Chap 2

Formation Doctorale Microélectronique
Module :
Industrie Microélectronique
Presenter par:
Dr: Riad SAIDI
CHAPITRE I. La loi de Moore et l’évolution de transistor
CHAPITRE II. Les Salles blanches
CHAPITRE III. Du transistors a la naissance des puces mems et nems
CHAPITRE IV. L’effet de l’industrie micro électronique sur l’environnement et sur l’économie de
pays.
Chapitre II: Les salles blanches
II.1.Signification technique de salle blanche
 Une salle blanche est dite plus exactement salle

propre selon le sens courant utilisé en langage habituel.
 Pour nous une salle blanche est une pièce ou une série
de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée
afin de minimiser l'introduction, la génération, la
rétention de particules à l'intérieur, généralement dans
un but spécifique industriel ou de recherche
scientifique.
 Les paramètres tels que la température, l'humidité et la

pression relative sont également maintenus à un niveau
précis.
II.2. Tâche
 La salle blanche appartient aux secteurs relatifs à la

recherche scientifique et plus particulièrement à la
recherche physique.
 Elle est destinée à être le milieu de fabrication de tout ce

qui a un rapport à des domaines susceptibles d’être
sensibles aux différentes contaminations
environnementales :
-La fabrication des dispositifs à semi-conducteurs,

-Les biotechnologies,
-Les autres domaines de la biologie,
II.2. Tâche
- L'industrie agroalimentaire, généralement dans les salles de

tranchage,
- La construction d'engins spatiaux,
- La préparation des produits pharmaceutiques stériles,
- La construction d'optique ou de micro-mécanismes,
- Dans les hôpitaux pour les blocs opératoires ou de bactériologie.
 Ces salles sont également utilisées dans le cadre de la recherche

médicale pour la fabrication de radioéléments créés artificiellement
pour des applications médicales ou autres.
II.2.Tâche
 Dans ces salles, les objets et substances manipulés ont des

tailles de l'ordre du micromètre ou du nanomètre et les
particules présentes dans l'air non purifié peuvent être bien plus
grosses et se fixer dessus.
 D'autre part, les expériences chimiques ou bactériologiques

effectuées peuvent être dangereuses pour l'homme ou
l'environnement.
 Les travaux réalises sont exigeants d'être sensibles aux

variations de pression, de température, d'humidité ou à la
présence de gaz, vapeurs chimiques ou matière radioactive dans
le cas de la fabrication d'isotopes.
II.2. Tâche
 L'éclairage peut être également contrôlé pour les opérations sensibles

aux ultraviolets comme la photolithographie, aux infrarouges ou
certaines fréquences du spectre lumineux pour l'optique.
 Des exigences de ventilation nucléaire pour empêcher toute

contamination de sortir de la zone contrôlée tout en créant des sas qui
protègent cette enceinte de la pollution extérieure et en maintenant
stables les conditions atmosphériques intérieures.
 Pour plus de sureté des mesures radioprotection peuvent également être

prises pour assurer la protection de l'Homme et de son
environnement contre les effets néfastes que peut générer une
exposition à des rayonnements dans ces espaces.
II-3- Fonctionnement
 L'air entrant dans la salle blanche peut être filtré selon différents niveaux des
tailles d'éléments indésirables ; de la poussière, jusqu'à des tailles de trente fois
inférieures à une cellule humaine.
 Pour limiter le colmatage des filtres prématurément ( technique et filtrage
aéraulique), l'air est repris en point bas dans la salle blanche (aspiration), est filtré
de nouveau dans une centrale de traitement d’air (CTA) puis renvoyé dans la
salle, dans la plupart du temps le renvoie d’air sera par le haut.
 Ce flux d'air recyclé du haut vers le bas renouvelle le

volume d'air total de la salle jusqu'à 60 fois par heure.
 Enfin, pour éviter la concentration du CO2 rejeté par

les scientifiques qui travaillent dans la salle blanche et
pour compenser les ouvertures de portes, environ 30 %
d'air neuf est rajouté chaque heure (taux de
renouvellement horaire), filtrés selon un procédé
similaire au recyclage.
 Dans certaines zones, l'air est complètement neuf.

Il faut différencier deux grands types de salles :
 Le premier type : salles blanches en surpression est obtenue en soufflant dans

l'espace de la salle, davantage d'air propre qu'il n'en n'est aspiré, par rapport à la
pression atmosphérique pour éviter que divers polluants (poussières, bactéries...)
puissent entrer, que l'on retrouve principalement dans l'industrie pharmaceutique et
électronique.
 Le deuxième type: salles blanches qui en dépression par rapport à la pression

atmosphérique pour éviter que divers contaminants (virus, bactéries, ...) ne
puissent sortir, dans ce cas l'air changé extrait, passe à travers un filtre absolu
avant d'être évacué vers l'extérieur.
 Sachant que le corps humain produit une quantité importante de produits
contaminants comme les poils, les cheveux, les cellules de peau morte...
 L'entrée et la sortie des salles blanches, se font par l'intermédiaire d'un ou plusieurs
sas, quelquefois équipés d’une douche à air ou à eau, et de vestiaires.
 C'est pour cela que les opérateurs qui opère dans la salle blanche doivent être habillés d'un
équipement plus ou moins important suivant le degré de contamination et d'empoussièrement
toléré dans la salle blanche.
 L'équipement peut comporter une combinaison, un couvre-cheveux (calotte), des gants, des
chaussons, un masque, des sous-vêtements spécifiques.
 Les outils utilisés à l'intérieur sont

choisis pour produire le moins de
particules et d’élément polluant possible.
II-4- Écoulement d’air dans la salle blanche
 Plusieurs types des salles blanches sont pris en fonction des

applications et donc plusieurs types de flux d’air à considérer.
A-L ’écoulement d’air de type turbulent
 Dans ce type d’écoulement la salle blanche se distingue par la

méthode d’alimentation en air.
 L’air est créé par des diffuseurs ou des filtres dans les cloisons.
 Les grilles sont à jet rotorique, on essaie d’obtenir de grandes

inductions d’air car le taux de brassage est relativement faible,
c’est typiquement des salles blanches selon la normes ISO 6.
b-L ’écoulement d'air de type laminaire
 Nommée antérieurement «Flux unidirectionnel», dans ce

type d’écoulement la salle blanche est alimentée en air propre
a travers des filtres a haute efficacité et traverse la salle
blanche de manière unidirectionnelle (écoulement laminaire).
 Pour avoir une bonne distribution, il est nécessaire d’avoir

beaucoup de bouches de soufflage et donc le débit est élevé,
c’est typiquement des salles de bonne qualité.
 Les outils utilisés à l'intérieur sont choisis pour produire le

moins de particules possible.
c-L ’écoulement d'air mixte
 Dans ce type de salle blanche, l’écoulement est mixte, qui découle de la

combinaison de ces deux premiers types « Turbulent » et « Laminaire ».
 Les caractéristiques de la salle blanche « Mixte » sont celles d’une salle

blanche « a écoulement turbulent » dans laquelle une zone précise de la
salle blanche qui est la zone de « travail » exposée à la contamination, est
installée dans une zone à « Flux unidirectionnel » (flux laminaire).
d-L’écoulement d'air type isolateur ou microenvironnement
 Ce type de salle blanche s’apparente au précédent avec un

niveau d’isolement supérieur pour la zone de « travail ».
 Lorsque l’on parle isolateur, on est souvent en milieu

pharmaceutique, on doit donc être attentif au schéma
aéraulique, c’est à dire que la diffusion de l’air doit venir
nettoyer les parois tout autant que la salle.
 On peut obtenir cela en utilisant des grilles à jet hélicoïdes,

c’est l’effet coanda.
II-5- Classification des salles blanche
 Les salles blanches sont classées en fonction de la propreté de leur air.
 L’Organisation internationale de normalisation (ISO) a publié plusieurs normes à ce sujet.
 Cette qualification des salles est réalisée à l’aide d’un compteur de particules qui comptabilise
le nombre de particules dans un volume donné afin de déterminer la classe de la salle blanche.
 Norme ISO 14 644-1 (Particules par mètre cube) Clean room, une technologies
qui est spécialisé dans l’étude et la réalisation de salle sous la normes ISO 5 à
ISO 8 ou classe 100 à classe 100 000.
 Le paramètre le plus important est la quantité de poussière par unité de

volume et c'est le seul paramètre contrôlé pour certaines salles blanches aux
critères plus souples.
 Ces mesures se font à l'aide d'un appareil de mesure qui est :
 Le compteur de particules qui va compter le nombre de particules dans un

volume donné et donc déterminer la classe de la salle blanche.
 La propreté particulaire doit être désignée par un numéro de classification ISO

N.
 La concentration maximale admissible C (particules par mètre cube d'air) pour

chaque particule de taille D prise en compte, est donnée par l'équation :
Le tableau ci-dessous indique les différentes classe ISO avec la valeur de la concentration et la
taille de partule selon la norme ISO 14644-1
 Les classes de salles blanches généralement utilisées dans l'industrie de la

microélectronique :
Classe 1 :
 Cette classe est la plus propre; sa concentration de particules est la plus faible.
 Elle est généralement utilisée pour des applications extrêmement sensibles et

exigeantes, telles que la fabrication de semi-conducteurs avancés.
Classe 10 :
 Cette classe a une concentration de particules légèrement plus élevée que la

classe 1, mais elle reste très propre.
 Elle convient à des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs,

les laboratoires de recherche avancée et les salles blanches pour les dispositifs
médicaux.
Classe 1 000 :
 Cette classe est adaptée à des applications telles que la fabrication de circuits
imprimés, l'assemblage de composants électroniques et d'autres processus de
production nécessitant un certain niveau de propreté.
Classe 10 000 :
 Cette classe est moins stricte en termes de propreté et peut être utilisée dans des
environnements où une certaine contamination est acceptable, par exemple dans
les laboratoires de recherche ou les environnements de test.
N.B:
 Il convient de noter que les classes de salles blanches peuvent varier en fonction
des exigences spécifiques de l'industrie et des normes en vigueur dans un pays
ou une région donnée.
 Il est important de se référer aux normes et réglementations spécifiques

applicables à votre situation pour obtenir des informations précises sur la
classification des salles blanches pour la microélectronique.

II-6- Les fonderies électronique (FABLABS)
 Les fonderies électroniques, également connues sous le nom de fablabs

("fabrication laboratory"), sont des espaces dédiés à la création, à la conception et à
la fabrication de prototypes et de produits électroniques.
 Ces espaces fournissent aux individus, aux entrepreneurs et aux entreprises un

accès à des équipements spécialisés, tels que des imprimantes 3D, des découpeuses
laser, des fraiseuses CNC et d'autres outils nécessaires à la réalisation de projets
électroniques.
 Les fablabs sont conçus pour encourager la créativité, la collaboration et
l'apprentissage.
 Elles offrent un environnement ouvert et accessible où les utilisateurs peuvent

expérimenter et concrétiser leurs idées.
 Ces espaces sont souvent équipés de logiciels de conception assistée par

ordinateur (CAO) et de logiciels de prototypage électronique, permettant aux
utilisateurs de développer leurs projets de manière efficace.
 Les fonderies électroniques jouent un rôle important dans la promotion de
l'innovation technologique et de l'entrepreneuriat.
 Ils permettent aux personnes ayant des idées novatrices de les concrétiser
rapidement et à moindre coût.
 Les fablabs favorisent également l'apprentissage des compétences techniques et

encouragent l'expérimentation dans le domaine de l'électronique.
 Ces espaces sont souvent utilisés par des inventeurs, des étudiants, des
entrepreneurs et des amateurs passionnés d'électronique.
 Ils offrent une plateforme pour la collaboration et l'échange d'idées entre les
membres de la communauté.
 Les fablabs organisent également des ateliers, des formations et des événements
pour partager les connaissances et les compétences en électronique.
 Les fonderies électroniques contribuent à l'émergence de projets innovants dans

divers domaines tels que l'internet, la robotique, les systèmes embarqués, la
domestique et bien d'autres encore.
 Ils jouent un rôle clé dans le développement de prototypes et de produits

électroniques
Ils jouent un rôle important dans le évolution de prototypes et de produits électroniques
personnalisés, aidant ainsi à accélérer le processus de création et de commercialisation.
En résumé:
Les fonderies électroniques, ou fablabs, sont des espaces de création et de fabrication qui
permettent à quiconque d'accéder à des outils et à des équipements spécialisés pour
développer des projets électroniques.
C’est lieu d'innovation, l'apprentissage et la collaboration, jouant ainsi un rôle important
dans le domaine de l'électronique et de la technologie.
Merci de
votre
attention

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CHAPITRE II. Les Salles blanches

CHAPITRE III. Du transistors a la naissance des puces mems et nems

 Une salle blanche est dite plus exactement salle

 Les paramètres tels que la température, l'humidité et la

 La salle blanche appartient aux secteurs relatifs à la

 Elle est destinée à être le milieu de fabrication de tout ce

-La fabrication des dispositifs à semi-conducteurs,

- L'industrie agroalimentaire, généralement dans les salles de

- La construction d'engins spatiaux,

- La préparation des produits pharmaceutiques stériles,

- La construction d'optique ou de micro-mécanismes,

- Dans les hôpitaux pour les blocs opératoires ou de bactériologie.

 Ces salles sont également utilisées dans le cadre de la recherche

 Dans ces salles, les objets et substances manipulés ont des

 D'autre part, les expériences chimiques ou bactériologiques

 Les travaux réalises sont exigeants d'être sensibles aux

 L'éclairage peut être également contrôlé pour les opérations sensibles

 Des exigences de ventilation nucléaire pour empêcher toute

 Pour plus de sureté des mesures radioprotection peuvent également être

 Ce flux d'air recyclé du haut vers le bas renouvelle le

 Enfin, pour éviter la concentration du CO2 rejeté par

 Dans certaines zones, l'air est complètement neuf.

 Le premier type : salles blanches en surpression est obtenue en soufflant dans

 Le deuxième type: salles blanches qui en dépression par rapport à la pression

 Les outils utilisés à l'intérieur sont

 Plusieurs types des salles blanches sont pris en fonction des

A-L ’écoulement d’air de type turbulent

 Dans ce type d’écoulement la salle blanche se distingue par la

 Les grilles sont à jet rotorique, on essaie d’obtenir de grandes

b-L ’écoulement d'air de type laminaire

 Nommée antérieurement «Flux unidirectionnel», dans ce

 Pour avoir une bonne distribution, il est nécessaire d’avoir

 Les outils utilisés à l'intérieur sont choisis pour produire le

c-L ’écoulement d'air mixte

 Dans ce type de salle blanche, l’écoulement est mixte, qui découle de la

 Les caractéristiques de la salle blanche « Mixte » sont celles d’une salle

 Ce type de salle blanche s’apparente au précédent avec un

 Lorsque l’on parle isolateur, on est souvent en milieu

 On peut obtenir cela en utilisant des grilles à jet hélicoïdes,

 Les salles blanches sont classées en fonction de la propreté de leur air.

 L’Organisation internationale de normalisation (ISO) a publié plusieurs normes à ce sujet.

 Le paramètre le plus important est la quantité de poussière par unité de

 Le compteur de particules qui va compter le nombre de particules dans un

 La propreté particulaire doit être désignée par un numéro de classification ISO

 La concentration maximale admissible C (particules par mètre cube d'air) pour

 Les classes de salles blanches généralement utilisées dans l'industrie de la

 Elle est généralement utilisée pour des applications extrêmement sensibles et

 Cette classe a une concentration de particules légèrement plus élevée que la

 Elle convient à des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs,

 Il est important de se référer aux normes et réglementations spécifiques

 Les fonderies électroniques, également connues sous le nom de fablabs

 Ces espaces fournissent aux individus, aux entrepreneurs et aux entreprises un

 Elles offrent un environnement ouvert et accessible où les utilisateurs peuvent

 Ces espaces sont souvent équipés de logiciels de conception assistée par

 Les fablabs favorisent également l'apprentissage des compétences techniques et

 Les fonderies électroniques contribuent à l'émergence de projets innovants dans

 Ils jouent un rôle clé dans le développement de prototypes et de produits

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