exemple, des ions deutérium D- qui sont
neutralisés en faisceau de neutres Do : l’intérêt des ions négatifs D- réside dans le fait
que, après leur accélération dans la gamnie du MeV, leur rendement de conversion
ion-neutre par échange de charge est bien plus élevC?que celui des ions D+. U n faisceau
de neutres Do de très forte énergie permet d’accroître la température du plasma de
tokamak dans l’enceinte duquel ils peuvent être introduits sans être affectés par le
champ magnétique de confinement.
Ce bref aperçu du champ des études et applications des plasmas montre que ce
domaine de la physique a déjà obtenu des succès remarquables et ce, jusque dans
la sphère domestique, et qu’il est également riche de possibilités d’applications (par
exemple, fusion, stérilisation). Pour avoir une vue encore plus large des applications
des plasmas, le lecteur pourra consulter avec profit l’ouvrage de P. BHADU.
Dans ce cas, les électrodes entre lesquelles s’établit le champ électrique sorit forcérnerit
en contact avec le plasma (figure 1.2). Ce dernier se forme, dans line étape t,ransi-
toire, par un processus de multiplication d’électrons dit d’avalanche (ou de disruption)
lorsqu’on applique la différence de potentiel : les quelques électrons initialement pré-
sents, accélérés par le champ électrique, ionisent par collisions les atomes (molécules)
du gaz, augmentlant ainsi le nombre d’électroris. Cette croissance du nombre d’élec-
trons cesse au bout de quelques centaines de micro-secondes, lorsque l’état stationnaire
est atteint.
Dans ces décharges périodiques à basse fréquence, la fréquence du courant d’alimen-
tation est supposée suffisamment basse pour que tous les paramètres électriques du
plasma soient eri équilibre avec le champ appliqué. Aiitrernerit dit, à chaque iristant de
la période d’oscillation du champ, le plasma peut être considéré comme ayant, atteint,
son état st a t ionnaire.
28 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
On distingue les plasmas entretenus à des fréquences radio (plasmas RF, 1 MHz 5 f <
300 MHz) des plasmas micro-ondes (plasmas MO, 300 MHz 5 f 5 300 GHz), collec-
tivement appelés plasmas HF. Les électrodes portant le champ RF peuvent se trouver
à l’intérieur de l’enceinte (par exemple, les deux plaques parallèles conductrices de
la décharge dite capacitive) ou être situées à l’extérieur de celle-ci (par exemple, les
spires de la décharge inductive (figure 4.4)) pourvu que, dans ce dernier cas, l’en-
ceinte soit faite d’un matériau diélectrique transparent au rayonnement RF. Quant
aux plasmas micro-ondes, ils sont très généralement alimentés par un applicateur de
champ”. La fréquence de fonctionnement du plasma peut être choisie de façon à en
optimiser les propriété#jdans certaines applications. De la sorte, on peut, par exemple,
augmenter la vitesse de gravure : détails au chapitre 4.
1.4. DENSITE
ÉLECTRONIQUE ET TEMPÉRATURE
D’UN PLASMA
Ce sont les deux principales caractéristiques d’un plasma, considéré du point de vue
de ses particules.
1.4.1. DOMAINE
DES VALEURS D E DENSITÉ ÉLECTRONIQUE
DES PLASMAS
Ces valeurs couvrent iun domaine si grand qu’il est préférable d’utiliser une échelle
logarithmique pour le:; répertorier. Dans le tableau 1.1 qui suit, en plus du plasma
gazeux, nous avons aussi inclus les plasmas dits de mati@redense parce qu‘ils ont des
propriétés physiques analogues.
11 On désigne par applicateur de champ les électrodes ou plus généralement tout dispositif servant
à imposer, de l’extérieur, le champ EM créant la décharge.
1.4 - DENSITÉ ÉLECTRONIQUE ET TEMPÉRATURE D’UN PLASMA 29
Tableau 1.1 - Différents types de plasma avec leur densité électronique correspondante
Plasma gazeux
Gaz fortement ionisé
Gaz interstellaires’ O
Vent soiairel’ 0,5
Ionosphère, couche F (altitude 250 km) 5,7
Couronne solaire 7
Machine à fusion de type tokamak 14
Plasma produit par un laser sur une cible solide 19-23
Explosion nucléaire 20
12 Peu d’interactions entre les particules (plasmas dits non collisionnels), mais grande influence des
champs extérieurs.
30 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION E T PRINCIPALES GRANDEURS
de sorte que chaque type de processus d’échange d’énergie voit son action dans une
direction énergétique donnée (par exemple, accroissement d’énergie de la “particule”
lors de l’interaction) rigoureusement compensée de façon statistique par le même type
de processus en direction énergétique inverse (diminution d’énergie du même type de
particule dans notre exemple) : cette exigence de compensation s’appelle le principe
de réversibilitt microscopique 011, plus simplement, la mzcroréversrbzlzté.
EXEMPLES
DE P R O C E S S U S RÉVERSIBLES
L’équilibre thermodynamique complet est réalisé quand les quatre grandes lois d’équi-
libre qiie nolis allons prksenter sont, vkrifikes simiiltantrncnt. Pour caractériser com-
plètement le système, il suffit alors de connaître la température T et la densité
d’atomes N .
1.4 - DENSITÉ ÉLECTRONIQUE E T TEMPÉRATURE D’UN PLASMA 31
on peut écrire (1.4) sous une forme plus simple et plus facile à retenir :
Remarque : Une condition suffisante pour que la distribution des vitesses des
particules soit maxwellienne est que le plasma soit en équilibre thermodynamique.
2. Loi de BOLTZMANN fixant la répartition de la densité de population des états excités
par rapport à celle de l’état fondamental :
(1.8
13 La dégénérescence en énergie d’un niveau atomique est donnée par ZJ + 1 où J est le nombre
quantique du moment angulaire total du niveau considéré.
14 Pour obtenir, d’une part, la densité totale des ions (à une seule charge) qui comprend ceux dans
l’état fondamental et ceux de tous les états excités et, d’autre part, la densité totale des atomes
neutres, état fondamental et états excités inclus, voir l’annexe II.
32 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
n,n, - 29, ( 2 n m , k B ~ ) 3 / 2
-- -
no go h3
(-A)
exp
kBT
(1.9)
nena[z]
-~- 2ga[z] ( 2 ~ m e - k ~ ~)~’~
exp (-L) (1.10)
n,[Z - 11 g,[Z - 11 h3 kBT
où €, est, cette foi:;, l’énergie d’ionisation du Zèmeélectron par rapport au niveau
de l’atome ionisé ( Z - 1) fois ; le symbole [ ] indique la dépendance en 2 et en 2 - 1
de n, et ga ; les valeurs de n,[Z] et n,[Z - 11 sont celles des états fondamentaux des
deux types d’ions.
EQUILIBRE
THERMODYNAMIQUE LOCAL (ETL)
P L A S M A HORS ETL :
LE CAS PARTICULIER DU PLASMA À DEUX TEMPÉRATURES
Lorsque le milieu est moins dense que celui considéré au paragraphe précédent, il
arrive que le transfert collisionnel d’énergie entre les électrons et les particules lourdes,
du fait de leur différence de masse (un électron transférant, par collision, au plus
4 m J M de son énergie à un ion ou à un atome de masse M : démonstration en
3 1.7.2)’ ne soit plus suffisant pour que les particules des différents types aient toutes
la même énergie moyenne. Cependant, si les interactions entre particules d’un même
type sont suffisamment nombreuses16, il y a éqiiipartition de l’énergie au sein de
cette population, et celles-ci continueront à obéir à une distribution de MAXWELL-
BOLTZMANN caractérisée par une température propre à leur espèce : température
électronique T e ,température ionique Ti, et température des neutres (ou température
du gaz) T g .
Un cas particulièrement intéressant est celui où la température des électrons dépasse
largement celle des autres particules du plasma lorsque ce sont précisément les élec-
trons qui amènent l’énergie dans le système17. Une situation fréquemment observée
est alors celle où Te > Ti N Tg (plasma dit à deux températures).Dans ce cas, ce sont
les électrons qui contrôlent la cinétique d’ionisation (équilibre de SAHA)et celle des
états excités voisins du seuil d’ionisation (équilibre de BOLTZMANN partiel) : la loi
de BOLTZMANN obéit pour ces niveaux à une température caractéristique Te,, telle
que Te,, = Te ; l’équilibre de SAHAest, pour sa part, peu perturbé par les parti-
cules lourdes et la température T, de SAHAest ici aussi égale à Te.Nous avons donc :
T, = Te,, = Te > Ti 2 T,, ce qui justifie l’appellation de plasma à deux températures.
16 I1 s’agit de la condition nécessaire qui fait pendant à la condition suffisante indiquée plus haut
(équilibre thermodynamique) pour que la distribution en vitesse soit de MAXWELL-BOLTZMANN.
17 Dès l’instant où il y a un chemin privilégié d’arrivée d’énergie se pose le problème de la répartition
de cette énergie dans le plasma. S’il n’y a pas assez d’interactions entre les divers types de
particules, leur énergie moyenne ne sera pas la même.
34 1 - I J E MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
Dans un plasma à deux températures, les populations des niveaux d’énergie de l’atome
neutre (de même pour l’ion) ne sont pas régies par l’équilibre de BOLTZMANN (équa-
tion (1.7)). En effet, le temps entre deux collisions électron-neutre pour l’excitation
ou la désexcitation des niveaux voisins du fondamental est plus long que leur temps
de vie radiatif, de sorte qu’ils se peuplent ou se dépeuplent de façon radiative plu-
tôt que par collision électronique, échappant ainsi à la cinétique des électrons. Par
contre, les niveaux supérieurs, ceux situés sous le premier niveau de l’ion (figure 111.1
de l’annexe III), sont en équilibre collisionnel avec les électrons, et la loi de BOLTZ-
MANN donne leur densité de population selon Te,, = Te. Nous dirons que le système
est en équilibre thermodynamique local partiel (annexe III) puisque seuls les niveaux
supérieurs sont en équilibre de BOLTZMANN. Pour dbcrire ce système, il faut donc
préciser plusieurs “températures” (le terme “paramètres caractéristiques” serait plus
juste), à la différence Ide 1’ETL.
Les fonctions de distribution en énergie des particules ne sont plus maxwelliennes : par
exemple, les collisions inélastiques peuvent dépeupler fortement certains intervalles
d’énergie de ce qui aurait été une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN. Dans ce
cas, on ne peut plus parler de température mais seulement d’énergie moyenne, et
encore faut-il préciser la forme de la fonction de distribution pour connaître les carac-
téristiques du système.
En conclusion, plus on s’éloigne de l’ET, plus il faut fournir de données pour carac-
tériser le plasma.
1.5.1. O R I G I N E E T D E S C R I P T I O N DU P H É N O M È N E
sur une distance x par rapport à leur position initiale d’équilibre : il en résulte un
champ électrique (champ donné par l’équation de POISSON (1.1) et appel6 chump
de charge d’espace) qui rappelle les électrons vers leur position d’origine, mouvement
qui réduit d’autant l’intensité de ce champ. Cependant, les électrons ainsi accélérés
ne pourront s’arrêter à leur position d’équilibre, continuant leur mouvement au-delà
de ce point, engendrant ainsi un nouvel écart à l’équilibre électrique des charges et,
donc, un champ électrique de sens opposé au champ initial. Les électrons continueront
ainsi leur mouvement pendulaire autour de la position d’équilibre si des collisions ne
viennent l’interrompre.
+ - + - + - +
+ - + + - +
Figure 1.7 - Représentation (très) idéalisée de la distri-
bution des ions et des électrons dans un plasma montrant
+ - + + - +
qu’une légère non uniformité de cette distribution, ob- + - + ... - + - +
tenue par déplacement d’un groupe d’électrons sur une
distance X , crée dans cette région un champ électrique
+ - + + - +
(dit champ de charge d’espace). Le rappel par ce champ + - + + - +
des electrons ainsi déplacés va entraîner leur mouvement +I
X
oscillatoire autour de la position initiale d’équilibre.
(1.11)
Un modèle hydrodynamique simple dkcrivant les électrons dans leur mouvernent col-
lectif d’oscillation comme iin fluide permet d’obtenir la valeur de la pulsation wpe. Les
hypothèses sont les suivantes :
1. Les ions sont immobiles et leur densité fiil non perturbée, uniforme,
2. L’agitation thermique des électrons est négligeable : leur vitesse w, due au champ
électrique de la charge d’espace est telle que we > V t h (plasma froid),
3. La fréquence v de collision électron-neutre pour le transfert de quantité de moiive-
ment l’emporte sur les autres types de fréquences de collision, mais reste néanmoins
telle que v < wpe afin de préserver le comportement collectif du plasma,
36 1- LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION E T PRINCIPALES GRANDEURS
(1.13)
18 Où l’on a négligé le terme d’interaction collisionnelle (hypothèse 3) et pris en compte le fait que
le plasma est froid (hypothèse 2) ; le champ E est celui dû à la charge d’espace.
1.5 - FRÉQUENCE PROPRE D’OSCILLATION DES ÉLECTRONS D’UN PLASMA 37
c’est-à-dire : (1.21)
=
où wpe (fie2/meco)1/2(relation (1.11)) est la fréquence propre du plasma d’élec-
trons, aussi appelée oscillation de LANGMUIR.
Remarques :
1. Dans le modèle du plasma froid (Te = O), l’oscillation collective des électrons
demeure circonscrite au voisinage de la perturbation qui l’a engendrée : elle ne se
propage pas, ce n’est pas une onde. Pour qu’une onde électromagnétique existelg,
il faut pouvoir en définir la vitesse de groupe vg20 qui s’obtient à partir de son
équation de dispersion. Dans le cas présent, de (1.22) où wpe est une constante,
=
vg a w / a p = o.
Cependant, si l’on tenait compte de la pression scalaire exercée par l’agitation
thermique des électrons sur leur propre mouvement (5 3.5)’ pression qui s’exprime
en moyenne par leur température T e ,on obtiendrait, pour ce même mouvement
oscillatoire ( Q U É M A D A , 5 6.4.1) :
(1.23)
19 Pour qu’il y ait propagation d’une onde électromagnétique, il faut qu’il y ait transport d’énergie
d’un point à un autre de l’espace, c’est-à-dire que le vecteur de POYNTING S = E A H soit non
nul.
20 Pour un vecteur de propagation de module p E 27r/X (aussi appelé n o m b r e d’onde), la vitesse
de groupe est donnée par vg E aw/ûp.
38 1 - -LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
4. Comme pour les électrons, on peut calculer la fréquence propre d’oscillation des
ions du plasma, soit :
(1.27)
où l’on peut noter que la fréquence du plasma d’ions, puisque fonction inverse de
leur masse mi, est très inférieure à la fréquence du plasma d’électrons.
1 . 6 . LONGUETJR
DE DEBYE:
EFFET D’ÉCRAN DANS LES PLASMAS
1.6.1. D E S C R I P T I O N D U P H É N O M È N E
Si, dans un plasma, clri introduit deux électrodes conductrices reliées à une source de
potentiel les électrons vont être attirés par la borne positive et les ions (positifs) par la
borne négative. L’exciOs de charges d’un signe donné ainsi créé est cependant concentré
autour de l’électrode correspondante, dans iin petit domaine spatial appelé guine, le
reste du plasma demeurant macroscopiqiiement neiit,re. La gaine agit comme un écran,
limitant spatialement l’influence sur le plasma du champ électrique régnant21.
Un mécanisme semblable d‘écrantage agit dans le corps même du plasma, faisant en
sortje que le potentiel d‘une charge quelconque du plasma n’est plus ressenti au-delà
d’une distance de l’ordre de AD, la longueur de DEBYE.Nous montrerons que le
potentiel électrostatique d’un ion (posit,if, à une seule charge) dans un plasma à une
distance T de cet ion est donné par :
(1.28)
où le terme exponentiel manifeste cet eSfet d’écran qui réduit fortement la portée
qu’aurait eu le potentiel de l’ion dans le vide; en effet, pour T = AD, le potentiel
de l’ion aura décru à l / c de sa valeur dans le vide (e est ici la base du logarithme
népérien). La portée de l’écrantage dépend de l’énergie d’agitation thermique des
particules et de leur densité, comnie noils allons le voir.
Considérons l’ion en question coniine une particule-test (positive) : une telle particule,
par hypothèse, agit :,Ur les autres particules sans être influencée par elles. Déposée
21 En fait, dès que l’on introduit un objet dans un plasma, que ce soit un matériau diélectrique
ou conducteur (n’agissant alors pas comme une électrode), il y a formation d’une gaine ( 5 3.14)
autour de cet objet parce que sa surface se charge négativement : cet effet, nous le verrons, est
dû à la plus grande mobilité des électrons relativement à celle des ions.
1.6 - LONGUEUR
DE DEBYE: EFFET D’ÉCRAN DANS LES PLASMAS 39
dans le plasma à l’origine d’un système de coordonnées sphériques, elle crée une
perturbation par son champ électrostatique. Nous voulons connaître l’expression du
potentiel 4 ( ~de
) cet ion à une distance T , compte tenu du nuage d’électrons et d’ions
qui l’entourent. Les densités électronique et ionique, n,(r) et n i ( r ) , diffèrent à l’ori-
gine du repère mais non à l’infini où elles sont égales, new = nioo (la perturbation
ne se fait plus sentir). Nous allons supposer qu’à une distance T suffisante’ préci-
sée plus bas, les populations électronique et ionique obéissent à des distributions de
MAXWELL-BOLTZMANN, caractérisées respectivement, pour plus de généralité, par
des températures électronique Te et ionique Ti différentes (plasma à 2 températures,
5 1.4.3). Ces distributions, en présence d’un potentiel q5(r), s’obtiennent à partir de
la relation (1.15) (annexe I), en l’occurrence :
n,(r) = n,,exp
( -~
22,) (1.29)
où l’énergie potentielle @ ( T ) = +e4(r) dans le cas d’un ion positif. Pour les deux types
de particules, nous avons donc :
ni(^) = niooexp
( “i)’
-~ (1.30)
n e ( r )= ne, exp
(k“)
~
.
(1.31)
(1.32)
n,(r) = n 1 ( + “) ___
’ (1.33)
RECHERCHE
D E L’ÉQUATION DIFFÉRENTIELLE D E F I N I S S A N T $ ( T )
[
p ( ~ =) e n 1 -e-
24 -en
[ :$,] ’
Ife-
c’est-à-dire : (1.34)
40 1- ];E MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
V ’ E = /)/EO (1.35)
conduit à : (1.36)
(1.40)
S O L U T I O N D E L’ÉQUATION D I F F É R E N T I E L L E (1.41)
Solution pour T N O
Dans cette région, le potentiel de l’ion-test est le plus important, et il est de symétrie
sphérique. Pour cet ion (+) seul, nous obtenons après intégration de l’équation de
POISSON
s
:
J v . E dV = V
(p/EO) dV = e/co , (1.42)
V
où le volume V est suiffisamment petit pour ne contenir que l’ion-test.
Par ailleurs, le théorème de GAUSS(application du théorème de GREEN)enseigne
aue :
J
V
V.EdV= J E.dS. (1.43)
s=av
1.6 - LONGUEUR
DE DEBYE: EFFET D’ÉCRAN DANS LES PLASMAS 41
J
S
E . d S = 47rr2ET(r) (1.44)
et comme : E ( r )= - (1.46)
(1.49)
(1.50)
(1.28)
Remarques :
1. L’effet d’écran, exprimé par le facteur exponentiel de la relation (1.28)’ est indé-
pendant du signe de la charge de la particule-test.
2. La longueur de DEBYEest d’autant plus courte que la densité du plasma est élevée
(équation (1.38)) : autrement dit, le potentiel de la particule-test est d’autant
plus rapidement écranté que la densité de particules chargées qui l’entourent est
importante.
42 1- ]LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
Dans les plasmas hors ETL, la température des ions T, étant généralement beau-
coup plus faible que la température Te des électrons (T, << T e ) ,la longueur de
DEBYEAD au sein du plasma s’apparente alors à la longueur de DEBYEionique,
beaucoup plus courte que la longueur de DEBYEélectronique, soit AD !Y AD, <<
AD, : l’effet d’écran est, dans ce cas, assuré principalement par les ions.
Dans les plasmas à l’équilibre thermodynamique, les ions et les électrons ayant
la même température (Te = T,), les longueurs de DEBYEélectronique et ionique
sont égales (AD, = AD,). La longueur de DEBYEdu plasma est alors donnée par
AD = A D e / f i .
ce qui montre que le temps mis par un électron, doté de la vitesse la plus probable,
pour parcourir la longueur de DEBYEélectronique AD, est de l’ordre de la période
d’oscillation des électrons du plasma.
La présente dérivaiLion de la longueur de DEBYEpeut être qualifiée d’idéalisée en
raison des nombreuses hypothèses utilisées, notamment de l’emploi de la notion
de particule-test qui veut que cette particule ne soit pas influencée par les autres
particules. Elle suppose, en outre, que les électrons et les ions, situés à une distance
suffisante de la particule-test, sont répartis suivant une distribution de MAXWELL-
B O LTZM A N N .
8. Dans les plasmas où les ions sont considérés uniquement comme un fond continu
assurant la neutralité (avec cette hypothèse, utilisée dans de nombreux calculs,
les ions ne sont plus répartis suivant une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN),
l’équation (1.32) se réduit à n,(r) = n , de telle sorte que l’écrantage du potentiel
des électrons (ou des ions) est dû, dans ce cas, uniquement aux électrons, soit
AD = AD,. C’est l’hypothèse adoptée dans l’annexe V ainsi que dans l’exercice 1.5
qui propose une interprétation alternative de la longueur de DEBYE.
9. Une condition pour qu’à la suite d’une perturbation (par exemple, une collision),
la neutralité du plasma soit restaurée et que les différentes particules chargées se
répartissent à nouveau suivant une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN, est que
le temps entre deux collisions soit plus grand que leur période propre d’oscillation,
soit v < wp,. Cette condition est plus facilement réalisée avec les électrons qu’avec
les ions, ce qui justifie, dans de nombreux cas, l’hypothèse d’un fond continu d’ions
assurant la neutralité du plasma.
1.7 - P H É N O M È N E S DE COLLISION DANS LES PLASMAS 43
Nous distinguerons deux grandes catégories de collision, suivant que la force coulom-
bienne agit directement ou non.
où
COLLISIONS N’INTERVIENT PAS LA FORCE DE COULOMB
I1 s’agit de collisions entre deux particules neutres, et de la plupart des collisions entre
une particule neutre et une particule chargée. On différencie, à cet effet, les collisions
élastiques des collisions inélastiques.
Collisions élastiques
On peut les représenter par le choc de deux sphères dures, avec conservation de l’éner-
gie cinétique totale. C’est le cas notamment des collisions électron-neutre à faible éner-
gie (à forte énergie, l’électron s’approche trop près de l’atome et le champ électrique
engendré par l’électron incident agit sur les électrons liés de l’atome).
Collisions inélastiques
I1 n’y a pas conservation de l’énergie cinétique totale : on obtient, par exemple, l’excita-
tion ou l’ionisation d’atomes, la dissociation de molécules, ou encore les réactions
44 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
L’interaction entre paxticules chargées est régie par la force coulombienne dont l’ex-
pression, dans le cas d’lune“collision” d’un ion (de Z charges positives) et d’un électron,
vaut :
(1.57)
Comme pour les collisions non coulombiennes, on peut différencier les collisions élasti-
ques des collisions inélastiques.
22 Les réactions ions-molécules (et molécules-molécules) produisent les nombreuses espèces chi-
miques présentes dans certains plasmas de gaz réactifs, par exemple les plasmas d’hydrocarbures.
23 Plus la pression du gaz plasmagène est faible, plus grande est la durée de vie des états métastables
(E ps à quelques heures). Quant aux états radiatifs de nature dipolaire électrique, leur durée de
vie en tant que telle est indépendante de la pression ( 2 l o p 7 - lops seconde).
1.7 - P H É N O M È N E ÇD E COLLISION DANS LES PLASMAS 45
Collisions élastiques
C’est le cas des collisions électron-électron, électron-ion et ion-ion lorsque les énergies
en jeu sont trop faibles (T,v < 100 eV) pour donner lieu à l’émission ou à l’absorption
de rayonnement EM. Les collisions élastiques coulombiennes sont décrites de façon
détaillées dans l’annexe V.
Collisions inélastiques
Les collisions coulombiennes peuvent aussi être inélastiques et conduire soit à des
processus de recombinaison, soit à l’émission ou l’absorption de rayonnement EM
comme indiqué précédemment.
0 Exemples de processus de recombinaison
1. Recombinaison électron-ion
Un électron et un ion positif peuvent se neutraliser. C’est le cas de la recombi-
naison radiative :
e+A++A+hv (1.58)
et de la recombinaison dissociative dans le cas d’un ion moléculaire
e+AB++A+B. (1.59)
(1.60)
Ainsi, des ions positifs ou négatifs, préalablement accélérés dans un champ élec-
trique intense, pourront être convertis en neutres de forte énergie, insensibles aux
effets d’un champ magnétique.
1.7.2. ECHANGE~
DE QUANTITÉ D E M O U V E M E N T
ET TRANSFERT D’ÉNERGIE LORS D’UNE COLLISION
E N T R E DEUX PARTICULES
24 Les indices i et j indiquent qu’il s’agit soit d’une interaction entre des particules de type i et des
particules de type j , soit que la particule (atome, molécule, ion) qui subit la collision passe de
l’état i à l’état 3 .
25 Ainsi faisant, nous supposons que les particules du plasma sont discernables et peuvent donc être
décrites de façon non (quantique, ce qui s’avère correct de façon générale.
26 Le contenu de cette section est un développement de cinématique classique que l’on retrouve,
par exemple, dans V.E;. GOLANT et al.
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 47
où l’accent “prime’’ désigne les grandeurs cinématiques après collision. Le terme d’éner-
gie A& permet de considérer également des collisions inélastiques ; cette quantité re-
présente la variation d’énergie interne des particules à la suite de la collision :
I1 faut bien noter que les phénomènes radiatifs (absorption et émission de photons)
n’interviennent pas dans le présent contexte.
Pour une valeur de A& donnée (on prend les seuils d’énergie d’excitation et d’ioni-
sation publiés), nous avons quatre équations (l’équation (1.61) est vectorielle et l’équa-
tion (1.62) scalaire). Comme il faut six composantes pour caractériser complètement
les vecteurs vitesse après collision, w: et wh, il reste deux composantes qui ne sont
pas déterminées par les lois de conservation (1.61) et (1.62) : ces deux quantités seront
fixées par la loi d’interaction régissant le type de collision considéré, compte tenu de
la position relative initiale des particules.
Nous allons maintenant effectuer un changement de repère afin d’exprimer les gran-
deurs cinématiques dans le repère du centre de masse en lieu et place de celui du
laboratoire. Ceci nous mènera à des expressions faisant davantage ressortir la phy-
sique des interactions collisionnelles.
VITESSE
RELATIVE DES DEUX PARTICULES ET VITESSE
DE LEUR CENTRE DE MASSE
(1.63)
d’où : (1.64)
Le fait que le CM soit en mouvement uniforme nous permet d’y décrire le mouvement
des particules pendant l’interaction : les vitesses de celles-ci dans ce repère, notées
w , ~et W O O , s’obtiennent en faisant wo = O dans (1.64). Ceci conduit à la relation
simple suivante :
m,
w p o = --wao, (1.66)
mp
qui montre que les vitesses des deux particules sont, avant et après collision, (anti)-
parallèles dans le repèire du centre de masse. Cette propriété suggère d’introduire leur
vitesse relative dans les calculs :
d’où l’expression des vitesses des particules dans le repère du centre de masse :
(1.68)
(1.69)
(1.70)
Remarque : Comme nous le verrons par la suite, le centre de masse est le repère
dans lequel on peut décrire “naturellement” les collisions binaires (sections efficaces,
fréquences de collision, libres parcours moyens), le recours à la vitesse relative des
particules entrant en collision étant un élément essentiel de cette description.
EXPRESSION
DE LA CONSERVATION DE L’ÉNERGIE TOTALE
EN FONCTION DES SEULES VITESSES RELATIVES
m,mp
où pop est la masse réduite : pap E (1.72)
ma +mg’
PaBW& - PnBW’Up
+ ar. (1.74)
2 2
Seule l’énergie cinétique liée au mouvement relatif peut se transformer en énergie
interne : les vitesses individuelles n’interviennent pas en tant que telles dans ce trans-
fert.
ce qui signifie que la variation d’énergie interne de l’atome lors d’une collision inélas-
tique est égale à la variation d’énergie cinétique de l’électron, l’énergie cinétique de
l’atome restant quasiment inchangée.
VARIATION
DE LA QUANTITÉ DE MOUVEMENT DES PARTICULES
À LA SUITE D’UNE COLLISION ELASTIQUE = O) (ar
Pour la particule Q, par définition :
Ap, = maw; - m a w , = - m,wao, (1.76)
ce qui peut (d’après (1.68)) s’exprimer uniquement en fonction de la différence de
leurs vitesses relatives avant et après collision27 :
(1.77)
Figure 1.8 - Repérage des vitesses relatives avant et après collision, wao et wap, dans un
système de coordonnées sphériques lié au centre de masse, avec w , ~dirigé selon l’axe z .
Quant à 8, l’angle entire wap et wko, c’est l’angle de diffusion des particules dans le
repère du centre de masse (dans le repère du laboratoire, l’angle de diffusion 8~ est
défini par la direction de la vitesse de la particule “incidente” avant et après collision,
w, et w0, : voir l’annexe IV). L’angle 8 ne dépend que de la loi de force et du paramètre
d’impact (distance de la plus courte approche des deux particules s’il n’y avait pas
interaction, figure IV.] de l’annexe IV).
Nous allons maintenant projeter A w , ~ sur les trois axes du repère de la figure 1.8 :
- suivant w , ~(axe z du repère choisi) :
car la projection de Awap suivant II:, Pr,(Awap), est égale par définition à Pr,(wk,)
- PrZ(w,p) où, ici, Pr,(w,p) = O de sorte que :
Pr,(Aw,p) = I ~ ~ ~ l s i n 8 c o=
s cIw,pIsinOcoscp,
p (1.83)
de même : ( A W , ~ )=~ I w ~ B I sin8sincp. (1.84)
Dans le cas de forces centrales, toutes les valeurs de cp sont statistiquement équipro-
bables : on dira alors que la diffusion des particules est isotrope (isotropie en 9).
De
ce fait, pour un nombre suffisant de particules, les valeurs moyennes de cos cp (1.82)
et de sincp (1.84) sont nulles, alors :
(1.86)
APL2_- -
_ mB (1 -cosO) . (1.87)
P, ma +
mB
La particule incidente cy étant beaucoup plus légère que la particule /3, nous avons :
(1.89)
ou encore : PL = - P , . (1.90)
(1.91)
et encore :
où la moyenne du produit scalaire wg ‘20, est nulle si toutes les orientations relatives
initiales des particules sont possibles avec une même densité de probabilité28. Nous
pourrons finalement écrire (toujours dans le repère du centre de masse) :
(1.95)
Remarques :
1. Dans (1.95)’ le terme :
mamg
2 (1.96)
(ma +mp)2 =
est appelé coeficient de transfert d’énergie. Noter que la valeur moyenne de la
différence (1 - cosû:) sur l’ensemble des valeurs de l’angle de diffusion 8 (O à T ) est
égale à l’unité. Le coefficient 6 prend la valeur maximale i / 2 pour ma = mg.
Pour un électron en collision avec un atome, 6 x 2 m , / M , d’où un très faible trans-
fert d’énergie lors de la collision. Dans ce cas, le maximum de transfert d’énergie de
l’électron à l’atome a lieu quand l’atome (particule /3) est supposé au repos compa-
rativement à l’électron et pour un angle de diffusion O = T . La fraction maximum
de l’énergie cinétique de l’électron transférée à l’atome est alors :
arc, -
- 4%
- -- (1.97)
&ce M ’
le signe moins indiquant un transfert d’énergie de l’électron vers l’atome.
28 Ne pas confondre cette propriété avec celle de l’isotropie en ‘p des interactions en présence de
forces centrales.
1.7 - P H É N O M È N E S DE COLLISION DANS LES PLASMAS 53
2. Le transfert d’énergie cinétique d’une particule à l’autre est, selon (1.95), pro-
portionnel à la différence d’énergie cinétique entre les deux particules entrant en
collision.
3. Exprimées dans le repère du centre de masse, les variations d’énergie cinétique et
de quantité de mouvement à la suite d’une collision présentent la même dépen-
dance avec l’angle de diffusion, soit (1- cos O ) : nous utiliserons ce résultat dans la
définition de certaines sections efficaces (3 1.7.4).
4.Dans le repère du laboratoire, les relations correspondant à celles que nous venons
de dériver sont beaucoup plus complexes. Ainsi, la fraction d’énergie perdue par la
particule incidente à la suite d’une collision est donnée par :
Repère du laboratoire
Soit un faisceau monocinétique de particules incidentes sur un centre diffuseur unique
au repos (figure 1.9)29.Le flux de ces particules de vitesse w est donné par I’ = nw
où n est leur nombre par unité de volume : c’est un nombre de particules par unité de
surface et par seconde. Comme le suggère la figure 1.9, le nombre de particules dNd/dt
déviées par le centre diffuseur, par unité de temps et dans l’angle solide élémentaire
dR(OL,cp), est :
~ proportionnel à l’angle solide dR où dR = sinOLdûLdp dans le cas d’un repère de
coordonnées sphériques,
~ proportionnel au flux I’ de particules incidentes,
29 C’est une description idéalisée que d’isoler une particule comme cible unique et, de plus, de la
prétendre au repos.
54 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
7 o w
I Flux
j de particules
I
I
I
I
Figure 1.9 - Flux incident de particules de vitesse w déviées par un centre diffuseur
initialement au repos au point O (repère du laboratoire).
(1.99)
Du point de vue du sens physique, 6 ne représente pas la surface réelle du centre dif-
fuseur, mais plutôt celle que “voient”, suivant leur vitesse par exemple, les particules
incidentes, d’où le terme de surface effective ou efficace : plus sa valeur est grande,
plus l’interaction est probable.
30 Dans le modèle dit de “boule de billard” où les particules sont supposées être des sphères indé-
formables, les sections efficaces ne dépendent pas de la vitesse de particules (voir exercice 1.10).
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 55
I Flux
I de particules
31 Bien noter que dans le centre de masse, le centre diffuseur, de façon générale, n’est jamais au
repos ( t u p 0 # O, voir (1.68)).
56 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
(1.101)
EXEMPLE
DE MESURE D’UNE SECTION EFFICACE DIFFËRENTIELLE
Courant électronique
collecté suivant l’angle
-
Filament
émissif
d’électrons -
Remarques :
1. Dans la mesure où le flux incident est suffisamment uniforme et monocinétique,
la distribution angulaire des particules diffusées reflète simplement la loi de force
entre les particules incidentes et la particule diffusante à cette énergie.
Dans le cas d’une interaction coulombienne, par exemple, nous avons (diffusion de
RUTHERFORD, voir annexe V) :
(1.102)
2. En se rappelant que ï est un flux, la relation (1.100) permet de voir âdR comme
l’élément de surface qui, traversé par ce flux, conduit à dNd/dt. Cette surface
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 57
“efficace” de capture des particules diffusées varie avec w , ~et 8, comme le montre
la figure 1.12. Elle correspond à une valeur plus ou moins grande, selon w , ~et 8,
de la surface géométrique du centre diffuseur (figure 1.10).
3. Un faisceau incident monocinétique d’électrons peut se représenter de façon quan-
tique par une onde plane monochromatique, partiellement dispersée par la particule-
cible lors de l’interaction.
4. Certains auteurs choisissent de définir la section efficace différentielle comme ô-dR
plutôt que ô-. Par ailleurs, on pourrait également noter notre ô- comme étant dô-’/dR
afin d’insister sur le caractère différentiel de cette section efficace.
1,0
O, 8
+a
.
4 0,6
O
42
d
5
6 0,4
O, 2
O, 0
O0 45O goo 135’ 180’
Angle de diffusion
Figure 1.12 - Courant collecté (section efficace différentielle non normalisée)
dans le cas de la diffusion élastique par des atomes de néon
d’un faisceau d’électrons de différentes énergies (d’après 121).
La section efficace microscopique (diffusion par une seule cible) totale (intégrée suivant
toutes les valeurs de l’angle de diffusion) de collision s’obtient par l’intégration de 6
suivant dR ; d’où, en supposant la diffusion isotrope en p :
ô - t c ( ~ , ~=
) 27r
1
O
ô - ( w a ~0), sin6 dû . (1.103)
58 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
La section efficace totale (1.103) est souvent divergente (c’est le cas notamment de la
diffusion de RUTHERFORD3’). Notons, de plus, que la valeur de etc comptabilise le
nombre de particules diffusées mais ne rend pas correctement compte de la quantité de
mouvement échangée : en effet, une collision en O = 7r aura une contribution nulle alors
qu’elle sera importante en O = n / 2 , par exemple, bien que le changement de quantité
de mouvement soit en vérité maximum en O = 7r. Pour caractériser le transfert de
quantité de mouvement, on utilisera plutôt la relation suivante33 :
ôtm(wcYp)
= 27r
1
O
â(wcYo,O)(i-cosH)sinOdO . (1.104)
Nous venons de définir la section efficace microscopique où nous avons supposé l’exis-
tence d’un centre diffuseur unique, ce qui n’est pas vraiment réaliste, mais nécessaire
32 Dans le cas de collisions coulombiennes, & ( O ) est proportionnelle à sinp4(û/2) (voir remarque 1
de la section précédente) et l’intégrale (1.103) va diverger en O = O. Ceci signifie que pour O -t O ,
il y a une très grande probabilité d’observer de petites déflexions.
33 Se rappeler que, pour deux particules de masse réduite bLapet de vitesse relative donnée,
le terme (1 - cos 0) caractérise l’importance de la quantité de mouvement échangée lors d’une
collision (équation (1.86)).
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 59
pour introduire la notion de section efficace qui n’a de sens physique qu’au niveau
microscopique. Mesurer une section efficace implique, en effet, de considérer un flux in-
cident sur un très grand nombre de centres diffuseurs par unité de volume. Ceci nous
conduit à définir la section efficace dite macroscopique, expérimentalement mesu-
rablc, de laquelle se déduit la section efficace microscopique correspondante. Dans ce
qui suit, nous allons établir l’expression reliant les sections efficaces microscopiques
et macroscopiques totales, à partir du formalisme développé pour la section efficace
microscopique totale ( 5 1.7.4).
Considérons un faisceau de particules de flux I’ = nw,incident sur un milieu semi-
infini (en y et 2 ) contenant cette fois non pas un, mais N centres diffuseurs par unité
de volume que nous allons supposer au repos. Nous voulons calculer ce qui reste du
flux incident après la traversée d’une longueur z de ce milieii en supposant qiie la
section efficace microscopique totale nous est donnée. II est possible de schématiser le
problème de la façon suivante (voir figure 1.13) :
N : densité des centres diffuseurs
A : surface de la tranche considérée dont l’épaisseur est d z , ce qui fait qiie NAdz est
le nombre de centres diffuseurs dans la tranche et (NAdz) ât, leur siirface efficace
totale.
(1.105)
RELATION
ENTRE Pz ET SA VALEUR STANDARD
I1 serait utile de remplacer le rapport N I N O de (1.112) par une expression faisant inter-
venir directement p (exprimée en torr) et T c , paramètres plus facilement mesurables.
et )No = l/(kg x 273),
En recourant à la loi des gaz parfaits, nous avons N = ~ / ( I C B T K
d’où :
N - p x 273 - p x 273
- (1.113)
No TK 273 + Tc ’
les indices K et c désignant respectivement des températures exprimées en kelvin et
en degrés CELSIUS.
Par convention : N -= P o ,
- (1.114)
NO
où p o l la pression réduite (noter qu’il s’agit d’une quantité sans unité, donc pas vrai-
ment une pression), a pour expression d’après (1.113) :
p x 273
Po = (1.115)
273+Tc’
et nous vérifions que pour p = 1 torr et Tc = 0 O C , nous avons bien po = 1 (sans
unité), de sorte que nous pouvons écrire de façon pratique ((1.112) et (1.114)) :
34 D’après le Système Inl,ernational, il serait plus correct d’exprimer la densité des particules en
m-3, mais le cmP3 est bien établi comme unité pratique. C’est ce qui entraîne que la section
efficace microscopique s’exprime en cm2 et la section efficace macroscopique en crn-’.
1.7 - P H É N O M È N E SD E COLLISION DANS LES PLASMAS 61
Le flux de particules n’ayant subi aucune collision sur une distance x dans le plasma
(relation (1.106))’ s’exprime maintenant à l’aide de la section efficace macroscopique
aux conditions standard et de la pression réduite sous la forme :
r(x)= I’oexp(-mPzOz). (1.117)
EXEMPLES
DE SECTIONS EFFICACES
24
h
7
20 20 80 a
u
i
‘E 15 60
18 a
(O
3
v
0
v
.cc 10 340
1 2 .b
G
E
5 20 6
I I I I I n
D’UN ELECTRON
VITESSE DOTÉ D’UNE ÉNERGIE DE 1 eV
(1.118)
où : w, = (Z) 1 p
(1.119)
La relation (1.119) demeure vraie pour un faisceau d’électrons pourvu qu’il soit
monocinétiqiie.
ESTIMATION
DE LA. VALEUR D ’ U N E SECTION EFFICACE DANS U N PLASMA
Dans un plasma, le mouvement des électrons a lieu suivant les 3 directions de l’espace
et non selon une seule direction, comme c’est le cas lors de la mesure d’une section
efficace. Si l’on veut néanmoins estimer la valeur prise par une section efficace dans
un plasma donné, on peut imaginer qu’on a affaire à un faisceau “élargi” d’électrons
de vitesse centrale utla,vitesse la plils probable des électrons du plasma (annexe I).
La relation im,u$ = ~ B T ,qui , exprime l’énergie cinétique la plus probable de l’élec-
tron, confirme l’intérét d’utiliser la relation T,v = kBT,/e pour obtenir une bonne
approximation de la valeur de la section efficace exprimée en fonction de l’énergie
plutôt que de la vitesse.
35 La section efficace évaluée à l’énergie T,v ne donne qu’une valeur approximative, par exemple,
de la fréquence de collision moyenne ( 3 1.7.8) : la valeur exacte s’obtiendrait en pratiquant
l’intégration de cett,e :section efficace sur la fonction de distribution en énergie des particules.
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 63
FRÉQUENCE DE COLLISION
(1.122)
représente le temps mis par le faisceau pour décroître, du fait des collisions subies, à
l / e (e étant ici la base du logarithme népérien) de sa valeur initiale de densité.
Pour définir la fréquence de collision, remarquons de (1.121) que :
(1.123)
dn
-
et posons 7 = vil, alors : -- -uxn (1.124)
at
où dn/dt représente le nombre de particules incidentes qui quittent le faisceau, par
unité de volume et par seconde; d n l d t est aussi le nombre total de collisions par
seconde et par unité de volume subies par les particules incidentes. En divisant d n l d t
par n, il ressort de (1.124) que ux est le nombre de collisions par seconde et par
particule incidente (indice II: = c : simple collision ; IC = m : collision pour le trans-
fert de quantité de mouvement), c’est-à-dire la fréquence de collision d’une particule.
Par identification, de (1.122), (1.123) et (1.124) nous oht,enons, pour iin faisccau dc
particules de vitesse w incident sur des cibles au repos :
Pour des électrons incidents dont l’énergie est exprimée en eV, eU E UeV,nous avons
l’expression numérique :
(1.126)
Remarque : Notons que u, désigne la fréquence de collision pour une vitesse donnée
des particules incidentes ; seule la fréquence moyenne (définie à la section suivante)
représente correctement le nombre de collisions par seconde dans un milieu où existc
une distribution de vitesses.
64 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
Compte tenu de la signification de v,, T apparaît comme le temps entre deux collisions,
de sorte que le libre parcours probable entre deux collisions, e,,
est manifestement :
W
e, = wr = - . (1.127)
VX
En général, quelles que soient les interactions qu’elles représentent, les sections effi-
caces varient, parfois beaucoup, en fonction de l’énergie des particules incidentes.
A titre d’exemple, considérons la section efficace de collisions élastiques électron-
neutre dans les gaz rares de masse élevée comme l’argon (figure 1.14). Pour ce gaz
(comme pour le krypton et le xénon), la valeur de l’énergie de l’électron influe beau-
coup sur la probabilité de collision; ainsi, on note l’existence d’un minimum très
prononcé de P, pour une énergie d’un peu moins de 1 eV : c’est le minimum dit
de RAMSAUER, un effet purement quantique résultant de la diffraction de la fonction
d’onde de l’électron incident sur les électrons périphériques de l’atome cible, avec inter-
férence destructive (minimum) ou constructive (maximum) après interaction. Pour un
électron incident ayant une énergie U e v de 1 eV, la longueur d’onde de DE BROGLIE
est voisine du diamètre de l’atome, d’où sa diffraction. Par ailleurs, pour U e v + CO, on
constate que Û t , + 0 parce que le temps de mise en présence des particules tend alors
vers zéro (pour donner une image de cette faible probabilité d’interaction, considérer
le cas d’une voiture brûlant un feu rouge à un carrefour avec une vitesse extrêmement
grande : la probabilité qu’un accident ait lieu est relativement faible).
Les particules dans un plasma ne sont pas monocinétiques, leur vitesse w obéissant
à une distribution f ( w ) . Sachant que la section efficace Û t , varie avec w , comment,
dans ces conditions, définir une fréquence de collision représentative de ce qui se passe
dans le plasma? I1 faut dans ce cas considérer la fréquence moyenne ( v z ) définie par :
1.7 - PHÉNOMÈNESDE COLLISION DANS LES PLASMAS 65
(1.129)
En effet, alors que pour une particule incidente de vitesse w ,nous avons u, = Nât,w
(1.125), pour l’ensemble des particules incidentes dont la vitesse est dans l’intervalle
(w, w +dut), le nombre total de collisions par seconde est u, f (w)dw . Le dénominateur
de (1.129) correspond à la densité des particules incidentes, toutes vitesses confondues
(condition de normalisation (1.4)). L’expression (1.129) peut également s’écrire de
façon simplifiée :
( 4 )= N(ô-tz(w)w), (1.130)
où les crochets représentent symboliquement une intégration sur la fonction de distri-
bution (en vitesse ou en énergie) des particules.
Exemple : Dans un plasma d’argon de température électronique T,v = 4 eV (hypo-
thèse d’une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN), 21th = 1,19 x l o 6 ms-’ ((w) =
1,34 x lo6 ms-l), l’intégration de la distribution de MAXWELL-BOLTZMANN sur la
section efficace de transfert de quantité de mouvement électron-neutre (figure 1.14)
donne (O,) = 4 x lo9 s-l à 1 torr, 0 O C . A 0,I torr et O O C , nous aurons, évidemment,
( V m ) = 4 x 10’ s-l ! Dans ce qui suit et pour alléger l’écriture, u désignera la valeur
moyenne de la fréquence des collisions électroniques pour le transfert de quantité de
mouvement et u, celle des simples collisions (liée à et,).
Nous venons de définir la fréquence moyenne de collisions des particules d’un plasma
obéissant à une distribution f (w) avec d’autres particules supposées initialement au
repos (1.130). Dans le cas le plus général qui soit de collisions entre particules a et
particules /3 (en mouvement toutes deux) et corrélées entre elles (3 3.2), l’expression
de la fréquence moyenne de collision, ( u , ~ ) ,s’écrit dans le centre de masse :
où la fonction f,p(w,, wp)est une fonction de distribution double sur les vitesses w,
et wp exprimant une interaction binaire avec corrélation (9 3.2). Noter la présence
explicite du module de la vitesse relative des deux particules, une caractéristique de
la description dans le centre de masse. Le dénominateur de (1.131) correspond à la
densité des particules incidentes a , toutes vitesses confondues. L’expression (1.131)
est bien une généralisation de la relation (1.129).
En l’absence de corrélation entre particules (9 3.2), on peut remplacer la fonction
double par deux fonctions simples en posant f,p(wn, W B ) = fa(wa)fp(wp), de telle
sorte que :
66 1- LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
où les crochet,s représentent symboliquement une intégration sur les fonctions de dis-
tribution (en vitesse ou en énergie) des particules Q et /3. On constate, ici aussi, que
l’expression (1.133) e,st une généralisation de la fréquence ( v z )donnée par (1.130).
En suivant une démarche analogue à celle ayant permis de définir ( v a s ) ,le libre par-
cours moyen des particules a pour les collisions avec les particules ,B peut s’exprimer,
dans le cas le plus général, comme la valeur moyenne du quotient de la vitesse de la
particule Q sur la fréquence de collision v,p, soit :
(1.134)
1.7.9. EXEMPLES
D E SECTIONS EFFICACES COLLISIONNELLES
Dans la section précédente, pour fixer les idées, nous avions raisonné à partir de
collisions électron-neutre de type élastique. Comme nous l’avons déjà fait remarquer,
la notion de section efficace est plus générale. Dans ce qui suit, nous allons considérer
le cas de collisions électron-neutre inélastiques (ionisation, excitation, dissociation) et
celui de collisions ion-neutre élastiques et inélastiques (transfert de charge).
COLLISIONS
ÉLECTRON-NEUTRE CONDUISANT À L’IONISATION D’UN ATOME
(MOLÉCULE)
Dans les plasmas de laboratoire, l’ionisation d’un gaz est généralement obtenue par
impacts électroniques. L’ionisation par collisions atome-atome est, en effet, peu pro-
bable dans des plasmas entretenus à des pressions ne dépassant pas quelques atmo-
sphères. Si l’on considère un atome d’argon, son ionisation par étapes, passant par
le relais d’un état metastable, cas le plus favorable, nécessite au minimum 11.5 eV
1.7 - PHÉNOMÈNES DE COLLISION DANS LES PLASMAS 67
(annexe VI). Ainsi, en supposant une distribution en énergie des particules de type
MAXWELL-BOLTZMANN, il faudrait que les atomes incidents les plus chauds atteignent
une température de plus de 100 O00 K , ce qui n’est pas réaliste pour des plasmas de
laboratoire.
La section efficace d’ionisation par collisions électron-neutre possède généralement les
caractéristiques suivantes (figure 1.15) :
m un seuil très précis d’énergie, E,, au-dessous duquel la section efficace est nulle.
Pour les atomes, ce seuil d’ionisation correspond au potentiel d’ionisation. Pour
les molécules, plusieurs seuils d’ionisation coexistent (ionisation dissociative et non
dissociative).
~ à partir du seuil d’énergie ri, croissance (presque) linéaire de la section efficace en
fonction de l’énergie Uev de l ’ é l e ~ t , r o n ~ ~ ,
- puis passage de la section efficace par un maximurri pour une énergie €m suivi d’une
lente diminution.
La droite tiretée sur la figure 1.15, de pente a,, tracée à partir du seuil d’energie E,
de la section efficace, montre que l’expression :
est une bonne approximation de la portion initiale (€, < Uer; < E m ) de la section
efficace d’ionisation.
36 Les particules-cible n’ktant pas forcément au repos, il est plus correct de parler de leur énergie
(vitesse) relative au moment de la collision. Dans le cas d’interactions électron-neutre, cette
distinction est ghéralcment négligeable au-delà d’une fraction d’électron-volt dans la niesure où
le gaz n’est pas très chaud (voir aussi la remarque 2 à la fin de cette section).
68 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION E T PRINCIPALES GRANDEURS
-.
pJkle E,
MOLECULE
ELECTRON-NEUTRE
COLLISIONS
ue v
Figure 1.16 - Forme générale de la section
efficace d’excitation de l’état j par collisions
électron-neutre.
Là encore, il existe un seuil d’énergie &d en dessous duquel la section efficace est
nulle. Pour une molécule complexe, plusieurs seuils de dissociation peuvent coexister,
chaque seuil de dissociation étant, de manière générale, plus élevé que l’énergie de
dissociation correspondante.
COLLISIONS
ÉLASTIQUES ION-ATOME
Les sections efficaces de diffusion d’ions par leurs propres atomes (molécules) ont
toutes la même allure : l’interaction est plus probable à faible vitesse. La figure 1.17
montre, à titre d’exemple, le cas de différents ions hydrogène incidents sur des molé-
cules H2 après avoir été accélérés par une différence de potentiel U .
180
140
120
,--.100
i
I
E
O
80
v
60
40
20
O
O 2 4 6 8 10 12
m
Figure 1.17 Section efficace de collisions élastiques
~
COLLISIONS
MENANT À UN TRANSFERT DE CHARGE
100
h
i
I
E
O
v
50
O
O 5 10 15 20
m
Figure 1.18 - Section efficace de transfert de charge (indice z = t ) et de collision élastique
(indice z = e ) entre un atome d’hélium et son ion d’énergie eu, et section efficace totale
résultante (z = 7‘) (d’après [5], avec la permission de 1’American Institute of Physics).
Pour fins de comparaison, l’interaction élastique de l’ion A+ avec l’atome A est éga-
lement représentée : la valeur de sa section efficace de diffusion (notée e) est toujours
d’une valeur inférieure à celle du transfert résonnant ; la différence est grande, par
exemple, pour l’hélium et le néon, mais faible pour l’argon [SI.
COLLISIONS
ATOME-ATOME
37 I1 s’agit d’une interaction inélastique : l’énergie interne de l’atome (molécule) se trouve modifiée
en perdant ou récupérant un électron.
70 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION E T PRINCIPALES GRANDEURS
le premier terme représente le potentiel répulsif lorsque les deux particules entrent
suffisamment en contact et le second, le potentiel attractif à grande distance, TO étant
la valeur de T (distance internucléaire) pour laquelle q 5 ( ~ )= O et C J ’ la profondeur du
puit,s de potentiel at tractif.
Lpartie
répulsive
Remarques :
7
partie attractive
(VANDER WALLS)
Figure 1.19
atlome.
~ Potentiel de LENNARD-
J O N E S modélisant l’interaction atome-
AfB _j C +D.
AB
où WAB = IWA - WBI est le modiile de la différence des vitesses avant collision (voir
exercice 1.9 et note 36 de bas de page). Cette relation nous permet de généraliser la
fréquence de collision définie plus haut (1.133).De la relation (1.137), nous pouvons
obtenir le nombre de fois par seconde qu’une particule de type A interagit avec les
particules de type B en multipliant AB par la densité NB des atonies (molécules)
B, ce qui revient 2t considérer les particules B comme des “cibles”.
3 . Equation hydrodynamique du mouvement et nature du terme collisionnel
Considérons un plasma faiblement ionisé (collisions électron-neutre majoritaires)
soumis à un champ électrique oscillant EOexp(iwt) dont la frequence est suffisam-
ment élevee pour irn négliger l’effet sur le mouvement des ions. Supposons de plus
1.8 - P E R T E E T CRÉATION DES PARTICULES CHARGÉES 71
dz5 dx
me ~ = -eEo exp(iwt) - um, - (1.138)
dt2 at
Le terme um,dx/dt étant de la nature d’une force, vm,vdt représente alors une
variation de quantité de mouvement pendant dt et u m e v , sa variation par seconde ;
par ailleurs, l’analyse dimensionnelle montre que u est un nombre par seconde. Dans
ce contexte, le terme -vm,(dz/dt) E -up, représente le nombre de fois par seconde
que l’électron perd sa quantité de mouvement propre. La fréquence u apparaît
alors comme la fréquence (moyenne) de collision pour le transfert de quantité de
mouvement de l’électron vers l’atome (ion). La solution de l’équation différentielle
(1.138) donne comme amplitude (complexe) du mouvement de l’électron dans le
champ H F :
eE0
20 = (1.139)
m,w(w - i u ) ’
où l’on note que u possède les mêmes unités que la pulsation w du champ électrique.
1 . 8 . 1 . MÉCANISMES
DE PERTE
DIFFUSION
VERS LES PAROIS O ù SE PRODUIT LA NEUTRALISATION
DES ESPÈCES CHARGÉES
38 Nous obtiendrons la relation (1.138) dans le cadre du modèle hydrodynamiqur di1 plasma d’élec-
trons de LORENTZ( 5 3.7).
72 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
La diffusion des espt!ces chargées du plasma vers les parois de l’enceinte à décharge
peut constituer un mode d’élimination extrêmement efficace de ces particules dans la
mesure où celles-ci se recombinent sur ces parois. Un tel “puits d’évacuation’’ sur les
parois, caractérisé par une densité beaucoup plus faible que sur l’axe, donne en effet
lieu à un flux de particules chargées I’ = nv où v , la vitesse de diffusion, est dirigée
de l’axe vers les parois. La valeur de ce flux est donnée par la relation39 :
I’= - D V n , (1.140)
qui indique que le flux de particules vers la paroi augmentmeavec le gradient de densité
des particules V n ; le facteur D est appelé coeficient de diffusion libre ou ambipolaire
suivant que la densité du plasma est faible ou forte, comme nous le verrons en 5 3.8.
RECOMBINAISON
E N VOLUME
Les particules chargees se neutralisent alors dans le volume même du plasma et non
sur les parois.
Dans le cas de la recombinaison d’un ion atomique, comme sa recombinaison radia-
tive (1.58) est très souvent négligeable, la réaction nécessite la présence d’une troisième
particule (recombinaison à trois corps), en l’occurrence un électron, pour assurer la
conservation de l’énergie et de la quantité de mouvement au moment de l’interaction.
Cette réaction s’écrit, :
A++e+e+A+e. (1.141)
Noter qu’il s’agit de la réaction inverse, au sens de la micro-réversibilité (0 1.4.2)’
du processus d’ionisation de l’atome A. C’est ce processus de disparition des charges
qui intervient dans l’équilibre d’ionisation-recombinaison régi par la loi de SAHA.Le
nombre d’ions atomiques qui se recombinent par unité de volume et par seconde dans
le plasma, est donc proportionnel à n,1nz où n,1 est la densité des ions atomiques
et n e celle des électrons. Dans la mesure où il n’y a qu’un seul type d’ion atomique,
ne = n,1, le nombre d’ions disparaissant par unité de volume et par seconde peut
s’écrire arane où a,,, est le coefficient de recombinaison à trois corps (unités : cm6
s p l ) , ou encore sous la forme v,,n, où v,, est la fréquence de recombinaison atomique
correspondante. I1 en ressort la relation existant entre CU,, et v,, :
At +e +A +A . (1.143)
Cette recombinaison est dite dissociative. Si l’énergie libérée lors de cette recombinai-
son est supérieure à celle du premier niveau excité des atomes A, alors l’un d’eux se
retrouvera dans un état excité, sinon l’excédent d’énergie est transformé en énergie
cinétique des atomes,40.Le nombre d’ions moléculaires se recombinant par unité de
volume et par seconde est alors proportionnel à nizn,, où ni2 est la densité des ions
moléculaires. S’il n’y a que des ions moléculaires (nia = n e ) ,nous pouvons représenter
ce nombre sous deux formes équivalentes, de façon analogue à (1.142) :
cy,,n~ u,,n, , (1.144)
où a,, est le coefficient de recombinaison moléculaire dissociative et u,, la fréquence
correspondante.
Dans le cas des plasmas riches en ions négatifs, la recombinaison des ions positifs
s’effectue avec les ions négatifs suivant la réaction :
A+ + B - A+B (1.145)
dite de recombinaison mutuelle. Ce type de recombinaison s’effectue indifféremment
avec des ions atomiques ou moléculaires. Le nombre d’ions positifs (et négatifs) se
recombinant par unité de volume et par seconde est proportionnel à nin- où ni est
la densité des ions positifs (atomiques et moléculaires) et n- celle des ions négatifs.
De façon analogue à (1.142) et (1.144), nous écrirons :
a,&nin- E u,&n- , (1.146)
où a,& est le coefficient de recombinaison mutuelle d’un ion positif et d’un ion négatif,
et v,* la fréquence correspondante.
L’ordre de grandeur de a,& est de 10W7 cm3sP1, valeur qui varie peu avec la nature
des ions et leur énergie relative. I1 est à noter que la valeur de a,& est inférieure d’un
facteur 2 à 3 au coefficient a,, de recombinaison dissociative des ions moléculaires.
1.8.2. MÉCANISMES
DE CRÉATION
Lorsqu’il y a ionisation à la suite d’une seule collision électronique sur l’atome dans
son état fondamental (ionisation directe), la fréquence d’ionisation correspondante
(nombre d’ions créés par seconde et par électron), uid,s’écrit ( 5 1.7.8) :
Vid = (PZ(~,)We) = No(&(we)w,) , (1.147)
où Pi est la section efficace macroscopique et Sti la section efficace microscopique
totale, toutes deux correspondant à l’ionisation directe, et No la densité de l’état
fondamental de l’atome.
74 1 - LE MILIEU PLASMA : DÉFINITION ET PRINCIPALES GRANDEURS
Lorsque la densité électronique est suffisamment élevée, l’ionisation directe n’est plus
la seule voie d’ionisation possible. L’ionisation peut alors avoir lieu, par étapes, en
utilisant comme relais des états excités de l’atome ; l’intérêt de ce processus d’ionisa-
tion est qu’il peut se faire avec des électrons de moindre énergie que pour l’ionisation
directe. Un cas fréquent d’ionisation en deux étapes est celui où successivement :
(1.150)
1.8.3. EQUATION
D E CONSERVATION DES PARTICULES CHARGÉES
Si nous tenons compte des deux mécanismes de perte que nous venons de présen-
ter mais aussi de l’ionisation, l’équation de conservation des particules s’écrira plus
généralement (3 3.5) :
dn
-
at
+v ’ nv = ( V L - u,)n (1.152)
où V , = V,d + u,, et ur = u,, +
urm. Le membre de droite de l’équation comptabilise
respectivement le nornbre de particules créées par ionisation et le nombre de particules
perdues par recombinaison en volume, par unité de volume et par seconde, les pertes
par diffusion étant prises en compte dans le membre de gauche par V . nv.
A l’état stationnaire et en l’absence de recombinaison en volume41, l’équation (1.152)’
tenant compte de (1.140), se réduit à :
v . ( - D o n ) = vin (1.153)
d’où V 2 n= ( - u ~ / Dn) , (1.154)
qui est une équation aux valeurs propres ( 5 3.9) fixées par les conditions aux limites
(imposées par la géométrie du tube à décharge) : pour un tube de forme cylindrique,
par symétrie (dn/dr),=, = O et, souvent, on prendra n(r = R ) = O où R est le rayon
interne du tube. Dans le cas d’une colonne cylindrique très longue ( L > R ) et pour
n(r = R ) = O , on aura n ( r ) = n(O)Jo(2,405 r / R ) où JO est la fonction de BESSELde
première espèce et d’ordre zéro (figure 3.4).
41 A l’état stationnaire, en l’absence de pertes par diffusion, l’équation (1.152) se ramène évidem-
ment à ut = u p .
CHAPITRE
2
MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE
CHARGEE DANS DES CHAMPS
ÉLECTRIQUE ET MAGNÉTIQUE
Le modèle hydrodynamique
Le plasma est dans ce cas constitué soit de deux fluides (celui des électrons et celui des
ions), soit d’un seul (celui des électrons, les ions étant immobiles et formant un fond
continu offrant une certaine viscosité au mouvement des électrons). Le mouvement
de chaque fluide est caractérisé localement par une vitesse moyenne 2) dont la va-
leur resulte d’une integration sur la distribution des vitesses des particules contenues
dans l’élément de volume considéré (3 3.3). Le mouvement de ces particules rhar-
gées engendre des champs E et B (dont on retient la valeur moyenne locale (champs
macroscopiques)) qui interviennent de façon auto-cohérente dans les équations du
m o u v e ~ i e n t De
~ ~ plus,
. ce modèle prend en compte les collisions, celles-ci modifiant le
mouvement défini immediatement avant la collision par la superposition des champs
extérieurs et induits.
42 Le couplage des champs induits E et B avec les particules chargées est dit auto-cohérent, parce
que le mouvement des particules qui crée les champs E et B est lui-même affecté par les champs
qu’il produit.
76 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
Pour établir l’auto-cohérence entre le mouvement des particules chargées et les champs
qu’il engendre, nous recherchons d’abord la vitesse des éléments du fluide. Celle-ci
s’obtient de l’équation du mouvement où intervient la force de LORENTZ(3 2.1) dont
nous supposons les champs E et B connus en première itération. Une fois 2) déterminé,
nous sommes en mesure de calculer la densité de courant total J du ou des fluides
( J = E, naq,ve). De là, pour fermer la boucle avec les valeurs initiales de E et B ,
nous avons deux voies :
~ à partir de J , remonter à E par la relation de l’électromagnétisme :
J=uE (2.1)
aB
VA\=--
at
8E
ou V A B = ~ ~ E ~ - + ~ ~ J ,
at
Remarque : Notons que la conductivité u qui relie J à E joue un rôle clé dans
l’obtention de l’auto-cohérence champ-particule : nous calculerons l’expression de
dans le cadre de différents modèles.
Le modèle cinétique ou microscopique
C’est la description la plus fine. Elle fait appel aux fonctions de distribution des vi-
tesses des particules : ceci permet notamment de faire apparaître certains phénomènes
qui échappent au modèle hydrodynamique comme, par exemple, l’effet LANDAU (effet
de résonance entre une onde se propageant dans le plasma et les particules d’un certain
intervalle de vitesses:i. On y tient compte de façon auto-cohérente des micro-champs
(et non plus des champs macroscopiques) et des collisions.
Le présent chapitre est consacré à l’étude du mouvement individuel d’une particule
chargée dans des cha,mps E et B donnés. Ce modèle donne un premier aperçu des
phénomènes complexes se déroulant au sein d’un plasma. Celui-ci est, par hypothèse,
sans collision en volume et sur les parois. Nous examinerons en premier lieu la solution
de l’équation du mouvement d’une série de cas particuliers pour en déterminer, à la
fin, la solution générale43.
GENERALE DU MOUVEMENT
2 . 1 . EQUATION
D’UNE PARTICULE CHARGEE DANS DES CHAMPS
E ET B ET PROPRIETES DE CETTE EQUATION
Soit qa la charge d’une particule de masse m,, animée de la vitesse w = d r / d t et
soit E ( r ,t ) et B ( r ,t ) , les champs extérieurs : la particule est soumise à l’action de la
force de LORENTZ qui, dans le cas non relativiste, prend la forme44 :
F = q , [ E ( r ,t ) + w A B ( r ,t ) ]. (2.5)
Cette équation résulte de l’observation. Elle est valable si la particule est suffisamment
petite pour considérer sa charge comme ponctuelle (on écarte ainsi le problème de la
répartition des charges dans le volume de la particule).
2.1.1. EQUATION
DU MOUVEMENT
Cette expression donne lieu à une équat,ion différentielle du second degré suivant
chaque axe du système de coordonnées. Dans un repère cartésien, nous avons :
d25
me- = qa
at2
d2y
ma- = q,
dt2
d2z
ma^
dt
= qa
2.1.2. EQUATION
DES FORCES VIVES
est un scalaire vrai et constitue donc un invariant lors d’un changement de repère ; le
deuxième terme du membre de droite est nul à cause de sa structure : ( AA B ) . A = O.
~
(2.11)
2 . 2 . ANALYSE;
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B
Nous allons aborder successivement les cas suivants : le champ électrique agit seul
sur la particule ( 5 2.2.1), la particule est soumise à un champ magnétique constant
et uniforme, avec ou sans champ E ( 5 2.2.2) et, enfin, cas plus complexe, la particule
se trouve dans un champ B (légèrement) non uniforme ou variable dans le temps
( 5 2.2.3). Nous verroins que les solutions de ces divers cas particuliers peuvent être
incluses dans une équation générale décrivant le mouvement de la particule dans de
tels champs E et B.
45 Le chauffage par pompage magnétique où B varie périodiquement peut être considéré, par l’inter-
médiaire de l’équation de MAXWELL VAE = -ûB/at, comme résultant de l’action du champ E .
2.2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 79
w = (2.14)
(2.15)
CHAMPE ( r ,t ) CONSERVATIF
E = -V4(r,t) (2.16)
ci2 r
mD7 = -4 0 V4
1 ’ (2.17)
dt2
multipliée scalairement à droite par d r / d t montre, après intégration sur le temps t ,
que la variation de l’énergie cinétique est égale à (moins) la variation de l’énergie
potentielle, de sorte que l’énergie totale est évidemment conservée :
(2.18)
Interface - -
Y
(2.20)
Ce cas correspond à celui de particules chargées se trouvant soit dans un plasma créé
par un champ de haute fréquence (HF), soit dans un plasma produit par d’autres
moyens (par exemple, une décharge en courant continu) mais sur lequel on a imposé
un champ HF important.
L’équation du mouveinent est dans ce cas :
(2.21)
(2.22)
soit : (2.23)
et (2.24)
47 Par convention, le champ électrique existant entre une charge positive et une charge négative est
dirigé vers la charge négative. Dans ces conditions, l’ion positif que nous considérons est accéléré
dans la direction du champ (voir figure 2.2).
82 2 - MOU E M E N T INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
Convention :
direction du champ E + + -
mouvement de l’ion @ +
électron
+
t
ion +
...-..
.. ...
+
t
7-14 ’TI2 7-
Figure 2.2 Vitesse et excursion d’un ion positif (trait plein)
~
- -~ cos(2wt) (2.26)
2m,w2
où %(A) désigne la partie réelle d’une quantité complexe A. L’évaluation de l’intégrale
(2.26) sur une période 7 = 27r/w, c’est-à-dire entre les instants t o et t = t o + 27r/w,
conduit à une valeur nulle. L’énergie cinétique acquise au total sur une période est,
en effet, nulle car pendant une demi-période, le travail se fait dans une direction et,
durant l’autre moitié, dans la direction opposée.
Cependant, si le mouvement oscillatoire de la particule est interrompu par une colli-
sion avant la répétition d’une période complète à partir de l’instant t o où le champ
a été appliqué, l’intégrale (2.26) est non nulle et l’énergie correspondante prise au
champ lui sera acquise48. Pour le montrer, il nous faut quitter momentanément le
niodèle très simplifié des trajectoires individuelles (modèle de plasma sans collisions)
pour considérer le modèle hydrodynamique qui prend en compte les collisions.
48 Cette énergie “acquise” par la particule est mise en jeu au moment même de la collision pour être
totalement ou partiellement transmise à la particule avec laquelle elle interagit ; la particule qui a
pris de l’énergie au champ peut aussi conserver toute cette énergie et mrme en recevoir de l’autre
particule. Rappelons que dans le cas d’une collision électron-neutre, l’électron ne transfère que
partiellement son énergie, plus exactement une fraction de l’ordre de ( m e / M )de celle-ci ( 5 1.7.2).
84 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
et alors : (2.31)
- e E .v , (2.32)
a - ( --
- e . E . v* e2Ei
)=Y?[;-]=-----
2m ( v - z w )
1 e2 v
meu2+d
-
E2 , (2.33)
O,
e2 E2
N -- (2.35)
me v
Nous retrouverons les relations (2.34) et (2.35) dans l’étude des plasmas HF (0 4.2).
~ Conductivité et permittivité électriques en présence de collisions
Le mouvement des particules chargées dans le champ E crée un courant dit de
conduction. La densité de ce courant dans le cas d’électrons de densité ne s’écrit :
J = -neeu (2.36)
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 85
(2.37)
J=oE, (2.38)
où D est la conductivité (scalaire) électrique des électrons, de (2.37) et (2.38), nous
obtenons par identification :
nee2
(2.39)
D=
+
m, (v i w )
Noter que dans le cadre des trajectoires individuelles (sans collisions, v = O), est
purement imaginaire et le plasma se comporte dans ce cas comme un diélectrique
parfait.
La permittivité e p du plasma relativement à celle du vide dans un champ &eiWt est
liée à la conductivité D (démonstration en Remarque 2 qui suit) :
D
E p = l + 7 (2.40)
ZWEO
wpe
€p=l- (2.41)
w ( w - iv) ’
qui, en l’absence de collisions, se réduit à :
(2.42)
expression qui montre que w = wpe représente une valeur singulière pour la propa-
gation d’une onde puisqu’alors ep = O.
Remarques :
1. Noter que 8, (équation (2.33)) dépend de façon inversement proportionnelle de la
masse des particules, d’où le fait habituel de négliger, dans le bilan de puissance
champ HF-particule, la puissance transférée aux ions. On vérifiera également que
pour w constant, 8, passe par un maximum pour v = w4’ : c’est dans ce cas que le
transfert de puissance est le plus efficace.
2. Le recours à la conductivité B dans les pages qui précèdent correspond à la représen-
tation charges dans le vide, par opposition à la description diélectrique exprimée par
c p où, au départ, on considère plutôt le courant de déplacement que le courant de
conduction pour décrire le mouvement des particules chargées dans le champ HF.
49 Se rappeler que la fréquence de collision v dépend de l’énergie moyenne des électrons (et de leur
fonction de distribution en énergie) et de la pression du gaz ( 5 1.7.8).
86 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
CHAMPM A G N É T I Q U E SEUL (E = O)
L’étude de ce cas simple nous permettra d’introduire les notions de giration cyclotron
et de mouvement hélicoïdal. Le mouvement cyclotronique des particules engendre un
champ magnétique B’ de sens opposé au champ B appliqué de l’extérieur, conférant
au plasma un caractère diamagnétique.
Orientons le système d’axes cartésiens de façon telle que O z soit suivant B. Des
équations générales du mouvement ((2.7) à (2.9)) où l’on pose E = (O, O, O) et B =
( B ,O, O), il vient :
(2.47)
(2.48)
(2.49)
(2.50)
la convention de signe étant posée pour que dans le cas des électrons, w,, soit positif5’.
50 D’autres auteurs écriront plutôt w,, = lq,lB/rn, , mais il faut alors préciser dans quel sens les
particules chargées positivement et négativement tournent respectivement autour d’une ligne de
force du champ B.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 87
En laissant tomber l’indice a pour alléger, les équations (2.47) à (2.49) prennent la
forme :
x = O, (2.51)
y = -Wei, (2.52)
z = w,y , (2.53)
équations que nous allons résoudre avec les conditions initiales (t = O) : 12: = y = z = O
(particule à l’origine du système de coordonnées), j: = W,O = ~ 1 1 0y , = wgo et Z = w,o :
en toute généralité, les composantes parallèle et perpendiculaires à B de la vitesse
initiale sont non nulles.
Par intégration de ( 2 . 5 3 ) ,nous tirons :
où la constante d’intégration Cl, compte tenu des conditions initiales, est égale à w,O.
Portons cette valeur de i dans l’équation (2.52) exprimant ji :
y = Al cosw,t + A2 sinw,t -
WZO
~ . (2.57)
WC
cosw,t + WYO
~
wc
sinw,t - (2.60)
z = wzo sinw,t
~
WC
-
WYO
~
wc
cosw,t + CZ (2.61)
y =
%O
- cos wet + WY 0 sin wet
~ -
WZO
- (2.63)
WC w, W C
2: =
%O
-sinw,t
w,
- WY 0
~
W C
coswct +-
w,
.
WY 0 (2.64)
Dans le plan yOz, le mouvement de la particule s’inscrit sur un cercle51 dont le centre
est fixé par les constantes d’intégration, en l’occurrence Y ,2 = -wz0/wc, wYo/w,. Pour
le montrer, écrivons l’équation de ce que serait la trajectoire circulaire correspondante :
(2.65)
= wzo cos2 wet + G o sin2 wet + 2wZoWYo cos wet sin wet (2.66)
~
c
w w, wc
+ -sin wet +4
4 0
w c 2 ~
wc cos w,t
0 2 - 2WzoWyo
w c cosw,t sinwct (2.67)
(2.68)
et nous constatons que nous définissons bien un rayon dont la valeur est :
T B = - =W-I û me .
eBWlo (2.69)
w,
En somme, dans le plan perpendiculaire à B,nous assistons à un mouvement circu-
laire périodique de pulsation wc,la pulsation ~ y c l o t r o n i q u e ~dont
~ , le rayon T B est
appelé rayon de LARMOR5’, W _ L Oétant la vitesse initiale de la particule dans le plan
yOz. Pour déterminer le sens de rotation des particules de masse ma et de charge q a ,
négligeons les vitesses initiales qui sont des constantes : pour l’électron, comme par
convention w,, > O, nous remarquons ((2.63)-(2.64)) que pour w,t = O , y = w,o/w, et
z = -wYo/wc, alors que pour wet = 7r/2 (t = 7;,/4 où 7;, est la période cyclotronique),
y = wYo/w, et z = W , O / W , . I1 s’ensuit que, le champ B s’enfonçant dans la feuille,
la giration de l’électron a lieu dans le sens horaire (vers la droite), comme le montre
la figure 2.3 a), alors (que l’ion positif tourne, lui, dans le sens anti-horaire (vers la
gauche). Dans la direction parallèle 6 B,la vitesse est constante, égale à w1l0,et le
mouvement est uniforme, la présence de B ne modifiant pas cette vitesse. La com-
binaison du mouvernent cyclotronique et du mouvement uniforme dans la direction
parallèle donne lieu à une trajectoire en forme d’hélice (figure 2.3 b)) qui s’enroule
autour de la ligne de force du champ magnétique (appelée, en l’occurrence, axe ou
centre de guidage).
51 Les relations (2.63) et 112.64) qui décrivent un mouvement périodique sont de même amplitude et
de même fréquence, avec une différence de phase de 7r/2. Dans le cadre des courbes de LISSAJOUS,
ceci donne lieu à un cercle.
52 Encore, gyrofréquence des particules a ( a = e, 2 ) .
53 Encore, rayon cyclotronique ou rayon de giration.
2.2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 89
Remarques :
1. La diminution du diamètre de l’hélice avec B croissant crée un effet de confinement
des particules chargées dans la direction perpendiculaire à B . En effet, pour B
tendant vers l’infini, rg + O, ce qui indique bien qu’il n’y a phis de mouvement
transversal possible : nous verrons en fj 3.8 qu’ainsi on diminue la diffusion des
particules, perpendiculairement à B , vers les parois.
2. Un champ B uniforme ne peut affecter wll de sorte que W J I( t ) = 2 ~ 1 où
1 ~ l’indice zéro
correspond au temps t = O : propriété de la force de LORENTZdans le cas E = O.
Lorsque E = O, il y a aussi conservation de l’énergie cinétique : w:(t) + w z ( t ) E
II
w 2 ( t )= wi.Comme nous venons de voir que W I I= ~ 1 1 0 alors
, wt = wo: et, donc,
= +
w l ( t ) w i ( t ) w:(t) = w l 0 . Ainsi, dans un champ B , les composantes wu et w,
peuvent varier, comme nous l’avions affirmé en 5 2.1 (Remarque 1).
3. Le pas de l’hélice s’obtient en considérant la distance axiale parcourue pendant une
révolution. Soit p h , ce pas, et 7,, la période cyclotronique, alors ph = ~11~7, =
wiiO/fc = 27rwlj0/w, et, comme rg = w1o/w,, il vient :
(2.70)
Ainsi pour B = 1 kC: (0,l tesla), f c e = 2,8 GHz. La fréquence correspondante pour
les ions de masse mi est m,/me fois pliis faible.
8. Le champ diamagnéiique créé par la circulation du courant cyclotronique est donné
par la loi de BIOT-SAVART (LORRAIN et al.) :
(2.73)
Dans cette expression r pointe de la source (charge) vers l’axe de guidage (voir
figure 2.4), là où B‘ (:st calculé (pour y être comparé à B).
Le champ diamagnétique
B’ est de même sens pour les électrons et les ions : ces particules, de charges
contraires, tournent en sens contraire dans B ,de sorte que leur courant respectif J
circule dans le même sens, comme le montre la figure 2.4. Le produit vectoriel J A r
de (2.73) indique que B‘ est de sens opposé au champ B responsable du mouvement
cyclotronique (il ne pourrait en être autrement!). Le champ magnétique dans le
plasma est donné par la somme vectorielle de B et B’ (voir exercice 2.2).
(2.74)
(2.75)
(2.76)
(2.78)
relation qui se met sous la forme d’une équation différentielle avec membre de
gauche homogène :
.. wel/
L/
2
+ wcqa
= --E,t
4a
-E, , + (2.79)
ma mff
(2.80)
A2 = ~ 4a E, . (2.82)
mawC
Calcul d e z. On porte la valeur de y tirée de (2.80) et complétée par
(2.81) et (2.232), dans (2.77) :
4a
Z = -E-t
ma
mawz
qaEzt +
sinwet - -
mawc
e]
(2.83)
maWC
et, en intégr,ant :
2 z --40 EY sinwet - -
wCm,
qa Ez cos wet
wznia
+ wcma + c3 ,
~
(2.84)
comme z ( t =: O) = O = -(qa/wCma)E, + C3 :
q=&, (2.85)
maWC
t2
x = -qa
Ez-. (2.86)
ma 2
2 . 2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 93
(2.87)
z = -- 401
E, sinw,t - -Ez C O S W , ~ +- E,t + 4û E, . (2.89)
wCm, wzma WCm, w,ma
E,
= 2 = O en t = O
O +
z
et (2.91)
(2.92)
(2.93)
les deux trajectoires (si l’on néglige l’influence de ,511) sont confinées dans le plan
(wd, E l ) , comme le montre la figure 2.6.
Dans la relation y = -~
4a ELI
cos W,,t + .. + ’ ~
4,
WCa% wC,ma
(voir (2.88))’ l’amplitude du mouvement des particules est proportionnelle à m,
(w:@ma K m;’) : les électrons décrivent des arceaux d’amplitude beaucoup plus
faible que celle des ions mais en plus grand nombre par seconde (figure 2.6) puisque
le rapport des masses milm, entraîne que w,,/w,i > 1.
Remarques :
1. E l / B a bien les unités d’une vitesse (vérification laissée au lecteur).
2 . Pour 7ud N w c r B , (cas traité), l’amplitude maximum p a de la cycloïde d’une par-
ticule de type Q par rapport à l’axe de glissement est proportionnelle à E l / B Z
(figiires 2.5 et 2.7 (b)). Le calcul de cette expression est également laissé au lecteur.
3. Pour wd < W c r g (charnp E l faible), les trajectoires sont quasi cyclotroniques,
avec une faible vitesse de glissement de leur centre de guidage dans la direction
perpendiculaire à B et à E l , comme le montre la figure 2.7(a). Pour bien fixer les
idées, prenons le cas d’un ion positif : le centre de guidage de sa trajectoire se meut
tout doucement dans la direction de dérive parce que la courbure cyclotroniqiie est
plus faible quand l’ion se déplace dans la direction de E l (wlaugmente, donc
rg aussi) alors que la courbure est plus forte quand il se dirige en sens opposé de
E l (demi-orbite inférieure de la figure 2.7(a) ; il en résulte une déformation du
mouvement cyclotronique entraînant le déplacement du centre de guidage et, de
façon concomitante, la dérive de la particule.
96 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
4. Dans le cas d’un champ E l fort, par hypothèse wd > w$“B de sorte que la vitesse
+
de la particule évolue entre wd w,rB et wd - W , r B , sans jamais changer de signe.
La trajectoire prend alors une forme ondulée, comme le montre la figure 2.7(c).
t=O
t=O
Figure 2.7 - Trajectoires d’un ion positif dans des champs E et B constants
et uniformes (wg = O) suivant la valeur du rapport w d / w ~(wd croît avec E l ) :
a ) wd < W c r B ; b) W d W c r B et C) W d > W c T B .
N
(2.96)
Tout le mouvement est maintenant dans le plan y O z et il s’agit d’une cycloïde ordi-
naire.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 97
“t T E
I
I
l .’
1
,
:
t
Figure 2.9 - Traje-+n;-oo /
trochoïdales pour wo 7 u /
(tiret et pointillé) et trajec-
toire cycloïdale pour wo = O
(trait plein).
(2.97)
(2.98)
(2.99)
98 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
(2.101)
nous constatons qu’il s’agit d’une équation différentielle dont la solution se compose
de la solution générale w1 de l’équation homogène sans second membre (mouvement
hélicoïdal) et d’une :solution particulière w2 avec second membre. Nous cherchons
donc à déterminer w tel que :
w=w1+w2. (2.102)
- Solution générale sans second membre (champ E = O).
La valeur de w1 a déjà été obtenue (équation (2.71)) sous la forme :
wi = ~ 1 1 0+ w e A T B , (2.103)
décrivant un mouvement hélicoïdal, où W J Jest
~ la vitesse initiale. I1 reste donc à
déterminer l’expression de w2.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 99
I'
B
(2.108)
(2.110)
-- - -
W = Wllo + 40,
--Tg
V L
A
Mouvement hélicoïdal
B+
G
maE , ,
t
Mouvement uniformément
accéléré suivant E 11
+ -E lB2A B
Dérive électrique
(2.111)
(2.112)
Dans ce qui suit jusqu’à l’équation (2.118)’ nous omettrons l’indice a sur J et o.
La conductivité est maintenant une quantité tensorielle : montrons-le en la considérant
a priori comme un scalaire, ce qui ne permettra pas de satisfaire (2.112). En effet,
dans le cas où J = o.E,nous devrions avoir les composantes suivantes :
(2.114)
57 On n’a pas décomposé suivant le trièdre de la figure 2.10 puisque, l’expression (2.112) étant
vectorielle, peut être développée dans n’importe quel système de coordonnées.
2.2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 101
A A
ex ey e,
car : E L A B = E, E, O (2.115)
O O B
Nous notons que dans (2.114) il n’y a pas de composante E, suivant ê, et pas de com-
posante E, selon ê, comme l’exigerait (2.113). En effet, J , de (2.114), par exemple,
est de la forme :
(2.116)
ce qui nous fait conclure que a ne peut être un scalaire en présence de B .
Cherchons maintenant plutôt à expliciter les termes d’un tenseur 0 que nous sup-
poserons d’ordre 2 (voir annexe VI1 pour une brève introduction aux tenseurs et
annexe VI11 pour les opérations tensorielles), défini par la relation :
J=c.E (2.117 )
J = +
(azaEz+ azyEy a z z E z ) ê z (a,,E, + + ayZIE,+ a u z E z ) ê ,
+ +
+(aZ,E, oZYEy a,,E,)ê, . (2.119)
Par identification de (2.119) avec (2.114),
(2.120)
Remarque :
1. Dans (2.118), l’él6,rrient crij du tenseur 0 exprime le fait que la composante Ej du
champ électrique (la force) dans une direction donnée induit un courant J i (une
action) dans une autre direction.
2 . Le lecteur pourra déterminer le tenseur g p de permittivité relative correspondant à
u et y faire apparaître la fréquence des électrons du plasma, en généralisant (2.40) :
-
E = I + +U= ,
(2.122)
-P %WE0
Le problème à résoudre n’est pas très différent de celui de l’équation (2.101) qui a
conduit à la solution générale du cas précédent ( E constant) puisque maintenant :
(2.123)
I1 nous faut chercher une solution particulière avec second membre5’, toujours avec
le triedre de la figure 2.10, mais en posant cette fois :
ula +
= a E o ~ ~ e z WbEOleLWt
t c + ( A ~~ ) ~, e~ ~ (2.124)
~ ~
expression que nous reportons dans (2.123), d’où :
+ bEoi
[&Eo11 + b ( E o i A B)]eLwt+ ;W [aEol1+ b E o l + c ( E o l A B)]ezwt
Notant que Eoii A B = O, et par identification suivant les différents vecteurs de base
du trièdre, il vient :
(2.126)
(2.128)
Solution de (2.126)-(2.128).
Une solution particulière simple est alors ci = b = i: = O ; la valeur des coeffi-
cients est dans ce cas :
(2.129)
de sorte que :
b = % (1 - B2q,b
awm, awm,
-) , c’est-à-dire b (2.130)
Noter que le coefficient b est fini à condition d’exclure la valeur w = w,. Finale-
ment :
w q,2
, b = - iq,
a40 1
a= -~ etc=- (2.132)
wmcy m, (w: - w2) m; (02- w 2 ) ’
t
Mouvement hélicoïdal
t
+ toutes conditions (-il
initiales
t
(+I)
(2.133)
Parce qu’il s’agit d’un mouvement périodique à la même fréquence suivant les 3
axes et en raison des relations de phase particulières entre les 3 composantes de
w2, à savoir -7r/2 pour Eoii et 7r/2 pour Eol par rapport à l’axe (Eo1 A B )
dans le cas où w, > w , nous obtenons de (2.133) une trajectoire, fermée sur
elle-même, correspondant à un mouvement elliptique à trois dimensions qui se
superpose au mouvement hélicoïdal dépendant des conditions initiales (difficile à
se représenter !).
Dans le cas où w = O (champ E constant), nous avons vu que la vitesse w2
décrivait le mouvement (axial et latéral) du centre de guidage6’. En présence
d’un champ E variant harmoniquement, le mouvement de dérive n’a pas lieu :
(2.134)
remarquant que le terme E o l A B / B est de même module que EOL. On peut alors
constater que pour w > w,, la vitesse w21 est principalement61 en quadrature de
phase (en avanc’e pour l’électron puisque qa = -e) avec le champ E 1 alors que
pour w < w,, el1.e est principalement en phase; ceci conduit à la représentation
de la figure 2.11.
LJ > Wce W < Wce
2. A la résonance ( w = w,).
Solution de (2.1:26)-( 2.128)
La solution particulière ne peut plus admettre b = i: = O car, d’après (2.132),
les coefficients b et c tendraient alors vers l’infini. On peut cependant conserver
la solution qui correspond à u = O :
(2.135)
61 L’adverbe principalement est utilisé pour souligner que le terme de plus faible amplitude dans
(2.134) n’est pas forcément négligeable selon la valeur du rapport w / w c e .
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 105
(2.136)
C + 2iwE = -
42 (2.140)
ma
Une solution particulière valable de (2.140) est C = O, ce qui entraîne
que i: = qa/2iwma, d’où :
(2.141)
(2.142)
- Représentation de la solution
0 Le mouvement parallèlement à B est le même qu’en dehors de la résonance (et
il est, évidemment, indépendant de B ) ;
0 le mouvement dans le plan perpendiculaire à B est tout à fait différent. Les
termes liés à Eo1 et (Eo1 A B ) croissent indéfiniment avec le temps, et ce
mouvement tend vers une amplitude infinie : c’est le phénomène de résonance
gyromagnétique ou résonance cyclotron.
Remarques :
1. Si la composante E l du champ électrique tourne en sens inverse du mouvement
cyclotronique des particules et à la même fréquence, c’est-à-dire w = -wc,il ne
peut y avoir de résonance (voir l’exercice 2.7).
2 . I1 est clair que l’amplitude de ce mouvement cyclotronique ne peut augmenter
indéfiniment car :
des collisions peuvent interrompre le mouvement de l’électron (ion) et, de ce fait,
limiter son gain d’énergie,
de toute manière, la croissance du rayon de giration de l’électron (ion) sera limitée
par les dimensions de l’enceinte.
62 Rappelons que l’axe de guidage est défini instantanément par la ligne de force du champ B
autour de laquelle s’effectue le mouvement cyclotronique.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 107
(2.144)
et (2.145)
dB
VAE=--, (2.146)
at
63 On pourrait équivalemment définir l’adiabaticité de p. sur une inhomogénéité spatiale : c’est une
question de repère. Si B est inhomogène dans le repère du laboratoire, dans le repère de la
particule, B varie avec le temps.
108 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
champ qui peut accélérer (décélérer) les particules. Ainsi, dans la direction perpendi-
culaire à B , nous pouvons écrire (2.11) que :
(2.147)
où E est le champ induit par B . Dans ce cas, la variation d’énergie cinétique sur une
période 2.ir/wC est donnée par :
(2.148)
(i
6 -maw: ) =$q,E.dl=q,,
J’J (V/\E).dS (2.149)
S
et, (2.150)
(2.151)
(2.152)
de sorte qu’en comparant (2.152) et (2.153), il est clair que d p / a t = 0, ce qui montre
que le moment p est une constante quant au temps.
2.2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 109
V.B=O (2.155)
(qui signifie que les lignes de champ magnétique doivent se refermer) et de l’exprimer,
compte tenu de la symétrie du problème, en coordonnées cylindriques (où les unités
locales de longueur sont respectivement el = 1, e2 = 1 et e3 = r pour les coordonnées
z , r , ‘p)65 ; nous obtenons :
d
V . B = -B,
I d
+ --(rBT) i a
+ --Bp =O. (2.156)
dz r dr r 89
64 Comme B est constant dans le repère du laboratoire, il n’y a pas non plus de champ E associé
à B par la relation de MAXWELL V A E = - a B / d t , ce qui n’est pas le cas dans le repère de la
particule !
65 De façon générale, la divergence d’un vecteur a pour expression (annexe XIX)
1
+ +
V . B e i=e mL [ai(eze3Bi) û z ( e i e 3 ~ z ) & ( e i e z ~ s ) ].
où V . B est en fait un pseudo-scalaire (voir annexe VII).
110 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
Par construction, la figure 2.12 présente une symétrie axiale, c’est-à-dire dB,/ôcp = O,
de sorte que
I d a
- - ( r B T ) = --BZ, (2.157)
r dr az
ce qui implique que l’inhomogénéité du champ B suivant sa propre direction ne peut
exister sans que celui-ci ne possède une composante transversale, qui est B, dans le
cas présent.
1. Expression de B au voisinage de l’axe pour un champ faiblement non uniforme.
Considérons a priori qu’on connaît en T = O l’expression de B , ( z ) et de son gradient
axial, ( d B , / d ~ ) ~ =Par
, , . ailleurs, nous pouvons nous aider de la figure 2.12 pour
voir que B, passe radialement par un maximum sur l’axe de symétrie, et donc en
r = O, dB,/dr = O. Nous allons maintenant considérer qu’au voisinage de cet axe,
( d B / d ~ ) , ?2~ constante, ce qui fait que la composante B, est indépendante de
r au second ordre près. Dans ces conditions, par intégration de (2.157) sur r au
voisinage de l’axe :
Nous constatons que la correction liée à la composante B, est d’autant plus im-
portante que le gradient axial est fort et que nous nous éloignons de l’axe. Selon
nos hypothèses de calcul, cette correction est d’ordre un, en fait linéaire en r au
voisinage de l’axe.
+
Puisque la composante B, est nulle, et donc que B = êTBT ê,B,, nous pouvons
exprimer B en coordonnées cartésiennes de la façon suivante :
I dB, 1 aB,
B = --3; (K) êY+ B,ê, . (2.160)
2 x=y=o ex - iy
2. Trajectoire de la particule chargée da,ns le champ B obtenu.
Nous devons résoudre : maw = q,(w A B ) . (2.161)
(2.163)
wy = wYoC O S W , ~ , WY 0 sinw,t
y =- . (2.167)
WC
Ce repère est tel que, pour w, > O et B entrant dans la feuille, les électrons tournent
dans le sens anti-horaire : pour le voir, considérer les valeurs de z et y en t = O et en
t = 7r/2wC.I1 y a donc eu changement de convention, et pour rétablir le mouvement
dans le bon sens, il nous faut poser w,, = -eB/m au lieu de we, = e B / m .
(2.170)
(2.171)
D’autre part, à partir de (2.172)’ nous pouvons écrire le travail élémentaire effectué
par la particule dans le champ B en termes de l’énergie cinétique parallèle à B67 :
ou encore : (2.177)
Ce résultat signifie que si Bi1 augmente, il faut que W , augmente, de façon à ce que
le rapport W _ L / Bdlvmeure
I~ constant. Lorsque la particule entre dans la zone miroir,
son énergie Wil va décroître, puis s’annuler pour augmenter de nouveau quand
elle aura été “réfléchie”. Comme W i augmente dans le col et que r g = W i / B , la
question se pose de savoir si r g ne va pas croître au point où la particule toucherait
la paroi. En fait, la valeur de rg dans la zone miroir diminue car la valeur de B y
augmente plus .
6. Cône de pertes du miroir magnétique d’une machine linéaire.
Considérons la configuration typique d’une machine linéaire à confinement magné-
tique, avec un miroir en chaque extrémité telle que décrite en figure 2.14. Nous
allons chercher à déterminer les conditions qui font que les particules incidentes
vont sortir de la machine, c’est-à-dire “passer à travers le miroir”.
”.t
B,,,
..... j-
..................
(2.178)
(2.179)
avec wg = JGK.
Dans l’hypothèse où le champ B varie lentement suivant z et en l’absence de champ
E appliqué, nous savons que m,w0/2 = constante (seul le rapport wl/wlI peut
varier) et que le moment magnétique p est, en première approximation, constant.
Par conséquent, si le :;radient de Ell est positif (zone miroir), le rayon de LARMOR
diminue
effectivement quand Ell augmente.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 115
(b)
Figure 2.15 - a) Orientation du woL
vecteur vitesse par rapport à l’axe
dans la zone à champ B uniforme
(NO)et dans la zone miroir ( a );
b) décomposition de la vitesse w o
suivant l’axe z ( w o ~ /et) perpendi-
culairement à celui-ci ( ~ 0 1 ) .
On peut ainsi établir une relation entre la vitesse dans la région à champ uniforme
et celle dans le miroir en notant, que (2.145) :
1
Zm,wi sin2 cy0 -
~1 m , w2osin
. 2
cy
/I = -
B ’ (2.180)
BO
où w l = wo sin Q dans la région du miroir, de sorte que :
(2.183)
et finalement : (2.184)
116 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
(2.187)
69 Bien se rappeler qu’un flux est par définition toujours évalué normalement à la surface qu’il
traverse.
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 117
(2.188)
ce qui donne
1
d’où finalement : c,=1--. (2.189)
R
Remarques :
1. La fraction des particules réfléchies est d’autant plus grande que R est grand,
c’est-à-dire que B,,, est important devant Bo.
2. Les campagnes de mesure par satellite ont permis de mettre en évidence l’existence
de ceintures (couches) de particules chargées de grande énergie entourant la terre.
Ces particules, d’origine cosmique, sont piégées dans le champ magnétique terrestre
et réfléchies aux pôles : à cet endroit, en effet, les lignes de force du champ B
terrestre se resserrent, faisant office de miroir.
3. Les particules confinées dans un système ayant un miroir à chaque extrémité vont
effectuer un mouvement périodique entre ces deux miroirs (voir exercices 2.15
et 2.16).
Si le champ était uniforme (/3 = O), nous aurions une giration cyclotronique de rayon
constant dans le plan xOy (trajectoire en pointillé sur la figure 2.17). A cause de
l’inhomogénéité du champ dans ce plan (/3 # O), la trajectoire n’est plus tout à fait
circulaire et elle ne se referme pas sur elle-même, comme le montre la figure 2.1770 :
cela vient de ce que le rayon de LARMOR diminue, de même que le rayon de courbure
70 Selon notre hypothèse d’adiabaticité, il faut plusieurs girations complètes pour que ce phénomène
se manifeste.
118 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
W = + ~ A R , (2.192)
ma
2.2 - ANALYSEDE CAS PARTICULIERS DE E ET B 119
-
dans le laboratoire. Noter que
R est perpendiculaire à la tra-
jectoire cyclotronique au point
considéré et que R, = r R . + X O
WAB=-(BAR)AB. (2.193)
ml2
(2.198)
(2.200)
dw
nous aurons : ma- A B = qa(wii- W ) B ,~ (2.203)
at
expression que nous substituons dans le troisième terme de droite de (2.200).
Après réorganisation, (2.200) donne :
1 ma dB
5=w+ [qa(-w + wll)B2] - ~-
qaB3 dt
(wA B ) , (2.204)
at 4aB
de sorte qu’en simplifiant, nous obtenons l’expression de la vitesse du centre de
guidage dans le repère du laboratoire :
(2.205)
72 Si B est non uniforme spatialement dans le repère du laboratoire, il varie avec le temps dans le
repère de la particule.
7 3 Si on tenait compte de dêB/dt, sa contribution serait d’ordre 2 dans une expression qui est
d’ordre un. En effet, dêB/dt = (dêB/dy)dy/dt est un terme d’ordre 2.
2.2 - ANALYSE
DE CAS PARTICULIERS DE E ET B 121
(2.208)
que l’on peut transformer, sachant que dans un trièdre droit (par opposition à
un trièdre gauche) -ez = ê, A ê y , en :
w: 1
WDM = ma-- ( BA V B ) (2.209)
2 4aB3
ou, encore : (2.2 10)
(2.211)
où p est le rayon de courbure (voir figure XIII.l). Cette expression nous sera utile
pour fins de comparaison avec la vitesse de dérive de courbure magnétique dont
nous allons maintenant chercher l’expression.
”f
Pour cela, il nous faut connaître l’expression de la force exercée par la courbure
des lignes : la particule dans son mouvement le long de ces lignes de champ
incurvées ressent une force centrifuge dont le terme d’inertie correspondant est
de forme classique :
?ï-L,W2
FDC = -~ ‘I êY (2.215)
P
où wll est la vitesse parallèle à la ligne de B en un point donné et êY est le
vecteur de base lié au système de coordonnées de la part,icule et dirigé vers le
“centre instantané de rotation” : nous aurons donc p = -pêy. D’après (X11.2), la
vitesse de dérive de courbure de champ magnétique est alors :
(2.216)
ou encore : (2.217)
(2.218)
f t t
Signe de Dérive Dérive de
la charge magnétique courbure magnétique
76 Sauf dans les structures où la configuration magnétique est refermée sur elle-même (structure
magnétique à symétrie de révolution, par exemple).
77 Attention : suivant y dans ce qui précède.
124 2 - MOUVEMENT
INDIVIDUEL D’UNE PARTICULE CHARGÉE DANS E ET B
Les deux dérives magnétiques (2.218) créent une séparation de charges suivant
y (électrons vers, le bas, ions vers le haut : utiliser (2.210) où apparaît qcu pour
fixer le sens de la dérive).
- Cette séparation de charges engendre un champ E (perpendiculaire à z et x),
dirigé vers le bas, qui s’oppose au courant des dérives magnétiques, donnant
lieu à un courant net plus faible.
Les champs E et B vont provoquer une dérive électrique qui est orientée selon
E A B (cas de champs croisés, page 96). Dans la dérive électrique, ions positifs
et électrons se déplacent dans la même direction : dans le cas présent, ils se
dirigent vers la paroi extérieure du tore (règle du produit vectoriel appliqué à
un trièdre droit : -êY A êz = -ê2). Ces particules sont alors “perdues” pour
le plasma de fusion : il y a recombinaison et perte d’énergie de ces particules,
sans compter le:; dommages infligés à la paroi.
DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE
D’UN PLASMA
Au chapitre 2, nous avons analysé le mouvement d’une particule chargée isolée, c’est-
à-dire sans interaction aucune avec d’autres particules, et soumise à des champs élec-
trique E et magnétique B appliqués de l’extérieur. Dans le présent chapitre, nous
abordons un modèle qui considère un ensemble de Particules : le mouvement de ces
particules chargées engendre de façon auto-cohérente des champs électriques et magné-
tiques dits induits auxquels s’ajoutent, le cas échéant, les champs imposés au plasma
de l’extérieur. De plus, à la différence du chapitre 2, nous prenons maintenant en
compte les collisions. Ce modèle est de type hydrodynamique, c’est-à-dire que les para-
mètres descriptifs correspondants du plasma (densité, diffusion des particules, vitesse
2) du fluide, température, pression cinétique . . . ) sont des valeurs moyennes prises
sur une distribution des vitesses dans un volume élémentaire, valeurs dites macro-
scopiques.
Ces différentes conditions sont généralement réalisées dans les plasmas de laboratoire :
à titre indicatif, un cube de gaz de 10 pm de côté contient, à la pression atmosphérique,
2,7x lo1’ molécules.
126 3 - DESCRIPTION HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Cette description maci~oscopiquedu plasma est analogue à celle des fluides ordinaires
où, en effet, les particiiles d’un même élément de volume se meuvent for-
mant un milieu contin.u bien que discont,inu à l’échelle moléculaire.
78 En fait, des particules passent d’un élément de volume à un autre, mais le nombre moyen de
particules dans chaque élément de volume reste à peu près constant ou varie lentement.
+
79 Le terme J A B, la partie magnétique de la force de LORENTZF = q ( E w A B), est aussi
appelé force de LAPLACE. Le terme J . E décrit le transfert d’hergie du champ E aux particules
chargées, et s’apparente à la loi d’OHM ( P = V I ) . Du fait que J = D E ,on obtient J . E = DE’,
terme dit de chaufjage par effet JOULE.
80 Dans le cas gknéral, il convient d’utiliser le tenseur (hydrodynamique) de pression cinétique, 3,
tenseur d’ordre 2 (0 3.3 et E: 3 . 5 ) .
3.1 - EQUATION
DE BOLTZMANN 127
3.1. CONSIDERATIONS
ÉLÉMENTAIRES
SUR L’ÉQUATION DE BOLTZMANN
Avant de décrire davantage l’approche hydrodynamique, nous allons donner quelques
rudiments de théorie cinétique.
et nous pouvons donc exprimer la variation totale, d f l d t , de f entre les deux points,
par tranche élémentaire de temps dt, sous la forme :
3
df N wi-af + Fi 8.f
-~ af = w . V,f
+- +F - . V,f +-
af (3.3)
dt i=l dXi
i=l
mawi at m at
+ +
81 Rappelons que f(z A z ) Y f(z) (af/az)Az où Ax est très petit (développement limité au
premier ordre).
3.1 - EQUATION
DE BOLTZMANN 129
3 . 1 . 2 . APPROXIMATION
DU TERME DE COLLISIONS ÉLASTIQUES
DE BOLTZMANN
: RELAXATION DE LA FONCTION
DE DISTRIBUTION VERS UN ÉTAT ISOTROPE
qui, sous cette forme, est dit opérateur d e relaxation uers la fonction isotrope fo(r,w)
où w indique une vitesse scalaire : fo représente la distribution des vitesses en absence
de force F , et f(r,w ;t ) décrit la fonction de distribution au temps t , en présence de
F ou peu de temps après qu’on aura supprimé F , v(w)étant la fréquence de collision
microscopique.
- t ) vers la fonction isotrope fo(w)
Evolution en fonction du temps de f(w,
Pour faciliter la dénionstration, nous supposerons le plasma uniforme spatialement,
d’où 0,f = O et J’(r,w,t) = f(w,t). Examinons ce qui se passe pour t 2 O si
à partir de t = O, F est maintenant nulle. L’équation de BOLTZMANN se réduit
alors à :
af = -v[f(w,t)- fO(W)l . (3.9)
at
Puisque = O, l’équation (3.9) est équivalente à :
at
(3.10)
(3.13)
qui montre qu’il y a relaxation vers l’isotropie si le membre de droite tend vers
zéro, c’est-à-dire que la valeur de F n’est pas trop élevée et que les collisions sont
suffisamment nombreuses.
83 L’évolution en fonction du temps dépend alors uniquement des collisions et non pas des propriétés
a
du milieu qui varieraient en fonction du temps selon le terme f /at.
3.1 - EQUATION
D E BOLTZMANN 131
A l’ordre 2 d’itération.
f ( ” ( w , t ) = fo(w) - ’
“
w V,f(l) + - . V , ‘ p
rn I (3.15)
où : (3.18)
Ce type de solution permet aussi de traiter des déviations à l’isotropie par rapport à
f b r . I1 faut cependant, dans tous les cas, que f ( r ,w , t ) ne soit pas trop éloignée de
l’équilibre de MAXWELL-BOLTZMANN.
132 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
D É V E L O P P E M E N T ;EN H A R M O N I Q U E S S P H É R I Q U E S
D A N S L’ESPACE DES VITESSESs4
La présence d’un champ électrique rend la distribution f anisotrope. Son degré d’aniso-
tropie demeure faible dans la mesure où la vitesse dirigée engendrée par le champ
électrique est plus petite que la vitesse moyenne d’agitation thermique. La méthode
proposée par W.P. ALLISconsiste à développer f ( ~w , t ) en ayant recours aux har-
moniques sphériques (polynômes de LEGENDRE) (voir anriexe XIV) selon :
3 . 2 . FONCTIONS
DE DISTRIBUTION DES VITESSES
ET NOTIONS DE CORRÉLATION
Cette intégrale est égale à l’unité parce qu’une telle probabilité additionne tous les
cas possibles et est donc, du point de vue statistique, une certitude.
~ La probabilité de trouver la particule 1 (discernable) en rl, w1, quelles que soient
les positions et les vitesses des autres particules’ est donnée par l’intégration de
(3.20) sur tous les éléments de volume à l’exception de drldwl :
3.2.2. FONCTION
D E DISTRIBUTION S I M P L E
(CAS DE PARTICULES CORRÉLÉES)
f l ( r l , w l , t )d r l dwl =
1
134 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
qui est l’expression de la fonction simple obtenue à partir d’une situation de cor-
rélation totale des particules. Puisque les particules sont indiscernables (propriété
quantique), nous enlèverons les “étiquettes” sur celles-ci. La fonction f i permet de
connaître le nombre de particules présentes en un point donné de l’espace des phases,
indépendamment des particules situées en un autre ou en d’autres points de cet espace.
L’intégration de l’expression (3.24) sur d r l d w i , conduit; par définition, à :
I‘ fi(r,w,t)drdw= N . (3.26)
3.2.3. FONCTION
DE DISTRIBUTION SIMPLE
(CAS DE PARTICULES N O N CORRÉLÉES)
Considérant, une foi:; de plus, que les particules sont indiscernables, les densités de
probabilité individuelles sont donc égales, alors :
2, = ( 2 ) o ) N . (3.28)
de sorte que :
s Do d r dw = 1 (3.29)
f i ( r , w , t )= N D O
[I I”’
Dodrdw = NDO. (3.30)
3.2.4. FONCTION
D E D I S T R I B U T I O N DOUBLE
(CAS DE PARTICULES CORRÉLÉES)
1
D ( r l ,tu1,. . . , r N , W N ) dr3dws . . . drNdwN d r l dwl dr2 dw2 .
pouvant occuper deux points donnés de l’espace s’obtient, par analogie avec (3.23),
en multipliant (3.31) par le nombre total de couples ordonnés qu’il est possible de
former avec N particules, soit N ( N - 1) :
t )l d w d7-2 d
f 1 2 ( r l , w l , ~ 2 , ~ 2d, r w=
conduit au nombre total de couples (ordonnés) de particules que l’on peut formers6.
La fonction double est particulièrement adéquate quand il s’agit de décrire des col-
lisions binaires : dans ce cas, les couples de particules animées des vitesses w, et
wwp avant collision interviennent dans le terme collisionnel notamment par la fonction
double f a a (voir la remarque 1 qui suit la relation (3.7)). Le recours à un couple de
particules ordonné est arbitraire mais raisonnable dans de nombreux problèmes où
les deux points jouent un rôle différent, du fait, par exemple, d’un environnement
physique différent (forces en présence, inhomogénéité spatiale).
3.2.5. FONCTION
D E D I S T R I B U T I O N DOUBLE
(CAS DE PARTICULES N O N CORRÉLÉES)
(3.34)
86 Par exemple, sur N = 3, il y a bien 6 couples ordonnés possibles : 12, 21, 13, 31, 23 et 32.
136 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
3.2.6. FONCTION
DE DISTRIBUTION À N-TUPLES
Dans ce cas, par généralisation de (3.32), nous savons qu’il faut écrire, alors dans le
cas de particules corrélées :
3 . 3 . FONCTIONS DE DISTRIBUTION
ET GRANDEURS HYDRODYNAMIQUES
La fonction de distribution simple des vitesses nous permet de calculer, pour chaque
position r et au temps t , la valeur m o y e n n e de certaines propriétés moléculaires (aussi
appelées corpusculaires ou microscopiques). I1 en résulte ce qu’on appelle les grandeurs
hydrodynamiques ou macroscopiques. Soit T(r,w , t ) , une propriété moléculaire quel-
conque (T est la lettre grecque majuscule upsilon). La définition la plus générale de
sa valeur moyenne, notée (T(r,t ) ) ,est donnée par l’expression :
(3.38)
n ( r ,t ) =
J’
W
f(T, w , t ) dul . (3.39)
DÉFINITION D E Q U E L Q U E S G R A N D E U R S H Y D R O D Y N A M I Q U E S C O U R A N T E S
(3.42)
W
g ( r ,v ,t ) = ma
s
W
( w - w ) 8 ( w - w )f ( r ,w , t ) dw (3.43)
GRANDEURS
H Y D R O D Y N A M I Q U E S DANS LE CAS P A R T I C U L I E R 06
f ( r ,w , t ) EST SEPARABLE
LA FONCTION
J
W
h(w)dw = 1 (3.45)
v= J w h ( w )dw (3.46)
W
-
J'
ik = m c u n ( r , t ) (w
W
- v) 8 ( w - v ) h ( w )dw . (3.48)
87 La signification de cette grandeur est discutée plus loin en 5 3.5. Remarquons que (w-w)@(w-w)
représente un produit tensoriel engendrant un tenseur d'ordre 2 (voir l'annexe VI1 pour des
notions sur les tenseurs). A noter que la densité n ( r ,t ) n'intervient pas explicitement dans la
définition (3.43) de g ( ~ , t ) .
138 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Remarques :
1. Dans ce qui suit, nous utiliserons la notation f pour la fonction de distribution des
vitesses, qu’elle soit séparée ou non : si l’argument de f ne contient pas le vecteur
position T , la fonction doit être considérée comme ayant été séparée, c’est-à-dire
f ( w ) h(w).
2. Une condition suffisante pour que f soit séparable est que le plasma soit uniforme
en densité.
W
J’ dw = 4~
f(w,t)
W
fO(w)w2 dw = 1 . (3.49)
u, I= - J’ 2 ~ ( w c o s û ) f ( w , t ) wd(cos8)
~ dw . (3.50)
8x0 w=O
+ J’]:[
00 03
1 1
(3.52)
3.4. CONDUCTIVITI~S
CINÉTIQUE ET HYDRODYNAMIQUE
DES ELECTRONS D’UN PLASMA EN PRÉSENCE
HF
D’UN CHAMP ÉLECTROMAGNI~TIQUE
La conductivité électrique est une grandeur essentielle dans la description d’un plasma
puisqu’elle permet d’établir un lien entre les particules chargées en mouvement et le
ou les champs électriques avec lequel ou lesquels elles interagissent, champs aussi bien
appliqués de l’extérieur qu’engendrés par le mouvement des particules chargées elles-
mêmes. La Conductivité électrique se retrouve aussi bien dans la description cinétique
que dans le modèle hydrodynamique.
Nous commencerons par dériver l’expression de la conductivité des électrons sous
sa forme cinétique, qui fait intervenir la fonction de distribution des vitesses des
électrons. Nous en déduirons la conductivité hydrodynamique dont la relation avec la
conductivité cinétique fait apparaître la notion de fréquence effective de collision. Nous
btablirons enfin les diverses expressions de la conductivité en présence d’un champ de
haute fréquence (HF) en prévision du traitement des décharges HF au chapitre 4.
(3.53)
Dans (3.53)’nous avons négligé l’effet sur les électrons du champ H de l’onde électro-
magnétique et nous avons supposé que la longueur d’onde est beaucoup plus grande
que les dimensions du plasma : c’est l’approximation électrostatique permettant de
négliger le terme eëiBz dans le terme de phase eëi(pzëwt)du champ HF. De plus,
nous ferons l’hypothèse qu’en l’absence du champ E , la fonction de distribution des
88 On pourrait traiter le cas d’un plasma inhomogène de la même façon pourvu que la fonction f
soit séparable.
140 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
particules, créées par un mécanisme autre que celui du champ HF, est f o ( w ) , une
fonction isotrope mais pas forcément maxwellienne.
Pour résoudre (3.53), compte tenu de l’anisotropie due à E , supposée faible, nous
utilisons le développement en harmoniques sphériques de la fonction de distribution
des vitesses. En nous limitant au premier ordre, il vient :
(3.54)
(3.56)
eEo afo
+iu]= ~-
f1(w)[v(w)
(3.58)
me dw ’
d’où : (3.59)
3.4 - CONDUCTIVITÉ DES ÉLECTRONS D’UN PLASMA 141
J -nev, = -ne
J’
W
w , f ( w , t ) dw . (3.60)
En utilisant (3.52) qui donne v, précisément pour une fonction f séparée, il s’ensuit
que :
J = -ne-
47r
3 .i;
O
w3f1(w,t)
dw (3.61)
J ---E
47r ne2
3 me
Oeiwt 1
00
O
1 dfo
-w
v(w)+ iw dw
3
dw (3.62)
~ Expression de la conductivité
Posant J = a E ,nous obtenons de (3.62) par identification
(3.63)
o r --
‘7r ne2
3 me
00
J’ dw
O
[ w3
v(w) f i w
1
fo(w)dw (3.64)
+
(Attention : e p = 1 i o / w ~ osi E = Eoeëiwt)alors de (3.63)
EP =1 + WEe
--
w 3
47r
s
O
w-iv(w)
afO(w) w 3
dw
dW (3.66)
142 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
a = -3 m,(v
me2 +
i w )- T f o ( w ) 3w” dw = me(v +iw) [I~!fo(ii;)w~ dii;] (3.67)
O
\ Y
/
=1 d’après (3.49)
ne2
d’où (3.68)
O =
+
me(v i w ) ’
qui est la conductivité (hydrodynamique) de LORENTZ.
Remarque : Nous avions déjà rencontjré cette expression de la conductivité O au
chapitre 2 (équation (2.39)), en considérant l’électron comme se mouvant dans un
milieu hydrodynamique visqueux (terme de force de viscosité -vu dans l’équation
du mouvement (2.27)). On voit ici que la véritable condition permettant d’obtenir
(3.68) est bien v(w)== constante, v(w)étant la fréquence microscopique de collision
électron-neutre pour le transfert de quantité de mouvement. Rappelons que, dans ces
mêmes conditions, la permittivité du plasma est donnée par (2.41) :
E p = l - w;e (3.69)
w(w - i v ) .
et donc (3.70)
où ue = w / ( 2 7 r k B ~ , / r n , ) l / NOUS
~. pouvons alors calculer a si v ( u e )est connue.
EXPRESSION
DE LA FRÉQUENCE EFFECTIVE DE COLLISION
substituant à la fréquence v présente dans (3.63) une fréquence effective v , ~ ,que nous
allons maintenant définir. Nous obtiendrons des expressions relativement simples dans
deux cas limites.
1. Le champ E est constant (w = O) ou sa pulsation w est telle que w < v. Dans cette
limite dite du courant continu (CC), la conductivité de LORENTZ(3.68) prend la
forme (purement réelle) :
ne2
g=- (3.71)
me v
(3.72)
Nous pouvons exprimer (3.72) sous la forme (3.71) à condition d’introduire dans
(3.72) une fréquence effective veff(cc)
telle que :
(3.73)
ne2
(3.75)
me
(3.77)
afin de pouvoir exprimer la conductivité, dans cette limite, sous sa forme lorentz-
ienne :
(3.78)
144 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D ’ U N PLASMA
dans (3.76) se ramcine bien à celui de - i / w dans (3.75), il suffit de savoir que le
terme
;
J ‘ 3 l J 3 dw
vaut l’unité, ce qui :s’obtient en l’intégrant par parties, puis en appliquant la condi-
tion de normalisation (3.49) :
3
J’ Z w 3 dw = -3
4*
3 s f o w 2 dw = 47r
s fow2 dw = 1 .
3.5. EQUATIONS
DE TRANSPORT
W
T g dw +
W
Y’W . v, fa dw +
s
W
T-
fa
. Owfadw =
s
W
TS(f,)dw . (3.79)
TERME
DE VARIATION TEMPORELLE ( lER
TERME)
(3.80)
W W W
soit :
W
/-T g dw = -
d
at
d t [n(Y)] - n(-)
dY
, (3.81)
TERME
FAISANT INTERVENIR LE GRADIENT SPATIAL DE f (ZE TERME)
/Tw.Vfdw=V. (3.82)
W W W
soit :
TERME
FAISANT I N T E R V E N I R LE G R A D I E N T D E f
DANS L’ESPACE DES VITESSES (3ETERME)
J’ J’ / Y 5 af dw,
m dw,
dw, dw,
(3.84)
où le premier terme de droite de (3.85) est nul puisque f(*cm) = O. Le second terme
se calcule facilement si on suppose que :
(3.86)
Cette condition est satisfaite pour les deux types de force que nous allons rencontrer :
~ force due à un champ électrique E . Cette force, qui agit sur les particules chargées,
est effectivement indépendante de leur vitesse ;
90 Une façon simple de ‘Ijustifier” cette transformation : considérer d’abord l’action de l’opérateur V
sur w T f , puis effectuer la contraction (produit scalaire) sur les tenseurs ainsi formés (annexes VI1
et VIII).
146 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
- force due à un champ magnétique B . La composante de cette force dans une direc-
tion donnée ne dépend que des composantes de la vitesse suivant les deux autres
directions.
Selon (3.86)’ F, étant, une constante par rapport à w,,on peut donc l’exclure de la
dérivée dans (3.85) et le terme comportant la force F (3.84) peut s’écrire :
J’ Tf . V,f dw = - n ( -F. V I T ) .
(3.87)
m
W
En reportant les expressions (3.81)’ (3.83) et (3.87) dans (3.79)’ on obtient l’évolution
de la grandeur macroscopique de la variable microscopique T :
Nous allons maintenant utiliser cette relation pour obtenir les différents moments
hydrodynamiques.
Cette équation décrit le transport des particules (leur flux), compte tenu des diverses
actions qu’elles subissent (champ de force F et collisions). Elle correspond à la variable
microscopique :
T=1, (3.89)
dT
de sorte que : -=O, vr=o, v,r=o. (3.90)
at
L’équation (3.88) se réduit alors à :
dn
-
at
+ V . nv = J ’ S ( f ) dw . (3.91)
W
C O L L I S I O N N E L : HYPOTHESES
TERME RETENUES
Un autre cas possible, plus habituel, est celui où, à l’état stationnaire (&/at = O), le
nombre de particules, créées en volume, est exactement compensé par le nombre de
celles qui se recombinent aussi en volume (les pertes sur les parois sont alors négli-
geables : voir la remarque qui suit). Nous examinerons plus loin d’autres hypothèses
pour cette intégrale de collision (voir aussi DELCROIX et BERS,appendice A9-1, pour
une étude plus détaillée).
Remarque : D’une façon générale, dans un plasma, il y a création de particules char-
gées en volume (par exemple, ionisation par collisions électron-neutre) et destruction
de celles-ci soit par recombinaison en volume, soit par recombinaison sur les parois
à la suite de la diffusion des particules vers celles-ci ( 5 1.8). Dès l’instant où il y a
pertes par recombinaison en volume, l’intégrale du terme collisionnel prend la forme
complète suivante :
J’
W
S ( f ) d w = (Vi - Dr)n , (3.93)
J’
v
dV = 1
v w
J ’ S ( f ) d w dV - J’V ,nu dV
V
, (3.94)
(3.95)
92 Ecrire l’opérateur de collision S(f) sous la forme (ajlat),,, a l’avantage de faire ressortir qu’il
s’agit d’une variation de f en fonction du tenips qui résulte des collisions (voir equation (3.5)).
148 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Y=mw, (3.96)
dY
soit encore : - -- 0 , VY=Q, VwY=ml, (3.98)
at
où I est le tenseur idlentité d’ordre deux, tenseur qui a pour composantes 6ij où S i j
est le symbole de KRONECKER ( S i j = 1 si i = j,6 i j = 0 si i # j ) . L’équation (3.88)
s’écrira donc :
a
-
at
[ n m ( ~+) V ( F].I )
] . [ n m ( ~-~n )
J’
W
dw),
m~S(f (3.99)
w=w+u (3.100)
93 Le terme (nrn)(ww) est une densité (à cause de n ) totale d’“agitation” alors que (nrn)vw est une
densité d’“agitation” cle convection et (nrn)(uu), une densité d’“agitation” purement thermique
(aléatoire en direction). Certains auteurs utilisent le terme a g i t a t i o n pour désigner une grandeur
qui a les dimensions d’une énergie et dont le caractère tensoriel prend en compte les anisotropies
du milieu.
3.5 - EQUATIONS
DE TRANSPORT 149
a
- ( n m ~ )+ V
at
+ V . ( T L ~ W W -) n ( F )
.4 =
J’
W
m ~ S ( f dw
) . (3.104)
a
-(TL~w)
at
+ V . g + n m ( .~V)W+ ~ w ( .V
TLW) - n ( F ) =
J’
W
m ~ S ( f dw
) . (3.106)
En tenant compte de la relation de continuité (3.92) (cas particulier d’un terme colli-
+
sionnel nul) et en notant que a(nmw)/at= m w d n / d t n m d w l d t , la relation (3.106)
prend la forme usuelle suivante :
nm (g + w - V )w + V . g -n ( F ) =
WJ’ m w S ( f ) dw . (3.107)
V.I’V.gdV=
s=av
(3.108)
(u,uy) = I
n
//
wz wz
u, [J’ ]
7UY
uyf dw y dw, dw, = O.
(3.110)
(3.111)
v.g=vp,. (3.113)
n a , ( ~ + W , . ~ J ) ~ ~ + V I > ~ ~ - ~ ~ ~ m,w,S(f,)pdw,,
~ V ~ ~ I E + ~ ~ A B
J
W m
(3.114)
où les champs E et B , dans le cas général, désignent aussi bien les champs appliqués
de l’extérieur que les champs (macroscopiques) induits ; l’opérateur de collision
S ( f a ) p est celui défini par l’expression (3.7).
95 En effet, comme u est par définition une vitesse centrée de moyenne nulle, on a
swiu i f ( w ) dwi = O.
1 dw, dw, = n(u,) = O ,
3.5 - E Q U A T I O N S D E TRANSPORT 151
Pa = CP,,. (3.115)
W e
Pour obtenir une expression décrivant ce transfert net d’impulsion d’un groupe de
particules à un autre (par exemple des électrons aux neutres), nous allons, dans
un premier temps, procéder de façon phénoménologique (expression approchée de
Pa,) puis, dans un second temps, faire appel au calcul exact de ?,p.
Expression approchée de P,, pour les collisions élastiques
Nous avons déjà montré ( 5 1.7.2) que la quantité d’impulsion Ap,, transférée
d’une particule à l’autre lors d’une collision dépend de la vitesse relative entre
deux particules avant collision :
(1.86)
Pour caractériser’ sur toute leur distribution de vitesses, le transfert net d’impul-
sion par unité de volume, AP,p, des particules de type cy, de densité n a , à
l’ensemble des particules de type ,6 (,6 # a ) ,de densité no, nous ferons intervenir
les vitesses moyennes v, et v, plutôt que l’intégrale sur les vitesse w, et wp
(ceci revient à poser que les fréquences de collisions microscopiques va, sont
indépendantes de la vitesse : voir (3.119)). Alors, l’impulsion ’Pa perdue par les
particules n au profit des particules pl par unité de temps et par unité de
volume, est de l’ordre de :
nombre de transferts d’impulsion par
seconde, par unité de volume
4.
&
m,mp
v,Bn,(v, - up) . (3.117)
diminution de l’impulsion
1‘
nombre de transferts
moyenne dirigée (au profit d’impulsion par seconde,
des particules fi) par particule a
(3.118)
~ m,mo/m,
puisque la masse réduite p a E + m, se ramène à m,
152 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Cette relation, relativement simple, obtenue pour le cas des collisions élastiques,
s’applique aussi aux collisions inélastiques dans la mesure où v , est
~ la somme des
fréquences de collisions élastiques et inélastiques exprimées de façon appropriée
et que la fonction de distribution des vitesses est isotrope (GOLANT et al., 3 6.3).
Expression exacte de Pap pour les collisions élastiques
Un calcul rigoureux de P,, donne (GOLANTet al., 3 6.3) :
WWa wu
upol = natuafi
J
O
27r&(û)(1- cosû) sinû dû , (3.121)
(3.122)
96 La fréquence effective de collision vafi est indépendante de la vitesse relative si la section efficace
de collision âafi pour la quantité de mouvement est inversement proportionnelle à la vitesse
relative. On peut montrer que ce cas correspond à un potentiel d’interaction en l/r4, ce qui est
assez bien vérifié pour les collisions entre espèces chargées et neutres.
3.5 - EQUATIONS
DE TRANSPORT 153
PaBW& =0 . (3.126)
(3.129)
97 Dans cette hypothèse, la collision est nécessairement frontale puisque waP = O (3.126) et que
wap, w,o et 2040 sont colinéaires (1.68).
98 Bien noter que, en régime stationnaire, la dérivée totale n’est pas nulle car le terme convectif
w . V subsiste. Seul le terme a/& s’annule.
99 Rappelons que l’équation (3.114), tirée de (3.107), est obtenue à partir de (3.92), l’équation de
continuité sans second membre.
154 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
L’M [dt
du
f (U. v)U] =-vp +*
q,AU + nF (3.131)
\ “ /
1‘
1‘ Terme d’interaction
Force par unité de volume (viscosité)
3.5.3. EQUATIOKS
DU M O M E N T D’ORDRE 2 EN W
EQUATION
DE T R A N S P O R T D’ÉNERGIE CINÉTIQUE
Cette équation est aussi appelée équation du bilan d’énergie. Ce moment correspond
à la variable microscopique :
r = -21m a w 2 (3.132)
dT
qui conduit àioo: -=O, VT=O, V,T=moiw. (3.133)
at
L’équation (3.88) s’éc.rit alors :
= 1 $ ~ , w ” S ( f ) dw , (3.134)
_J IJ
Energie cinétique Energie cinétique
dirigée aléatoire
où : (3.136)
100Noter que (3.132) peul, aussi se mettre sous la forme ‘Y = + m a w .w , d’où V,T = maw (le
gradient d’un scalaire engendre nécessairement un vecteur).
3.5 - EQUATIONS
DE TRANSPORT 155
est le vecteur-flux”’ de l’énergie cinétique totale des particules de type a , aussi appelé
vecteur de flux thermique, et le terme :
Ra = Ra0 (3.137)
Of,
représente l’énergie cinétique totale “gagnée” ou “perdue” par les particules ai à la suite
d’interactions collisionnelles élastiques et inélastiques avec nécessairement les autres
types de particules ; en effet, les collisions entre particules de même espèce ne peuvent
conduire ni à une perte ni à un gain net d’énergie cinétique.
La variation de la densité de l’énergie cinétique totale du fluide de particules a
(membre de gauche de (3.135)) a lieu en raison des trois mécanismes qu’expriment
à tour de rôle les termes du membre de droite : le‘ terme : transport de l’énergie
cinétique d’un point à un autre du plasma du fait d’un gradient spatiallo2; 2e terme :
apport d’énergie au plasma (chauffage) par le courant de particules se mouvant dans
un champ E (loi d‘OHM) ; 3e terme : variation de l’énergie cinétique des particules a
du fait de leurs collisions avec d’autres types de particules.
Le terme de collision Rap résultant des collisions @lastiquesdes particules ai avec
les particules p peut s’écrire, de la même façon que pour le moment d’ordre 1 si la
frequence de collision V,P est indépendante de la vitesse (GOLAKTet al. 5 6.4) :
Ra&?
= -6n,UaB
[
m,u;
~
2
-
rnpug
-
2
3
+ ,kB(Ta - Tp) + (ms 2 m,) (v, . U P )
-
1 ’
(3.140)
On peut remarquer qu’effectivement R,, = 0. Bien que cela se vérifie facilement sur
(3.140)’ il n’est pas nécessaire de supposer que vus est indépendant de la vitesse pour
obtenir ce résultat puisque l’hergie cinétique est un invariant des collisions.
I1 arrive couramment que le gaz soit sans vitesse dirigée (w, = W B = O) ou que toutes
les particules aient la meme vitesse (w, = va). Dans ce cas, les termes contenant w,
et wp se retranchent et il reste :
(3.141)
101 De façon générale, le vecteur nwT(m) est le vecteur-flus de la propriété moléculaire T(2u).
102 Par exemple, dans le cas d’un gradient spatial de température, le flux de chaleur peut s’exprimer
par q, = -X,VT, où A, est la conductibilité thermique de l’espèce cy.
156 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Remarque : Dans le cas des collisions inélastiques, le calcul est beaucoup plus com-
plexe puisque la variation d’énergie cinétique de la particule a est égale à la somme de
la variation d’énergie interne et de la variation d’énergie cinétique de la particule p.
Toutefois, le problème se simplifie considérablement si l’on suppose que la variation
d’énergie cinétique de la particule p est négligeable par rapport à la variation de son
énergie interne, ce qui est précisément le cas des collisions avec les électrons (1.75).
Avec cette hypothèse, pour une fréquence de collision v,p, le terme de collision Rap
résultant des collisions inélastiques des particules a! (électrons) avec les particules p
s’écrit alors :
R a b = -n,VaB&k (3.142)
où l k représente l’énergie seuil de la collision inélastique considérée.
EQUATION
DE TRANSPORT D U TENSEUR DE PRESSION CINETIQUE 9
Ce tenseur est le véritable moment d’ordre 2 en w .
Ce tenseur de pression cinétique (3.43) correspond à la variable microscopique :
1= m,(w - v ) ( w- v) (3.143)
dans laquelle v = V ( T , t ) . En utilisant la relation w = v + u,on obtient :
(3.144)
v a = m,(uI+Iu) (3.146)
où 1 est le tenseur unité d’ordre 2 et l’indice supérieur T indique le transposé de
la matrice représentative du tenseurlo3. Tous ces termes, de nature tensorielle, sont
d’ordre 2. L’équation (13.88) s’écrit alors :
d av au
at [n,m,((w
- - +
v ) ( w- v))] n,ma(u-at + -u)
at
+V . [n,m,(w(w - +
v ) ( w- VI)] n,m,(w. vvu +w . (vvu)~)
- n , % ( F (uJ
. + lu))= WJ VL,(W - V ) ( W - v ) S ( f )dw . (3.147)
103 Le tenseur, d’ordre 2, ‘AT d’éléments a: est le transposé du tenseur de même ordre A d’éléments
cyz3 si cy; = C V ] ~ .Ainsi, V T = -m,(Vwu +
Vuw) = -m,Vwu (rn,Vw~)~.
~
3.5 - EQUATIONS
DE TRANSPORT 157
où : 72, =
- Ca,, (3.149)
Of,
est le terme de collision (annexe XV). En développant l’équation (3.148), on obtient :
a
-(n,m,uu) + (V. w)(n,rn,uu) + (v V)(n,m,uu) + v . n,m,(uuu)
’
at
+ R , ~ , ( u u.)V W + ( n , m , ( ~ ~ - I u ) )= a, . (3.150)
. V) V ) ~n , ( F . ( ~+ 1
I1 faut noter que le dernier terme du premier membre de (3.150) est nul si la force F
est indépendante de la vitesse (cas de F = q,E) : en effet, on peut alors sortir F de
l’expression entre crochets qui ainsi s’avère nulle.
Nous pouvons transformer (3.150) pour l’écrire sous la forme :
Q = ma
-
-
W
s (W - W ) ( W - V ) ( W - v ) f ( r ,W , t ) dw , (3.152)
appelé tenseur de flux d’énergie thermique : c’est un moment centré d’ordre 3 des
vitesses par rapport à la vitesse moyenne de la fonction de distribution f ( r ,w , t ) .
Nous souhaitons modifier le premier terme de (3.151). Pour cela, nous remarquons
que l’équation de continuité (3.92) avec second membre nul peut se développer en :
ûn
-
at
+ ( v .V ) n + n V . 2, =O, (3.153)
v . v = - - - 1 dn (3.154)
n dt
Nous pouvons alors transformer les trois premiers termes de (3.151) pour obtenir :
(3.156)
2 = m,
I
W
(w - v)(w - , , t ) dw
v ) f ( rw
158 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
2 = ma
s
W
wtof dw - m,
s
W
vuf dw = nm,(ww) - nm,uu , (3.157)
3.5.4 EQUATION
DES MOMENTS D’ORDRE S U P É R I E U R
Q (3.152)’ rnonient
On peut écrire l’équation de transport du flux d’énergie thermique -
d’ordre 3 quant à w , et ainsi de suite pour les moments supérieurs, ce qui conduit à
engendrer un nombre infini d’équations hydrotiynamiques.
Remarque : I1 faut, ten général, une série d’équations hydrodynamiques pour chaque
type de particules. Cependant, dans certains cas, le seul fluide d’dectrons rend bien
compte des observations (0 3.7).
3.6. FERMETURE
DES ÉQUATIONS DE TRANSPORT
En somnie, l’évolution d’une variable donnée est toujours dépendante d’une autre
variable dont l’ordre tensoriel lui est supérieur d’une unité. On dit qu’un tel système
constitue une hiérarchie. Dans la pratique, on n’utilise généralement que les 2 ou
3 premiers moments des équations de transport. Pour briser la dépendance hiérar-
chique, il faut poser une hypothèse simplificatrice sur le tenseur d’ordre le plus élevé
apparaissant dans l’équation de transport du moment le plus élevé que l’on désire
conserver, procédure communément appelée fermeture des équations de transport.
Remarque : un problème analogue, mais différent dans sa signification physique, se
pose en théorie cinétique. Ainsi, l’intégration de l’équation de LIOUVILLE dD/dt = O
(2)est la densité de probabilité définie en Q 3.2) sur toutes les positions r i , wi de
l’espace des phases sauf sur r 1 , w 1 conduit & :
af +1
W . VTfl
F
+ m .V w f l
- = S I (f12) ’ (3.158)
at
~
at
+ . Vrf12 + m . VwJf12= S 1 2 ( f 1 2 3 )
- ’ (3.159)
METHODEDE FERMETURE
105 Du nom des physiciens BORN,BOGOLIOUBOV, GREEN, KIRKWOOD, YVON,dans l’ordre alphab&
tique, qui, semble-t-il, est exactement inverse de l’ordre historique.
160 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
sous la forme V .-
,u : (cette hypothèse revient le plus souvent à remplacer ce terme par
une quantité tensorielle d’ordre inférieur. I1 existe différentes façons de le faire (voir
JANCEL et KAHAN,chapitre 8). Parmi les hypothèses simplificatrices de f e r m e t u r e
des équations hydrodynamiques, considérons-en quatre des plus courantes :
1. Plasma froid. On néglige complètement l’agitation thermique : dans l’équation de
transport de la quantité de mouvement, on pose 2 = 0. Les équations hydrody-
namiques décrivant n et ‘u forment alors un système déterminé auquel on pourra
adjoindre les équations de MAXWELL. Le domaine d’application de cette approxi-
mation touche particulièrement :
la description des propriétés d’un faisceau d’électrons,
-les phénomènes ondulatoires dans les plasmas (pour une vitesse de phase très
supérieure à la vitesse moyenne des particules due à l’agitation thermique).
106 Un changement d’étai du système est adiabatique s’il n’y a ni apport, ni perte d’énergie thermique
du système. Deux situations sont possibles : 1) le système est isolé; 2) le processus considéré
(par exemple, la compression du plasma exercée par une onde) est si rapide qu’il ne peut y
avoir transfert de chaleur par conduction. De ce fait, dans cette approximation, on néglige le
terme d’interaction collisionnelle S . La propagation d’une onde sonore est un bon exemple de
compression adiabatique vérifiant la relation (3.163).
3.7 - MODÈLED U PLASMA D’ÉLECTRONS DE LORENTZ 161
(3.162)
C’est la relation d’adiabaticité. Dans le cas où le fluide considéré est isotrope (par
exemple, des électrons en l’absence de champ B) et assimilable à un gaz parfait
de densité n , y, le rapport d’adiabaticité (rapport des chaleurs spécifiques cp/c,),
vaut 513. D’autres valeurs de y sont possibles. Ainsi, pour un écoulement unidi-
mensionnel (linéaire) en présence d’un champ Bo (milieu anisotrope), on utilise
y = 3 pour la compression parallèle à Bo et y = 1 pour la compression perpendi-
culaire à Bo. Plus généralement, si les molécules ont 8 degrés de liberté (vibration,
+
rotation, translation), alors y = 1 218 : ainsi, 8 = 2 dans le cas d’une symétrie
azimutale et 8 = 3 pour une compression de symétrie sphérique à 3 dimensions
d’où, effectivement, y = 5/3.
Remarques :
1. Le cas où y = 513 dans (3.163) est aussi appelé approximation E EULER ou appro-
ximation scalaire (parce que la compression est de symétrie sphérique).
2. L’expression p/nY = constante s’emploie lorsque, par exemple, les particules sont
perturbées par la propagation d’une onde sonore, alors qu’en l’absence de com-
pression et à l’équilibre, p = n1CgT. L’expression pn-7 peut aussi s’écrire pVY =
constante puisque, pour des gaz parfaits, pV = nRT (notation usuelle).
faible que celle des ions et des neutres, nous pouvons considérer les ions et les neutres
comme étant au repos; relativement au mouvement des électrons. La situation se réduit
finalement à ne considérer qu’un fluide d’électrons, qui se déplace au contact d’un
fluide continu d’ions et d’atomes neutres au repos offrant une certaine viscosité au
mouvement des électrons. Quant à l’interaction électrons-ions, en plus de la “viscosité”
que nous venons d’évoquer, elle intervient dans l’équation décrivant le mouvement des
électrons par le champ électrique de charge d’espace donné par l’équation de POISSON.
EQUATION
DU PLASMA D’ÉLECTRONS DE LORENTZ
(3.164)
(3.165)
(3.166)
équation que nous avions avancée antérieurement sans preuve (voir 0 1.7.9, équation
(1.138)) et dont nous pouvons maintenant saisir davantage le contenu physique. Rap-
pelons qu’en plasma froid le mouvement est uniquement créé par le champ &eiWt,
donc v(t) = voeiWt; alors de (3.166) :
-eEo
et finalement : = (3.168)
VIJ
+
m(v iw) ’
de sorte que la densité de courant électronique a pour expression :
J = nqvo = m(vne2
+ i w ) Eo ? (3.169)
ne2
(3.170)
U =
+
m(v iw) .
DIFFUSION
MOBILITÉ
ma V a f i
{ +
qe(E V, A B)- ICBT,- (3.171)
Vna
~ J , ~ -
U ~ ~ AW B)
qcu(V, ~ = q,E - kBTa- . (3.172)
na
Dans ce qui suit, pour alléger l’écriture, nous supprimons les indices Q et p.
La solution générale de cette équation sans second membre est w = O puisque w et
w A B sont orthogonaux. La solution particulière de l’équation avec second membre
sera la somme de deux solutions obtenues séparément :
1. l’une avec Vn = O pour qE # O (vitesse de dérive seule),
2. l’autre avec qE = O pour Vn # O (vitesse de diffusion seule).
La niéthode de solution proposée implique que les deux conditions suivantes soient
remplies :
1. Le terme convectif (w .V)w apparaissant dans l’équation de LANGEVIN (3.130) doit
être effectivement négligeable, ce qui est le cas si la vitesse dirigée totale w est
faible en valeur absolue. Cette condition fait que la somme de la vitesse de dérive
et de la vitesse de diffusion donne bien la vitesse totale due à ces deux phénomènes
combinés.
2. Les vitesses de dérive et de diffusion doivent être petites devant U t h pour que
l’hypothèse d’isotropie des vitesses exigée par la pression scalaire apparaissant dans
l’équation de LANGEVIN soit valide.
3.8 - MOBILITÉET DIFFUSION DE PARTICULES CHARGÉES 165
EXPRESSION
DE LA VITESSE DE DERIVE
(3.178)
En portant cette valeur de pll dans les équations (3.173) et (3.174) qui donnent les
composantes de la vitesse de dérive dans le plan perpendiculaire à B , nous trouvons
respectivement pour u, et vy :
v, = E, , (3.179)
(3.180)
Le tenseur de mobilité
Les résultats précédents peuvent être exprimés en notation tensorielle. Posons à cet
effet :
(3.181)
166 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
p . E , c’est-à-dire v, =
v =- pZ3E3 (3.182)
2
avec : (3.183)
Remarques :
(3.187)
(3.188)
oil v,, est la fréqueiice de collision ion-neutre. !Voter que la mobilité d’un ion positif
est positive alors que la mobilité des électrons est négative ; pour certains auteurs,
les mobilités sont #iucontraire, t0u.join-s définies positives.
3. Noter que si w, + O, le tenseur de mobilité se réduit bien à un coefficient scalaire
de mobilité.
4. Mobilité réduite. Pour un type de particules donné, pll ne varie qu’avec v (3.178). A
son tour, pour une température (ou bnergie moyenne) donn6e des électrons (ions),
la valeur de v ne dépend que du nombre N d’atomes-cibles par unité de volume,
les atomes neutres dans le cas prbsent, de sorte que l’on a intérêt à rapporter les
valeurs de p à une pression et à une température de réfbrence des atomes neutres ;
3.8 - MOBILITÉE T DIFFUSION DE PARTICULES CHARGÉES 167
Pe = Peû-NL ___
“O (273 + T,) = p e û (273 +Tc) (3.189)
Np 273p 273 p’
où Np est la densité de neutres à la “pression” p’ (exprimée en fraction de p ~ et) à
la température T, ( O C ) .
5. Mobilité dans un champ électrique périodique. En nous rappelant que la conducti-
vité de LORENTZdans un champ électrique périodique est donnée par
nee2
=
De
m,(u i w ) +
(voir (3.170)),nous pouvons définir la mobilité électronique correspondante sachant
que = n q p (3.185), d’où :
e
(3.190)
pe = -m,(v iw) ’ +
expression qui donne bien la mobilité en champ E continu (3.176) si l’on fait w = O.
EXPRESSION
DE LA VITESSE D E D I F F U S I O N
(3.191)
(3.195)
168 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D ' U N PLASMA
ce qui nous permet cie récrire les trois composantes de la vitesse de diffusion :
1d n 1d n
V, = -D~---DH--, (3.196)
n dx n dY
1d n 1d n
tiy = DH-- - Di-- (3.197)
n dx n dY
1d n
21, = -DI+- 1 (3.198)
n dz
pour finalement faire apparaître le tenseur de diffusion :
(3.199)
(3.200)
1. Nous venons de définir (3.200) le tenseur 0 de diffusion libre ainsi appelé parce
que la diffusion des électrons (ions) se fait indépendamment de toute interaction
(collective) avec les ions (électrons) : le champ de charge d'espace entre les dif-
férentes espèces de particules chargées n'est, dans ce cas, pas assez fort (densité
faible) pour entraîner un couplage important entre ces deux différentes espèces.
2. Noter que si we -+ O, nous retrouvons bien un coefficient scalaire de diffusion.
3. On peut associer un flux de particules au gradient de densité en remarquant
que :
r z n v = -D.Vn. (3.201)
ï est aussi appelé courant particulaire, qui multiplié par la charge e devient une
densité de courant.
4. Dans le cas général où D dépend de la position et que la fonction de distri-
bution des vitesses microscopiques w est quelconque, on pourrait montrer que
(DELCROIX, 3 1.3.2) :
1
r = --v3
[n(~2/~(w))] , (3.202)
où les crochets désignent une moyenne prise sur la fonction de distribution. De
cette expression, on obtient la forme la plus générale du coefficient de diffusion
en l'absence de champ magnétique B :
1
D = -(w2/v(w)) . (3.203)
3
3.8 - MOBILITÉ ET DIFFUSION DE PARTICULES CHARGÉES 169
(3.204)
COURANT
PARTICULAIRE TOTAL ET DENSITÉ DE COURANT TOTALE
(SOLUTION GÉNÉRALE)
Dans la mesure où les hypothèses sur le vecteur v mentionnées plus haut sont vérifiées
(vitesse 2) suffisamment faible pour négliger le terme convectif, absence de gradient de
température, état stationnaire) et pourvu que la densité d’électrons soit suffisamment
faible pour ne pas entraîner de couplage avec les ions par l’entremise du champ de
charge d’espace, il suffit d’additionner les solutions provenant de (3.182) et de (3.200)
pour obtenir le flux total de particules chargées d’une espèce donnée et la densité de
courant correspondante :
(3.205)
(3.206)
(3.207)
ce qui montre bien que, lorsque u 5 w,, le flux de particules dans une direction
perpendiculaire à B est plus faible que le flux rz (direction de 9); dans le cas où
u < w,, les composantes D L x ( U / W ~ )et~ DI{ D~N ~ (u/wc)Dll sont encore plus
fortement réduites.
Remarque : Cet effet de réduction des pertes dans la direction perpendiculaire à B
peut s’expliquer, en retournant aux trajectoires individuelles ( u = O, E l = O, B =
170 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
êzBo ; page 89, remarque i),par le fait que le rayon de giration cyclotronique de la
particule est de plus en plus petit lorsyu’on augmente Bo. Lorsqu’il y a diffusion des
particules, la giration cyclotronique peut être vue comme une entrave a u mouvement
de diffusion perpendiculairement à B .
- Pertes par diffusion dans une longue colonne de plasma soumise à un champ magné-
tique statique B dirigé axialement.
Dans une colonne de plasma dont le rayon est faible par rapport à sa longueur,
les pertes par diffusion des particules chargées (par recombinaison sur la paroi) ont
principalement lieu dans la direction radiale. Un champ magnétique dirigé axiale-
ment pourra, cependant, réduire substantiellement cette diffusion.
Soit le vecteur
r l c ~ T , u2
._______
mu q2B2
an
m2-=-(
dr
lcBT,mu
q2B2 ) andr
-cc-,
1
B2
ce qui montre que le champ magnétique réduit alors fortement la diffusion.
Remarque : La diffusion de particules chargées perpendiculairement a u champ
B donne souvent lieu à un transport de particules plus important que celui prédit
par le modèle hydrodynamique ; ce type de diffusion est alors qualifié de diflusion
anormale (vis-à-vis du modèle hydrodynamique).
108 Le profil axial de densité n(z)/n(O)d’une décharge en courant continu dépend peu de la longueur
de la colonne de sorte que plus celle-ci est longue, plus d n / d z est faible.
109Comme une seule des trois composantes de Vn est non nulle, en l’occurrence an/&, nous
pouvons en déduire que seul le coefficient D L intervient dans le flux radial à l’origine des pertes
par diffusion, le flux azimutal an sein du plasma, rp = D H û n / d r , ne contribuant pas aux pertes.
3.9 - hfODES PROPRES DE DIFFUSION 171
(3.212)
Les résultats que nous allons maintenant obtenir sont d’une importance capitale dans
l’établissement des conditions d’entretien d’une décharge, particulièrement en ce qui a
trait à l’intensité du champ E présent dans la décharge. Nous établirons au chapitre 4
( Q 4.2) le fait, que cette intensité, dans le cas d’un plasma soumis à la diEusion, est
indépendante de celle du champ électrique appliqué de l’extérieur.
Pour bien comprendre la solution de (3.212)’ il nous faut introduire la notion de modes
propres de diffusion, ce qui se fait avantageusement en post-décharge temporelle.
a coupé le terme source, par exemple le champ HF) en régime de diffusion. L’équation
(3.210) se réduit alor,s à :
dn
- V.(nv) = o .
at
+ (3.214)
En supposant que l’énergie moyenne des particules est spatialement uniforme (hypo-
thèse isotherme) et issotrope (sinon voir l’expression générale (3.202)), nous posons
=
I? nv = - D V n , de sorte que (3.214) devient :
dn
-- DV2n = O. (3.215)
at
où ug est la fréquence caractéristique des pertes par difusion (TD = v o l est un temps
caractéristique de décroissance de la densité du plasma par diffusion). L’équation
(3.215) devient alors :
V2n = - (3) n (3.217)
(3.218)
112 I1 est à noter que l’équation (3.217) ne se limite pas seulement aux particules chargées, mais peut
s’appliquer à toutes les espèces du plasma créées en volume et perdues sur les parois, comme les
espèces neutres excitées, aussi bien atomiques (O, N , H . . . ) ou moléculaires que radicalaires.
113La valeur n ( r = R ) est toujours plus faible que n(r = O) puisqu’en régime de diffusion, la
paroi constitue un endroit où aussi bien les particules chargées que les espèces neutres excitées,
atomiques et radicalaires sont perdues par neutralisation, désexcitation, recombinaison ou ad-
sorption. De manière générale, s’il y a “réflexion” d’une partie du flux de particules sur les parois,
la condition n(r = R ) = O n’est pas valide. C’est le cas en particulier pour les gaz rares et les gaz
moléculaires ( 0 2 , Na,H a . . . ) dans leur état fondamental, pour lesquels le Coefficient de réflexion
est de 100% (pas de ,pertes sur les parois, n ( R ) = n ( 0 ) ) .Pour les espèces neutres excitées ou
dissociées, la désexcitation ou la recombinaison n’est pas totale sur les parois, et une partie du
flux d’espèces est aloris réfléchie. I1 faut donc raisonner, dans ce cas, en termes de flux d’espèces
perdues aux parois et non en termes de densité.
3.9 - MODESPROPRES DE DIFFUSION 173
Cette situation correspond au cas où le plasma est situé entre deux plaques parallèles
(conductrices ou diélectriques), séparées d’une distance L (axe des x) mais s’étendant
à l’infini dans les autres dimensions (axes y et z ) , comme le suggère la figure 3.1.
........................... ........................... *
........._____
io X
Figure 3.1 - Repère unidimensionnel d’un
plasma situé entre deux plaques parallèles L
s’étendant à l’infini et séparées d’une dis- + k
tance L.
(3.219)
où (3.220)
Longueur de diffusion
L 7 r
Pour le mode fondamental, - = -, d’où :
211 2
A =LIT, (3.222)
Pour le mode fondamental, la solution de l’équation aux valeurs propres (3.217) donne
la densité des particulles au point T , z :
n ( r ,2 ) = ni)cos(az)Jo(br) (3.223)
où JO est la fonction de BESSEL de première espèce et d’ordre zéro (figure 3.4) ; les
coefficients a et b obéissent à la relation :
a 2 + b 2 = - uD1
. (3.224)
D
3.9 - MODESPROPRES DE DIFFUSION 175
0.0
de BESSELde première
-0,s ’
O
‘ ’ ‘ ’ ’5 ’ ’ ‘ ‘ I
10
’ ‘ ’ ‘ ’
15
espèce et d’ordre zéro. br
Longueur de diffusion
En exigeant que la densité des particules soit nulle sur les parois (en r = R et z =
+h/2), on trouve a = 7r/h et b = 2,405/R d’où :
+ ( ~ 2) .
- 1= ~ ~ ~ + b ’ = ( i ) ’ 2,405
(3.225)
A2
Dans une colonne cylindrique longue, par définition, nous avons h > R , d’où :
R
A=- (3.226)
2,405
3.9.2. DISTRIBUTION
SPATIALE DE LA DENSITÉ DES PARTICULES
CHARGÉES EN REGIME STATIONNAIRE DE DIFFUSION
Dans le cas d’un plasma faiblement ionisé (ne<< N où N est la densité des neutres),
les collisions électron-neutre sont prépondérantes mais ne sont pas suffisantes pour
que l’énergie moyenne des divers types de particules soit la même ; l’énergie moyenne
des électrons des décharges électriques est en fait supérieure à celle des ions et des
neutres (9 1.4.3). Par ailleurs, l’énergie de ces derniers demeure, dans ce cas, inférieure
au seuil d’ionisation : seuls les électrons assurent donc l’ionisation par leurs impacts sur
l’atome. Nous supposerons, dans ce qui suit, que l’atome est initialement dans l’état
176 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
fondamental avant d’étre ionisé par une seule collision électronique : nous négligerons,
en effet, l’ionisation par étapes où les états excités de l’atome servent de relais vers
l’ionisation. Ceci suppose que ces niveaux intermédiaires n e sont pas très peuplés.
Le terme “source’’ S de l’équation de continuité (3.210) représente un nombre de parti-
cules par unité de volume et par seconde. Comme, par hypothèse, nous sommes en
régime de diffusion, le terme source se limite à l’ionisation. Celle-ci ayant lieu par
un seul impact électronique sur des atomes neutres dans l’état fondamental, nous
pouvons écrire que S = vin où vi = & ( e t i ( w e ) w e ) (1.147) (l’ionisation par étapes
ajouterait une contribution supplémentaire).
EQUATION
DU BILAN DES PARTICULES CHARGEES
Dans les conditions que nous venons de décrire, à l’état stationnaire, l’équation de
conservation des particules dans un plasma en diffusion s’écrit, comme nous l’avons
vu plus haut :
-DV2n = van (3.212)
où les pertes par diffusion des particules chargées apparaissent exactement compensées
par l’ionisation en volume.
Très souvent, nous pourrons supposer que la fréquence va n’est pas dépendante de la
position. Cependant, dans les plasmas produits par des champs HF, u, est fonction de
la variation spatiale du champ E , mais dans la plupart des cas où la diffusion l’emporte
nettement sur la recoxnbinaison en volume cet effet est minime sur la distribution des
particules chargées, précisément du fait du caractère global, par opposition à local,
du mécanisme de diffiision.
Notons que (3.212) possède la même forme que la relation (3.217) décrivant la distri-
bution spatiale de la densité des électrons soumis à la diffusion dans une post-décharge
temporelle : c’est donc une équation aux valeurs propres (les conditions aux limites
sont les mêmes qu’en $ 3.9.1). Par analogie avec 3 3.9.1, nous connaissons la forme des
solutions ; en configuration cylindrique, pour une colonne longue (3.226)’ nous avons :
n ,(r) N ne(?-)
= n(O)Jo(2,405r/R) (3.228)
qui décrit la distribution radiale de densité correspondant au mode fondamental de
diffusion114. Comme pour la solution de (3.217)’ nous poserons cette fois :
(3.229)
D
Récrit sous la forme : u. - 2 (3.230)
“A
ou d’après (3.218) : = VD , (3.231)
nous obtenons ainsi l’tquation d’équilibre en particules chargées d’une décharge à l’état
stationnaire : le nombre de particules créées égale le nombre de celles qui disparaissent
par diffusion. Cette relation porte aussi le nom d’équation du bilan des particules.
114 Cette solution revient à supposer que les contributions des modes supérieurs ne sont pas impor-
tantes : elles disparaissent une fois le régime transitoire d’amorçage de la décharge terminé, de
façon analogue à ce qui se passe en post-décharge.
3.10 - DIFFUSION
EN RÉGIME AMBIPOLAIRE 177
Remarques :
1. Dans le cas où les particules chargées disparaissent (en partie ou en totalité) par
recombinaison en volume, il faut ajouter au terme Si d’ionisation celui de recom-
binaison en volume, par exemple dans le cas d’ions atomiques (1.142) :
S, = -a,,n3 . (3.232)
L’équation d’équilibre en particules s’écrit donc de façon plus générale :
- D U 2 n = vin - a,,n 3 (3.233)
où a,, et vi peuvent dépendre de la position.
Dans une post-décharge temporelle où la recombinaison en volume l’emporterait sur
la diffusion pour ce qui est des pertes de particules chargées, nous serions conduits
à une décroissance de n donnée par :
(3.234)
E N REGIME AMBIPOLAIRE
3.10. DIFFUSION
L’hypothèse, implicite dans 3.8, d’une diffusion libre des électrons, indépendante
de celle des ions, ne vaut que dans la mesure où la densité des charges est faible. En
effet, les électrons possédant un coefficient de diffusion beaucoup plus important que
celui des ions (comparer De O; T,/m, avec Di O: T i / m i ) , leur fuite vers la paroi est
plus rapide115, engendrant un écart à la neutralité (séparation de charges) qui crée
115Pour le voir, écrivons le flux de diffusion des deux types de particule (sans tenir compte de la
charge d’espace) suivant la direction x :
rexE nevex = -D,ûn,/axet rase n,vax= -D,ûn,/ax.
Comme m, < M et Te _j T, et bien que ven 2 van,il en résulte que De > D,. Sachant que
ne 2 n,,nous obtenons anelax x an,/ôxet, finalement, vex >> va,, donc un plus grand flux
électronique.
178 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
re= r i= r . (3.235)
v.r, = se (3.237)
v.ri = si (3.238)
D k ( r ) = constante (3.239)
où IC = e , %ou a.
3. On pose, de façon générale, que :
(3.240)
116 Dans l’hypothèse où il n’y a que des ions positifs dans la décharge et que ceux-ci ne sont porteurs
que d’une seule charge positive.
3.10 - DIFFUSION
EN RÉGIME AMBIPOLAIRE 179
- D , V . V n , = - D i V . Vni,
Di
ou encore : V 2 n ,= +-V2ni , (3.241)
De
ce qui, de (3.240), entraîne C = D,/Di , (3.242)
3.10.2. EQUATIONS
RÉGISSANT LA DIFFUSION AMBIPOLAIRE ET
LE RÉGIME DE TRANSITION DE LA DIFFUSION LIBRE
VERS LA DIFFUSION AMBIPOLAIRE
En l’absence de champs extérieurs, les flux résultant de la diffusion aussi bien que de
la dérive dans le champ électrique de charge d’espace E D sont donnés par :
(3.244)
(3.245)
(/h%--Pe%)r= - D e p L , n L v n fpepU,71.,n,ED
e +Dzpen,Vn, -pepL,nen,ED . (3.247)
180 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
r = -(Depi -Di~e)Vn
7 (3.248)
Pi - Pe
ce qui conduit à définir le coeficient de diffusion ambipolaire Dall7 :
(3.249)
=-DaVn . (3.250)
Noter, dans (3.249)’ que D a est positif puisque la valeur de pe est négative.
Par analogie avec l’expression obtenue en diffusion libre (3.229)’ nous pouvons dire
qu’à l’état stationnaire la condition d’équilibre de création-perte de particules de la
décharge en régime de diffusion ambipolaire s’écrit :
(3.251)
(3.254)
117 L’expression de Da derneure la même en présence d’un champ électrique extérieur Eext s’ajoutant
à E D (même si leur orientation est différente) : Eext tout comme E D serait éliminé dans la
relation (3.247).
3.10 - DIFFUSION
EN RÉGIME AMBIPOLAIRE 181
p = (ni - n e ) e . (3.256)
D , . (3.258)
De (3.205)’ nous savons que le flux particulaire des électrons a pour expression :
Par ailleurs, le coefficient effectif de diffusion D , nous autorise à écrire le flux d’ions
et celui des électrons (3.244) et (3.245) sous une même forme I’ = - D , V n e (3.254).
I1 vient alors de (3.260) et (3.254) :
(3.261)
Nous pouvons étudier cette relation dans deux cas limites intéressants :
~ E D = O (strictement égal à zéro).
Ce cas correspond à la diffusion libre, comme le montre (3.261)’puisqu’alors D, =
De (nous obtenons le même résultat en comparant (3.260) où E D = 0 et (3.254)).
182 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN P L A S M A
Ce champ peut devenir très faible mais jamais strictement nul en diffusion ambipo-
laire. Plus concrèternent, ceci signifie que l’on peut poser la stricte égalité ne = ni
quand il s’agit, par exemple, de calculer le coefficient de diffusion ambipolaire, mais
jamais dans l’équation de POISSON. Dans ce dernier cas, il faut que p soit différent
de zéro, même légèrement, pour que le champ de charge d’espace existe. Noter aussi
que le champ électrique de charge d’espace sur l’axe doit être nul en raison de la
symétrie du système118 et donc que la densité de charge sur l’axe, po, doit également
être nulle.
Comme en général 13, > Di et /pel >> p i , une approximation courante de l’expres-
sion (3.263) pour E D , est donc :
De Vne -
E D , N -- Vne
= uk-, (3.264)
Pe ne ne
où uk est l’énergie caractéristique des électrons (3.207).
3.10.4. EXPRESSION
DE LA DENSITÉ DES CHARGES Po S U R L’AXE :
LIMITE DE VALIDITÉ DU CALCUL ANALYTIQUE
De l’équation de POISSON V . E D= p / ~ où
o l’on substitue E D de l’expression générale
(3.261), il vient, en mettant p en évidence :
(3.266)
118 En effet, le champ E D sur l’axe ne saurait pointer dans une direction radiale plutôt qu’une autre.
D’ailleurs, nous utilisons la condition Vn, = O sur l’axe comme condition aux limites.
119 Noter que l’on pose Vn, = O dans (3.265) une fois la divergence effectuée : le fait que la dérivée
première de TL, soit nulle en un point n’entraîne pas nécessairement que sa dérivée seconde le soit
aussi en ce point (penser à I/ = x 2 en x = O). Dans le cas présent, V 2 n e< O sur l’axe car ne y
passe par un maximum.
3.10 - DIFFUSION
EN RÉGIME AMBIPOLAIRE 183
Pour la diffusion libre (0, = D e ) , nous avons bien po = O (charge d’espace négli-
geable). Sachant que De 2 D , 2 Da (et pe < O selon nos conventions), po croît de O
à pornax pour D , décroissant de De à Da alors que l’on devrait avoir po = 0 sur l’axe,
quel que soit le régime de diffusion : le champ E sur l’axe est touours nul du fait de
la symétrie de la configuration. Ce calcul analytique n’est donc qu’approximatif, ce
qui n’est pas étonnant outre mesure, compte tenu des hypothèses assez restrictives
(notamment ni = Cn,) que nous avons retenues.
La description plus exacte de ce régime passe donc par des calculs numériques. Pour
nous permettre de comparer calculs analytiques et calculs numériques, exprimons le
coefficient effectif de diffusion en fonction de la conductivité sur l’axe, 00. Pour cela,
portons (3.266) dans (3.259) et nous arrivons à :
(3.267)
(3.268)
La figure 3.6 montre, pour une configuration de décharge plane, que le plasma situé au
voisinage de l’axe peut être en régime ambipolaire alors que, près des parois, il obéit
à un régime de transition, lequel tend vers le régime de diffusion libre au voisinage de
la paroi.
184 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
axe de la
paroi
décharge
Remarques :
(3.270)
Nous voulons exprimer l’écart à la neutralité des charges sur l’axe en fonction de Ag, ;
de (3.266)’ en prenant pe de (3.270)’ il vient :
Dans ce cas, cette condition correspond à des densités de particules élevées (ni N ne
dans (3.271)) et le champ de charge d’espace aura une intensité telle qu’il y aura
couplage des mouvements des électrons et des ions. Ces conditions correspondent
bien au régime de diffusion ambipolaire.
Remarques :
1. Valeur approchée communément utilisée du coefficient D a . I1 est facile de voir que :
.Dipe - kBTi -
- m+in -
rn,ve, _-e_ - Ti
- --
.
- - (3.272)
.Depi mi& kBTe m e u e n e Te .
Comme, en général, [pel > p t , l’expression générale (3.249) de Da peut s’écrire
D a 2:Di - D e ( -Pi
) et encore D a N
Pe
En tenant alors compte de (3.272), il vient :
D , N D ~I t -
[ 21 . (3.273)
(3.274)
I I I I I l , , , I I I I I
h
3
i
8
+z
c
100
;\
I
E
>
v
1
a
Y
état stationnaire en
réElme ambipolaire
10
0.1 1 10
p h (torr cm)
3.11. DIFFUSION
AMBIPOLAIRE
EN CHAMP MAGNETIQUE STATIQUE
Nous nous intéressons à l’effet d’un champ magnétique dirigé axialement, en l’absence
de champ électrique extérieur, sur la diffusion ambipolaire dans une longue colonne
de phsmu’21.
Comme c’était le cas pour la diffiision libre, un champ B ne peut produire d’effet dans
sa propre direction. Par contre; dans la direction perpendiculaire, l’influence peut être
grande.
Coefficient D a l
Dans une colonne cylindrique longue, la diffusion est principalement radiale. Le flux
d‘ions et d’électrons correspondant s’obtient, en présence d’lin champ magnétique,
par analogie avec les flux ï i et ï erespectivement donnés, en l’absence de champ
magnétique, par les équations (3.244) et (3.245) :
riT= - (3.275)
et (3.276)
où Eu, est la composante du champ de charge d’espace (dit chump umbzpolazre) dans
la direction radiale ; les valeurs de D e l et D L l suivent la définition de D L dans (3.195)
et celles de p e l et p L l la dbfinition dc p l dans (3.181). En supposant que la diffusion
est anibipolaire (re7= rlr= r7),nous pouvons écrire, par analogie avec (3.250)’une
expression, commiine pour les ions et les électrons, de la fornie :
rr = - D ~ ~ v ~ ~ (3.277)
(3.278)
(3.279)
Dans le cas particulier d’un champ Bo suffisamment fort poiir que w,, >> v,,, cornme
2
a fortiori il en résulte w,, > v,, (puisque w,, > w,, et v,,, v t n ) ,alors :
(3.280)
Bien qiir Seven soit en général plus grand que Stv,,122,le rapport des masses l’emporte
de sorte que D e l 5 D t l . Contrairement à la situation qui prévaut sans champ magné-
tique, ce sont les ions qui diffusent donc le plus vite et ce sont les électrons qui retardent
les ions dans le processus ambipolaire !
Remarques :
1. Si l’on suppose v,, N vin, dans le cas où le champ B est suffisamment fort pour
que vi, << w c i , on obtient une formule approchée utile pour D , l :
3.12. REGIME:
DE DIFFUSION O U DE CHUTE LIBRE?
Critère de diffusion
I1 y a donc diffusion si le temps TD que met une particule chargée pour se rendre
à la paroi est beaucoup plus grand que le temps entre deux collisions en volume
(majoritairement électron-neutre dans un gaz faiblement ionisé), soit 70 >> l / v e n .
Nous cherchons à exprimer cette condition en fonction du libre parcours moyen t des
électrons et du rayon R dans le cas d’une enceinte cylindrique longue.
3.12 - RÉGIMEDE DIFFUSION OU DE CHUTE L I B R E ? 189
(3.282)
(3.283)
La condition TDU,, > 1 entraîne comme critère de diffusion que R/e >> 1. On s’en
serait douté !
En conclusion, avant d’utiliser les équations de diffusion de quelque type que ce soit,
il est impérieux de vérifier que la dimension caractéristique de diffusion est beaucoup
plus grande que le libre-parcours moyen prépondérant. Si c’est le cas, il reste ensuite
à déterminer s’il s’agit d’un régime de diffusion libre ou ambipolaire ou de transition
entre les deux, ce qui dépend de la valeur du rapport de la longueur de DEBYEà la
longueur de diffusion (3.10.5).
Remarques :
1. En régime de chute libre, la distribution radiale de la densité électronique dans une
colonne cylindrique prend la forme d’une parabole : n ( r ) = n(0)(1 - fYr2/R2): le
paramètre fY dépend de AD,, comme le montre la figure 3.8.
2. Résumé des conditions d’une diffusion ambipolaire ( B = O)
t < R : il doit y avoir diffusion et non chute libre,
AD, < A : la diffusion est de nature ambipolaire, si la recombinaison en volume
est faible devant la recombinaison sur les parois (9 1.8).
Figure 3.8 - Profil radial de la densité électronique en régime de chute libre ; R est le
rayon interne du tube à décharge et n,o la valeur de la densité électronique sur l’axe du
~
tube ; A& représente la valeur moyenne de A%e sur la section radiale du plasma
(adapté avec permisson d’après [ 111, tous droits réservés American Physical Society).
190 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Nous nous proposons de définir dans cette section la relation donnant la température
électronique Te en fonction du produit p R (pression du gaz - rayon du plasma) qui soit
valable pour plusieurs gaz, à une constante spécifique près. Cette dépendance en fonc-
tion de p R , parce qu’elle regroupe le produit (ou le quotient) de deux (ou plusieurs)
variables, est une loz d’échelle. Formulée en 1932 par VON ENGELet STEENBECK
pour la colonne positive (0 4.2.1), la présente loi d’échelle a été largenierit confirmée
expérimentalement, particulièrement dans les décharges de gaz rares aussi bien en
colonne positive qu’en décharge HF. Elle est très utilisée pour l’estimation de certains
paramètres du plasma dans la mesure où ces derniers dépendent de Te.
L’expression recherchée est fondée sur l’équation du bilan de particules chargées
(3.230) en diffusion anibipolaire :
(vi)= D J A ~ , (3.284)
où la fréquence rnoyeiine d’ionisation”’, ( u t ) ,dépend, comme l’indique le symbole
( ), de la fonction de distribution des vitesses des électrons. Nous allons supposer
que cette fonction est maxwellienne ; dans ce cas, les coefficients de diffusion De et
Da peuvent s’écrire explicitement en fonction de Te (voir respectivement (3.204) et
(3.274)) ; cependant, 7;apparaît de façon implicite dans l’expression définissant la fr6-
quence moyenne (vL)de sorte que, finalement, (3.284) ne peut +tre résolue de manière
totalement explicite en Te.
Nous allons dériver de (3.284) une forme analytique decrivant, en première approxi-
mation, la variation de Te en fonction de N , la densité des atomes neutres, et de A ,
la longueur caractéristique de diffusion. D’une façon plus pratique, nous obtiendrons
une fonction Te(p&) où po est la pression réduite du gaz et R , le rayon interne de
l‘enceinte à décharge supposée longue et de forme cylindriqiic.
3.13.1. HYPOTHÈSES
DU MODÈLE
123 Nous reprenons ici notre notation initiale (5 1.7.8) pour les fréquences moyennes de collisions, en
l’occurrence ( u t )plutôt que u,.
3.13 - LOI D’ÉCHELLET,(pR) 191
Remarque : L’hypothèse voulant que les pertes de particules chargées soient dues
exclusivement à la diffusion ambipolaire ainsi que l’hypothèse d’une ionisation directe
à partir d’un impact électronique sur l’atome dans l’état fondamental, constituent ce
qu’on appelle les conditions de SCHOTTKY (voir aussi 9 4.2.4).
EXPRESSION
DE LA FRÉQUENCE D’IONISATION
EN FONCTION DE L’ÉNERGIE MOYENNE DES ÉLECTRONS
D’une manière générale, le nombre de collisions ionisantes est faible par rapport à
celui des collisions élastiques, en raison d’une section efficace d’ionisation présentant
une énergie-seuil &i grande devant l’énergie moyenne ~ B des T électrons.
~ Les collisions
électron-neutre impliquant des électrons dont l’énergie est inférieure à cette énergie-
seuil apportent donc une contribution nulle à l’ionisation du plasma. Le calcul de la
fréquence d’ionisation (vi) s’effectue par étapes.
I. Nombre de collisions électron-neutre ionisantes, par seconde, pour le groupe d’élec-
trons ayant une énergie comprise entre U, u + du.
Le nombre de collisions ionisantes, par seconde et par unité de volume, effectuées
par un électron ayant une vitesse aléatoire comprise en module entre w ,w dw +
(on peut utiliser le module de la vitesse parce qu’on a fait l’hypothèse d’une
anisotropie faible en dépit de la présence du champ E ) est124 :
dNi(w) = f ( w ) ~ T W ’ dw v ~ ( w ) (3.285)
) Noâti(w)w (1.147).
où v ~ ( w E
Pour nous convaincre de l’expression (3.285)’rappelons que f ( w ) 47rw2 dw repré-
sente le nombre d’électrons ayant une vitesse scalaire comprise entre w , w dw, +
et que v i ( w ) est le nombre de collisions par seconde effectuées par un électron
ayant une vitesse appartenant à l’intervalle (w,w dw). +
124 Calcul effectué pour une densité ne unitaire puisque la fonction de distribution ayant été séparée
nous avons s, f ( w ) d w = 1 : le résultat recherché, (vi),est en effet une fréquence de collision
par électron.
192 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D'UN PLASMA
(3.286)
d'où : (3.288)
Comme : (3.289)
(3.291)
En nous rappelant que nous avons introduit 1a“pression” réduite (# 1.7.5) de façon
à pouvoir écrire que Pi = pOPi0 où Pio est la section efficace macroscopique totale
d’ionisation à O “C et à 1 torr, nous pouvons poser ai = poaio, paramètre qui est
alors exprimé par rapport aux conditions de référence des sections efficaces ; ses
unités sont des cm-l voltp1. Nous obtenons alors :
(3.296)
Nous constatons alors que (vi) est très sensible à la valeur de l’énergie moyenne
Ü e v puisque celle-ci apparaît dans l’argument de la fonction exponentielle.
pour les plasmas à pression réduite, et qui sont visés par le présent modèle), d’après
(3.274) nous pouvons écrire :
(3.299)
et de (3.284) : (3.301)
En écrivant l’égalité des équations (3.298) et (3.301), nous obtenons une relation
permettant de déterminer complètement, et de façon analytique, l’équation du bilan
perte - création des particules chargées du plasma.
EXPRESSION
DE T e ” / & EN FONCTION DE poR
2 (2,405)2
-
3UeV Pi ~
=Li -3/2 (25) exp 3 &,
( - - y )
, (3.303)
R2 4 uev 2 uev
et, en retournant à la variable Ui de (3.296), il vient (annexe XVII)
(3.304)
(3.305)
Noter que pipo se présente comme la valeur de la mobilité réduite 0 “ C et à 1torr ;ne
pas oublier, toutefois, que les valeurs de référence de la mobilité sont habituellement
données à O°C et 760 torr (3.189).
On peut finalement tjirer de (3.304) sous forme numérique la valeur de Tev/&en
fonction de copoR où po, sans unité, est la “pression” réduite par rapport à 1 torr et
0”C, et &, l’énergie-seuil d’ionisation. Les unités de cg sont des (kg/coulomb)1/2 m-2
ou encore des s mP3, donc copoR est, en principe, en s m-’)’l2.
3.13 - LOI D’ÉCHELLE T,(pR) 195
Expression exacte
L’explicitation de (3.301) et le recours aux énergies réduites nous conduisent à une
expression exacte de forme remarquable :
Conséquences
La figure 3.9 met en évidence que la température électronique Te d’une dbcharge,
en régime de diffusion, ne depend que des dimensions de l’enceinte (le rayon R pour
une longue colonne de plasma), de la nature du gaz (énergie-seuil d’ionisation I , et
coefficient CO) et de sa pression (pression réduite P O ) .
VALEUR DE LA CONSTANTE Co
La valeur de a,o dans CO s’obtient à partir des sections efficaces d’ionisation P,o(U,V)
publiées, en se limitant à la partie linéaire principale au voisinage du seuil. La valeur
de la mobilitC ionique pz dans (3.301) correspond à la pression et à la température du
gaz considéré; parce que celle-ci est multipliée par po dans (3.305)’elle prend l’aspect
d’une mobilité réduite à 0 O C , 1 torr alors que les valeurs de rbférence sont données à
196 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
Argon 40 53 48 50,l
Krypton 68 68,2
Le tableau 3.1 donne les valeurs de CO obtenues pour les gaz rares par différents au-
teurs, le jeu le plus récent (1980) étant celui de ZAKRZEWSKIque nous recommandons
d’utiliser. Les unités cie CO permettent d’exploiter directement le graphe de Tev/&%
en
fonction de copoR de la figure 3.9 où le rayon interne R du tube à décharge est en
mètre ; &,, l’énergie au seuil d’ionisation est donnée a u tableau 3.2.
Exemple de détermination de T,v : pour R = 2 cm et po = 1, on a pour l’argon
copoR = 1. La figure 3.9 nous donne Tev/&,= 7,54 x lop2. Comme &z = 15,76 eV,
nous obtenons donc ï e v = 1,2 eV.
Tableau 3.2 - Energie-seuil E, (eV) de première ionisation des atomes de gaz rares.
Hélium 24,58
Néon 21,56
Argon 15,756
Krypton 13,996
Xénon 12,127
chap. 14,9 2 . 2 .
125 BROWN,
3.14 - NOTIONDE GAINE 197
3.14. FORMATION
ET NATURE DES GAINES
A L’INTERFACE PLASMA-PAROI :
FLUX AUX PAROIS ET CRITERE DE BOHM
Dans un gaz non ionisé, le flux de particules incident sur une paroi, par unité de
surface, est égal au flux aléatoire (annexe I) :
1
r = -nu
4
(3.307)
Ce cas est simple comparé à celui d’une paroi portée à un potentiel négatif. L’évolution
du potentiel est représentée sur la figure 3.10. On distingue deux régions : à droite, le
plasma, caractérisé par sa neutralité macroscopique (ne = ni),un champ électrique de
charge d’espace nul et un potentiel plasma &,, et à gauche, une gaine purement élec-
tronique, où les ions, d’énergie supposée faible (ICBT,Y O), sont totalement repoussés
vers le plasma par le potentiel répulsif qui se développe à l’interface plasma-paroi. La
frontière qui sépare le plasma, rnacroscopiquenient neutre, et la gairie électronique,
t,otalement exempte d’ions positifs, s’appelle 1isièr.e de gaine. Cette frontière où se
produit la rupture de neutralité est bien définie. Dans le cas d’une surface plane, le
flux électronique à la paroi est, égal au flux électronique atteignant la lisière de gaine
(conservation du flux dans la gaine non collisionnelle), soit de (3.307) :
1
res= -n,ve
4
(3.308)
(%)’
1
44 Lisière
électronique I
Paroi + I
t I
Une valeur approchée de l’épaisseur de yaine l,, peut être déduite de la loi de CHILD-
LANGMUIR qui~ ~stipule
~ que la densité de courant que peut débiter une diode plane
est, limitée par la charge d’espace due aux électrons, ce qui se traduit par une dépen-
dance de la différence de potentiel entre les deux plaques en q5i’2.
Dans le cas d’un
plasma, c’est l’épaiss’eur de la gaine qui s’ajuste à la densité de courant j , débité par
le plasma et à la diffimrence de potentiel 4 0 - $ p . Dans le cas d’une gaine électronique,
l’application de ia loi de CHILD-LANGMUIR conduit à :
(3.310)
(3.311)
~ ~
126Pour une diode plane, la densité j e de courant électronique que l’on peut tirer de la surface
émettrice (par exemple ruban de tungstène) est donnée par :
3
$2
j , = 2,34 x 10- 6 -(A/m2)
d2
où d est la distance entre les deux plaques et 40, la différence de potentiel correspondante.
3.14 - NOTIONDE GAINE 199
Remarque : Dans l’expression (3.309)’le flux électronique à la paroi est fixé par le
plasma (Teet n e ) : il est indépendant de la tension appliquée à la paroi (paroi plane).
Ce second cas est plus complexe car, contrairement aux ions, les électrons ont une
énergie moyenne beaucoup plus élevée ( ~ B T>, k ~ T Y i O). I1 s’ensuit donc que, si la
paroi présente un potentiel attractif pour les ions du plasma, ce potentiel n’est que
partiellement répulsif pour les électrons. Cependant, plus la barrière de potentiel à
franchir est élevée pour les électrons, moins le flux électronique collecté par la paroi
est important. Dans le cas d’une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN, le courant
électronique effectivement collecté par la paroi ( 4 0 < &) s’écrit :
(3.312)
I1 apparaît donc clairement que, dans le cas d’une gaine ionique, les électrons, en
fonction de leur énergie, pénètrent plus ou moins profondément dans la gaine ionique
qui se forme à l’interface plasma-paroi. Cette fois, la frontière où se produit la rupture
de neutralité entre le plasma et la gaine ionique est mal définie et s’étend sur une zone
relativement large, comme le montre la figure 3.11. Pour pallier cette difficulté, on
divise la zone de transition en deux parties, la gaine ionique proprement dite oii
la rupture de neutralité est effective, et la prégaine qui, comme son nom l’indique,
précède la gaine, et débute là où les ions commencent à être accélérés par le champ
de charge d’espace. En fait, cette division, purement artificielle, permet de définir la
Zisière de gaine, entre une région quasi-neutre (la prégaine) dans laquelle seule unc
faible partie des électrons est repoussée, et une région non neutre (la gaine ionique)
où les ions sont devenus majoritaires.
L’évolution du potentiel O(x) est, régie par l’équation de POISSON
:
(3.313)
La vitesse des ions w,(x), en fonction de leur vitesse 2ig d’entrée dans la gaine, se
déduit à partir de la conservation de l’énergie totale sur la distance parcourue dans
la gaine :
m,
-
2 (4(4 $1
- = 44.Y - 4(.)) . (3.315)
...................... I
X
Lisière
f* de gaine
40
n
1
....... ..................................................
- X
(3.317)
(3.321)
3.14 - NOTIONDE GAINE 201
Ce résultat est connu sous le nom de critère de BOHM.I1 signifie que la frontière
entre la zone macroscopiquement neutre (prégaine) et la zone où il y a rupture de
neutralité (gaine) est située au point où la vitesse des ions, accélérés dans la prégaine,
est égale127 à la vitesse acoustique ionique, V B , appelée aussi vitesse de BOHM.En
supposant une prégaine non collisionnelle128 et en appliquant la relation (3.315) entre
le plasma = O) et la lisière de gaine, le potentiel 4g vaut alors1” :
(3.322)
d’où 4g = 4P - (3.323)
Nous en tirons ((3.314) et (3.322)) la valeur de la densité des ions en lisière de gaine :
(3.325)
1
9
. -
2:
- 3exp(-+) ’Oe [4 4 P
kBTe
- 40)
] (3.326)
3.14.3. P O T E N T I E L F L O T T A N T
127Pour wug = V B , on vérifie bien, à partir du développement à l’ordre 2 de (3.319) et (3.320), que
la condition (3.318) est remplie.
128 En réalité, la prégaine est collisionnelle, car son épaisseur correspond à une fraction du libre
parcours moyen des ions en présence des neutres.
129 On note que ce potentiel en lisière de gaine est suffisant pour repousser tous les électrons ayant
une énergie ~ r n , winférieure
~ àI ~ ~ T ~ / z .
202 3 - DESCRIPTION
HYDRODYNAMIQUE D’UN PLASMA
charges positives que négatives. Ce potentiel 4f, appelé potentiel flottant, est obtenu
en égalant (3.312) et (3.325), soit :
(3.32 7)
Le potentiel flottant s’ajuste à une valeur suffisamment négative par rapport au po-
tentiel plasma de manière à repousser le nombre adéquat d’électrons pour équilibrer
les courants ionique et électronique.
Remarques :
1. L’énergie dirigée acquise par les ions dans la gaine est mise à profit dans un bon
nombre de procédés de traitement de surface (gravure, dépôt, transformation chi-
mique). On peut accroître l’énergie de ce bombardement ionique en appliquant une
tension 40, dite de polarisation, à la surface en contact avec le plasma. Si 4 0 = 4f
(gaine ionique sans polarisation appliquée), l,, = AD,. Par contre si & - 4 0 > ~ B T , ,
alors l,, > AD,.
2. Du point de vue d’une onde, la gaine peut apparaître comme une région de vide si
=
la densité électronique est faible au point que wpe << w , puisqu’alors tp 1 (3.69).
CHAPITRE
4
INTRODUCTION À LA PHYSIQUE
DES DÉCHARGES HF
4.1. PREAMBULE
Le présent chapitre traite de plasmas produits par un champ électrique périodique
de haute fréquence (HF), le vocable HF désignant à la fois le domaine des fréquences
radio (E 1-300 MHz) et celui des micro-ondes (0,3-300 GHz). Ces plasmas, utilisés à
l’origine principalement dans les laboratoires de recherche, ont assez récemment acquis
une grande importance en milieu industriel (micro-électronique, destruction des gaz
à effet de serre 9 1.2). Aussi, la compréhension des mécanismes de leur entretien et
des phénomènes physico-chirniques qui leur sont spécifiques (par exemple, effet de la
fréquence HF) ne peut que conduire à une meilleure conception des dispositifs HF et
à des procédés plus efficaces.
Les plasmas HF les plus utilisés sont ceux fonctionnant à basse pression (< 10-
20 torr) et ceci pour plusieurs raisons, notamment :
- la realisation d’une source de plasma est, dans ce cas, plus simple qu’à la pression
atmosphrrique, ne serait-ce qu’en raison d’une température de gaz beaucoup moins
élevée ;
- la modélisation des plasmas HF à basse pression est arrivée à maturité, ce qui n’est
pas encore le cas des plasmas à la pression atmosphrrique [12, 131.
Pour mieux faire ressortir la physique des décharges HF où le champ électrique appli-
qué varie de façon périodique en fonction du temps, nous considérerons également
les décharges e n cou?-ant continu (CC) dans lesquelles l’intensité du champ électrique
est constante dans le temps. L’ensemble de ces décharges porte le nom de décharges
électriques.
Par rapport aux décharges CC, les décharges HF présentent de nombreux avan-
tages. Ainsi, pour un certain nombre d’entre elles, on profite de la transparence, aux
ondes électromagnétiques (EM), des matériaux diélectriques formant l’enceinte de la
décharge pour y faire pénétrer, de l’extérieur, le champ électrique assurant l’ionisation
du gaz. Dans un tel cas, à la différence des décharges CC, il n’y a pas d’électrodes
en contact avec le gaz : les électrodes constituent une source de pollution du gaz, de
dépôts sur les parois du tube à décharge et, plus généralement, elles limitent la durée
de vie du tube à décharge. Le dispositif servant à imposer le champ EM pour créer une
décharge HF s’appelle un applicateur de champ HF. Un autre avantage des décharges
HF, par rapport aux décharges CC, est lié à la possibilité d’agir sur les paramètres
du plasma à partir de la fréquence du champ EM : varier la fréquence permet, dans
certains cas, de modifier la fonction de distribution en énergie des électrons (FDEE),
ce qui peut être utile pour optimiser la cinétique d’un procédé. Pour ce qui est du
coût des équipements, les décharges CC sont, en général, les moins chères, quoique
maintenant les générateurs micro-ondes de type magnétron à 2450 MHz13’ supportent
bien la concurrence. De plus, l’avènement de générateurs HF à base de transistors de
puissance permet d’envisager, dans un avenir proche, des montages plus compacts,
plus sécuritaires (pas de haute tension dans le circuit) et d’une plus grande fiabilité.
Nous avons développé, dans les chapitres précédents, les notions de base de la physique
des plasmas en ayant notamment en vue leur application aux décharges HF. Dans ce
qui suit, nous allons faire largement appel à ces notions pour décrire et modéliser les
plasmas HF. Ce chapitre comprend trois parties décrivant successivement :
1.le transfert de puissance du champ électrique E à la décharge. A cette fin, nous
utilisons comme grandeur caractéristique la puissance absorbée par électron, 8,
aussi bien pour le transfert collisionnel que non collisionnel (résonance cyclotronique
électronique 9 4.2) ;
2 . l’influence de la fréquence du champ E sur les propriétés du plasma avec quelques
exemples d’application de cet effet de fréquence (0 4.3). Cette étude s’applique
principalement aux plasmas à basse pression ;
3. les phénomènes de contraction et de filamentation propres aux plasmas à haute
pression (0 4.4). Pour rendre compte de la contraction, il nous faut considérer la
cinétique ionisatio:n-recombinaison des ions moléculaires.
130 Un certain nombre de fréquences du spectre EM est réservé aux applications industrielles, médi-
cales et scientifiques (fréquences ISM). A titre d’exemple, il y a 6,78, 13,56, 27,12 et 40,68 MHz
de même que 915 et ‘2450 MHz [la].
4.2 - TRANSFERT
DE PUISSANCE 205
4.2. TRANSFERT
DE PUISSANCE
DU CHAMP ÉLECTRIQUE A LA DÉCHARGE
4.2.1. DECHARGE
EN COURANT CONTINU
La figure 4.1 montre le schéma d’une décharge dite à cathode froade (sans filament
d’émission thermo-électronique) . La tension continue U , appliquée aux bornes des
deux électrodes, crée un champ électrique d’intensité E qui agit sur les électrons
initialement présents dans le gaz, soit du fait du rayonnement cosmique ou de la
radioactivité naturelle, soit du fait d’une excitation extérieure comme, par exemple,
celle produite par l’étincelle d’une bobine Tesla ou d’un dispositif piézo-électrique
dirigée contre la paroi diélectrique de l’enceinte. Ces électrons initiaux sont accélérés
par une force F = -eE où e est la valeur absolue de la charge de l’électron, et
ils gagnent ainsi continûment de l’énergie jusqu’à ce qu’ils entrent en collision avec
un autre électron ou avec un atome (molécule). Au moment de l’impact, l’électron
“incident” perd ou gagne de l’énergie ( 5 1.7.2) : la collision peut toujours être élastique
(énergie cinétique conservée), mais ne peut conduire à l’excitation et à l’ionisation que
si l’énergie de l’électron @galeou dépasse l’énergie-seuil V, pour l’excitation de l’atome
dans l’état j ou l’énergie-seuil V , pour l’ionisation de l’atome (9 1.7.9) ; à la suite de
cette collision inélastiqiie, l’énergie interne de l’atome est augmentée, suivant le cas,
d’une énergic V, ou V , céd6e par l’électron. L’énergie prise au champ électrique par
l’ion est négligeable devant celle acquise par l’électron à cause du rapport des masses
de ces deux types de particules (9 2.2).
Après une étape transitoire de croissance de la densité des particules chargées, l’état
stationnaire est atteint. On observe alors, comme le montre la figure 4.2, différentes
131Dans les décharges, le rapport E / p est une grandeur fondamentale intervenant dans les lois
d’échelle régissant le plasma. Sa relation avec O,/p sera abordée en 5 4.3.3.
206 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES H F
,--.
W
2
\
mFL
O 1 2 3 4 5
Tev (eV)
Figure 4.3 - Valeur de la puissance O p en fonction de Tev calculée pour une
distribution maxwellienne dans le cas de l’argon. On a supposé une excitation directe
à partir du fondamental (pas d’excitation et d’ionisation par étapes).
133La valeur de Te à partir de laquelle les collisions inslastiques dominent dépend du gaz de la
décharge et croît avec l’énergie-seuil d’excitation du premier niveau excité, Vi.
208 4 - INTRODUCTION À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
Les particules chargées ainsi créées en volume vont tendre à disparaître de la décharge
par deux mécanismes principaux (3 1.8) :
- par diffusion vers les parois de l’enceinte sur lesquelles ions et électrons se recom-
binent aisément pour former un atome neutre ;
- par recombinaison ion-électron dans le volume même du plasma.
Dans ce qui suit, pour simplifier, nous allons supposer que seule la diffusion est res-
ponsable des pertes des particules chargées ( 5 3.10-3.12), ce qui est généralement le
cas dans les décharges de gaz rares aux basses pressions (0’05-10 torr).
La puissance 8, absorbée par électron en moyenne, prise au champ E , est liée au
travail effectué par l’électron dans ce champ. En l’absence de collisions, l’énergie de
l’électron augmenterait durant tout son parcours de la cathode à l’anode, sa vitesse
évoluant avec le temps selon ( 5 2.2.1) :
eE
w = -t.
me
Cette situation n’est toutefois pas réaliste car, sans collisions, il n’y a pas de transfert
d’énergie au plasma, donc pas de décharge. En présence de collisions, le mouvement
de l’électron vers l’anode est entravé par les collisions électron-neutre ; il en résulte
une vitesse moyenne de progression, dite de dérive, dans le champ E ( 5 3.8) :
ud = (4.3)
où, rappelons-lel pe = -e/m,u est la mobilité des électrons et u , la fréquence moyenne
de collisions électron-neutre pour le transfert de quantité de mouvement. La puissance
Pa prise au champ E par les électrons, par unité de volume, est donnée, dans le cas
d’un plasma uniforme de densité n, par ( 5 2.2.1) :
P, G n8, = J ‘ E , (4.4)
ce qui constitue une généralisation de la loi d’OHM. Quant à J , le vecteur densité de
courant du fluide d’électrons, nous savons qu’il a pour expression :
J = -neud . (4.5)
Alors, en combinant (4.3)’ (4.4) et (4.5)’ nous obtenons :
e2
8,(E) = -E2
mev
HF
4.2.2. DECHARGES
Pour fixer les idées, considérons une décharge HF simple à réaliser. Un générateur de
puissance HF alimente un applicateur de champ EM constitué de spires conductrices
s’enroulant autour d’un tube à décharge135,comme le montre la figure 4.4.
I I
L
Générateur
HF
Figure 4.4 - Schéma d’une décharge H F
dite anductzve. Les fréquences d’excitation
sont généralement très inférieures à 100
MHz, les plus utilisées étant les fréquences
ISM de 13,56 MHz et 27,12 MHz13’. II Il
134Ce champ est appelé c h u m p E d’entretien (sous-entendu, de la décharge) par opposition au
c h u m p appliqué par l’opérateur.
135Le matériau du tube à décharge est choisi de façon à absorber le moins possible la puissance
HF. De ce point de vue, la silice fondue (incorrectement appelée quartz) est particulièrement
avantageuse si la température du gaz n’est pas trop élevée (5 900 OC) et en l’absence de réaction
avec les sous-produits de la décharge, comme le fluor. Les céramiques, comme A1203 et AlN,
sont plus résistantes à la température mais absorbent davantage de puissance H F que la silice.
210 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
Dans le cas d’une décharge HF, la question du transfert d’énergie se pose autrement
qu’en CC parce que le champ électrique est cette fois alternatif. En effet, en début de
cycle, l’électron se dirige dans une certaine direction sous l’influence du champ puis
à la moitié du cycle, il est ramené dans la direction opposée136 : en moyenne sur une
période, le travail effectué par l’électron dans le champ électrique est nul ( 5 2.2.1).
Seules les collisions peuvent interrompre ce mouvement périodique et faire en sorte
que l’électron prenne ‘effectivement de l’énergie au champ électrique HF, comme nous
l’avons montré en co:nsidérant un plasma froid (0 2.2.1). Nous avions alors obtenu
(équation (2.33)) : -
0a e“ u -
mpu2 + w 2
- E2
-
où E2,la valeur quadratique moyenne du champ, est égale à E i / 2 , Eo étant l’am-
plitude maximale du champ au cours d’une période d’oscillation et w la pulsation du
champ. L’équation (4.8) se ramène à l’équation (4.6) pour w = 0.
Les pertes de particules chargées s’effectuent par les mêmes mécanismes que dans une
colonne positive. Par contre, à la différence d’une décharge en courant continu, l’in-
tensité du champ E dans une colonne de plasma HF n’est pas constante radialement,
mais décroît en allant de la paroi du tube vers l’axe : ce phénomène est analogue
à l’atténuation d’une onde EM s’enfonçant dans un matériau conducteur ( e t e t de
peau). Dans ces conditions, l’intégration de O, (4.8) suivant une section transversale
de la décharge doit conduire à une valeur moyenne O, telle que On = O,.
Comme il est plus facile de mesurer O que E dans une décharge HF137, le paramètre O
apparaît naturellement comme la grandeur de référence pour comparer les décharges
électriques entre elles. A cette considération, se rajoute la prépondérance déjà souli-
gnée de 6 sur E (3 4.2.1) : l’intensité de E s’ajuste pour satisfaire la valeur de 6,.
Cette primauté de 0, sur 6, et, donc, sur E , sera confirmée dans ce qui suit sur les
magnétoplasmas HF.
Remarque : La projondeur caractéristique S, de pénétration du champ HF dans un
milieu conducteur se définit comme la distance sur laquelle l’intensité du champ d’une
onde plane EM se rélduit à l / e (e est la base du logarithme népérien) de sa valeur
initiale. Cette valeur est donnée par :
1
&= (4.9)
136 Nous faisons l’hypothèse implicite que l’amplitude d’oscillation (ou excursion) de l’électron dans
le champ H F (l’équation (2.31)) est plus petite que la plus petite dimension de l’enceinte à
décharge (par exemple le rayon R dans une longue colonne cylindrique). C’est le cas en général
pour des champs de fréquence dépassant le MHz.
137La mesure du champ électrique dans une décharge H F est généralement très imprécise en raison
de la perturbation apportée par l’antenne de mesure. En revanche, la valeur de O peut se déduire
simplement de la puissance absorbée par unité de volume, connaissant la valeur moyenne de la
densité du plasma (équation (4.4)).
4.2 - TRANSFERT
DE PUISSANCE 211
4.2.3. D É C H A R G E S HF EN PRÉSENCE
D’UN CHAMP MAGNÉTIQUE STATIQUE
Pour certains procédés de traitement par plasma, il peut être avantageux de fonc-
tionner à la pression de gaz la plus faible possible de façon à réduire d’autant la
fréquence de collision dans la décharge. I1 en va ainsi de la gravure anisotrope où l’on
souhaite “creuser”, par bombardement ionique, dans un matériau donné, des tranchées
à parois parfaitement verticales (figure 1.4). L’accélération des ions, obtenue par pola-
risation du porte-substrat ou du matériau lui-même, engendre un flux ionique dirigé
perpendiculairement à la surface à traiter : moins il y a de collisions modifiant cette
trajectoire, plus parfaitement anisotrope (verticale) est la gravure. Comment, cepen-
dant, pouvons-nous créer un plasma H F avec une aussi faible fréquence de collision
alors que nous avons rappelé, à la section précédente, que l’existence de collisions est
essentielle au maintien de la décharge H F ? Pour y arriver, il faut soumettre la colonne
de plasma à un champ magnétique statique Bo,dirigé axialement à celle-ci, comme
nous allons le montrer.
On peut ramener à deux phénomènes principaux l’action d’un champ Bo statique
sur une décharge H F : réduction des pertes par diffusion vers les parois des particules
chargées et, le cas échéant, transfert résonnant à w,, = w de l’énergie du champ H F
aux électrons.
Réduction des pertes par diffusion des particules chargées vers les parois
Dans le cas d’un champ Bo dirigé axialement dans une enceinte cylindrique, les par-
ticules chargées sont entraînées dans un mouvement soit purement cyclotronique, soit
hélicoïdal autour des lignes de champ de Bo suivant que leur vitesse axiale est nulle
ou non nulle (0 2.2.2). La diffusion radiale des particules chargées, donc leur perte,
se trouve d’autant plus réduite que le rayon de giration cyclotronique qui leur est
imposé est petit (très inférieur au rayon de l’enceinte), c’est-à-dire que l’intensité du
champ magnétique est élevée. Pour que le confinement magnétique se fasse sentir sur
les électrons, il faut qu’il y ait plusieurs girations cyclotroniques entre deux collisions,
ce qui impose v << w,, ( 5 3.11)13’. Notons que la diminution des pertes de particules
chargées entraîne que T, et, donc, Opi3’ décroissent de sorte qu’avec la même densité
de puissance Pa absorbée, selon (4.4), on obtient une plus grande valeur de densité
électronique.
Par ailleurs, à Bo constant, û, augmente lorsqu’on diminue la pression puisque, les
pertes par diffusion augmentant, l’énergie moyenne des électrons croît (figure 3.9) et,
donc, la valeur de 8, croît aussi. I1 existe une valeur maximum de 8, au-dessus de
laquelle la puissance eademeure inférieure à 0, (voir plus loin la figure 4.5). A cette
valeur maximum de 8, correspond une pression minimum de travail au-dessous de
laquelle il est impossible d’entretenir la décharge.
138Pour fixer les idées, dans l’argon à 1 torr, pour T,v = 2 eV, v Y 2 x 10’ s-’. Par ailleurs,
rappelons que w,,/271 ( H a ) = 2,799 x l o 6 & (gauss).
139 Rappelons que la figure 4.3 montre que 0, croît de façon monotone avec T e .
212 4 - INTRODUCTION À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
v, = vo,exp(iwt) , (4.11)
vy = vOyexp(iwt) . (4.12)
(4.13)
(4.14)
voy = -~
eEo v (v2 w2 + + wee) i w (v2 + w2 wee)
- -
’ (4.16)
me [(w + v2] [(w+ wce)2 + v2]
- WJ
La puissance moyenne (sur une période) par unité de volume, Pa, absorbée par les
électrons est donnée, de manière générale (équations (2.33) et (2.36))’ par :
1
P - - X ( J . E’) . (4.17)
,-2
que l’on peut aussi écrire en faisant intervenir le tenseur de conductivité 0 (équations
(2.117) à (2.119)), soit :
1
P - -[(u E ) E * ] .’ ’ (4.18)
,-2 -
Sachant que E, est k t seule composante non nulle du champ électrique et que la com-
posante atY de 0 est nulle (voir équations (3.183) et (3.185)), l’expression développée
de la densité de courant (équation (2.119)) se réduit à :
(4.22)
\..........
10-2 I ..o.. -
*..e
...'.....
0
0
0
0
..I..
' ' ' ""'1 ' ' ' ' ' ' '""
1o1
" 1 " 1
10-2 10-1 loo
YI@
Figure 4.5 - Evolution selon (4.21) de 8, en fonction de v / w , à champ Eo constant,
calculée pour trois valeurs de la pulsation cyclotronique : wce = O, wce = 1,5w et wce = w .
Rappelons qu'il faut que Oa = QP (à u/w donné), ce qui suppose que O, puisse atteindre
des valeurs telles que 8, 2 Op ; dans le cas contraire, la décharge ne peut exister.
t
I l
n
3
m“
On constate donc, par identification de l’équation (4.23) avec l’équation (4.21)’ que la
conductivité électrique rYy passe par un maximum à la RCE. Par conséquent, comme
la valeur de O p , et donc celle de ûa (puisque 8, = O p ) , est pratiquement constante sur
un faible intervalle de w,,/w au voisinage de la RCE et comprenant celle-ci, comme
mentionné plus haut, l’intensité du champ électrique doit passer par un minimum à
la RCE, contrairement, à l’idée reçue que l’intensité de E passerait par un maximum
puisqu’il s’agit d’une “ r é ~ o n a n c e ” ’ ~ ~ .
Par ailleurs, la figure 4.5 suggère que, à basse pression, la valeur de u / w étant plus
faible à 2,45 GHz qu’à 100 MHz, il pourrait ne pas être possible d’allumer le plasma
hors résonance à 2,45 GHz alors que ce serait possible à 100 MHz grâce à l’absorption
collisionnelle, ce que confirme d’ailleurs l’expérience. Ce qui précède montre bien que,
lorsque la puissance perdue par électron est très grande et que u / w est faible, seule la
RCE permet d’atteindre une valeur suffisamment élevée de Oa pour réaliser l’équilibre
ea = 8,.
A la différence du développement précédent qui supposait le cas d’une onde se propa-
geant dans un plasma infini et uniforme, le même genre de calcul peut être effectué
en milieu limité pour une onde de type guidée, en l’occurrence une onde de surface
dite généralisée [14]. La figure 4.7 montre que la conductivité effective141 passe par un
maximum à la RCE, dte sorte que l’intensité du champ E passe alors par un minimum.
O, 5 LO L5
W c e JW
140 Certains auteurs, dont W.P. ALLIÇ[7],soutenait que, à la RCE, la valeur de l’intensité du champ
électrique dans le plasma était amplifiée alors qu’en fait, celle-ci passe par un minimum.
141 Du fait de la présence de Bo,le plasma est un milieu anisotrope et la conductivité est alors un
tenseur d’ordre 2 et non plus un scalaire ((2.117) à (2.119)). La notion de conductivité électrique
effective [7] permet de surmonter cette difficulté pour arriver, pour un mode donné de l’onde, à
une représentation scalaire.
4.2 - TRANSFERT
DE PUISSANCE 217
4.2.4. EVOLUTION
DE LA VALEUR DE EN FONCTION DE f i e e
DANS DIVERSES CONDITIONS DE PLASMA
(4.24)
Le premier terme est, en effet, celui de la perte des particules chargées par diffusion
ambipolaire et le second, celui de l’ionisation directe d’un atome à partir de son état
fondamental. Par contre, le troisième terme tient compte de l’ionisation par étapes
(numérateur)] mais aussi de la possibilité de la saturation des états-relais correspon-
dants (dénominateur) alors que le quatrième terme, en l’absence d’ions moléculaires
et d’ions négatifs, représente la recombinaison en volume des ions atomiques (recom-
binaison à trois corps, fj 1.8). Au sujet du troisième terme, précisons que lorsque la
valeur de ne augmente suffisamment, le nombre d’états-relais libres par seconde di-
minue (caractérisé par le terme en 7 dans le dénominateur) de sorte que, finalement,
la fréquence d’ionisation par étapes atteint une valeur maximale constante, indépen-
dante de ne (1 << qne)puisque dans ce cas :
(4.25)
142 De façon générale, une recombinaison à trois corps est toujours moins probable qu’une recom-
binaison à deux corps d’où l’importance de la recombinaison dissociative des ions moléculaires
selon la réaction (1.143).
143 La cinétique des ions moléculaires n’est prise en compte que dans la partie haute pression de ce
chapitre ( 5 4.4).
218 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGEÇ HF
grandeur plus grande que celle des ions atomiques, de sorte qu'il est plus correct, pour
ne 5 1014 cmp3, de poser comme équation du bilan des particules chargées :
2 =O .
aTmne (4.26)
En tenant compte des pertes à la fois par diffusion ambipolaire et par recombinaison
dissociative, le calcul de la variation de la puissance 0 en fonction de f i e , la densité
moyenne suivant la section du tube, conduit à la figure 4.8 [15]. A faible densité
électronique (région I), la condition de SCHOTTKY s'applique, déterminant la valeur
de 0 correspondant à la droite horizontale apparaissant en pointillé sur la figure 4.8 :
la perte des particules chargées et leur création sont, en effet, toutes deux linéaires
en f i e , de sorte que leurs fréquences correspondantes sont indépendantes de f i e . Pour
des valeurs de f i , (3.212) un peu plus grandes (région II), les pertes de particules
chargées continuent à se faire par diffusion ambipolaire mais l'ionisation par étapes
s'ajoute à l'ionisation directe, réduisant ainsi la puissance prise au champ pour créer
une paire électron-ion, d'où la décroissance de 0. Pour des valeurs de ne encore plus
grandes (région III), le régime de pertes est encore celui de la diffusion ambipolaire,
mais l'ionisation par itapes ne permet plus à la densité électronique de croître plus
vite que f i e puisque l'on a atteint un régime de saturation (4.25), de sorte que la valeur
de û demeure constante en fonction de ne.
I ' '"""I ' ' """I ' '"!"'I ' ' "''11
II i III
OSCHOTTKY ~
Enfin, pour des densités électroniques encore plus fortes (région IV), les pertes se
font à la fois par diffusion ambipolaire et par recombinaison en volume, cette dernière
prenant progressivement le pas sur la première au fur et à mesure que f i , croît. Quant
4.3 - INFLUENCE DE LA FRÉQUENCE 219
à la création des particules, elle se fait en régime saturé d’ionisation par étapes, donc
sa fréquence u,, est indépendante de ne (4.25). Au total, la fréquence des pertes
augmente alors avec fie et 8 croît (on pourrait le montrer) comme la racine carrée de
ne [15].
4.3. INFLUENCE
DE L A FRÉQUENCE DU CHAMP HF
SUR QUELQUES PROPRIÉTÉS DU PLASMA
ET SUR CERTAINS PROCÉDÉS
Uri des avantages particuliers des plasnias HF relativement aux décharges CC est
de permettre de varier considérablement les propriétés du plasma (notamment la
FDEE) en agissant sur la fréquence du champ EM appliqué. Nous allons développer
une approche théorique de cet effet de la fréquence confirmée par quelques exemples
expériment aux.
4.3.1. P O S I T I O N DU PROBLÈME
De faLon générale, les plasmas à pression réduite sont hors équilibre thermodyna-
mique. Concrètement’ l’énergie moyenne des électrons est beaucoup plus grande que
celle des ions et des neutres ( 5 1.4.3). Dès lors, nous le savons, ce sont essentiellement
les collisions électroniques, et non celles dues aux particules lourdes, qui assurent l’ex-
citation et l’ionisation des atomes et des molécules, de sorte que la forme de la fonction
de distribution e n h e r g i e Fo ( U ) des électrons (FDEE)144 c ~ r i d i t i o i i n e ’ la
~ ~réparti-
tion relative de la densité A$ des différents &its excités des atomes et moléciiles de
la &charge. Pour le voir, nous allons considérer le cas simple mais fréquent où les
espèces excitées ou ionisées sont produites A la suite d’un seul impact électronique sur
l’atonie (molécule) dans l’état fondamental. L a densité des atomes (moléculcs) ainsi
formés, par seconde, dans l‘état (excit,6 ou ioriisi.) j est alors donnée par :
(4.27)
p ( l J ) f l d u = 1.
O
L’indice zéro signifie qu’il s’agit d’une fonction de distribution isotrope (ou, le cas échéant,
du premier terme du développement de la fonction de distribution en harmoniques sphériques
(S 3.1)).
145 Les collisions électroniques dét,erminent entièrement la population d’un état excité seulement si
le peuplement et le dépeuplement de ce niveau par des transitions radiatives sont négligeables.
220 4 - INTRODUCTION À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
(4.28)
(4.29)
soit telle que vu(U);$ w . En effet, dans ce cas, le nombre total de collisions élas-
tique~~ et ~inélastiques
* est tellement grand pendant une période HF que le transfert
d’énergie du champ électrique aux particules lourdes via les électrons a lieu, pour ainsi
dire, à chaque instant de la période du champ HF : la FDEE est alors tributaire de la
valeur instantanée de l’amplitude du champ HF et varie donc en fonction du temps
(cet effet se manifeste pour des fréquences typiquement inférieures à 100 MHz). Au
contraire, pour vu(U)5 w , la FDEE est stationnaire car les collisions, une ou au-
cune pendant une période, surviennent à des moments différents de la période, d’une
période à l’autre.
Dans le cas des décharges dans les gaz atomiques, la valeur de vu(U) augmente abrup-
tement à partir de l’énergie du premier niveau d’excitation alors que, pour les gaz
moléculaires, vu(U)atteint une valeur élevée dès les faibles valeurs d’énergie par suite
du transfert d’énergie sur les états ro-vibrationnels, comme l’illustre la figure 4.9.
146 La densité des atomes ou des molécules neutres n/o est évidemment telle que Mo = E,H3.
147 Noter qu’en multipliant vu(U)par l’énergie i / ou V, (suivant le cas), la valeur moyenne résultante
(vu(U)U) est égale selon (4.1) à O p .
, nombre de collisions élastiques est pondéré par le rapport 2 m , / M ,
148 Dans l’expression de v î L ( U )le
la fraction maximale ,d’énergie cinétique qu’un électron peut transférer lors d’une collision élas-
tique avec une particule lourde (équation (1.96)).
4.3 - INFLUENCE
DE LA FRÉQUENCE 221
109
A
i
O
z
*
h
107
I
I
II
v
R
h lo6 :
105 :
io4 :
O 5 10 15 20 25
uev
Figure 4.9 - Fréquence Y, ( U ) à laquelle s'effectue le transfert d'énergie des électrons
aux particules lourdes dans le cas du néon et de l'hydrogène moléculaire (d'après [is]).
La pression du gaz est exprimée à O OC.
149 Les calculs détaillés montrent que la FDEE est déjà stationnaire pour w / p = 7r105 s-' torr-'
(voir [17]).
150 La pression p est exprimée relativement à O OC.
222 4 - INTRODUCTION À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
O 5 10 15 20 25 30 35
U(V)
Figure 4.10 - Partie isotrope de la fonction de distribution en énergie calculée dans le
néon pour w / p = 27r105 s-’ torr-’ à différentes valeurs de la période HF 7 ;
t = p t est le temps normalisé où p est la pression exprimée à O “C [17].
Pour aller à l’essentiel, nous ferons l’hypothèse d’une FDEE stationnaire et, de sur-
croît, homogène. Celle-ci s’obtient de l’équation de BOLTZMANN stationnaire et homo-
gène, qui peut se mettre sous la forme [7] :
(4.30)
où le terme So(Fo)représente les collisions entre électrons et entre les électrons et les
autres particules du plasma; quant à la quantit,é :
(4.31)
dont on note qu’elle a les unités d’une énergie par seconde (voir (4.8)), elle représente
la puissance transférée (en moyenne sur une période) du champ électrique HF à un
4.3 - INFLUENCE DE LA FRÉQUENCE 223
151 A la différence de la relation (4.8) où la valeur de v est une valeur moyenne sur la FDEE, v ( U )
est ici une fréquence microscopique, comme l’indique sa dépendance explicite en ü.
152 Ceci nous permet. d’ailleurs d’écrire, dans le cas de l’hélium, que v/po 2 2 , 4 x l o 9 s-’.
153 Dans ce qui suit, comrne il s’agit de cas limites (v(U)/w i O ou v(U)/w t m), nous pouvons
considérer plus simplement la valeur moyenne u plutôt que sa valeur microscopique u( U).
224 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
10°
1n-I
inP
h
N
10K6
lop7
n 5 io 15 20 25 30
ue v
Figure 4.11 - Fonctions de distribution en énergie des électrons pour un plasma d’argon
dans un long tube cylindrique de rayon R, calculées d’après un modèle auto-cohérent, en
régime de diffusion ambipolaire et avec excitation directe à partir de l’état fondamental
( p R = 0,15 torr-crn) [20]. La courbe M est pour une FDEE maxwellienne (collisions
électron-électron suffisamment nombreuses) alors que les courbes CC et MO correspondent
respectivement aux cas limites v / w > 1 (“courant continu”) et v / w < 1 (“micro-ondes”)
décrits dans le texte.
La figure 4.11 permet de comparer, pour une même valeur du produit p R , les FDEE
calculées dans ces deux cas limites (CC et MO) avec la FDEE maxwellienne (M). Nous
constatons que les trois FDEE sont très différentes les unes des autres. Distinguons
plus particulièrement les électrons du corps de la distribution de ceux de la queue.
La figure 4.11 montre que la partie de la queue comprise entre Vi, le seuil d’énergie
du premier niveau excité, et V,, le seuil d’énergie d’ionisation de l’atome (domaine
encadré par les deux traits verticaux sur la figure 4.11), est plus peuplée dans une
décharge en courant, continu (CC) que dans les cas de la maxwellienne (M) et de
la FDEE micro-ondes (MO). Ceci signifie que le coefficient d’excitation lcoj (relation
(4.28)) et, donc, Nj, la densité d’atomes excités dans l’état j par unité de volume
sont, à densité électronique constante154,les plus élevés dans une décharge en
154Les FDEE de la figure 4.11 sont normalisées (même aire sous la courbe), la condition de norma-
lisation (voir la note 174 en bas de page de l’annexe XVII) étant
7
O
F ( U ) U 4 dU = 1.
4.3 - INFLUENCE DE LA FRÉQUENCE 225
,--.10-1
,
N
m
\y,
h
Mo
t 1
t
10-~
1 J-L 1
\\
\\
I I I I I I I I I I I I I I I I I I
10-6
O 5 10 15 20
u
e v
Figure 4.12 - Fonctions de distribution e n énergie des électrons calculées
dans l’argon dans les cas limites CC ( V / W = 00) e t MO ( V / W O, i),
p o u r n,/N = O (courbe en t r a i t plein) et n,/N = l o p 4 (courbe en tirets)
avec excitation directe à partir du fondamental [21].
Remarque : Dans le cas d’une FDEE maxwellienne, l’énergie moyenne (en l’occur-
rence liée à T e )dépend de la configuration et des dimensions de l’enceinte, de la nature
et de la pression du gaz ( 5 3.13). Cependant, dans le cas plus général de la figure 4.11,
il faut ajouter à la liste de ces conditions opératoires la pulsation w du champ156. Plus
généralement, nous pouvons dire que la forme et l’énergie moyenne des FDEE sont
fixées par ces conditions opératoires mais aussi par la densité de puissance absorbée
155 Ainsi, à n e / N = l o p 3 , les collisions électron-électron font que la FDEE d’une décharge d’argon
est presque maxwellienne, bien que le nombre de ces collisions soit souvent inférieur à celui des
collisions électron-neutre. C’est que les collisions électron-neutre sont peu efficaces, pour ce qui
est du transfert d’énergie, qui est au plus de l’ordre de m e / M , alors que les collisions électron-
électron peuvent conduire à un transfert total d’énergie d’un électron à l’autre (§ 1.7.2).
156 Ceci explique pourquoi les valeurs de ( U ) , pour un produit p R donné, peuvent être différentes.
226 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES H F
dans la décharge : bien que la densité de puissance ne fasse pas partie des conditions
opératoires, elle agit sur la densité du plasma (voir la relation (4.4))’ donc sur la
fréquence de collision électron-électron [La].
Nous venons de voir que les valeurs de ( U ) et de 8 dans une décharge & basse pression
ne dépendent que des conditions opératoires et de la densité de puissance H F absorbée,
sans avoir encore pricisé complètement le rôle de la densité de puissance. En effet,
augmenter celle-ci, donc la densité R, des électrons, ne fait pas qu’augmenter le nombre
de collisions électron-électron. On accroît aussi l’importance de l’ionisation par étapes
relativement à l’ionisation par impact direct sur l’atome dans l’état fondamental : à
cette augmentation de n, correspond alors une diminution de l’énergie moyenne des
électrons, donc de I9 ( § 4.2.4). Nous n’allons pas considérer cet effet dans ce qui suit.
O, O 1 O, 1 1 10
p R (torr cm)
La figure 4.13 montre la dépendance théorique de 8 (en fait 19,) en fonction de p R pour
des valeurs décroissantles de Y / W allant de Y / W = cc (cas CC : courbe A) à Y / W = O
(cas MO : courbe H) en l’absence de collisions électron-électron, dans l’argon : nous
constatons, à pression donnée, que la valeur de 8 diminue quand w augmente [20].
La courbe M corresp’ond au cas où les collisions électron-électron sont suffisamment
nombreuses pour que la FDEE soit maxwellienne.
4.3 - INFLUENCE DE LA FRÉQUENCE 227
4 . 3 . 6 . DENSITE
D’ESPÈCES PRODUITES PAR SECONDE
À DENSITÉ DE PUISSANCE ABSORBÉE CONSTANTE :
EF FICACITÉ É N ERGÉTIQUE
A la section 4.3.4, nous avons vu que le coefficient d’excitation lcoj est le plus élevé
dans le cas CC et donc que la densit,é des atomes (molécules) dans l’état j produits
par seconde, fij , est aussi la plus grande, ceci dans la mesure où nous considérons des
décharges de densité électronique donnée. Des trois cas limites examinés, quel est
maintenant celui qui, pour une densité de puissance Pa donnée, conduit à la plus
grande valeur de ,% ? Pour répondre à cette question sur l’efficacité énergétique de la
décharge, rappelons que fij = (IcOjNo)ne où ne est donné par Pa = n,B (respective-
ment équations (4.27) et (4.4)) et considérons l’ensemble des courbes de la figure 4.13.
Nous notons que la valeur de û la plus faible est atteinte avec la maxwellienne pourvu
que p R 2 0 , l torr-cm. Alors, pour une densité donnée de puissance Pa absorbée dans
le plasma, on obtiendra un plus grand nombre de paires électron-ion (nous supposons
les atomes ou rrioléciiles ionisés une fois seiilernerit) dans le cas micro-ondes que dans
le cas CC, et même encore iin peu plus avec une FDEE maxwellienne lorsque le pro-
duit p R est suffisamment grand. Ceci signifie, entre autres, que l’on ne devrait pas
recourir à une décharge CC pour réaliser une source d’ions dont on attend le meilleur
rendement possible en énergie électrique (densité d’ions la plus élevée à Pa donnée), à
moiris que la densité électronique de cette décharge ne soit suffisamment élevée pour
que la FDEE soit maxwellienne.
Le calcul de B / p de la figure 4.13 a été mené avec de l’argon comme gaz principal
de la décharge. Si nous ajoutons un autre gaz, par hypothèse, à l’état de trace de
sorte que les propriét>ésde la décharge soient fixées par le gaz principal (dit porteur
011 plasrnagèrie) [20], on peut, calculer kojt le coefficient d‘excitation directe pour la
formation de l’état j’ de seuil d’énergie Vjf du gaz à l’état de trace, I/, étant le seuil
d’énergie d’ionisation du gaz principal. Les conclusions sont alors les suivantes [2O] :
~ la décharge CC ( v / w = m) donne la plus faible valeur de ,4‘>! pour une puissance
Pa donnée ;
~ l’excitation vers l’état j’ est généralement plus efficace quand la FDEE est maxwel-
lienne, avec quelques exceptions en faveur du cas micro-orides pour certairics valeurs
d’énergie V,) < 15 (pour plus de détails, voir [LO]).
lumière émise par une décharge d’hydrogène et, d’autre part, sur les vitesses de dépôt
et de gravure de pobymères. Nous tenterons d’expliquer ces résultats expérimentaux
dans le cadre théorique que nous venons de développer.
I I 1 1 1 1 1 1 1 I I I I I I I I I I I 1 1 1 1 1 1 1 I I ~~~~~Y
O wcelw = O
O wcelw = 1
10-lO A Wce/W=2,3 :
O wce/w= 5 , 6 !
h
-
E
s
v
42
-
3 10-12g
cr2
-
10-l~
I I I 1 1 1 1 1 1 I I I 1 1 1 1 1 1 I I I 1 1 1 1 1 1 I I I l l l l L
lor1*
157 Dans le cas présent, cette décharge est réalisée au moyen d’une onde électromagnétique de surface
(voir [23] ou annexe XVIII), mais les résultats obtenus, pour des conditions données de décharge,
sont indépendants de la façon dont le plasma est créé [24].
4.3 - INFLUENCE
DE LA FRÉQUENCE 229
Si l’existence d’un optimum en fréquence pour le rendement d’un procédé donné est
souvent observée expérimentalement, son explication au moyen des mécanismes de
base que nous venons de décrire nécessite de connaître certains paramètres du plasma
qui sont souvent difficiles à mesurer (accessibilité restreinte des moyens de diagnostic,
perturbations du champ E occasionnées par les sondes de mesure). De plus, réaliser
une expérience où seule la fréquence varie alors que tous les autres paramètres opéra-
toires demeurent constants est difficile [20]. Par exemple, il est généralement impos-
sible d’entretenir le plasma HF avec la même configuration de champ E aux fréquences
radio et micro-ondes. Seuls les plasmas produits par les ondes électromagnétiques de
surface permettent une telle étude paramétrique (annexe XVIII). Une difficulté sup-
plémentaire d’interprétation des résultats survient lorsque le phénomène d’oscillation
de la FDEE (FDEE non stationnaire) se conjugue avec une variation de sa forme
(effet V / W ) ( 5 4.3.2 et 4.3.3). Les résultats expérimentaux qui suivent montrent qu’il
est possible d’optimiser un procédé en jouant sur w .
t I I I I I I I I I I I I I I I I I I 1
50 100 150 200
Fréquence, f (MHz)
Figure 4.15 - Dépendance en fréquence de l’intensité des raies d’émission mesurée dans
une décharge de Ha pur (Pt = 50 W, p = 0,5 torr, R = 13 mm). O Ly, (121,5 nui),
0 Hg (410,2 nm), 0 H, (434’1 nm), A Hg (486,l nm) [18].
I I I I 1 1 1 1 1 4 I I
10 50 100 500
Fréquence, f (MHz)
158 A défaut de pouvoir maintenir la densité de puissance constante dans le cas présent, on normalise
la vitesse de dépôt à la valeur de Pt, la puissance totale absorbée dans la décharge.
4.3 - INFLUENCE
DE LA FRÉQUENCE 23 1
FDEE non stationnaire à une FDEE stationnaire (cas CC) ( 5 4.3.2). Ces calculs
portant sur la FDEE n’étant actuellement pas disponibles, il est difficile de trancher
la question.
L’obtention d’une vitesse de dépôt élevée est évidemment un objectif industriel. Dans
le cas présent, l’optimisation ainsi réalisée permet également de réduire la densité de
puissance en jeu, donc de diminuer la température du gaz de la décharge, ce qui en
l’occurrence conduit à une meilleure qualité du dépôt [26].
I I I I 1 1 1 1 1 I I I I , , I I I I I , , I I I
O ‘
lo1 lo2 io3 io4
Fréquence, f (MHz)
4.3.8. CONCLUSION
SOMMAIRE A
L’ÉTUDE DES PROPRIÉTÉS
DES PLASMAS HF À BASSE PRESSION
La puissance moyenne perdue par un électron par collisions avec les particules lourdes
se révèle être un paramètre essentiel à la description des décharges électriques à basse
pression (nous pourrions montrer que c’est également vrai pour les décharges à forte
pression, incluant la pression atmosphérique). Les conditions opératoires de ces dé-
charges peuvent être choisies de façon à ce que la fréquence du champ HF agisse sur la
FDEE, aussi bien sur sa forme que sur son caractère stationnaire ou non, permettant
ainsi d’optimiser la cinétique d’un processus donné. Comme cas particulier intéres-
sant, nous avons vu dans les conditions de SCHOTTKY que, pour une densité donnée de
puissance absorbée par le plasma, c’est la décharge micro-ondes qui offre le plus grand
nombre de paires électron-ion comparativement à une décharge CC (si la densité de
celle-ci n’est pas trop élevée pour que la FDEE soit maxwellienne). Enfin, le fonction-
nement à la résonance cyclotronique électronique favorise l’entretien des décharges
HF à des pressions nettement plus faibles qu’en absence de champ magnétique.
Les plasmas à haute pression se distinguent des plasmas à basse pression non pas par
leurs mécanismes de production, mais par leurs mécanismes de perte de particules
chargées, par l’accroissement important de la température du gaz Tg (sans nécessai-
rement atteindre 1’E:TL des plasmas thermiques) dû à l’augmentation de N et de
ne (collisions élastiques électron-neutre), par l’apparition de cinétiques réactionnelles
particulières (rôle des ions moléculaires), et par l’apparition de phénomènes supplé-
mentaires (contraction et filamentation).
Les plasmas à haute pression sont produits le plus souvent par des décharges en cou-
rant continu, par décharges inductives (ICP) dans le domaine radio-fréquences et par
des décharges micro-ondes (notamment par ondes de surface). La description des plas-
mas à haute pression est plus complexe, compte tenu des phénomènes thermiques et
des cinétiques plus variées qui se déroulent dans ces décharges, et, pour ces raisons,
moins établie que celle des plasmas à basse pression. Dans ce qui suit, nous nous bor-
nerons à illustrer quelques unes des caractéristiques des plasmas HF à haute pression :
nous décrirons en particulier les phénomènes de contraction et de filamentation obte-
4.4 - LES PLASMAS HF À HAUTE PRESSION 233
nus dans certaines conditions. Finalement, nous présenterons les hypothèses portant
sur les mécanismes de la contraction et préciserons le rôle respectif sur ce phénomène
du chauffage inhomogène du gaz et de la cinétique des ions moléculaires.
Dès que la pression du gaz dépasse quelques dizaines de torr, on observe l’apparition
de stries périodiques ou la diminution, à mesure que la pression augmente, de la sec-
tion radiale du plasma d’une décharge tubulaire. Ce dernier phénomène, connu sous
le nom de contraction, affecte les décharges électriques entretenues dans des gaz rares
et dans certains gaz moléculaires, notamment de type électronégatif. Dans le cas des
gaz rares, comme l’argon ou le néon, la contraction se manifeste lorsque la pression
dépasse quelques torr seulement : la colonne de plasma se réduit radialement, pro-
duisant un filament dense et brillant, orienté suivant la direction du champ électrique
dans la décharge. Si celle-ci est entretenue par une onde électromagnétique de surface
(annexe XVIII) et que le tube à décharge est disposé verticalement, alors le filament
est centré sur l’axe, comme nous pouvons le voir sur la figure 4.1815’.
Kr Ar Ne He Nz
Insterstice de lancement
159 Lorsque le tube à décharge est orienté horizontalement, la convection naturelle pousse le filament
hors de l’axe, vers le haut.
234 4 - INTRODUCTION À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
La figure 4.18 montre la lumière émise par des décharges produites par un champ
micro-ondes dans différents gaz à la pression atmosphérique dans un tube de 6 mm
de diamètre interne. Dans le cas présent, la décharge est entretenue par une onde
de surface EM de sorte que la densité électronique décroît (presque linéairement) à
partir de l’interstice du lanceur d’onde de surface (applicateur de champ EM) vers
la fin de la colonne (annexe XVIII). Nous constatons que le diamètre lumineux des
décharges d’hélium et de Nz ne varie pas, en première approximation, en fonction de
la distance à l’interstice de lancement. Par contre, la contraction de la colonne de
plasma est manifeste dans la décharge d’argon et de krypton, le néon étant compara-
tivement beaucoup moins contracté. En comparant le niveau de contraction observé
avec la conductivité thermique IC des gaz correspondants à la température du gaz de
la décharge (tableau 4.1)’ nous pouvons affirmer que, si contraction il y a, elle est
d’autant plus marquée que IC est faible.
Tableau 4.1 - Conductivité thermique n (en lo-’ W/InK) du gaz calculée à la
température ambiante et à la température du gaz mesurée sur l’axe de la décharge.
E
v
E
b
O 1 2 3 4 5 6
R (mm)
Figure 4.19 - Variation du rayon du filament lumineux dans une décharge
d’onde de surface d’argon en fonction du rayon interne R du tube
à décharge, à une même distance z de la fin de la colonne (d’après [ 2 8 ] ) .
Remarques :
1. Les décharges électriques entreknues à pression réduite ( p < 10 torr) sont rela-
tivement homogènes et remplissent entièrement le volume de l’enceinte qui les
contient. On les désigne habituellement sous le nom de décharges luminescentes
ou de décharges difuses (pour les opposer aux décharges contractées). Dans le cas
d’une décharge tubulaire, le volume du plasma, déterminé par sa partie lumines-
cente, occupe la totalité de la section radiale du tube. Ceci est lié au fait que les
pertes de particules chargées (les électrons et les ions) se font par diffusion vers
la paroi du tube où a lieu leur recombinaison. Dans ces conditions, la distribution
radiale des électrons est déterminée par la pression et le rayon du tube à décharge
(0 3.13). Par opposition au cas diffus, les électrons dans une décharge contractée
sont confinés dans la région du filament de plasma et les pertes de particules char-
gées ont lieu principalement par recombinaison en volume, comme nous le verrons
(0 4.4.2).
2. Le passage du régime diffus au régime contracté, particulièrement facile à obser-
ver dans une décharge en courant continu [29], entraîne une forte augmentation
de la densité électronique et de la température du gaz alors que la température
des électrons diminue. Cependant, le passage de l’état diffus à l’état contracté,
plus dense, n’implique pas nécessairement une transition de la décharge vers l’état
d’équilibre thermodynamique (3 1.4.3) : Te demeure largement supérieiire à T g .Ces
236 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES H F
décharges contractées sont, en fait, dans un état intermédiaire, situé entre l’état
très loin de l’équilibre thermodynamique d’une décharge diffuse et l’état d’équilibre
thermodynamique d’un arc thermique ou d’une décharge inductive à forte densité
de puissance. Ainsi, les propriétés des décharges contractées ne s’apparentent ni à
celles des plasmas froids luminescents, ni à celles des arcs thermiques.
+ R=3mm
-c- R=4mm
-C- R=5mm
-O- R=6mm
z = 25 mm
O, O O, 2 O, 4 O, 6 O, 8 110
TIR
Figure 4.20 - Profil radial de l’intensité lumineuse émise en fonction de la position
radiale normalisbe dans une décharge de Nz pour des tubes de différents rayons
(d’après [28]), montrant que cette décharge n’est pas contractée (profil indépendant de R ) .
4.4.2. H Y P O T H ~ SD’ÉTUDE
ES DU PHÉNOMÈNE DE CONTRACTION
A LA PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
CHAUFFAGE
INHOMOGËNE DU G A Z
5600
5200
4800
2600
2400
2200
2000
1800
1600
1400
0, 0 O, 2 0, 4 0,6 0, 8 L O
TIR
Figure 4.21 - Distribution radiale de la température Tg du gaz observée dans une
décharge de néon, d’hélium et d’azote à 2450 MHz dans un tube de rayon R = 3 mm
(d’après [28]).
161 A partir d’une bande ro-vibrationnelle de la molécule OH (de la vapeur d’eau ayant été intro-
duite, à l’état de traces, dans la décharge), on peut, à l’aide d’un diagramme de BOLTZMANN
(annexe III) des intensités des raies, déterminer une température dite de rotation (Trot).Dans une
décharge à la pression atmosphérique de densité électronique suffisamment élevée, l’énergie ro-
vibrationilelle de la molécule thermométrique (OH) est en équilibrc avcc l’énergie de translation
du gaz plasmagéne d’où Trot = T,.
238 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES H F
Dans ce qui suit, nous présentons, en premier lieu, le cycle de production et de dis-
parition des ions mol’éculaires, déjà abordé en § 1.8. Nous verrons le rôle joué par les
ions atomiques dans ce cycle. Par la suite, nous examinerons, dans des décharges de
gaz rares à la pression atmosphérique, dans quel intervalle de ne et de Tg les ions
moléculaires dominent la cinétique création-perte des particules chargées.
processus généralement faible dans un plasma à haute pression, soit plutôt par ioni-
sation par étapes à partir d’un etat excité A* de l’atome qui subit ultérieurement
une collision électronique menant à l’ionisation suivant :
A* + e + A’ +e +e. (4.34)
Cet état-relais A* peut, quant à lui, résulter soit d’une excitation par collision
électronique de l’atome à partir du fondamental :
(4.35)
Al+e+A+A*, (4.36)
Cette réaction est l’inverse de celle conduisant à la conversion des ions atomiques
en ions moléculaires (4.32).
Rappelons (4.36) que les ions moléculaires disparaissent aussi par recombinaison
dissociative. Enfin, les ions moléculaires peuvent aussi être détruits par impact
électronique suivant la réaction :
Ai +e + A+ + A +e. (4.38)
à celles des électrons et des ions atomiques, est de ce fait négligeable. Les pertes
de particules chargées restent toutefois dominées par la recombinaison dissociative,
mais la recombinaison à trois corps n’est plus négligeable (forte densité électronique).
Notons que la densité électronique dans cet intervalle de Tg n’augmente que très
faiblement avec Tg.
4.4.3.VALIDATION
PAR U N MODÈLE AUTO-COHÉRENT
DES HYPOTHÈSES ÉMISES S U R LA CONTRACTION
À L A PRE~SSION ATMOSPHÉRIQUE
A partir d’un modèle auto-cohérent, présenté dans [30], appliqué à des gaz diffé-
rents (He, Ne, Ar), nous avons obtenu les variations radiales des paramètres ( n e ,T,,
T e ) du plasma. Les résultats de modélisation montrent (voir figure 4.23) l’existence
d’un chauffage inhomogène du gaz dans les trois gaz étudiés. Cependant, seules les
décharges dans l’argon et le néon manifestent une contraction radiale, ceci en accord
avec les observations expérimentales. Ces résultats de modélisation nous ont égale-
ment permis de comparer les fréquences des réactions de création (ionisation directe
vid (4.33)’ ionisation par étapes viel,si l’état-relais est peuplé à partir du niveau fon-
damental (4.35) et ionisation par étapes viea, si l’état-relais est peuplé par la recom-
binaison dissociative (4.36)) avec celles des pertes de particules chargées (diffusion
ambipolaire ug (§ 3.1.2)’ recombinaison dissociative uTm (4.36) et recombinaison à
trois corps v,, (1.142) des particules chargées (voir figure 4.24)). L’analyse de ces
processus dans le plasma montre que la contraction se manifeste à la pression atmo-
sphérique pour des gaz dans lesquels les cinétiques de création et de perte des parti-
cules chargées sont complètement contrôlées par les ions moléculaires. La figure 4.24
4.4 - LES PLASMAS HF À HAUTE PRESSION 241
montre bien que dans l’argon et le néon la fréquence d’ionisation par étapes uie2 (ce
processus implique les ions moléculaires) et la fréquence de la recombinaison dissocia-
tive u,, sont prépondérantes. Dans l’hélium, la cinétique des ions moléculaires n’est
pas aussi importante que dans l’Ar et le Ne. Ainsi, ni la création ni les pertes de parti-
cules chargées ne sont contrôlées par la cinétique des ions moléculaires dans l’hélium.
Par conséquent, il n’y a pas de dépendance non linéaire de ne en Tg, et l’existence d’un
gradient de Tgn’induit pas de contraction de la décharge dans He (figure 4.23 b). En
réalité, ce gradient de la température du gaz indique qu’une forte densité de puissance
se trouve absorbée par la décharge He à la pression atmosphérique.
t 1
R=Smm
f = 915 MHz Ar ”‘...... -
- z ==110
0 ccm
m .I..
\
I I I I I I I I I I I I I
0,O 0,5 1,0 1 ’ 5 2,O 2,5 3,0 0,O 0,5 1’0 1,5 2,0 2,5 3,O
r (mm) r (mm)
Figure 4.23 - Profils radiaux a) de la température du gaz et b) de la densité électronique
dans des décharges HF d’hélium, de néon et d’argon à la pression atmosphérique.
lo6
n io5
I
io4
E
6 103
s
6 lo2
A
lo1
in O
lu
20’18 39’9 4,O 20,18 39,9
He Ne Ar He Ne Ar
Figure 4.24 - Fréquences calculées a) des réactions de création (ionisation directe vid
(4.33), ionisation par étapes viel,si l’état-relais est peuplé à partir du niveau fondamental
(4.35)’ et ionisation par étapes v;,~,si l’état-relais est peuplé par recombinaison
dissociative (4.36)) ; b) des pertes de particules chargées (diffusion ambipolaire v~ ( 5 3.12),
recombinaison dissociative v,, (4.36) et recombinaison à trois corps vTa (1.142)).
242 4 - INTRODUCTION
À LA PHYSIQUE DES DÉCHARGES HF
Accord expérience--théorie
La figure 4.25 compare expérience et théorie dans le cas d’une décharge de néon à
la pression atmosphérique. Nous remarquons, en premier lieu, le très bon lissage du
profil expérimental de ne suivant exp(-(r/rP)’). Le profil théorique obtenu par un
modèle numérique, également pour le néon, fait appel à un modèle auto-cohérent
du plasma, semblable à celui développé pour la décharge d’argon [30]. La courbe
théorique présentée etit celle obtenue pour T,(r = R ) = 1200 K, à la même position
axiale z par rapport à, la fin de colonne que dans le cas expérimental.
10
R=3mm
f = 915 MHz
8 z = 5 , 3 cm
Néon
,--.
m
I
6
E
m
i
O
4
v 4
r“
2
O
0,o 0,5 l,o 1,5 2,o 2,5 3,o
(mm)
Figure 4.25 -- Distribution radiale de la densité électronique obtenue ( O )
expérimentalement à partir de l’élargissement STARKde la raie Ho,
par lissage par exp(-(r/rp)2) (-), et par calcul ( . . . ) .
EXERCICE 1.1
On consultera avec profit l’annexe I et la table des formules et intégrales utiles (voir
annexe XIX).
SOLUTION
a) Le système est soumis à une force conservative (8’= -Va)puisque la force gra-
vitationnelle F = -Mg dérive d’un potentiel, en l’occurrence @ ( z ) = M g z . La
fonction de distribution en vitesse des particules étant, par hypothèse, de type
MAXWELL-BOLTZMANN, d’où dans le cas d’un tel système (1.14) :
n ( z ) = Roexp
(
--
2;). (4)
244 EXERCICES
Remarques :
1. Comme nous pouvons écrire f ( z , w) = n(z)f(w), la fonction f ( z , w) est dite
séparable ( 5 3 . 3 ) .
2. Le fait que, par hypothèse 2 O, nous permet en effet de supposer qu'il n'y
a pas de fuite si,e;nificativede particules ou d'énergie dans une direction donnée
et donc que la distribution des vitesses est isotrope.
b) De façon générale (3 3.3 pour plus de détails), la valeur moyenne d'une variable
A ( r , w ) prise sur la fonction de distribution f ( r ,w ) s'écrit :
7
-00
A ( r , w ) f ( r , w ) d3W
( 4 r ,w ) ) =
7
-03
f ( r , w ) d3w
(5)
J ~ ( zw,) f ( w ) d3W
( A ( z ,w)) = n(z)-" 00 = r A ( z , w)f(w)d3w (6)
n(z) J' f ( w ) d3w -Oo
-03
intégrant impair
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 245
L’intégrant sur w, étant impair, la valeur de son intégrale de -00 à +00 est nulle
et (w,)= O .
I1 en est de même pour les composantes des vitesses suivant g et z , ce qui fait que
= O.
(w)
Enfin, la valeur moyenne de ( w 2 )ayant pour expression et valeur :
EXERCICE 1.2
SOLUTION
a) Dans le cas où la fonction de distribution des vitesses est maxwellienne et iso-
trope (conditions nécessaires pour qu’il y ait équilibre thermodynamique) , le flux
aléatoire de particules s’écrit , en coordonnées cartésiennes (se rappeler, dans ce
contexte, que n est indépendant de la position) :
x sexp
-00
(-g) dw, ,
246 EXERCICES
soit :
r, -
- - (3)
4
3 2K 5 cc
soit (5)
Cet exemple illustre la difficulté à séparer les différentes contributions d’une gran-
deur moyenne lorsque les propriétés moléculaires considérées sont elles-mêmes le
produit ou le quotient de plusieurs grandeurs.
b) Le flux aléatoire d’énergie s’écrit en coordonnées cartésiennes :
R = ( nmw,w2 ),
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 247
soit, en décomposant :
00 00 Co
soit
Encore une fois, nous vérifions que la valeur de r, est bien indépendante du système
de coordonnées utilisé pour exprimer les vitesses.
Remarques :
1. P, a les dimensions d’un flux d’énergie, ou encore, d’une densité de puissancc
(Wm-2).
2. Nous savons que l’énergie cinétique moyenne des particules est donnée par
? k g S . Or, le flux aléatoire d’énergie fait intervenir le facteur 2 k ~ Tet non
# k B T . Cette différence est due au plus grand poids des vitesses apparaissant
dans le calcul du flux aléatoire d’énergie (en w 3d3w) que dans celui de l’énergie
cinétique moyenne (en w2 d3w).
248 EXERCICES
EXERCICE 1.3
Considérer un plasma d’hélium dont la densité des noyaux est de lo2’ mP3. Calculer
la densité des atomes neutres, des électrons, des atomes ionisés une fois et des atomes
doublement ionisés lorsque la température du plasma est de :
a) Tev = 1 eV,
b) Tev = 10 eV,
en posant l’hypothèse de l’équilibre thermodynamique. Par rapport à l’état fonda-
mental de l’atome neutre, l’énergie-seuil d’ionisation de l’hélium est de 24,59 eV pour
la première ionisation et de 54’4 eV pour la seconde. Effectuer le calcul de façon
analytique et non sur ordinateur.
SOLUTION
où N , no, nli, n2i et ne désignent respectivement la densité des noyaux, des neutres,
des atomes d’hélium ionisés une fois et des atomes d’hélium ionisés deux fois et des
électrons.
L’hypothèse de l’équilibre thermodynamique nous permet d’appliquer la loi de SAHA
(voir 0 1.4.2) :
La relation (3) nous mène, en fait, à deux équations, à savoir l’équilibre de première
et celui de deuxième ionisation de l’hélium. Nous disposons donc de quatre équations
pour résoudre ce problème à quatre inconnues. La dégénérescence quantique gi[Z]
(poids statistique) des trois états électroniques de l’hélium, donnée par 2 5 1, est +
indiquée dans le tableau ci-dessous ( L est le moment orbital total et S le spin total; J ,
le moment angulaire total, est le module de la somme vectorielle (au sens quantique)
+
de L S).
L S J gi=2J+I
He O 0 0 1
162 La conservation des noyaux indique comment les atomes d’hélium à O K se répartissent en atomes
neutres et ionisés lorscque soumis à une température T # O.
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 249
a) Cas Tev = 1 eV
Bien qu’un calcul analytique exact soit possible (voir b)), nous allons procéder
par approximation successive (méthode itérative) pour résoudre ce premier cas de
l’exercice. Dans une première itération, nous allons négliger le nombre d’atomes
ionisés deux fois par rapport à celui des atomes ionisés une fois. Ceci peut se
justifier par l’écart important entre l’énergie d’agitation thermique des particules
(1 eV) et l’énergie de deuxième ionisation de l’hélium (54’4 eV). En conséquence,
les équations de conservation de la charge (2) et des noyaux (1) se réduisent à :
nenii -
- 2x2
- -x 3’02 x loz7 x e-24,5 = 2’76 x 1017 m-3 = Al ,
n0 1
En utilisant les équations (4)’ (5) et (6)’ nous aboutissons à une équation du second
degré en n1i :
+
n;i Alnii - NA1 = O (8)
2
n i i = - - *Al
d($) +NAI.
où : (9)
2
Seul le cas n1i > O a un sens physique, en l’occurrence nli = 5’12 x 10” mP3.
Connaissant nli, nous pouvons en déduire ne et no à l’aide des relations (4) et
(5) : ne = 5’12 x lo1’ mp3 et no = 9’49 x 1019 mP3.
Calculant, en deuxième itération, n2i avec l’équation (7)’ nous obtenons n2i 2
3’12 x 1014 mP3.
b) Cas T,v = 10 eV
Ecrivons l’équation de SAHArelative à l’équilibre de première ionisation par rap-
port à l’état neutre et celle de l’équilibre de deuxième ionisation par rapport à
l’état de première ionisation pour l’hélium dans le cas où T,v = 10 elJ :
nenii -
- 2x2
- ~ x 9’55 x lo2’ x eë2,45= 3’29 x lo2* m-3 = B1 ,
n0 1
250 EXERCICES
d'où :
et
d'où
Nous pouvons éliminer no en égalant les relations (15) et (17), ce qui fournit une
équation du troisième degré en ne :
n,t + (BI)n: + [B1(B2- N ) ] n , - 2BiB2N = O . (18)
EXERCICE 1.4
SOLUTION
Nous allons supposer que le système est en équilibre thermodynamique afin de pouvoir
utiliser la loi de SAHA.(9 1.4.2), en l'occurrence :
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 251
où no est la densité des atomes neutres (dans l’état fondamental), n, est la densité des
ions ionisés une fois (dans l’état fondamental) et n e ,la densité des électrons; B ( S )
est la fonction de partition (annexe 11) définie par :
où la somme porte sur les différents états excités de l’atome neutre (IC = O est l’état
fondamental). et :
(3)
oii la somme porte sur les différents états excités de l’ion (une fois ionisé ; j = O est
l’état fondamental de l’ion) ; g k , gj représentent les dégénérescences des niveaux ; E k ,
&j sont les énergies-seuil des niveaux excités, mesurées respectivement , par rapport à
l’état fondamental de l’atome et par rapport à l’état fondamental de l’ion ; E i daris
(1) est l’énergie-seuil d’ionisation mesurée à partir du fondamental de l’atome neutre.
I1 cçt facile de voir que lorsque l c ~ Test faible devant € j et E h , les fonctions de partition
se réduisent, respectivement, à (annexe II) B ( T )E go et B ’ ( T )2 g i .
Dans le cas d’un atome à plus d’un électron, le degré de seconde ionisation sera lié à
celui de la premiere ionisation par une seconde équation de SANA:
ni - (27rrn,SBT)i 1
- 5’14
2 - cxp -- (5)
TLO h3 2 0’17
avec l’équation supplénientaire de conservation des noyaux qui, daris le cadre de
l’approximation ns, 2 O, s’écrit :
no + n, no + ne = N (6)
où N est la densité des noyaux de sodium. Alors de (5) et (6)’ en revenant aux energies
exprimées en joule :
x exp
[
-
5 , ~i , x~10-19
1’38 x x 2000 1 ’ (7)
252 EXERCICES
ne + A n , - N A = O (9)
- A & d A 2 + 4NA
d’où : 12, = = 4’9 1015~-3 .
2
Le degré d’ionisation (équation (1.2)), &, est sans contredit faible : 0’5 %
EXERCICE 1.5
SOLUTION
a) Ce type de problème se traite avec l’équation (auto-cohérente) de POISSON V . E=
P / E O où la densité de charges p est la source du champ E , étant la permittivité
du vide.
Dans le cas où la non-neutralité des charges est suivant une seule dimension x,
comme le suggère la figure de l’énoncé, nous avons, de l’équation de POISSON:
“ = -E(x)
-
ax
et : I d 4= 1 -E dx
) ~ ( - I I : ) , et donc Cl = O, soit :
Pour raison de symétrie, ~ ( I I : =
P
E ( z ) = -a: (9)
€0
soit :
+f X
............... eo
; & + 2E0
Pour p < O, selon (9), le champ électrique de charge d’espace est positif (orienté
vers la droite, § 2.2.1) pour les valeurs négatives de II: telles que -!/a < II: < O
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 255
et il est négatif (orienté vers la gauche) pour les valeurs positives de x telles que
O < x < +l/2. Noter que la direction du chanip électrique tend à attirer les ions
dans la zone de charge d’espace et à en expulser les électrons. En conséquence, la
non-neutralité ne va pas durer longtemps, au plus un temps de l’ordre de w;:.
Dans le cas présent, p = (ni - n,)e = (&)e. Ainsi de (9)’ l’intensité du champ
électrique qui apparaît localement est :
E=
1014 i , 6 x 10-19 10-2 - Cm -- v = 18 kV/m
FV = - , (13)
8,85 x 10-l2 m3(F/m) mF m
les unités V/m étant bien celles d’un champ électrique.
De la même manière, le potentiel en x = O vaut, d’après (11) :
soit 4 ( 0 ) = -90 V.
Pour qu’un électron venant de x < -t/2 traverse la zone de charge d’espace, il faut
que son énergie cinétique initiale U dans la direction x soit supérieure à l’énergie
nécessaire pour franchir la barrière de potentiel due à la charge d’espace, soit :
U = e#(O) = -90 eV . (15)
Or, le t,ravail élémentaire effectué par le champ E sur un électron est donné par
l’expression (§ 2.1) :
dU = F dx = -1Ele dx , (17)
256 EXERCICES
et finalement :
W E= -EO
1
2
V
JE^ dV ,
nous obtenons :
-e/2
WE
- = 9,6 x lop6 JmP2 .
S
EXERCICE 1.6
...-..--.--.--.---.-.
‘O
*
X
Considérer deux plaques parallèles et conductrices
s’étendant à l’infini en y et z , et placées en zfd ; leur
potentiel 4 est nul par hypothèse. L’espace entre les
plaques est occupé par un gaz de particules chargées
a) Montrer que la distribution de potentiel entre les plaques est décrite par :
qqx) = -nq
(d
2
- x 2) .
2CO
SOLUTION
a) L’équation de POISSON V . E = $ et la relation E = -VI#Jpermettent de faire
apparaître le potentiel sous la forme :
et, dans le cas présent, comme il n’y a qu’un seul type de particules chargées,
p = nq ; nous devons donc résoudre :
n9
.-
EO
V 4 ( x = O) = O ’ (29)
d’où Ci = O.
Une seconde intégration conduit à :
$(2) =
nq
-(d 2
- x 2) .
2CO
b) La différence de potentiel entre l’axe et l’une des plaques est, d’après (31)
nq”d2
&=- (33)
260
Dans l’hypothèse où d > AD (puisqu’il n’y a qu’un seul type de charges pour la
distance d ) , nous constatons bien que :
c’est-à-dire que l’hergie électrostatique est plus grande que l’énergie moyenne des
particules (dans une géométrie à une dimension).
Quelle est la probabilité de trouver une particule d’une énergie E aussi grande (sens
physique de la situation proposée) ? Qu’une particule ait assez d’énergie pour se
déplacer de x = &d à x = 0 est d’autant moins probable que d est grand devant
AD. En effet, ceci signifie que l’on trouverait dans le présent milieu des particules
ayant une énergie potentielle très supérieure à S k s T . Or, le nombre de particules
ayant une énergie supérieure à l’énergie moyenne diminue de façon exponentielle
dans le cas d’une distribution des vitesses de MAXWELL-BOLTZMANN. L’hypothèse
proposée apparaît donc irréaliste.
c) Nous avons la relabtion numérique (3 1.6) :
(F)’
1
AD = 740 (1.52)
AD = 740 )
$j( = 740J2 cm 2 1’05. lop2 cm = 105 pm .
EXERCICE 1.7
47r€oh2
où : a0 = ~
m,e2
est le rayon de la première orbite de l’atome d’hydrogène de BOHR,no, la densité
des neutres et g i , go les poids statistiques de l’ion (état fondamental) et de l’atome
neutre (état fondamental).
c) Montrer que la relation (1) n’est, ni suffisante, ni nécessaire pour que 2 soit grand
(fort degré d’ionisation).
SOLUTION
a) L’énergie d’interaction entre un électron et un ion s’écrit :
où d est ici la distance moyenne entre ces deux types de particules chargées. L’hypo-
thèse énoncée plus haut implique donc que :
47r 1 1
d’où
3(47r)3 ne Ag
<< 1 .
b) La relation de SAHA,pour des ions ionisés une fois, selon 5 1.4.2, s’écrit :
2gi ( 2 7 r m , k ~ T ) i
71,’ïLi
-
no
-
--
go h3
exp (-A)
~ B T
En posant ne = 71i (l’ion hélium est ionisé une fois seulement, par hypothèse) et
en introduisant A D à l’intérieur d’un terme de valeur unité :
-. nt - (-)’
2gi ( 2 i r 7 n e ~ B ~ ) sA&nee2
- - exp (-LI (10)
nc1 go h3 COkBT kBT
et finalement :
c) Dans le cas où T est faible, pour que soit grand, la relation (13) exige que no
soit faible, c’est-à-dire que la pression du gaz soit faible. Pour y arriver, n,AL >> 1
ne suffit pas a pri’ori.
Dans le cas où T est élevée, % est a priori grand : la décroissance exponentielle
est faible et n,ai .«1 (ce qui est le cas puisque ne N 1015 cmp3, ao = 5 x lo-’ cm
d’où n,ai : 1015[(5)310p27,expression toujours < 1).I1 n’est donc pas nécessaire
que neAg >> 1 pour arriver alors à un fort degré d’ionisation.
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 261
EXERCICE 1.8
SOLUTION
a) I1 s’agit d’une collision entre un ion et un atome. Les lois de conservation de la
quantité de mouvement et de l’énergie indiquent (9 1.7.2) que seule l’énergie ciné-
tique liée au mouvement relatif peut se transformer en énergie interne. L’expression
de la conservation de l’énergie totale s’écrit en effet (1.74) :
avec w et w’, les vitesses relatives avant et après collision, et pc la masse réduite :
Sachant que l’atome d’hélium est au repos, la vitesse relative initiale whl est donc
égale à la vitesse W I avant collision de l’ion de lithium, d’énergie cinétique :
rnl.11
Ec = - (4)
2
Remarques :
Après collisions, les noyaux d’hélium et de lithium poursuivent ensemble une trajec-
toire uniforme et rectiligne avec une vitesse égale à la vitesse du centre de masse W O .
Si l’énergie-seuil de la réaction inélastique est inférieure à l’énergie maximum transfé-
rable, l’énergie résiduelle se répartit sous forme élastique entre les noyaux d’hélium
et de lithium. Si la vitesse relative après collision est whl, les vitesses wh et wi
sont données par ( 1.69) et (1.70).
2. Dans l’hypothèse où l’énergie cinétique liée au mouvement relatif est transformée
intégralement en énergie interne, on a w;&[ = O. Dans ce cas, d’après (6) et ( 7 ) ,la
vitesse wl du noyau de lithium avant collision et les vitesses wi et wh des noyaux
de lithium et d’hélium après collision sont toutes trois colinéaires : la collision est
donc nécessairement frontale.
Applications numtiriques :
Cette énergie n’eiit pas suffisante, pour induire même une simple ionisation de
l’atome d’hélium !
b) Pour un électron comme particule incidente au lieu de l’ion de lithium, nous tirons
de (5) :
Variante 1 de la solution
On pourrait aussi démarrer la solution directement à partir des équations de conser-
vation :
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 263
Dans ces conditions, puisque la vitesse de l’ion de lithium avant collision, wl,est
connue (son énergie cinétique f C étant donnée), la variation de l’énergie interne A&
sera simplement une fonction de la vitesse de l’ion de lithium après collision, w;.
3. Calcul du maximum possible de A& (à comparer avec les énergies-seuil d’ionisa-
t ion).
L’augmentation de l’énergie interne sera maximale quand :
De (4’) :
I1 vient alors :
4 4
-= -mlw; ml
+ -Wz - ml I
-w1= O ’
dw; mh mh
w; + 2) = ‘wz-m;
mh
1 (9’)
et, finalement :
264 EXERCICES
et : (13')
Variante 2 de la solution
Au lieu de rechercher la valeur maximum possible pour A&, nous pouvons établir les
vitesses après collisions des deux particules en fonction de A&. Si la valeur de A& ne
permet pas que soient vérifiées les lois de conservation, alors les valeurs des vitesses
après collisions ainsi obtenues seront négatives ou imaginaires.
Dans (7') de la variante 1 de la solution, A& est maximum lorsque le produit scalaire
wl . wi est maximum, c'est-à-dire lorsque wl et 201 sont colinéaires (collision frontale)
et de même sens. On a alors :
et, finalement :
La vitesse de l’ion de lithium après collision, wi (4*), doit être une quantité réelle. De
plus, la loi de conservation de la quantité de mouvement doit déterminer une seule
valeur de la vitesse de l’ion de lithium après collision. Dans ces conditions, la valeur de
A& qui conduit à une seule racine réelle de l’équation (4*) sera la portion de l’énergie
transférée par l’ion de lithium à l’atome d’hélium lors de la collision.
Pour n’admettre qu’une seule racine, le discriminant de l’équation quadratique doit
être nécessairement nul :
V = B2-4AC = O . (8*)
dont les applications numériques ont déjà été traitées plus haut.
La valeur de A€ ainsi calculée est la même que celle obtenue (5) en recherchant
-
dAE = 0 (5’) pour la variation de l’énergie interne A€.
Si nous choisissons de donner à A& dans (1’)une valeur égale à la première ionisation
(A& = 24’59 eV), à partir de (8*) nous obtenons :
A = 2 (1 + E) = 1,57 x (kg)
= 6 4, 9 6’9
2 m 1’67px / m = -8,ll x (B2 en kg J)
A = 1’57 x (kg) ,
EXERCICE 1.9
Considérer deux populations de particules a et /3, de masse m, et mp, dont les fonc-
tions de distribution des vitesses sont représentées par des distributions maxwelliennes
f,(w,) et f p ( w ~ ) isotropes
, et de température, respectivement, T, et Tp.
a) Calculer la valeur moyenne (Iw,- wpl) du module des vitesses relatives entre les
particules cy et /?’ en utilisant la marche à suivre suivante :
wûp = w, - wp et WO=
UW, +
bwp
a+b
SOLUTION
a l ) Pour obtenir la valeur moyenne de Jw, - wpl, il faut intégrer ce terme sur
l’ensemble des vitesses des populations des particules Q et p, soit :
avec :
Pour éliminer, par addition, les deux termes croisés dans ( 7 ) ,il faut choisir u et b
tels que :
mew:
+-mow$ -
- W;
(ma + mp)(m,To + mpT,)
2 k ~ T , 2k~Tp 2kBTaTB(mcu f mp)
m, + mp - mow; P~BwOI~
+ wOiB
m,mp
rn, + mp 2k~(m,Tp mpT,)+ +-
2 k ~ T o 2k~T,p
à condition de poser :
268 EXERCICES
m m p -
-
' m m p (ma+ m~)T,p -
-
PLOlPmO
T,Tp +mp Ta0T,Tp TaDTO
a3) Considérons le changement de repère des vitesses défini par (5) et (6). Le Jacobien
,7 de cette transformation a pour valeur :
U
1 --
u t b
J E = l .
1 -
a f b
Remarques :
1. Si l’une des températures est nulle (To = O), on retrouve bien la valeur de
la vitesse moyenne pour les particules de température T, (Ta # O ) puisque
(Iw,- 01) = (IwaI)= J-“. Tm,
g(wap) = 4.irw$3f,p(wap) ,
soit :
vafi =
EXERCICE 1.10
SOLUTION
a) La géométrie d’une collision élastique de type “boules-de-billard”, dont l’interaction
est par nature répulsive, est représentée sur la figure ci-dessous. Les vitesses wag
et W O O , et wLo et, who sont respectivement les vitesses avant collision et après
collision des particules (Y et p. La distace s entre les deux paires d’asymptotes est le
paramètre d’impact (distance de plus courte approche en l’absence d’interaction).
L’angle de diffusio’n 8 est relié à l’angle xmax, angle maximum entre r (position
relative des centres des particules) et la vitesse relative w , ~= wag - wpo avant
collision, par :
+
2 x m a x 8 = i7 (1)
EXERCICES
DU CHAPITRE 1 271
J
Représentation géométrique d’une interaction de type “boules-de-billard”
dans le centre de masse
0
soit, compte tenu de (1) : +
s = (roi r p ) cos -
2 (5)
r , +rg 0
et ds = -~ sin - à0 .
2 2
272 EXERCICES
du
on obtient : Xmax =
O
S
soit : xmax= arcsin
+ rl3
~
T,
7r
7r
âtm = - ( r ,
2
+ /(l - cosû) d(-cosû)
O
( r +, rfi)
2
soit, après intégration : etm = ~ , (17)
valeur identique à celle de la section efficace microscopique totale (14).
d) Dans le cas des collisions ion-neutre, r , = r p , de telle sorte que :
La section efficace pour les collisions électron-neutre est plus faible d’un facteur
4 que la section efficace des collisions ion-neutre. Pour l’hélium, les données four-
nies conduisent à un rapport 7, mais il est important de noter que ces sections
efficaces ne correspondent pas à des vitesses relatives ou des énergies relatives
égales. Comme pour les sections efficaces ion-neutre et électron-neutre, le produit
â(w)w = constante est une bonne approximation (voir note 94 de bas de page),
une augmentation de la vitesse (ou de l’énergie relative) entraîne une diminution
de la section efficace (et réciproquement).
EXERCICES
DU CHAPITRE 2
EXERCICE 2.3
Soit un champ électrique constant auquel sont soumis électrons et ions, respective-
ment de masse me et mi. En faisant l’hypothèse que le temps moyen 7 entre deux
collisions est le même pour l’électron et l’ion, montrer que l’énergie cinétique acquise
(en moyenne) par l’électron durant le temps 7 est 2
fois supérieure à celle acquise
par l’ion pendant le même temps.
SOLUTION
car, à un signe près, c’est la même force qui agit sur un électron et un ion. D’où, pour
un temps T entre deux collisions :
1
O
F dt = m e [ w e ( 7-
) we(0)] (2)
= m i [ W a ( T )- W i ( O ) ] , (3)
et, en posant pour simplifier w e ( 0 )= wi(0) = O , nous obtenons :
mi
we = -wa (4)
m e
&ce - 1
-~
&,a
?mewe2
- 1 ?maw:
-
- me (2)maw:
w: - -mi
1
me
(5)
EXERCICE 2.2
Supposer que la diktribution des vitesses, f,(w),des électrons et des ions est une
maxwellienne respectivement de température Te et Ti.
c) Calculer l’aimantation macroscopique totale M et discuter des apports respectifs
des populations électronique et ionique au diamagnétisme du plasma.
d) En supposant que ne = ni = n et Te = Ti = T , déduire l’induction magnétique
B résultant de l’induction magnétique appliquée Bo = Boêz et de la composante
p o M due au diamagnétisme du plasma. Ecrire la condition pour laquelle le champ
B dans le plasma devient égal à la moitié du champ Bo appliqué.
Application numérique : Bo = 200 gauss (2 x tesla), Te = Ti = 35000 K.
SOLUTION
a) Le mouvement cyclotronique d’un électron et d’un ion dans le plan perpendiculaire
à l’induction magnétique B peut se décrire par la relation (2.71) :
W, = W c a A r B a (2)
4a B
où w,, = -- (3)
ma
Pour les électrons, weeet B sont colinéaires et de même signe, donc de même sens,
alors que pour les ions, w,i et B sont de signe opposé. En revanche, les courants
EXERCICES
D U CHAPITRE 2 277
M,, = Jp,.f,w dw ,
W
soit, en développant :
n,kBT,
On obtient alors : M,, = (9)
B
~
c) L’aimantation totale est la somme des aimantations induites par les ions et les
électrons, soit :
B
M = --
B2
+
(neksTe nikBTi)
où p est la pression exercée par les particules chargées, dite pression cinétique
(scalaire) (page 1216).
B est l’induction magnétique régnant dans le plasma et résultant de l’addition
vectorielle du champ appliqué Bo (qui existe en l’absence de plasma) et du champ
créé par le mouvement des particules chargées, soit (l’aimantation M don-
nant un champ magnétique, l’induction magnétique correspondante s’obtient en
multipliant le champ M par PO,la perméabilité dans le vide). On a donc :
-
Le diamagnétisme du plasma provoque une diminution du champ magnétique ap-
pliqué due au mouvement des particules chargées dans ce même champ. Le dia-
magnétisme peut &re négligé ( B Bo) si :
soit encore :
Application numérique :
Bo = 2 x lop2 tesla et Te = Ti = 35000 K , et nous voulons que B total soit de
l o p 2 tesla. Nous avons, numériquement :
10-4
n= = 8,24 x lo1’ mP3 = 8,24 x l O I 3 cmP3
2 x 47r x loP7 x 1,38 x x 35000
EXERCICES
D U CHAPITRE 2 279
EXERCICE 2.3
SOLUTION
et (IX-2) :
EXERCICE 2.4
+
où pm = (me mi)n est la densité de masse des électrons et des ions (respective-
ment de masse me et mi) et n , la densité des particules chargées. La vitesse w P
est appelée vitesse de dérive de polarisation.
d) En considérant le courant total des charges (courant de conduction J , et courant
de déplacement %;), montrer que la permittivité relative du milieu par rapport
au vide est donnée Dar :
at
où D’ = cOE~E est le courant de déplacement dans la description diélectrique
(voir (2.43)).
SOLUTION
a) La relation (3) signifie que la présence du champ E ne modifie pas qualitativement
le mouvement hélicoïdal (décrit par w‘ : à montrer en b) de la particule.
De façon générale, nous savons que l’équation du mouvement est liée à la force de
LORENTZpar :
mw=q[E+wAB], (6)
quelle que soit la forme de E et de B .
Dans le cas présent, nous faisons l’hypothèse que la vitesse totale s’exprime sui-
vant les trois vecteurs donnés par (1). En développant l’équation (6) suivant ces
différentes vitesses, nous obtenons :
et, en remplaçant dans le membre de droite w Dpar son expression (2) et WD par
sa forme vectorielle :
EAB
W D =-
B2 '
nous arrivons à :
( Q A T ) A P = T ( P .Q ) - Q(T . P )
B(B . E ) - E B ~= - E -B2
il vient :
B2 B2
ce qui indique qu'il faut que E < 1mais aussi, de préférence, WD < w ' , hypothèse
acceptable.
c ) La vitesse W D ne dépend pas de la charge des particules de sorte que la densité de
courant de conduction correspondante est nulle puisque :
dD dD’
JsE ~
at
+J , -
at ’
dans le cas présent : JT +
c ~ EJ , = C,QE
et de (15) :
t , = 1 + - . Pm (4)
B2€o
EXERCICE 2.5
SOLUTION
Pour obtenir wq, la solution particulière à ce problème (voir 5 2.2.2, page loa), nous
avons utilisé le repère de la figure 2.10, ce qui nous a conduit à l’expression :
w2 + +
= [ a ~ ~ i bi ~ o l c ( ~ oAl B)]
eiWt . (2.124)
Pour transposer ce résultat suivant les axes cartésiens (z,y, z ) tel que demandé dans
la question, nous écrivons :
q2 B Eo,] + e , [--E;]
iq . (3)
+ êY
W
Eo?)- 2 2
ma w, - w 2 wm(Y
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 283
Pour faire apparaître le tenseur de conductivité électrique, rappelons que di= & Ej
(2.118). Par définition de densité de courant, J i = nqwz et nous aurons, en met,tant
en facteur le terme -$:
W2
-~
iw,w
puis, suivant êY : g1111 = w2 - = w2 - w,"
où l'on voit bien que si l'on posc B = O (wc= O), la matrice devient unitaire : le
plasma n'est plus anisotrope.
Pour ce qui est du tenseur de permittivité relative cP,nous avons pour EOeZW*
:
(2.122)
de sorte que :
€
-P
= , (9)
O
284 EXERCICES
d’où, finalement :
€ =
-P
wpe
O O I--
W2
EXERCICE 2.6
E = ê+E+ +&E-
+ i êY) E + +(ê,
+ ê Z E z= (êxJz - iê )
y E- + & E , . (2)
Jz
a) Exprimer les composantes E+ et E- en fonction des composantes E, et E,.
Déterminer lequel des deux repères, ê+ ou ê-, tourne dans le même sens que
les électrons dans leur mouvement cyclotronique autour de B ?
b) Le tenseur de conductivité 0 exprimé dans le repère du laboratoire, pour w # w,
et Eoeëiwt, a pour éléments (exercice 2.5) :
W2 -iww,
~~
O
w2 - w c w2 - w c
(3)
En d’autres termes, les électrons “voient” dans leur repère un champ électrique
continu (w = O) qui les accélère sans interruption entre deux collisions. Pour cela,
développer la relation (2.143) suivant le repère du laboratoire.
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 285
SOLUTION
a) Développons (2) en regroupant les termes selon les bases du repère du laboratoire :
(5)
qui doit être égal au même vecteur E exprimé dans le repère du laboratoire :
E = ê,E, + ê y E y+ ê Z E , , (6)
d’où : (7)
i
E~ = - [ E + - E - ] ,
Jz
de sorte que, en combinant (7) et (8), nous obtenons les composantes du champ
E dans le r e d r e tournant :
et, de même : E- =
E, + iEy
Jz
Les expressions de E+ et E- en termes de E, et Ey correspondent bien à la
notion de champ tournant : la superposition de deux champs oscillant à la même
fréquence, perpendiculaires l’un à l’autre et en quadrature de phase.
Le champ tournant E+ s’écrit :
b) La relation (3) nous donne les composantes du tenseur dans le repère du labora-
toire. Nous remarquons que O,, = oYyet O,, = -gyz.Nous pouvons donc écrire,
en développant la densité de courant J = 0 .E dans le repère du laboratoire :
1 i
--O
xy
6 -[E+ +E-] + O
xx
6 -[E+
,Jz -E-] + azzêzEz. (14)
E+
Jz
.,
- [ e , ,O, + iê, ,O
, - êY O
,, + iê, O
],, ,
Jz
O,, - t L
-
Jz
Finalement, nous obtenons :
U .
- E = E+ê+g,, + E+iê+O,, + E-ê-g,, - iE-ê-czy +o ~ . ~(18) ~ ~
Nous pouvons alors faire apparaître les éléments de tenseur dans le repère tour-
nant :
expression qui montre que, dans le repère tournant, le tenseur a été diagonalisé (il
n’y a pas de composantes mixtes E+& ou E-ê+). Sa matrice représentative est
maintenant :
W
O 0
g =
- u o ( w ~ w c w + w, ;) (20)
où nous avons une dépendance du champ E en eiWtau lieu de eëiwt comme indiqué
dans l’énoncé. Nous allons remplacer i par -i dans (21). Comme nous ne nous
intéressons qu’au phénomène de résonance, nous allons ignorer le terme suivant
êz et le second terme de Eo1 qui ne dépend pas du temps (donc rapidement
négligeable). Nous écrirons qu’en coordonnées cartésiennes :
I1 vient alors
w201 =
m
EXERCICE 2.7
d) On applique un champ électrique tournant dans le plan xOy d’amplitude telle que
E, = E, = EO.Suivant le sens de rotation choisi, on a :
E l = E+ [cos(wt)ê, + sin(wt)ê,] (4)
SOLUTION
a) En présence d’un champ magnétique :
B = Boêz
et d’un champ électrique périodique qui lui est perpendiculaire :
E = Eoeiwtêg, (7)
la solution particulière (2.143) de l’équation du mouvement à w = w, représente
l’effet de la résonance cyclotronique sur la vitesse des particules. Ignorons la contri-
bution à la vitesse dans la direction parallèle au champ B , qui n’est pas affectée
par le champ E lorsque celui-ci est perpendiculaire à B . Dans le plan xOy (2.143),
nous avons :
w 2:=
[ ~
2mw
iq2t
(wt - i)EOêy- -(Eoê, A Boêz) eiWt ,
2wm2
expression dans laquelle, pour avoir un champ ê,Eocoswt tel que stipulé dans
1
l’énoncé, on remplace maintenant EOê, par Eoê,. On prend ensuite la partie réelle
+
de cette expression (sachant que eiWt= cos w t i sin wt), d’où :
w2 = 4wtEo
2mw
cos w t êz + L2mwE Osinwt êx + -
q2t EO sinwt (kxA êz)Bo. (9)
2wm2
Comme êz A êz == -êY et que w = w, z -e, il vient :
qm
(- 1)@om
sinwt BOê,
]+ y Eosinwtê,
-
2mw
, (10)
4t
w‘ = -Eocoswtê, + L2mw
Eosinwtê, +-qZt EoBosin wt êz
2m 2wm2
-
- - 4~ o t [coswt êY - sin wt êz]+ L E O sin wt êY .
2m 2wm
On effectue un changement de l’origine du temps en remplaçant t par t - 5;
puisque cos (wt - ): = sinwt et sin (wt - 5) = - cosut, on obtient de (11) :
WTOT+ = -~
4 ot[2coswtê, + 2 s i n w t ê y 1 - -(sinwtê, +coswtê,)
2m 4mw
4Eo
sin
2mw
wt êz - cos wt ê,]
Pour obtenir E - , nous notons qu’à E = -EO sin wtê, correspond la solution w“ =
-w‘, de sorte que :
= O
c
4
w - w‘ = -Eot [ ioswt êz + sinwt êY - sinwt êY - cos wt êz ]
\
WTOT-
2m
EXERCICE 2.8
SOLUTION
a) Nous avons affaire à un champ magnétique présentant une non uniformité (faible)
dans sa propre (direction, ce qui correspond à la situation traitée en 3 2.2.3;
(page 109) ; remarquons que nous utilisons ici l’axe z comme direction de B plutôt
que z . Nous savons qu’alors l’expression :
(4)
a0 de leur vecteur vitesse par rapport à l’axe ( w q = wg cos cy0 et w01 = wg sin 010)
dans la partie du champ uniforme (ici la région de plus faible champ entre les deux
miroirs) possède une valeur supérieure à aOm définie par (2.183) :
B ( z = O)
sinaom =
wt(0) -
~- -
1- E
w”0) 1+t
2E
et, finalement : w@) = W ’ ( 0 ) ~ , (9)
EXERCICE 2.9
t“
a) Montrer qu’au voisinage immédiat de l’ori-
gine, on a :
B
où Bo est l’intensité du champ en z = O et
O êZ,êz sont les vecteurs de base unitaires du
repère cartésien ( 2 , y et z ) et p-1 = 9
dans la mesure où 2 n’est pas trop grand.
50 = yo = 20 = 0 ’ (2)
2 = (k) z2
SOLUTION
a) I1 s’agit d’un champ magnétique dirigé, à l’origine du repère, selon l’axe z et présen-
tant une courburlv (symétrique) de ses lignes de force dans le plan ZOZ. La relation
(1) de l’énoncé suggère que la composante B, du champ est un terme correctif à
B, au voisinage tie z = O. Une question semblable est traitée en 5 2.2.3, pages 117
et 121 (2.214)’ avec l’inhomogénéité suivant êY au lieu de êz, ce qui, dans le cas
présent, donne :
+
B = ê,(PBoz) ê,[Bo(l PZ)] . + (7)
EXERCICES
D U CHAPITRE 2 293
=O
la composante B, ne dépendant que de z (voir la figure). Conilne B = ê, B, +ê, B,
et que B, = BO,nous obtenons :
3BX
B=ê,--z+ê,B(j. (9)
az
Pour déterminer F,nous partons de l’identité :
dx - B,
- - -
dz B,
où ~ ( 2 paramétrise
) les lignes de force de B .
d2x -
- dB, 1 d B , B,
- _ _ _- --
De (lo), nous avons :
dz2 d z B, d z Bt
où le deuxième terme du membre de droite, d’ordre 2, est négligeable devant le
premier terme car, selon (9) et (2.214), 3
est non nul seulement à l’ordre 1 et
B, est d’ordre 1.
Par hypothèse, 2 n’étant pas trop grand au voisinage de l’origine alors (XIII.2) :
d2x
- N
1 _
dz2 - p ’
W, =
4
-[B,w,
m
-
q
B,w,] = --
Bo%
[_i”..] =we [3] ,
294 EXERCICES
où les termes soulignés sont d’ordre un puisqu’ils tendent vers zéro si le rayon de
courbure tend vers l’infini (lignes de champ rectilignes).
c) Pour obtenir l’expression des composantes de w à l’ordre zéro, il suffit donc de
poser p -+ CO dains (14)-(16). 11 vient alors :
w, = -W,Wz/
wy = WCW,
w, = o.
Commençons par déterminer les expressions de w, et x.Pour ce faire, nous dérivons
(17) :
w, = -w,wz/ (20)
pour y substitueir wz/
de (18)’ ce qui donne :
WIO
et : x= ~ sinw,t
WC
WLO
et y = -(l- cosw,t)
We
d) Pour résoudre facilement le système (14)-( 16), il suffit d’utiliser dans les termes
d’ordre un (termes en E),
la vitesse et la position à l’ordre zéro suivant êt, ces
termes demeurant d’ordre un à cause de la présence de l / p . Ainsi de (15), nous
arrivons à :
EXERCICES
DU C HAPI TR E 2 295
w, = -w,wy , (30)
2 w;w,Sot
d’où : w, +w,w, = ~ ,
P
dont la solution est la solution générale sans second membre (24) à laquelle s’ajoute
une solution particulière (d’ordre un) avec second membre : w% = w t o t / p (d’après
(32)) d’où, au total :
w, = w10 cos w,t +-
4 0 t
. (33)
P
Pour ws/, dérivons (29) et nous avons :
relation dans laquelle nous remplaçons w, par son expression en (14), de sorte
que :
w, = -w, [+ 1 fwcwy , (35)
w, + w,luy = --luio
2 WC
d’où : ,
P
1 2
w, = WLO sinw,t - -wzo . (37)
Pwe
w;,t
211, = ~ ,
P
et, évidemment :
296 EXERCICES
wZot2
x =
2P ’
w;ot
Y = --
, (42)
PWC
z = W,Ot. (43)
z2
X E - (44)
2P
Ce mouvement du centre de guidage est dû à la dérive de courbure magnétique
( 5 2.2.3, page 1211). Pour obtenir la contribution de la dérive magnétique, comme il
est montré en 3 2.2.3 (page 117), il faudrait tenir compte du terme correctif (ordre
un) sur B,, que ]nous avons négligé dans notre calcul (voir équation (29)).
Remarque : Nasus pouvons aussi obtenir l’expression (44) en nous rappelant que
le mouvement du centre de guidage dû à la dérive de courbure s’effectue selon
la ligne de force de B. I1 suffit alors d’utiliser la paramétrisation des lignes de
champ calculée dans l’annexe XIII. A l’équation (XllI.13), nous avons = qui,2 5
adaptée à la direction de la courbure du présent exercice, devient = d’où 5
x= 6,la constante d’intégration étant nulle puisque en z = O, B, = O.
EXERCICE 2.10
€3 = ê,Bo [I + (32],
a étant une constante. Déterminer une expression donnant la position z , dans la zone
miroir, à laquelle est réfléchie une particule dont le vecteur vitesse fait un angle cyo
avec la direction du champ magnétique dans la région homogène.
SOLUTION
La position à laquelle une particule chargée est réfléchie dans la zone miroir ne dépend
pas, en effet, du module de sa vitesse mais bien de l’angle a0 (région de champ
homogène) de son vecteur vitesse par rapport à l’axe de la machine. Plus précisément,
nous avons vu que :
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 297
s i n a = sinao
JBU’
~ (2.181)
où l’angle a est l’angle du vecteur vitesse par rapport à l’axe de la machine dans la
région du miroir à la position z où la valeur du champ magnétique est B ( z ) (voir
figure 2.15). La valeur de z à laquelle la particule est réfléchie s’obtient simplement
en posant s i n a = 1 dans l’équation précédente. Comme :
d’où : ’
= 1+
(L)2
sin a0 (3)
c’est-à-dire :
EXERCICE 2.11
wy = w,, [w,(l-at)--] ax 1
2
w, = O, (3)
où w = (wz, wy,w,) est la vitesse de l’électron, et w,, sa fréquence cyclotronique
dans le champ Bo.
298 EXERCICES
Dans ce calcul, quel rôle joue le fait que le paramètre a soit petit ?
SOLUTION
a) Conformité du champ B aux équations de MAXWELL.
Du fait que le champ magnétique varie dans le temps, il se crée un champ électrique
associé E décrit par l’équation de MAXWELL :
ôB
VAE=--, (4)
at
et ce champ E est perpendiculaire à B . Comme B = e,Bo(l - at), l’expression
(4) développée donne :
Comme nous l’avons indiqué plus haut, il faut que a -+ O pour que les équations
de MAXWELL soient vérifiées.
EXERCICE 2.12
où a z < 1. On supposera que ce champ est de symétrie axiale autour de l’axe z. Les
) - 5 0 , y(0) = O, z ( 0 ) = O, wz(0)= O,
conditions initiales sont les suivantes : ~ ( 0 =
wy(0) = w10, %(O) = w,o.
a) Montrer que les composantes 5 , y et z de l’équation du mouvement dîi à la force
de LORENTZsont décrites par les relations suivantes :
2 = -w,e
[ y + a z.y+ -yz
( 3
1 ,
wo = w l o ê g + WtOêz ,
montrer que : 2 1
w, = --aw,,t 2
2
+ w,o .
SOLUTION
a) Le champ que nous devons considérer comporte une légère inhomogénéité dans sa
propre direction. Dans ces conditions et par suite de la symétrie axiale de B,nous
savons ( 5 2.2.3, page 109) qu’il existe, en fait, une composante B, (d’ordre 1 par
rapport à la composante B,, d’ordre zéro) que nous avons initialement ignorée.
300 EXERCICES
1 1
= --XBo aê, - -YB0 aê, + Bo(l+ a z ) ê , . (8)
2 2
2 -Wce [y 31
+ a (zi + ’ (9)
a
et selon z : i = -Wc,-(XY - y&) . (11)
2
b) Pour ce qui est de la vitesse selon l’axe de guidage, nous constatons d’après (11)
qu’elle est d’ordre 1 du fait de la présence du paramètre Q (hypothèse az < l ) ,ce
qui est conforme A l’hypothèse de l’approximation du centre de guidage (0 2.2.3). I1
nous suffit donc de remplacer les positions et vitesses du mouvement cyclotronique
par leur développement à l’ordre zéro.
Les relations décrivant le mouvement à l’ordre zéro dans le plan perpendiculaire
s’obtiennent en posant a = O dans (9) et (10) :
x = -WceY ,
Y = w,,x .
x = -w,,y . (15)
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 301
y + WCey = O
dont la solution est : y = Al COSW,,~ + A2 sinueet .
~ ( 0 E) O = Al , (18)
j, = Weex + C2 (22)
où, par suite des conditions initiales, la constante d’intégration Cz = w I 0 - w,,xo.
En substituant (22) dans (12) :
x + w,,x
2
= -W,,wIo + w;,xo . (23)
dont la solution complète est de la forme :
En faisant usage des conditions initiales z(0) = -50 et wz(0)= O, il vient succes-
sivement Al = W I ~ / W ~d’où
~ , :
WIO
x=- COSW,,t
Wee
Remarque : Le choix de z(0) = -20 plutôt que z(0) = O comme condition initiale
nous permet d’obtenir des expressions plus simples pour les composantes de vitesse
et de position !
EXERCICE 2.13
1 .
= -Smw,h(yw, - xwy) (3)
SOLUTION
a) I1 nous faut voir si le champ E induit par la variation temporelle de B et le champ
B lu-même obéissent effectivement aux quatre équations de MAXWELL.
1. Commençons d’abord par en vérifier l’équation :
dB
VAE=-- (4)
at
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 303
VAE
[:
V A -Boh(yê,,-xê,)] = -Boh
.
1 .
2
ce qui correspond au membre de droite de (4) : cette équation est donc satisfaite.
2. V.EOE=O (7)
d d
v ' EoE = v . [toBoi>(yêz- "ê!,)] = €OB& -(g)
. [ax + -(-x)
dy
+ dz
i3E
3. V AB = € 0 ~ 0 -
at
+J
où J , le courant de conduction, est nul dans le cadre des trajectoires indivi-
duelles. Calculons le membre de gauche de cette équation :
VAB= d d
-
a -= -(Boh(t))ê,
a -
d
-(Boh(t))ê, 2 O
-
ax ay az
-
3Y OX
O O Boh(t)
expression qui est nulle, à l'ordre zéro ( h E k Y O) mais pas à l'ordre un.
Remarque : On ne peut poser a priori que = O car ceci reviendrait, dans
le cas présent, à négliger le champ E induit par g.
Par contre, le champ E
induit par le mouvement des particules ( J = C E )est effectivement nul dans le
cadre des trajectoires individuelles puisque J = O.
304 EXERCICES
Les
. quatre
.. équations de MAXWELL
sont satisfaites, mais à l’ordre zéro seulement
( h = h = O ) pour VA B = g.
b) Nous savons que seul le champ électrique effectue du travail (3 2.1) : dans le cas
présent, le champ électrique présent est celui induit par la variation de B . La
composante perpendiculaire au champ B de l’énergie cinétique est donnée par :
(Amtu:) = qE . w l ,
dt 2
mais c’est aussi le travail total effectué car E est entièrement dans le plan perpen-
diculaire à B .
Nous avons donc :
:(&:) 1
= Y?BOk(Yê,, - zê,) . (wzêx + Wyêy) ,
w, = 4 [-BohY
1
r n 2
+ Boh(t)wy] ,
Wy =
1 ,
m Pl
w, = 2.
Pour intégrer ces équations, nous allons utiliser l’approximation du centre de gui-
dage et considérer qu’il y a deux échelles de temps, celle du mouvement cyclo-
tronique et celle du mouvement, beaucoup plus lent, dû à h(t) : donc h(t) sera
une constante à l’ordre zéro et on fera alors h = O dans (11) et (12). En posant
m = O , 0 n peut, par identification, utiliser les solutions, pour un champ B
-qBoh
constant, tirés de 3 2.2.2, page 86.
On notera que, dans le cas ainsi traite, B était suivant ê, : on échangera donc z tt
z en se rappelant que pour maintenir un repère de type trièdre droit (êxAê, = e = ) ,
il faut remplacer par -II: dans une telle permutation.
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 305
Finalement :
x = wxo sin R t
-- + WY~ 0 cos R t - -
WY 0
R R R
wxo wxo
Y = -cos R t
R
+ W Y0
~
R
sin R t - -
R
z = W,Ot
Nous vérifions que les conditions aux limites sont respectées : on obtient bien que
x = y = z = 0 en t = O et que wz(0) = wxo, wY(0) = wyo, w,(O) = w,o.
Variante
Conditions initiales 2 = y = z = O ; wx(0)= O, wY(0) = wY0, w,(O) = w , ~ . Les
expressions sont alors bien plus simples :
WY 0 WYO
x = - cos R t -
R R
~
WY 0
y = --sinat
R
2 = W,Ot
w, = %O .
d) I1 s’agit de vérifier qu’à l’ordre zéro le premier invariant adiabatique est, en effet,
constant dans la configuration actuelle.
Considérons sa variation temporelle :
ddt p - dt
d (+)
imw2 I -
=- dB dt 1’) & (g)
(smwL - (kmwt) (26)
d 1 . 1
- xwy)
] - ~
EXERCICE 2.14
SOLUTION
a) Ce problème correspond au cas étudié au 5 2.2.3, page 121. C’est la composante
de B suivant ê, q.ui est responsable de la courbure des lignes de champ de B .
Ce champ satisfait bien aux équations de MAXWELL puisque V . B = O ( 5 2.2.3,
page 109) et, aussi, V A B = O.
L’équation du mouvement dans un repère cartésien avec E = O, By = O et w, =
_ -q B s’obtient des équations (2.7)-(2.9) :
m7
4 4
w, = - [ B z W y ] = - [Bo(l
m m
+ cyyz)wy] = -w,w,(l + ax) (4)
4 4
w, = -
m
[B,w, - B,w,] = -
m
[Bocyzw, - & ( l +az)w,]
= wc [w, + a(zw, 4 1
- (5)
4 4
‘Lu, = - [-Bzwy] = --[BOCYZWy] = wcazwy
m m
où les quantités d’ordre un soulignées sont liés à la courbure des lignes de champ
(contribution de la composante B,).
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 307
b) Pour réduire les équations (4)-(6) à l’ordre zéro, il suffit d’y poser Q =O :
w, = -wcwy ,
wy = wcwx ,
w, = o.
Pour déterminer la composante w,, nous commençons par dériver la relation (7)
pour y faire apparaître wy :
w, = -wcwy (10)
pour ensuite utiliser (8) et obtenir :
w, + wzw, =O (11)
dont la solution (oscillateur harmonique) est :
Al
x = -- COSW,t
WC
et :
c) En portant les valeurs des composantes d’ordre zéro de w et r dans les termes
affectés de la valeur de QI (équations (4) - (6)), nous trouvons :
Pour obtenir l’équation de w,, nous procédons comme nous l’avons fait en b), en
dérivant, par rapport au temps t , la relation (21) pour ensuite y remplacer wypar
sa valeur tirée de (22) :
Vérifions que (26) est bien une solution particulière de (24). De ( 2 5 ) et (24)’ en
effet :
w, + wcw,
2
G 2aw,2rBwyosin2w,t -
W2
cQTBWyO
2
+
sin2wCt w,2awiOt
5
=
- -awCrBwyo sin 2w,t
2
+ w,”awZot ,
ce qui correspond bien au membre de droite de (24).
Fixons les constant,es Al et A2 de l’expression (25) par les valeurs qu’elles prennent
en t = O. Comme w,(O) = 0, alors Al = O. Pour Aar nous intégrons la solution
complète pour obtsenir 2 :
1Q r B W y 0 aweot2
+ -~ COS2WCt+ -
A2
2 = -- COSWCt
WC 2 2wc 2
d’où :
et. donc :
c’est-à-dire
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 309
EXERCICE 2.15
Soit une machine à confinement magnétique linéaire, limitée en ses deux extrémités
par des miroirs magnétiques. On peut faire en sorte qu’électroniquement, ces deux
miroirs se déplacent l’un vers l’autre, chacun étant animé d’une vitesse 2 i dans ~ le
repère du laboratoire. Considérons une particule de charge q et de masse m qui, dans
la partie de champ magnétique homogène de la machine, est caractérisée initialement
par une vitesse wo telle que W O =~ ~ 0 1 1et, par & i , son énergie cinétique. On ne tiendra
pas compte des collisions.
k
L
a) Montrer qu’à chaque réflexion sur un des miroirs, la grandeur de la vitesse parallèle
de la particule augmente de 2 v ~ .
b) Dire pourquoi cette particule finira par quitter le miroir.
c) Calculer l’énergie cinétique &, que possède la particule lorsqu’elle quitte le miroir :
exprimer &, en fonction de l’énergie cinétique initiale &i et du rapport R =
du miroir .
d) Déterminer l’expression donnant le nombre de réflexions nque la particule effec-
tuera avant de sortir du système en fonction de V M , &i, R et m.
SOLUTION
wz = WOll (1)
en prenant le signe positif en direction du miroir.
Un observateur lié au miroir voit la particule venir vers lui avec une vitesse :
Comme 200, le module de w, a augmenté, il faut que l'angle a:) diminue pour que
wol demeure const,ant : après n réflexions, l'angle "0")
sera plus petit que aom et,
d'après (2.183), la particule se retrouvera dans le cône de pertes.
c) Par hypothèse, au départ :
Posons l'égalité dans (8) où wo, qui augmente à chaque réflexion, pour n réflexions
a pour module :
wp)- [ w ; l + ( w q + 2nvM)2]
-
. (9)
De (8) du fait de notre hypothèse de départ wall = 1001:
wO") -
- wold% = WOlld%,
(10)
de sorte que, en multipliant le carré de la relation (9) par $m, et avec (io), nous
avons :
d'où :
2
+ 2mnwoII?/M+ 2mn2vM
r, =ri-
R
.
I' = 5mw;lR =
fi
-R
2 (ii)
2
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 311
nous obtenons :
il vient : wol(R
2 - 1) = .Ifii .
De (17), nous pouvons alors écrire (wall = tu01 ici) :
EXERCICE 2.16
(2)
(3)
SOLUTION
a) Dans la mesure où le champ magnétique est légèrement non uniforme (condition
d’adiabaticité) dam sa propre direction, nous pouvons écrire (2.172) :
mw=p.VB (5)
parce que p = -pè, (page 107). Suivant z , dans le cas présent ( 1 ) :
ou encore :
z = sin -
d’où la période :
d’où :
EXERCICE 2.17
pdq = I
27r
où q est une coordonnée canonique généralisé164 (par exemple une variable de position)
et p est le moment canonique conjugué (par exemple, l’impulsion correspondant à la
position 4 ) . Etant donnée l’énergie cinétique I , du système, la valeur de p s’obtient
par la relation :
p=-.
aa
Considérer une décharge linéaire confinée par un champ magnétique statique B , dirigé
axialement, et terminée en ses deux extrémités par des miroirs magnétiques.
(Ec - 4 (3)
B = Bo [I + (E)’] êt
où a est une constante telle que varie très lentement selon z : déterminer la
période d’oscillation d’une particule entre les deux miroirs d’une telle machine
linéaire.
SOLUTION
a) Comme il s’agit dii mouvement cyclotronique, nous décrivons le système en coor-
données cylindriques ( T , ‘p, z ) . Nous avons alors que x = T B cos cp, y = T B sin ‘p
où rg est le rayon de LARMOR que nous allons supposer constant puisque B varie
lentement axialement.
1
Comme : E - -m(P y 2 2 ) ’
c-2
+ + (5)
en coordonnées cylindriques, il vient :
1
E -
c-2
-rn(r;G2 + i2) (6)
+
puisque i 2 y’ = ( - T B sin ‘p (;7)2 + ( r g cos ‘p + ) 2 , de sorte que pour q = ‘p :
où +E = wc, e t alors :
période
cyclotron
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 315
puisque w, = u.
TB
Sachant que p = i* et w, = e, nous obtenons :
Il = (E) LL (9)
dz
dt
c) Soit donc par définition (1) pour l’invariant lié au mouvement axial :
I2 = - rnB dz
27r
I2 = -1{ m [?(&,-pB)]’ dz
27r m
-
27r
/ [2m(&,- p B ) ] ; dz .
27r
et comme w = - :
T
EXERCICE 2.18
F GMm
g - r2
GMm
Fg t - R2 = - S o m
où R est le rayon de la Terre (la masse M est localisée au centre de la Terre !).
Numériquement, considérer des ions O+ de densité 1,8x1012 mP3, densité égale à
celle des électrons; IBJ = 1 gauss (loP4 tesla). La masse me des électrons est de
9,11x 10P28g et celle de O+, mi, est égale à me x 1836 x 16. Le rayon terrestre est de
% mètres et go, le champ de gravitation à la surface de la Terre, vaut 9,8 m sP2.
SOLUTION
1. Expression de la vitesse de dérive dans le champ gravitationnel.
EXERCICES
DU CHAPITRE 2 317
On a montré (annexe XII) que la vitesse de dérive d’une particule chargée dans un
champ magnétique B due à une force quelconque F o est donnée par :
J = ne
migo (i - g) - megO(I -
-eB
4. Application numérique
J E
10-4
4 x 107
) 1837 x 16 x 9,11 x
EXERCICES
DU CHAPITRE 3
EXERCICE 3.1
Les deux principales méthodes de description d’un plasma sont le modèle cinétique
et le modèle hydrodynamique. Indiquer leur origine, leurs relations et leur intérêt
respectif. Poser le problème de la fermeture du système d’équations hydrodynamiques
et indiquer comment on peut le résoudre ; donner un exemple concret de fermeture.
SOLUTION
Modèle cinétique
Ce modèle tient compte, dans un cadre statistique, du mouvement individuel des
particules, des micro-champs induits par le mouvement des particules chargées et des
collisions.
Modèle fondé sur l’équation de BOLTZMANN (elle-même résultant de l’intégration de
l’équation de LIOUVILLE) qui décrit l’évolution de la fonction de distribution simple
f i des vitesses des particules d’un type donné. Cette équation différentielle fait appa-
raître des interactions binaires collisionnelles exprimées par la fonction double f 1 2 à
laquelle, pour permettre la solution de cette équation, on substitue (dans l’hypothèse
de corrélations faibles entre particules) le produit des fonctions simples f i et f2 des
particules de même type.
L’équation différentielle de BOLTZMANN est l’élément central de la physique des plas-
mas à faible densité (interactions binaires).
Modèle hydrodynamique
Modèle de fluide continu faisant appel aux valeurs moyennes des propriétés particu-
laires, des champs induits et des interaction collisionnelles. Ces moyennes s’obtiennent
à partir de la fonction de distribution en vitesse dont l’évolution est décrite par l’équa-
tion de BOLTZMANN du modèle cinétique.
Ce modèle constitue une bonne approximation de la description de la plupart des pro-
priétés du plasma, notamment en tout ce qui concerne le mouvement des particules
chargées et les caractéristiques de la grande majorité des ondes qui s’y propagent.
La description cinétique est plus précise et plus complète (certains phénomènes, peu
nombreux cependant, ne pouvant pas être pris en comptes dans le cadre hydrodyna-
mique), mais plus lourde mathématiquement à manier et plus complexe à interpréter
que le modèle hydrodynamique.
320 EXERCICES
EXERCICE 3.2
metje = -eE-m,v(v, - v i ) ,
mitji = eE - rn,v(vi - v,) ,
a) En supposant qu’il s’agit d’un plasma froid, montrer que sous l’action d’un champ
électrique alternatif E = Eoeëiwt,la densité totale de courant peut se mettre sous
la forme :
ne2E
J = -
1 m,/mi +
+
m,u (1 m,/mi) - i ( w / u )
(3)
SOLUTION
a) Dans un plasma froid soumis à un champ électrique alternatif, par hypothèse la
vitesse des fluides de particules est purement périodique, d’où (2.28) v, = vg,e-iwt
et vi = voi eëiwt. En tenant compte de cette propriété et en additionnant (1) et
( 2 ) , nous obtenons :
En portlant ( 5 ) dans (1)’nous pouvons éliminer une des deux vitesses, ce qui
conduit, dans ce cas, à :
miiwvi = - e E +
vi(miu + m,u) , (6)
e E -
eE
d’où : ‘u. - -
z - - (7)
m i i w - miu - m,u
J 5 -neve + nevi = -
ne2E [1+---I
me iw p l (&+&) ,
U mi u
et :
ne2E
J = - 1 m, /mi+
m,u i + m,/mi - i w / u ’
322 EXERCICES
w& 1 +m,/mi
€p=l--,
wu 2(i + m,/mi - i w / u )
où nous avons posé = wp,. Par ailleurs, comme $ = 2,il vient :
meto wPl
wp, +
1 wpi/wp,
Ep=l--
+
wu w / u + i(1 wpi/wp,) ’
permittivité pouvant s’exprimer sous la forme d’une partie réelle et d’une partie
+
imaginaire e p = c r i c i .
Approximations intéressantes :
c) Dans les équations (1)et (2)’ seule la vitesse relative v, -vi des fluides d’électrons
et d’ions appa,raît. Ceci signifie que seules les collisions électron-ion sont prises en
compte : il n’y a pas de collisions avec les neutres, indiquant l’absence de particules
neutres dans ce pl.asma.
Considérons le terme collisionnel (3.117) de l’équation de transport de quantité de
mouvement :
Dans le cas où les particules Q sont des électrons et les particules /3 des ions, la
masse réduite pat; se ramène à ma (m,/mi < 1). En posant ni = n, = n, alors
EXERCICES
DU C HAPI TR E 3 323
v,, = v,, = v et nous pouvons donc écrire de (16), pour les collisions des électrons
avec des ions :
P,,= -vnm,(v, - v,) . (17)
Comme P,,= -P,,(3.123)’ :
EXERCICE 3.3
B2(T) + p ( r ) = Cl (3)
2PO
où Cl est une constante quant à T .
SOLUTION
a) Le modèle du plasma d’électrons de LORENTZ(8 3.7) conduit, à l’équation de
transport de quantité de mouvement du fluide d’électrons, de vitesse v, et de
densité n e ,sous la fornie :
au,
me- = F E qe[E+ v e A BI - ~ Vpe - ~ , V U , . (3.164)
at ne
324 EXERCICES
(XII.2)
Comme nous ne sommes pas dans le cadre des trajectoires individuelles, le second
membre de cette équation n’est pas nul de façon générale. Dans le cas présent,
comme nous avons affaire à un champ B constant, la relation (1) indique que J
est constant, ce qui par J = CJEentraîne %
= O. I1 ne demeure donc que J dans
le second membre de (6).
Exprimons les différents termes de V A Ben coordonnées cylindriques (annexe XIX)
dB, dB,
et, en tenant compte de la relation (8) multipliée scalairement par le vecteur uni-
taire êip,il vient :
[B,(T)- B,(a)] = /
a
k*drI
B, dr‘
EXERCICE 3.4
où w = (wç, wu, w,) est le vecteur des vitesses individuelles des électrons de densité
ne et de masse me et A B , la constante de BOLTZMANN.
a) Vérifier que, dans cette expression, ne représente bien la densité des électrons,
celle-ci étant, par hypothèse, indépendante du temps et de la position dans le cas
présent.
b) Déterminer les éléments du tenseur de pression cinétique dans le cas d’une fonction
de distribution séparée :
-ik G n,m,(uu) (2)
où u = w - w avec w ( r ) ,la vitesse moyenne des électrons ; uu représente le produit
tensoriel des vitesses individuelles, de nature strictement thermique (aléatoire), des
électrons.
c) Donner une signification physique à la distribution (1) en indiquant comment on
pourrait reproduire une telle situation en laboratoire.
326 EXERCICES
SOLUTION
a) Rappelons d’abord les relations définissant les grandeurs hydrodynamiques, égale-
ment appelées grandeurs macroscopiques, (Y ( r ,t ) ) :
(T(r,t)) ~
%(Y, t)
/
W
Y(r, w, t ) f ( r ,w , t ) d3w (3.40)
n,(r,t)=
J’
W
f(r,w,t)d3w. (3.39)
Rappelons que la fonction f ( r ,w, t ) est séparable si nous pouvons l’exprimer sous
la forme suivante ( 5 3.3) :
Evaluons le terme 7
-00
exp { - [--I)
2 k s TL dw, ,
en posant :
2m,wxdw,
d’où : = 2zdx
2kBT1
II: 1 dx - zdx
et : dw, = -
( m e / 2 k ~ T _W~X) i ( m J 2 k ~ T 1 ) i ’z
(me/2k~T1)4
de sorte que le terme ( 5 ) se récrit :
exp(-x2) dz = 2 exp(-z2) d z .
-00 O
s
O
1
exp(-z2) d z = -fi,
2
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 327
de (9), il vient :
b) En présence d'une vitesse d'entrainemant w des électrons, il faut considérer une dis-
tribution de MAXWELL-BOLTZMANN centrée autour de cette vitesse w (annexe I).
Dans ce cas, la fonction de distribution (1) peut s'écrire :
d'où :
Qzv = me
I ~ z ~ ~W ,ft)d3w
( ~ , , (19)
328 EXERCICES
Qzy = n,me
J’ uzuyf(w)d3w .
C o c u C o
J’ J’ J’ exp
x --Co -00 -cc { -$[ TL
+
“’I 1
-
Til
-0û
à +m. Ainsi en est-il de toutes les composantes hors-diagonale.
Quant aux éléments de la diagonale de la matrice représentative de 9’
considérons,
par exemple :
x J / J’ { -% [3+
-00 -Co -00
exp T_i Til
u: duxduydu, . ( 2 3 )
rn, 112
se fait de façon analogue à celui de ( 5 ) en posant 2kB$L = x 2 , ce même terme
s’écrivant alors :
1 0 0
=2 (F)
’J’
3 0 0
exp(-x2)z2 dx . (25)
s
n
v
J;;
exp(-x2)x2 dx = -
Selon l’annexe XIX, 4
O
- -
après intégration sur u y après intégration sur uz
et :
c) Nous savons que la pression scalaire suivant chaque axe du système de coordon-
nées, pour des électrons obéissant à une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN
caractérisée par une température Te,est donnée par :
5
de sorte que T_L Til dans la mesure où w,, 2 v.
330 EXERCICES
EXERCICE 3.5
Soit un plasma plongé dans un champ magnétique uniforme dirigé suivant l’axe z
(coordonnées cartésiennes), B = êZB,et soumis à un champ électrique HF, &eiwt,
uniforme et d’orientation quelconque. Le plasma est froid et sans collisions, et le
champ B est hors riwonance.
a) Calculer le tenseur de permittivité diélectrique gP (relatif au vide) du fluide d’élec-
trons en y faisant apparaître les pulsations électronique et cyclotronique, wPe et
Wce.
SOLUTION
a) Nous savons que le tenseur de permittivité gP est lié au tenseur de conductivité 0
par la relation tensorielle d’ordre 2 (2.122) :
v, I= --
e Ex- a-
m,iw
re e
-Ey
w L me
+ 4-v,e
W2
,
WE, - w,,E-,
v, -1 -
(7)
WCe W2 - WCe
1--
W2 W2
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 331
d’où, finalement :
V, =
iwE,+wc,Ex
w2 -wCe
i
--Ez
e
.
1
w m e
J, G -neeu, = -__
1
La composante mzz di1 tenseur 0 est celle, dans le développement de J , E - n e e u ,
+
= a L Z E x ozyEy mXtEz. + (11)
o x x = - - [ne2 iw ],
me w 2 - w &
dont la composante correspondante de la permittivité (1) est donnée par
et de (1),en nous rappelant que les éléments de la matrice sont nuls hors dia-
gonale :
alors : Epzt = 1-
wp.
w2 .
La matrice représentative de cp est de la forme
332 EXERCICES
c =
-P (19)
O O
eB
où w,i = -- de sorte que, à la fin
mi
EXERCICE 3.6
SOLUTION
a) En diffusion ambipolaire, nous savons que le flux particulaire des électrons a pour
expression (3.260) :
re= peneED- DeVne. (5)
où nous avons tenu compte de l’hypothèse, implicite en (5), que De est une
constante en fonction de la position. Le terme D,VAVn est, en fait, nul car le rota-
tionnel d’un gradient est toujours nul (annexe XIX). Quant au terme V A(n,Eo),
avec E D = -V$(r), il se développe pour conduire à :
V A re= -p,Vn, A V 4 ,
VAri=piV4AVn.
b) En recourant à l’hypothèse (3), les équations (1) et (2) donnent :
d’où :
c) De (4) :
EXERCICE 3.7
-eE - mevu
SOLUTION
a) L’hypothèse du plasma froid (0 3.6) fait que les électrons ne se déplacent que sous
l’influence du charnp E = EOeiwt, de sorte que :
v = woeiwt . (7)
me u t i w
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 335
T =
eEo 1 eiWt - eEo
- eiWt
i w m , v iw + m e w w - iv (3)
b) Par définition, la densité de courant s’écrit J = nqv = o E où q = -e pour des
électrons. De (2), nous arrivons directement à :
J = - ne2Eo
- 1 ezWt
(9)
me v + i w
où la conductivité, complexe, a pour expression :
ne2 1
O=--.
me u + iw
eEo v - i w eiWt
v=
me u2 + w2
(v2
v
+lw 2 ) i [ (v2 + w2)h
”
-
(v2 +iww 2 ) i 1 (13)
où : p = arctan (- ): . (15)
R(v) = - eEo
‘ cos(p + W t ) .
m,(d + W”+
De ( 2 ) , il vient donc
EXERCICE 3.8
w = [+(O>. E O ]. Eo
SOLUTION
Le travail par unité de temps et par électron dans le champ E est F . v où F = -eE.
La valeur moyenne de ce travail sur une période du champ alternatif E = &eiWt est
(2.33) :
8
8, = - - [ e E . v*] . (2)
2
Pa,r unité de volume, l’énergie moyenne transférée aux électrons est donc :
- 8
W = - - [ e E . v*]ne (3)
2
où ne est la densité des électrons.
Nous rappelant que, jpar définition :
J = -n,ev ,
nous pouvons exprimer ( 3 ) sous la forme :
L 4
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 337
Noter la présence des deux produits scalaires pour que le tenseur de conductivité
d’ordre 2 conduise au scalaire W (double contraction, voir annexe VII).
EXERCICE 3.9
SOLUTION
a) A l’état stationnaire, l’équation de continuité pour chaque type de particules s’écrit
(3.237)-(3.238)) :
338 EXERCICES
où les S k sont les termes sources représentant le nombre net créé par seconde et par
unité de volume des particules chargées considérées (IC = e , i , -). Les électrons et
les ions positifs sont généralement créés par collisions électron-neutre sur l’atome
(molécule) et l’ion négatif s’obtient par attachement d’un électron à une particule
neutre ( 5 1.7.1). De toute façon, quels que soient les mécanismes de création (et de
pertes en volume s’il y a lieu), les termes sources sont liés par l’égalité des charges
+
négatives et positives créées, soit Se S- = Si,d’où de (4) à (6) :
neve + n-2)- = nizli . (1)
b) L’hypothèse de proportionnalité (§ 3.10)’ dans le cas présent, implique :
Le profil de densité est le même pour les trois espèces chargées : en effet, chacun
des termes 2 de (2) étant égal à la même constante C, nous sommes en présence
de trois équations de la forme Vnk = C n k avec la même valeur propre C (3 3.9).
Dans une longue colonne cylindrique avec les densités nulles sur la paroi, nous
obtenons approxiniativement les profils présentés sur la figure suivante.
ni = ne + n- ,
n. - n . + ni
2
de ( 7 ) , (8) et (9) nous avons : -
- ci c,
d’où :
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 339
r ( p u , n e+ pnn- - p i n i ) =
-DipL,n,Vni - Dip,n-Vni + D e p i n i V n , + D,piniVn- . (13)
En utilisant ( 2 ) , de (13) nous obtenons :
EXERCICE 3.10
SOLUTION
a) Dans le cas du fluide d’électrons, le terme collisionnel (1) se développe pour don-
ner :
Fe
- = -penuen(ve - un) - p e i u e i ( v e - vi) . (5)
ne
Dans le cas d’un fluide d’ions, le terme collisionnel (1) a pour expression :
Nous pouvons donc écrire le terme collisionnel des fluides d’électrons et d’ions sous
une forme commune aux deux fluides :
où (Y = e ou i .
b) A l’état stationnaire, l’équation de LANGEVIN des particules de type (Y (3.130)
s’écrit, compte tenu de ( 7 ) et en négligeant le terme convectif ( !) :
de sorte que :
342 EXERCICES
EXERCICE 3.11
Pour décrire une longue colonne cylindrique de plasma en régime de diffusion ambi-
polaire, on a utilisé lerj équations hydrodynamiques suivantes :
SOLUTION
a) Du fait que le plasma est de forme cylindrique et que l’on suppose cette colonne
infiniment longue, le système d’équations est décrit en coordonnées cylindriques
(réduites à ê,) et les phénomènes de dérive et de diffusion dans la direction axiale
sont négligés.
L’équation (1) est l’équation de continuité à l’état stationnaire ((3.92) et (3.93)),
valable à la fois pour les électrons et les ions : en effet, en diffusion ambipolaire,
il y a neutralité macroscopique ( n = ne = 12%)’ de sorte que la vitesse de diffusion
radiale w, est la même pour les fluides d’ions et d’électrons, ce qui est conforme à
la notion de diffusion ambipolaire parfaite. Le terme vin représente, par unité de
volume, la fréquence d’ionisation par collisions électron-neutre sur l’atome dans
son état fondamental ( 5 1.8).
L’équation (2) décrit : 1) la dérive radiale du fluide d’électrons dans le champ
ambipolaire E D ; 2:) la diffusion radiale des électrons du fait du gradient de n ( r );
3) le transport radial d’énergie, car la température électronique, Te( T ) , intervient
dans l’expression du coefficient De affecté par l’opérateur gradient. La relation
(2) nous permet de calculer w,. Noter qu’ici pe est positif à la différence de notre
convention (comparer avec (3.205) pour le signe devant pe dans (2)).
L’équation (3) est l’équation de transport de la quantité de mouvement des ions
(à une seule charge positive) à l’état stationnaire où l’on a conservé le terme
convectif ( O , . V)u, (3.130). Nous expliquerons en b) la raison de la présence du
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 343
-du,
=o.
at
Dans l’hypothèse où Ti ne dépend pas de la position et en considérant que w, = O
(le fluide de neutres n’est pas entraîné par le champ E D ,donc il est immobile), il
vient de ( 5 ) ’ en divisant par mi :
c’est-à-dire sans second membre alors que l’équation (1), qui est l’équation de
continuité à l’état stationnaire, fait apparaître effectivement un terme d’ionisation
en volume, et seulement ce terme car il n’y a pas de recombinaison en volume.
Pour obtenir l’expression (3), il faut donc revenir à l’équation du moment d’ordre
un en w (3.106) qui, dans l’hypothèse où V .gse réduit à V p , s’écrit :
d
ma-(now,)
at
+ m,w,(V. +
n o u a ) n,m,(v,. +
V)V, V p , - nF,
-
- - V,B~*PL,P(V, - VB) ’ (9)
O#,
En appliquant cette relation aux ions, en supposant mi = m,, nous avons pi, =
mi/2 et en posant les mêmes hypothèses que pour la relation (7)’ nous obtenons
en divisant par mi :
344 EXERCICES
e
v T ( V nu,)
. + n ( v , . V ) v , + kBTi
~
mi
Vn - n-Eo
mi 2
Vin
= --vTn . (10)
Puis, tenant compt#ecette fois de l’équation de continuité (l),il vient de (10) après
division par n :
e k ~ T Vi n uin
uiv, + V, . V UT -- - E D - -mi - n --2 1 (3’)
mi
qui est bien (3) sauf pour le facteur associé à vi,.
soit encore (en utilisant les mêmes hypothèses que pour (3.120))
EXERCICE 3.12
SOLUTION
1. L’expression générale pour le coefficient De de diffusion des électrons est (3.203) :
D
e
-A(?!) 3
- v(w) (3)
(3.40)
W
+ f2(r,w)
1
3cos2û - 1
27rw2 sin0 dûdw
-s O
cosûd(cos8) = -
- ] 3c0s2 8 - 1 d(cos8) = -
1 [cos38 - COS^]^ = O ,
2 2
O
o = nqp (7)
où q = -e pour un électron.
Par ailleurs, nous avons déjà calculé CJ pour des électrons dans un champ électrique
HF, mais dans le cas d’une fonction de distribution f ( r ,w) séparable en un produit
d’une fonction de r par une fonction de w (3.44) :
(3.63)
Pour obtenir pe de o e ,selon la relation (7) il suffit de diviser (9) par -n,(r)e, soit :
EXERCICE 3.13
SOLUTION
a) Nous avons examiné en 3 3.9 le mécanisme de décroissance d’une post-décharge. Si
celle-ci se trouve en régime de diffusion, la décroissance de densité est exponentielle
et cette décroissance est finalement régie par le mode fondamental de diffusion qui
pour une longue colonne de plasma correspond à la longueur caractéristique de
diffusion A = &. Le temps caractéristique de decroissance exponentielle, T O ,
est lié à A et au coefficient, de diffusion D (3.218). I1 nous faut donc déterminer si
le coefficient D est celui de la diffusion libre ou ambipolaire. Notons que dans le
cas où le libre parcours moyen est petit devant i l , le régime de recombinaison en
volume est a priori également possible mais, compte tenu de la densité relativement
faible du plasma, nous éliminerons dans le cas présent cette possibilité. Par contre,
si le libre parcours moyen des électrons, e, est plus grand que A, la décroissance
serait celle d’un plasma en chute libre, cas non abordé dans cet ouvrage.
Vérifions d’abord qu’il ne s’agit pas du régime de chute libre. Rappelons que
e = y (1.127) et, numériquement dans le cas présent, q h / v = 5,9x105 m/s
(pour 1 eV)/109 s-’, soit l = 6 x 10W4m qui est beaucoup plus petit que R qui
vaut lop2 m, excluant ainsi la chute libre.
Montrons ensuite qu’il s’agit d’une diffusion ambipolaire, en contrôlant que le
critère n,oA2 2 lo7 cmpi (3.269) est vérifié : en effet, d’après les données du
problème’ n,o = lolo ~ m - A~ =, A, de sorte que n e 0 A 2 = 1,7 x l o 9 cm-l. La
diffusion demeure encore ambipolaire même lorsque la densité a décrû de l / e (37%
de la densité initiale).
348 EXERCICES
I1 faut donc calcuber Da ; comme T, > Ti, nous utiliserons son expression appro-
chée, plus simple :
(3.274)
et, numériquement, :
Del X
! ~-
meL’
[ ]
~ B T P- = 1,38 x
wee
x 11600 x lo9
9 , i i x 10-31 x (i,76 x i o y
= 0,58m 2 C 1
Nous constatons que le champ magnétique conduit à une valeur de D,l inférieure
d’un facteur 4 à celle de D a . Ce résultat est conforme au fait que wce > v.
c) I1 nous faut recalculer le libre parcours moyen e des électrons pour v à 0’1 mtorr.
Comme :
v = N(â(w)w), (1.125)
où N est proportionnel à la pression, la fréquence de collision sera réduite du même
facteur que la pression, soit un facteur 4000. On obtient donc v (0’1 mtorr) =
e
2’5 x lo5 s-l et = 6 x l o p 4 m x 4000 = 2’4 m : les particules sont en régime
de chute libre !
EXERCICE 3.14
SOLUTION
a) De la relation (1.26), f p e (Hz) 2 9 O O O d m , de sorte que, dans le cas présent,
f p e = 9000 x lo6 H z = 9 GHz, d’où f e e = 90 GHz. De (2.72), fce(Hz) = 2,8 x 106B
(gauss), de sorte que B = ;,:::y6
= 32,l kG (3,2 tesla).
On obtient :
uuI = di>, 2 x l O x e = 1,87 x lo6 m/s .
C,=l-Rrl. (4)
Comme nous souh.aitons C, 2 0,8 :
il faut donc que B,,,, = 5 x 32 (kG) = 160 kG (16 T) : il y aura nécessité d’utiliser
des bobines supraseonductrices !
d)
B(tesla) .f
e) Le paramètre d’excursion, en l’absence de collisions ( w >> v), est donné par (2.31) :
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 351
b e ( c m ) = 740 [
T(eV)
n,(cmp3)
= 740 1)1012 [
10 ] $
~
XE 2 AD, (8)
nous obtenons pour l’intensité-seuil du champ électrique H F (en V/m) :
V
- = 1,l x l o r 6 . (13)
W
I1 faut un très grand nombre de périodes du champ HF avant qu’il n’y ait une col-
lision, de sorte que celles-ci ne devraient pas affecter significativement le chauffage
de type RCE.
EXERCICE 3.15
Considérer une décharge électrique en courant continu dans l’hélium à une pression
de 1 torr. Les paramètres du plasma de la colonne positive, supposée longue, dans
laquelle circule un courant de 200 mA/cm2 de densité sont les suivants :
~ températures : Tev = 2 eV, Ti = T, = 300 K.
~ densités (uniformes) : n, = 3,2 x 10l6 cmp3, ne = ni = 10lo cmp3
352 EXERCICES
SOLUTION
a) Le champ électrique E dans une décharge est lié à la densité totale de courant
J par l’intermédiaire de la conductivité électrique 0 qui, en l’absence de champ
magnétique imposé à la décharge, est un scalaire ; nous avons alors la relation bien
connue (2.38) :
J=uE. (1)
Comme Te >> Ti = T, et que le degré d’ionisation est très faible puisque -=
2 x l o r 7 , nous pouvons adopter le modèle du “plasma de LORENTZ’’ ( 5 3.7), c’est-
à-dire considérer que le seul fluide des électrons permet de bien rendre compte des
propriétés du plasma. Dans ces conditions, il nous suffit de calculer la conductivité
électronique (partie réelle) (2.39) :
nee2
g=-
meu
pour déterminer [El.
Pour calculer (2), il faut évaluer u. Nous le ferons en posant :
où (w)est la vitesse moyenne des électrons, l’expression (3) étant une approxima-
tion pour la relation exacte (1.133) :
v = nn(â-en(w)w) (4)
où les crochets ( ) marquent la moyenne sur la fonction de distribution en vitesse.
Puisque nous utilisons des températures pour caractériser l’énergie des particules,
celles-ci obéissent donc à une distribution des vitesses de MAXWELL-BOLTZMANN.
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 353
(lu) = J-”
me
où k s est la constante de BOLTZMANN et me,la masse de l’électron ; (w)= 1’13V t h
où V t h est la valeur la plus probable de la vitesse dans le cas d’une distribution de
MAXWELL-BOLTZMANN (annexe I).
Nous savons d’après (1.120) que numériquement :
Remarques :
1. Unités : le volt = m‘kg s-’AA-l et le coulomb C = As, d’où de (8) :
A kg m3 -
(m‘kg sp3Ap1)A2s2 - -
V
mW2s
-
m A2 s2
-
m
’
unité habituelle d’un champ électrique.
2. On vérifie qu’effectivement la conductivité ionique est très inférieure à la conduc-
tivité électronique (cri < ere) car même si vin est très inférieure à v (comparer
( 7 ) et (14))’ me < m H e .
b). Régime de diffusion
Vérifions que les pertes de particules chargées ont bien lieu par diffusion, c’est-
à-dire que le plasma est suffisamment collisionnel pour ne pas être en chute
libre.
I1 nous faut calculer le libre parcours moyen, e, qui est donné par :
(1.134)
d’où il ressort que e << R : il s’agit donc bien d’un régime de diffusion.
354 EXERCICES
[ ]’
1
Calcul du coefficient Da
Parce que T, > Ti, nous pouvons utiliser l’expression approchée (3.274) :
1,38 x x 2 x 11600
D(l y 4 x i , 7 x 10-27 x 3,8 x 107
Da 2 1 ’ 2 m2 s-l ,
EXERCICE 3.16
Considérer une longue colonne cylindrique d’un plasma d’hélium dont le diamètre est
de 20 mm et la pression du gaz de 0,9 torr. La température des ions et des atomes
neutres, déterminée par élargissement Doppler de raies d’émission, est de 500 K. La
densité électronique mesurée sur l’axe est de 1017 électrons m p 3 .
a) En supposant que la distribution des vitesses des électrons est maxwellienne et la
diffusion ambipolaire, estimer leur température Te.
b) Dans quelle mesure l’hypothèse de diffusion ambipolaire implicitement posée en
a) est-elle justifiée?
c) Calculer de façon approximative les valeurs du coefficient de diffusion libre des
électrons ( D e )et celui de diffusion ambipolaire ( D a ) (ne pas oublier leurs unités),
puis les comparer et discuter.
d) A l’instant t = 0, on supprime le champ électrique entretenant la décharge. Décrire
l’évolution du plasma pour t > 0. Déterminer le temps caractéristique de décrois-
sance de la densité électronique sur l’axe (on supposera que Te ne décroît pas de
façon significative durant ce laps de temps).
Données :
1. Fréquence moyenne, approximative, de collisions électron-neutre pour le transfert
de quantité de mouvement dans l’hélium à la “pression réduite” p o :
2. Mobilité ionique réduite (conditions standard : 760 torr et 273 K , soit pour 2,69 x
atomes/ni3) de He’ dans He : 10,4 x l o W 4m’ Vpl spl .
SOLUTION
a) Pour calculer T e ,nous allons utiliser les résultats du modèle développé A cet effet
en 3 3.13 pour une longue colonne cylindrique de plasma supposé en régime de
diffusion ambipolaire : nous vérifierons en b) que cette condition est sat,isfaite.
Déterminons d’abord po, la “pression reduite” liée à la pression et à la température
du gaz Tg par la relation (1.115) :
Calcul du coeficient Da
Nous savons de a) que T, >> Ti, la température des ions, puisque T, = 56500 K
et Ti = 500 K. -Dans ces conditions, une expression approchée simple de Da est :
(3.274)
EXERCICES
DU CHAPITRE 3 357
kB Te 1,38 x x 56500
d’où : Da = pi = x 1,6 = 7,8 m2s-l , (12)
e i , 6 x 10-19
~
et donc Da < D e , ce à quoi nous nous attendions : la diffusion libre des électrons
est plus rapide que celle des ions et des électrons diffusant de concert.
d) Cette situation correspond à une post-décharge temporelle en régime de diffusion
(3 3.9). Dans ce cas, la densité des particules chargées en un point donné décroît
de façon exponentielle en fonction du temps suivant la relation :
7L(T, t ) = n ( T ,t = O) exp(-uot) (3.2 16)
où ru = u i 1 est le temps caractéristique de décroissance par diffusion, dans IC
cas présent de nature ambipolaire. Ce régime persiste au moins jusqu’à ce que la
densité décroisse à l / e de sa valeur initiale (temps nécessaire à notre analyse ici),
du fait d’une densité initiale suffisamment devée. I1 faut donc calculer UD,. De
EXERCICE 3.17
10
(0
c
6
i2
rg
JA(2) = -JI(.)
10
SOLUTION
En régime de diffusion ambipolaire, le plasma est décrit par les équations de continuité
(3.210) :
dn
-
at
+
V . nu = vin (1)
I’ = n u = -D,Vn
(3)
2 1
ou encore : V n = --n . (4)
122
360 EXERCICES
RZn (5)
ax
est donnée par : n(x)= n(0)cos );(
= n ( û ) cos . ( (6)
La condition à lal paroi est donnée par la relation (2) en supposant que, en x =
f L / 2 , les flux électronique et ionique sont égaux, et que la vitesse des ions en
lisière de gaine e:it :
2)=2)B, (7)
où VB est la vitesse de BOHM(3.321) :
d’où
= 25,4 x m2v-ls-1 ,
760Tg -
- 760 300 = 17,4 103 cm2~-1s-l
pi =
p i o p (torr) 273 0,5 x 273
= 1,74m2V-’sC1 ,
kBT, = 5,8 (V) x 1,74 (m2V-ls-l) = 10,l m2s-l ,
Da = -pi
e
a
-tan-
a
=
LWB- 2 x
--
io-2 x ii,8 x io3 = 11,7.
2 2 20, 2 x 10,l
On obtient a à partir de l’abaque a tan a soit :
a
- CY 1,45 ,
2
L
d’où : A=-
2,9
valeur, dans ce cas, très différente de A = L / n
(13)
où JO est la fonction de BESSELde première espèce et d’ordre O. Comme :
aJo(br) - -bJ1(br) ,
--
(14)
dr
où J i est une fonction de BESSELde première espèce et d’ordre 1, la condition aux
limites en r = R s’écrit, en tenant compte de (13) :
362 EXERCICES
d’où : (16)
Numériquement, on obtient :
1. Pour l’argon
b = 2,36
R
d’où : A=-.
2,36
La valeur trouvée est proche de la valeur A = R/2,405 obtenue avec la condition
aux limites n(R)= O.
2. Pour l’hélium :
R
d’où : A=-.
2,21
ANNEXES
ANNEXEI
RAPPELSSUR LA FONCTION DE DISTRIBUTION
DES VITESSES DE (M-B)
MAXWELL-BOLTZMANN
Cette distribution est liée à l’état stationnaire d’un système à température T où les
interactions entre particules sont suffisamment nombreuses. Si le système thermody-
namique n’est pas en équilibre complet, il faut au minimum que les collisions entre
particules de même type soient très nombreuses pour que la distribution de M-B
s’établisse.
DISTRIBUTION
DE M-B EN L’ABSENCE DE CHAMP EXTÉRIEUR
2i7ksT
f ( w ) = (=)1’2exp
[-SI ,
où me est la masse des électrons, T leur température, kg la constante de BOLTZMANN
et w,la vitesse microscopique d’agitation thermique des électrons.
A trois dimensions, dans le cas où les particules sont entraînées dans un mouvement
d’ensemble de vitesse v,la distribution des vitesses microscopiques dépend de l’orien-
tation de w par rapport à ‘u :
me
364 ANNEXES
/
00
f(w)
d3w = 1
avec d3w = dw, dw, dw, en coordonnées cartésiennes. Nous aurions pu choisir la
s
condition :
f ( w ) d3w = n e , (1.4)
-00
la densité des électrons ; dans ce cas, ne apparaîtrait en facteur dans l’expression (1.2) ;
cette question est abordée en 5 3.3.
Pour une vitesse d’entraînement u = O, la distribution est isotrope :
d’où
J
O O
47rw2f(w) dw = 1
ANNEXEI 365
MAXWELL-BOLTZMANN isotrope,
représentée sous sa forme scalaire,
avec ses vitesses caractéristiques.
JT.uIL)= (y)
1 3
= 1,225 vth . (1.10)
~ le flux aléatoire, défini comme le flux de particules qui traversent une surface dans
un seul sens (vers les z positifs, par exemple), voir l’exercice 1.2 :
(nw,)= - (1.12)
4 .
DISTRIBUTION
D E M-B DANS UN CHAMP DE FORCE CONSERVATIVE
Dans le cas d’un champ de force F agissant sur les particules, une condition sine qua
non pour avoir une distribution de MAXWELL-BOLTZMANN est que cette force obéisse
à la relation :
F = -V(a(r) (1.13)
f ( r ,u t ) = f i ( r )exp (1.14)
(1.16)
ce qui montre que la fonction f ( r ,w) est séparable ( 5 3.3), et conduit à la condition
de normalisation de f ( r ,w) puisque :
/ J
f ( r ,w) d3w = n ( r )
U’
d3w = n ( r ) ,
f(w) (1.17)
7u
compte tenu de la normalisation retenue (1.3) pour la fonction f ( w ) . Notons donc que
nous utilisons la notation f pour la fonction de distribution des vitesses, qu’elle soit
séparée ou non ; si l’argument de f ne contient pas le vecteur position, nous devons
conclure qu’elle a été séparée.
DISTRIBUTION
DE DRUYVESTEYN
DES ÉLECTRONS
ANNEXEII
EXPRESSION
COMPLÈTE DE L’ÉQUATION DE S A H A
(11.1)
où not et nit sont, respectivement, la densité totale des atomes neutres et la densité
totale des ions, total au sens où l’on inclut l’état fondamental et tous les états excités
correspondants, ne,la densité des électrons (ni = ne lorsque les ions ne sont qu’une
fois ionisés) ; B ( T ) et B‘(T) sont des fonctions de partition données par :
(11.2)
où la somme sur k porte sur les états excités de l’atome ( k = O représente l’état
fondamental) et :
Co
où la somme sur j porte sur les états excités de l’ion une fois ionisé ( j = O : ion non
excité), et gk et gj représentent, respectivement, les dégénérescences des niveaux de
l’atome neutre et de l’ion, et $k et $ j sont les potentiels correspondants à l’excitation
de ces niveaux (mesurés respectivement par rapport au fondamental de l’atome neutre
et à celui de l’ion, d’où $h ( k = O) = O et $ j ( j = O) = O).
SIGNIFICATION
DE LA FONCTION DE PARTITION
nm gm (Ern - Eo)
no go
368 ANNEXES
(11.5)
ANNEXEIII
EQUILIBRE
THERMODYNAMIQUE LOCAL PARTIEL
166La distribution en énergie des électrons ( 5 1.4.2 et annexe I) fournit davantage d’électrons à faible
énergie qu’à haute énergie, alors que l’excitation collisionnelle des premiers niveaux de l’atome
d’argon, par exemple, demande des électrons de forte énergie (supérieure à 11,55 eV).
ANNEXEIII 369
pour le niveau fondamental, nous avons ls2 2s2 3s2 3p6, dont la figure 111.1, par sim-
plicité, n’a conservé que le dernier terme. Quant à la première configuration excitée,
notée 4s, elle comprend 4 niveaux (voir l’insertion) que nous allons traiter en bloc.
11,83 ----
11,62 ----
11,55 - PZ
J- 3P6
O I////////////////////////////////,
Etat fondamental
Figure 111.1 - Diagramme d’énergie de l’atome neutre d’argon jusqu’au
premier niveau de l’atome ionisé. Les états d’énergie sont regroupés suivant
la configuration orbitale électronique à laquelle ils appartiennent.
2 l
3
O
100 110 120 Ei,, 130
E (io3 cm-l)
Figure 111.2 - Diagramme dit de BOLTZMANN observé dans une décharge micro-ondes
d’argon (plasma d’onde de surface). La densité de population des niveaux est
proportionnelle à l’intensité I des raies émises et l’énergie E des niveaux, exprimée
en cm-I (1 eV = 8 065,544 cm-’), est référencée à l’énergie du niveau fondamental;
le coefficient A,, représente la fréquence de transition radiative, de nature
dipolaire électrique, de l’état q vers l’état p (321.
ANNEXEIV
REPRÉSENTATION DES COLLISIONS BINAIRES DANS LES
REPÈRES DU CENTRE DE MASSE ET DU LABORATOIRE
DANSLE R E P E R E DU C E N T R E D E M A S S E
DANSLE R E P E R E DU L A B O R A T O I R E
RELATION
ENTRE LES DEUX R E P Ë R E S
who sin û
De la figure IV.3, il vieut : tanO,L = (IV.1)
who cos0 + wo .
wo = wo
OaL =O . (IV.2)
Comme who = w , ~dans le cas d’une collision élastique (1.92)’ de (IV.3) et (IV.4),
on obtient who = wo et, finalement, de (IV.1)’ par relation trigonométrique :
f?
f?,L = - . (IV.5)
2
ANNEXEV
INTERACTIONS COLLISIONNELLES DE NATURE
COULOMBIENNE. LIMITATIONDE LEUR PORTÉE
(LOGARITHME COULOMBIEN)
L’objectif ultime de cette annexe est le calcul des fréquences de collision d’interactions
coulombiennes sachant que les faibles interactions (petites valeurs de l’angle de diffu-
sion O) empêchent les intégrales correspondantes prises sur O de converger ( 5 1.7.4).
372 ANNEXES
Ces faibles interactions n’ont, en fait, pas d’existence physique lorsque leur rayon
d’action est supérieur à la longueur de DEBYE,AD : il y a écrantage. Cette considé-
ration va nous permettre de réduire le domaine d’intégration en 8 et d’assurer ainsi
la convergence des intégrales en introduisant le concept de logarithme coulombien.
Pour atteindre ce but nous allons d’abord déterminer la valeur de B lors de collisions
~
Nous ne considérons ici que les interactions élastiques binaires de type électromagné-
tique167. C’est le cas de l’interaction de VAN DER WAALS entre neutres168 (potentiel
en F‘), entre neutres et particules chargées16’ (potentiel en r P 4 )et l’interaction de
COULOMB entre particules chargéesl7O (potentiel en T - ’ ) . Ces interactions électroma-
gnétiques induisent un champ de force centrale F conservatif (voir annexe I), colinéaire
avec T , telle que F = - V @ ( r ) (1.13) où @ ( r )est l’énergie poténtielle d’interaction.
La géométrie d’une interaction élastique entre deux particules Q et p est décrite sur
la figure V . l a) pour une interaction répulsive et sur la figure V.l b) dans le cas d’une
interaction attractive. Dans le référentiel du centre de masse (où le centre de gravité G
de a: et /? se déplace à une vitesse constante dans le référentiel du laboratoire, 5 1.7.2)’
les trajectoires de a: et /? sont deux courbes homothétiques par rapport à G (hyperbole
dans le cas d’une interaction de COULOMB) et possèdent chacune deux asymptotes
(trajectoires longtemps avant et longtemps après la collision). La distance s entre les
deux paires d’asymptotes est le paramètre d’impact (voir figure V.1). C’est aussi la
distance de plus courte approche du centre de force s’il n’y avait pas d’interaction.
L’étude du mouvement des particules est effectuée dans le repère du centre de masse
avec, pour coordonnées polaires, la distance T entre les particules Q et /3 (l’une des
particules étant prise comme origine) et l’angle x entre T- et la vitesse relative wufi =
W,O - w p o des particules Q et p avant interaction. Les vitesses w,o et woo des
particules a: et p avant collision sont colinéaires avec W,B (1.68). Dans ce système
de coordonnées, les composantes de la vitesse relative w pendant l’interaction (avant
interaction w = w,p, après interaction w = wQo)s’expriment respectivement par :
167 L’appellation “interaction électromagnétique” est justifiée dans les deux notes en bas de page qui
suivent. Les interactions sont, par ailleurs, de nature quantique si les particules se rapprochent au
point que la distance entre elles passe par un minimum de l’ordre de grandeur de leur dimension.
168 Interaction entre le dipôle électrique instantané d’une des particules et le dipôle que celui-ci
induit dans la seconde particule.
169Interaction entre la charge d’une particule et le dipôle électrique que celle-ci induit dans la
particule neutre.
170 On suppose que les vitesses des particules chargées sont suffisamment faibles pour négliger le
rayonnement de freinage (bremsstrahlung).
ANNEXEV 373
(a)
2Xmax +B = 7r
Dans le centre de masse, l’énergie cinétique totale liée au seul mouvement relatif des
particules a et /3 s’exprime simplement par :
(1.74)
I, = y[ ($-)2 + r 2 (+x)2]
On peut vérifier facilement que le moment cinétique du mouvement relatif défini par :
L = r A pLCYbw P.3)
est un invariant du mouvement. En effet :
3 74 ANNEXES
dL
soit encore : -=rAF=O,
dt
puisque r et F sont colinéaires.
Le moment cinétique .L dont la seule composante non nulle est L , :
est donc, d’après (V.5)’ constant au cours du mouvement (premier invariant du mouve-
ment). La valeur de L, :
Lz zz (y A ~ a p w ) ~ (V.7)
s’obtient à partir des conditions initiales à l’infini dans (V.3)’ soit :
La valeur de E est donnée par les conditions initiales avant interaction, lorsque l’éner-
gie potentielle est nulle, soit :
&-h 3 w 2 (V.10)
2 00 .
(V.11)
dr
d’où : (V.12)
dt
Comme : (V.13)
L:
(V.14)
ANNEXEV 375
&=zt S
(V.15)
dr r2,/- ’
(V.16)
Nous venons d’établir les relations générales décrivant les trajectoires (répulsives et
attractives) d’interaction dans le cas de forces centrales. Pour appliquer ces résultats
à un cas concret, il nous faut connaître l’expression de la force centrale ou de @ ( r ) ,
ce qui nous permettra alors de déterminer xmax(s,w , ~ ) , donc finalement l’angle de
diffusion O .
Remarque : Tous les calculs précédents ont été menés dans le repère du centre de
masse. Toutefois, la trajectoire dans le repère du laboratoire est peu différente de celle
calculée dans le repère du centre de masse si m, << mp. Dans ce cas, le centre de
masse est pratiquement confondu avec la particule /3 supposée immobile. Dans ces
conditions, l’angle de déflexion 0 reste inchangé d’un repère à l’autre. Par contre, si
les masses m, et mp sont voisines, l’angle de diffusion devient égal à 8/2 dans le
repère du laboratoire (voir annexe IV).
Nous allons maintenant effectuer le calcul explicite de l’angle 8 dans le cas d’une
interaction coulombienne.
376 ANNEXES
(V.19)
Z,Zp e2
soit encore : @ ( r )= ~ (V.21)
47r~r
On peut alors définir le paramètre d’impact critique m o y e n so (dont nous verrons la
signification ultérieurement) tel que :
(V.22)
(V.23)
(V.24)
(V.26)
ta
(V.27)
ANNEXEV 377
I1 est à noter que la borne d’intégration supérieure dans (V.24) correspond à une
valeur nulle de la quantité sous la racine, soit = 1 dans (V.26). L’intégration de
(V.26) conduit alors à :
(V.31)
qui donne l’expression de l’angle de diffusion û pour une collision coulombienne. Cette
déflexion des particules est fonction du paramètre d’impact s et, par so (V.23), de la
vitesse relative wcVodes particules O et /3 avant leur interaction. Notons bien que si
s = s o , û = 7r/2 et par ailleurs que si s = O, û = 7 r , la collision est frontale. II s’ensuit,
que si s < so, la déflexion, c’est-à-dire l’interaction, est importante (0 > 7r/2), et
faible si s > so (0 < 7r/2).
SECTION
EFFICACE MICROSCOPIQUE TOTALE
D’INTERACTION COULOMBIENNE
dût, = 2 ~ ds . (V.34)
Pour faire apparaître ensuite â(û), nous exprimons la section efficace microscopique
élémentaire 27rs d s en fonction de l’angle solide élémentaire 27r sin 6’ dû à partir de
(V.32). En élevant (V.32) au carré, et en différentiant, nous trouvons :
2s d s -
[cos(6’/2) sin3(û/2) + cos3(8/2) sin(û/2)] dû
~- -
, (V.35)
so sin4(8/2)
378 ANNEXES
soit : (V.36)
(V.37)
Le signe moins dans (V.37) signifie simplement que l’angle de diffusion 8 diminue
lorsque le paramètre dl’impact s augmente, et nous prenons donc la valeur absolue du
membre de droite comme expression de la section efficace microscopique différentielle.
Compte tenu de (V.23)’ de (V.37) découle alors, pour les collisions coulombiennes,
l’expression bien connue :
(V.38)
âtm - 7r.i
2
1
O
(1 - cos 8) sin 8 d0
sin4(812)
(V.40)
ANNEXEV 379
etm = 47rS0
2 / d[sin(û/2)]
sin(ül2) ’
(V.41)
O
On vérifie ainsi que, comme etc,la section efficace etm diverge car les collisions loin-
taines, où 6’ 2 O, sont prises en compte spatialement jusqu’à l’infini. Or, dans les
plasmas, la portée du champ électrique créé par une particule chargée est réduite
par l’effet d’écran des particules chargees voisines, et, en fait, limitée à la sphère de
DEBYE( 5 1.6). Par conséquent, deux particules chargées d’un plasma, séparées par
une distance r > AD, ne “voient” pas le champ l’une de l’autre, et ne peuvent donc
pas être prises en compte dans les interactions coulombiennes. I1 faut donc limiter
l’intégration aux particules ayant un paramètre d’impact s inférieur à la longueur de
DEBYE(s < AD), c’est-à-dire aux angles de diffusion 0 supérieurs à la valeur minimale
û,,,i, (O < ûniiri) définie par :
Qniin - AD
cot - - - , (V.43)
2 so
soit : (V.44)
Ce résultat est conforme au fait de prendre en compte toutes les interactions cou-
lombiennes pourvu qu’elles aient lieu à l’intérieur de la sphère de DEBYE( s AD). <
L’expression de la section efficace microscopique totale pour le transfert de quantité
de mouvement déterminée en (V.46) nous oblige à préciser les valeurs de AD et so à
introduire dans l’expression de A,, ce que nous allons faire dans l’hypothèse où les
populations des particules chargées a et /? obéissent à des distributions maxwelliennes
de températures Te et To.
La longueur de DEBYEAD est, en principe, la longueur de DEBYEglobale définie par
(1.38). En fait, d’après DELCROIX (1959)’ lors d’une collision, l’effet d’écran des ions
n’a pas le temps de se manifester, et il est donc préférable d’adopter dans l’expression
de A,, AD = AD^, la longueur de DEBYEélectronique, soit :
(1.38)
Cette hypothèse est, de plus, cohérente avec celle des ions constituant un fond neu-
tralisant pour les élec-trons (voir remarque 8, § 1.6).
Pour s o , il faut calculler la valeur moyenne de papw&, soit :
(ILeBWQp) = P e p ( ( w e o - w p o )2 ) (V.48)
où la moyenne wao . tugo est nulle : toutes les orientations relatives initiales des par-
ticules dans le repère (du laboratoire sont également probables. Pour des distributions
maxwelliennes, on obi,ient alors, d’après (1.11) :
(V.50)
Si Ti = Te = T , so prend une valeur unique : quelle que soit la nature des collisions,
électron-électron. ion-ion ou électron-ion :
(V.51)
Par contre, si Te # Ti, il faut distinguer trois paramètres d’impact critique moyens :
- pour les collisions éllectron-électron :
e2
so,, = (V.52)
’ ,
12~~0ksT
+
Ti
lnAcZz= 1nAcee In - , (V.55)
Te
et puisque : so,, so,, , (V.56)
alors : In Ace%Y 1nAcee. (V.57)
FREQUENCES
DE COLLISIONS COULOMBIENNES
ET LIBRES PARCOURS MOYENS
Fréquences de collisions
De manière rigoureuse, la fréquence moyenne de collision de l’espèce a avec l’espèce
p (cible) est définie par (1.133) :
où â a est
~ la section efficace microscopique totale de transfert de quantité de mou-
vement. Or, dans le cas présent des collisions coulombiennes, les sections efficaces
calculées précédemment sont déjà le résultat d’une moyenne effectuée sur les vitesses
relatives, et ne peuvent donc être utilisées pour aboutir à l’expression exacte de (V.58).
Pour cela, il faudrait intégrer (V.58) sur l‘ensemble des vitesses des populations Q! et /3
(de la même manière que dans l’exercice 1.9), ce qui conduit à un calcul très complexe.
Un ordre de grandeur de la fréquence de collision pourrait, toutefois, être obtenu en
recourant à l’approximation :
(V.60)
(V.61)
382 ANNEXES
où ea, se calcule à partir de (V.46), en prenant pour nouvelles valeurs des para-
mètres d’impact et critiques moyens :
(V.62)
(V.63)
(V.64)
(V.65)
u,, Y h V , i (V.66)
(V.67)
(V.68)
(V.69)
(V.70)
ANNEXEVI 383
eei = ’ (V.71)
v ei
.eie = (V.72)
ue i
(V.73)
Le libre parcours moyen des électrons sur toutes les particules chargées (électrons et
ions) s’écrit :
(V.74)
ANNEXEVI
IONISATION
PAR ÉTAPES
Une seconde collision électronique sur cet atome excité dans l’état j provoque alors
son ionisation :
e+A(j)+A++g+e.
-
- (VI.2)
L’atome excité a donc servi de relais, d’intermédiaire, pour atteindre l’ionisation avec
des électrons de moindre énergie que ceux requis pour une ionisation directe.
où Nj est la densité des atomes dans l’état excité (les cibles), est la section effi-
âji
cace microscopique totale pour l’ionisation à partir de l’état excité j et les crochets
indiquent l’intégration sur la fonction de distribution en vitesse des particules. Pour
obtenir la fréquence d’ionisation par étapes, il nous faut donc connaître la densité
des atomes excités d,ans l’état j. Cette densité est déterminée à partir du bilan des
processus de création et de perte des atomes de l’état-relais. Nous allons nous aider
du diagramme à trois niveaux d’énergie de la figure VI.l pour l’établir.
O
‘Jf- 3s2 3p6
3p54s
dNj
-~
dt
- Nj(âji(w)w)n,
-
-Nj
Dj (VI.5)
A2
(VI.6)
L’ionisation par étapes se fait généralement à partir d’atomes dans un état métastable
comme état-relais parce que la désexcit,ation radiative de ceux-ci est très longue, de
sorte que leur dépeuplement est contrôlé par collisions électroniques et par diffusion.
De l’équation (VI.5) à l’état stationnaire, nous obtenons la densité de l’état-relais :
(VI.7)
F R É Q U E N C E D’IONISATION
(VI.8)
+
q = ( ( 6 j o ( w ) w ) ( 6 j i ( w ) w ) )rj unités : cm3 (VI.10)
que nous nommerons coe,ficient de saturation des états relais. La fréquence d’ionisa-
tion par étapes peut alors s’écrire sous la forme (1.150) :
(VI.11)
386 ANNEXES
Lorsque la valeur de .vie n’augmente plus lorsque n, croît, on dit qu’il y a saturation :
l’ionisation par étapes l’emporte alors nettement sur l’ionisation directe. Ceci se pro-
duit lorsque le temps de diffusion ~j est très grand (grande valeur de 77) ou lorsque la
valeur de ne est très grande. Dans ces conditions, l’expression (VI.ll) ne dépend plus
de ne puisque :
pie
vi, E -. (1.151)
77
ANNEXEVI1
NOTIONS
DE ‘TENSEUR
171Si nous désignons par Ê,, Ê y , Ê, les vecteurs de base dans le nouveau repère, ceux-ci
s’obtiennent à partir ties vecteurs de base de l’ancien repère par la relation Ê I = a!êk.
ANNEXEVI1 387
T = tzzêzêz
- + tx,êzê, + t,,êxê, + . . . (V11.4)
c’est-à-dire qu’il fait intervenir deux vecteurs de base pour chaque composante ; ces
composantes sont au nombre de 9. En conséquence, lors d’un changement de repère,
il faut faire agir deux fois la matrice de transformation. Ainsi les composantes de
dans le nouveau repère sont-elles données par :
TI J -
- c I~ J~ iaj ,, ~ t (VII.5)
PRODUITS
ENTRE TENSEURS
172Le produit scalaire de deux vecteurs peut être vu comme leur produit tensoriel suivi d’une
contraction.
388 ANNEXES
OPÉRATEURS
- Le gradient est un opérateur qui produit un tenseur d’une unité supérieure à celui
sur lequel il opère. Ainsi, à partir d’un scalaire s :
as 8s
vs = -êL + -êY
dX
+ -êz
dS
dy dz
= Edt. êi , (VII.9)
i
(VII.10)
EXEMPLE
DE DEMONSTRATION D’UNE IDENTITÉ TENSORIELLE
V r . ( w w ~=) W ( W . V r f ). (VII.11)
f ) = a,( W z W q ê , f=
a,(ê, . (WPWqêpêq) ) a, ( f d )
dê, (VIL 13)
a* ( f w t )w = ( V , f .w )w . (VII.14)
(V,f w)w = 4
’ V T . f . .u) ’ (VI1.15)
ce qui est, le membre de droite de la relation (VII.11) que nous voulions démontrer.
ANNEXEVI11 389
ANNEXE
VI11
OPERATIONS
SUR LES TENSEURS
Les propriétés fondamentales des tenseurs ont été présentées à l’annexe VII. Nous
allons maintenant en donner les règles opératoires, sans toutefois avoir recours à la
sommation implicite (indices muets) définie à l’annexe VIL
PRODUIT
DE DEUX VECTEURS
A A ( B A C ) = ( A .C )B - ( A. B ) C . (VIII.4)
PRODUIT
DE DEUX TENSEURS
Produit tensoriel : S @ T
On obtient un tenseur d’ordre 4 : 5@T =- (VIII.7)
dont les composantes sont : Uijkl = SijTkl . (VIII.8)
S . T = (T.S)T= ( g ) T = g
- (VIII.11)
On obtient un scalaire : S :T =
- SijTji = U (VIII. 12)
i j
avec S:T=T:S.
- (VIII.13)
T.
- A=D (VIII.16)
dont les composantes sont : Di = TijAj . (VIII.17)
j
A.T=D‘ (VIII.18)
dont les composantes sont : Di = C A j T j i . (VIII.19)
j
ANNEXEVI11 391
T.A=A.T.
- (VIII.20)
T=
- B@C (VIII.21)
donc : A.(B@C)=D, (VIII. 22)
a pour composantes : Di r= AjBjCi = ( A .B)Ci , (VIII.23)
j
d’où : D = A . ( B @ C ) = ( A .B ) C (VIII.24)
D=(A@B).C=A(B.C). (VIII.25)
(VIII.29)
L’opérateur différentiel V (ou a/&-)peut être considéré comme un vecteur dont les
cornDosantes sont :
v.- -a (VIII.32)
axi .
2 -
392 ANNEXES
d 2C
C’est un scalaire : (VIII.42)
i
Or : (VIII.43)
Or : (VIII.47)
soit : AA = V . ( v ~ A =
) V ~ A . (VIII.48)
Remarque : il ne faut pas oublier que V est un opérateur différentiel, et, que par
conséquent, quand il s’applique à un produit, il porte sur chacun des termes. Ainsi,
v . ( B 8 C ) = ( V .B ) C + ( B . V ) C .
ANNEXEIX
ORIENTATION DE W ~ I
DANS LE TRIEDRE DE RÉFÉRENCE (EolA B,Eol, B)
Nous faisons appel au trièdre de référence (figure 2.10) et à la représentation de la
vitesse w21 de la figure 2.11. De (2.134), pour un électron ( q = -e et w, = wee), nous
avons alors :
(IX.l)
-
Wce
+
-(cos ut i sin w t ) ( ~ 0 A1 B I }
B
= -Alw(sinwt)Eol - A 2 w , , ( c o s w t ) ( E ~A~ B ) (IX.2)
ANNEXEX
FORCE
AGISSANT SUR UNE PARTICULE CHARGÉE
DANS LA DIRECTION D’UN CHAMP B
FAIBLEMENT NON UNIFORME AXIALEMENT :
VARIANTE DE (2.172)
- A
er elp ez
w A B = O WL WJJ . (X.1)
Br O B,
écrire
et :
puisque p = &cinl/BZ(2.145).
La non uniformité axiale du champ B donne lieu à une force proportionnelle au
gradient de ce champ.
ANNEXEX I 395
ANNEXEXI
LE MOMENT MAGNÉTIQUE, UN INVARIANT DANS
L’APPROXIMATION DU CENTRE D E GUIDAGE
Considérons le cas où il n’y a pas de champ E appliqué. Nous allons négliger le champ
E induit par l’inhomogénéité de B dans le repère de la particule : ceci est conforme
à l’approximation à l’ordre zéro du centre de guidage. Dans ces conditions, l’énergie
+
cinétique totale de la particule, WT = W_L Wii, est constante. I1 s’ensuit que :
d d
-(wII)
dt
E- -maw:
dt ( l2 ) = --(Wl)
at
(XI.l)
(XI.2)
d B,
Sachant que : F, = -p-, (2.172)
dz
et en multipliant (2.172) par w , de chaque côté et puisque p =
Wi
~ :
B
W L dB, dz - WidB,
w,m,-
dwz
at
E-
dt (’
-m,w2
2 11)
=
B d z dt
-
B dt ’ (XI.3)
(XI.4)
Tenant compte de (XI.2) pour remplacer le membre de gauche dans la relation (XI.4),
celle-ci nous conduit à :
--
B dt
ANNEXEXII
VITESSE
DE DÉRIVE wD D’UNE PARTICULE CHARGÉE
SOUMISE À UNE FORCE QUELCONQUE FD
DANS UN CHAMP B : LA DÉRIVE MAGNETIQUE
Généralisation de l’expression de la vitesse du mouvement de dérive dans
un champ B à partir de l’expression de la vitesse de dérive électrique
Pour la dérive électrique, nous avons obtenu (2.111) :
(XII.1)
nous aurons :
FDM
E -Pte,. A ( %êyêz) dB,
= -pzdye, A .
(XII.5)
(XII.6)
ce qui est bien la relation déjà obtenue en (2.210) : ce résultat conforte notre hypothèse
que l’expression (XII.2) est valable pour une force F D quelconque.
ANNEXEXIII 397
ANNEXEXIII
VITESSE DE DERIVE MAGNETIQUE WDM
DANS LE REPÈRE DE FRENET ASSOCIÉ
AUX LIGNES DE FORCE D’UN CHAMP
MAGNETIQUE PRÉSENTANT UNE COURBURE
REPËREDE FRENET
En chaque point d’une ligne de force de champ magnétique (figure XIII.l), nous
pouvons construire un repère cartésien tel que :
1. le vecteur unitaire ê z soit dirigé selon la tangente à la ligne du champ B en ce
point,,
2 . êY soit normal à cette tangente et orienté le long du rayon de courbure p173,ce
vecteur pointant vers la ligne de champ, c’est-à-dire en direction opposée à ê y ret
3 . êz, la binormale, soit dans la direction perpendiculaire aux deux autres vecteurs
unitaires de façon à former un trièdre droit.
O
173Le rayon de courbure en un point A d’une courbe est la distance entre ce point et le point
d’intersection de deux normales à la courbe situées immédiatement de part et d’autre du point A .
398 ANNEXES
RELATIONS
DE FR.ENET
La mécanique classique enseigne que sur une trajectoire s liée à un repère de FRENET
:
(XIII.1)
(XIII.2)
Pz
- -
-
1 dB, (XIII.3)
P2 B dz ’
1 dB,
!?Y= (XIII.4)
P2 B dz ’
PZ
- = o. (XIII.5)
P2
DE; V B
COMPOSANTES
dB
Par hypothèse d’une inhomogénéité de B dépendant de y , -2 # O, et :
dY
(XIII.7)
Les autres termes de (XIII.6) sont nuls. Les équations (XIII.3) et (XIII.4) deviennent
alors :
Px = O7 (XIII.8)
(XIII.9)
de sorte que pY = p .
ANNEXEXIII 399
PARAMI~TRISATION
D’UNE LIGNE DE CHAMP
+
Dans notre cas, B = B,ê, B,ê, où lByl < IBzI est une correction d’ordre un à B,
si la courbure de champ n’est pas trop forte. Nous cherchons y(z) pour caractériser
cette ligne de force.
Nous pouvons effectuer un développement limité en série de Taylor de la composante
By,avec By(0)= O puisque cette quantité est d’ordre un, et :
(XIII.10)
ByN 3
dz
dz (XIII.ll)
(XIII.12)
dY - z (XIII.13)
et, en intégrant (XIII.2), il vient : - --
dz P ’
la constante d’intégration étant nulle puisqu’en z = O, y = O (figure 2.19).
De (XIII.12) et (X111.13), nous obtenons finalement :
2
B, = B,- . (XIII.14)
P
En comparant B, dans (XIII.14) et (2.214), nous constatons que pN i/p.
EXPRESSION
DE wDM D A N S LE REPÈRE D E FRENET
(2.209)
(XIII.15)
(XIII.16)
400 ANNEXES
(XIII.19)
ANNEXEXIV
HARMONIQUES
SPHÉRIQUES
2 ),
. )
9m(P)=9 ( ~ (XIV.4)
ANNEXEXV 40 1
w,,t )
En supposant l’existence d’une symétrie suivant cp, la fonction de distribution f ( ~
peut se développer suivant les termes Ci0 :
rt)= fo(r,
f ( r ,w w,t ) + f i ( T , w,t ) cos 0 + f 2 ( T , w , t ) (3c0s,,-1) f... (3.19)
ANNEXEXV
EXPRESSION
DES TERMES ET Ea DE L’ÉQUATION
DE TRANSPORT DE LA PRESSION CINÉTIQUE (3.151)
EXPRESSION
DU TENSEUR M LIÉ A LA FORCE MAGNÉTIQUE
En décomposant, on obtient :
, (XV.2)
4a
soit : Mij = - [Bi-lfi+l, j - Bi+lfi&l, j ]
ma
+ ~
mff
401
[Bj-lQj+l, i - Bj+lQj-i, il , (XV.3)
(XV.4)
402 ANNEXES
EXPRESSION
DU TENSEUR DE COLLISION E, (3.149)
(XV.5)
(XV.6)
R
-4
=
J’ maw,waS(fa)p dwa - uaP,, - [~a7’ap]
T
. (XV.8)
ANNEXEXVI
FERMETURE
DE L’ÉQUATION HYDRODYNAMIQUE
DE TRANSPORT DE PRESSION CINÉTIQUE
DANS LE CAS D’UNE COMPRESSION ADIABATIQUE
d.t
(”)n + (9.V)w + [(%TL.V) VIT - M =0 . (XVI. 1)
La structure même du tenseur (XV.2) fait que les termes de sa diagonale sont tous
nuls.
L’équation (XVI.1)’ tensorielle d’ordre 2, peut donner lieu à une relation scalaire si
l’on pratique une contraction (annexe VII) sur les deux indices des différents tenseurs
d’ordre 2 de l’équation. Sachant qu’un tenseur A s’exprime A = ê,êjAij, contracter
les deux indices en présence ( i = j ) équivaut à calculer la trace de A.
Compte tenu de (3.111)’ la trace Tr du premier terme de (XVI.1) a pour valeur :
(XVI.2)
ANNEXEXVII 403
ANNEXEXVII
COMPLÉMENTS DE CALCUL
POUR L’EXPRESSION DE T,(pR) ( 5 3.13)
FONCTION DE DISTRIBUTION MAXWELLIENNE DES VITESSES EXPRIMÉE
EN ÉNERGIE (eV)174
(3.286)
par sa forme scalaire, souligne que nous avons négligé I’anisotropie induite par le
champ E extérieur.
En introduisant U e v , l’énergie microscopique des électrons, exprimée en eV :
(3.287)
il vient : (3.288)
174 La substitution de l’énergie U e v à w dans f (tu) (isotrope) conduit à la fonction f ( U e v ) que l’on
qualifie de fonction de distribution des vitesses exprimée en énergie. Par ailleurs, il est d’usage
de définir une fonction de distribution en énergie I<’(Uev),en posant
F(Uev)Ue$ dUev = 1.
404 ANNEXES
1
et comme : -meuth = l c ~ T
2
2
=~3 ( ?2/ c a ~ , )= , (XVII.1)
-
où Uev = 3/c~T,/2e(3.287) est l’énergie moyenne, nous avons finalement :
(3.290)
et (3.291)
EXPRESSION
DE LA FRÉQUENCE D’IONISATION
SELON LES ÉNERGIES REDUITES U ET Ui
(3.296)
il s’ensuit que :
(vi) = 3
mer
’
iJ&
7;
9 Üev (U
E;
-
2 -
3
2 -
U i ) - Uev Uexp (-U) - Uev dU
3
, (XVII.3)
EXPRESSION
D E (3.303) E N FONCTION DES ÉNERGIES RÉDUITES U ET Ui
Soit :
;Üevpi ( R
2,405
)2=2(;)4Fui~p~Ü!v 3 €i
(--)exp(---) 3 Ei . (3.303)
mer 4 uev 2 uev
ANNEXEXVIII 405
2,405
(XVII.4)
et alors :
_ _1
Ui (expUi) = ~
(2,405)2
-
-
(g) pER2 , (XVII.5)
ANNEXEXVIII
PLASMAS
D’ONDE DE SURFACE (POS)
Une propriété particulière des POS est que la puissance perdue d P ( z ) / d z par l’onde
+
entre z et z dz est absorbée par la décharge également entre z et z dz (ce n’est +
pas vrai des plasmas H F en général), ce qui en facilite la modélisation.
Interstice de lancement
d’un excitateur d’onde
I / de surface
Colonne arrière
I I
I Coionne avant Plasma
’ Puissance
micro-ondes
i Paroi du tube
i diélectrique
alimentant
l’exitateur A
n e ( z )= -
-
TR2
J,,,(,, z ) 27rrdr (XVIII.1)
O
175 La valeur minimum de fie dans ce cas est fie ?c 1,2x 1 0 4 ( l + t v ) f 2 (cmp3) où t u est la permittivité
relative du tube à décharge (par exemple 3,78 pour de la silice fondue) et f est la fréquence de
l’onde exprimée en MHz.
ANNEXExvm 407
du segment supplémentaire est plus élevée mais son gradient dfi,/dz demeure le même.
Noter qu’à une fréquence de 27 MHz et une pression de 30 mtorr, la colonne de plasma
d’argon s’étend sur 4,5 ni avec moins de 40 W transmis au surfatron !
t 58W
t \
,--.
M
I
O
E
rn R = 3 m m
R=Gmm
010 ‘ I
20
1 I
40
I I
60
I I
80
I I
100
,
120
z (mm)
Figure XVIII.3 - Distribution axiale de la densité électronique moyenne suivant la
section d’un tube à décharge, à deux valeurs du rayon interne de celui-ci (3 et 6 mm) dans
un plasma de néon à 915 MHz à pression atmosphérique.
1 mm et aller, pour ‘des fréquences pas trop élevées, à plus de 300 mm (des restric-
tions s’appliquent, en effet, au diamètre maximum du tube à décharge pour éviter
des modes EM supérieurs de l’onde de surface quand on augmentje la fréquence de
l’onde). Du fait de cette extrême souplesse des conditions opératoires, nous pouvons
dire que la principale application des POS est la modélisation des plasmas HF, bien
qu’il existe maintenant de nombreuses utilisations industrielles des POS.
ANNEXEXIXC
INTÉGRALES UTILES E T EXPRESSIONS
DES PRINCIPAUX OPÉRATEURS DIFFÉRENTIELS
INTÉGRALES UTILES
Fonction I?
Autres intégrales
7
-00
e-y2 dy = fi (XIX.2)
E(n) = 7
-00
ë a X 2 x ndx a>O, (XIX.3)
E ( n ) = 2 7 e é u x 2xn a x =
r (9)
~ pour n pair.
O
Valeurs remarquables
1 1
E(1) = - l ? ( 1 ) ü 1 = -a-’,
2 2
1 1
E(3) = -r
2
(2) a-’ = - K 2 ,
2
où ai = a/axi.
- Le rotationnel d’un vecteur
1
- d3e2A2),-(&elAl - &esAs),
e3el
1
-(&e2A2 - &elAl) (XIX.5)
e1e2
(XIX.7)
(XIX.12)
Coordonnées cartisiennes
Les variables sont x1 = IC, x2 = y et x3 = z et les unités de longueurs locales sont
alors el = e2 = e3 = 1.
a4
‘74 = -êz 0 - + -êz
+ -e, 84 (XIX.14)
ax ay dz
(XIX.15)
ANNEXEXIX 411
eY + (2 ”)
-
dY
e, (XIX.16)
(XIX.17)
AA=-
d2Az
8x2
êx + 7d2Ay
dY
d2A,,
ê u + -e, (XIX.18)
Coordonnées cylindriques
Les variables sont x1 = r , x2 = O et z3 = z et les unités de longueurs locales sont
alors e1 = 1, e2 = r , e3 = 1.
a4 + --eo
v4 = -êr + -adez4, A (XIX.20)
ôr r dû
(XIX.22)
(XIX.23)
(XIX.24)
412 ANNEXES
+ A,- dz
--
T
+
(XIX.25)
Coordonnées sphériques
Les variables sont x1 = T , x2 = û et z3 = p avec les unités de longueur locales e1 = 1,
e2 = T et e3 = T sin 8 .
(XIX.26)
V.A=----
1 d(T2A,)
T2 dr
+-r s i1n û d(Aesin6')
dû
+--r s i1n û dA,
dq
(XIX.27)
+ ;
1 ' ~ ( T A(
Q) ,7-$(XIX.
) 28)
'
BIBLIOGRAPHIE
OUVRAGES
GÉNÉRAUX DE PHYSIQUE DES PLASMAS
~ Introduction ù la théorie des gaz ionisés (Dunod, 1959).
J.L. DELCROIX,
- J.L. DELCROIX,Physique des plasmas, T. I et II (Monographie Dunod, 1966).
~ A. BERS,Physique des plasmas, T. 1 et T. 2 (Interéditions/CNRS,
J.L. DELCROIX,
1994).
~ B. HELD,Physique des plasmas froids (Masson, 1994).
~ R. JANCEL,Th. KAHAN,Electrodynamique des plasmas, T. I (Dunod, 1963).
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- F.F. CHEN,Introduction t o plasma physics and controlled fusion, volume 1 (Plenum,
1984).
OUVRAGES D’APPOINT
- F. LORRAIN,Les phénomènes électromagnétiques
P. LORRAIN,D.P. CORSON,
(Dunod, 2002).
~ L. BRILLOUIN,
Les tenseurs e n mécanique et e n élasticité (Masson, 1960).
- L. LANDAU,
E. LIFCHITZ,Mécanique des fluides (Mir, 1989).
RÉFÉRENCES
de groupe, 37 VLASOV
distribution, 31 équation de, 128
la plus probable, 365
moyenne, 137, 365 Zone miroir, 112
quadratique moyenne, 365
Vitesses
distribution des, 142, 363
TABLE
DES MATIÈRES
Avant-propos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Remerciements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Constantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
.
Chapitre 3 Description hydrodynamique d’un plasma ....... . . . . . . . . . . . . 125
. . . . . . . . . . . 127
3.1. Considérations élémentaires sur l’équation de BOLTZMANN
3.1.1. Présentation sommaire de l’équation de BOLTZMANN. . . . .
3.1.2. Approximation du terme de collisions élastiques de BOLTZMANN :
relaxation de la fonction de distribution vers un état isotrope . . . 129
3.1.3. Deux méthodes classiques de recherche de solution
de l’équation de BOLTZMANN ................................... 131
3.2. Fonctions de distribution des vitesses et notions de corrélation . . . . . . . 132
3.2.1. Densité de probabilité de présence .............................. 132
3.2.2. Fonction de distribution simple (cas de particules corrélées) . . . . . 133
3.2.3. Fonction de distribution simple (cas de particules non corrélées) 134
3.2.4. Fonction de distribution double (cas de particules corrélées) . . . . . 134
3.2.5. Fonction de distribution double (cas de particules non corrélées) 135
3.2.6. Fonction de distribution à N-tuples .............................. 136
3.3. Fonct.ions de distribution et grandeurs hydrodynamiques . . . . . . . . . . . . . 136
3.4. Conductivité cinétique et hydrodynamique des électrons d’un plasma
en présence d’un champ électromagnétique HF ....................... 139
3.4.1. Forme cinétique de la conductivité électrique
due aux électrons en champ HF ................................ 139
3.4.2. Forme hydrodynamique de la conductivité électrique
due aux électrons en champ HF ................................ 142
3.5. Equations de transport .............................................. 144
3.5.1. Equation de continuité (lermoment hydrodynamique :
moment d’ordre zéro en w) ..................................... 146
426 PHYSIQUE DES PLASMAS COLLISIONNELS
Annexes .. .... ... . . . . .. .... .... .. . ... .... .. . .. .... .. . . .. .... ... . .. . ... ... .. . 363
Annexe VII. Notions de tenseur . .. . . . .... ... . .. ... . .. .... ...... . .. ...... . . 386
Bibliographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 413
Références . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 415
Table des matières ... .... .. . . .. .... ... .... .... .... .... .... ... ... . .. . . .. . . . 423