Pompes 2

Pompes à transfert de gaz
Pompes volumétriques
par Jean LECLERC
Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale
Consultant
1. Définition normative ............................................................................... BM 4 2 71 - 2

2. Classification............................................................................................. — 2
3. Pompes alternatives................................................................................ — 2
3.1 Pompes à piston .......................................................................................... — 2
3.2 Pompes à membrane .................................................................................. — 3
3.3 Pompes à plateau basculant....................................................................... — 5
4. Pompes rotatives ..................................................................................... — 5
4.1 Pompes à anneau liquide............................................................................ — 5
4.2 Pompes à palettes........................................................................................ — 7
4.2.1 Principe d’une pompe volumétrique rotative à palettes ................. — 8
4.2.2 Pompage des vapeurs condensables ............................................... — 8
4.2.3 Pompes à palettes sèches .................................................................. — 9
4.2.4 Pompes à palettes à joint d’huile ...................................................... — 9
4.2.5 Pompes multipalettes......................................................................... — 10
4.3 Pompes à pistons oscillants ....................................................................... — 10
4.4 Pompes Roots .............................................................................................. — 12
4.4.1 Principe ................................................................................................ — 12
4.4.2 Puissance de compression et élévation de température................. — 13
4.4.3 Utilisation en pompe primaire........................................................... — 14
4.4.4 Utilisation en pompe secondaire ...................................................... — 14
4.5 Pompes Roots multiétagées ....................................................................... — 16
4.6 Pompes à vis ................................................................................................ — 17
4.7 Pompes à becs ............................................................................................. — 18
4.8 Pompes à spirales........................................................................................ — 19
Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. BM 4 273
oute cinétique qui engendre un volume variable est capable de servir de

T base à la réalisation d’un modèle de pompe à vide, c’est-à-dire qu’il est
impossible de dénombrer les différents types de pompes qui ont été réalisées et
encore moins celles qui ont été inventées. On se limitera ici à la description des
machines réalisées industriellement qui sont déjà nombreuses et qui ne cessent
d’augmenter. En effet, les possibilités que nous apportent les nouveaux maté-
riaux et les procédés de fabrication utilisant des machines automatiques permet-
tant des tolérances très faibles ont donné lieu à de nouvelles réalisations même
fondées sur des principes anciens.
Pour tout renseignement théorique sur les techniques du vide, le lecteur pourra se reporter
aux articles [BM 4 270] et [B 4 020] dans ce traité [1] [6].
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite.
© Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique BM 4 271 − 1
POMPES À TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________
1. Définition normative 2. Classification
La norme NF X 10 501 donne la définition suivante d’une pompe Les pompes volumétriques se subdivisent en deux sous-groupes
volumétrique suivant la nature des mouvements mécaniques considérés :
— les pompes à déplacement alternatif dérivées des compres-
seurs à piston ;
« Pompe à vide dans laquelle un volume rempli de gaz est — les pompes à déplacement rotatif qui évitent les problèmes
isolé cycliquement de l’admission, ce gaz étant ensuite transféré mécaniques de bielles toujours plus fragiles et qui permettent
vers un refoulement. Dans la plupart des types de pompes volu- d’avoir un « écoulement gazeux » plus régulier. Quelques pompes
métriques, le gaz est comprimé avant son refoulement. On dis- récentes « dites sèches » (cf. § 1) ont d’ailleurs repris la même évo-
tingue les pompes volumétriques alternatives et les pompes lution que les compresseurs secs. On trouvera ci-après la descrip-
volumétriques rotatives ». tion sommaire des principales pompes commerciales. À partir d’un
même type de fonctionnement, il a été créé plusieurs modèles afin
de répondre à des besoins de plus en plus diversifiés : propreté du
Les pompes volumétriques comprennent aussi les pompes à vide, sécurité (norme NF EN 1012-2, cf [Doc. BM 4 273]), rejet à
injection de gaz qui sont des pompes volumétriques dans lesquelles l’environnement, facilité et coût de la maintenance, dimensionne-
un dispositif permet l’injection d’une quantité réglable d’un gaz non ment pour des débits-volumes plus importants et des pressions
condensable au cours de la phase de compression du cycle de pom- limites de plus en plus basses.
page, afin de réduire les condensations à l’intérieur de la pompe.
Ces pompes sont couramment appelées pompes à lest d’air ou Ce sous-groupe comprend :
encore à « gas ballast ». • les pompes à anneau liquide ;
• les pompes à palettes et leurs différents modèles ;
On classe aussi les pompes volumétriques suivant la qualité du
vide produit. On distingue : • les pompes Roots et leurs dérivées.
— les pompes à vide à bain d’huile qui sont des « Pompes volu-
métriques rotatives dans lesquelles on utilise un bain d’huile pour Remarque : les catalogues des constructeurs donnent quel-
assurer l’étanchéité relative des volumes à pressions différentes et quefois, pour le débit-volume (souvent appelé vitesse de pom-
pour diminuer le volume nuisible à la fin de la phase de compres- page) des pompes volumétriques, deux valeurs :
sion du cycle ». Certains constructeurs font une différence et appel- — le débit nominal : c’est le débit-volume théorique corres-
lent leurs pompes à bain d’huile : pompes à joint d’huile. Dans ces pondant au volume balayé par le mécanisme de la machine
dernières, l’étanchéité interne est plus élaborée. La construction dans l’unité de temps ;
mécanique est mieux ajustée et des mécanismes spécifiques — le débit Pneurop : c’est le débit-volume mesuré suivant la
(pompe à huile à engrenages) de maintien des joints d’huile pen- norme Pneurop 6602 ou ISO 1607/1 (cf. [Doc. BM 4 273]) et [1].
dant la compression sont mis en place. Cela se traduit par de Les pressions limites (très souvent appelées vide limite dans
meilleures performances visibles sur les courbes débit-volume en les catalogues des constructeurs) sont mesurées suivant la
fonction de la pression (figure 1) ; norme Pneurop 6602 ou ISO 1607/2 (cf. [Doc. BM 4 273]) et [1].
— les pompes sèches qui sont des « Pompes volumétriques sans

bain d’huile ». Il reste évident que les mécanismes liés au mouve-
ment (paliers, pignons d’entraînement...) comportent des éléments
graissés et/ou huilés. L’étanchéité entre ces éléments et les cham- 3. Pompes alternatives
bres de compression est particulièrement soignée afin d’éviter que
des molécules d’hydrocarbures ou d’huiles synthétiques ne pénè-
trent dans celles-ci. C’est tout le pari des nouvelles pompes à vide
sèches qui sont d’ailleurs pour la plupart dérivées des compres- 3.1 Pompes à piston
seurs (cf. article [B 4 220] dans ce traité) [2].
Définition normative : « Pompe volumétrique dans laquelle le

Débit-volume S gaz est comprimé et expulsé par le mouvement alternatif d’un
piston dans un cylindre ».
S0
■ Ancêtre de toutes les pompes à vide, la pompe aspirante et

refoulante est d’un principe suffisamment connu pour que nous ne
le rappelions pas ici. Résultat de trois siècles d’améliorations suc-
cessives, ces machines sont réputées pour leur robustesse et leur
simplicité de construction. Malheureusement elles ne sont plus
guère construites.
10 –2 1 10 3 Le volume mort, au point mort haut, est la cause de la limitation
Pression p (hPa) de la pression limite accessible par les pompes à piston. Pour un
étage, cette valeur est de 103 Pa (figure 2). Les pompes bicylindri-
S0 : débit-volume pour un taux de compression unité ques atteignent une pression limite de 30 à 50 Pa.
bonne étanchéité interne Leur encombrement important, ainsi que leur poids et leur faible
étanchéité interne dégradée débit-volume, ont conduit à leur remplacement par des machines
rotatives. Néanmoins, le besoin en vide propre sans hydrocarbure a
Figure 1 – Courbe débit-volume en fonction de la pression conduit les constructeurs à réaliser des machines à plusieurs étages
BM 4 271 − 2 © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique
__________________________________________________________________________________________________________ POMPES À TRANSFERT DE GAZ
Clapet
d'aspiration Tête de compresseur
3
4 Sortie
Clapet
Entrée
de refoulement
1
Chambre 2
de compression
Corps de pompe
Joint à lèvre 1 à 4 pistons
Entraînement a pompe opérant à une pression proche de la pression

mécanique Bielle atmosphérique (début de pompage)
Sortie
Entrée
Figure 2 – Pompe à piston (doc. ASF Thomas)
permettant un facteur de compression de l’ordre de 50 à 100 000 et b pompe opérant à basse pression
même plus.
Orifice d'entrée
Exemple 1 : cette pompe (figure 3) comporte quatre pistons d’éga- du gaz
les dimensions ; les deux premiers sont connectés en parallèle de Sortie vers
façon à obtenir un plus grand débit-volume dans le domaine des hautes l'étage suivant
pressions. Le dernier piston est à double effet (c’est-à-dire qu’il com-
prime à l’aller et au retour). Les pistons sont à segments et ont un joint Clapet
d'entrée
à lèvre à leur extrémité. Les gaz présents sur les faces arrière des pis-
tons (excepté pour le piston d’échappement) sont pompés par le pis-
ton suivant afin de diminuer les fuites du joint à lèvre.
Chaque piston a un double système de clapets. À haute pression
Clapet
(figure 3 a), les clapets fonctionnent comme dans un compresseur d'échappement
ordinaire, mais quand la pression devient trop basse (figure 3 b), Joint à lèvre
l’admission se fait par d’étroits orifices dans le cylindre (figure 3 c) pla-
cés près de l’extrémité en fin de course du piston. Les clapets d’échap- Cylindre
pement sont alors ouverts par de petits tampons butoirs en
élastomère. La surface des cyclindres est recouverte d’un matériau
plastique [poly(tétrafluoroéthylène) PTFE] ayant un faible coefficient de Piston
frottement et un très bas taux d’usure. c piston à segment
Exemple 2 : le transfert de gaz purs (c’est-à-dire ne devant pas être Figure 3 – Pompe à pistons à quatre cyclindres (doc. Varian)
pollués par la pompe), de gaz dangereux et de gaz radioactifs par pom-
page dans un réacteur chimique en vue de leur récupération sans
contamination nécessite l’utilisation de matériaux spéciaux. Cela a con-
duit à concevoir et à réaliser des machines à plusieurs étages afin Plusieurs systèmes mécaniques sont utilisés pour effectuer la
d’obtenir une pression limite convenable (figure 4). Ces machines coû- compression : à piston pendulaire, à came et excentrique (figure 5)
teuses restent indispensables dans bon nombre d’applications. ou à moteur électrique linéaire alternatif (électroaimant plus res-
sort). Certains modèles comportent deux, trois ou quatre étages en
■ Domaine d’utilisation : pompage primaire sec. série et parfois deux membranes en parallèle suivies de deux mem-
branes en série. La figure 6 représente les caractéristiques de cette
Pression : de 105 Pa à 2 Pa. dernière configuration. Le débit-volume de ces pompes dépend
légèrement de la nature des gaz pompés (figure 7). Cela est dû aux
Débit-volume : de 7,5 dm3/s à 15 dm3/s (27 m3/h à 54 m3/h). effets, d’une part, du changement du régime d’écoulement dynami-
que des gaz qui passe du régime turbulent au régime laminaire puis
transitoire et, d’autre part, aux effets thermiques (les gaz pompés se
refroidissant lors de leur entrée dans la pompe).
3.2 Pompes à membrane Les membranes en élastomères, à cause de leur nature chimique
et de leur dégazage, limitent le pompage de certains gaz.
Le moteur électrique doit avoir suffisamment de couple pour
■ Les pompes à membrane (ou diaphragm pumps chez les Anglo- décoller la membrane quand celle-ci est plaquée par la pression
Saxons) sont dérivées des petits compresseurs à membrane et sont atmosphérique en position haute (norme NF X P 10513) (cf. [Doc.
la version moderne des pompes à piston. Malgré leurs performan- BM 4 273]).
ces limitées, elles rendent de grands services pour l’obtention de
vide propre car elles sont utilisées comme pompes primaires et de ■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.
prévidage pour les pompes à fixation, les pompes moléculaires et Débit-volume : de 0,1 dm3/s à 5 dm3/s (0,3 m3/h à 18 m3/h).
turbomoléculaires hybrides. Elles servent aussi au laboratoire pour
le pompage dans le domaine du vide grossier et pour le transfert de Pression limite : pompes monoétagées : de 105 Pa à 2 x 102 Pa ;
gaz vers les appareils d’analyse. pompes à quatre étages : de 105 Pa à 2 Pa.
3e étage Brides au choix

à souder filetée Pneurop
Clapet Refoulement
Culasse
Clapet
Piston
Tuyauterie de liaison
Aspiration
Cylindre supérieur
Clapet Clapet
1er étage Clapet
Clapet
2e étage
Cylindre inférieur Doubles soufflets métalliques
Revêtement céramique Contrôle d'étanchéité
Liaison arbre/bielle Moteur
Figure 4 – Pompe à pistons spéciale pour gaz

purs ou dangereux (doc. SRTI)
Entrée Sortie
1. Aspiration
11 11 11
1 12 1 12 1 12
2 2 2
3 10 3 4
10 4 10 5
3
6
8 7 8 7 8 7
9 9 9
2. Position maximale et minimale du diaphragme

dans la chambre de pompage
Membrane unique Membrane moulée Double membrane
1 Culasse 6 Membrane 9 Bielle

2 Chambre de sécurité 10 Support 3. Suite du procédé de pompage
de compression 7 Corps de pompe de membrane
3 Membrane de travail 8 Entraînement 11 Clapet d'aspiration
4 Cylindre de sécurité mécanique 12 Clapet de refoulement
5 Chambre de sécurité
a pompe à membrane à came et excentrique (doc. KNF)
4. Position inverse de la position 2

1er étage 2e étage
b pompe à membrane (doc.Vacuubrand)
Figure 5 – Pompe à membrane à came et excentrique
Débit-volume S (L / s) Piston 1er et 2e

0,9 étages (2 en parallèle)
1ère chambre 3e chambre

de compression de compression
Refoulement
0,8 4e chambre 5e chambre
2e chambre
Bielle de de compression
de compression
compression Piston 3e,
4e et 5e
0,7 étages
0,6
10 2 5 100 2 5 1 000 Revêtement
Pression p (hPa) céramique
Figure 6 – Caractéristiques d’une pompe 3 étages à 4 pistons, Revêtement

céramique
2 pistons en parallèle suivis de 2 pistons en série (doc. Vacuubrand)
Débit-volume S (L /min)
Aspiration
Soufflet
40 métallique
Débit-volume à 50 Hz Espace
de séparation
30 Roulements
Double soufflet Corps
métallique Contrôle d'étanchéité
20 Plateau rotulant Arbre
Moyeu
Roulements
10
Figure 8 – Pompe à plateau basculant (doc. SRTI)
0
2 5 2 5 2 5
1 10 102 L’étanchéité sur les surfaces en frottement durant la compression est
Pression d'entrée (hPa) assurée par un dépôt de céramique.
pompe à 4 étages avec de l'hélium ■ Domaine d’utilisation : pompage primaire sec.
pompe à 4 étages avec du diazote
Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
pompe à 3 étages avec de l'hélium
pompe à 3 étages avec du diazote Débit-volume : de 7 dm3/s à 110 dm3/s (25 m3/h à 400 m3/h).
pompe à 2 étages avec de l'hélium
pompe à 2 étages avec du diazote
Figure 7 – Influence de la nature du gaz pompé pour les pompes 4. Pompes rotatives
à membrane (doc. Vacuubrand)
Elles appartiennent aussi au groupe des pompes volumétriques

et représentent la production la plus importante car elles sont utili-
3.3 Pompes à plateau basculant sées dans toutes les industries (chimiques, pharmaceutiques, métal-
lurgiques...) dans le domaine du vide grossier ; elles servent aussi
au prévidage dans les applications du vide poussé et de l’ultravide.
■ Ces pompes ont été créées pour les besoins de l’industrie
nucléaire. La nécessité de vider et de transférer des gaz radioactifs a
engendré des machines entièrement métalliques en acier inoxyda-
ble (pour éviter la corrosion et faciliter la décontamination), sans 4.1 Pompes à anneau liquide
aucun fluide de lubrification dans le procédé, afin de ne pas polluer
les gaz transférés. Les joints sont métalliques et les mouvements
d’arbre passent par des soufflets métalliques qui, parfois, sont dou-
blés, pour des raisons de sécurité. Ce sont des pompes entièrement Définition normative : « Pompe volumétrique rotative dans
sèches. laquelle un rotor excentré à ailettes projette un liquide contre la
paroi du stator. Ce liquide prend la forme d’un anneau concen-
Le principe de compression réside dans le mouvement d’un pla- trique au stator et concourt avec les ailettes du rotor à définir un
teau effectuant un basculement autour d’une rotule (figure 8) contre volume variable ».
un plan fixe enfermant un volume de gaz décroissant au cours de
son mouvement.
D’autres versions pompes à vide/compresseurs combinant ce Considérons une roue équipée d’aubes radiales droites (ou cour-
type de pompe avec des étages à pistons entièrement secs à combi- bées vers l’avant) au repos, positionnée dans l’axe d’un corps cylin-
naisons multiples (6 étages-10 bar) sont aussi commercialisées. drique contenant un certain volume de liquide (figure 9 a).
Aspiration
Refoulement
a b c d
a b c d principe (doc. Hibon)
Orifice de refoulement Flasque

à section variable
Disques
de distribution
plats,
insensibles
aux conditions
de fonction-
nement
extrêmes
Orifice
d'aspiration
Orifice
d'alimentation
de l'anneau
liquide
Corps de pompe
revêtu de polyisoprène Orifice de vidange
Rotor
e vue éclatée (doc. Siemens) Figure 9 – Pompe à anneau liquide
Lors de la mise en rotation de la roue, la force centrifuge résultant — l’étanchéité entre les orifices d’aspiration et de refoulement
de la rotation crée un anneau liquide concentrique à la roue n’est jamais parfaite.
(figure 9 b). Le volume des alvéoles constituées entre les aubes et
l’anneau liquide ne varie pas au cours d’un cycle. En outre, la pression de vapeur du liquide de l’anneau, compte
tenu de sa température réelle, ajoutée à celle des gaz et des vapeurs
Si l’on excentre la roue par rapport au corps, cela entraîne une pompées, intervient sur les performances débit-volume et pression
variation du volume de chaque alvéole au cours du cycle limite de la pompe.
(figure 9 c). Dans un premier temps, le volume des alvéoles croît
régulièrement, créant une zone de dépression. Dans un second La figure 11 montre les caractéristiques débit-volume/pression
temps, le volume des alvéoles diminue régulièrement, créant ainsi d’une pompe pour différentes températures de l’anneau liquide
une zone de compression. L’anneau de liquide qui limite le volume dans le cas de l’eau.
de chaque alvéole joue le rôle de piston liquide.
■ Taux de compression
En équipant les faces latérales du corps de deux orifices en forme
de croissant, il est possible de profiter de la zone de dépression pour L’énergie cinétique de l’anneau liquide est un élément détermi-
aspirer un fluide gazeux, puis de le refouler à la fin de la zone de nant pour le rapport de compression de la pompe. En effet, dans la
compression à travers l’orifice correspondant (figure 9 d). partie aspiration, la roue transmet au liquide une énergie cinétique
Les pompes à anneau liquide travaillent sans frottement mécani- qui est fonction de la vitesse de la roue, de sa géométrie et de la
que. Elles peuvent donc tourner à des vitesses élevées (jusqu’à masse volumique du liquide. Puis, dans sa partie refoulement, le
3 000 tr/min). Cependant, l’anneau liquide frotte sur le stator et sa liquide restitue une partie de son énergie cinétique au gaz pour le
température s’éléverait fortement s’il n’était constamment renou- comprimer et, ainsi, le refouler.
velé. Cela oblige à des montages du type donné sur la figure 10. Un On montre qu’il existe [9], pour une configuration donnée, un rap-
constructeur, pour les petits modèles, incorpore dans une seule port de compression maximal tel que :
machine avec un seul moteur électrique un échangeur refroidi par
air.
p 2 ρχ 2 u 2
-----2-  = ----- ----------------- + 1
■ Débit-volume et pression limite  p  max 3 2 p1
1
Comme dans toute pompe à vide, le débit-volume et la pression
limite sont affectés par les fuites internes. Celles-ci ont deux avec masse volumique du liquide (kg/m3),
origines :
coefficient lié à la vitesse de l’anneau liquide,
— l’anneau liquide n’est pas parfaitement tangent au moyeu, il y
a donc un faible débit d’autoalimentation de la pompe qui réduit le u vitesse périphérique du liquide à la partie
débit théorique ; inférieure de l’anneau (m/s).
Débit-volume S (en 102 dm3/s)

8
6 °C
15
à
u
5 Ea 20
25
27
4
29
32
3
2
Le liquide refoulé n'est pas réutilisé.
La pompe est alimentée directement, sous faible pression 1
(0,3 bar effectif maximum)
a fonctionnement en liquide perdu 0

3 4 5 6 7 8
Pression absolue p (en 103 Pa)
N = 750 tr/min
Figure 11 – Caractéristiques d’une pompe à anneau liquide

pour différentes températures de l’eau d’alimentation (doc. HIBON)
Cette formule montre que, pour une pression d’aspiration p1 défi-

nie, il existe une pression de refoulement maximale :
1
p 2max = --- [ ρχ 2 u 2 + 2 p 1 ]
3
Le liquide refoulé se sépare du gaz dans un réservoir, on en recycle Si la valeur maximale du taux de compression venait à être
une partie que l'on complète par un apport de liquide frais. dépassée, l’énergie cinétique de l’anneau serait insuffisante pour
Économie de 20 % à 50 % et plus suivant la température.
assurer la compression et maintenir l’anneau liquide. On assisterait
b fonctionnement en recyclage partiel alors à l’effondrement des caractéristiques de la pompe.
Ces pompes existent en version biétagée et même triétagée, mais

on préfère alors, pour obtenir une pression limite plus faible, accou-
pler ces pompes à des pompes à jet de gaz, à jet de vapeur ou à des
pompes Roots.
Suivant les procédés, on peut utiliser de nombreux liquides,

y compris de l’huile [10], mais l’eau reste le fluide le plus utilisé.
■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.
Pression : de 105 Pa à 2,5 x 102 Pa.
Débit-volume : de 0,3 dm3/s à 13 000 dm3/s (1 m3/h à 48 000 m3/h).
Le liquide refoulé se sépare du gaz dans un réservoir, on en 4.2 Pompes à palettes

recycle la totalité (éventuellement avec une pompe de circulation)
après passage dans un échangeur.
c fonctionnement en recyclage total Définition normative : « Pompe volumétrique rotative dans

laquelle un rotor excentré tourne en restant tangent à une géné-
ratrice ou à une surface fixe du stator. Dans des fentes, habituel-
lement radiales, du rotor coulissent deux ou plusieurs palettes
Figure 10 – Modes d’alimentation de l’anneau liquide qui glissent sur le stator et qui divisent ainsi la chambre statori-
(doc. Sterling SIHI) que en plusieurs compartiments de volume variable ».
4.2.1 Principe d’une pompe volumétrique rotative

à palettes Refoulement
Clapet R Aspiration
Les pompes volumétriques rotatives ont des caractéristiques A
communes que l’on étudiera en se référant d’abord au mécanisme Fuites
d’une pompe volumétrique rotative à deux palettes (figure 12).
a
Dans un stator cylindrique on fait tourner un rotor excentré. Ce
rotor possède deux palettes qui peuvent coulisser dans un loge-
ment. L’aspiration se fait en A, le refoulement R à travers le clapet Fuites
antiretour. On voit que, par la rotation du rotor dans le sens indiqué Fuites
b c
par la flèche, le volume en relation avec l’aspiration croît et se trouve
Palette Palette
enfermé entre les deux palettes, puis décroît lorsqu’il est en rapport
avec le refoulement.
Stator
En l’absence de fuites entre les compartiments de refoulement et cylindrique Rotor
d’aspiration, le taux de compression pourrait croître jusqu’à une creux excentré
valeur infinie et la pression d’aspiration limite pourrait être extrême-
ment faible. Mais le flux de fuite interne entre compartiments haute
et basse pression vient limiter cette pression.
On comprend l’importance des fuites internes. Celles-ci sont diffi-
ciles à maîtriser car ces machines sont des compresseurs dont la
a, b, c jeux mécaniques
température augmente en cours de fonctionnement et il est néces-
saire de trouver le juste milieu entre les jeux, les frottements des
palettes sur le stator, les phénomènes de dilatation et les fuites. Figure 12 – Principe des pompes à palettes (doc. Alcatel)
Le passage prévu pour l’arbre de rotation du rotor engendre une
autre cause de fuite. Celui-ci est conçu de différentes façons selon
les constructeurs.
Pression p (Pa)
4.2.2 Pompage des vapeurs condensables
G B C
Si le principe précédemment décrit est bien suivi lorsque la 105

pompe aspire des gaz à bas point d’ébullition (du diazote, par
exemple), des difficultés se présentent lorsqu’on veut aspirer des 2 x 104
vapeurs condensables. D E
Portons sur un graphique (figure 13) en abscisses les taux de 104

compression K (définis par le rapport paval/pamont) et en ordonnées
les pressions p dans la chambre de compression.
Supposons que la pompe aspire un gaz à faible température de
103
liquéfaction (du diazote, par exemple) à la pression de 10 Pa. La F
pression dans la chambre de compression va suivre la courbe ABC,
c’est-à-dire qu’elle va s’élever suivant la loi de Mariotte (PV = Cte)
jusqu’à ce que, dépassant légèrement la pression atmosphérique
d’une valeur égale à la pression nécessaire à la levée de la soupape, 102
les gaz soient refoulés (phase BC).
Supposons maintenant que dans cette pompe, à une température
moyenne de 60 °C, on aspire de la vapeur d’eau à 10 Pa.
10 A
Dans une première phase, la vapeur d’eau sera comprimée sui-
vant la droite AD. Mais, ayant atteint la pression de 2 x 104 Pa, pres-
sion de vapeur saturante de l’eau liquide à 60 °C, on transformera 1 10 102 103 104 105
l’eau vapeur en eau liquide (phase DE) et rien ne sera extrait de la Taux de compression K
pompe.
air sec
Pour éviter ce phénomène, les pompes destinées à refouler à la
pression atmosphérique sont équipées d’un dispositif inventé par vapeur d'eau à 60 °C
Gaede en 1935 dit lest d’air (gaz ballast, en anglais). On introduit, à vapeur d'eau + air du lest d'air
un moment choisi du cycle (point F figure 13), de l’air dans la cham-
bre de compression. Cette quantité d’air, commandée par un robinet Figure 13 – Principe de pompage des vapeurs condensables
doseur (fuite calibrée), est telle que la pression atteint la valeur (doc. Alcatel-Vacuum Technology)
nécessaire à la levée du clapet (point G) à un taux de compres-
sion inférieur à celui correspondant à la pression de vapeur satu-
rante.
condenseur à eau et une pompe avec lest d’air, absorber de la
Les pompes actuelles possédant un lest d’air peuvent absorber vapeur d’eau à quelque pression que ce soit.
une atmosphère composée de 100 % de vapeur d’eau à toute pres-
sion inférieure à 4 x 103 Pa. Cette valeur n’a pas été choisie au À partir de ce concept simple de la pompe volumétrique rotative
hasard. Elle correspond à la pression de vapeur saturante de l’eau à à palettes, on a créé plusieurs types de pompes à palettes permet-
une température de 30 °C. C’est la pression qui règne dans un tant d’effectuer presque toutes les opérations de mise sous vide des
condenseur refroidi à l’eau. On peut donc, en combinant en série un réservoirs jusqu’au vide moyen.
Débit-volume (m3/h)
1
140
Stator
2
120 1
1
2
100
Rotor
1 2
Fentes 80
2
1
2
60
1
2
40
Cellule Palette
Figure 14 – Pompe à palettes sèches (doc. Becker) 20
4.2.3 Pompes à palettes sèches 0

1 000 800 600 400 200 0
■ Dans ce cas, les palettes ne sont pas dans un bain d’huile, et les Pression (hPa)
fuites internes deviennent très importantes et limitent sérieusement
la pression limite. Bon nombre de procédés et d’applications ne
nécessitent pas une pression limite très basse. L’utilisation princi- 50 Hz 1 se réfère à la pression KVT 3.80
pale de ces pompes sera la manutention à l’aide de ventouses, le atmosphérique
KVT 3.100
dégazage, le transport pneumatique... Elles ne peuvent servir, sauf 60 Hz 2 se réfère à la pression
cas spécifiques, de pompes de prévidage pour amorcer les pompes d'aspiration KVT 3.140
secondaires. Afin d’obtenir de meilleures performances, on aug-
mente le nombre de palettes (en général de 3 à 6) qui sont disposées Figure 15 – Caractéristiques débit-volume en fonction de la pression
dans le rotor suivant la figure 14. Le nombre des palettes est aussi d’une pompe à palettes sèches (doc. Becker)
augmenté afin de diminuer les vibrations dues au régime pulsatoire
engendré par les compressions successives ainsi que les fuites
internes. Les palettes sont en général en graphite, mais d’autres complet de la pompe est noyé dans une cuve remplie d’huile
matériaux peuvent être utilisés. Ces pompes sont refroidies par air (figure 16). Un flux d’huile, constamment renouvelé, est introduit
et ne comportent pas de lest d’air, la compression n’étant pas suffi- dans la chambre de compression. L’huile pénètre par des orifices
samment importante pour atteindre le point de rosée de l’eau. La calibrés percés dans le stator sous l’effet de la dépression. Ces trous
figure 15 représente la courbe débit-volume en fonction de la pres- étant susceptibles de se boucher, certains constructeurs font circuler
sion, caractéristique de ce type de pompe. l’huile par une pompe à engrenages. De plus, l’huile remplit les
volumes morts, augmentant ainsi les performances de la pompe. Au
■ Remarques : certaines pompes à palettes sèches peuvent servir cas où l’huile remplit complètement la chambre de compression (à
à la fois de pompes à vide et de compresseurs. Dans ce cas, les l’arrêt), elle est évacuée par le clapet de refoulement pour retourner
fuites internes dues à la contre-pression limitent très sérieusement dans le bain d’huile qui recouvre tout le mécanisme de la pompe.
la pression limite, le domaine des pressions allant dans ce cas de Cela explique le petit nuage d’aérosols parfois visible à l’échappe-
5 x 104 Pa à 1,6 x 105 Pa. ment lors de la mise en route. Par viscosité et tension superficielle,
Ces pompes libèrent à cause du frottement sec de très fines parti- cette huile recouvre d’une mince épaisseur toutes les surfaces inter-
cules, nuisibles dans certaines applications. nes de la pompe. Ce film d’huile, fortement lié aux parois, reste qua-
siment statique. On obture ainsi les faibles jeux mécaniques
■ Domaine d’utilisation : pompage primaire sec. ménagés entre parties fixes et parties mobiles et qui font communi-
Pression de : 105 Pa à 104 Pa. quer les volumes haute et basse pression (par exemple, points a, b,
c, de la figure 12). On améliore ainsi très sensiblement les perfor-
Débit-volume : de 0,4 dm3/s à 140 dm3/s (1,5 m3/h à 500 m3/h).
mances de la pompe en pression limite.
Les pompes existent industriellement à un ou deux étages en

4.2.4 Pompes à palettes à joint d’huile série (figure 17) dans le même corps et, exceptionnellement, en
trois étages. Le modèle à deux étages est le plus répandu. Ces pom-
■ À l’examen des caractéristiques des pompes à palettes sèches ou pes comportent désormais toutes un lest d’air. Compte tenu des fui-
à piston, on voit l’intérêt de diminuer au maximum les fuites inter- tes induites par le lest d’air, la pression limite de ces pompes chute
nes. On a alors créé les pompes dites à joint d’huile. Le mécanisme d’une décade lorsque celui-ci est ouvert (figure 18).

Aspiration
Pression limite pour un étage : de 105 à 5 x 10−1 Pa.
Pression limite pour deux étages : de 105 à 10−2 Pa.
Débit-volume : de 0,2 à 335 dm3/s (0,7 m3/h à 300 m3/h).
■ Remarque : il existe aussi des pompes à trois palettes monoéta-
Refoulement gées à joint d’huile avec double lest d’air destinées au vide indus-
triel dont le débit-volume peut atteindre 1 200 m3/h.
Stator Soupape
cylindrique
4.2.5 Pompes multipalettes
Rotor La dénomination est due aux premières générations de pompes à

excentré vide directement dérivées des compresseurs à palettes industriels
qui ont fait leurs preuves d’endurance. Leur principe est identique à
celui des pompes à deux palettes. Elles comportent un rotor excen-
Palettes tré comme les pompes à palettes sèches ou à joint d’huile et sont
équipées de trois, six, huit ou douze palettes coulissantes.
Huile On distingue deux grandes catégories de pompes multipalettes à
huile.
■ Pompes à huile perdue (figure 19)
Figure 16 – Pompe à palettes à joint d’huile (doc. Alcatel-Vacuum L’huile est injectée par une pompe doseuse avec juste la quantité
Technology) nécessaire pour la lubrification (consommation 100 cm3/h pour une
pompe de 250 m3/h). Ces pompes peuvent fonctionner à tempéra-
ture élevée (95 °C) et ainsi n’ont pas besoin de lest d’air. Elles sont
refroidies par de l’eau qui circule dans une double enveloppe.
Entrée ● Domaine d’utilisation : pompage primaire.
Étage
haute pression aspiration
Clapet Pression : de 105 à 50 Pa.
intermédiaire
Interétage Rotor 1
Débit-volume : de 5 à 280 dm3/s (18 m3/h à 1 000 m3/h).
Étage (haute pression)
basse pression ■ Pompes à huile recyclée (figure 20)
L’huile est injectée par dépression à partir d’un réservoir attenant.
Palette Selon les constructeurs, elles existent en deux versions : avec et
sans soupapes.
● Domaine d’utilisation : pompage primaire.
Rotor 2 • Version avec soupape et lest d’air
Clapet de refoulement Pression : de 105 à 20 Pa.
Palette Débit-volume : de 2,5 dm3/s à 170 dm3/s (9 m3/h à 600 m3/h).
• Version sans soupape :
Figure 17 – Pompe à palettes à joint d’huile à deux étages (éclaté) — monoétagée : pression de 105 Pa à 3 x 103 Pa ;
(doc. BOC Edwards)
— biétagée : pression de 105 Pa à 50 Pa ;
— triétagée : pression de 105 Pa à 1 Pa ;
— quadriétagée : pression de 105 Pa à 8 x 10−2 Pa.
Débit-volume S (m3/h)
100
5 4.3 Pompes à pistons oscillants
2
10
Définition normative : « Pompe volumétrique rotative dans
5 laquelle un rotor tourne excentriquement en contact avec la
2
Biétage Monoétage paroi interne du stator. Une palette liée rigidement au rotor
divise la chambre statorique en deux compartiments de volume
1 variable. Elle coulisse dans une noix qui oscille dans un loge-
5 ment adéquat du stator ».
2
0 ■ Dans une pompe à piston oscillant, le piston cylindrique, pro-

2 5 2 5 2 5 2 5 2 5 2 5
10–4 10–3 10–2 10–1 1 10 102 longé par une glissière est entraîné par un excentrique claveté sur
Pression (hPa) l’arbre moteur (figure 21). Le mouvement de la glissière est guidé
sans lest d'air avec lest d'air
par deux demi-rotules libres dans leur logement.
Figure 18 – Caractéristiques d’une pompe à joint d’huile Vu du moteur, le piston tourne dans le sens des aiguilles d’une
avec et sans lest d’air ouvert (doc. Edwards) montre.
Air Réservoir
Refoulement d'huile
Air Déshuileur
et
huile Niveau
Indicateur d'huile
de niveau Huile
d'huile Clapets
antiretour
Valve
solénoïde Aspiration
Chambre
de compression
Arbre moteur Glissière
Stator Rotules
Chambre
Piston d'aspiration
Excentrique
Eau
de refroidissement
Figure 21 – Pompe à pistons oscillants (coupe) (doc. Stokes)
Les gaz pénètrent dans la pompe par l’orifice d’aspiration, traver-

sent la glissière, et occupent la chambre d’aspiration dont le volume
augmente régulièrement jusqu’à ce que le piston atteigne le point
Figure 19 – Pompe multipalette à huile perdue (doc. Busch) haut de sa course. À ce moment, les gaz aspirés au cours du cycle
précédent sont enfermés dans la chambre de compression, au-des-
sus du piston. Celui-ci continuant de tourner, les gaz qu’il comprime
au-dessus de lui sont rejetés à l’atmosphère (lorsque la pression
interne devient supérieure à la pression atmosphérique) à travers
les clapets antiretour et le déshuileur ; l’huile ainsi récupérée
retourne au réservoir et les gaz s’échappent par l’orifice de refoule-
ment.
La circulation d’huile s’effectue le plus souvent par différence de
pression entre le réservoir d’huile (à la pression atmosphérique) et
la chambre d’aspiration sous vide. Cette circulation s’établit dès que
la pression dans la chambre d’aspiration est inférieure ou égale à
7,5 x 104 Pa. Un délai de quelques minutes (jusqu’à quinze selon les
constructeurs) est accordé pour atteindre cette pression. Au-delà
(par exemple dans le cas de pompage de très grands volumes), il
convient d’ajouter, sur le circuit d’huile, une pompe de lubrification
forcée qui permettra un fonctionnement continu dès la pression
atmosphérique. Cette modification est d’ailleurs proposée en ver-
sion standard chez certains constructeurs.
La plupart des modèles sont étanches à l’arrêt et peuvent démar-
rer sous vide grâce à l’étanchéité des clapets et, parfois, grâce à une
électrovanne montée sur le circuit d’huile.
■ Comme les pompes à palettes, on trouve des pompes à pistons
oscillants en version monoétagée et biétagée. Les pompes multié-
tagées sont constituées de deux ou trois pistons oscillants sur un
arbre commun selon la capacité d’aspiration. Afin de réaliser un
équilibrage dynamique parfait, les pompes à un piston oscillant ont
un volant d’inertie extérieur claveté sur l’arbre, les pompes à deux
pistons oscillants sont équilibrées grâce à deux excentriques : un
léger et un lourd, les deux pistons étant en opposition à 180°
(figure 22). Les pompes à trois pistons ont un grand piston central
et deux pistons latéraux, opposés à 180°.
Les vitesses de rotation des pompes sont en général comprises
entre 400 et 800 tr/min. Ces faibles vitesses de rotation confèrent à
Figure 20 – Pompe multipalette à huile recyclée (doc. Busch) ce type de pompe une fiabilité exceptionnelle. À débit-volume équi-
Choix de l’huile dans les pompes à joint d’huile

Glissière
Pression de vapeur
Rotule Une huile pour pompe à vide doit avoir une faible pression de vapeur
Rotule
aux températures de fonctionnement de la machine (entre 60 °C et
jusqu’à 110 °C pour certaines). Il est évident qu’on ne peut pas atteindre
des pressions inférieures à la pression de vapeur saturante de l’huile à la
température de fonctionnement de la pompe.
Lubrification
Glissière Il ne faudra pas oublier que l’une des premières fonctions de l’huile
dans la pompe est d’être un bon lubrifiant (d’où la présence des pompes
de mise sous pression des circuits d’huile).
Piston Viscosité
1er étage Volant On donne (cf. article [BM 4 270], figure 23 de ce traité [1]) pour les qua-
d'inertie tre huiles déjà prises comme référence, la variation de viscosité en fonc-
tion de la température. Il faut éviter les huiles à forte viscosité qui
Piston
peuvent poser des problèmes lors du démarrage à froid et entraînent une
2e étage
surconsommation d’énergie. Par contre, à chaud, une viscosité trop fai-
ble peut entraîner des instabilités de débit-volume, le joint d’huile ne se
formant pas correctement ou étant « soufflé ». Il est conseillé de suivre
Figure 22 – Pompe à deux pistons oscillants (doc. Leybold) les recommandations des constructeurs.
Pouvoir de désémulsion
Les vapeurs condensables peuvent se transformer en liquide au cours
du cycle de compression malgré le lest d’air. Ces liquides sont plus ou
valent, on a toujours intérêt à choisir la pompe la plus lente pour moins miscibles à l’huile... Ils se décantent facilement et certaines huiles
avoir les coûts de maintenance les plus faibles ; en contrepartie, antiémulsion facilitent cette séparation. Ces huiles ont en général une
l’encombrement est supérieur, la cylindrée étant plus importante. moins bonne pression de vapeur mais cette perte de caractéristique est
assez faible et, en milieu industriel, peut être négligée eu égard aux avan-
tages qu’elles apportent.
La différence fondamentale de construction entre les pompes à Résistance à la température
palettes et celles à pistons oscillants provient des tolérances inter- La plupart des huiles supportent sans dommage les températures
nes. En effet, ces tolérances au niveau des pièces internes (piston, moyennes de la pompe mais certains points très chauds peuvent être
rotules) sont comprises entre 0,1 et 0,2 mm. À aucun moment le pis- créés par les frottements. On peut assister à une dégradation progressive
ton et les rotules ne sont en contact avec le corps de pompe. des qualités de l’huile.
Inertie vis-à-vis des produits chimiques
C’est le point le plus important dans les pompes à vide utilisées dans
Ces caractéristiques confèrent à ce type de pompe une grande l’industrie chimique et dans l’industrie des semi-conducteurs. Ce pro-
robustesse et une insensibilité aux impuretés et à l’augmentation de blème a poussé les constructeurs à concevoir les pompes dites sèches,
la viscosité de l’huile (due aux réactions de celle-ci avec les produits c’est-à-dire sans huile. Néanmoins, on trouve sur le marché toute une
pompés cause du blocage des pompes). gamme d’huiles synthétiques résistant bien aux agents chimiques et
adaptées à différents usages permettant de continuer à utiliser les pom-
pes à joint d’huile. De plus, un certain nombre d’accessoires existent
Le principe du lest d’air est identique à celui des pompes à palet- pour régénérer l’huile de façon continue.
tes.
Ces pompes sont capables de travailler à des températures éle-

vées (100 °C) et sont refroidies par une circulation d’eau. 4.4 Pompes Roots

Définition normative : « Pompe volumétrique dans laquelle
Pression limite pour un étage : de 105 à 2 x 10−1 Pa. deux rotors en forme de huit imbriqués et synchronisés tour-
nent en sens inverse l’un par rapport à l’autre. Les rotors ne se
Pression limite pour deux étages : de 105 à 5 x 10−2 Pa. touchent pas et ne touchent pas les parois de la pompe. Le jeu
entre les pièces est faible ».
Débit-volume : de 15 à 500 dm3/s (54 m3/h à 1 800 m3/h).
Remarque : choix de l’huile dans les pompes à joint d’huile. 4.4.1 Principe
L’huile, dans ces pompes, remplit quatre fonctions :
Deux rotors de profils identiques et conjugués, couplés par des
engrenages, tournent en sens inverse l’un de l’autre dans un carter,
— étancher les fuites internes entre les organes en mouvement
sans que les rotors ne se touchent ni ne touchent le carter (figure
relatif, d’où l’appellation joint d’huile ;
23). Dans la rotation, chaque rotor crée entre lui et le stator un
espace variable croissant du côté de l’aspiration, décroissant du
— éliminer la chaleur engendrée par la compression du gaz,
côté du refoulement et produisant ainsi l’effet de pompage (cf. pha-
l’huile agissant comme un fluide caloporteur ;
ses I à IV, figure 23).
— lubrifier les organes en mouvement ; Le gaz véhiculé est transmis de la chambre d’aspiration à celle de
refoulement sans compression interne, la pression au refoulement
— « laver » en permanence l’intérieur du corps de pompe et per- étant déterminée par la résistance du circuit en aval.
mettre ainsi le pompage de gaz chargés de très fines poussières. Les jeux entre les rotors et entre ceux-ci et le stator sont faibles
(de l’ordre de 0,1 mm à 1 mm suivant les tailles des machines et les
On demandera donc aux huiles un certain nombre de propriétés positions considérées), de sorte qu’une lubrification des organes
qui pourraient être contradictoires (cf. encadré). internes de la chambre de compression est inutile et que le gaz véhi-
Aspiration Facteur d'élévation

de température F
1
2 750 tr/min
K = 2 2 300 tr/min
1 800 tr/min
10–1 2 300 tr/min

K=3
2 750 tr/min
1 800 tr/min
I II
10–2
Refoulement
10–3
10–2 10–1 1 10 102 103
Pression d'aspiration (hPa)
p2 (refoulement)
K=
p1 (aspiration)
Figure 24 – Détermination du facteur d’élévation de température [14]

III IV
Cette différence de température est exprimée par la relation :

Figure 23 – Pompe Roots (ou pompe à piston rotatif) (doc. Leybold)
p -----2- – 1 F
( γ – 1 ) T1  p1 
T2 – T1 = ----------------------- ------------------------
-
culé est exempt d’huile. C’est une pompe sèche si l’on prend soin γ E
que l’huile de lubrification des paliers ne pénètre pas dans la cham-
bre où se trouvent les rotors. avec = Cp / CV ,
Cp capacité thermique massique du gaz à pression

constante (J/kg · K),
4.4.2 Puissance de compression et élévation
de température CV capacité thermique massique du gaz à volume
constant (J/kg · K),
Dans les machines précédemment décrites (pompes à anneau T1 température à l’entrée,
liquide et pompes à joint d’huile), la compression se faisait suivant
un mode polytropique et grâce à la présence d’un liquide dans la T2 température à la sortie,
chambre de compression, très voisin de l’isothermique. Les pompes
Roots travaillent suivant un mode de compression isochore ; la p1 pression à l’entrée,
puissance de compression de ces machines est importante et cons-
titue une limitation à son emploi si l’on ne prend pas de précautions p2 pression à la sortie,
particulières.
E coefficient d’efficacité de pompage du Roots égal
La puissance de compression P est égale au produit du débit- au rapport du débit-volume théorique SE au
volume S0 par la différence de pression entre le refoulement et débit-volume mesuré Seff aux pressions données
l’aspiration : (cf. [BM 4 270, paragraphe 4.1]),
F facteur d’élévation de température obtenu

P = S 0 (p 2 − p 1 ) empiriquement et qui prend en compte les pertes
de chaleur par rayonnement et convection et est
Cette formule, qui a l’avantage d’être simple, va nous permettre donné par les courbes de la figure 24.
tout de suite de nous rendre compte de certaines limitations des
pompes Roots. Les performances de ces machines sont donc principalement limi-
tées par cette élévation de température qui, en pratique, ne devra
Une pompe Roots de débit-volume S0 = 1 000 m3/h et dont le taux pas dépasser 140 K à 180 K pour des raisons de sécurité (tenue
de compression maximale aux environs de la pression atmosphéri- mécanique, vapeurs explosives...).
que ne serait que de 5 pourrait en principe aspirer à 2 x 104 Pa en
refoulant à 105 Pa. D’autres limitations, d’origines mécaniques, interviennent aussi,
en particulier la vitesse de rotation par son action sur la force centri-
La puissance de compression est alors, suivant la formule, de fuge exercée sur les rotors. En pratique, on se limitera à une vitesse
22 kW. Il n’est pas d’usage courant d’entraîner une pompe Roots de circonférentielle de 30 m/s pour les rotors en fonte grise et de 50 m/s
ce débit-volume par un moteur aussi puissant. pour les rotors en fonte à graphite sphéroïdal. Enfin, la différence de
pression intervient par l’intermédiaire de la force qu’elle exerce sur
En réalité, ce n’est pas tellement la puissance du moteur d’entraî- les rotors. Cela impose la construction de séries de machines dont le
nement qui limite l’usage de ce type de pompe, mais l’élévation de rapport longueur rotor/diamètre rotor est bien défini. 1,5, 2 et 2,5
température qui résulte de son mode de fonctionnement. sont des valeurs fréquemment adoptées.
S (dm3/s) ∆p (en 104 Pa)

Aspiration
1
250 2 ∆ θ (°C)
S 3
233 120
4
216 110
∆θ 5
200 100
5
183 90
166 80
150 70
4
133 60
116 50 Échangeur Recirculation
3 40
100 de chaleur de gaz refroidi
83 30
2 Refoulement
20
1 10
0 Figure 26 – Schéma d’une pompe à vide Roots trilobes
P P (kW) à pistons ventilés (doc. BOC Edwards)
5 15
4
3 10
2 Pv La mise en série de deux pompes Roots avec un réfrigérant inter-
1 5
médiaire donne la possibilité d’atteindre un vide de 80 % soit une
0
pression absolue de 2 x 104 Pa.
2 000 2 500 3 000 3 200
v (tr/min) L’injection d’un liquide, de l’eau par exemple, dans la tubulure
d’admission permet, par la vaporisation de celui-ci au cours de la
S débit-volume P puissance ∆ θ écart de température compression, de diminuer la température du gaz véhiculé et
v vitesse de rotation P v puissance à vide ∆ p écart de pression d’atteindre une pression plus basse qu’en compression sèche. Une
telle disposition est souvent utilisée en exécution biétagée sans
air : θ = 20 °C réfrigérant intermédiaire.
pr = 1 bar absolu
Sans adjonction de mécanisme supplémentaire, une pression
V = 5,44 dm3 / tr (volume engendré par la machine) d’aspiration de 2 x 104 Pa avec refoulement à la pression atmosphé-
rique peut être obtenue avec le dispositif dit de préadmission dési-
Exemple d'utilisation : pour v = 2 430 tr / min et ∆p = 4 x 104 Pa, gné également sous le nom de Roots à pistons ventilés. Une telle
on obtient en lisant sur les droites de S : S = 156 dm3 / s pompe Roots possède une troisième tubulure par laquelle une cer-
en lisant sur les droites de P : P = 10 kW
taine quantité d’air atmosphérique est admise et injectée par des
lumières dans le corps de la machine à une position telle que le
en lisant sur les courbes de ∆ θ : ∆θ = 74 °C volume de gaz véhiculé n’est pas encore en communication avec la
tubulure de refoulement (figure 26).
Figure 25 – Diagramme d’une pompe à vide Roots
utilisée en pompage primaire (doc. Aerzen) Il en résulte une précompression et un refroidissement par
mélange avec l’air refoulé. Dans certains montages, de l’air exté-
rieur peut aussi être introduit directement. La température ainsi
obtenue est de 120 °C à 140 °C alors que, théoriquement, elle pour-
Le débit-volume de ces pompes dépend de la nature des gaz pom- rait atteindre plus de 350 °C.
pés.
Exemple : en régime d’écoulement turbulent et visqueux, le flux
gazeux est inversement proportionnel à la viscosité du gaz ; la viscosité 4.4.4 Utilisation en pompe secondaire
de l’air est de 180 micropoises et celle du dihydrogène de 87. En
régime d’écoulement moléculaire, le flux gazeux est proportionnel à la ■ On utilise fréquemment les pompes Roots en pompes secondai-
racine carrée de la masse moléculaire et sera donc pour le dihydrogène res, car elles ont un fort débit-volume dans le domaine du vide
3,79 fois plus important que pour l’air à température ambiante. moyen et elles refoulent alors à l’aspiration d’une des pompes pré-
cédemment décrites (pompes à anneau liquide, à palettes, à piston
Cela entraîne des variations de conductance influant sur le facteur oscillant). On atteint, dans ces conditions, des pressions limites de
de compression. l’ordre de 100 Pa pour un couplage pompe Roots/pompe à anneau
liquide et jusqu’à 0,1 Pa pour un couplage pompe Roots/pompe à
palettes ou à piston oscillant.
4.4.3 Utilisation en pompe primaire
Exemple : la figure 27 donne les caractéristiques débit-volume en
fonction de la pression pour une pompe Roots de 1 200 m3/h suivie
Lorsque le rotor refoule à la pression atmosphérique, la pression d’une pompe primaire (1) de débit-volume 220 m3/h et (2) de débit-
d’aspiration connaît les limites que nous avons évoquées précé- volume 120 m3/h.
demment.
On peut encore gagner un facteur 10 sur la pression limite et
En pratique, pour une machine classique, la pression d’aspiration atteindre 10−2 Pa en utilisant deux pompes Roots en série.
limite est d’environ 50 % de la pression atmosphérique soit
0,5 x 105 Pa. Les machines prévues pour fonctionner en pompes secondaires
sont d’une exécution un peu différente de celles prévues pour fonc-
Les caractéristiques de la machine sont fournies par les construc- tionner en pompes primaires. En particulier, leur étanchéité est
teurs sous forme d’abaque dont la figure 25 donne un exemple. améliorée : 10−4 Pa · m3/s au lieu de 10−3 Pa · m3/s.
Débit-volume S (m3/h) S E (dm3/s)

100
pr 2 083
1 200 K= ax
1 555
pa 5 Km 1 083
Pression d'entrée 555
de la pompe 278
1 000 primaire 1 2 139
69
10
800
∆ θ max
5
600 Pression d'entrée

2
de la pompe
primaire 2
400 1
Pompe Pompe 2 5 2 5 2 5
102 103 104 105
primaire 1 primaire 2 pr (Pa)
200 K = pr /pa rapport de compression : pression de refoulement

sur pression d'aspiration
SE débit-volume théorique
0
10–4 10–3 10–2 10–1 1 10 102 103 ∆θ échauffement
Pression (hPa)
diagramme établi pour :
v vitesse de rotation : 3 000 tr / min
zones à fonctionnement discontinu seulement
∆θ échauffement : 200 K
Figure 27 – Caractéristiques d’une pompe Roots gaz véhiculé : air à 20 °C
pompée par une pompe primaire [14]
Zone tramée : domaine de fonctionnement
La courbe ne donne pas ∆ θ ; il est pris égal à 200 K et c'est lui qui
impose ce domaine
La pompe Roots est une pompe sèche permettant d’éviter toute
contamination dans les procédés. Aussi, l’étanchéité des passages
d’axes est particulièrement renforcée afin d’empêcher toute péné- Figure 28 – Domaine de fonctionnement des pompes Roots
tration de lubrifiant dans l’enceinte de pompage. Les constructeurs utilisées en vide secondaire (doc. Aerzen)
proposent, suivant les besoins en étanchéité, plusieurs types de gar-
nitures d’arbre, allant jusqu’à mettre l’induit du moteur d’entraîne-
ment sous vide ou à utiliser un entraînement magnétique. Certains ple, qui crée une perte de charge qui n’est pas forcément
assurent une circulation de gaz (purge) dans les garnitures d’étan- rédhibitoire ;
chéité afin d’éviter toute rentrée polluante.
— une soupape tarée à la pression différentielle est placée en by-
Le rapport longueur/diamètre des rotors est plus élevé (2,5 est pass sur la pompe. La pompe est mise en marche à la pression
un rapport courant) et la pression différentielle maximale est limitée atmosphérique. Le flux excédentaire engendré est recyclé par la
(5 x 103 à 2 x 104 Pa). soupape de by-pass qui se ferme lorsque la pression différentielle
Le domaine de fonctionnement d’une pompe Roots en vide atteint la valeur tolérée (figure 29) ;
poussé peut être représenté par le diagramme de la figure 28.
— un limiteur de couple est placé sur l’arbre d’entraînement (cou-
La plage de fonctionnement est limitée d’une part par le taux de plage hydrocinétique). L’arbre d’entraînement des rotors de la
compression maximal Kmax qui, selon les matériaux, varie de 40 à pompe Roots glisse et la vitesse de la machine ainsi que son débit
100, d’autre part par l’échauffement (en vide poussé, on peut admet- volumique sont alors à chaque instant exactement adaptés aux pos-
tre ∆ = 200 K). sibilités de la chaîne de pompage. Cette solution, la plus perfection-
La faible différence de pression (5 x 103 à 2 x 104 Pa) supportée née, est aussi la plus chère à l’investissement, mais elle permet une
par les pompes Roots à vide poussé entraîne une complication dans productivité plus grande, les temps de pompage entre les éléments
la mise sous vide d’un réservoir. En général, la chaîne de pompage de la chaîne étant optimisés.
sera constituée de machines de débits-volumes différents.
Afin de diminuer les pulsations engendrées par les compressions
Exemple : Roots de 1 000 dm3/s − Roots de 100 dm3/s − pompe à successives et les vibrations induites par celles-ci, des nouvelles
palettes de 16 dm3/s. formes de lobes ont été inventées. Ces formes à trois branches régu-
Les pompes Roots, dans une telle combinaison, ne peuvent pas larisent l’écoulement gazeux et améliorent la compression
être mises en service dès la pression atmosphérique, sous peine de (cf. figure 26).
voir s’engendrer des pressions différentielles qu’elles ne pourraient
pas supporter. ■ Domaine d’utilisation
■ Divers dispositifs sont prévus pour pallier cet inconvénient : Pression : en pompe primaire 105 à 5 x 104 Pa.
— un manostat (pressostat) met la pompe Roots en marche lors-
que la pression d’aspiration est telle que la surcharge n’est plus à : en pompe secondaire 104 à 10−2 Pa.
craindre. Au-dessus de cette pression, le flux gazeux traverse la
machine dont les rotors tournent à l’envers. C’est une solution sim- Débit-volume : 102 à 3 x 104 dm3/s (360 m3/h à 100 000 m3/h).
Aspiration Aspiration
Refoulement
Refoulement
Aspiration
Figure 29 – Schéma d’une pompe à vide Roots avec by-pass
et clapet de compensateur de pression intégrés (doc. Leybold)
4.5 Pompes Roots multiétagées
Nota : ces pompes, de construction récente, n’ont pas encore reçu de dénominations
normatives et sont souvent appelées sous le vocable de pompes sèches (dry en anglais).
■ On a vu au paragraphe précédent la difficulté avec un seul étage

de pompage type Roots de couvrir le spectre des pressions de la
pression atmosphérique au vide moyen. Ces pompes sont des pom-
pes sèches sans joint d’huile et sont très intéressantes pour cette
caractéristique. En particulier, elles permettent d’obtenir un vide Refoulement
propre (cf. article [BM 4 070] dans ce traité [3]), en une seule
machine et de pomper de la pression atmosphérique jusqu’à envi- Figure 30 – Pompes Roots multiétagées (profils)
ron un pascal. Aussi, on a cherché à obtenir un domaine d’applica-
tion plus large. Les constructeurs ont multiplié le nombre d’étages
dans une seule machine allant de 3 jusqu’à 7. Ils ont, de plus, fait
évoluer les profils des lobes et plusieurs nouveaux types sont appa-
rus (figure 30). Ces différents lobes sont emmanchés sur un même
arbre et peuvent être de nature différente.
■ Ces machines ont été fabriquées suite à la demande de l’industrie
très porteuse des semi-conducteurs et des besoins de la recherche
scientifique. D’autres utilisateurs tels que les industries de chimie
fine et la pharmacie pourront en bénéficier. Certaines de ces machi-
nes sont modulaires et l’on peut, suivant les spécifications techni-
ques demandées, ajouter ou retrancher un module, c’est-à-dire un
étage.
Le problème de l’élévation de la température due à la compres-
sion a été résolu de façons différentes selon les constructeurs : soit
en refroidissant par de l’eau circulant dans les chemises entourant
les lobes, soit en réinjectant les gaz comme dans les pompes Roots
à pistons ventilés ou en refroidissant les gaz avant l’injection par un
échangeur refroidi à l’eau (figure 31).
Les gaz pompés dans certaines applications sont particulièrement
agressifs et la nature des matériaux employés sera différente. Les
diverses réactions chimiques utilisées dans les procédés peuvent
produire des microparticules solides qu’il faut éliminer. On a résolu
le problème en évitant les chicanes et les espaces morts où les par-
ticules pourraient se déposer. De plus, par des systèmes d’injection
de gaz de purge modulables selon les procédés et la nature des gaz
pompés, on a réduit, voire évité, la formation de ces particules et
favorisé leur évacuation.
Dans toutes ces pompes, l’étanchéité des passages d’arbres ainsi
que l’huile des paliers sont des points sensibles. Aussi il a été conçu Figure 31 – Pompe Roots multiétagée avec échangeurs
des entraînements par moteur dont le rotor est enfermé dans un de température (doc. Stokes)
casier étanche et sous vide et des systèmes à labyrinthe dans les
garnitures avec balayage de gaz.
Pour l’industrie chimique, d’autres modèles ont été élaborés. Pour à trois étages superposés ont été réalisés avec un jeu de clapets à
les procédés qui se contentent d’une pression de 50 Pa, des modèles chaque étage, soit en série, soit en by-pass. Le refroidissement est
Transmission Injection
hydraulique- de gaz
mécanique
Entraînement Joint
principal Sonde contrôle
température
Étage primaire
Barrière gazeuse
Étage secondaire
Ventilateur
Troisième étage
1 2 3 4
Circulateur
refroidissement
Bride d'aspiration
Bride de refoulement
Figure 32 – Pompe à piston rotatif multiétagée (doc. Rietschle)
Figure 33 – Pompe à vis (doc. Busch)

assuré en noyant les stators dans une chemise d’eau circulante
(figure 32).
On peut associer à ces machines des modules de gaz de purge
spécifiques à chaque application. De plus, elles possèdent une Aspiration
conduite assistée par microprocesseurs. Des capteurs mesurent en
permanence le niveau d’huile et sa température, le niveau d’eau et
sa température, la température des gaz de sortie, la vitesse de rota-
tion de l’arbre, le débit et la pression des gaz de purge, la puissance
consommée... Ces capteurs peuvent déclencher des alarmes, agir
sur les régulations...
■ Domaine d’application : pompe primaire sèche.
Pression : de 105 Pa à 0,2 Pa.
Débit-volume : de 15 dm3/s à 175 dm3/s (54 m3/h à 630 m3/h).
4.6 Pompes à vis
Le mécanisme « à vis » couramment utilisé pour les compres-

seurs a été adopté pour fonctionner en pompe à vide.
■ Le système se compose de deux vis hélicoïdales à profils conju-
gués (type vis d’Archimède) tournant d’un mouvement synchronisé
à l’intérieur du stator (figures 33 et 34). Les vis sont parallèles et
tournent à grande vitesse (de 3 000 à 8 000 tr/min) en laissant entre
elles un faible jeu. L’écoulement du gaz se fait parallèlement à l’axe
de rotation de l’aspiration vers le refoulement. Les fuites internes
Figure 34 – Pompe à vis (doc. Sterling SIHI)
qui résultent de la circulation d’une partie du gaz à contre-courant
sont limitées par la longueur de la ligne de fuite. Ces fuites sont
créées par l’espace compris entre les vis et le corps de la pompe et
entre les vis elles-mêmes ; plus le pas sera serré, plus le nombre de ■ Le gaz est poussé vers le refoulement par le mouvement hélicoï-
spires sera grand et meilleures seront les caractéristiques de la dal de la vis. Une légère détente du gaz à l’extérieur dans l’espace de
pompe. Il existe ainsi des constructions différentes suivant les fabri- compression se produit lorsque la lumière de refoulement est libé-
cants. rée.
Ce mode de fonctionnement procure un taux de compression pouvoir fonctionner dès la pression atmosphérique jusqu’à quel-
élevé. Il faut, par ailleurs, remarquer que le pas de chaque rotor ques pascals sans utiliser de systèmes de refroidissement au refou-
étant constant, la compression se produit dans la dernière demi- lement et sans nécessiter de vanne de dérivation de pression.
spire avant le refoulement. Il résulte de cela un échauffement impor-
tant à ce niveau. On a pu y relever des températures supérieures à ■ Les deux rotors (figure 35) de forme cylindrique à base circulaire
300 °C. Ces températures sont abaissées par injection de gaz exté- sur presque toute leur circonférence présentent une cavité suivie
rieur comme dans certaines pompes Roots multiétagées ; il est en par un bec protubérant sur un secteur. Lors de la rotation, un des
effet préférable d’éviter des températures trop élevées si elles becs vient se loger dans la cavité du rotor et vice versa. Les lumières
s’approchent du point d’inflammation des solvants pompés. d’aspiration par détente et de refoulement par compression sont
positionnées de manière axiale, contrairement au mécanisme Roots
La dilution présente toutefois des inconvénients dans les applica- où le positionnement est radial. Lorsque les deux rotors sont en
tions comportant une récupération par condensation au refoule- rotation, le gaz est capté via une lumière d’aspiration qui se trouve
ment. La présence de plus grandes quantités d’incondensables peut alignée avec la cavité d’un des rotors. Au fur et à mesure de la rota-
imposer l’adjonction de dispositifs spéciaux. Dans ce cas, la pompe tion, l’aspiration est isolée et le volume de gaz est comprimé par les
est alors refroidie par une chemise d’eau dont on régule la tempéra- becs jusqu’à ce que la cavité du second rotor soit en communication
ture en fonction des pressions partielles de vapeur. avec les lumières de refoulement (figure 36). Les rotors jouent le
■ Domaine d’application : pompe primaire sèche. rôle de clapets. Le faible volume mort du gaz restant est reconduit
au cycle de pompage suivant.
Débit-volume : de 20 dm3/s à 750 dm3/s (72 m3/h à 2 700 m3/h). ■ Le principe à becs procure un meilleur taux de compression que
le mécanisme Roots à une pression de 100 Pa (figure 37). Les mesu-
res montrent qu’une valeur de 50 est atteinte à 100 Pa pour chuter à
25 à la pression atmosphérique. Les conductances à l’aspiration
4.7 Pompes à becs sont différentes pour les deux mécanismes : l’effet de clapet produit
par les rotors à becs (la lumière est graduellement ouverte et fer-
mée) est plus restrictif, tandis que le mécanisme Roots offre une
Contrairement au principe Roots, le mécanisme à becs (claw en meilleure conductance, ce qui induit une plus grande capacité
anglais) est un véritable compresseur qui présente l’avantage de d’aspiration à des pressions inférieures à 100 Pa.
Bec de rotor
Refoulement
Aspiration
a étage à bec
Lumière
Lumière de refoulement
d'aspiration Aspiration
(a) Aspiration (b) (c) (d) Aspiration (e) (f)

ouverte isolée Volume mort
(g) (h) Refoulement (i) (j) Refoulement (k) (l)

ouvert isolé
Compression Refoulement
b séquence d'aspiration, de compression et de refoulement

d'un étage à becs [(a) à (l)]
Figure 35 – Pompe à bec (doc. BOC Edwards)
Aspiration
Pignons synchronisés
Étage type Roots
Entrée
Sortie
Étages à bec
Arbre moteur
Figure 38 – Pompe à bec avec premier étage Roots (doc. BOC Edwards)
Refoulement
Figure 36 – Pompe à bec (éclaté) (doc. BOC Edwards)
Aspiration
Taux
de compression
60
50
Étage à becs Étage
40 à bec
inversé
30
20 Étage Roots
10
0 Refoulement
10–3 10–2 10–1 1 10 102 103
Pression d'aspiration (hPa) Figure 39 – Pompe à bec avec inversion d’un lobe (brevet Edwards)
Figure 37 – Taux de compression comparés d’un système Roots

et d’un système à bec (doc. BOC Edwards) La figure 40 présente les caractéristiques d’une pompe de
100 m3/h.
Compte tenu du taux de compression, il est nécessaire d’assem- ■ Domaine d’utilisation : pompe primaire sèche.
bler plusieurs étages de rotors à becs (trois à quatre). Un modèle Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
commence d’ailleurs par un étage Roots suivi de 3 étages à becs
(figure 38). Débit-volume : de 15 dm3/s à 175 dm3/s (54 m3/h à 630 m3/h).
Une autre version de pompe sèche à becs, qui offre une pression
limite de l’ordre de 10 Pa, consiste à l’empilement sur un axe de trois
étages de rotors à becs mais dont les rotors au niveau du second 4.8 Pompes à spirales
étage sont en position inversée de manière que la lumière de refou-
lement du premier étage soit en communication directe avec la
lumière d’aspiration du second (figure 39). Cette disposition permet Ces pompes (scroll pumps en anglais) ont été créées en France
un trajet des gaz plus direct à travers la pompe, entraînant une dans les années 60 pour l’industrie nucléaire (séparation isotopique
meilleure conductance limitant, de plus, la consommation d’éner- de l’hexafluorure d’uranium) par la société Normetex (brevet P. Vul-
gie. liez). On recherchait une pompe pour transférer l’hexafluorure d’ura-
nium à 80 °C.
Un autre avantage de cette configuration est de diminuer la corro-
sion et le dépôt des particules. Comme dans toutes les pompes Ces machines sont entièrement en acier inoxydable et les joints
Roots multiétagées, la température des gaz va en croissant et il est sont métalliques (hélicoflex ®). L’étanchéité au niveau du mouve-
nécessaire d’avoir une chemise de refroidissement par circulation ment est assurée par un soufflet métallique (figure 41). Cette
d’eau dont la température est régulée. Les passages d’arbre peu- pompe, très coûteuse et réservée aux applications nucléaires, a
vent comporter un dispositif de balayage à l’aide de gaz neutre pour cependant servi de modèle pour des réalisations plus simples. La
éviter tout contact des gaz de procédés avec la garniture et éviter chambre est alors en alliage léger et les joints en élastomère
toute rétrodiffusion dans le circuit (les paliers étant graissés avec (Viton ®). Certaines parties sont recouvertes de PTFE pour diminuer
des produits type graisse polyether perfluorée). la corrosion lorsque des gaz actifs sont pompés (figure 42).
Débit-volume S (m3 / h)
100 Aspiration Refoulement
8
6
Spirale fixe
4
2
Spirale mobile
10 Caisson
8
6
4
Anneau de protection
2
Arbre de rotation
1 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68
10–3 10–2 10–1 1 10 102 103
Pression (hPa)
Figure 40 – Caractéristiques d’une pompe à bec d’un débit-volume Figure 42 – Pompe à spirale spéciale (éclaté) (doc. Varian)
de 100 m3/h
Moteur 90 °
d'entraînement Vilebrequin
Spirale mobile
Paliers animée d'une
du vilebrequin translation
circulaire
C D
Spirale fixe
Paliers 0° Compression
du vilebrequin Aspiration
Membrane
souple
180 °
Filtre
d'aspiration
Poche
Aspiration
Refoulement Aspiration
360 °
Compression
circuit de pompage
circuit d'huile
Figure 41 – Pompe à spirale (doc. Normetex)

270 °
Deux couloirs spiralés sont imbriqués l’un dans l’autre, l’un est
Refoulement
fixe et l’autre se déplace d’un mouvement de translation circulaire
(figure 43). Le déplacement relatif entre les deux spirales crée une
série de volumes en forme de croissants qui sont plus grands à la
périphérie et deviennent plus petits au fur et à mesure que l’on se
rapproche du centre. Les gaz sont ainsi comprimés par diminution
du volume et évacués à l’extérieur.
Compression
■ Domaine d’utilisation : pompe primaire sèche.
Débit-volume : de 7 dm3/s à 40 dm3/s (20 m3/h à 150 m3/h). Figure 43 – Mécanisme d’une pompe à spirale

Pompes 2

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Pompes à transfert de gaz

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Liaison arbre/bielle Moteur

Figure 4 – Pompe à pistons spéciale pour gaz

2. Position maximale et minimale du diaphragme

Membrane unique Membrane moulée Double membrane

1 Culasse 6 Membrane 9 Bielle

4. Position inverse de la position 2

Figure 5 – Pompe à membrane à came et excentrique

Débit-volume S (L / s) Piston 1er et 2e

1ère chambre 3e chambre

Figure 6 – Caractéristiques d’une pompe 3 étages à 4 pistons, Revêtement

Elles appartiennent aussi au groupe des pompes volumétriques

a b c d principe (doc. Hibon)

Orifice de refoulement Flasque

e vue éclatée (doc. Siemens) Figure 9 – Pompe à anneau liquide

Débit-volume S (en 102 dm3/s)

a fonctionnement en liquide perdu 0

Figure 11 – Caractéristiques d’une pompe à anneau liquide

Cette formule montre que, pour une pression d’aspiration p1 défi-

Ces pompes existent en version biétagée et même triétagée, mais

Suivant les procédés, on peut utiliser de nombreux liquides,

■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.

Pression : de 105 Pa à 2,5 x 102 Pa.

Débit-volume : de 0,3 dm3/s à 13 000 dm3/s (1 m3/h à 48 000 m3/h).

Le liquide refoulé se sépare du gaz dans un réservoir, on en 4.2 Pompes à palettes

c fonctionnement en recyclage total Définition normative : « Pompe volumétrique rotative dans

4.2.1 Principe d’une pompe volumétrique rotative

Si le principe précédemment décrit est bien suivi lorsque la 105

Portons sur un graphique (figure 13) en abscisses les taux de 104

Figure 14 – Pompe à palettes sèches (doc. Becker) 20

4.2.3 Pompes à palettes sèches 0

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■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.

Rotor La dénomination est due aux premières générations de pompes à

0 ■ Dans une pompe à piston oscillant, le piston cylindrique, pro-

Figure 21 – Pompe à pistons oscillants (coupe) (doc. Stokes)

Les gaz pénètrent dans la pompe par l’orifice d’aspiration, traver-

Choix de l’huile dans les pompes à joint d’huile

Ces pompes sont capables de travailler à des températures éle-

■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.

Aspiration Facteur d'élévation

10–1 2 300 tr/min

Figure 24 – Détermination du facteur d’élévation de température [14]

Cette différence de température est exprimée par la relation :

Cp capacité thermique massique du gaz à pression

F facteur d’élévation de température obtenu

S (dm3/s) ∆p (en 104 Pa)

Débit-volume S (m3/h) S E (dm3/s)

600 Pression d'entrée

200 K = pr /pa rapport de compression : pression de refoulement

4.5 Pompes Roots multiétagées

■ On a vu au paragraphe précédent la difficulté avec un seul étage

Figure 32 – Pompe à piston rotatif multiétagée (doc. Rietschle)

Figure 33 – Pompe à vis (doc. Busch)

4.6 Pompes à vis