Mesure Du Vide: Denis Perrillat-Amédé

Mesure du vide
par Denis PERRILLAT-AMÉDÉ

IngénieurENSMM(Écolenationalesupérieuredemécaniqueetdesmicrotechniques)
Ex-ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel.
Cetarticleactualisel’articleprécédemmentrédigépar Pierre DUVAL,ancienchefdu

service Études-Vide CIT-Alcatel, dont il reprend de larges extraits.
1. Problèmes généraux. Unités................................................................. R 2 050 - 2

1.1 Unités............................................................................................................ — 2
1.2 Facteurs particuliers des mesures du vide ................................................ — 2
1.3 Installation des manomètres à vide ........................................................... — 2
2. Manomètres pour la mesure des pressions totales ................................. — 3
2.1 Manomètres mécaniques ........................................................................... — 3
2.2 Manomètre de Mac Leod ............................................................................ — 4
2.3 Manomètres thermiques............................................................................. — 5
2.4 Manomètres à ionisation ............................................................................ — 6
2.4.1 Manomètre de Penning...................................................................... — 6
2.4.2 Manomètre triode (jauge à cathode chaude) ................................... — 7
2.4.3 Correction des manomètres à ionisation ......................................... — 8
2.5 Manomètres thermomoléculaires et moléculaires................................... — 9
3. Mesure des pressions partielles .......................................................... — 10
3.1 Analyseurs de gaz........................................................................................ — 10
3.2 Interprétation des mesures......................................................................... — 11
4. Problèmes d’étalonnage ........................................................................ — 11
4.1 Comparaison à un manomètre de Mac Leod............................................ — 11
4.2 Méthode d’expansion.................................................................................. — 12
5. Corrections dues à la température ..................................................... — 13
5.1 Effusion thermique ...................................................................................... — 13
5.1.1 Régime moléculaire............................................................................ — 13
5.1.2 Régime de Knudsen ........................................................................... — 13
5.2 Effets de la condensation............................................................................ — 13
6. Conclusion ................................................................................................. — 14
Pour en savoir plus........................................................................................... Doc. R 2 050
e que l’on nomme couramment le vide est constitué par le domaine des
C atmosphères gazeuses dont la pression est inférieure à la pression
atmosphérique. Il faut être bien conscient que, dès que l’on s’écarte notablement
de la pression atmosphérique, « mesurer le vide » est une opération difficile :
de la pression atmosphérique à l’ultra-vide, la plage à mesurer s’étend sur 15
à 16 décades, et l’on conçoit facilement qu’il faut se résigner à utiliser plusieurs
appareils de mesure de types différents pour couvrir une étendue aussi
7 - 1996
considérable.
Par souci de commodité, on découpe assez arbitrairement le domaine du vide
en intervalles de pression P, auxquels on donne par convention les noms
suivants :
— vide primaire 10 2 Pa < P < 10 5 Pa ;
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— vide moyen 10 –1 Pa < P < 10 2 Pa ;

— vide poussé 10 –5 Pa < P < 10 –1 Pa ;
— ultra-vide P < 10 –5 Pa.
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© Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle R 2 050 − 1
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
■ La sensibilité d’un manomètre peut varier dans le temps en

1. Problèmes généraux. Unités fonction de son état de propreté. En particulier, les hydrocarbures
émis par les huiles et les graisses polluent considérablement les
1.1 Unités jauges thermiques et à ionisation (§ 2.3 et 2.4). Suivant son type, une
jauge polluée peut indiquer une pression trop basse ou trop élevée,
et il est toujours difficile de s’en apercevoir.
Longtemps considérée comme une science quasi ésotérique et un
peu marginale, la technique du vide a sécrété sa propre unité de ■ L’étalonnage d’un manomètre, au sens physique du terme, est une
pression : le torr (en hommage à Torricelli) qui est, par convention, opération délicate sur laquelle les spécialistes ne sont pas toujours
égal à la sept cent soixantième partie de l’atmosphère normale (donc d’accord !
très voisin du millimètre de mercure).
■ Si le mélange contient des vapeurs, on peut commettre des
Cette unité était devenue quasi universelle (encore que les erreurs systématiques fortuites importantes, par exemple en inter-
Américains utilisent volontiers l’inch of mercury ou le micron de calant un piège refroidi ou en utilisant un manomètre à compression
mercure), bien qu’illégale dans certains pays et hors système inter- (manomètre de Mac Leod, § 2.2).
national (SI) de toute façon.
Mais, depuis peu, la situation se complique : ■ Pour en finir, signalons qu’à des pressions inférieures à 10 – 3 Pa,
la position de la jauge sur l’enceinte, la dimension et la nature de la
— les Américains préconisent le pascal (Pa, unité SI) dans le cadre
canalisation de raccordement, le pompage éventuel du capteur, etc.,
de l’adoption du système métrique ;
influent sur la mesure (ainsi d’ailleurs que la température avec
— les Allemands adoptent le millibar (mbar) et entraînent le reste
certains manomètres : manomètres thermiques et à ionisation en
de l’Europe dans leur sillage ;
particulier). Par ailleurs, lors de la mise en marche de ces derniers
— les spécialistes s’entêtent à utiliser le torr ! Par chance, le torr
manomètres, la mesure peut être fortement perturbée par le déga-
et le millibar ont des valeurs assez proches l’une de l’autre pour que
zage intrinsèque du capteur pendant les premières minutes.
le risque d’erreur soit limité (1 Torr = 1,33 mbar). Dans ce qui suit,
nous utiliserons le pascal. ■ En conséquence de tout ce qui précède, il ne faut pas s’illusionner
La plupart des manomètres existant sur le marché sont encore sur la précision des mesures de pressions inférieures à 1 Pa. Une
gradués en torrs ou en millibars, très peu le sont directement en incertitude de 50 à 100 % constitue une précision courante lorsque
pascals. Il est donc indispensable de bien noter la correspondance les conditions de mesure sont assez bien définies, et il n’est pas rare
entre ces trois unités : de commettre une erreur d’un facteur dix. En laboratoire de métro-
logie, une précision de 5 % constitue une performance très hono-
1 Torr = 133 Pa rable et difficilement accessible.
1 mbar = 100 Pa (soit 1 hPa)
1 mbar = 0,75 Torr
1.3 Installation des manomètres à vide
Chacun des manomètres qui sont décrits ci-après a des particula-
1.2 Facteurs particuliers des mesures rités qui lui sont propres et nous ne saurions trop insister sur la néces-
du vide sité de suivre les instructions données par les constructeurs.
Quelques règles générales sont applicables au montage et au raccor-
Il est souvent nécessaire, en plus de la connaissance de sa dement des capteurs de pression de tous les manomètres :
pression, de qualifier la qualité d’une atmosphère sous vide en — veiller à l’étanchéité des raccordements ;
faisant référence ou allusion, à sa composition ; on parle alors de — protéger les capteurs contre les condensations et les produits
vide sec, vide propre, vide humide. Ces vocables n’ont pas la même corrosifs (voir § 5.2) ;
acception suivant l’application envisagée, et sont donc à manipuler — monter les capteurs de préférence verticalement la tête en bas,
avec de grandes précautions. pour qu’ils ne puissent servir de réservoirs à condensat ou à pous-
À des pressions inférieures à 1 Pa, l’interprétation d’une mesure sières (une exception concerne les manomètres à convection qui
de vide demande quelques réflexions, et il faut faire attention à doivent fonctionner horizontalement) ;
certains facteurs particuliers suivants. — dans les systèmes utilisant des rayonnements HF, il faut blinder
les capteurs ; une solution possible est représentée sur la figure 1,
■ À l’exception des manomètres mécaniques décrits au le baffle-écran doit être raccordé à la masse générale de l’instal
paragraphe 2.1, la sensibilité du manomètre varie d’un gaz à l’autre, lation ; le montage protège également contre l’introduction de corps
parfois d’un facteur dix ! Si l’on ne connaît pas, ce qui est générale- étrangers ;
ment le cas, la composition de l’atmosphère dont on veut mesurer — l’installation d’un filtre à poussière entre le capteur et le réser-
la pression, on est dans l’impossibilité de savoir à quoi correspond voir sous vide n’est pas recommandée, car un tel filtre constitue une
l’indication du manomètre. La loi de variation de la sensibilité en source importante de dégazage.
fonction de la nature du gaz n’étant pas la même d’un type d’appareil
à un autre, il est possible (et même fréquent malheureusement !) que
deux manomètres raccordés à une même installation donnent des
indications différentes.
■ Les manomètres sont généralement calibrés pour de l’air sec ou
de l’azote et, comme l’on ne sait généralement pas corriger leurs indi-
cations pour tenir compte de la composition de l’atmosphère, les
mesures qu’ils indiquent sont souvent exprimées en pression
équivalente d’azote par convention. Cette convention est générale-
ment appliquée implicitement lorsque aucune indication n’est
donnée sur les conditions de la mesure.
Figure 1 – Position relative et dimensions du baffle plan
par rapport à la jauge
R 2 050 − 2 © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
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2. Manomètres La figure 2 résume le domaine de mesure des principaux types

de manomètres que nous allons maintenant passer en revue.
pour la mesure
des pressions totales 2.1 Manomètres mécaniques
Les manomètres pour la mesure du vide mettent en jeu des prin-
À l’exception du manomètre de Mac Leod dont nous
cipes physiques différents, et utilisent certaines propriétés des corps
reparlerons (§ 2.2), les appareils de cette catégorie ne sont pas
gazeux qui sont directement affectées par la pression. Ils peuvent
spécifiques de la mesure du vide. Il s’agit, pour l’essentiel, de mano-
être présentés en quatre classes principales qui sont :
mètres classiques dans la mesure des pressions usuelles. Aussi ne
— les manomètres mécaniques (§ 2.1 et 2.2), qui mesurent la force nous attarderons-nous guère sur leur description (cf. article
produite par la pression, et peuvent donc être considérés comme Pressionsusuellesdanslesfluides.Instrumentsetprincipesde
absolus ; mesure [R 2 040] dans le présent traité).
— les jauges à fil chaud (manomètres thermiques, § 2.3) ;
— les manomètres électroniques à jauge à ionisation (§ 2.4) ; Comme nous l’avons indiqué, il s’agit de mesurer la force que
— les manomètres thermomoléculaires (ou radiomé triques, produit la pression ; on utilise pour cela deux méthodes principales :
§ 2.5). — les déformations mécaniques (manomètres de Bourdon ou à
membrane) ;
Les trois dernières familles d’appareils ne mesurent pas vraiment
— la loi fondamentale de l’hydrostatique (tube en U).
la pression, mais la densité moléculaire. La relation entre ces deux
grandeurs est dérivée de la loi des gaz parfaits ; on a : Dans les deux cas, on obtient des appareils simples et robustes,
mais seuls les premiers ont réellement une vocation industrielle. Il
P = nkT faut par contre se souvenir que les manomètres mécaniques
avec P pression, mesurent, en fait, une différence de pressions et que, pour faire une
mesure absolue, il est nécessaire d’avoir une référence fixe (de
n concentration ou densité moléculaire, préférence, un vide poussé). En aucun cas, cette référence ne peut
k constante de Boltzman (1,38 · 10–23 J/K), être la pression atmosphérique, dont les variations sont importantes
T température thermodynamique. et aléatoires. Pour toutes les mesures sérieuses de vide, il faut donc
n’utiliser que des appareils à compensation de pression
atmosphérique.
Figure 2 – Domaine d’emploi des principaux types de manomètres à vide
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
Puisque les manomètres mécaniques permettent aisément des Dans les conditions réelles, on a toujours :
mesures absolues, on a tenté, depuis déjà longtemps, d’étendre leur
champ d’application vers les pressions très basses, en augmentant V1 V2 et ρ hg P
leur sensibilité. On trouve ainsi, pour les applications du laboratoire,
les appareils suivants. et donc : P ≈ ρhg V 2 /V 1
Il suffit donc de mesures géométriques (volumes et longueurs)
■ Les manomètres dérivés du tube de Bourdon, à tube de quartz pour connaître la pression P , ce qui fait du manomètre de Mac Leod
enroulé hélicoïdalement sont utilisés jusqu’à environ 10 –1 Pa. un manomètre absolu, pour autant que la mesure porte sur des gaz
■ Les manomètres capacitifs ont une membrane déformable (donc qui suivent la loi de Mariotte (gaz dits permanents). On l’utilise alors
mobile) qui sert d’armature à un condensateur plan. La variation de fréquemment pour l’étalonnage par comparaison des autres types
pression provoque donc une variation de capacité assez facile à de manomètres.
mesurer (figure 3). Leur sensibilité permet leur utilisation La situation n’est plus aussi simple lorsque le manomètre de Mac
jusqu’à 10 –2 Pa. Leod est utilisé pour effectuer des mesures sur des vapeurs dont
Le mode de construction des manomètres capacitifs, ainsi que les caractéristiques thermodynamiques sont proches des conditions
les matériaux utilisés (membrane en Inconel et enveloppe en acier de changement de phase. Dans ces conditions, pendant la
inoxydable) les rendent résistants à la corrosion et, de ce fait, leur compression inhérente à la mesure, les vapeurs ne suivent pas la
utilisation se généralise dans les systèmes de gravure sèche. Leur loi de Boyle-Mariotte mais plutôt la loi de Clapeyron (le produit
principal défaut est la rapide variation de sensibilité en fonction de pression × volume n’est pas constant).
la température. Pour compenser cet inconvénient, ils sont souvent Prenons, par exemple, le cas de la mesure du vide limite d’une
utilisés dans une enceinte thermostatée à une température supé- pompe à palettes à 2 étages. La pression totale est d’environ 2 · 10 –1 Pa
rieure à celle de l’ambiance ; cette façon de faire, si elle supprime et l’atmosphère est constituée à 90 % de vapeur d’huile saturante. On
les effets dus à la dérive du zéro, introduit une erreur de mesure a alors une pression partielle de vapeur d’huile à 1,8 · 10 –1 Pa et une
systématique résultant de l’effusion thermique (voir § 5.1). pression partielle de gaz permanents de 2 · 10 –2 Pa. Lors de la mesure,
La membrane, étant très mince (quelques centièmes de millimètre qui peut être considérée comme isotherme, la pression de gaz est de
d’épaisseur), est fragile et des variations brutales de pression 200 ou 300 Pa alors que la pression d’huile est toujours de 1,8 · 10–1 Pa
peuvent l’endommager : par suite de la condensation (ce qui, par ailleurs, pollue la jauge). L’appli-
— ne pas utiliser les manomètres capacitifs lors de l’évacuation cation de la formule précédente donnerait ici une pression de 2 · 10–2 Pa
rapide et cyclique de réservoirs ; qui correspond à la pression partielle des gaz permanents. C’est pour
— prévoir un robinet entre le capteur et le réservoir si la pression cela que l’on dit très fréquemment que la jauge de Mac Leod mesure
dans ce dernier doit être supérieure à la pression atmosphérique ; des pressions partielles d’incondensables.
— protéger le capteur contre les vibrations mécaniques.
■ Citons également un manomètre à colonne de liquide, dans lequel
la mesure de la hauteur est réalisée par interférométrie (manomètre
de Peube). Bien qu’il soit utilisable à des pressions inférieures à
10– 2 Pa, sa mise en œuvre très délicate limite son utilisation aux
laboratoires de métrologie.
2.2 Manomètre de Mac Leod

Issu directement de la loi de Boyle-Mariotte, ce manomètre, qui
porte le nom de son inventeur, est vieux d’un bon siècle (1874).
Manomètre de référence dans l’intervalle de pression compris
entre 102 et 10–2 Pa, il n’est aujourd’hui pratiquement plus utilisé.
Son principe est représenté sur la figure 4. L’appareil comprend
essentiellement un volume fixe, dans lequel est enfermé le gaz au
début de la mesure, et un réservoir mobile R qui contient du mercure.
En manœuvrant le réservoir mobile, relié à la verrerie par une
canalisation souple C, on réalise un piston liquide qui, dans le
Figure 3 – Manomètre capacitif
premier temps, isole le gaz dans le volume fixe, puis le comprime
fortement.
Notons :
h différence de niveau entre les deux branches du tube de mesure
et du capillaire de comparaison D ;
P pression du gaz contenu initialement dans V 1 (inconnu) ;
V 1 volume isolé par le mercure au-dessus du niveau a ;
V 2 volume du gaz, après compression, lorsque le mercure est en b.
En fin de compression, il règne, dans le volume V 2 , la pression P 1 :
P 1 = ρgh + P
avec ρ masse volumique du mercure,
g accélération de la pesanteur.
La loi de Mariotte indique que :
PV 1 = P 1V 2
et finalement P = ρhgV 2 /(V 1 – V 2)
Figure 4 – Manomètre de Mac Leod
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Il existe une version simplifiée du manomètre de Mac Leod, Les manomètres à convection présentent, dans leur partie haute
appelée vacumètre, vacustat, ou encore vacuscope selon les pression, des variations considérables de sensibilité avec certains
constructeurs (figure 5) utilisée en laboratoire pour les mesures gaz, comme le montre la figure 7. Si ces manomètres sont utilisés
entre 10–1 et 102 Pa. pour actionner des dispositifs automatiques ou des organes de sécu-
rité, il convient de vérifier très soigneusement leur adéquation avec
le gaz utilisé dans le procédé à piloter.
2.3 Manomètres thermiques Sans que cela constitue une généralité, on peut admettre que les
manomètres de Pirani sont plus sensibles que les manomètres à
Si l’on chauffe, par effet Joule, un fil placé dans une ambiance thermocouple, mais aussi souvent plus coûteux. La plage de
donnée, sa température d’équilibre sera déterminée par les mesure d’une jauge de Pirani est généralement plus large que celle
échanges de chaleur qu’il aura avec le milieu dans lequel il est d’une jauge à thermocouple qui, par contre, se prête mieux à des
immergé. Dans un gaz raréfié, les échanges thermiques se font par mesures précises, et est même utilisable, pour certains modèles,
rayonnement (les pertes du fil sont, dans ce cas, fonction uniquement aux environs de la pression atmosphérique.
de la température) et par convection. La quantité de chaleur De par leur principe, les manomètres thermiques sont très affectés
échangée par convection dépend de la pression et de la conductivité par les variations de température, ce qui oblige à quelques précau-
thermique du gaz. Cette conductivité peut être considérée comme tions d’emploi (les jauges de bonne qualité sont compensées en
constante de la pression atmosphérique jusqu’à 5 · 10–1 Pa, puis elle température en utilisant, le plus souvent, une thermistance).
varie comme la pression aux valeurs inférieures.
On a donc là un phénomène utilisable pour mesurer des basses
pressions, phénomène que l’on met en œuvre de deux façons
différentes :
— on chauffe le filament à courant constant, et l’on mesure la
température du fil. C’est le cas des manomètres à thermocouple
(figure 6) ;
— on maintient constante la température du fil (par l’intermédiaire
de sa résistance électrique) et l’on mesure le courant de chauffage.
C’est le principe des manomètres de Pirani.
Plusieurs tentatives ont été faites pour utiliser des thermistances,
mais la réalisation industrielle conduit à des appareils très peu
fiables.
Comme il existe un besoin certain de manomètres qui puissent
mesurer de 0,1 Pa à la pression atmosphérique (105 Pa), des tenta-
tives ont été faites pour étendre la plage de mesure, aussi bien des
appareils à thermocouple que celle des Pirani.
La solution la plus attractive résulte de l’utilisation de la convection
naturelle en complément d’un manomètre de Pirani classique [50].
L’appareil ainsi obtenu est fiable et dispense de l’utilisation
complémentaire d’un manomètre de Bourdon ; sa seule contrainte
Figure 5 – Vacumètre à mercure
résulte de l’obligation de monter le capteur de mesure
horizontalement.
À une pression donnée, les pertes par convection dépendent de
la conductivité du gaz, donc de la nature de ce gaz et, en consé-
quence, la sensibilité des manomètres thermiques varie d’un gaz à
un autre. C’est un inconvénient de ce type d’appareils qui interdit
de les considérer comme des manomètres absolus. Ils sont générale-
ment étalonnés avec de l’air sec par comparaison avec une jauge
de Mac Leod.
Si l’on veut les utiliser pour des gaz différents, il est nécessaire
de corriger les mesures pour tenir compte de la variation de sensi-
bilité, dont l’amplitude peut être grande. Les constructeurs donnent
généralement, dans leurs documentations, les corrections propres
à leur matériel, et il est conseillé de ne pas trop extrapoler les valeurs
d’un appareil à un autre. Les ordres de grandeur, utilisables entre
50 et 5 · 10 –1 Pa, des coefficients de correction sont contenus dans
le tableau 1. (0)
Tableau 1 – Coefficients de correction

pour les manomètres thermiques Figure 6 – Manomètre à thermocouple
Gaz Air H2 He Ne Ar Kr Xe CO2
Coefficient
de correction 1 1,4 1,1 0,8 0,6 0,4 0,25 0,95
Le coefficient de correction est égal au rapport pression lue/pression vraie
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
Les manomètres à thermocouple ont un temps de réponse

relativement long (qui peut atteindre 1 seconde) par rapport aux
manomètres de Pirani (0,05 à 0,2 seconde), ce qui fait préférer ces
derniers partout où le capteur est utilisé à des fins de sécurité.
Malgré tous leurs défauts, les manomètres thermiques sont

irremplaçables dans l’intervalle qui va de 10–1 à 102 Pa ; ce sont
des appareils assez robustes, avec une vocation industrielle très
marquée.
2.4 Manomètres à ionisation

Les manomètres étudiés dans les paragraphes 2.1, 2.2 et 2.3 sont
incapables de mesurer des pressions inférieures à 10–2 Pa, le relais
est alors pris par la grande famille des manomètres à ionisation.
Dans un tel manomètre, on provoque l’ionisation du gaz (plasma)
par des moyens divers :
— bombardement d’électrons sur les molécules gazeuses
(§ 2.4.2) ;
— champ électrique continu provoqué par une tension élevée
(§ 2.4.1).
Le courant d’ions est ensuite collecté par une électrode. Si la Figure 7 – Variation de sensibilité d’un manomètre à convection
pression dans la jauge est assez basse pour que l’écoulement des en fonction de la nature des gaz
ions soit en régime moléculaire (c’est-à-dire que le libre parcours
moyen des ions est nettement plus grand que la distance entre les
électrodes), le courant ionique est proportionnel à la densité
gazeuse, donc à la pression.
L’appareil le plus simple qui utilise le phénomène d’ionisation, bien
qu’il soit difficile de l’appeler manomètre, est le tube à décharge.
Il est constitué simplement par deux disques métalliques, distants
de quelques centimètres, à l’intérieur d’une ampoule en verre. Les
deux disques sont reliés à deux électrodes entre lesquelles on
applique une tension d’environ 1,5 à 2 kV, ce qui provoque une
décharge luminescente pour des pressions comprises approxima-
tivement entre 103 Pa et 1 Pa. En principe, il est possible d’estimer
la pression en mesurant la longueur de la zone sombre, mais il faut
pour cela une bonne expérience et, le plus souvent, on utilise le tube
à décharge en tout ou rien, pour vérifier que la pression est inférieure Figure 8 – Manomètre de Penning
à 1 Pa environ. Le voyant est alors éteint et l’on dit couramment,
dans ce cas, que la pompe à vide bloque le tube témoin . La couleur
de la lumière émise par la décharge est caractéristique du gaz, ce Les deux cathodes sont reliées entre elles électriquement et une
qui permet d’avoir une idée de la composition de l’atmosphère, ou différence de potentiel de 1 500 à 2 000 V est créée entre elles et
de faire de la détection de fuites. l’anode tubulaire centrale. Cette disposition des électrodes provoque
des oscillations des particules chargées électriquement, ce qui
Les teintes caractéristiques des gaz purs sont les suivantes :
augmente ainsi leur parcours. La superposition du champ magné-
— oxygène jaune citron tique transforme les trajectoires en spirales et augmente ce parcours.
— azote (air) rouge violacé à rose Encore appelé manomètre à ionisation à cathode froide, on peut
— alcool bleu clair blanchâtre le considérer comme un tube à décharge évolué, dans lequel on
— vapeur d’eau blanc laiteux légèrement bleuté mesure le courant de décharge, et où l’ionisation est maintenue dans
— argon bleu violacé les basses pressions grâce à la superposition du champ magnétique
au champ électrique. Le manomètre de Penning est un appareil
— néon rouge
robuste, insensible aux remises à l’air brusques, à vocation indus-
— hydrogène bleu trielle marquée. Il est surtout utilisé entre 10–1 et 10–5 Pa, bien qu’il
— produits cuivreux en existe des modèles utilisables à des pressions inférieures. Son
en suspension verdâtre dégazage propre est important et perturbe les mesures, surtout dans
Bien qu’il puisse rendre de grands services, le tube à décharge le domaine de l’ultra-vide. En présence d’atmosphères sales , il se
n’est plus guère utilisé, il tend à disparaître au profit des manomètres pollue assez facilement et indique alors des pressions qui sont trop
thermiques. basses (quelquefois de plus d’un facteur dix).
Pour tenter de corriger ce grave défaut, il a été développé un mano-
mètre possédant deux plasmas l’un derrière l’autre (figure 9). Outre
2.4.1 Manomètre de Penning que cette disposition corrige les instabilités électriques inhérentes
à l’utilisation d’une décharge, elle retarde considérablement la pollu-
Inventé en 1937 dans les laboratoires hollandais de la société tion de la jauge. En atmosphère polluée, le premier plasma joue le
Philips, il porte le nom de son inventeur (il est quelquefois appelé rôle d’un piège ionique et protège le deuxième plasma, dont la
jauge Philips dans les ouvrages anciens). Son principe est représenté mesure reste ainsi à peu près fidèle.
sur la figure 8.
______________________________________________________________________________________________________________________ MESURE DU VIDE
Figure 10 – Caractéristique pression-courant d’une jauge

à ionisation à cathode froide
Figure 9 – Manomètre de Penning à double plasma
La caractéristique pression/courant d’un manomètre à ionisation

à cathode froide n’est pas linéaire, surtout dans sa partie haute
pression, car le courant passe par un maximum lorsque la pression
augmente, puis diminue (figure 10). En conséquence, l’interpréta-
tion de la mesure peut être erronée et il est conseillé de compléter
l’installation par un manomètre, thermique par exemple, dont les
indications permettront de lever l’ambiguïté. Cela est particulière-
ment important dans les systèmes automatiques pilotés à partir de
la mesure de la pression.
2.4.2 Manomètre triode (jauge à cathode chaude)
Dans les manomètres à ionisation triode, on provoque la création Figure 11 – Jauge à ionisation de Bayard et Alpert
du plasma par l’utilisation d’un filament émetteur d’électrons. C’est
la présence de ce filament chauffé qui fait appeler ces jauges à
cathode chaude par opposition à la cathode froide des manomètres Le manomètre de Bayard et Alpert est l’appareil le plus fréquem-
de Penning. Le nom de triode vient de la lampe triode dont cette ment utilisé en ultra-vide (zone de pressions inférieures à 10– 5 Pa)
jauge est historiquement issue et dont elle a gardé la configuration où le dégazage des matériaux prend une importance considérable.
générale pendant longtemps. Actuellement, on rencontre surtout la Pour ne pas trop perturber la pression pendant la mesure, un
version de Bayard et Alpert à laquelle nous limiterons l’étude des manomètre à ultra-vide doit offrir une surface aussi faible que
jauges à cathode chaude. possible, et être construit avec des matériaux supportant un déga-
L’impossibilité de mesurer des pressions inférieures à 10–5 Pa fut zage à très haute température (molybdène, tungstène). Il faut
longtemps la pierre d’achoppement pour l’obtention de l’ultra-vide. toutefois veiller à ce que les capteurs soient montés correctement,
Il fallut attendre 1958 et l’invention de la jauge de Bayard et Alpert si l’on veut faire des mesures ayant quelque sens. La tubulure de
pour qu’il soit possible de mesurer avec précision et reproductibilité connexion doit avoir une conductance suffisante car la jauge
des pressions jusqu’à 5 · 10–9 Pa environ. possède un débit-volume non négligeable (qui peut atteindre 0,1 à
0,2 L /s dans certains cas). Il faut également penser à placer les
■ Le principe de la jauge de Bayard et Alpert est représenté sur la capteurs à l’abri des sources de pollution éventuelles, ainsi que des
figure 11. Comme toutes les jauges triodes, elle comprend trois champs magnétiques, même faibles, dont la présence modifie
constituants majeurs : considérablement la sensibilité du manomètre.
— un filament, chauffé à haute température (environ 800 oC), au
La courbe donnant la variation du courant ionique en fonction de
potentiel de la terre, qui constitue l’émetteur d’électrons ;
la pression est représentée sur la figure 12, on y voit clairement
— une grille cylindrique, portée à une tension d’environ 200 V,
qu’aux très basses pressions la jauge cesse d’être linéaire et qu’il
destinée à accélérer les électrons et à les faire osciller pour allonger
apparaît une saturation (zone A , figure 12).
leur trajectoire moyenne ;
— un filament fin placé au centre de la grille, et porté à un potentiel Cette limitation est provoquée essentiellement par deux
négatif d’une vingtaine de volts, qui sert de collecteur d’ions. phénomènes :
Les ions sont essentiellement produits à l’intérieur de la grille — tout d’abord, l’émission de rayons X de la grille qui est en
qui sert alors de repousseur et pousse les ions vers le collecteur. permanence bombardée par les électrons. Ces rayons X mous,
lorsqu’ils atteignent le collecteur d’ions, arrachent des photo-
La grande différence avec la jauge de Penning est que les para- électrons qui produisent le même effet que la collecte d’ions positifs ;
mètres fonctionnels sont ajustables et peuvent être contrôlés en per- — la deuxième cause de limitation est due à l’effet photoélectrique
manence, ce qui fait du manomètre de Bayard et Alpert un appareil (rayons ultraviolets émis par le filament), qui provoque les mêmes
précis et fidèle. C’est donc l’instrument de mesure sérieux entre 10 –2 effets que les rayons X.
et 10– 8 Pa. Par contre, il est beaucoup plus fragile que le manomètre
de Penning, par suite de l’existence d’un filament chaud (qui brûle Les deux effets sont aléatoires, car ils dépendent fortement de
en cas de rentrées d’air brutales) et d’une structure mécanique fine. l’état de surface du collecteur, et rendent assez illusoires les mesures
Il faut noter que certaines jauges possèdent un filament imbrûlable. de pression au-dessous de 10– 8 Pa avec la jauge de Bayard et Alpert.
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
Pour abaisser la limite de mesure, il est donc nécessaire de réduire Plusieurs constructeurs ont repris ce principe et proposent des
l’importance du courant parasite (rayons X mous, et rayons ultra- jauges capables de prendre le relais des jauges Bayard-Alpert, pour
violets issus du filament) ; deux voies ont été pratiquées pour arriver la mesure des pressions entre 10–7 et 10 –10 Pa.
à ce résultat.
■ Avec les mêmes préoccupations, Blechschmidt a conçu une jauge,
■ La première solution consiste à augmenter la sensibilité de la dite à faisceau défléchi, dont la limite inférieure de mesure est infé-
jauge de Bayard et Alpert en lui superposant un champ magnétique rieure à 10–11 Pa. Dans cette jauge, schématisée sur la figure 14, on
qui allonge la trajectoire des électrons et augmente donc la proba- supprime également l’erreur de mesure provoquée par la désorption
bilité d’ionisation. On arrive ainsi à la jauge du type magnétron à de la grille lors de son bombardement par les électrons, car non
cathode chaude [10]. Dans le même esprit, des tentatives furent seulement le collecteur est caché, mais on réalise un véritable tri des
faites à partir de la jauge de Penning à cathode froide en augmentant ions, en utilisant un séparateur électrostatique (constitué par les élec-
la tension qui lui est appliquée, puis en utilisant également la struc- trodes C et D sur la figure 14) qui ne laisse atteindre le collecteur
ture magnétron, ainsi que le fit Redhead vers 1960. Toutes ces jauges, qu’aux ions dont l’énergie est suffisante.
à cause de la grande surface des matériaux utilisés et de leur struc- Cette technique fait l’objet de nombreux développements destinés
ture fermée, présentent le même défaut fondamental de perturber à repousser les limites de la mesure des très basses pressions [54].
sensiblement le vide qu’elles mesurent. Elles possèdent une grande
sensibilité qui permet des mesures jusqu’à 10–11 Pa environ, mais ■ À ces pressions extrêmement basses, et, il faut bien le dire, assez
elles sont peu fidèles à cause de leur dégazage intrinsèque et de leur rarement utilisées, on doit également penser à ne pas trop chauffer
vitesse de pompage élevée. le filament émetteur d’électrons, car il faut, bien sur, que la pression
de vapeur saturante du matériau constituant ce filament soit très
■ La deuxième solution est de modifier la géométrie de la jauge de nettement inférieure à la pression à mesurer.
Bayard et Alpert, en disposant le collecteur d’ions pour qu’il ne
reçoive pas les rayons X mous émis par la grille ni les ultraviolets L’adaptation, aux manomètres à ionisation, des sources électro-
émis par le filament. On arrive ainsi à la jauge à collecteur caché de niques froides utilisées en microscopie électronique, bien que
Groszkowski [9] [11] représentée sur la figure 13. prometteuse est encore limitée. Les sources électroniques froides
restent, dans leur technologie actuelle, particulièrement sensibles
aux gaz corrosifs (O2 par exemple) [54].
■ À l’autre extrémité des possibilités des manomètres à ionisation,
on rencontre la jauge de Schulz-Phelps dont les électrodes sont très
proches les unes des autres, ce qui permet de l’utiliser jusqu’à
environ 102 Pa. Ce manomètre serait certainement beaucoup plus
utilisé s’il permettait des mesures fidèles, mais sa sensibilité varie
énormément avec la géométrie du capteur (facilement d’un facteur
10), ce qui entraîne de très grandes différences d’une jauge à une
autre, ainsi que des variations très marquées sur un même capteur
en fonction du temps, par suite des déformations inévitables qu’il
subit pendant son temps de service.
■ Les manomètres à ionisation à cathode chaude sont, par suite de
l’existence du filament, moins robustes que les jauges de Penning
qui restent les manomètres le plus souvent rencontrés sur les
installations industrielles. Par contre, ils sont certainement beaucoup
plus fidèles, car ils peuvent être dégazés par chauffage des électrodes
Figure 12 – Variation du courant en fonction de la pression
à haute température, ce qui permet d’annuler les effets d’une
dans une jauge de Bayard et Alpert
éventuelle pollution. Ce chauffage est généralement réalisé par
bombardement électronique de la structure interne de la jauge, la
source d’électrons étant le filament lui-même. Il existe des capteurs
où le dégazage est obtenu par effet Joule.
2.4.3 Correction des manomètres à ionisation
Tous les manomètres à ionisation ont une sensibilité variable avec

la nature du gaz, ce qui rend les mesures aléatoires lorsque la
composition de l’atmosphère n’est pas connue.
Figure 14 – Jauge de Blechschmidt
Figure 13 – Jauge à collecteur caché de Groszkowski
______________________________________________________________________________________________________________________ MESURE DU VIDE
Aussi faut-il être très prudent dans l’interprétation des mesures bilité à toute vibration qui fausse la lecture, ce qui conduit à une
de pression limite dans un réservoir. Seule une analyse des gaz exploitation assez délicate.
résiduels conduit à un résultat scientifiquement significatif.
■ Une variante de micromanomètres utilisant les forces thermo-
Si la nature du gaz contenu dans le réservoir est connue, on peut moléculaires a été décrite et réalisée par R. Évrard en 1964. C’est la
corriger les mesures, car la sensibilité d’une jauge à ionisation est jauge à suspension diamagnétique. Un petit disque de carbone est
proportionnelle à la section efficace d’ionisation du gaz [35] ; les maintenu en lévitation à l’aide d’un électroaimant et, sous l’effet des
variations de sensibilité sont donc très notables comme le montre forces thermomoléculaires, subit une variation continue de vitesse
le tableau 2. (0) [17]. C’est l’accélération qui est ici proportionnelle à la pression.
■ Cet appareil, de mise en œuvre délicate et essentiellement
Tableau 2 – Facteurs de sensibilité manuelle, a connu une diffusion limitée et est maintenant remplacé
par le manomètre moléculaire à bille tournante ou manomètre à
pour les manomètres à ionisation
viscosité (Spinning Rotor Viscosity Gauge) . Dans ce manomètre
(figure 16), une bille métallique de 4,5 mm de diamètre, maintenue
Gaz N2 He Ne Ar Xe H2 CO2 C2H6 C4H10 C2H2
en lévitation magnétique, à l’intérieur d’un tube relié à la chambre à
Facteur de vide, est entraînée à 24 000 tr/min. La décélération de la bille,
sensibilité 1 0,22 0,36 1,34 2,5 0,5 1,35 2,6 4 0,62 mesurée après arrêt de l’entraînement, est proportionnelle à la
pression et dépend de la nature du gaz.
Pour utiliser ces facteurs de sensibilité comme coefficients de correction, il
faut diviser la pression apparente (pression lue) par la sensibilité Ce manomètre sert d’étalon secondaire dans la gamme de
pression de 10–5 à 1 Pa. Par ailleurs, il est étuvable à 400 oC et peut
donc être dégazé, et il est utilisable en présence de gaz modéré-
Il convient de signaler que les mesures de pression en présence ment agressif.
de gaz radioactifs, d’émetteurs de radiations ionisantes, de champs
haute fréquence ou hyperfréquence sont, ou peuvent être, entachées
d’erreurs systématiques assez grandes résultant de l’ionisation
induite par les sources précitées. C’est le cas, en particulier, en
présence de concentration notable de tritium, en gravure sous
plasma ou en pulvérisation cathodique. Un blindage ne suffit géné-
ralement pas en présence de radiations ionisantes.
2.5 Manomètres thermomoléculaires

et moléculaires
Les études sur la viscosité des gaz et sur les forces thermo-
moléculaires tentèrent anciennement (dès Dewar en 1907) d’assez
nombreux chercheurs, car l’application de la théorie cinétique des
gaz montre qu’on peut, par cette voie, accéder directement à la
pression. Les manomètres absolus qui en découlent, et dont le plus
répandu est celui de Knudsen (1910), sont malgré tout peu usités Figure 15 – Manomètre thermomoléculaire de Knudsen
bien qu’assez séduisants dans leur principe.
■ Le micromanomètre absolu de Knudsen est constitué par un
équipage mobile A à une température T 0 qui est celle de l’enceinte,
suspendu par un fil de torsion en face de deux barres B à la
température T 1 (figure 15).
La distance est faible entre A et B, et l’on a T 1 > T 0 .
Pour comprendre le fonctionnement de l’appareil, imaginons qu’il
soit réduit à un demi-équipage A’ et à une seule des barres B.
L’équipage mobile A’ est bombardé sur une face par des molécules
ayant une vitesse quadratique moyenne v 0 correspondant à T 0 , et
sur l’autre face par des molécules venant de B et ayant des vitesses
supérieures v 1 correspondant à T 1 . Ainsi le demi-épuipage A’ s’écar-
tera de B.
En fait, le montage étant asymétrique, on crée un couple qui tend
à mettre A en rotation.
Knudsen a démontré que les forces s’appliquant à l’équipage
mobile sont, pour (T 1 – T 0 )/T 0 constant, directement proportion-
nelles à la pression et indépendantes de la nature du gaz. Ainsi, ce Figure 16 – Manomètre à bille
manomètre constitue un étalon dans la gamme 1 à 10– 6 Pa. Ses
principaux inconvénients sont sa relative fragilité et surtout sa sensi-
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
3. Mesure des pressions Quel que soit le type d’analyseur, après tri les ions sont recueillis
sur une électrode reliée à un électromètre ou à un multiplicateur
partielles d’électrons secondaires (lorsque les pressions partielles à mesurer
sont très basses).
Il existe de nombreux cas d’utilisation d’appareils sous vide où

la connaissance de la composition de l’atmosphère raréfiée est aussi
importante que la mesure de sa pression totale. On peut citer, à titre
d’exemple, la fabrication de résistance de nitrure de tantale par
pulvérisation cathodique, où les impuretés modifient sensiblement
la résistivité des couches déposées. On a donc besoin, pour cette
analyse, de spectromètres adaptés au fonctionnement sous vide, qui
sont en général électromagnétiques (spectromètres de masse).
3.1 Analyseurs de gaz

Comme leur nom l’indique, les spectromètres de masse sont des
appareils qui trient les molécules en fonction de leur masse. Pour
ce faire, on opère sur des ions dont la trajectoire dans un champ
électromagnétique est déterminée par la valeur du champ lui-même,
l’énergie des ions et le rapport m /q de la masse de l’ion à sa charge.
On voit donc que, dans un champ donné, la trajectoire ne sera déter-
minée que par le rapport m /q.
La spectrométrie de masse constitue une technique difficile ; nous
décrirons sommairement le principe des principaux appareils utilisés
pour la mesure des pressions partielles dans les systèmes sous vide.
Pour plus de détails, le lecteur se reportera à l’article [61] des Tech-
niques de l’Ingénieur, ainsi qu’aux références [22] à [29].
Figure 17 – Spectromètre de masse à déflexion magnétique
Un spectromètre de masse comprend deux parties principales :
— une source d’ions ;
— un système analyseur .
Dans les appareils destinés à la mesure des pressions partielles,
la source d’ions est du type à cathode chaude et à tension d’accéléra-
tion variable.
C’est après la production des ions que des différences importantes
apparaissent au niveau du système d’analyse. Les analyseurs les
plus fréquemment utilisés sont de deux types :
— les spectromètres à déflexion magnétique ;
— les analyseurs quadripolaires.
■ Dans les spectromètres à déflexion magnétique, on injecte les
ions, venant de la source d’ions, dans un champ magnétique qui est
orthogonal à leur trajectoire initiale (figure 17). Le champ magné-
tique courbe la trajectoire des particules qui décrivent un arc de
cercle dont le rayon varie avec la masse (plus m /q est grand, plus le
rayon est grand).
Pour des commodités de construction, les analyseurs à déflexion
magnétique fonctionnent en fait avec une fente d’entrée et une
fente de sortie fixes, de façon à définir un rayon de trajectoire
invariable. L’analyse se fait alors soit en faisant varier la tension
d’accélération de la chambre d’ionisation, soit en utilisant un
électroaimant pour faire varier le champ magnétique. La première
solution est de loin la plus répandue dans les analyseurs de gaz
résiduels, car elle est moins coûteuse que l’utilisation d’un
électroaimant. Par contre, elle conduit à un spectre non linéaire, la
distance entre deux pics successifs étant d’autant plus faible que
m /q est grand.
■ Le fonctionnement des analyseurs quadripolaires (figure 18) est
moins évident que celui des appareils du type précédent. Les barres
sont reliées électriquement deux à deux et alimentées par une source
de tension continue V 0 à laquelle on superpose une tension alterna-
tive haute fréquence V 1 cos ωt ; de cette manière, on provoque des
oscillations dans le plasma injecté pour faire en sorte que seuls les
ions d’un rapport m /q donné gardent une trajectoire stable et sortent
par la fente de sortie, les autres s’écartent de l’axe du faisceau et sont
collectés par les barres cylindriques. Figure 18 – Analyseur quadripolaire
______________________________________________________________________________________________________________________ MESURE DU VIDE
En technique du vide, on n’a que très rarement besoin de Le spectre d’un corps pur est donc constitué de plusieurs pics,
rechercher des corps dont le rapport m /q est supérieur à 300. De correspondant chacun à un type d’ion :
ce fait, le filtre de masse quadripolaire, plus facile d’emploi que — ion simple (un électron en moins) ;
son concurrent, tend à devenir l’analyseur le plus courant. Son — ion multichargé (deux ou plusieurs électrons arrachés) ;
type de construction est plus facilement adaptable à la technologie — résidu de décomposition par cracking .
de l’ultra-vide (il est étuvable), et il donne un spectre où les pics
Dans le tableau 4 on donne, pour quelques contaminants
sont régulièrement espacés, alors que les analyseurs à secteur
courants, le spectre élémentaire. (0)
magnétique ont tendance à resserrer les pics correspondant aux
masses élevées.
Actuellement, à performances identiques, le prix est également
en faveur des quadripôles.
Tableau 4 – Spectre élémentaire de quelques contaminants
La limite de tous ces appareils se situe vers 1 · 10–2 Pa en haute Pic
pression et aux environs de 1 · 10–12 à 2 · 10–12 Pa pour la pression Composé Pics secondaires
principal
minimale détectable. (Pour l’azote, cela correspond à environ
40 ions /s à l’entrée du multiplicateur d’électrons secondaires.) Méthane 16 15 (80 %)
Utilisés en analyseurs, ils permettent de mesurer des concentrations Ammoniac 17 16 (80 %)
d’impuretés d’environ 0,1 ppm. Diborane 26 27 (97 %) ; 24 (90 %) ; 25 (57 %) ;
23 (46 %) ; 11 (28 %)
■ Par ailleurs pour les applications nécessitant une vitesse d’analyse Éthane 28 27 (62 %) ; 26 (56 %)
élevée, les quadripôles sont concurrencés par les analyseurs à temps Alcool méthylique 31 32 (70 %) ; 29 (50 %)
de vol, capables de délivrer jusqu’à 1 000 spectres par seconde. Hydrogène sulfuré 34 32 (44 %) ; 33 (42 %)
Le principe de discrimination des masses est simple ; on accélère Alcool éthylique 31 45 (50 %) ; 29 (22 %) ; 27 (20 %)
les ions pendant un temps très court (quelques nanosecondes) et
Pour les pics autres que le pic principal, la hauteur relative (par rapport au
on mesure le temps de vol des ions entre la sortie de la source et pic principal) est indiquée entre parenthèses.
le collecteur. Les ions accélérés ayant tous la même énergie, leur
temps de vol dépend directement de leur masse.
L’analyse d’un spectre, permettant de retrouver la composition
d’une atmosphère résiduelle, est donc essentiellement une opéra-
tion d’analyse combinatoire. En spectrométrie de masse, on fait
3.2 Interprétation des mesures appel à des bases de données informatiques qui permettent d’iden-
tifier plusieurs dizaines de milliers de molécules différentes.
L’interprétation d’un spectre demande une grande attention car, Il faut également se souvenir qu’un spectromètre de masse n’étant
sauf exception, il n’y a pas de relation biunivoque entre un corps pas autre chose qu’une jauge à ionisation perfectionnée, on y
chimique donné et un pic sur le spectre. retrouve les mêmes problèmes de sensibilité en fonction de la nature
du gaz (problèmes compliqués par les variations du gain du multi-
Exemple : prenons le cas de m /q = 28 (m étant exprimée en unités plicateur d’électrons suivant la masse et l’énergie des ions qu’il
de masse atomique). La hauteur du pic correspondant est la somme des reçoit).
contributions des éléments suivants : Sur un enregistrement, la hauteur des pics est proportionnelle au
azote (N2 ) ; non oxyde de carbone (CO) ; éthane (C2H4 ). courant ionique et non à la pression partielle du gaz, qu’il est néces-
Il est bien évident que, dans ce cas, il va être assez délicat de séparer saire de déterminer en tenant compte de la sensibilité de l’appareil
la contribution de chacun de ces corps. pour le gaz considéré.
Le tableau 3 indique le rapport m /q des principales substances Fort heureusement, en technique du vide, on peut se contenter
rencontrées dans un système sous vide. (0) d’une analyse qualitative dans la plupart des cas, mais il n’en
demeure pas moins qu’un dépouillement peut dans quelques cas
prendre beaucoup de temps.
Tableau 3 – Rapport m/q de quelques corps (1)
Corps m/q
(u)
4. Problèmes d’étalonnage
Hydrogène moléculaire ................................. 2
Hélium ............................................................. 4 La plupart des manomètres que nous avons examinés mesurent
Carbone ........................................................... 12 une grandeur qui ne représente la pression que de manière indirecte,
Azote atomique .............................................. 14 il est donc nécessaire de les étalonner. On procède généralement
Vapeur d’eau................................................... 18 de deux manières pour effectuer cette opération :
Néon ................................................................ 20 — par comparaison avec un manomètre de Mac Leod pour les
Azote moléculaire........................................... 28 pressions supérieures à 10–2 Pa (§ 4.1) ;
Oxygène moléculaire ..................................... 32 — par une méthode d’expansion (§ 4.2).
Argon............................................................... 40
Anhydride carbonique ................................... 44
(1) m masse en unités de masse atomique (u) ; 4.1 Comparaison à un manomètre
q charge de l’ion, en nombre de charges élémentaires.
de Mac Leod
La plupart des corps rencontrés durant l’analyse, et plus spéciale-
ment les contaminants, sont des molécules complexes dont l’ionisa- Bien qu’elle paraisse aller de soi, cette méthode peut conduire à
tion donne des ions de différentes natures. d’assez grosses erreurs systématiques par suite des effets provoqués
par l’écoulement de la vapeur de mercure.
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
Pour utiliser un manomètre de Mac Leod (lors de la mesure des

pressions inférieures à 1 Pa) associé à un autre appareil de mesure,
il faut s’affranchir de la pression de vapeur saturante du mercure.
Pour cela, le manomètre de Mac Leod est précédé d’un piège refroidi
à l’azote liquide qui condense la vapeur de mercure. Ce piège agit
en fait comme une pompe à mercure, et un écoulement de vapeur
de mercure existe de la jauge vers le piège.
Les molécules du gaz dont on mesure la pression diffusent dans
le courant de vapeur de mercure et certaines d’entre elles sont
entraînées. Il y a là un phénomène qui ressemble à celui qui est
responsable du fonctionnement des pompes à diffusion.
La pression que mesure le manomètre de Mac Leod est donc
systématiquement plus basse que la pression vraie. L’erreur ainsi
commise peut être grande, aussi, depuis Gaede, qui signala le
premier ce phénomène au début du siècle, d’assez nombreuses
études théoriques ont-elles été entreprises pour calculer au moins
l’ordre de grandeur des corrections à effectuer [33] [37] [42]. Suivant Figure 19 – Installation d’étalonnage par expansion statique
les simplifications admises, les expressions auxquelles ces divers
travaux aboutissent sont différentes. On peut utiliser l’expression (1),
due au National Physical Laboratory, qui est valable pour des La détermination de la pression P 1 qui règne dans le volume V
se fait par application de la loi de Mariotte :
pressions inférieures à 0,1 Pa.
Si nous notons : P v = P 1 (V + v )
D (mm) diamètre du tube reliant le manomètre au piège ; La connaissance de P 1 nécessite donc la mesure préalable des
P (Pa) pression vraie ; volumes v et V , ce qui ne pose pas de problèmes insurmontables ;
P’ (Pa) pression mesurée par le manomètre de Mac Leod ; par contre, et c’est déjà plus difficile, il est nécessaire que la pression
P Hg (Pa) pression de vapeur saturante du mercure à la résiduelle dans le système soit nettement plus basse que P 1 . Pour
température du manomètre ; cela, chacune des chambres est équipée d’une pompe secondaire
(pompe turbomoléculaire ou pompe à diffusion convenablement
on a alors [39] : piégée) et est construite suivant la technologie de l’ultra-vide
2K P (l’ensemble doit être entièrement métallique pour être étuvé
P – P ′ = P Hg – ---------- ln -------- (1)
D P′ à 400 oC) afin de minimiser de dégazage perturbateur.
Le coefficient K est fonction de la nature du gaz et peut se déduire (La figure 19 représente une version simplifiée de l’installation
de considérations théoriques liées au coefficient de diffusion où les deux chambres sont reliées à la même pompe).
mutuelle, il varie avec la température du gaz. Outre les incertitudes sur la mesure de la pression initiale par le
À 25 oC, pour différents gaz, K prend les valeurs ci-dessous : (0) manomètre M 1 , la plus grande cause d’erreur est certainement
constituée par la désorption des parois (ou par l’adsorption dans
certains cas), puis par l’écart à la loi de Mariotte provoquée par
l’utilisation d’un gaz imparfait.
Gaz N2 Ar Kr Xe
Cela limite l’utilisation de cette méthode à des pressions rarement
K (Pa · mm) 0,123 0,121 0,080 5 0,451 plus basses que 1 Pa. Pour pouvoir l’utiliser à des pressions infé-
rieures, on a introduit ces dernières années une méthode d’expan-
sion dynamique [46], dérivée de la précédente du point de vue
L’erreur relative est d’autant plus grande que la pression est plus montage expérimental, mais sensiblement différente quant aux
basse, elle peut atteindre 80 % à 1 Pa avec le xénon. On peut la mini- principes physiques mis en œuvre. On doit également signaler la
miser en veillant à opérer dans une ambiance ne dépassant pas méthode d’Oatley, ou de la conductance variable [43], qui permet
20 oC. La correction est faible pour les gaz légers (hélium, hydrogène) l’étalonnage de jauges à ionisation, en régime d’écoulement molé-
pour lesquels elle peut pratiquement être négligée, mais très notable culaire, bien qu’elle ait initialement été mise au point pour la mesure
pour les gaz lourds. En veillant à utiliser une canalisation de raccor- du débit-volume des pompes à diffusion.
dement entre la jauge et le piège d’un diamètre inférieur à 1 cm, Quelle précision peut-on espérer de ces différentes méthodes ?
on peut se dispenser de cette correction. Ruthberg du National Bureau of Standards (Washington) annonce
Il est donc bien difficile de parler d’étalonnage dans ces conditions, les valeurs suivantes [45] :
et les comparaisons ne permettent guère une précision meilleure — expansion statique : ± 1 % ;
que 10 %. — expansion dynamique : ± 5 % ;
— comparaison avec une jauge de Mac Leod : ± 2 % ;
— intercomparaison de jauges à ionisation entre elles : ± 20 %.
4.2 Méthode d’expansion Certains auteurs prétendent à des précisions meilleures dans
quelques cas particuliers, mais il ne faut pas trop se faire d’illusions :
Dans son principe, la méthode d’expansion est certainement une mesure de vide est imprécise.
moins critiquable que la comparaison avec un manomètre de Mac Des travaux de métrologie, longs et délicats, ont été entrepris à
Leod, mais sa mise en œuvre est très délicate. l’échelle internationale pour tenter d’apprécier la précision absolue
Le schéma d’une installation permettant l’exposé de la méthode qu’il est possible d’atteindre dans les mesures du vide poussé. Des
est représenté sur la figure 19. comparaisons entre laboratoires européens, utilisant un capteur à
Un volume de gaz v, à une pression P (mesurée par le mano- ionisation du type haute pression (Schultz-Phelps) entre 8 × 10– 7
mètre M 1 ) est détendu dans un volume plus grand V sur lequel et 8 × 10– 4 mbar, ont montré que ce type de jauge peut être utilisé
sont raccordés les manomètres (M 2 et M 3 ) à étalonner. La pression comme référence avec une incertitude de ± 2 %. Mais le problème
P est suffisamment élevée pour que sa mesure soit effectuée avec de la dispersion d’un capteur à l’autre ne semble toujours par résolu
un manomètre absolu (Mac Leod ou jauge à bille). et les experts hésitent à s’engager sur des précisions meilleures que
5 % [47] [51] [53].
______________________________________________________________________________________________________________________ MESURE DU VIDE
5. Corrections Knudsen (intermédiaire entre l’écoulement moléculaire et l’écoule-

ment visqueux), on peut utiliser la formule suivante [38] :
dues à la température
Lorsque, dans une installation, la température du capteur
∆P
---------- =
P2 T1
1 – --------
T2 Jx 2 + K x + 1
1
------------------------------------
- (2)
manométrique est différente de celle du réservoir contenant le gaz P2⋅D

avec x -,
= --------------------------------------
T1 + T2 4 ⁄ 3

à mesurer, on commet une erreur systématique qui peut être impor-
tante. Cette erreur est de nature différente selon que l’on opère avec ----------------------
2
des gaz permanents ou avec des vapeurs condensables (ou un
mélange qui contient beaucoup de vapeurs condensables). Dans le D (mm) diamètre de la canalisation,
premier cas, on a affaire au phénomène d’effusion thermique, dans P 2 (Pa) pression du gaz à la température T 2 ,
le second cas, la perturbation est engendrée par la condensation de
la vapeur. T 1 , T 2 (K ) températures.
Les valeurs des coefficients J et K correspondant à la formule (2)
sont données, pour quelques gaz, dans le tableau 5.
5.1 Effusion thermique On peut estimer qu’il existe une corrélation linéaire entre In K
(ou In J ) et In σ, σ étant le diamètre moléculaire classique à 0 oC.
Malheureusement cette caractéristique est très mal connue, puisque
5.1.1 Régime moléculaire obtenue, par le calcul, à partir de mesures de viscosité.
Si l’on considère deux enceintes à des températures différentes Les effets dus à l’effusion thermique sont trop souvent ignorés,
T 1 et T 2 , dans lesquelles un même gaz est en régime moléculaire, alors que leur prise en compte permet, dans bien des cas, des
on peut montrer que les pressions P 1 et P 2 qui règnent dans chacun corrections non négligeables (on évite ainsi de rendre responsable
des réservoirs sont différentes. Pour simplifier, on admet que la cana- le manomètre et sa dérive thermique).
lisation de raccordement entre la jauge et le réservoir est assimilable
à un orifice en mince paroi et l’on a alors :
5.2 Effets de la condensation
P T1
--------1- = --------
P2 T2 Lorsque le réservoir contient en grande quantité une vapeur
proche de ses conditions de saturation, on peut provoquer la
En introduisant l’erreur de mesure ∆P = P 2 – P 1 on a encore : condensation de cette vapeur dans la jauge si sa température est
plus basse que celle du réservoir ; c’est très souvent le cas en
∆P T1 séchage. À la limite, il devient alors impossible de réaliser une
---------- = 1 – --------
P2 T2 mesure significative, si la canalisation de raccordement a une faible
conductance. L’introduction de liquide dans le capteur peut éga-
La réalité est évidemment un peu plus complexe, car la canalisa- lement provoquer quelques inconvénients (du genre court-circuit
tion est réelle , mais la correction précédente est utilisable. dans un manomètre électronique).
Dès que, dans une installation, interviennent des surfaces Il est possible d’utiliser, dans ces cas, la méthode, due à Gaede,
refroidies à des températures cryogéniques ou des éléments portés du lest d’air [36]. Considérons une installation telle que celle
à haute température, il est nécessaire de vérifier les effets de représentée sur la figure 20. Il règne dans le volume V une pression
l’effusion thermique. Si l’on considère une enceinte à température totale P , avec une pression partielle P 1′ de vapeur condensable. Le
ambiante (T 1 = 300 K) raccordée à un réservoir à la température de
l’azote liquide (T 2 = 77 K ), l’application de la formule ci-dessus manomètre M est monté à l’extrémité d’une canalisation de
montre que les pressions correspondantes sont dans un rapport 2. longueur L et de rayon r . La pression est suffisamment élevée pour
que les conditions du régime moléculaire libre ne soient pas réunies.
Il est, par contre, aisé de vérifier que l’interposition d’un piège à Si l’on introduit, en faible quantité, de l’air dans la canalisation (côté
azote liquide entre un réservoir et un manomètre n’introduit pas de manomètre), la pression partielle de vapeur condensable va baisser
correction par suite de l’effusion thermique, pour autant que le au niveau du manomètre, dans lequel cette vapeur sera remplacée
capteur de mesure soit à la température du réservoir. par l’air, par suite de la diffusion de l’air dans la vapeur. En appelant
Q a le flux d’air introduit (exprimé en Pa · m 3 · s–1), on peut montrer
5.1.2 Régime de Knudsen que l’on a :
P 1′

Q aL
n ---------- = ----------------------
-
La situation est nettement plus compliquée dès que les conditions P 2′ πr 2 DP
du régime moléculaire ne sont plus respectées. Lorsque la canalisa-
tion qui relie le manomètre au réservoir a un diamètre qui corres- avec D (m2 · s–1) coefficient de diffusion mutuelle de la vapeur
pond, pour la mesure considérée, à un régime d’écoulement de considérée dans l’air introduit,
P 2′ ( Pa ) pression au niveau du manomètre,
P et P 1′ étant exprimés en pascals,
L et r en mètres.
(0)
Tableau 5 – Coefficients d’effusion thermique en régime de Knudsen (formule (2))

Gaz He Ne H2 Ar CO N2 Kr CH4 CO2 Xe C 2 H4 SF6
J 25 40 76 900 740 660 4 300 2 800 11 300 13 000 34 000 17 000
K 12 12,8 22,5 75 58 56 150 135 225 285 430 200
MESURE DU VIDE ______________________________________________________________________________________________________________________
— la jauge de Bayard et Alpert à électrode modulatrice de

Redhead, moins coûteuse qu’une jauge à collecteur caché, mais très
délicate à utiliser et surtout à interpréter.
Nous nous arrêterons là, car il faudrait aussi faire mention de ceux
qui ont un intérêt historique ou bien qui exploitent une idée nouvelle
(comme l’étude du spectre du mouvement brownien) ou encore une
technologie nouvelle (comme la réalisation d’un manomètre
thermique à partir d’un oscillateur à quartz) [55].
L’évolution des besoins des physiciens et leur imagination font
apparaître régulièrement de nouvelles propositions ; ainsi ce mano-
mètre thermodynamique à adsorption capable d’une dynamique
énorme (19 décades) et d’une sensibilité impressionnante
Figure 20 – Mesure avec lest d’air (≈ 10–18 Pa) ! [48].
Nous avons regroupé en figure 2 les principaux manomètres
Pour que l’air introduit ne perturbe pas sensiblement la mesure, disponibles sur le marché avec, pour chacun, leur plage de mesure.
il suffit que son débit soit tel que Q a /S ? P , S étant le débit-volume À considérer cette avalanche de modèles et l’étendue de mesure
de la pompe à vide installée sur le réservoir V . Cette méthode, bien de chacun d’eux, on serait tenté de croire que, pour chaque zone
que délicate à mettre en œuvre, peut rendre de grands services ; elle de pression, il existe au moins un manomètre qui permette des
permet de faire des mesures sans correction avec les manomètres mesures sérieuses. Ce n’est pas tout à fait vrai si l’on fait intervenir
thermiques, puisqu’ils opèrent en fait sur de l’air. le paramètre prix ; et la zone comprise entre 1 et 10 –2 Pa apparaît
alors comme d’un abord délicat : il est déconseillé d’utiliser les
manomètres à ionisation aux pressions supérieures à 10–2 Pa (les
manomètres à cathode froide se polluent rapidement, et les jauges
6. Conclusion à cathode chaude ont une durée de vie réduite par combustion du
filament), et les manomètres thermiques travaillent aux limites de
leur sensibilité. Le manomètre idéal pour cet intervalle de pression
Nous nous sommes limités à la description des manomètres que reste à inventer, à moins que le prix des appareils capacitifs à
l’on rencontre réellement sur des installations industrielles ou dans membrane baisse très notablement.
les laboratoires, mais il existe d’assez nombreux autres modèles,
parmi lesquels on peut citer : Par ailleurs, les appareils de mesure du vide subissent la même
évolution générale que les autres appareils de métrologie : la
— les manomètres à mercure, dérivés du modèle original de Mac
tendance est à l’utilisation d’une électronique miniaturisée, logée au
Leod pour lui apporter des perfectionnements d’ordre technologique
plus près du capteur, et communiquant avec l’utilisateur (ou le
(manomètres de Kammerer, de Dunoyer, de Moser, de Wohl...) [1]
système) par des liaisons numériques.
[2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] ;
P
O
Mesure du vide U
R
par Denis PERRILLAT-AMÉDÉ

E
IngénieurENSMM(Écolenationalesupérieuredemécaniqueetdesmicrotechniques)
Ex-ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel. N
Cetarticleactualisel’articleprécédemmentrédigépar PierreDUVAL,ancienchefduser-
vice Études-Vide CIT-Alcatel, dont il reprend de larges extraits.
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numéro, notamment :
Vuoto (Italie)
R
Normalisation
Bien qu’elles traitent des mêmes sujets ou des mêmes méthodes, les normes Normes allemandes
P répertoriées ne sont pas toujours équivalentes ; en particulier, il existe très
souvent des divergences sensibles entre les normes européennes et leurs Deutsches Institut für Normung DIN
DIN 28400 Beiblatt 1 10.82 Vakuumtechnik ; Benennungen und Defini
homologues américaines.
L Normes françaises
tionnen ; Alphabetisches Stichwortvezeichnis /
Vacuum technology, terms and definitions ;
alphabetical index.
Association française de normalisation (AFNOR)
U X 10-500
X 10-501
11.75
5.76
Technique du vide. Vocabulaire. Termes généraux.
Technique du vide. Vocabulaire. Pompe à vide.
DIN 28400 Teil 1 05.90 (ISO 3529-1-1981) Vakuumtechnik ; Benen nung
und Definitionen ; Allgemeine Benennungen /
S X 10-502 5.80 Technique du vide. Termes et définitions. Manomètre à

vide. Lexique multilingue.
DIN 28400 Teil 2 10.80
Vacuum technology ; terms and definitions ;
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par comparaison directe. tionen ; Vakuummeβgeräte / Vacuum techno-
logy; terms and definitions ; vacuum gauges.
X 10-522 8.76 Technique du vide. Manomètre à ionisation. Étalonnage.
Méthode par comparaison directe. DIN 28401 11.76 Vakuumtechnik ; Bildzeichen , Übersicht /
Vacuum technology ; graphical symbols,
X 10-523 11.72 Technique du vide. Méthodes générales d’étalonnage des
summary.
manomètres par les basses pressions.
DIN 28402 12.76 Vakuumtechnik ; Gröβen, Formelzeichen, Ein-
X 10-524 8.76 Technique du vide. Manomètres-Étalonnage. Méthode
heiten, Übersicht / Vacuum technology ; quanti-
dynamique.
ties, symbols, units, summary.
X 10-525 11.79 Technique du vide. Manomètres à vide du type à
DIN 28410 11.68 Vakuumtechnik ; Massenspektrometrische Par-
conductibilité thermique. Étalonnage par comparaison
tialdruck-Meβgeräte, Begriffe, Kenngröβen,
directe avec un manomètre de référence.
Betriebsbedingungen / Vacuum Technology ;
NF EN 472 12.94 Manomètres. Vocabulaire. Mass Scpetrometer Partial Pressure Gauges ;
D e fi n i t i o n s , C h a r a c t e r i s t i c s , O p e r a t i n g
NF E 04-201 1.94 Processus industriels. Représentation symbolique.
Conditions.
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DIN 28411 03.76 Vakuumtechnik ; Abnahmeregeln für Massens-
Normes internationales pektrometer-Lecksuchgeräte, Begriffe / Vacuum
International Organization for Standardization ISO technology ; acceptance specifications for mass
ISO 3529-1 1981 Technique du vide. Vocabulaire. spectrometer-type leakdetector, terms.
Partie 1 : Termes généraux. DIN 28416 03.76 Vakuumtechnik ; Kalibrieren von Vakuum-
ISO 3529-3 1981 Technique du vide. Vocabulaire. mentern im Bereich von 10–3 bis 10 –7 mbar, All-
Partie 3 : Manomètres à vide. gemeines Verfahren : Druckerniedrigung durch
beständige Strömung / Vacuum technology ;
ISO 3753 1977 Technique du vide. Symboles graphiques.
calibration of vacuum gauges within the range
ISO 3530 1979 Technique du vide. Étalonnage des spectromètres de of 10 – 3 to 10 –7 mbar, general method : pressure
masse détecteurs de fuite. reduction by continuous flow.

Doc. R 2 050 − 2 est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
______________________________________________________________________________________________________________________ MESURE DU VIDE
P
O
DIN 28417 03.76 Vakuumtechnik ; Messen des pV-Durch- flusses
nach dem volumetrischen Verfahren bei kons-
tanten Druck / Vacuum technology ; measure-
DIN 28418 Teil 2 09.78 Vakuumtechnik ; Standard-Verfahren zum Kali-
brieren von Vakuummetern durch direkten
Vergleich mit einem Bezugsmeβgerät, lonisa-
U
ment of throughput by the volumetric method at
constant pressure.
tionsvakuummeter / Vakuum technology ; stan-
dard method for vacuum gauge calibration by
direct comparison with a reference vacuum
R
DIN 28418 Teil 1 05.76 Vakuumtechnik ; Standard-Verfahren zum Kali-
gauge, ionization vacuum gauge.
brieren von Vakuummetern durch direkten Ver-
gleich mit einem Bezugsmeβgerät, Allgemeine DIN 28418 Teil 3 08.80 Vakuumtechnik ; Verfahren zum Kalibrieren von
Grundlagen / Vacuum technology ; standard Vakuummetern durch direkten Vergleich mit
method for vacuum gauge calibration by direct
comparison with a reference vacuum gauge.
einem Bezugsmeβgerät, Wärmeleitungs-
vakuummeter / Vacuum technology ; standard
E
method for vacuum gauge calibration by direct
comparison with a reference vacuum gauge,
thermal conductivity gauges.
N
Fournisseurs de manomètres à vide S
Alcatel CIT, Division technologie du vide Okano
Balzers
CCM Instruments
Perkin Elmer
Riber
A
Edwards
Galileo
Stokes
Teledyne
V
Grandville Phillips
Hasting-Raydist
Televac
Ulvac
O
Leybold
Leybold Inficon
UTI
Varian
I
Mitsubishi
MKS Baratron
Veeco
VRC R
NGS
Organismes P
France
Société française du vide (SFV)
Japon
Japan Vacuum Society (JVS)
L
États-Unis
American Vacuum Society (AVS)
Organisme international
International Union for Vacuum Science. Technique and Applications (IUVSTA)
U
S

est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle Doc. R 2 050 − 3

Mesure Du Vide: Denis Perrillat-Amédé

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Mesure du vide

par Denis PERRILLAT-AMÉDÉ

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1. Problèmes généraux. Unités................................................................. R 2 050 - 2

— vide moyen 10 –1 Pa < P < 10 2 Pa ;

■ La sensibilité d’un manomètre peut varier dans le temps en

2. Manomètres La figure 2 résume le domaine de mesure des principaux types

Figure 2 – Domaine d’emploi des principaux types de manomètres à vide

2.2 Manomètre de Mac Leod

Tableau 1 – Coefficients de correction

Gaz Air H2 He Ne Ar Kr Xe CO2

Les manomètres à thermocouple ont un temps de réponse

Malgré tous leurs défauts, les manomètres thermiques sont

2.4 Manomètres à ionisation

Figure 10 – Caractéristique pression-courant d’une jauge

Figure 9 – Manomètre de Penning à double plasma

La caractéristique pression/courant d’un manomètre à ionisation

2.4.2 Manomètre triode (jauge à cathode chaude)

2.4.3 Correction des manomètres à ionisation

Tous les manomètres à ionisation ont une sensibilité variable avec

Figure 14 – Jauge de Blechschmidt

Figure 13 – Jauge à collecteur caché de Groszkowski

2.5 Manomètres thermomoléculaires

Il existe de nombreux cas d’utilisation d’appareils sous vide où

3.1 Analyseurs de gaz

Pour utiliser un manomètre de Mac Leod (lors de la mesure des

5. Corrections Knudsen (intermédiaire entre l’écoulement moléculaire et l’écoule-

manométrique est différente de celle du réservoir contenant le gaz P2⋅D

Tableau 5 – Coefficients d’effusion thermique en régime de Knudsen (formule (2))

— la jauge de Bayard et Alpert à électrode modulatrice de

par Denis PERRILLAT-AMÉDÉ

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V [48] TABOREK (P.) et GOODSTEIN (D.). – Control of

S X 10-502 5.80 Technique du vide. Termes et définitions. Manomètre à

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