Académique Documents
Professionnel Documents
Culture Documents
Nettoyage RCA
Test hydrophobie
Si
2.
Oxydation humide
6000-6500 angstrms
SiO2
Si
SiO2
3.
Photolithographie Masque 1
a-
b-
Alignement du masque
SiO2
Si
SiO2
Rsine
Masque
3.
Photolithographie Masque 1
c-
Insolation UV
SiO2
Si
SiO2
Rsine
Masque
Rsine expose UV
3.
Photolithographie Masque 1
d-
SiO2
Si
SiO2
Rsine
Rsine expose UV
3.
Photolithographie Masque 1
e-
Gravure SiO2
Attention au risque de surgravure
SiO2
Si
SiO2
Rsine
3.
Photolithographie Masque 1
f-
D laquage - Remover
SiO2
Si
Rsine
4.
B B B B B B B B B B B B B B
SiO2
Si
Si dop P
5.
Photolithographie Masque 2
a-
Ouverture de la grille
Dpt rsine photosensible positive
b-
Alignement du masque
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
Masque
5.
Photolithographie Masque 2
c-
Ouverture de la grille
Insolation UV
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
Masque
5.
Photolithographie Masque 2
Ouverture de la grille
d-
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
5.
Photolithographie Masque 2
Ouverture de la grille
e-
Gravure SiO2
Attention au risque de surgravure
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
5.
Photolithographie Masque 2
Ouverture de la grille
f-
D laquage - Remover
Nettoyage RCA
SiO2
Si
Si dop P
6.
Oxydation sche
Oxyde de grille 900 1000 angstrms
SiO2
Si
Si dop P
7.
Photolithographie Masque 3
Ouverture des contacts
a-
b-
Alignement du masque
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
Masque
7.
Photolithographie Masque 3
Ouverture des contacts
c-
Insolation UV
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
Masque
7.
Photolithographie Masque 3
Ouverture des contacts
d-
e-
Gravure SiO2
Attention au risque de surgravure
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
7.
Photolithographie Masque 3
Ouverture des contacts
f-
D laquage - Remover
SiO2
Si
Si dop P
Rsine
8.
Dpt Aluminium
SiO
SiO2 2
Si
Si dop P
Aluminium
8.
Photolithographie - Masque 4
Isolation des contacts daluminium
a-
b-
Alignement du masque
SiO
SiO2 2
Si
Si dop P
Aluminium
Rsine
8.
Photolithographie - Masque 4
Isolation des contacts daluminium
c-
Insolation UV
SiO
SiO2 2
Si
Si dop P
Aluminium
Rsine
8.
Photolithographie - Masque 4
Isolation des contacts daluminium
d-
e-
Gravure Aluminium
SiO
SiO2 2
Si
Si dop P
Aluminium
Rsine
8.
Photolithographie - Masque 4
Isolation desFIN
contacts daluminium
f-
D
laquage
- Remover
Recuit
aluminium
SiO
SiO2 2
PMOS
Si
Si dop P
Aluminium
Rsine
SiO2
Si
Rsine
Rsine expose UV
Aluminium