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Contrôle et étalonnage
des cales étalons
par Bernard SCHATZ

Ingénieur du Conservatoire National des Arts et Métiers
Chef de la Section Métrologie dimensionnelle au Laboratoire national d’essais
1. Définitions. Normalisation .................................................................... R 1 245 - 2

1.1 Définitions .................................................................................................... — 2
1.2 Caractéristiques de fabrication................................................................... — 3
1.3 Caractéristiques de précision ..................................................................... — 7
2. Besoins industriels .................................................................................. — 8
2.1 Principales utilisations ................................................................................ — 8
2.1.1 Étalonnage d’autres cales .................................................................. — 8
2.1.2 Étalonnage des instruments .............................................................. — 8
2.1.3 Étalonnage des étalons matérialisés ................................................ — 9
2.1.4 Contrôle des pièces mécaniques....................................................... — 9
2.2 Choix des étalons et des méthodes d’étalonnage .................................... — 9
2.2.1 Problème du choix.............................................................................. — 9
2.2.2 Guide de choix .................................................................................... — 9
3. Méthodes et moyens d’étalonnage..................................................... — 11
3.1 Méthode par interférométrie directe.......................................................... — 11
3.1.1 Principe................................................................................................ — 11
3.1.2 Moyens de mesure - interféromètres ............................................... — 12
3.1.3 Mesure des cales étalons par interférométrie jusqu’à 1 m............. — 13
3.1.4 Précautions d’emploi.......................................................................... — 14
3.2 Méthodes par comparaison........................................................................ — 17
3.2.1 Principe................................................................................................ — 17
3.2.2 Moyens de mesure. Comparateurs de cales .................................... — 17
3.2.3 Précautions d’emploi.......................................................................... — 20
4. Utilisation des résultats de l’étalonnage .......................................... — 20
4.1 Document d’étalonnage.............................................................................. — 20
4.2 Analyse des résultats d’étalonnage ........................................................... — 21
4.2.1 Incertitude de mesure ........................................................................ — 22
4.2.2 Valeurs mesurées ............................................................................... — 22
4.2.3 Valeurs à utiliser ................................................................................. — 22
4.3 Classement des cales étalons..................................................................... — 22
5. Conclusion ................................................................................................. — 23
Pour en savoir plus........................................................................................... Doc. R 1 245
4 - 1990
n raison de leur précision, très significativement supérieure à celle des

E différents calibres et instruments utilisés pour la mesure de longueur, et du
R 1 245
fait de leur facilité d’emploi, les cales étalons à bouts plans parallèles sont
utilisées non seulement comme étalons de longueur de référence dans le
domaine de la recherche, mais aussi comme l’étalon le plus précis qui soit au
service de l’industrie. De ce fait, la cale étalon a été et est encore aujourd’hui,
à côté des lasers ou des machines à mesurer tridimensionnelles, l’étalon de
longueur le plus utilisé au monde.
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© Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle R 1 245 − 1
CONTRÔLE ET ÉTALONNAGE DES CALES ÉTALONS ____________________________________________________________________________________________
De la cale étalon de référence, utilisée pour l’étalonnage d’autres cales, à la

vérification des pièces mécaniques, en passant par l’étalonnage des instruments
de mesure, les besoins industriels sont divers et variés, avec des exigences en
précision allant de ± 0,02 µm à quelques dixièmes de millimètre.
Comme cela sera présenté dans cet article, pour répondre à la diversité des
besoins industriels, le normalisateur a recommandé 6 classes de cales
étalons (§ 1) et le métrologue a inventé et mis au point divers moyens et
méthodes d’étalonnage (§ 3). Quels que soient les besoins industriels, les cales
étalons peuvent présenter des instabilités en fonction du temps et sont aussi
susceptibles d’usure en fonction du taux d’utilisation. Par conséquent, il est
nécessaire d’effectuer des réétalonnages périodiques.
Afin de situer l’importance des cales étalons dans l’industrie française, il est
possible d’estimer le nombre de cales utilisées à quelques millions, avec un peu
plus de 100 000 cales commercialisées par an. Par contre, sur l’ensemble de ces
cales étalons, il n’y a qu’environ 150 000 cales réétalonnées par an, et donc il
reste encore beaucoup à faire en France au niveau de l’assurance qualité.
Les cales étalons utilisées en France proviennent principalement des plus
grands fabricants européens :
— C.E. Johansson en Suède ;
— Cary en Suisse ;
— Frank et Koba en République fédérale d’Allemagne ;
— Select en Grande-Bretagne.
Un siècle après l’invention de la cale étalon, en 1890, par Carl Edward
Johansson à Eskilstuna en Suède, l’entreprise qu’il a créée est encore une des
plus importantes au monde pour la fabrication des cales étalons.
1. Définitions. Normalisation
Les cales étalons sont normalisées depuis plusieurs années. Les
normes en vigueur sont (Normalisation en [Doc. R 1 245]) :
— au niveau international : la norme ISO 3650 de 1978 ;
— au niveau français : la norme NF E 11-010 de novembre 1986.
Pour comprendre le choix des étalons au niveau des besoins
industriels et les limitations des moyens et des méthodes, il est
nécessaire de développer les définitions et caractéristiques norma-
tives essentielles des cales étalons. Pour plus de détails, le lecteur
se reportera aux normes.
1.1 Définitions Figure 1 – Repérage des faces mesurantes par rapport à la gravure
de la longueur nominale
■ Cales étalons : ce sont des étalons de longueur en forme de

parallélépipède rectangle (figure 1) dont deux faces opposées, dites
faces mesurantes, ont une qualité de surface telle qu’elles ont la
propriété d’adhérer à des faces de même qualité superficielle.
■ Longueur conventionnellement vraie d’une cale étalon :
— mesurée par une méthode interférométrique, la longueur d’une
cale étalon est la distance d’un point déterminé de la face mesurante
libre à une surface plane rigide, dite plan auxiliaire (figure 2) ;
— mesurée par une méthode par comparaison, la longueur d’une
cale étalon est la distance entre un point d’une face mesurante et
le point de la face mesurante opposée, distance mesurée perpen-
diculairement au plan de l’une des faces mesurantes (figure 3).
■ Variation de longueur : différence, due au défaut de planéité et au
défaut de parallélisme entre faces mesurantes, entre la longueur
maximale et la longueur minimale (figure 4). Cette différence
correspond à une combinaison des erreurs de forme sur les deux Figure 2 – Longueur conventionnellement vraie L d’une cale étalon
faces mesurantes. mesurée par une méthode interférométrique
R 1 245 − 2 © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
___________________________________________________________________________________________ CONTRÔLE ET ÉTALONNAGE DES CALES ÉTALONS
Historique Historique
Le principe de l’invention de C.E. Johansson, en 1890, ne Dans l’historique de la métrologie des cales étalons, il est
repose pas sur la forme des cales, car le Mètre des Archives de important de citer l’année 1982 qui a vu l’invention de la
1799 était déjà un étalon à bouts plans parallèles, mais sur l’idée première machine automatique de contrôle des cales étalons
de combinaisons des cales entre elles. En effet, avec un jeu de (MACCÉ) par B. Schatz du LNE et R. Chevrier de la Société Game
102 cales, il est possible de réaliser plus de 20 000 combinaisons Ingénierie. Cette machine a, en effet, contribué à l’accroisse-
de mesures différentes. ment du nombre de cales étalons étalonnées en France et a été
L’importance de la cale étalon s’est accrue dès le début du un des premiers exemples d’automatisation des étalonnages
XXe siècle grâce au raccordement des cales de Johansson à des cales étalons de classe 1, 2 et 3.
l’étalon international du mètre, au Bureau international des
poids et mesures (BIPM), avec une incertitude de ± 1 µm. À cette
époque, les cales étaient comparées entre elles à l’aide d’un
micromètre à vis à effort constant mis au point par Johansson. 1.2 Caractéristiques de fabrication
Ce sont les travaux de Michelson et Benoît en 1892-1893 au
BIPM sur les mesures interférométriques, puis les travaux de ■ Les longueurs nominales recommandées sont données sur le
Fabry au Laboratoire d’essais (LNE aujourd’hui) en 1907 qui ont tableau 1 pour les cales étalons de 0,5 mm à 3 000 mm.
permis de raccorder la longueur d’onde de la radiation rouge du Le tableau 1 de la norme NF E 11-010 donne les longueurs
cadmium au mètre étalon. nominales recommandées ; il faut noter qu’il existe d’autres
Dans les années 20 sont réalisés les premiers interféromètres longueurs nominales proposées par les constructeurs de cales
pour la mesure des cales étalons, notamment suivant le principe étalons :
de Kösters. La société allemande Carl Zeiss commercialise, dès
— une série de cales de 0,2 à 0,9 mm tous les 0,1 mm ;
1928, des interféromètres de Kösters. Le National Physical Labo-
— une série de cales de 2,5 - 5,1 - 7,7 - 10,3 - 12,9 - 15 - 17,6 -
ratory à Teddington en Grande-Bretagne réalise, vers les années
20,2 - 22,8 et 25 mm pour l’étalonnage des micromètres à vis ; les
50, un interféromètre du type Fizeau pour l’étalonnage des cales.
longueurs nominales correspondent à un nombre de tours non
Les progrès techniques, comme les besoins industriels
entier de la vis, afin de mettre en évidence les éventuels défauts de
(développement important des techniques durant
justesse sur un tour.
l’entre-deux-guerres), et aussi les débuts de la normalisation
internationale (par l’International Organization for
Standardization ISO) vers 1930 ont permis aux cales étalons de Remarque : les cales étalons de longueurs nominales
poursuivre la révolution qu’elles avaient suscitée en métrologie inférieures à 1 mm sont souvent dites cales négatives du fait de
dimensionnelle. leurs anciennes désignations par la gravure : par exemple, la
Après la Seconde Guerre mondiale, les progrès de la spectro- cale de 0,995 mm était gravée 1 – 0,005 mm.
scopie et de la physique atomique permirent de séparer les iso-
topes et de choisir les sources spectrales les mieux adaptées
pour fournir de bons étalons de longueur d’onde. Après une
étude critique des mérites respectifs de radiations émises par le
mercure 198, le cadmium 114 et le krypton 86, on choisit finale-
ment comme étalon la longueur d’onde de la radiation orangée
de l’atome de krypton 86.
Cette nouvelle définition du mètre, en 1960, a fait de l’inter-
férométrie une méthode dite fondamentale en rendant possible
la mesure directe des cales étalons avec la longueur d’onde
définissant le mètre, et cela jusqu’à un mètre avec un seul
report. 1960 est aussi l’année où Javan fait osciller le premier
laser sur la raie rouge du néon. C’est à partir de ces travaux
qu’aboutiront, en 1972, les mesures les plus précises de la
vitesse de la lumière avec :
c = 299 792 458 m/s
Enfin, la 17e Conférence générale des Poids et Mesures, en Figure 3 – Longueur conventionnellement vraie d’une cale étalon
octobre 1983, promulga la nouvelle définition du mètre qui est mesurée par une méthode par comparaison
maintenant en vigueur :
le mètre est la longueur du trajet parcouru dans le vide par la
lumière pendant la durée de 1/299 792 458 de seconde.
Contrairement à la définition de 1960, cette dernière définition
du mètre n’a pas bouleversé la métrologie dimensionnelle
appliquée aux besoins industriels. Elle a surtout donné plus de
sûreté aux mesures de référence en accroissant le rapport entre
la connaissance d’un étalon de référence et la connaissance de
la définition du mètre.
La grande révolution des vingt dernières années en métrologie
est la prise de conscience du concept qualité, associée à la mise
en place des chaînes d’étalonnage dans les grands pays
industrialisés : en particulier, en France, la mise en place de la
chaîne d’étalonnage longueur du Bureau National de Métrologie
avec, en 1971, la reconnaissance du premier Centre d’étalonnage
agréé en métrologie dimensionnelle, le Laboratoire National
d’Essais (LNE). Depuis cette date, les demandes d’étalonnage
sont toujours en progression : quelques centaines de cales éta-
lonnées au LNE au début des années 70, près de 30 000 pour
l’année 1989.
Figure 4 – Variation de longueur d’une cale étalon
(0)
Tableau 1 – Longueurs nominales recommandées des cales étalons

Échelonnement
Longueurs (mm)
(mm)
0,5 – – – – – – – – – –
0,90 0,91 0,92 0,93 0,94 0,95 0,96 0,97 0,98 – 0,01
0,990 0,991 0,992 0,993 0,994 0,995 0,996 0,997 0,998 0,999 0,001
1,000 1,001 1,002 1,003 1,004 1,005 1,006 1,007 1,008 1,009
1,01 1,02 1,03 1,04 1,05 1,06 1,07 1,08 1,09 1,10
1,11 1,12 1,13 1,14 1,15 1,16 1,17 1,18 1,19 1,20
1,21 1,22 1,23 1,24 1,25 1,26 1,27 1,28 1,29 1,30 0,01
1,31 1,32 1,33 1,34 1,35 1,36 1,37 1,38 1,39 1,40
1,41 1,42 1,43 1,44 1,45 1,46 1,47 1,48 1,49 1,50
1,6 1,7 1,8 1,9 – – – – – – 0,1
2,0 2,5 3,0 3,5 4,0 4,5 5,0 5,5 6,0 6,5
7,0 7,5 8,0 8,5 9,0 9,5 10,0 10,5 11,0 11,5
12,0 12,5 13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 0,5
17,0 17,5 18,0 18,5 19,0 19,5 20,0 20,5 21,0 21,5
22,0 22,5 23,0 23,5 24,0 24,5 25,0 – – –
30 40 50 60 70 80 90 – – – 10
75 100 125 150 175 200 – – – – 25
250 300 – – – – – – – – 50
400 500 600 700 800 900 1 000 – – – 100
1 500 2 000 – – – – – – – – 500
3 000 – – – – – – – – – –
■ Les dimensions de la section droite du parallélépipède rectangle

sont données, avec leurs tolérances, sur le tableau 2. (0)
Tableau 2 – Dimensions et tolérances de la section droite

d’une cale étalon
Dimensions et tolérances
Longueur nominale L (mm)
Section droite
(mm)
a b
Figure 5 – Cale étalon en inch suivant ANSI B 89 1
0
jusqu’à 10 inclus 30 – 0,3
– 0,05
b 9 – 0,2 Remarques
0
de 10,5 à 3 000 inclus 35 – 0,3 ■ Bien que le présent document ne fasse référence qu’aux
a
normes NF et ISO, il faut noter que certains industriels français,
travaillant avec des entreprises américaines en particulier, sont
■ Stabilité dimensionnelle : la stabilité dimensionnelle du matériau parfois contraints d’utiliser soit des cales rectangulaires de
doit être telle que l’évolution maximale admise sur la longueur de la section droite conforme au tableau 2 et de longueur avec des
cale ne dépasse pas les spécifications indiquées sur le tableau 3.(0) progressions en inch, soit des cales à section carrée de
0,950 inch ± 0,010 inch (soit 24,1 ± 0,2 mm) avec un trou
facilitant la combinaison des cales, de diamètre 0,265 inch
Tableau 3 – Évolution maximale admise sur la longueur ± 0,005 inch (soit 6,7 ± 0,1 mm) avec des progressions en inch
des cales étalons (figure 5). Ces cales étalons ont été normalisées aux États-Unis
dans la Federal Specification GGG-G-15 C, et actuellement dans
Classe Évolution maximale admise sur la longueur par an la norme ANSI B 89 1 (9-1973).
de précision (µm) Les méthodes d’étalonnage de ces cales particulières sont
identiques à celles des cales métriques, avec l’utilisation du
00 facteur de conversion :
K ± (0,02 + 0,000 5 L) 1 inch = 25,4 mm
0
En ce qui concerne les cales à section carrée, des accessoires
1 particuliers devront être utilisés pour l’application des méthodes
2 ± (0,05 + 0,001 L) et des moyens de mesure développés au paragraphe 3.
3 ■ Les cales étalons se présentent en général dans un coffret en
L : longueur nominale (mm). bois contenant un jeu de cales permettant, suivant sa
composition, de réaliser tous les empilages de cales entre 1 mm
et 100 mm avec plus ou moins de cales et avec une résolution de
(0) 0,01 mm ou 0,001 mm. La composition des principaux jeux de
cales commercialisés est donnée dans le tableau 4.
Tableau 4 – Composition des principaux jeux de cales commercialisés

Longueur Type de jeu de cales étalons
nominale liste des cales présentes
(mm) 33 47 (1) 47 (1) 76 79 87 88 103 109 112 117 122
0,500 0 x x x x x x x x x x
1,000 0 x x x x x x x x x x x x
1,000 5 x x x
1,001 0 x x x x x
1,002 0 x x x x x
1,003 0 x x x x x
1,004 0 x x x x x
1,005 0 x x x x x x x x
1,006 0 x x x x x
1,007 0 x x x x x
1,008 0 x x x x x
1,009 0 x x x x x
1,010 0 x x x x x x x x x x x x
1,020 0 x x x x x x x x x x x x
1,030 0 x x x x x x x x x x x x
1,040 0 x x x x x x x x x x x x
1,050 0 x x x x x x x x x x x x
1,060 0 x x x x x x x x x x x x
1,070 0 x x x x x x x x x x x x
1,080 0 x x x x x x x x x x x x
1,090 0 x x x x x x x x x x x x
1,100 0 x x x x x x x x x x x x
1,110 0 x x x x x x x x x x
1,120 0 x x x x x x x x x x
1,130 0 x x x x x x x x x x
1,140 0 x x x x x x x x x x
1,150 0 x x x x x x x x x x
1,160 0 x x x x x x x x x x
1,170 0 x x x x x x x x x x
1,180 0 x x x x x x x x x x
1,190 0 x x x x x x x x x x
1,200 0 x x x x x x x x x x x x
1,210 0 x x x x x x x x x
1,220 0 x x x x x x x x x
1,230 0 x x x x x x x x x
1,240 0 x x x x x x x x x
1,250 0 x x x x x x x x x
1,260 0 x x x x x x x x x
1,270 0 x x x x x x x x x
1,280 0 x x x x x x x x x
1,290 0 x x x x x x x x x
1,300 0 x x x x x x x x x x x x
1,310 0 x x x x x x x x x
1,320 0 x x x x x x x x x
1,330 0 x x x x x x x x x
1,340 0 x x x x x x x x x
1,350 0 x x x x x x x x x
1,360 0 x x x x x x x x x
1,370 0 x x x x x x x x x
1,380 0 x x x x x x x x x
1,390 0 x x x x x x x x x
1,400 0 x x x x x x x x x x x x
1,410 0 x x x x x x x x x
1,420 0 x x x x x x x x x
1,430 0 x x x x x x x x x
1,440 0 x x x x x x x x x
1,450 0 x x x x x x x x x
1,460 0 x x x x x x x x x
1,470 0 x x x x x x x x x
1,480 0 x x x x x x x x x
1,490 0 x x x x x x x x x
(1) Ce chiffre correspond à des compositions différentes de jeux de cales suivant le choix des constructeurs qui privilégient certaines cales plutôt que d’autres.
Tableau 4 – Composition des principaux jeux de cales commercialisés (suite)

Longueur Type de jeu de cales étalons
nominale liste des cales présentes
(mm) 33 47 (1) 47 (1) 76 79 87 88 103 109 112 117 122
1,500 0 x x x x x x x x x x x x
1,600 0 x x x x x x
1,700 0 x x x x x x
1,800 0 x x x x x x
1,900 0 x x x x x x
2,000 0 x x x x x x x x x x x x
2,500 0 x x x x x x x x x
3,000 0 x x x x x x x x x x x x
3,500 0 x x x x x x x x x
4,000 0 x x x x x x x x x x x x
4,500 0 x x x x x x x x x
5,000 0 x x x x x x x x x x x x
5,500 0 x x x x x x x x x
6,000 0 x x x x x x x x x x x x
6,500 0 x x x x x x x x x
7,000 0 x x x x x x x x x x x x
7,500 0 x x x x x x x x x
8,000 0 x x x x x x x x x x x x
8,500 0 x x x x x x x x x
9,000 0 x x x x x x x x x x x x
9,500 0 x x x x x x x x x
10,000 0 x x x x x x x x x x x x
10,500 0 x x x x x
11,000 0 x x x x x x
11,500 0 x x x x x
12,000 0 x x x x x x
12,500 0 x x x x x
13,000 0 x x x x x x
13,500 0 x x x x x
14,000 0 x x x x x x
14,500 0 x x x x x
15,000 0 x x x x x x
15,500 0 x x x x x
16,000 0 x x x x x x
16,500 0 x x x x x
17,000 0 x x x x x x
17,500 0 x x x x x
18,000 0 x x x x x x
18,500 0 x x x x x
19,000 0 x x x x x x
19,500 0 x x x x x
20,000 0 x x x x x x x x x x x x
20,500 0 x x x x x
21,000 0 x x x x x x
21,500 0 x x x x x
22,000 0 x x x x x x
22,500 0 x x x x x
23,000 0 x x x x x x
23,500 0 x x x x x
24,000 0 x x x x x x
24,500 0 x x x x x
25,000 0 x x x x x x x
30,000 0 x x x x x x x x
40,000 0 x x x x x x x x
50,000 0 x x x x x x x x x x x x
60,000 0 x x x x x
70,000 0 x x x x x
75,000 0 x x x x x x x x x
80,000 0 x x x x x
90,000 0 x x x x x
100,000 0 x x x x x x x x x x x x
(1) Ce chiffre correspond à des compositions différentes de jeux de cales suivant le choix des constructeurs qui privilégient certaines cales plutôt que d’autres.
1.3 Caractéristiques de précision Les caractéristiques de précision des cales étalons sont
spécifiées pour les six classes de qualité 00, K, 0, 1, 2 et 3. Les cales
■ La tolérance de planéité des faces mesurantes d’une cale étalon de qualité 00, K et 0 sont utilisées comme étalons de référence des
ne doit pas excéder les valeurs données au tableau 5. Ce paramètre entreprises. Les cales de classe K sont prévues pour l’étalonnage
d’autres cales étalons où la longueur conventionnellement vraie de
est de moins en moins mesuré par les grands laboratoires nationaux
compte tenu du fait que ces tolérances ne sont pas restrictives par la cale est prise en compte dans les calculs. Les cales de classe K
doivent être de haute qualité du point de vue de la forme géo-
rapport à la variation de longueur.
métrique, mais on peut admettre d’assez grands écarts par rapport
■ La variation de longueur d’une cale étalon (figure 4) ne doit pas à la longueur nominale (tableau 7).
dépasser la valeur donnée au tableau 6. Des cales de qualité 1, 2 et 3 sont utilisées comme étalons de
■ Les écarts par rapport à la longueur nominale, en un point travail pour l’étalonnage des instruments de mesure ou le contrôle
quelconque des faces mesurantes, ne doivent pas excéder les des pièces mécaniques.
valeurs données au tableau 7. (0) La classe de qualité 3 n’est définie que dans la norme française
et nous verrons (§ 2) qu’elle correspond bien aux besoins industriels.
La classe d’étalonnage K a été introduite pour la première fois
Tableau 5 – Tolérance de planéité des faces mesurantes dans la norme ISO 3650 de 1978, puis elle a été notée « K » par les
Allemands dans la norme DIN 861 de 1980. Cette classe de qualité
Tolérance de planéité (µm) a été reprise dans la norme française NF E 11-010 de 1983 et dans
sa révision de 1986.
Longueur nominale L (mm) Classes de précision Les cales étalons de qualité K, compte tenu de leur tolérance sur
00 et K 0 1 2 et 3 la longueur (tableau 7), pour être utilisées comme cales étalons de
non adhérée 4 4 4 4 référence, doivent être préalablement étalonnées. le développe-
jusqu’à 2,5 inclus ment et l’application, ces dernières années, du concept de qualité
adhérée 0,05 0,10 0,15 0,25 n’a pu que favoriser l’utilisation de ces cales dans les entreprises
plus de 2,5 à 150 inclus 0,05 0,10 0,15 0,25 comme l’étalon de référence en remplacement des cales de
qualité 00. En effet, à terme, la qualité 00 est appelée à disparaître
plus de 150 à 500 inclus 0,10 0,15 0,18 0,25 des normes nationales et internationales ; ce point a d’ailleurs été
plus de 500 à 1 000 inclus 0,15 0,18 0,20 0,25 placé à l’ordre du jour de la future révision de la norme allemande
DIN 861 ainsi que de la norme ISO 3650.
plus de 1 000 à 2 000 inclus – – 0,25 0,30
(0)
plus de 2 000 à 3 000 inclus – – 0,30 0,35
Tableau 6 – Variation de longueur admise (en µm)

Paliers
de dimensions nominales Classes 00 et K Classe 0 Classe 1 Classe 2 Classe3
(mm)
de (exclu) à (inclus) (µm) (µm) (µm) (µm) (µm)
0,5 (inclus) 10 0,05 0,10 0,16 0,30 0,30
10 25 0,05 0,10 0,16 0,30 0,30
25 50 0,06 0,10 0,18 0,30 0,30
50 75 0,06 0,12 0,18 0,35 0,40
75 100 0,07 0,12 0,20 0,35 0,40
100 150 0,08 0,14 0,20 0,40 0,40
150 200 0,09 0,16 0,25 0,40 0,40
200 250 0,10 0,16 0,25 0,45 0,50
250 300 0,10 0,18 0,25 0,50 0,50
300 400 0,12 0,20 0,30 0,50 0,50
400 500 0,14 0,25 0,35 0,60 0,60
500 600 0,16 0,25 0,40 0,70 0,70
600 700 0,18 0,30 0,45 0,70 0,80
700 800 0,20 0,30 0,50 0,80 0,80
800 900 0,20 0,35 0,50 0,90 0,90
900 1 000 0,25 0,40 0,60 1,00 1,00
1 000 1 500 0,80 1,30 2,00
1 500 2 000 1,00 1,70 2,40
2 000 3 000 1,50 2,40 3,40
(0)
Tableau 7 – Écarts tolérés sur la longueur, par rapport à la longueur nominale (en µm)
Paliers de dimensions nominales
Classe 00 Classe 0 Classes K et 1 Classe 2 Classe 3
(mm)
de (exclu) à (inclus) (µm) (µm) (µm) (µm) (µm)
0,5 (inclus) 10 ± 0,06 ± 0,12 ± 0,20 ± 0,45 ± 0,80
10 25 ± 0,07 ± 0,14 ± 0,30 ± 0,60 ± 1,20
25 50 ± 0,10 ± 0,20 ± 0,40 ± 0,80 ± 1,60
50 75 ± 0,12 ± 0,25 ± 0,50 ± 1,00 ± 2,00
75 100 ± 0,14 ± 0,30 ± 0,60 ± 1,20 ± 2,50
100 150 ± 0,20 ± 0,40 ± 0,80 ± 1,60 ± 3,00
150 200 ± 0,25 ± 0,50 ± 1,00 ± 2,00 ± 4,00
200 250 ± 0,30 ± 0,60 ± 1,20 ± 2,40 ± 5,00
250 300 ± 0,35 ± 0,70 ± 1,40 ± 2,80 ± 6,00
300 400 ± 0,45 ± 0,90 ± 1,80 ± 3,60 ± 7,00
400 500 ± 0,50 ± 1,10 ± 2,20 ± 4,40 ± 8,00
500 600 ± 0,60 ± 1,30 ± 2,60 ± 5,00 ± 10,00
600 700 ± 0,70 ± 1,50 ± 3,00 ± 6,00 ± 11,00
700 800 ± 0,80 ± 1,70 ± 3,40 ± 6,50 ± 13,00
800 900 ± 0,90 ± 1,90 ± 3,80 ± 7,50 ± 14,00
900 1 000 ± 1,00 ± 2,00 ± 4,20 ± 8,00 ± 16,00
1 000 1 500 ± 6,00 (1) ± 12,00 ± 24,00
1 500 2 000 ± 8,00 (1) ± 16,00 ± 32,00
2 000 3 000 ± 12,00 (1) ± 24,00 ± 48,00
(1) Applicable uniquement à la classe 1.
2. Besoins industriels 2.1.2 Étalonnage des instruments

Les cales étalons de travail de classe de précision 1, 2, voire 3
2.1 Principales utilisations sont de plus en plus utilisées pour l’étalonnage des instruments de
mesure. La mise en place des plans « qualité » sous l’impulsion
La cale étalon est la matérialisation de l’étalon de longueur ; de des grands donneurs d’ordre oblige les industriels à étalonner tous
ce fait, elle est utilisée dans diverses applications. leurs instruments de mesure.
■ L’exemple le plus marquant est celui des instruments dits
conventionnels, pied à coulisse et micromètre d’extérieur, qui ont
2.1.1 Étalonnage d’autres cales été et sont encore souvent utilisés par le compagnon pendant toute
sa carrière professionnelle, sans étalonnage périodique. Il y a donc
Comme il a été vu au paragraphe 1, les cales étalons sont classées encore aujourd’hui beaucoup à faire.
suivant six classes de précision dont une, la classe K, est dite
Les règles de l’art imposent, pour ces instruments conventionnels
« d’étalonnage ». Ce sont les cales de classe K qui sont aujourd’hui
comme pour les autres, un étalonnage périodique mais aussi des
les plus utilisées en tant qu’étalons de référence pour l’étalonnage
vérifications avec des périodicités courtes. Il apparaît donc, pour les
par comparaison des cales de classe 0, 1 ou 2. Pour la même uti-
industriels, qu’il est nécessaire pour ces étalonnages, de s’équiper
lisation, les cales de classe K peuvent être remplacées par des cales
de cales étalons couvrant l’étendue de mesure des instruments et
de classe 0, sous réserve qu’elles soient raccordées au mètre par
de faire raccorder ces cales dans un Centre d’étalonnage agréé par
la même méthode.
le Bureau national de métrologie pour assurer la traçabilité à la défi-
L’étalonnage des cales de classe 2, 3 et autres classes supérieures nition du mètre.
à 3, donc hors norme, est réalisé en général avec des cales de réfé- Nota : traçabilité : propriété d’un résultat de mesure consistant à pouvoir le relier à des
rence de classe 0 ou 1. étalons appropriés, généralement internationaux ou nationaux, par l’intermédiaire d’une
Les exigences de l’assurance qualité imposent aux industriels chaîne ininterrompue de comparaisons. La manière dont s’effectue la liaison aux étalons
est appelée « raccordement aux étalons » (Extrait de NF X 07-001, décembre 1984,
l’étalonnage des cales étalons. Il s’établit donc une hiérarchie des Vocabulaire international des termes fondamentaux et généraux de métrologie ).
cales souvent en relation avec les classes de précision, mais surtout
Pour ces travaux d’étalonnage, les industriels peuvent s’appuyer
en fonction de l’incertitude de mesure avec laquelle l’étalonnage a
sur les normes relatives à ces instruments qui, pour les plus
été réalisé. Cette incertitude d’étalonnage est fonction de la méthode
récentes, décrivent en détail la méthode d’étalonnage et indiquent
d’étalonnage (§ 3), mais aussi de la qualité de l’étalon lui-même et
les classes de qualité des cales étalons à utiliser.
donc de sa classe de précision.
En conclusion, il est possible de dire que les cales étalons sont ■ Dans le cadre de l’étalonnage des instruments de mesure des
étalonnées avec des cales de référence raccordées au mètre et de angles comme pour la vérification des angles de pièces méca-
classe en général supérieure. niques, il est indispensable, avec les plateaux et barres sinus, de dis-
poser de cales étalons de qualité 0 et 1, suivant les incertitudes de
mesures recherchées (article Contrôle des angles [R 1 300] dans le
présent traité).
■ Les moyens de mesure les plus modernes, comme les machines au marbre, mais ils sont plus rapides, plus universels, et souvent
à mesurer tridimensionnelles, font aussi appel aux cales étalons ils permettent d’enregistrer en automatique les résultats de mesure
pour leurs vérifications périodiques. La norme E 11-150 et d’effectuer le traitement des mesures.
recommande l’utilisation des cales étalons de longueur égale ou Ces exemples montrent que les modes d’utilisation des cales
supérieure à 75 % de l’étendue de mesure de la machine et décrit la étalons ont évolué depuis bientôt un siècle : elles sont encore
méthode de vérification. beaucoup utilisées aujourd’hui pour le contrôle au marbre et dans
Afin de répondre aux besoins industriels dans ce domaine, le l’atelier sur les machines-outils classiques ; cependant, depuis ces
Laboratoire national d’essais a réalisé un étalon tridimensionnel dernières années, avec la mise en place progressive des plans
spécifique pour la vérification périodique des machines à mesurer. Qualité, un pourcentage important de cales étalons est réservé à
Cet étalon est basé sur la norme et utilise, entre autres, 15 cales l’étalonnage périodique des instruments de mesure.
étalons de 15 à 1 000 mm.
L’étalonnage des instruments de mesure requiert donc de plus
en plus de cales étalons qui assurent la traçabilité aux étalons 2.2 Choix des étalons
nationaux avec des incertitudes les plus faibles et une utilisation
simple.
et des méthodes d’étalonnage
2.2.1 Problème du choix
2.1.3 Étalonnage des étalons matérialisés
Le problème du choix est certes complexe, mais il est souvent
Parmi les instruments de mesure utilisés dans l’industrie, mal compris car mal posé par les utilisateurs. Ce problème est
certains étalons matérialisés nécessitent, pour leur raccordement aussi souvent rendu difficile par des « on-dit » ou des idées pré-
en métrologie, l’utilisation de cales étalons. Il est possible de citer, conçues, incorrectes, qui circulent dans les entreprises, ce qui se
entre autres : traduit en général par des utilisations mal adaptées pouvant
entraîner des erreurs de mesure graves, ou par des mauvais
— l’étalonnage de tampons lisses ou de piges par comparaison investissements induisant des surcoûts importants et aussi parfois
à un empilage de cales étalons, à l’aide d’un capteur de de la sur-qualité.
déplacement ;
— la détermination de la constante de palpeurs sphériques ou Les exemples sont malheureusement nombreux :
de palpeurs type « altère » de filetage, pour l’étalonnage de bagues — mauvaise utilisation d’un jeu de cales en carbure de tungstène,
lisses et filetées par comparaison à un pont de cales étalons l’utilisateur ayant seulement été guidé dans son choix par la
constituant un étalon d’intérieur ; résistance à l’usure du carbure dont, non seulement, le coût est plus
— l’étalonnage de broches à bouts sphériques par comparaison élevé à l’achat, mais surtout dont le coefficient de dilatation linéique
à des cales étalons associées à des billes.
est deux foix plus faible que pour l’acier : (5,5 ± 1) × 10 – 6 K –1 pour le
carbure et (11,5 ± 1) × 10 – 6 K –1 pour l’acier, d’où le risque d’erreurs
2.1.4 Contrôle des pièces mécaniques de mesure important si la température des pièces à contrôler et des
cales est différente de 20 oC. Les écarts peuvent être de 6 µm par
Les opérations de contrôle de pièces mécaniques, à partir de mètre et par degré Celsius ;
référence de longueur constituée par des cales étalons, sont — mauvaise interprétation du terme étalon de référence qui est
souvent appelées contrôle au marbre car la pièce à contrôler, souvent réservé aux cales de qualité 00, K et 0. En effet, il est
comme la cale étalon, repose sur une surface de référence (marbre souvent arrivé que des industriels interprètent mal la norme ou bien
de contrôle en fonte ou en granit). Les cales étalons utilisées pour ne la consultent pas et, sans préoccupation de leurs besoins, fassent
ces contrôles sont de qualité 1, 2 ou 3 suivant les tolérances des l’investissement d’un jeu de cales de qualité 00, alors qu’une qualité
pièces à vérifier. 1 ou 2 pouvait suffire.
Les longueurs nominales des pièces indiquées au plan sont Le choix de la classe de qualité des cales étalons présente la
réalisées par empilage des cales étalons, ce qui implique pour ce difficulté suivante : à partir des hypothèses de départ, qui sont
domaine d’utilisation de s’assurer des qualités d’adhérence des l’expression des besoins, la solution n’est pas unique sur le plan
cales afin de réduire les erreurs sur la longueur de l’empilage dues métrologie, du fait du choix de classe de cales et aussi du choix de
au film d’adhérence. la méthode d’étalonnage. La qualité n’est plus, comme autrefois, le
Dans le cas général du contrôle des pièces mécaniques, les cales meilleur, c’est surtout le fonctionnel et le meilleur mais au moindre
sont utilisées comme référence de longueur, et l’écart est mesuré coût. Si l’on applique scrupuleusement cette définition, le choix
par un comparateur mécanique ou électronique ; mais il existe devient unique.
d’autres modes d’utilisations courantes des cales étalons :
— l’utilisation comme calibre à limites entre et n’entre pas pour
le contrôle de largeur de rainure, de cannelure ou encore pour la 2.2.2 Guide de choix
détermination des écarts de rectitude à l’aide d’une règle de
référence ; Pour comprendre le guide de choix qui est donné tableau 8, il faut
— le calage, l’orientation ou le dégauchissage des pièces en vue savoir que, compte tenu des moyens et méthodes d’étalonnage (§ 3),
du contrôle ou même de l’usinage sur les moyens de fabrication ; l’incertitude de mesure d’une cale est plus ou moins liée à la qualité
— la génération d’un déplacement connu avec une cale ou un de la cale à mesurer, mais aussi, pour une même qualité, au moyen
empilage de cales sur un banc de contrôle ou sur les moyens de qu’il est possible de mettre en œuvre pour l’étalonner.
fabrication. L’indication de la méthode est guidée par la qualité des cales, mais
Autant les cales étalons sont de plus en plus utilisées pour aussi par les conditions d’acceptation qui définissent les règles de
l’étalonnage des instruments de mesure, autant leur emploi pour le classement et de déclassement (§ 4.3 pour son application).
contrôle des pièces mécaniques a tendance à se réduire pour Les conditions d’acceptation sont définies en métrologie dimen-
laisser la place à des moyens tels que la colonne de mesure ou la sionnelle par la norme NF E 02-204 Vérification des tolérances des
machine à mesurer tridimensionnelle. Ces moyens sont souvent produits. Conditions d’acceptation. Cette norme définit un rapport
moins précis que le contrôle par comparaison à des cales étalons entre la tolérance et l’incertitude de mesure acceptable pour la vérifi-
cation de cette tolérance. Ce rapport est au moins de 4 pour les vérifi- L’étude du guide de choix peut, pour certaines utilisations des cales
cations courantes ( IT5 du tableau des tolérances fondamentales) ; étalons, faire apparaître des différences assez faibles entre les
il peut être exceptionnellement de 2 dans les cas extrêmes pour les classes 1 et 2, ou bien 2 et 3. En effet, les méthodes d’étalonnage
tolérances les plus faibles (article Incertitudes de mesure et tolé- sont les mêmes sur le principe, ce qui aboutit à des incertitudes très
rances [R 285] dans le présent traité). Pour l’étalonnage des cales proches, les différences étant uniquement dues à la connaissance
étalons par le Centre d’étalonnage agréé du LNE, ce rapport varie de la cale de référence utilisée pour la comparaison mécanique. Par
entre 2,5 et 3 pour les plus faibles et atteint près de 7 à 8 pour les contre, dans l’utilisation, les écarts peuvent être plus significatifs,
plus forts (tableau 9 des niveaux d’incertitude). notamment sur l’incertitude d’un empilage de cales qui est fonction
de la forme des cales (§ 4.2.3 et NF E 11-010, paragraphe A2 :
Précautions particulières d’emploi ). (0)
Tableau 8 – Guide pour le choix des cales étalons

Classe de précision Méthode d’étalonnage Incertitude
Expression du besoin
des cales conservées à mettre en œuvre d’étalonnage
■ Étalonnage des cales étalons de travail
dans l’industrie :
— cales étalons de la métrologie Classe 1 ; Comparaison mécanique ; ≈ ± 0,1 µm
exceptionnellement classe 0 cas exceptionnel :
comparaison de précision ≈ ± 0,05 µm
de ± 0,1 µm
— cales étalons du contrôle atelier Classe 2, voire classe 1 Comparaison mécanique à ± 0,2 µm
— cales étalons de l’atelier Classe 3 et même cales Comparaison mécanique de ± 0,2 µm
de classe 3 déclassées à ± 0,5 µm
Classe 0 pour tolérance faible Comparaison mécanique
■ Étalonnage par comparaison d’étalons de précision ± 0,05 µm
matérialisés tels que tampons,
billes ou bien piges de contrôle Classe 1 pour les mesures Comparaison mécanique ± 0,1 µm
courantes
■ Vérification périodique des instruments Cales 100 mm :
de mesure tels que pied à coulisse, comparaison mécanique ≈ ± 0,1 µm
Classe 1
jauge de profondeur, micromètre d’extérieur, Cales > 100 mm :
comparateur comparaison interférométrique ≈ ± 0,5 µm
■ Vérification périodique des machines
à mesurer tridimensionnelles
ou des colonnes de mesure :
— machine à mesurer de métrologie Classe 1 Cales 100 mm :
comparaison mécanique ≈ ± 0,1 µm
Cales > 100 mm :
comparaison interférométrique ≈ ± 0,5 µm
— machine à mesurer de l’atelier ou intégrée Cales 100 mm : de ± 0,1 µm
dans les chaînes de fabrication (atelier comparaison mécanique à ± 0,2 µm
flexible) Classe 2
Cales > 100 mm : de ± 0,5 µm
comparaison interférométrique à ±1 µm
■ Vérification et réglage des automates
de contrôle multicotes :
— machine en métrologie Classe 1 Comparaison mécanique ≈ ± 0,1 µm
— machine intégrée en fabrication Classe 2 Comparaison mécanique de ± 0,1 µm
à ± 0,2 µm
• Cales 100 mm : de ± 0,1 µm
comparaison mécanique à ± 0,2 µm
■ Contrôle des pièces mécaniques en métro-
Classe 2 • 100 mm < cales 400 mm : de ± 0,5 µm
logie ou au contrôle atelier comparaison interférométrique à ±1 µm
• Cales > 400 mm : de ±1 µm
comparaison mécanique à ±2 µm
— Courant : classe 3 • Comparaison mécanique de ± 0,2 µm
à ± 0,5 µm
■ Réglage des machines de fabrication
ou dégauchissage des pièces en usinage — Suffisant : classe 3 • Comparaison mécanique ≈ ± 1 µm
déclassée,
dite classe 4, 5 ou 6
≈ : peu différent de.
(0)
Tableau 9 – Valeurs courantes des incertitudes de mesure

Qualité des cales étalons Méthode de mesure utilisable Niveau d’incertitude courante
Qualité 00, K, 0
■ L 100 mm :
00, K, 0 Interférométrie directe ± (0,02 µm + 0,2 × 10– 6 L )
K, 0 Comparaison de précision ± (0,05 µm + 0,15 × 10– 6 L )
■ L > 100 mm :
 — Interférométrie ± (0,1 µm + 0,2 × 10–6 L )
0  — Comparaison interférométrique ± (0,4 µm + 0,3 × 10–6 L )

Qualité 1, 2, 3
■ L 100 mm :
1, 2 Comparaison mécanique ± (0,08 µm + 0,2 × 10– 6 L )
3 et plus Comparaison mécanique ± (0,2 µm + 0,2 × 10 – 6 L )
■ L > 100 mm :
Comparaison :
1, 2  — interférométrique ± (0,4 µm + 0,3 × 10– 6 L )
 — mécanique ± (1 µm + 1 × 10 –6 L )

3 Comparaison mécanique ± (1 µm + 1 × 10 – 6 L )
L : longueur nominale des cales
Ces niveaux d’incertitude sont donnés pour des cales a priori dans la qualité indiquée et l’état neuf ou considéré comme tel.
Pour les cales usagées présentant des marques et des fines rayures, il faut considérer une incertitude dégradée ou bien du niveau supérieur.
3. Méthodes et moyens
d’étalonnage
3.1 Méthode par interférométrie directe
3.1.1 Principe
C’est une méthode basée sur l’interférence de deux faisceaux
lumineux issus d’une même source de lumière monochromatique.
La longueur d’onde de la radiation utilisée constitue la référence de
la mesure et permet ainsi le raccordement à la définition du mètre.
L’interféromètre permet d’observer deux systèmes de franges rec-
tilignes formés l’un sur le plan de référence, qui transpose la face
non visible de la cale étalon, l’autre sur la face supérieure de la cale.
La méthode est dite par interférométrie directe car le décalage E m
des deux systèmes de franges, appelé excédent fractionnaire ,
mesuré (figures 6 et 7), est directement fonction de la longueur de
l’étalon.
Cette dénomination « par interférométrie directe » évite la
confusion avec la méthode par interférométrie par comparaison
qui n’est plus utilisée depuis que le métrologue dispose de sources
suffisamment cohérentes.
Nota : dans la méthode par comparaison, la cale à mesurer était comparée à une cale
connue (mesurée par interférométrie directe) par observation des deux systèmes de
franges formés sur les faces supérieures des deux cales ; dans ce cas, Em est fonction de Figure 6 – Principe de l’interféromètre de Michelson
l’écart de longueur entre les deux cales.
La méthode par interférométrie directe est aussi parfois appelée On considère une radiation monochromatique de longueur
par les métrologues « méthode fondamentale » du fait que la d’onde λ v dans le vide ; sa longueur d’onde λ dans un milieu
référence des mesures est une longueur d’onde et que la longueur d’indice n est :
de l’étalon est directement fonction de la longueur d’onde utilisée λ
pour la mesure. λ = -------v-
n
Le principe de la détermination de la longueur de la cale étalon,
à partir de la connaissance de la longueur d’onde de la radiation La longueur nominale de l’étalon considéré est :
utilisée et de la mesure de l’excédent fractionnaire E m observé, est
appelé méthode des excédents fractionnaires. λ λ
L = N n ----- + En ----- (1)
2 2
avec Nn entier positif,
0 En 1 .
Figure 8 – Interféromètre Zeiss Jena (Jenoptik)

Figure 7 – Principe de l’interféromètre de Fizeau
E n est appelé excédent fractionnaire nominal dans le milieu Les étalons en cours de mesurage sont stabilisés en température
d’indice n. par une enceinte isothermique.
La longueur mesurée L m de la cale est :
3.1.2.2 Interféromètre Tsugami (Japon)
λ λ
L m = N m ----- + E m ----- (2) L’interféromètre Tsugami a été conçu et construit pour mesurer
2 2
plusieurs cales étalons simultanément. C’est une conception récente,
avec Nm entier positif, autorisant la mesure de dix cales étalons dans la chambre isother-
mique (figure 9). Il est aussi basé sur le principe de Michelson.
0 Em 1 .
Les particularités de cet interféromètre par rapport au Kösters
Si l’on fait la différence entre les relations (2) et (1), on obtient : sont les suivantes : outre la possibilité de contrôler plusieurs cales,
∆ = Lm – L il est muni d’un dispositif de mesure des interférogrammes par
coins optiques (CM, figure 9). Ces coins ont une forme effilée, leur
λ λ (3)
action permet de modifier les longueurs des deux trajets optiques.
∆ = ( Nm – Nn ) ----- + ( Em – En ) -----
2 2 La position du miroir de référence peut être réglée en fonction de
la cale à mesurer. Enfin, parmi les caractéristiques intéressantes,
Le mesurage est effectué en utilisant plusieurs longueurs d’onde on notera la présence d’un diffracteur conçu pour augmenter la
(de 3 à 5). Plusieurs excédents fractionnaires sont obtenus, donc brillance des images des franges d’interférence.
un système d’équations dont les premiers membres sont tous
égaux et représentent l’écart de longueur ∆ entre la longueur
mesurée et la longueur nominale de la cale. La résolution de ce 3.1.2.3 Interféromètre Hilger et Watts (Grande-Bretagne)
système détermine la valeur de ∆ . L’interféromètre Hilger et Watts a été conçu au National Physical
Ce résultat ∆ n’est que le résultat brut des mesurages, auquel Laboratory (NPL) vers le début des années 50, puis commercialisé
il faut apporter un certain nombre de corrections systématiques par la Société Hilger et Watts jusque vers les années 70.
liées aux moyens et à la méthode. C’est le premier interféromètre du type Fizeau (figure 7). Il
permet, comme l’interféromètre Tsugami, l’étalonnage de
plusieurs cales simultanément, jusqu’à 14 pour les cales minces, 4
3.1.2 Moyens de mesure - interféromètres à 5 pour les grandes cales compte tenu de l’encombrement de la
séparatrice (figure 10).
3.1.2.1 Interféromètre Zeiss Jena (RDA) Le Laboratoire national d’essais, qui est équipé d’un inter-
Zeiss Jena est maintenant distribué en France sous l’appellation féromètre Hilger et Watts, a étudié un dispositif de lecture des
Jenoptik. excédents fractionnaires basé sur le principe de la recherche de la
C’est l’interféromètre le plus simple dans sa conception ; il est dit coïncidence des franges avec le réticule d’un oculaire. Ce dispositif
du type Kösters et utilise le principe de Michelson (figure 8). Il a réduit l’incertitude de lecture des excédents fractionnaires à 2 nm
comprend trois parties essentielles : avec la source mercure 198 et a permis l’acquisition automatique
de ces mesures.
— le monochromateur : une source spectrale (krypton naturel ou
hélium), un condenseur, un collimateur dont la fente d’entrée est
dans le plan focal de l’objectif, un prisme de dispersion qui permet 3.1.2.4 Interféromètre Zeiss Opton (RFA)
de sélectionner les raies métrologiques ; L’interféromètre Zeiss Opton a été conçu principalement pour la
— l’interféromètre proprement dit, qui est constitué de deux mesure des cales étalons par interférométrie par comparaison. Il
lames (une séparatrice et une compensatrice), d’un miroir de permet aussi la mesure par interférométrie directe mais, dans ce
référence fixe et d’un miroir mobile formé par la cale étalon adhérée cas, la position des cales suivant un axe horizontal n’est pas
sur son plan référence ; conforme aux recommandations normatives.
— la lunette d’observation, comportant un diaphragme.
Figure 10 – Interféromètre Hilger et Watts
Figure 9 – Interféromètre Tsugami
C’est un interféromètre à deux bras, mais croisés (figure 11), ce

qui permet la comparaison de cales sans adhérence sur un plan en
faisant interférer les faces opposées des cales. La séparation des
deux faisceaux est obtenue par un double prisme.
Cet interféromètre est souvent utilisé encore aujourd’hui dans
les laboratoires, en moyen complémentaire de mise en œuvre
rapide pour comparer deux cales ou analyser les défauts de forme.
Du fait qu’il ne permet de mesurer qu’une cale à la fois, il est peu
utilisé pour la mesure en série des références des industriels.
3.1.2.5 Comparateur métrique interférentiel Zeiss (RFA) Figure 11 – Interféromètre Zeiss Opton
Ce type de comparateur a été mis au point en 1932 par W. Kösters

à la Physikalisch-Technische Reichsanstalt spécialement dans le but
de définir le mètre à partir de longueurs d’onde. L’instrument actuel
réalisé par E. Engelhard de la Physikalisch-Technische Bundesanstalt
(PTB) (figure 12) est une version modifiée de celui de Kösters.
Pour éliminer les difficultés de détermination de l’indice de
réfraction de l’air, l’appareil dispose d’un réfractomètre constitué
d’un système à quatre chambres, dont deux sont sous vide, tandis
que les deux autres sont accessibles à l’air de la chambre de
mesure ; leur longueur est de 1 m.
La chambre de mesure est reliée à un piston qui permet de faire
varier la pression dans celle-ci. Au cours du mesurage des cales
étalons, cette variation de pression est utilisée pour amener les
images de franges d’interférence en coïncidence. On obtient ainsi
la fraction de frange recherchée avec les longueurs d’onde dans le
vide.
3.1.3 Mesure des cales étalons Figure 12 – Comparateur métrique interférentiel Zeiss
par interférométrie jusqu’à 1 m
Les cales étalons à bouts plans parallèles de qualité 00, K et 0 sont Les interféromètres Tsugami et Hilger et Watts, étant donné leur
étalonnées par les interféromètres décrits précédemment (§ 3.1.2). vocation de mesure en petite série, sont utilisés à plein temps pour
Les interféromètres Zeiss et Zeiss Opton sont utilisés pour des éta- l’étalonnage des étalons à bouts plans parallèles jusqu’à 100 mm,
lonnages particuliers de cales à l’unité ou bien d’empilage d’étalons voire jusqu’à 125 mm pour l’interféromètre Hilger et Watts et
à bouts plans. Bien que la capacité du premier atteigne 250 mm, étant 250 mm pour le Tsugami. Ces différences de marche sont permises
donné qu’il est équipé d’une source krypton naturel, il n’est cepen- par l’utilisation d’une source mercure 198.
dant utilisé que pour des mesures de longueur inférieure à 100 mm.
Le comparateur métrique Zeiss équipé d’une source krypton 86 La qualité des mesures interférentielles exige de tenir compte de
permet des mesures directes d’étalons à bouts jusqu’à 500 mm. toutes les grandeurs d’influence soit en cherchant à les réduire,
Au-delà, la cohérence de la source n’est plus suffisante pour soit en corrigeant leurs erreurs à caractère systématique.
obtenir des franges contrastées. De 500 mm à 1 m, on effectue des
mesures par comparaison à un étalon de 500 mm étalonné par 3.1.4.1 Source spectrale
mesure directe.
Il a été démontré dans les paragraphes précédents toute
La base de la méthode des excédents fractionnaires est (§ 3.1.1)
l’importance de la source spectrale ou du laser utilisé. L’opérateur
la détermination du décalage des franges observées entre le plan
doit vérifier périodiquement l’alignement de la source avec l’inter-
optique et la face de l’étalon, donc de l’excédent par rapport au
féromètre car un tel défaut diminue la visibilité des franges et crée
nombre entier de franges correspondant à la différence de marche
une erreur de mesure en cosinus de l’angle de désalignement. Il doit
considérée. Cette détermination peut être effectuée par différentes
s’assurer de l’état de la source, qui présente une durée de vie limitée
méthodes, allant de l’observation directe pour la plus simple à
et qui donc perd de ses qualités d’éclairement avec le temps
l’analyse entièrement automatique pour la plus élaborée. Entre ces
d’utilisation.
deux stades, différentes méthodes ont été étudiées en fonction des
instruments utilisés.
3.1.4.2 Conditions ambiantes
■ Analyse directe par observation visuelle
Les conditions ambiantes constituent le paramètre d’influence le
Cette méthode est utilisée sur les interféromètres Zeiss et Zeiss plus important pour les mesures interférentielles, car elles agissent
Opton. Un tel mesurage est très délicat et réservé à du personnel sur l’indice de réfraction de l’air. Les longueurs d’onde utilisées
parfaitement qualifié. Le rôle de l’opérateur est primordial. sont déterminées dans le vide et nous avons :
■ Analyse par coïncidence des franges n λ air = λ vide
Il est possible d’utiliser un réticule et de venir encadrer les
franges de l’interférogramme ou de venir en coïncidence avec La connaissance de n est donc indispensable, mais l’incertitude
elles. L’interféromètre Tsugami utilise une méthode de visée de ce des mesures dépend plus des difficultés de mesure de l’état de l’air
type, mais avec un réticule fixe pendant le mesurage, et en (température, pression, hygrométrie, teneur en dioxyde de car-
déplaçant l’interférogramme à l’aide de deux coins de verre. Ces bone) que de l’incertitude sur le calcul de l’indice. L’article Étalons
coins de verre sont intercalés dans les deux branches de l’inter- industriels de longueur et d’angle donne le détail des formules de
féromètre. calcul de l’indice de l’air, sur la base des travaux de Bengt Edlen
de 1965.
L’interféromètre Hilger et Watts, qui a été conçu pour l’analyse
directe par observation visuelle, est utilisé par le LNE en analyse L’importance relative des facteurs d’influence de l’indice de l’air
par coïncidence des franges (§ 3.1.2.3). est donnée par la relation :
■ Analyse par variation de l’excédent fractionnaire dn = + 0,27 × 10–6 dp – 0,96 × 10–6 dt – 0,042 × 10– 8 df
Le comparateur métrique Zeiss utilise la variation de pression à avec dp (mbar) variation de pression, proche de 1 013 mbar,
l’intérieur de la chambre de mesure pour réduire à zéro l’excédent dt (oC) variation de température, proche de 20 oC,
fractionnaire. Cette méthode, pour l’œil, s’apparente à la précédente.
df (mbar) pression partielle de vapeur d’eau , proche de
■ Analyse par la méthode photographique 13 mbar (équivalent à 55 % d’humidité rela-
Pour une méthode plus élaborée, il est alors possible de passer tive),
par le stade du cliché photographique et le traitement automatique dn variation d’indice de l’air pour la longueur
ou semi-automatique du négatif par un lecteur de franges muni de d’onde d’une source laser He-Ne soit :
cellules photoélectriques par exemple. λ = 0,632 991 µm.
■ Analyse d’image
3.1.4.3 Dilatation des matériaux
Les moyens modernes, vidéo ou standard télévision avec des
tubes vidéo type « vision de nuit » ou encore, plus récemment, les La longueur des cales dépend de la température. La longueur
caméras CCD matricielles, ont permis la mesure des excédents frac- d’une cale à la température t (oC) est :
tionnaires par analyse d’image. Certains laboratoires ont équipé L t = L 0 [1 + α (t – 20)]
leurs interféromètres de ces dispositifs : NPL en Grande-Bretagne,
PTB en République fédérale d’Allemagne ou l’Établissement tech- avec α coefficient de dilatation linéique.
nique Central de l’Armement (ETCA) en France. Tsugami au Japon La longueur de référence L 0 est donnée pour 20 oC qui est la
propose un équipement de ce type en option sur ses interféromètres. température de référence en mécanique. Pour appliquer lors des
Récemment, le NPL en Grande-Bretagne a développé un nouvel mesures, la correction de dilatation, il est nécessaire de déterminer
interféromètre sur les bases de l’Hilger et Watts, en collaboration avec la meilleure exactitude possible (de l’ordre de ± 0,01 oC) la
avec la société Tesa qui le commercialise. Cet interféromètre utilise température des étalons, de s’assurer de sa stabilité dans le temps,
une source laser stabilisée et est conçu avec le dispositif de ce qui oblige l’opérateur à laisser stabiliser dans l’interféromètre
mesure et d’observation des franges d’interférence par analyse les cales étalons avant de les mesurer (de l’ordre de 2 à 3 heures
d’image d’une caméra CCD matricielle. pour une cale de 1 mm, et jusqu’à 12 à 15 heures pour une cale de
100 mm) et enfin, il est indispensable de connaître le coefficient de
dilatation linéique α.
3.1.4 Précautions d’emploi Le coefficient de dilatation linéique est parfois indiqué par le
constructeur ; il peut être mesuré en faisant varier la température
Le principe même de l’interférométrie oblige l’opérateur, qui ne de l’interféromètre, ce qui est très délicat, sauf avec le comparateur
peut être qu’un personnel très spécialisé, à prendre de nombreuses métrique Zeiss qui a été conçu à cet effet pour les cales
précautions : supérieures à 100 mm.
— dans l’utilisation de l’interféromètre ; Les valeurs courantes utilisées, issues de l’expérience, sont :
— dans la préparation des cales étalons.
— pour l’acier :
α = (11,5 ± 1) × 10 –6 K –1
— pour le carbure de chrome : ■ État de surface des cales et des plans références
Les formules de détermination de la perte de phase à la réflexion
α = (8,5 ± 1) × 10–6 K –1
partent des hypothèses que les surfaces sont de qualité géo-
— pour le carbure de tungstène : métrique parfaite. Il est certain que, pour obtenir l’adhérence d’une
cale étalon sur son plan référence, l’état microgéométrique de la
α = (5,5 ± 1) × 10–6 K –1 surface doit être dans certaines limites telles que :
R t < 150 nm
3.1.4.4 Matériaux et forme des étalons
Pour être mesurées par interférométrie, les cales étalons sont le paramètre de rugosité R t étant la hauteur maximale du profil.
adhérées par attraction moléculaire à un plan de référence de Dans la pratique, les surfaces ont des rugosités du même ordre,
qualité optique. Ce plan a pour objet de transposer, lors de la avec des R t de l’ordre de 50 nm. Une étude expérimentale a
mesure, la face non visible de l’étalon. montré que la correction d’état de surface est :
La mesure interférentielle donne une valeur optique de la longueur 0,23 (R t cale – R t plan )
de la cale étalon, c’est-à-dire la longueur entre le plan optique adhéré
et le centre de l’autre face. Pour passer de la longueur optique à la Cette relation montre que, dans la plupart des cas, la correction
longueur mécanique utilisable pour les mesures en métrologie, il d’état de surface peut être négligée et que l’incertitude sur cette
faut tenir compte d’un certain nombre de facteurs, que l’on pourra correction est de l’ordre de quelques nanomètres.
négliger en prenant les précautions nécessaires, ou bien qu’il faudra
corriger. Ces facteurs sont liés au matériau de la cale et du plan de ■ Forme des surfaces de la cale
référence et à la forme de ces derniers. C’est l’un des principaux paramètres d’erreurs sur la mesure des
cales par interférométrie. La forme du plan de base peut être réduite
■ Nature des matériaux au minimum technologiquement possible pour éviter ces erreurs.
Lorsqu’une onde électromagnétique comme la lumière se pro- Par contre, sur les cales étalons, il sera nécessaire d’en tenir compte
page à la surface d’un matériau conducteur comme l’acier des dans la détermination de l’incertitude de mesure. Les erreurs de
cales étalons, son champ électrique produit un courant : d’une forme que l’on peut observer sont de trois types (figure 13).
part, ce courant produit de l’énergie thermique (loi d’Ohm) et ● Planéité : ce type de défaut rend les mesurages très délicats,
d’autre part, du fait de la présence du courant donc d’un champ surtout dans le cas de franges particulièrement déformées. Dans
électrique, il y a modification de l’onde électromagnétique. certains cas, l’adhérence peut être rendue douteuse (c’est le cas
Ce phénomène ne se produit pas pour les non-conducteurs, car pour les faces creuses).
les électrons sont liés pour ces substances et ils ne peuvent se ● Parallélisme longitudinal : la mesure de la longueur de l’étalon
déplacer que très peu. Cette absorption et transformation d’une se faisant au centre de la face mesurante, ce défaut introduit une
partie de l’énergie rayonnée a été étudiée par Maxwell qui a incertitude de détermination de l’excédent très importante si l’on se
expliqué le phénomène en considérant qu’un conducteur présente déplace par rapport au centre avec les différentes radiations.
un indice de réfraction complexe n : ● Parallélisme transversal : ce défaut est souvent important, sur-
n=ν–jχ tout sur les étalons de grande longueur. Comme dans le cas du
parallélisme longitudinal, il rend la mesure des excédents au centre
avec ν 2 – χ 2 = ε µ c 2, difficile et introduit une incertitude si l’on écarte du centre de la face.
µ perméabilité du milieu, L’ensemble de ces défauts de forme réunis introduit des erreurs
c vitesse de la lumière, non négligeables, surtout si elles excèdent 0,05 à 0,1 µm. Dans ce
cas, il est parfois impossible de mesurer la cale et, si la mesure reste
ε permittivité du milieu.
possible, il sera nécessaire de majorer l’incertitude de mesure.
La quantité ν s’appelle l’indice de réfraction du métal (c’est le para-
Ce sont ces paramètres qui limitent l’application de cette
mètre que l’on connaît pour les diélectriques comme le verre ou la
méthode d’interférométrie directe aux cales de qualité 00, K et 0.
silice) ; χ , la partie complexe, s’appelle l’indice d’extinction du métal.
Ces paramètres sont importants car, alors que le verre produit

une avance de phase de ϕ à la réflexion, un métal produit une
avance ϕ 1 telle que, si l’on étalonnait une cale étalon en acier sur
un plan de verre, le retard de phase serait :
ϕ = π – ϕ1
ν2
avec tan ϕ 1 = -----------------------------
-
χ2 + ν 2 – 1
Pour la raie D du sodium, on trouve :
ν = 2,41 et χ = 3,40 pour l’acier
ce qui provoque une perte de phase à la réflexion donnant une
erreur de 0,037 µm, et donc oblige à ajouter cette correction
dans le cas de mesure de cales étalons en acier sur des plans de
verre.
Dans la pratique, pour éviter l’incertitude de cette correction, les

spécialistes utilisent des plans en acier, mais, compte tenu des
différences de nature possibles de l’acier, il est nécessaire de tenir Figure 13 – Les trois types d’erreurs de forme d’une cale étalon
compte d’une incertitude maximale de l’ordre de ± 3 nm sur les observables par interférométrie
pertes de phase.
3.1.4.5 Corrections d’ouverture — la position horizontale pour les cales supérieures à 100 mm,
l’étalon étant placé sur deux couteaux aux points d’appui dits les
Compte tenu des principes de base des interféromètres du type
plus favorables, c’est-à-dire à une distance des extrémités égale
Michelson (figure 6) ou du type Fizeau (figure 7), la collimation de
à 0,211 fois la longueur de l’étalon.
la lumière se fait en plaçant l’ouverture d’entrée au foyer principal
de la lentille collimatrice. Étant donné que l’ouverture a une aire Les cales de grande longueur étant étalonnées horizontalement,
finie afin de permettre l’observation visuelle des franges, le rayon si elles sont utilisées ensuite en position verticale, il sera
émergeant de la lentille collimatrice n’est pas parfaitement nécessaire d’appliquer la correction c due à l’effet de la gravitation.
collimaté. La source constituée par l’ouverture se comporte Pour des cales étalons en acier de longueur L :
comme un ensemble de sources élémentaires dont chacune forme
à l’observation un système de franges et la somme ainsi observée c = – 0,17 · 10 –9 L2
est entachée d’une erreur systématique qui dépend : en exprimant L et c en mm, ce qui représente une correction
— de la géométrie de l’ouverture, qui en général est circulaire, de 0,17 µm pour une cale de 1 m.
carrée ou rectangulaire ;
— de la distance focale du collimateur ; 3.1.4.7 Préparation des étalons
— de la répartition de l’intensité lumineuse dans l’ouverture.
Dans la procédure d’étalonnage des cales, la phase de
■ Dans le cas général, l’erreur systématique est définie par une préparation des étalons et la phase d’adhérence de la cale sur le
relation très complexe faisant intervenir une relation non linéaire en plan de base sont les opérations les plus délicates ; elles exigent
fonction de la longueur des étalons et des longueurs d’onde un très grand soin.
utilisées.
■ Le nettoyage des cales doit être réalisé en utilisant un solvant des
■ Dans le cas des interféromètres à grande focale, comme le graisses de protection. Afin d’éviter que le solvant laisse des traces
comparateur interférentiel Zeiss ou l’interféromètre Hilger et Watts de pollution sur les surfaces mesurantes de la cale, il est utilisé un
dans leur étendue de mesure, la correction d’ouverture c à appliquer deuxième bain, puis un nettoyage final avant adhérence avec une
peut être estimée par une relation linéaire fonction de la focale f du peau de chamois très propre ou du papier optique (non tissé pour
collimateur et de la longueur L de l’étalon : qu’il ne peluche pas).
— pour les ouvertures circulaires de rayon r : Les solvants utilisables sont l’alcool, le chloroforme, les
composés type trichloréthylène, certaines essences (essence A par
r2 exemple).
c = ----------- L
4f 2
— pour les ouvertures carrées de côté a : Une méthode complète de nettoyage a été mise au point au
LNE pour les cales étalons. Cette méthode consiste à placer
a2
c = --------------2- L l’ensemble des cales étalons d’un jeu sur un plateau constitué
12 f d’alvéoles, une pour chaque cale ; l’ensemble est plongé dans
un bain à ultrasons. La machine à ultrasons est à deux bains,
— pour les ouvertures rectangulaires de largeur a et de
l’un étant le bain de nettoyage équipé de générateur d’ultrasons
longueur b :
et étant en constant débordement ; l’autre est un bain en phase
a2 + b2 vapeur du solvant qui va permettre l’évaporation, la séparation
c = -------------------- L
24 f 2 d’eau éventuelle et la distillation du solvant, afin de garder en
permanence le bain de nettoyage propre.
■ À cette correction d’erreur systématique est souvent associée
Le solvant qui a été retenu après de nombreux essais est un
une correction dite obliquité du faisceau qui est due aussi au
fréon, le F 113, qui présente un point d’ébullition vers 45 oC. Afin
principe de base de l’interféromètre. Pour former des franges
d’éviter dans la phase de nettoyage un choc thermique
d’interférence observables, il est nécessaire de créer un coin d’air
important, le bain est refroidi vers 25 oC et, d’autre part, il n’a
entre l’ensemble plan-cale et le miroir de référence (pour l’inter-
pas d’additif susceptible d’absorber des vapeurs d’eau qui
féromètre de Michelson) ou la séparatrice (pour le type Fizeau). De
pourraient oxyder les cales étalons.
ce fait, les faisceaux incidents et réfléchis forment un angle qui
introduit une différence de marche ; la correction à effectuer dépend
de la longueur de l’étalon. Pour les cales inférieures à 100 mm, elle Il faut noter qu’un mauvais nettoyage des faces mesurantes
est négligeable ; par contre, elle devra être appliquée pour les plus peut, pendant la mesure, provoquer une perte de phase à la
grandes cales. réflexion donnant une erreur de l’ordre de 0,01 µm, ce qui n’est pas
Dans le cas de l’interféromètre du type Fizeau, les faisceaux négligeable.
incidents et réfléchis sont toujours décalés d’un angle constant ■ Le ou les plans de base utilisés pour la mesure par inter-
permettant l’observation des franges, cette correction systématique férométrie doivent être préparés avec les mêmes précautions que
doit être appliquée. les cales étalons. Avant de réaliser l’adhérence, l’opérateur doit
s’assurer de la qualité des surfaces de la cale en observant à l’œil,
3.1.4.6 Déformation des étalons puis avec un plan de verre, que les faces ne présentent pas
La cale étalon doit représenter une longueur reproductible. La d’aspérités ou de traces susceptibles de provoquer une mauvaise
position pendant l’utilisation ou l’étalonnage de l’étalon ne doit adhérence sur le plan ou même de provoquer des rayures de la cale
influer ni sur le parallélisme de ses surfaces, ni sur sa longueur. ou du plan.
Afin que l’étalonnage soit proche des conditions d’utilisation, la Pour réaliser l’adhérence de la cale sur le plan et, d’une manière
longueur des cales étalons se rapporte à : générale, pour l’utilisation d’empilage de cales, il ne faut en aucun
cas faire glisser les deux surfaces sur toute leur longueur. Il faut
— la position verticale pour les cales inférieures ou égales à simplement placer la cale sur le plan puis, tout en exerçant une
100 mm ; il faut noter que l’écart de longueur entre les positions légère pression sur la cale, effectuer de très légères rotations afin
horizontale et verticale d’une cale de 100 mm est de 2 nm, ce qui de chasser les molécules restées entre les deux surfaces, et assurer
est négligeable ; ainsi une adhérence moléculaire qui donne toutes les qualités pour
la mesure. L’effort exercé lors de l’adhérence pourra être plus La finesse du réglage mécanique permet en général un position-
important pour les cales minces présentant un défaut d’arcure, car nement à quelques 0,1 µm près, ce qui est souvent suffisant si
il faudra apporter une contrainte pour redresser la cale. l’ensemble électronique est connecté à un micro-ordinateur qui
effectue les calculs. Sinon, pour des facilités de calculs, l’opérateur
peut afficher, en utilisant le réglage de zéro électronique de la chaîne
Afin de mieux comprendre ce que le spécialiste des mesures de mesure, l’écart par rapport à la longueur nominale de la cale de
interférentielles qualifie d’adhérence de bonne qualité, il faut référence, ce qui permet de lire directement les écarts sur l’unité
savoir qu’il est possible de suspendre, à une cale adhérée à une d’affichage et d’éviter ainsi tous risques d’erreur. Les capteurs sont
autre cale ou à un plan de base, une masse de 20 kg, ce qui munis d’un dispositif de relevage pour éviter de provoquer un
représente une force d’adhérence supérieure à 40 N/cm2, donc traînage de la touche sur les cales.
quatre fois la pression atmosphérique.
Le réglage mécanique du palpeur inférieur doit être réalisé en pré-
sence d’une cale et aussi à quelques 0,1 µm près au montage ; il doit
être retouché si nécessaire à chaque opération de maintenance.
3.2 Méthodes par comparaison Le zéro électrique doit être réalisé chaque jour à la mise sous
tension de la chaîne de mesure. Le fait de positionner le mieux
3.2.1 Principe possible le capteur inférieur à son zéro électrique permet ensuite,
lorsque les deux capteurs sont connectés en différentiel, de régler
Le principe de mesure d’une cale étalon par comparaison l’affichage comme indiqué ci-dessus en n’utilisant que le réglage
consiste à comparer la cale à mesurer à une autre cale dont la du zéro du capteur supérieur et cela en restant toujours proche de
longueur est connue. Sur la base de ce principe, il est utilisé deux la demi-étendue de mesure de l’électronique, donc dans une zone
méthodes comparatives : de meilleur écart de linéarité des capteurs.
— la comparaison d’une cale étalon à une cale étalon de même Afin d’éviter un effet « du type cosinus », il est indispensable de
longueur nominale : c’est la méthode la plus utilisée, en particulier vérifier et de régler si nécessaire l’alignement des deux capteurs.
pour les cales étalons de qualité 1, 2 et 3 et de longueur inférieure Le capteur inférieur présente toujours un effort de mesure plus
ou égale à 100 mm ; faible que le capteur supérieur (en général respectivement 0,4
— la comparaison d’une cale étalon à une cale étalon de et 0,6 N) afin d’assurer une mise en position correcte des cales sur
longueur différente : cette méthode est souvent utilisée pour les la table de mesure. De ce fait, il est possible de placer les touches
cales supérieures à 100 mm. de palpage des deux capteurs en contact et de régler leur aligne-
ment par recherche du point de rebroussement avec le capteur
Dans le premier cas, un simple capteur détermine l’écart entre inférieur.
deux cales, qui en général n’excède pas quelques micromètres.
Dans l’autre, il faut mettre en œuvre une machine et des moyens La cale étalon à mesurer et la cale de référence de même valeur
pour déterminer l’écart, qui peut être de plusieurs millimètres nominale sont placées sur la table de mesure dans un guide qui les
suivant les moyens de comparaison mis en œuvre : comparaison positionne par rapport à l’axe de mesure des capteurs. Une
mécanique, comparaison interférométrique avec ou sans contact, commande manuelle permet en général de positionner les cales
etc. aux différents points de mesure et suivant le cycle indiqué sur la
figure 15.
■ Opération de mesure
3.2.2 Moyens de mesure. Comparateurs de cales
L’opération de mesure d’une cale se déroule de la manière
3.2.2.1 Comparaison des cales suivante :
inférieures ou égales à 100 mm — placer les cales sur la table de mesure à l’aide de pinces de
manutention ;
a) Comparaison à une référence de même longueur
— amener le palpeur en appui sur la cale de référence ;
Les comparateurs de cales étalons de ce domaine commercialisés — régler le zéro du palpeur supérieur ;
aujourd’hui utilisent tous cette méthode. Avec cette dernière, il est — vérifier la qualité du positionnement des cales par relevage
nécessaire d’associer au comparateur un jeu de cales étalons de réfé- du palpeur et déplacement des cales ;
rence, étalonnées par interférométrie directe. La détermination de — effectuer le cycle de mesure deux fois et relever les valeurs
l’écart de longueur entre la cale de référence et la cale à mesurer mesurées ;
est effectuée par un ensemble de deux capteurs du type inductif — suivre la même opération pour l’ensemble du jeu de cales.
montés en différentiel, le palpage étant réalisé par des touches de
mesure sphériques en contact mécanique avec la surface des cales,
d’où l’appellation courante : méthode par comparaison mécanique
(figure 14).
■ Description du comparateur
Sur la plupart des comparateurs de cales, la partie mécanique est
constituée d’un statif plus ou moins massif comportant une colonne
assurant le guidage de la tête support du capteur supérieur et un
socle intégrant la table de mesure, en général conforme à la
figure 14, ainsi qu’un dispositif manuel de déplacement des cales
étalons. La tête support du capteur supérieur est équipée d’un dis-
positif de blocage en position et d’un réglage fin du mouvement du
capteur, souvent réalisé par un ensemble vis et parallélogramme
déformable. Ce réglage mécanique permet à l’opérateur de posi-
tionner, proche du zéro, le capteur supérieur sur la cale de référence
(point 1 du cycle de mesure).
Figure 14 – Principe du comparateur mécanique
■ Résultats de mesure
Si e 1i et e 2i sont les écarts relevés suivant les deux cycles de
mesure, les résultats de mesure sont donc :
— écart sur la référence :
e 11 + e 18 + e 21 + e 28
E R = -------------------------------------------------------
4
— écart du centre :
e 12 + e 17 + e 22 + e 27
E C = -------------------------------------------------------
4
— écarts aux quatre coins :
e 1j + e 2j
E j = ------------------------ Figure 15 – Déroulement d’un cycle de mesure
2
La longueur de la cale mesurée au centre L C est alors, en
fonction de L R (longueur de la cale de référence) :
LC = LR + EC – ER
Les longueurs maximale et minimale de la cale parmi les
5 points mesurés sont, en fonction de L R et en faisant varier j de 3
à6:
L max = LR + max (EC , Ej ) – ER
L min = LR + min (EC , Ej ) – ER Figure 16 – Déformation élastique au contact de la touche
de palpage sur la cale étalon
La variation de longueur de la cale sera estimée en déterminant
l’écart entre L max et L min . Il faut noter que, pour déterminer la
variation de longueur avec cette méthode, il n’est pas nécessaire Le principal intérêt réside, pour l’industriel, dans la possibilité
d’utiliser une cale de référence. pour un métrologue de l’entreprise de maîtriser des moyens
■ Corrections métrologiques de haut niveau et d’accroître ainsi la qualification de
ses personnels.
Les résultats de mesure indiqués ci-avant doivent être corrigés
des différences de déformations de contact si les cales à mesurer L’étalonnage des cales étalons inférieures ou égales à 100 mm
ne sont pas du même matériau que la cale de référence. C’est le de qualité 1, 2 et 3 représente, pour les industriels ou les sociétés
cas lorsque l’on étalonne un jeu de cales en carbure de tungstène de service, un investissement faible par rapport aux moyens
par comparaison à un jeu de cales en acier. nécessaires dans d’autres domaines de la métrologie comme le
contrôle des filetages ou la métrologie tridimensionnelle, mais déjà
La déformation est donnée par les formules de Hertz :
très riche d’enseignement pour la maîtrise délicate des techniques
de mesure avec des résolutions à l’échelle de 0,01 µm.
2
--------
1/ 3

3π 2/ 3
1 1
α = - F 2/ 3 ( V 1 + V 2 ) 2/ 3 -------- + --------
D1 D 2 ■ Comparateurs commercialisés
Parmi les comparateurs de cales étalons commercialisés, les
avec α (mm) déformée, plus courants sont :
F (N) effort du capteur considéré, — Tesa (Suisse), Mahr (RFA), pour ceux conformes à la
2
1–σ description ci-avant ;
V1 = -----------------1- , — Cary (Suisse) qui présente la particularité d’avoir une table de
π E1
mesure mobile évitant de déplacer la cale sur celle-ci et minimisant
σ1 coefficient de Poisson de la touche du capteur, ainsi les risques de rayure ;
E 1 (N/mm2) module d’élasticité de la touche du capteur, — Federal (États-Unis) qui, à l’aide d’un dispositif mécanique
spécifique, permet la mesure en différentiel des cales avec un seul
V2 coefficient similaire avec σ 2 et E 2 pour la cale, capteur, ce qui donne une bonne stabilité de la réponse du capteur.
D1 (mm) diamètre de la touche du capteur, Il faut citer enfin, dans ce domaine, la seule machine automatique
D2 diamètre, infini pour la cale, donc 1/D 2 = 0. industrielle et commercialisée par le LNE : la MACCÉ ( machine
Dans le cas de la mesure d’une cale en carbure de tungstène par automatique de contrôle des cales étalons ).
comparaison à une cale de référence en acier, la correction à Cette machine (figure 17) a été étudiée par le Laboratoire national
appliquer est en général de l’ordre de – 0,06 à – 0,1 µm (figure 16). d’essais en 1981-1982. La procédure d’étalonnage des cales étalons
avec cette machine est strictement conforme à la présentation
■ Investissement ci-avant. Il reste à l’opérateur à mettre en place les cales étalons à
L’industriel utilisant, en métrologie et en atelier, 12 à 15 jeux de côté des références de mêmes longueurs nominales, à indiquer, au
cales étalons peut avoir intérêt à assurer l’étalonnage de ces cales calculateur qui pilote la machine, la composition du jeu de cales ainsi
dans son entreprise. La rentabilité d’un investissement de l’ordre que les numéros de référence. Pour un jeu de 122 cales étalons, la
de 150 000 F (comparateur manuel avec jeux de cales de référence durée de l’étalonnage est de l’ordre de 4 h.
et petit outillage pour nettoyage, stockage, etc.) est douteuse, car La MACCÉ a été équipée en 1989 d’un automate programmable
elle est supérieure à 6 à 8 ans par rapport à la sous-traitance à un et d’un calculateur compatible PC. Ces modifications lui permettent,
Centre d’étalonnage agréé par le Bureau national de métrologie au niveau du traitement des mesures, une meilleure adaptation à
comme le Laboratoire national d’essais. la qualité des cales étalons contrôlées : 0, 1, 2 ou 3 usagées ou bien
1, 2 ou 3 neuves. Cette modernisation a été rendue nécessaire du

fait du nombre croissant d’étalonnages réalisés sur cette machine
au LNE : 12 000 en 1987, 20 000 en 1988 et près de 30 000 en 1989.
b) Comparaison à une référence de longueur différente
Cette méthode n’avait jamais été utilisée jusqu’en 1987-1988 pour
l’étalonnage de cales inférieures ou égales à 100 mm. Elle a été
appliquée par le Laboratoire national d’essais, qui a étudié et réalisé
un prototype d’étalonnage des cales étalons par comparaison inter-
férométrique sans contact. Le but de cette réalisation était de mettre
au point un comparateur et une méthode d’étalonnage ayant les
performances suivantes :
— assurer une procédure d’étalonnage plus rapide que l’inter-
férométrie et donc permettant des prestations à des coûts plus
faibles ;
— ne pas adhérer les cales sur un plan pour effectuer la
mesure ;
— avoir une incertitude d’étalonnage plus faible que la compa-
raison mécanique simple ;
— ne pas utiliser de cales de référence pour chacune des cales
à étalonner.
Le comparateur qui a été réalisé utilise quelques cales de réfé-
rence (4 à 5) réparties sur l’étendue de mesure. Ces références sont
étalonnées par interférométrie directe ; elles permettent de réaliser
un « zéro » d’un système interférométrique à comptage de franges.
Le système interférométrique assure ainsi, avec une résolution de
1 nm, la détermination de l’écart de longueur entre la référence et
les cales à étalonner. Le repérage des surfaces de mesure des cales
est réalisé par deux capteurs capacitifs (figure 18). Le capteur
supérieur est asservi en position à environ 30 µm de la surface Figure 17 – Machine automatique de contrôle de cales étalons (LNE)
avec une stabilité inférieure à 1 nm et est solidaire de la tête de
mesure ; il est monté sur une table automatique formant l’axe Z et
équipé du réflecteur de l’interféromètre. Le capteur inférieur
détecte les variations de position des cales par rapport à la table
de mesure qui constitue leur plan de pose ; son étendue de mesure
est de quelques micromètres et sa résolution de 1 nm.
Les capteurs capacitifs ont des électrodes de 0,7 mm de
diamètre ; les mesures sont donc sans contact et intègrent les
informations sur cette surface, ce qui est équivalent au palpage
mécanique avec un comparateur classique.
Ce comparateur interférométrique des cales étalons permet
d’étalonner les cales de qualité 0 et K, donc les références des
industriels, avec une incertitude de mesure compatible avec leurs
besoins.
En supprimant la longue et délicate opération d’adhérence des Figure 18 – Comparateur interférométrique de cales étalons
cales de la méthode par interférométrie directe, ce comparateur sans contact (LNE)
évite de déclasser les cales de référence présentant de légères
rayures incompatibles avec l’adhérence mais sans conséquence Parmi les machines les plus utilisées pour réaliser ces étalon-
sur les mesures. nages, il est possible de citer :
Les cales étalons de référence des industriels sont utilisées pour — les machines SGIP type MU 305 ou MU 302 pour les cales
la comparaison d’autres cales uniquement au centre des faces de jusqu’à 300 mm ;
mesures (§ 3.2.2.1a). L’étalonnage de ces cales doit donc être le — les machines SGIP type MU 1 000 ou MU 3 000 pour les cales
plus proche possible des conditions d’utilisation. La procédure de jusqu’à 1 000 mm, voire au-delà pour la MU 3 000 ;
mesure de ce comparateur répond mieux aux conditions — les machines Zeiss Jena type ULM 600 pour les cales jusqu’à
d’utilisation de ces cales que la méthode par interférométrie 600 mm ;
directe qui détermine leur longueur par rapport à un plan de réfé- — les machines Trimos qui, suivant leur étendue de mesure,
rence. permettent l’étalonnage des cales jusqu’à 2 000 mm.
L’étalonnage d’une cale étalon par comparaison à une cale étalon
3.2.2.2 Comparaison des cales supérieures à 100 mm de référence de même longueur impose de disposer de toutes les
a) Comparaison à une référence de même longueur cales de référence. Pour effectuer la comparaison sur une machine
à mesurer, cette dernière n’est utilisée que sur une faible étendue
Dans le cas de la comparaison des cales inférieures ou égales à de mesure ; dans ce cas, l’éventuelle erreur de justesse de la règle
100 mm, nous avons vu que les moyens de mesure étaient très de la machine n’intervient pas dans l’incertitude.
spécifiques (§ 3.2.2.1) ; ce n’est plus vrai pour les cales supérieures
à 100 mm. En effet, on utilise souvent dans l’industrie, pour Dans ce domaine surtout, les laboratoires nationaux utilisent des
étalonner les cales supérieures à 100 mm, des machines à mesurer moyens de comparaison spécifiques qui ont été étudiés et réalisés
un axe qui sont employées aussi pour l’étalonnage des bagues et par leurs soins. Ces moyens sont des bancs de mesure horizontaux
tampons lisses, des piges, des filetages, etc. ou verticaux, équipés d’un dispositif permettant la translation des
cales pour passer de la cale à mesurer à la cale de référence ainsi température est de 20,5 ou 19,5 o C, l’erreur de mesure
que d’un capteur ou bien de deux capteurs montés en différentiel. correspondante peut être de 0,05 µm pour une cale de 100 mm.
L’étendue de mesure de ces bancs de comparaison est souvent Ces constatations montrent l’importance du facteur température
limitée à 1 m. qui impose :
b) Comparaison à une référence de longueur différente — d’effectuer les mesures dans un local climatisé ;
Cette méthode par comparaison peut être appliquée avec les — de laisser stabiliser les cales avant étalonnage ;
machines à mesurer citées au paragraphe précédent. La référence — de les manipuler avec des gants et des pinces afin, d’une part,
dans ce cas est double. Il sera utilisé une cale étalon, en général de d’éviter les risques d’oxydation, d’autre part de ne pas perturber
5 ou 10 mm, étalonnée par interférométrie directe, qui constitue thermiquement les cales.
une référence de « zéro » de la machine, en particulier pour
compenser des défauts de forme et d’alignement des touches de 3.2.3.2 Déformation des étalons
mesure et des déformations de contact. La référence de mesure,
par contre, n’est plus une cale étalon, mais le dispositif de mesure Pour ce paramètre d’influence, les précautions sont les mêmes
de déplacement de la machine. pour les mesures par comparaison que par interférométrie
(§ 3.1.4.4).
Le dispositif de mesure de déplacement est en général :
— une règle gravée avec un microscope de visée à vernier per- 3.2.3.3 Déformation de contacts
mettant une résolution de 0,1 µm ;
— une règle incrémentale avec une résolution de 0,1 µm, suivant Les formules de correction ont été données au para-
les bancs de mesure (c’est le dispositif le plus répandu) ; graphe 3.2.2.1a ; elles sont applicables dans tous les cas où il n’y a
— un interféromètre à comptage de franges à source laser pas compensation de la déformation par la comparaison entre
équipant le banc de mesure pour améliorer la résolution (0,01 µm) deux étalons de même matériau.
et la justesse des mesures par rapport au dispositif d’origine. Il est important, même s’il y a compensation, de limiter cette
Avec les machines à mesurer, l’utilisateur a le choix entre la grandeur d’influence, car les matériaux peuvent être de nature
comparaison à une référence de même longueur ou la compa- légèrement différente, ce qui accroît le risque d’erreur donc l’incer-
raison à une référence de longueur différente. En général, pour titude de mesure. Il faut donc :
l’étalonnage des cales jusqu’à 300 mm, les deux méthodes ont des — réduire les efforts de palpage ;
incertitudes du même ordre. Dans le cas des cales jusqu’à 1 m, — s’assurer de la fidélité de ces efforts ;
c’est souvent la deuxième méthode qui est utilisée et qui présente — augmenter les diamètres des touches.
l’incertitude la plus faible.
C’est pour répondre, entre autres, à ces besoins que le 3.2.3.4 Préparation des cales étalons
Laboratoire national d’essais a étudié et réalisé un banc d’étalon-
nage de 3 m utilisant la comparaison interférométrique. Pour ce paramètre, les précautions sont identiques pour la
comparaison et l’interférométrie (§ 3.1.4.7).
Ce banc de mesure permet l’étalonnage des cales étalons de
100 mm à 3 m par comparaison interférométrique, la cale réalisant
le zéro étant une cale de 125 mm étalonnée par interférométrie
directe. La particularité de ce banc de mesure, outre son étendue
de mesure et la qualité des déplacements sur patins aérostatiques,
4. Utilisation des résultats
est l’originalité du processus de mesure qui utilise trois faisceaux
laser. Le fait de disposer de trois faisceaux de mesure permet de
de l’étalonnage
compenser les mouvements angulaires du chariot mobile. Le
déplacement sera mesuré dans l’axe de la cale étalon en faisant 4.1 Document d’étalonnage
une moyenne pondérée des trois mesures laser. L’incertitude de
mesure d’une cale étalon de 1 m avec cette installation est de Le document d’étalonnage est le résultat du travail effectué sur
l’ordre de ± 0,5 µm. la cale ou sur le jeu de cales étalons. Il a un rôle technique, la
présentation de l’état et de la qualité du jeu au moment de l’éta-
lonnage, mais aussi parfois un rôle officiel dans le cadre de
3.2.3 Précautions d’emploi l’assurance qualité, en étant la preuve du raccordement aux éta-
lons nationaux s’il est délivré par un Centre d’étalonnage agréé par
La plupart des comparateurs de cales étalons permettent les le Bureau national de métrologie (BNM).
mesures avec des résolutions de 0,01 µm et des incertitudes de
Les certificats d’étalonnage BNM peuvent être établis pour un
mesure de l’ordre de ± 0,1 à ± 1 µm. Ces performances imposent
jeu de cales étalons avec la reconnaissance par la BNM du
une grande rigueur dans l’emploi des cales pour les étalonner.
laboratoire qui l’établit, de ses personnels, de ses moyens, de ses
méthodes et de ses locaux.
3.2.3.1 Conditions d’ambiance
Ces laboratoires sont soit des Services de métrologie habilités
Pour les mesures par comparaison interférométrique, les para- (SMH), qui établissent ces documents sous leur propre
mètres d’influence sont, comme pour l’interférométrie directe, responsabilité, ou des Centres d’étalonnage agréés (CEA), qui sont
l’indice de réfraction de l’air ainsi que la température des les garants du raccordement aux étalons nationaux. Les SMH
étalons (§ 3.1.4.2 et 3.1.4.3). doivent, par exemple, raccorder périodiquement leurs étalons de
Dans le cas de la comparaison mécanique d’une cale à une cale référence aux CEA.
de même longueur, l’influence de la température reste significa- D’autres documents sont délivrés par des services de métrologie
tive. La différence de température entre les deux cales, même de sociétés de services ou bien des sociétés industrielles. L’utilisateur
après un délai de stabilisation, peut être de l’ordre de 0,1 oC dans de ces documents devra s’assurer de la qualité du service et de la
un local climatisé à ± 0,5 oC. Pour un tel écart, l’erreur de mesure preuve du raccordement des étalons de référence dans un CEA du
correspondante est de 0,1 µm pour une cale de 100 mm. BNM depuis moins de deux ans (qui est la périodicité imposée per-
La différence de coefficient de dilatation linéique entre les deux mettant de s’assurer de la validité de l’étalonnage).
cales est sans influence si la température des cales est rigoureuse-
ment de 20 oC ; mais si, dans un local climatisé à 20 oC ± 0,5 oC, la
Le document d’étalonnage d’un jeu de cales étalons doit porter ■ Tableaux de résultats : ils doivent rappeler l’identification du jeu
les renseignements administratifs, la désignation du jeu avec ses de cales : marque, qualité, matière et le ou les numéros de
références. Dans les paragraphes suivantes, on doit trouver les référence. Les tableaux de résultats doivent indiquer au moins les
indications ci-après. informations suivantes.
● Pour les mesures par interférométrie directe : pour ces cales, ce
■ Identification complète du jeu : marque, qualité, matière, numéro
de référence des étalons (s’il est unique) ou renvoi aux tableaux des qui est primordial, c’est la connaissance de la longueur au centre,
résultats, s’il est individuel. qui sert de référence pour la mesure d’autres cales. Les informa-
tions du tableau sont donc :
■ Liste du matériel utilisé : interféromètre, comparateur, banc de — la longueur nominale ;
mesure, cales de référence, etc. — la longueur mesurée au centre ;
— la variation de longueur.
■ Méthode de mesure : interférométrie, avec la source utilisée, ou
comparaison (mécanique ou interférométrique) à un étalon de Le tableau doit indiquer dans ce cas la face de la cale adhérée
même longueur ou non. pendant la mesure. Enfin, les résultats doivent être ramenés à
20 oC, mais il est intéressant de donner la température de la cale
■ Conditions de mesure : au moment de la mesure, afin de s’assurer que les conditions
— référence à une norme si les cales sont normalisées ; d’ambiance étaient acceptables compte tenu de l’incertitude de
— liste des corrections d’erreurs systématiques effectuées : mesure annoncée (figure 19).
• dilatation, indice de l’air, ouverture, perte de phase, par ● Pour les mesures par comparaison : compte tenu qu’a priori la
exemple, pour l’interférométrie directe, cale peut être utilisée en n’importe quel endroit des faces de
• dilatation, indice de l’air, déformation des contacts, pour la mesure, les tableaux de résultats doivent indiquer la position des 5
comparaison interférométrique. points de mesure, tels qu’ils sont recommandés par la norme, et
l’orientation de ces points par rapport à la gravure des cales. Le
■ Incertitudes de mesure : l’incertitude de mesure figurant sur le tableau doit donner :
document ne doit pas être uniquement l’incertitude optimale ou
garantie par le BNM par exemple, mais l’incertitude sur les résultats — la longueur nominale ;
du document considéré. Cette incertitude doit être fonction de la — la longueur mesurée au centre ;
méthode, des moyens mis en œuvre, des conditions de mesure, et — l’écart au centre ;
aussi de la qualité des cales étalons considérées. Elle doit être — l’écart maximal ;
déterminée par application des recommandations du Bureau inter- — la position du maximum parmi les 5 points de mesure ;
national des poids et mesures et de la norme NF X 06-044 Traitement — l’écart minimal ;
des résultats de mesure. Détermination de l’incertitude associée au — la position du minimum parmi les 5 points de mesure ;
résultat final. — la variation de longueur.
Compte tenu de la difficulté d’associer à la méthode utilisée d’une Un exemple de présentation est donné figure 20.
part et à la qualité des étalons d’autre part, le niveau possible d’incer-
titude de mesure, le tableau 9 donne une idée des incertitudes de
mesure courantes délivrées par un laboratoire du BNM. 4.2 Analyse des résultats d’étalonnage
Le document d’étalonnage doit être analysé en détail et comparé
éventuellement au précédent, afin de s’assurer de la qualité du jeu
de cales. Les points suivants doivent être analysés.
Figure 19 – Exemple de certificat d’étalonnage de cales étalons mesurées par interférométrie
Figure 20 – Exemple de certificat d’étalonnage de cales étalons mesurées par comparaison mécanique
4.2.1 Incertitude de mesure ● Si l’on peut accepter une incertitude de mesure dégradée, il est
possible d’utiliser la cale en n’importe quel point des faces de
La valeur de l’incertitude de mesure indiquée sur le document mesure, et l’incertitude sur la longueur est alors :
d’étalonnage doit être comparée aux tolérances correspondant à la 2 2
classe de la cale étalon et doit correspondre aux besoins de I = I e + VL 2 + I VL (4)
l’utilisateur. La non-compatibilité de l’incertitude de mesure peut être
due soit à une mauvaise expression du besoin, soit à un mauvais avec Ie incertitude d’étalonnage sur la longueur de la cale
choix de la méthode d’étalonnage (le guide choix - tableau 8 et les considérée,
niveaux d’incertitude - tableau 9), soit encore à une dégradation de VL variation de longueur de la cale considérée,
la qualité des surfaces des cales qui a nécessité d’accroître l’incer-
IVL incertitude d’étalonnage sur la variation de longueur de
titude de mesure.
la cale considérée
● Si l’on ne souhaite pas utiliser le document d’étalonnage, il faut
4.2.2 Valeurs mesurées utiliser les informations normatives sur les tolérances de la classe
considérée. Dans ce cas, l’incertitude sur la longueur d’une cale est
égale à l’écart toléré sur la longueur.
Dans le cas de l’étalonnage de réception d’un jeu de cales, pour
s’assurer de la conformité de la fourniture, il faut effectuer le ■ Pour un empilage de cales : l’empilage de cales est à éviter dans
classement des cales (§ 4.3). la mesure du possible ; tout au moins, le nombre de cales doit être
Dans le cas de l’étalonnage en contrôle périodique du jeu, il est réduit au minimum. La longueur de la cale ainsi formée est la
nécessaire de comparer les résultats du présent document aux pré- somme des longueurs maximales si elles sont indiquées, sinon des
cédents, afin de suivre l’évolution du jeu dans le temps. Cette ana- longueurs au centre. L’incertitude sur la connaissance de l’empilage
lyse permet de détecter un problème sur une cale, ou de remettre est :
en cause la périodicité de réétalonnage, ou bien encore de prévoir — si l’on considère le document d’étalonnage :
la nécessité prochaine de renouvellement du jeu de cales.
∑ ( I e + VL 2 + I VL )
2 2
I =
4.2.3 Valeurs à utiliser avec Ie , VL et IVL comme indiqué dans la relation (4) pour chaque
cale utilisée ;
Suivant l’utilisation du jeu de cales, la longueur de la cale à uti- — si l’on ne considère que la classe des cales :
liser à partir du document d’étalonnage peut varier.
∑ ( Et L + Et VL )
2 2
■ Pour un jeu de cales de référence qui est utilisé pour étalonner I =
d’autres cales, les cales n’étant palpées qu’au centre de leurs faces
avec Et L et Et VL écarts tolérés sur la longueur et sur la variation de
de mesure, c’est la longueur au centre qui doit être utilisée.
longueur des cales utilisées pour réaliser l’empilage.
■ Pour un jeu de cales de travail, les cales peuvent être utilisées en
tous points ; dans ce cas, la longueur à utiliser peut varier et les pré-
cautions à prendre dépendent de l’incertitude de mesure recherchée. 4.3 Classement des cales étalons
● Si l’on recherche une incertitude de mesure optimale, il est
impératif d’utiliser la cale en son centre ou bien en l’un des points de Le classement des cales est utilisé :
longueurs maximale ou minimale si elles sont indiquées dans le
document d’étalonnage. — soit après un étalonnage de réception d’un jeu de cales
neuves, pour s’assurer de la conformité du jeu de cales à la
commande ;
— soit après un étalonnage périodique, principalement pour les Comment déclasser des cales étalons après la classe 3 ? C’est
qualités 1, 2 et 3, lorsque l’utilisateur ne souhaite pas appliquer les une question qui se pose souvent pour des cales d’atelier. Les
corrections d’étalonnage, mais se contente pour ses besoins des règles de l’art, dans ce cas, recommandent aux utilisateurs de
valeurs de tolérances de la norme. considérer les classes 4, 5, 6, etc., en prenant 150 % des tolérances
Pour le classement des cales étalons suivant les classes de de la classe précédente pour les écarts tolérés sur la longueur et la
qualité de la norme, il faut tenir compte des paramètres suivants : variation de longueur.
— écarts sur la longueur de la cale en un point quelconque (au
centre, maximal et minimal) ;
— variation de longueur de la cale ;
— compatibilité de l’incertitude de mesure de ces paramètres 5. Conclusion
avec les tolérances, en application de la norme NF E 02-204.
Enfin, pour qu’une cale appartienne à une classe donnée, il faut
que l’ensemble de ces paramètres répondent aux tolérances de la En faisant un état des connaissances sur les méthodes et les
classe considérée. moyens de mesure ainsi que sur les précautions d’emploi des
cales étalons, le but du présent document est certes d’informer les
Prenons l’exemple d’une cale étalon de 10 mm de longueur nomi- industriels, mais aussi de guider l’utilisateur vers un meilleur choix
nale. Pour que cette cale appartienne à la classe 1, il faut que : d’un jeu de cales ou d’une méthode.
— les écarts sur la longueur mesurée au centre, maximale et mini- Les utilisateurs de cales étalons souhaitant améliorer leurs
male soient à l’intérieur de ± 0,20 µm (tableau 7) ; connaissances de cet étalon de base de la métrologie des longueurs
— l’incertitude sur la mesure de ces écarts soit inférieure à devront apporter une attention particulière aux moyens et aux
± 0,10 µm (incertitude i max = tolérance/2, § 2.2.2) ; méthodes d’étalonnage, mais surtout à la définition des besoins
— la variation de longueur soit inférieure à 0,16 µm (tableau 6) ; industriels et à l’analyse des résultats de l’étalonnage.
— l’incertitude sur la variation de longueur soit inférieure à
Nous espérons qu’avec l’aide apportée par ce document aux
± 0,04 µm (incertitude i max = tolérance/2 = 0,16/2 = 0,08 µm d’où
industriels, la « qualité » pour les cales étalons ne sera plus
i max = ± 0,04 µm).
synonyme du « meilleur », ce qui est une grave erreur de jugement
Si les résultats de l’étalonnage permettent de répondre positivement et d’interprétation, mais effectivement la « qualité », pour les cales
à ces quatre affirmations, la cale appartient bien à la classe 1. Si la étalons comme pour tous les produits, sera « le mieux adapté aux
réponse est négative pour un cas, il faut alors reconsidérer les para- besoins et au meilleur coût ».
mètres avec la classe 2.
P
O
U
Contrôle et étalonnage R
des cales étalons
E
N
par Bernard SCHATZ
Ingénieur du Conservatoire National des Arts et Métiers
Chef de la Section Métrologie dimensionnelle au Laboratoire national d’essais
S
A
GIACOMO (P.). – Les définitions successives du
Bibliographie
LECLERC (J.) et LEBEGUE (J.-M.). – Métrologie des TUCKER (C.D.). – Preparation for gauge block
V
mètre. Aperçu historique. Bulletin du BNM, no 66,
oct. 1986.
cales étalons par comparaison. Monographie du
BNM, no 3 (1976).
comparison measurements. NBSIR 74 - 523,
juil. 1974. O
BOUCHAREINE (P.). – Pourquoi fallait-il changer la SCHATZ (B.) et PRIEL (M.). – L’automatisation de TOFFIN (P.). – Installation automatique de mesure de
définition du mètre ? Bulletin du BNM, n o 66,
oct. 1986.
l’étalonnage des cales étalons au Laboratoire
national d’essais. Bulletin du BNM, no 59, janv. 1985.
longueur par interférométrie laser. Bulletin du BNM,
no 43, janv. 1981.
I
SCHATZ (B.). – Métrologie interférentielle des éta-
lons de longueurs à bouts dans le spectre visible.
Mémoire du CNAM (1974).
R
Normalisation P
Normes françaises
Association française de normalisation AFNOR
NF X 06-044 5-84 Application de la statistique. Traitement des résultats de
mesure. Détermination de l’incertitude associée au
résultat final.
L
NF E 11-010 11-86 Instruments de mesurage de longueur. Cales étalons.
E 11-150 10-86
Longueurs de 0,5 à 3 000 mm.
Instruments de mesurage dimensionnel. Machines à
Normes internationales
International Organization for Standardization ISO
U
NF E 02-204 3-87
mesurer.
Vérification des tolérances des produits. Conditions
ISO 3650 1978
Normes allemandes
Cales étalons (Gauge blocks).
S
d’acceptation.
Deutsches Institut für Normung DIN
DIN 861 1-80 Parallelendmasse ; Begriffe, Anforderungen, Prüfung.
4 - 1990
Doc. R 1 245
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie

est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle Doc. R 1 245 − 1

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Contrôle et étalonnage

des cales étalons

par Bernard SCHATZ

1. Définitions. Normalisation .................................................................... R 1 245 - 2

n raison de leur précision, très significativement supérieure à celle des

De la cale étalon de référence, utilisée pour l’étalonnage d’autres cales, à la

■ Cales étalons : ce sont des étalons de longueur en forme de

Tableau 1 – Longueurs nominales recommandées des cales étalons

■ Les dimensions de la section droite du parallélépipède rectangle

Tableau 2 – Dimensions et tolérances de la section droite

Tableau 4 – Composition des principaux jeux de cales commercialisés

Tableau 4 – Composition des principaux jeux de cales commercialisés (suite)

Tableau 6 – Variation de longueur admise (en µm)

2. Besoins industriels 2.1.2 Étalonnage des instruments

Tableau 8 – Guide pour le choix des cales étalons

Tableau 9 – Valeurs courantes des incertitudes de mesure

Figure 8 – Interféromètre Zeiss Jena (Jenoptik)

Figure 10 – Interféromètre Hilger et Watts

Figure 9 – Interféromètre Tsugami

C’est un interféromètre à deux bras, mais croisés (figure 11), ce

Ce type de comparateur a été mis au point en 1932 par W. Kösters

Ces paramètres sont importants car, alors que le verre produit

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