NF - EN - ISO - 14644-1 (Fevr 2016) Salles Propres - Part1 Classification Particulaire (FR)

FA162637 ISSN 0335-3931
NF EN ISO 14644-1
27 Février 2016
Indice de classement : X 44-101-1
ICS : 13.040.35
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Partie 1 : Classification de la propreté particulaire
de l'air
E : Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification
of air cleanliness by particle concentration
D : Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Teil 1: Klassifizierung
der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
Norme française homologuée

par décision du Directeur Général d'AFNOR.
Remplace la norme homologuée NF EN ISO 14644-1 (indice de classement :
X 44-101), de juillet 1999.
Correspondance La Norme européenne EN ISO 14644-1:2015 a le statut d'une norme française et

reproduit intégralement la Norme internationale ISO 14644-1:2015.
Résumé Le présent document spécifie la classification de la propreté de l’air des salles

propres, des zones propres et des dispositifs séparatifs tels que définis dans la
NF EN ISO 14644-7 en termes de concentration des particules en suspension dans
l’air.
Seules sont prises en compte les populations de particules présentant une
distribution granulométrique cumulée dont le seuil inférieur se situe dans l’étendue
de 0,1 m à 5 m.
La méthode de référence pour déterminer la concentration de particules dans l’air
d’une taille supérieure ou égale aux tailles spécifiées aux points de prélèvement
désignés est l’utilisation de compteurs utilisant les propriétés de diffusion de la lumière
(light scattering airborne particle counters — LSAPC).
Descripteurs Thésaurus International Technique : salle propre, pureté, atmosphère maîtrisée,

contrôle contamination atmosphérique, classification, densité de particule,
concentration, valeur maximale, échantillonnage, calcul, analyse statistique,
contrôle de conformité, représentation graphique.
Modifications Par rapport au document remplacé, révision de la norme.
Corrections
Éditée et diffusée par l’Association Française de Normalisation (AFNOR) — 11, rue Francis de Pressensé — 93571 La Plaine Saint-Denis Cedex
Tél. : + 33 (0)1 41 62 80 00 — Fax : + 33 (0)1 49 17 90 00 — www.afnor.org
© AFNOR — Tous droits réservés Version de 2016-02-P

NF EN ISO 14644-1 —2—
La norme
La norme est destinée à servir de base dans les relations entre partenaires économiques, scientifiques,
techniques et sociaux.
La norme par nature est d’application volontaire. Référencée dans un contrat, elle s’impose aux parties.
Une réglementation peut rendre d’application obligatoire tout ou partie d’une norme.
La norme est un document élaboré par consensus au sein d’un organisme de normalisation par
sollicitation des représentants de toutes les parties intéressées. Son adoption est précédée d’une enquête
publique.
La norme fait l’objet d’un examen régulier pour évaluer sa pertinence dans le temps.
Toute norme est réputée en vigueur à partir de la date présente sur la première page.
Pour comprendre les normes
L’attention du lecteur est attirée sur les points suivants :
Seules les formes verbales doit et doivent sont utilisées pour exprimer une ou des exigences qui doivent être
respectées pour se conformer au présent document. Ces exigences peuvent se trouver dans le corps de la
norme ou en annexe qualifiée de «normative». Pour les méthodes d’essai, l’utilisation de l’infinitif correspond
à une exigence.
Les expressions telles que, il convient et il est recommandé sont utilisées pour exprimer une possibilité
préférée mais non exigée pour se conformer au présent document. Les formes verbales peut et peuvent
sont utilisées pour exprimer une suggestion ou un conseil utiles mais non obligatoires, ou une autorisation.
En outre, le présent document peut fournir des renseignements supplémentaires destinés à faciliter la
compréhension ou l'utilisation de certains éléments ou à en clarifier l'application, sans énoncer d'exigence
à respecter. Ces éléments sont présentés sous forme de notes ou d'annexes informatives.
Commission de normalisation
Une commission de normalisation réunit, dans un domaine d’activité donné, les expertises nécessaires
à l’élaboration des normes françaises et des positions françaises sur les projets de norme européenne ou
internationale. Elle peut également préparer des normes expérimentales et des fascicules de documentation.
Si vous souhaitez commenter ce texte, faire des propositions d’évolution ou participer à sa révision,
adressez-vous à <norminfo@afnor.org>.
La composition de la commission de normalisation qui a élaboré le présent document est donnée ci-après.
Lorsqu’un expert représente un organisme différent de son organisme d’appartenance, cette information
apparaît sous la forme : organisme d’appartenance (organisme représenté).
—3— NF EN ISO 14644-1
Technologies des salles propres AFNOR X44B
Composition de la commission de normalisation

Président : MME ALLOUL-MARMOR
Secrétariat : M PEGUY — AFNOR
MME AGRAPART CNRS
MME ALLOUL-MARMOR ASPEC
M ARNOULD LCB — LABORATOIRE DE CHIMIE ET DE BIOLOGIE
MME BAUDOUX CONFORMAT
M BERGERON ECOLE NORMALE SUPERIEURE DE LYON
MME BESSIÈRES MILLIPORE SAS
MME BIZET BERTIN TECHNOLOGIES
M BONIN IGIENAIR
M DIDIER IGIENAIR
M DUHEM INTERTEK FRANCE
MME FAYE CNES
M HARGREAVES JOHN HARGREAVES ASSISTANCE ET CONSEIL (ASPEC)

M LAMIC SNDI — SOC NETTOYAGE DESINFECTION IVRY
M LHERBIER ALPA GROUPE
M MIGUET GROUPE SERVICES FRANCE

M POINSOT LABORATOIRE ICARE
M RIGNAC EDF R&D
MME ROCHE FAURE QEI

M THAVEAU AEROLAB
DR THIBAUDON RNSA LABORATOIRE (ASPEC)
MME TOVENA-PECAULT CEA CESTA

MME VANDRIESSCHE ASPEC
M VANHÉE CAMFIL
NORME EUROPÉENNE EN ISO 14644-1
EUROPÄISCHE NORM
EUROPEAN STANDARD Décembre 2015
ICS : 13.040.35 Remplace EN ISO 14644-1:1999
Version française

Partie 1 : Classification de la propreté particulaire de l'air
(ISO 14644-1:2015)
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Cleanrooms and associated controlled

Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand environments — Part 1: Classification of air
der Partikelkonzentration cleanliness by particle concentration
(ISO 14644-1:2015) (ISO 14644-1:2015)
La présente Norme européenne a été adoptée par le CEN le 27 novembre 2015.
Les membres du CEN sont tenus de se soumettre au Règlement Intérieur du CEN/CENELEC, qui définit les
conditions dans lesquelles doit être attribué, sans modification, le statut de norme nationale à la Norme
européenne. Les listes mises à jour et les références bibliographiques relatives à ces normes nationales
peuvent être obtenues auprès du Centre de Gestion ou auprès des membres du CEN.
La présente Norme européenne existe en trois versions officielles (allemand, anglais, français). Une version
dans une autre langue faite par traduction sous la responsabilité d'un membre du CEN dans sa langue
nationale et notifiée au Centre de Gestion, a le même statut que les versions officielles.
Les membres du CEN sont les organismes nationaux de normalisation des pays suivants : Allemagne,
Ancienne République yougoslave de Macédoine, Autriche, Belgique, Bulgarie, Chypre, Croatie, Danemark,
Espagne, Estonie, Finlande, France, Grèce, Hongrie, Irlande, Islande, Italie, Lettonie, Lituanie, Luxembourg,
Malte, Norvège, Pays-Bas, Pologne, Portugal, République Tchèque, Roumanie, Royaume-Uni, Slovaquie,
Slovénie, Suède, Suisse et Turquie.
CEN
COMITÉ EUROPÉEN DE NORMALISATION
Europäisches Komitee für Normung

European Committee for Standardization
Centre de Gestion : 17 Avenue Marnix, B-1000 Bruxelles
© CEN 2015 Tous droits d’exploitation sous quelque forme et de quelque manière que ce soit réservés dans le monde
entier aux membres nationaux du CEN.
Réf. n° EN ISO 14644-1:2015 F
EN ISO 14644-1:2015 (F)
Avant-propos européen
Le présent document (EN ISO 14644-1:2015) a été élaboré par le Comité Technique ISO/TC 209 «Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés» en collaboration avec le Comité Technique CEN/TC 243 «Technologie des
salles propres», dont le secrétariat est tenu par BSI.
Cette Norme européenne devra recevoir le statut de norme nationale, soit par publication d'un texte identique, soit
par entérinement, au plus tard en juin 2016, et toutes les normes nationales en contradiction devront être retirées au
plus tard en juin 2016.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de droits de
propriété intellectuelle ou de droits analogues. Le CEN et/ou le CENELEC ne saurait [sauraient] être tenu[s] pour
responsable[s] de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
Le présent document remplace l’EN ISO 14644-1:1999.
Selon le Règlement Intérieur du CEN-CENELEC les instituts de normalisation nationaux des pays suivants sont tenus
de mettre cette Norme européenne en application : Allemagne, Ancienne République yougoslave de Macédoine,
Autriche, Belgique, Bulgarie, Chypre, Croatie, Danemark, Espagne, Estonie, Finlande, France, Grèce, Hongrie,
Irlande, Islande, Italie, Lettonie, Lituanie, Luxembourg, Malte, Norvège, Pays-Bas, Pologne, Portugal, République
Tchèque, Roumanie, Royaume-Uni, Slovaquie, Slovénie, Suède, Suisse et Turquie.
Notice d'entérinement
Le texte de l'ISO 14644-1:2015 a été approuvé par le CEN comme EN ISO 14644-1:2015 sans aucune modification.
2
ISO 14644-1:2015(F)

Sommaire Page
Avant-propos............................................................................................................................................................................................................................... iv
Introduction................................................................................................................................................................................................................................. vi
1 Domaine d’application.................................................................................................................................................................................... 1
2 Références normatives.................................................................................................................................................................................... 1
3 Termes et définitions........................................................................................................................................................................................ 1
3.1 Généralités................................................................................................................................................................................................... 2
3.2 Particules en suspension dans l’air........................................................................................................................................ 2
3.3 États d’occupation................................................................................................................................................................................. 3
3.4 Appareils de mesure (voir l’Annexe F)................................................................................................................................. 3
3.5 Spécifications de l’instrument.................................................................................................................................................... 4
4 Classification............................................................................................................................................................................................................. 4
4.1 État(s) d’occupation............................................................................................................................................................................ 4
4.2 Taille(s) de particule........................................................................................................................................................................... 4
4.3 Numéro de classe ISO......................................................................................................................................................................... 4
4.4 Expression de la classification.................................................................................................................................................... 5
4.5 Classes décimales intermédiaires de propreté et tailles de particules de référence.................. 5
5 Démonstration de conformité................................................................................................................................................................. 6
5.1 Principe.......................................................................................................................................................................................................... 6
5.2 Essais................................................................................................................................................................................................................ 6
5.3 Évaluation de la concentration particulaire dans l’air........................................................................................... 6
5.4 Rapport d’essai........................................................................................................................................................................................ 6
Annexe A (normative) Méthode de référence pour la classe de propreté particulaire de l’air............... 8
Annexe B (informative) Exemples d’application de calculs de classes...........................................................................13
Annexe C (informative) Comptage et mesurage de macroparticules en suspension dans l’air............22
Annexe D (informative) Mode opératoire de prélèvement séquentiel...........................................................................28
Annexe E (informative) Spécification des classes décimales de propreté et des tailles de
particules intermédiaires.........................................................................................................................................................................35
Annexe F (informative) Appareils de mesure............................................................................................................................................37
Bibliographie............................................................................................................................................................................................................................ 39
© ISO 2015 – Tous droits réservés iii

ISO 14644-1:2015(F)

Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www.
iso.org/directives).
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l’ISO (voir www.iso.org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer
un engagement.
Pour une explication de la signification des termes et expressions spécifiques de l’ISO liés à
l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion de l’ISO aux principes
de l’OMC concernant les obstacles techniques au commerce (OTC), voir le lien suivant: Avant-propos —
Informations supplémentaires.
Le comité chargé de l’élaboration du présent document est l’ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
Cette deuxième édition annule et remplace la première édition (ISO 14644-1:1999) qui a fait l’objet
d’une révision technique dans son ensemble.
L’ISO 14644 comprend les parties suivantes, présentées sous le titre général Salles propres et
environnements maîtrisés apparentés:
— Partie 1: Classification de la propreté particulaire de l’air
— Partie 2: Surveillance du maintien des performances de la salle propre pour la propreté particulaire de l’air
— Partie 3: Méthodes d’essai
— Partie 4: Conception, construction et mise en fonctionnement
— Partie 5: Exploitation
— Partie 7: Dispositifs séparatifs (postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements)
— Partie 8: Classification de la propreté chimique de l’air
— Partie 9: Classification de la propreté des surfaces par la concentration de particules
— Partie 10: Classification de la propreté chimique des surfaces
L’attention est attirée sur l’ISO 14698, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Maîtrise
de la biocontamination:
iv © ISO 2015 – Tous droits réservés

ISO 14644-1:2015(F)

— Partie 1: Principes généraux et méthodes

— Partie 2: Évaluation et interprétation des données de biocontamination
© ISO 2015 – Tous droits réservés v

ISO 14644-1:2015(F)

Introduction
Les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés fournissent des moyens pour maîtriser
la contamination de l’air et, le cas échéant, des surfaces à des niveaux appropriés pour les activités
sensibles à la contamination. La maîtrise de la contamination peut être bénéfique pour la protection du
produit ou du procédé pour des applications telles que l’industrie aérospatiale, la micro-électronique,
l’industrie pharmaceutique, les dispositifs médicaux, la santé, l’industrie alimentaire, etc.
La présente partie de l’ISO 14644 spécifie des classes de propreté de l’air en termes de concentration
en nombre de particules par volume d’air. Elle spécifie également la méthode normalisée d’essai afin de
déterminer la classe de propreté, comprenant la sélection des points de prélèvement.
Cette version révisée est le résultat de la réponse à une revue systématique ISO, et inclut des
modifications suite au retour d’expériences des utilisateurs et des experts, validé par une enquête
internationale. Le titre a été révisé en «Classification de la propreté particulaire de l’air» pour être
cohérent avec les autres parties de l’ISO 14644. Les classes de propreté ISO au nombre de neuf sont
conservées avec quelques modifications mineures. Le Tableau 1 définit les concentrations particulaires
pour les différentes tailles pour les 9 classes au nombre entier. Le Tableau E.1 définit les concentrations
particulaires maximales pour les différentes tailles pour les classes intermédiaires. L’utilisation
de ces tableaux assure une meilleure définition des distributions granulométriques appropriées
pour les différentes classes. La présente partie de l’ISO 14644 conserve le principe du descripteur
macroparticules. Toutefois la prise en compte des nanoparticules (anciennement définies comme
particules ultrafines) sera traitée dans une autre norme séparée.
L’évolution la plus importante est le recours à une approche de traitement statistique plus cohérente
pour la sélection et le nombre des points de prélèvement et pour l’évaluation des données recueillies.
Le modèle statistique est basé sur une adaptation de la technique du modèle d’échantillonnage
hypergéométrique selon lequel des échantillons sont prélevés au hasard dans une population finie, sans
remise. Cette nouvelle approche permet d’examiner chaque point de prélèvement individuellement; afin
de vérifier avec un niveau de confiance d’au moins95 %, qu’au moins 90 % de la surface de la salle ou
de la zone propre est conforme à la concentration maximale admissible pour la classe visée. Aucune
condition n’est requise concernant la distribution réelle des comptages particulaires sur l’ensemble
de la salle propre ou zone propre, alors que dans l’ISO 14644-1:1999, une hypothèse admise était que
les comptages particulaires suivent la même distribution normale à travers la salle. Cette hypothèse
a été écartée pour permettre d’utiliser cette méthode d’échantillonnage dans des locaux où les
concentrations particulaires varient de façon plus complexe. Au cours du processus de révision, il a
été reconnu que la limite supérieure de confiance à 95% n’était ni appropriée ni appliquée de façon
constante dans l’ISO 14644-1:1999. Le nombre minimum requis de points de prélèvement a été
modifié par rapport à l’ISO 14644-1:1999. Un tableau de référence, Tableau A.1 est fourni pour définir
le nombre minimum de points de prélèvement requis, en se basant sur une adaptation pratique de la
technique d’échantillonnage. Il est supposé que la surface proche du point de prélèvement présente
une concentration homogène de particules en suspension dans l’air. La salle propre ou zone propre est
partagée dans une grille de sections d’aire à peu près égale, dont le nombre est égal au nombre de points
de prélèvement fourni par le Tableau A.1. Un point de prélèvement est placé au centre de chaque section
de la grille, de façon représentative de cette section.
Il est considéré à des fins pratiques que la localisation des points est faite de façon représentative; un
emplacement «représentatif» (voir A.4.2) signifie que les spécificités telles que la disposition de salle
propre ou zone propre, l’emplacement des équipements et le taux de renouvellement des systèmes non
unidirectionnels doivent être pris en compte lors de la sélection des points de prélèvement. Des points
de prélèvement supplémentaires peuvent être ajoutés au-delà du nombre minimum.
Enfin, l’ordre des annexes a été réorganisé pour améliorer la compréhension de la présente partie de la
norme ISO 14644, et le contenu de certaines annexes de l’ISO 14644-3:2005, concernant les essais et les
instruments d’essais, a été intégré dans cette version de la norme.
La version révisée de la présente partie de l’ISO 14644 traite des limites pour des particules de taille
≥ 5 µm à la classe ISO 5 dans les annexes produits stériles des BPF UE, PIC/S et OMS, en adaptant le
concept des macroparticules.
vi © ISO 2015 – Tous droits réservés

ISO 14644-1:2015(F)

La version révisée de la présente partie de l’ISO 14644 inclut maintenant toutes les questions relatives
à la classification de la propreté particulaire de l’air. La version révisée de l’ISO 14644-2:2015 traite
exclusivement de la surveillance de la propreté particulaire de l’air.
Les salles propres peuvent aussi être caractérisées par des attributs autres que la propreté particulaire
de l’air. D’autres attributs, tels que la propreté chimique de l’air pourront faire l’objet d’une surveillance,
et il sera possible de fixer l’objectif ou le niveau de cet attribut au côté de la classification de la propreté
particulaire de l’air de classe ISO. Ces attributs additionnels ne suffisent pas seuls à classer une salle
propre ou zone propre.
© ISO 2015 – Tous droits réservés vii

NORME INTERNATIONALE ISO 14644-1:2015(F)

Partie 1:
Classification de la propreté particulaire de l’air
1 Domaine d’application
La présente partie de l’ISO 14644 spécifie la classification de la propreté de l’air des salles propres,
des zones propres et des dispositifs séparatifs tels que définis dans l’ISO 14644-7 en termes de
concentration des particules en suspension dans l’air.
Seules sont prises en compte les populations de particules présentant une distribution granulométrique
cumulée dont le seuil inférieur se situe dans l’étendue de 0,1 µm à 5 µm.
La méthode de référence pour déterminer la concentration de particules dans l’air d’une taille supérieure
ou égale aux tailles spécifiées aux points de prélèvement désignés est l’utilisation de compteurs utilisant
les propriétés de diffusion de la lumière (light scattering airborne particle counters - LSAPC).
La présente partie de l’ISO 14644 ne donne pas de classification pour des populations de particules
dont le seuil inférieur se situe en dehors de l’étendue granulométrique de référence de 0,1 µm à 5 µm.
Les concentrations de particules ultrafines (plus petites que 0,1 µm) seront traitées dans une norme
séparée laquelle spécifiera la propreté particulaire de l’air à l’échelle nanométrique. Un descripteur M
(voir l’Annexe C) pouvant être utilisé pour quantifier les populations de macroparticules (particules
plus grandes que 5 µm).
La présente partie de l’ISO 14644 ne peut pas être utilisée pour caractériser la nature physique,
chimique, radiologique ou viable des particules en suspension dans l’air.
2 Références normatives
Les documents ci-après, dans leur intégralité ou non, sont des références normatives indispensables à
l’application du présent document. Pour les références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les
références non datées, la dernière édition du document de référence s’applique (y compris les éventuels
amendements).
ISO 14644-2:2015, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Surveillance du maintien des
performances de la salle propre pour la propreté particulaire de l’air.
ISO 14644-7, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 7: Dispositifs séparatifs
(postes à air propre, boîtes à gants, isolateurs et mini-environnements).
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
© ISO 2015 – Tous droits réservés 1

ISO 14644-1:2015(F)

3.1 Généralités
3.1.1
salle propre
salle dans laquelle la concentration en nombre des particules en suspension dans l’air est maîtrisée et
classée, et qui est construite et utilisée de façon à minimiser l’introduction, la production et la rétention
des particules à l’intérieur de la pièce
Note 1 à l’article: la classe de propreté particulaire de l’air est spécifiée.
Note 2 à l’article: le niveau des autres attributs de propreté de l’air tels que les concentrations chimiques,
viables ou nanométriques, ainsi que le niveau de ceux des surfaces tels que les concentrations particulaires,
nanométriques, chimiques et viables pourrait être aussi spécifié et maîtrisé.
Note 3 à l’article: d’autres paramètres physiques pertinents, par exemple la température, l’humidité, la pression,
les vibrations et les propriétés électrostatiques, pourraient être maîtrisés si requis.
3.1.2
zone propre
espace défini dans lequel la concentration en nombre des particules en suspension dans l’air est
maîtrisée et classée, et qui est construit et utilisé de façon à minimiser l’introduction, la production et la
rétention de particules à l’intérieur de l’espace
Note 1 à l’article: la classe de propreté particulaire de l’air est spécifiée.
Note 2 à l’article: le niveau des autres attributs de propreté de l’air tels que les concentrations chimiques, viables
ou nanométriques, ainsi que le niveau des concentrations particulaires, nanométriques, chimiques et viables des
surfaces pourraient être aussi spécifiés et maîtrisés.
Note 3 à l’article: la zone propre peut être un espace défini à l’intérieur d’une salle propre, ou peut être concrétisée
par un dispositif séparatif. Un tel dispositif peut être situé à l’intérieur d’une salle propre ou non.
Note 4 à l’article: d’autres paramètres physiques pertinents, par exemple la température, l’humidité, la pression,
les vibrations et les propriétés électrostatiques, pourraient être maîtrisés si requis.
3.1.3
installation
une salle propre ou une ou plusieurs zones propres incluant toutes les structures associées, les systèmes
de traitement de l’air et les servitudes
3.1.4
classification
méthode d’évaluation du niveau de propreté d’une salle propre, d’une zone propre
Note 1 à l’article: Il convient que les niveaux soient exprimés en termes d’une classe ISO qui représente la
concentration maximale admissible de particules par unité de volume d’air.
3.2 Particules en suspension dans l’air

3.2.1
particule
objet minuscule de matière quelconque qui possède un périmètre physique défini
3.2.2
taille de particule
diamètre d’une sphère qui, dans un instrument donné de mesure des tailles de particules, donne une
réponse qui est équivalente à la réponse de la particule à mesurer
Note 1 à l’article: Note1 à l’article: Pour les instruments faisant appel aux caractéristiques de la diffusion de la
lumière et capables de compter les particules individuellement, on utilise le terme diamètre optique équivalent.
2 © ISO 2015 – Tous droits réservés

ISO 14644-1:2015(F)

3.2.3
concentration particulaire
nombre de particules individuelles par unité de volume d’air
3.2.4
distribution granulométrique
distribution cumulée des concentrations de particules en fonction de leur taille
3.2.5
macroparticule
particule dont le diamètre équivalent est supérieur à 5 µm
3.2.6
descripteur M
désignation pour la concentration, mesurée ou spécifiée, des macroparticules par mètre cube d’air,
exprimée en termes de diamètre équivalent caractéristique de la méthode de mesure mise en œuvre
Note 1 à l’article: Note1 à l’article: Le descripteur M peut être considéré comme une limite supérieure des
moyennes obtenues aux points de prélèvement. Un descripteur M ne peut servir à caractériser des classes ISO,
mais il peut être utilisé indépendamment ou conjointement aux classes ISO.
3.2.7
flux d’air unidirectionnel
flux d’air maîtrisé traversant l’ensemble d’un plan de coupe d’une salle propre ou zone propre possédant
une vitesse régulière et des filets considérés comme étant parallèles
3.2.8
flux d’air non unidirectionnel
distribution de l’air où l’air soufflé entrant dans la salle propre ou la zone propre se mélange avec l’air
intérieur par phénomène d’induction
3.3 États d’occupation

3.3.1
après construction
condition dans laquelle la salle propre ou la zone propre est achevée, avec toutes les servitudes
connectées et en fonctionnement, mais hors présence des équipements, du mobilier, des matières de
production et des personnes
3.3.2
au repos
condition dans laquelle la salle propre ou la zone propre est achevée, et les équipements sont installés
et en fonctionnement selon un mode convenu, mais hors présence des personnes
3.3.3
en activité
condition convenue dans laquelle la salle propre ou la zone propre fonctionne selon le mode prescrit
avec les équipements en fonctionnement ainsi qu’avec l’effectif spécifié présent
3.4 Appareils de mesure (voir l’Annexe F)

3.4.1
résolution
plus petite variation de la grandeur mesurée qui produit une variation perceptible de l’indication
correspondante
Note 1 à l’article: La résolution peut dépendre, par exemple, du bruit (interne ou externe) ou du frottement. Elle
peut aussi dépendre de la valeur de la grandeur mesurée.
[SOURCE: Guide ISO/IEC 99:2007, 4.14]

ISO 14644-1:2015(F)

3.4.2
erreur maximale de mesurage tolérée
valeur extrême de l’erreur de mesurage, par rapport à une grandeur de référence connue, tolérée par
les spécifications ou les réglementations pour un mesurage, un instrument de mesure ou un système
de mesure donné
Note 1 à l’article: Les termes «erreurs maximales tolérées» ou «limites d’erreur» sont généralement utilisés
lorsqu’il y a deux valeurs extrêmes.
Note 2 à l’article: Il convient de ne pas utiliser le terme «tolérance» pour désigner l’«erreur maximale tolérée».
[SOURCE: Guide ISO/IEC 99:2007, 4.26]
3.5 Spécifications de l’instrument

3.5.1
LSAPC (light scattering airborne particle counter)
compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière
compteur de particules individuelles en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière
instrument capable de compter et de mesurer individuellement les particules en suspension dans l’air
et de fournir les données de mesure en termes de diamètre optique équivalent
Note 1 à l’article: Les spécifications pour le LSAPC sont données dans l’ISO 21501-4:2007.
3.5.2
compteur de macroparticules individuelles
instrument capable de compter et de mesurer individuellement les macroparticules en suspension dans
l’air
Note 1 à l’article: Voir le Tableau F.1 pour les spécifications.
3.5.3
compteur de particules à temps de vol
appareil de comptage et de mesure de particules qui définit le diamètre aérodynamique des particules
en mesurant la durée nécessaire à une particule pour s’adapter à un changement de vitesse de l’air
Note 1 à l’article: Cela est généralement effectué en mesurant par moyen optique le temps de transition de la
particule après le changement de vitesse d’écoulement d’un fluide.
Note 2 à l’article: Voir le Tableau F.2 pour les spécifications.
4 Classification
4.1 État(s) d’occupation

La propreté particulaire de l’air d’une salle propre ou d’une zone propre doit être définie pour
l’un ou plusieurs des trois états d’occupation, c’est-à-dire «après construction», «au repos» ou «en
activité» (voir 3.3).
4.2 Taille(s) de particule

Pour la détermination de la propreté particulaire de l’air en vue de la classification, une ou plusieurs
tailles de particule dont le seul inférieur se situe dans l’étendue granulométrique de ≥0,1 µm à ≥5 µm
doivent être utilisées.
4.3 Numéro de classe ISO

La propreté particulaire de l’air doit être désignée par un numéro, N, de classe ISO. La concentration
maximale admissible pour chaque taille de particule prise en compte est déterminée par le Tableau 1.

ISO 14644-1:2015(F)

Les concentrations en nombre de particules pour les différentes tailles de référence ne reflètent pas la
distribution granulométrique réelle rencontrée dans l’air, et ne servent qu’aux fins de classification. Des
exemples de calculs de classes sont donnés dans l’Annexe B.
Tableau 1 — Classes ISO de la propreté particulaire de l’air

Concentrations maximales admissibles (particules/m3) en particules de taille
Numéro de classe ISO
égale ou supérieure à celles données ci-dessousa
(N)
0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 1 µm 5 µm
1 10b d d d d e
2 100 24b 10 b d d e
3 1 000 237 102 35b d e
4 10 000 2 370 1 020 352 83b e
5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 d, e, f
6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293

7 c c c 352 000 83 200 2 930
8 c c c 3 520 000 832 000 29 300
9g c c c 35 200 000 8 320 000 293 000
a Toutes les concentrations données dans le tableau sont cumulées. Par exemple, pour la classe ISO 5, les 10 200
particules indiquées à 0,3 µm incluent toutes les particules de tailles égales ou supérieures à cette taille.
b Ces concentrations conduiront à prélever des volumes importants aux fins de classification. La procédure de
prélèvement séquentiel peut être appliquée, voir l’Annexe D.
c Les concentrations maximales admissibles ne s’appliquent pas dans cette partie du tableau car elles sont très élevées.
d Les limites du prélèvement et les limites statistiques sur ces faibles concentrations rendent la classification
inappropriée.
e Les limites des mécanismes de prélèvement, dues à la fois aux faibles concentrations et au prélèvement de particules
de tailles supérieures à 1 µm, rendent la classification inappropriée à cause des particules potentiellement non mesurées
car retenues à l’intérieur du système de prélèvement.
f Pour réaliser une classification à cette taille de particules, pour la classe ISO 5 on peut adapter le descripteur
macroparticules M en l’associant à au moins une autre taille de particules (voir Annexe C.7).
g Cette classe est uniquement applicable pour l’état en activité.
4.4 Expression de la classification

L’expression de la propreté particulaire de l’air pour les salles propres et les zones propres doit comporter:
a) le numéro de classe ISO sous la forme «classe ISO N»;
b) l’état d’occupation pour lequel la classification s’applique;
c) la ou les tailles particulaires prises en compte.
Si les mesurages sont à faire pour plus d’une taille, chaque taille particulaire plus grande (par
exemple, D2) doit être égale à au moins 1,5 fois celle qui la précède (par exemple, D1), c’est-à-dire
D2 ≥ 1,5 × D1.
EXEMPLE Numéro de classe ISO, état d’occupation, taille(s) de particule(s) considérée(s) et limite de
classe correspondante
Classe ISO 4; au repos; 0,2 µm; 0,5 µm
4.5 Classes décimales intermédiaires de propreté et tailles de particules de référence

Quand il est besoin de classes intermédiaires, ou de tailles de particules non spécifiées dans le tableau
pour les classes à numéro entier ou intermédiaire, se référer à l’Annexe E (informative).

ISO 14644-1:2015(F)

5 Démonstration de conformité
5.1 Principe
La conformité aux conditions de propreté de l’air (classe ISO) spécifiées par le client est vérifiée par la
réalisation de modes opératoires d’essai spécifiés, et par la fourniture de documentation des résultats
et des conditions de l’essai.
La classification au repos ou en activité peut être réalisée à des intervalles réguliers sur base d’une
analyse des risques de l’application, typiquement une fois par an.
Pour la surveillance des salles propres, des zones propres et des dispositifs séparatifs, l’ISO 14644-2:2015
doit être utilisée.
NOTE Quand l’installation est équipée d’instruments permettant une surveillance continue ou fréquente de
la propreté particulaire de l’air et d’autres paramètres de performances le cas échéant, l’intervalle de temps entre
les opérations de classification peut être étendu à condition que les résultats de surveillance restent à l’intérieur
des limites spécifiées.
5.2 Essais
La méthode d’essai de référence servant à démontrer la conformité est donnée à l’Annexe A (normative).
On peut spécifier des méthodes ou des instruments différents ou les deux donnant au moins des
performances au moins équivalentes à ceux de référence. Si aucune alternative n’est spécifiée ni
convenue il faut utiliser la méthode de référence.
Les essais mis en œuvre pour démontrer la conformité doivent être menés au moyen d’instruments en
conformité avec les exigences d’étalonnage au moment de l’essai.
5.3 Évaluation de la concentration particulaire dans l’air

À la fin des essais effectués conformément à l’Annexe A, la concentration particulaire (exprimée en
nombre de particules par mètre cube) mesurée dans le volume élémentaire de l’échantillon prélevé à
chaque point, ne doit pas dépasser la limite maximale admissible donnée dans le Tableau 1 ou Tableau E.1
pour les classes intermédiaires en nombre décimal, pour la ou les tailles considérées. Lorsque plusieurs
volumes élémentaires sont prélevés en un même point, les concentrations moyennes doivent être
établies, et il est nécessaire que cette concentration moyenne ne dépasse pas les concentrations
limites données dans le Tableau 1 ou Tableau E.1. Les tailles de particules intermédiaires doivent être
déterminées selon la Formule (E.1).
Les concentrations particulaires utilisées pour démontrer la conformité aux limites de classes ISO
doivent être mesurées avec la même méthode pour toutes les tailles de particules considérées.
5.4 Rapport d’essai

Les résultats des essais, pour chaque salle propre ou zone propre, doivent être consignés par écrit
et présentés dans un rapport contenant une affirmation de conformité ou de non-conformité avec
l’expression spécifiée de la classification particulaire de l’air.
Le rapport d’essai doit mentionner les points suivants:
a) le nom et l’adresse de l’organisme responsable des essais et la date d’exécution de ceux-ci;
b) le numéro et l’année de publication de la présente partie de l’ISO 14644, c’est-à-dire
ISO 14644-1:2015;
c) une identification claire de l’emplacement de la salle propre ou de la zone propre examinée (avec
référence des locaux adjacents si nécessaire), et les coordonnées précises de tous les points de
prélèvement (une représentation graphique peut être utile);

ISO 14644-1:2015(F)

d) les critères de désignation de la salle propre ou de la zone propre considérée, comprenant le numéro
de classe ISO, l’état d’occupation pertinent et les tailles particulaires prises en compte;
e) la description détaillée de la méthode d’essai en y incluant les conditions particulières d’essai ou les
écarts par rapport à la méthode d’essai et l’identification des appareils de mesure et leur certificat
d’étalonnage en cours de validité;
f) les résultats des essais avec les données de concentration particulaire pour tous les points
échantillonnés.
Si les concentrations des macroparticules sont quantifiées, comme décrit à l’Annexe C, il convient de
mentionner l’information appropriée dans le rapport d’essai.

ISO 14644-1:2015(F)

Annexe A
(normative)
Méthode de référence pour la classe de propreté particulaire

de l’air
A.1 Principe
À chaque point de prélèvement prévu, un compteur de particules est utilisé, de façon à obtenir la
concentration des particules en suspension dans l’air qui ont une taille égale ou supérieure aux
tailles spécifiées.
A.2 Exigences liées à l’appareil

A.2.1 Compteur de particules
L’instrument doit disposer de moyens d’affichage ou d’enregistrement du nombre et de la taille des
particules individuelles en suspension dans l’air et doit présenter une sensibilité granulométrique
permettant de détecter la concentration particulaire totale dans les intervalles granulométriques
appropriés pour la classe considérée.
NOTE Les compteurs de particules individuelles utilisant la diffusion de la lumière (LSAPC) sont usuellement
utilisés pour entreprendre la classe de propreté particulaire.
A.2.2 Étalonnage de l’instrument

Le compteur de particules doit être accompagné d’un certificat d’étalonnage en cours de validité;
il convient que la méthode et la fréquence d’étalonnage tiennent compte de la pratique actuellement
admise et spécifiée dans l’ISO 21501-4[1].
NOTE Certains compteurs ne peuvent pas être étalonnés selon toutes les exigences de l’ISO 21501-4. Dans ce
cas la décision d’utiliser un tel compteur doit être consignée dans le rapport d’essai.
A.3 Préparation des essais de comptage particulaire

Avant les essais, vérifier que tous les aspects pertinents de la salle propre ou de la zone propre
qui concourent à son intégrité sont achevés et fonctionnent conformément à la spécification des
performances.
Il convient de prêter attention à la détermination de l’enchaînement des essais préalables
complémentaires à réaliser pour vérifier les performances de la salle propre. L’ISO 14644-3, Annexe A
en fournit une liste.
A.4 Détermination des points de prélèvement

A.4.1 Définir le nombre de points de prélèvement
Prendre le nombre minimal de points de prélèvement NL du Tableau A.1 Ce dernier fournit le nombre
de points de prélèvement en fonction de la surface de chaque salle propre ou zone propre à classer. Ce
nombre minimal garantit, avec au moins 95 % de confiance, qu’au moins 90 % de la surface de la salle
propre ne dépassent pas les limites de classe.

ISO 14644-1:2015(F)

Tableau A.1 — Points de prélèvement en fonction de la surface de la salle propre
Surface de la salle propre (m2) infé- Nombre minimal de points de prélè-

rieure ou égale à vement (NL)
2 1
4 2
6 3
8 4
10 5
24 6
28 7
32 8
36 9
52 10
56 11
64 12
68 13
72 14
76 15
104 16
108 17
116 18
148 19
156 20
192 21
232 22
276 23
352 24
436 25
636 26
1 000 27
> 1 000 Voir la Formule (A.1)
NOTE 1 à l’article: Si la surface de la zone considérée tombe entre deux valeurs dans le
tableau, il convient de retenir la plus grande.
NOTE 2 à l’article: Dans le cas d’un flux unidirectionnel, la surface à prendre en compte peut
être considérée comme étant le plan de coupe perpendiculaire au sens d’écoulement de l’air.
Dans tous les autres cas, la surface considérée sera le plan horizontal de la salle propre ou de
la zone propre.
A.4.2 Localisation des points de prélèvement

Afin de déterminer l’emplacement des points de prélèvement:
a) identifier le nombre minimal NL de points de prélèvement dans le Tableau A.1;
b) utiliser ce nombre pour diviser la salle propre ou la zone propre en NL sections de surface égale;
c) choisir un point de prélèvement représentatif des caractéristiques dans chacune de ces sections;
d) positionner la sonde du compteur de particules à hauteur de travail, ou à tout autre point spécifié.

ISO 14644-1:2015(F)

Des points de prélèvement supplémentaires peuvent être sélectionnés pour des emplacements
considérés comme critiques. Leur nombre et emplacement doivent être convenus et spécifiés.
Pour faciliter le découpage de la zone en sections égales, on pourra choisir d’ajouter des sections et
leurs points de prélèvements associés.
Dans le cas de salles propres ou zones propres à écoulement non unidirectionnel, des points de
prélèvement situés directement à l’aplomb de points de soufflage non diffusés sont susceptibles de ne
pas être représentatifs.
A.4.3 Localisation des points de prélèvement dans de grandes salles propres ou

zones propres
Quand la surface de la salle propre ou zone propre est supérieure à 1 000 m2, utiliser la Formule (A.1)
qui suit pour déterminer le nombre minimum de points de prélèvement nécessaires.
 
 A 
N L = 27 ×   (A.1)
 1 000 
 
où
NL représente le nombre minimal de points de prélèvement à évaluer, arrondi au nombre entier

supérieur;
A représente la surface de la salle propre en m2.
A.4.4 Détermination des volumes élémentaires et des durées de prélèvement à chaque

point de prélèvement
À chaque point de prélèvement, prélever un volume d’air de sorte que si la concentration pour la plus
grosse taille de particule sélectionnée était à la limite supérieure de la classe ISO visée, au moins
20 particules seraient comptées.
Le volume élémentaire Vs à prélever à chaque point est déterminé au moyen de la Formule (A.2):
 
 20 
Vs =   × 1000 (A.2)
 C n,m 
où
Vs représente le volume élémentaire minimal à prélever à chaque point, exprimé en litres (excepté
dans le cas de l’Annexe D);
Cn,m représente la limite de la classe visée (en nombre de particules par mètre cube) pour la plus
grosse taille de particule considérée;
20 représente le nombre de particules qui serait compté si la concentration en particules atteignait

la limite de la classe visée.
Le volume prélevé à chaque point doit être d’au moins 2 l, et la durée de prélèvement au moins une
minute pour chaque échantillon à chaque point de prélèvement. Chaque volume prélevé à chaque point
de prélèvement doit être identique.
Lorsque Vs est très grand, la durée de prélèvement requise peut être importante. Le recours au mode
opératoire de prélèvement séquentiel peut permettre de réduire à la fois la durée de prélèvement et le
volume à prélever.

ISO 14644-1:2015(F)

A.5 Mode opératoire de prélèvement
A.5.1 Préparer le compteur de particules (voir A.2) suivant les instructions du fabricant et réaliser une
vérification du comptage à zéro.
A.5.2 La sonde de prélèvement doit être disposée face à l’écoulement. Si la direction de l’écoulement
à échantillonner n’est pas maîtrisée ou prévisible (par exemple, un écoulement non unidirectionnel),
l’entrée de la sonde de prélèvement doit être dirigée vers le haut.
A.5.3 S’assurer que les conditions sont stables et appropriées à l’état d’occupation considéré avant de
débuter les prélèvements.
A.5.4 Prélever au moins le volume d’air calculé suivant A.4.4 en chaque point de prélèvement, et pour
chaque échantillon prélevé.
A.5.5 Si un résultat non conforme trouvé sur un point de prélèvement est dû à un incident anormal
identifié, alors cette valeur peut être éliminée et notée comme telle sur le rapport d’essai et un nouveau
prélèvement peut être effectué.
A.5.6 Si un résultat non conforme trouvé sur un point de prélèvement est dû à une défaillance
technique de la salle propre ou d’un équipement, il convient d’en identifier la cause, d’effectuer une
action corrective et de réaliser de nouveaux essais du point de prélèvement non conforme, des points
adjacents et de tout autre point impacté. Le choix des points doit être clairement documenté et justifié.
A.6 Traitement des résultats

A.6.1 Enregistrement des résultats
Enregistrer le résultat de chaque prélèvement sous la forme du nombre de particules comptées
dans chaque volume élémentaire pour chaque taille de particule considérée selon la classe ISO de
propreté visée.
NOTE pour des compteurs de particules affichant automatiquement la concentration au volume de référence
cette opération manuelle pourra ne pas être nécessaire.
A.6.1.1 Concentration particulaire moyenne en chaque point de prélèvement
Si au moins deux prélèvements sont effectués en un point donné, calculer la moyenne du nombre de
particules selon la Formule (A.3) à partir des mesures individuelles effectuées pour chaque taille de
particule considérée et l’enregistrer.
 x + x + ... x 

x i =  i .1 i .2 i .n 
 (A.3)
 n 
où
xi est le nombre moyen de particules au point de prélèvement i, représentant n’importe quel

point;
xi.1 à xi.n représentent les nombres de particules à chaque prélèvement;
n représente le nombre de prélèvements effectués au point i.
A.6.1.2 Calculer la concentration par mètre cube

ISO 14644-1:2015(F)

x i ×1000
Ci = (A.4)
Vt
où
Ci est la concentration des particules par mètre cube;
xi est le nombre moyen de particules au point de prélèvement i, représentant chaque point;
Vt représente le volume élémentaire de prélèvement spécifié, exprimé en litres.
A.6.2 Interprétation des résultats
A.6.2.1 Exigences de classification
La salle ou la zone propre sera considérée comme conforme à la classe de propreté de l’air spécifiée si la
moyenne des concentrations en particules exprimée en nombre de particules par mètre cube mesurée
à chaque point de prélèvement ne dépasse pas la limite de concentration spécifiée dans le Tableau A.1.
Si des classes ou des tailles de particules intermédiaires sont spécifiées selon l’Annexe E, il convient de
fixer des limites de classe appropriées déterminées au moyen du Tableau E.1 ou de la Formule (E.1).
A.6.2.2 Résultat non conforme
En cas de résultat non conforme, une investigation doit être entreprise. Le résultat de cette investigation
et l’action corrective doivent être notés dans le rapport d’essai (voir 5.4).

ISO 14644-1:2015(F)

Annexe B
(informative)
Exemples d’application de calculs de classes
B.1 Exemple 1
B.1.1 Une salle propre en activité a une superficie de 18 m2 et est spécifiée pour une propreté
particulaire de l’air de classe ISO 5. Lla classification sera réalisée à l’aide d’un compteur de particules
ayant un débit de prélèvement de 28,3 l/min. Deux tailles particulaires sont prises en compte: D ≥ 0,3 µm
et D ≥ 0,5 µm.
D’après le Tableau A.1, le nombre de points de prélèvement NL est fixé à six.
B.1.2 Les concentrations particulaires limites pour la classe ISO 5 sont données dans le Tableau 1:
Cn (≥ 0,3 µm) = 10 200 particules/m3
B.1.3 Le volume élémentaire à prélever peut être calculé à partir de la Formule (A.2) comme suit:
 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20 
Vs =   × 1000
 3520 
 
(
Vs = 0, 00568 × 1000)
Vs = 5, 68 litres
Le volume élémentaire calculé à prélever est de 5,68 l. Du fait que le compteur LSAPC utilisé pour
l’essai a un débit de prélèvement de 28,3 l/min, une durée de prélèvement d’une minute par échantillon
s’applique à chaque point (voir A.4.4) et, par conséquent, il sera nécessaire de prélever un échantillon de
28,3 l pour chaque prélèvement.
NOTE En A.4.4, le volume à prélever est déterminé en calculant le volume minimal à prélever comme
ci‑dessus puis en comparant ce volume au volume prélevé par le compteur en une minute. Il est nécessaire que
l’échantillonnage à chaque point de prélèvement se fasse sur une durée minimale d’une minute. Si le volume tel
que calculé est prélevé par le compteur en une minute, alors le comptage peut être interrompu au bout d’une
minute de prélèvement. Si ce volume calculé ne peut pas être prélevé par le compteur en une minute, alors il faut
poursuivre le prélèvement sur une période plus longue jusqu’à ce qu’au moins le volume minimum calculé ait
été prélevé. L’attention des utilisateurs est attirée sur le fait que les compteurs de particules peuvent présenter
différents débits de prélèvement. Les utilisateurs doivent donc vérifier le débit de prélèvement de l’appareil
qu’ils utilisent lorsqu’ils déterminent la durée de prélèvement et le volume à échantillonner de façon à garantir le
respect des deux conditions.

ISO 14644-1:2015(F)

B.1.4 Un seul échantillon est prélevé à chaque point. La concentration de particules xi par mètre
cube d’air calculée pour chaque point et pour chaque taille de particule est présentée dans les
Tableaux B.1 et B.2:
Tableau B.1 — Données de prélèvement pour les particules ≥ 0,3 µm

Point de prélè- Échantillon 1 Valeur moy- Concentration Concentration Conformité/
vement enne au point moyenne a point limite pour
xi ≥ 0,3 µm non-conformité
(mesurages des particules
(concentration
(mesurages pour 28,3 l) de 0,3 µm à la
par m3= valeur
pour 28,3 l) classe ISO 5
moyenne du
point × 35,3)
1 245 245 8 649 10 200 Conforme
2 185 185 6 531 10 200 Conforme
3 59 59 2 083 10 200 Conforme
4 106 106 3 742 10 200 Conforme
5 164 164 5 789 10 200 Conforme
6 196 196 6 919 10 200 Conforme

Point de prélè- Échantillon 1 Valeur Concentration Concentration Conformité/
vement moyenne du moyenne du limite pour
point point des particules
(mesurages
de 0,5 µm à la
pour 28,3 l) (mesurages (concentration
classe ISO 5
pour 28,3 l) par m3 = moy-
enne du point ×
35,3)
1 21 21 741 3 520 Conforme
2 24 24 847 3 520 Conforme
3 0 0 0 3 520 Conforme
4 7 7 247 3 520 Conforme
5 22 22 777 3 520 Conforme
6 25 25 883 3 520 Conforme
B.1.5 Chacune des valeurs de concentration pour les particules D ≥ 0,3 µm est inférieure à la limite
de 10 200 particules/m3 et chacune des valeurs de concentration pour les particules D ≥ 0,5 µm est
inférieure à la limite de 3 520 particules/m3 comme établie en B.1.2; par conséquent, la propreté
particulaire de l’air de la salle propre satisfait aux exigences de la classe ISO visée.
B.2 Exemple 2
B.2.1 Une salle propre- a une superficie de 9 m2 et est spécifiée pour une propreté particulaire de l’air
de classe ISO 3 en activité. La classification est à effectuer à l’aide d’un compteur de particules ayant un
débit de prélèvement de 50,0 l/min. Une seule taille de particule (D ≥ 0,1 µm) est prise en compte.
D’après le Tableau A.1, le nombre de points de prélèvement NL est fixé à cinq.
B.2.2 La concentration particulaire limite pour une classe ISO 3 à ≥ 0,1 µm est donnée dans le Tableau 1:

ISO 14644-1:2015(F)

 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20 
Vs =   × 1000
 1000 
 
Vs = (0, 02) × 1000
Vs = 20, 0 litres
Le calcul du volume élémentaire à prélever est de 20,0 l. Du fait que le compteur de particules utilisé
pour l’essai a un débit de prélèvement de 50,0 l/min, une durée de prélèvement d’une minute par
échantillon s’applique à chaque point (voir A.4.4) et, par conséquent, il sera nécessaire de prélever un
échantillon de 50,0 l pour chaque prélèvement.
B.2.4 Un seul échantillon est prélevé à chaque point. Le nombre de particules par mètre cube xi est
calculé en chaque point et enregistré dans le Tableau B.3.

Point de prélè- Échantillon 1 Valeur Concentration Concentration Conformité/
vement moyenne au moyenne du limite pour des
point point particules de
(mesurages ≥ 0,1 µm à la
(mesurages (concentration
pour 50,0 l) classe ISO 3
pour 50,0 l) par m3 = valeur
moyenne du
point × 20)
1 46 46 920 1 000 Conforme
2 47 47 940 1 000 Conforme
3 46 46 920 1 000 Conforme
4 44 44 880 1 000 Conforme
5 9 9 180 1 000 Conforme
B.2.5 Chacune des valeurs de concentration pour les particules D ≥ 0,1 µm est inférieure à la limite de
1 000 particules/m3 établie dans le Tableau 1; par conséquent, la propreté particulaire de l’air de la salle
satisfait aux exigences de la classe ISO visée.
B.3 Exemple 3
B.3.1 Une salle propre a une superficie de 64 m2 et est spécifiée pour une propreté particulaire de l’air
D’après le Tableau A.1, le nombre de points de prélèvement NL est fixé à 12.
B.3.2 La concentration particulaire limite pour une classe ISO 5 à ≥ 0,5 µm est donnée dans le Tableau 1:
B.3.3 Le volume élémentaire à prélever requis peut être calculé à partir de la Formule (A.2) comme suit:

ISO 14644-1:2015(F)

 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20 
Vs =   × 1000
 3520 
 
(
Vs = 0, 00568 × 1000)
Vs = 5, 68 litres
calculé en chaque point et enregistré dans le Tableau B.4:
Point de prélè- Échantillon 1 Concentration Concentration Limite pour Conformité/

vement moyenne au point moyenne du point des mesurages non-confor-
xi ≥ 0,5 µm
de 0,5 µm à la mité
(mesurages pour (concentration par
classe ISO 5
28,3 l) m3 = moyenne du
point × 35,3)
1 35 35 1 236 3 520 Conforme
2 22 22 777 3 520 Conforme
3 89 89 3 142 3 520 Conforme
4 49 49 1 730 3 520 Conforme
5 10 10 353 3 520 Conforme
6 60 60 2 118 3 520 Conforme
7 18 18 635 3 520 Conforme
8 44 44 1 553 3 520 Conforme
9 59 59 2 083 3 520 Conforme
10 51 51 1 800 3 520 Conforme
11 6 6 212 3 520 Conforme
12 31 31 1 094 3 520 Conforme
B.3.5 Chacune des valeurs de concentration pour les particules D = 0,5 µm est inférieure à la limite de
3 520 particules/m3 établie dans le Tableau 1; par conséquent, la propreté particulaire de l’air de la salle
satisfait aux exigences de la classe ISO visée.
B.4 Exemple 4
B.4.1 Une salle propre a une superficie de 25 m2 et est spécifiée pour une propreté particulaire de l’air
D’après le Tableau A.1, le nombre minimal de points de prélèvement est 7.

ISO 14644-1:2015(F)

B.4.2 La concentration particulaire limite pour une classe ISO 5 à ≥0,5 µm est obtenue à partir du
Tableau 1:
 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20 
Vs =   × 1000
 3520 
 
(
Vs = 0, 00568 × 1000)
Vs = 5, 68 litres
B.4.4 Le nombre de points de prélèvement requis selon le Tableau A.1 est 7. Toutefois, cet exemple
montre que le client et le fournisseur ont convenu d’ajouter 3 points supplémentaires, pour un total de
10. À chaque point de prélèvement, le nombre de prélèvements varie de 1 à 3.
B.4.5 À des fins d’enregistrement, le nombre de particules (concentration) par mètre cube, xi, est
calculé à partir du mesurage moyen par volume unitaire (28,3 l) à chaque point (concentration moyenne
pour 28,3 × 35,3) comme dans le Tableau B.5.

Point de Échantillon Échantillon Échantillon Valeur Concen- Concentra- Conformité/
prélève- 1 2 3 moy- tration tion limite
Non-confor-
ment enne du moyenne du pour des
xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm mité
point point (mesu- mesurages
(valeur (valeur (valeur
rages par m3 de ≥ 0,5 µm
pour 28,3 l) pour 28,3 l) pour 28,3 l) (valeur
= moyenne à la classe
pour
du point × ISO 5
28,3 l)
35,3)
1 47 57 52 1 836 3 520 Conforme
2 12 12 424 3 520 Conforme
3 162 78 32 91 3 201 3 520 Conforme
4 148 74 132 118 4165 3 520 Non
conforme
5 1 0 0,5 18 3 520 Conforme
6 19 22 17 19 682 3 520 Conforme
7 5 15 3 8 271 3 520 Conforme
8 38 21 30 1 041 3 520 Conforme
9 54 159 78 97 3424 3 520 conforme
10 48 62 53 54 1 918 3 520 Conforme

ISO 14644-1:2015(F)

B.4.6 Au point de prélèvement 4, la moyenne des concentrations est de 4 165 et ne répond pas à
la limite définie pour une classe ISO 5 (3 520 particules par mètre cube). Aux points 3 et 9, l’un des
comptages n’est pas conforme à la spécification du Tableau 1. Toutefois, la concentration moyenne au
point 3 et la concentration moyenne au point 4 sont conformes à la limite du Tableau 1. À cause du point
4, la salle propre ne satisfait pas aux exigences de classe ISO.
B.5 Exemple 5
B.5.1 Une salle propre a une superficie de 10,7 m2 et est spécifiée pour une propreté particulaire de l’air
de classe ISO 7, 5 en activité. La classification sera effectuée à l’aide d’un compteur de particules ayant un
D’après le Tableau A.1, le nombre de points de prélèvement a été fixé à 6.
B.5.2 La concentration particulaire limite pour une classe ISO 7,5 à ≥0,5 µm est obtenue à partir de la
Formule (E.1) comme suit:
 0, 1 2,08
( )
C n ≥ 0, 5 µm = 10 N × 
 D 
 où N = 7, 5 et D = 0, 5 µm
 0, 1 2,08
( )
C n ≥ 0, 5 µm = 107,5 ×  
 0, 5 
( )
C n ≥ 0, 5 µm = 31622777 × 0, 03516757
( )
C n ≥ 0, 5 µm = 1112096 arrondi à trois chiffres significatifs = 1110000 particules/m 3
 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20  × 1000 = 0, 017 99 l
Vs = 
 1112000 
 
Le calcul du volume élémentaire à prélever est de 0,01799 l. Du fait que le compteur de particules
utilisé pour l’essai a un débit de prélèvement de 28,3 l/min, une durée de prélèvement d’une minute par
échantillon s’applique à chaque point (voir A.4.4) et, par conséquent, il sera nécessaire de prélever des
échantillons de 28,3 l pour chaque prélèvement.
B.5.4 À chaque point de prélèvement, le nombre de prélèvements varie de 1 à 3. Le nombre de

particules par mètre cube xi est calculé en chaque point et enregistré dans le Tableau B.6:

ISO 14644-1:2015(F)


Concentra-
Échantillon Échantillon Échantillon Moy- tion moyenne Concentra-
1 2 3 enne du du point tion limite
Point de Conformité/
point pour des
prélève- xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm (valeur (concentra- non-confor-
mesurages
ment (valeur (valeur (valeur mité
pour tion par m = à 0,5 µm à la
3
pour 28,3 l) pour 28,3 l) pour 28,3 l) 28,3 l) moyenne du class ISO 7, 5
point × 35,3)
1 11 679 11 679 412 269 1 110 000 Conforme
2 9 045 9 045 319 289 1 110 000 Conforme
3 12 699 12 699 448 275 1 110 000 Conforme
4 26 232 27 555 34 632 29 473 1 040 397 1 110 000 Conforme
5 7 839 7 839 276 717 1 110 000 Conforme
6 13 669 13 669 482 516 1 110 000 Conforme
B.5.5 Au point 4, la concentration du troisième échantillon de 1 222 507 (34 632 × 35,3) ne satisfait
pas au critère de 1 110 000 particules au maximum pour la classe 7,5 visée. Chaque valeur individuelle ne
satisfait donc pas aux exigences des limites déterminées en utilisant le Tableau E.1; cependant, la moyenne
des concentrations à chaque point satisfait aux limites déterminées en appliquant le Tableau E.1. Par
conséquent, la propreté particulaire de l’air de la salle propre satisfait à la classe ISO visée.
B.6 Exemple 6
B.6.1 Une salle propre a une superficie de 2 100 m2 et est spécifiée pour une propreté particulaire de
l’air de classe ISO 7 en activité. La classification sera effectuée à l’aide d’un compteur de particules ayant
un débit de prélèvement de 28,3 l/min. Une seule taille de particule (D ≥ 0,5 µm) est prise en compte.
Le nombre de points de prélèvement, NL , indiqué dans le Tableau A.1 est limité aux salles propres d’une
superficie de 1 000 m2.
27
1 000
Pour une salle propre de 2 100 m2, le nombre de points de prélèvemen, NL , est dérivé de la Formule (A.1):
 
 27 
2100 ×   = 56, 7 arrondi à 57
 1000 
 
B.6.2 La concentration particulaire limite pour une classe ISO 7 à ≥0,5 µm est donnée dans le Tableau 1:
B.6.3 Le volume élémentaire à prélever requis peut être calculé à partir de la Formule (A.2) comme suit:
 
 20 
Vs =   × 1000
 C n,m 
 
 20 
Vs =   × 1000
 352000 
 
(
Vs = 0, 000056 8 × 1000 )

ISO 14644-1:2015(F)

Vs = 0, 056 8 litres
calculé en chaque point et enregistré dans le Tableau B.7:
Point de prélè- Échantillon 1 Moyenne Concentration Concentration Conformité/

vement du point moyenne au point limite pour des
(valeur particules de
(valeur pour (concentration
pour 28,3 l) 0,5 µm à la classe
28,3 l) par m3 = moy-
ISO 7
enne du point
× 35,3)
1 5 678 5 678 200 434 352 000 Conforme
2 7 654 7 654 270 187 352 000 Conforme
3 2 398 2 398 84 650 352 000 Conforme
4 4 578 4 578 161 604 352 000 Conforme
5 8 765 8 765 309 405 352 000 Conforme
6 4 877 4 877 172 159 352 000 Conforme
7 8 723 8 723 307 922 352 000 Conforme
8 7 632 7 632 269 410 352 000 Conforme
9 7 643 7 643 269 798 352 000 Conforme
10 6 756 6 756 238 487 352 000 Conforme
11 5 678 5 678 200 434 352 000 Conforme
12 5 476 5 476 193 303 352 000 Conforme
13 8 576 8 576 302 733 352 000 Conforme
14 7 765 7 765 274 105 352 000 Conforme
15 3 456 3 456 121 997 352 000 Conforme
16 5 888 5 888 207 847 352 000 Conforme
17 3 459 3 459 122 103 352 000 Conforme
18 7 666 7 666 270 610 352 000 Conforme
19 8 567 8 567 302 416 352 000 Conforme
20 8 345 8 345 294 579 352 000 Conforme
21 7 998 7 998 282 330 352 000 Conforme
22 7 665 7 665 270 575 352 000 Conforme
23 7 789 7 789 274 952 352 000 Conforme
24 8 446 8 446 298 144 352 000 Conforme
25 8 335 8 335 294 226 352 000 Conforme
26 7 988 7 988 281 977 352 000 Conforme
27 7 823 7 823 276 152 352 000 Conforme
28 7 911 7 911 279 259 352 000 Conforme

ISO 14644-1:2015(F)

Tableau B.7 (suite)

Point de prélè- Échantillon 1 Moyenne Concentration Concentration Conformité/
vement du point moyenne au point limite pour des
(valeur particules de
(valeur pour (concentration
pour 28,3 l) 0,5 µm à la classe
28,3 l) par m = moy-
3
ISO 7
enne du point
× 35,3)
29 7 683 7 683 271 210 352 000 Conforme
30 7 935 7 935 280 106 352 000 Conforme
31 6 534 6 534 230 651 352 000 Conforme
32 4 667 4 667 164 746 352 000 Conforme
33 6 565 6 565 231 745 352 000 Conforme
34 8 771 8 771 309 617 352 000 Conforme
35 5 076 5 076 179 183 352 000 Conforme
36 6 678 6 678 235 734 352 000 Conforme
37 7 100 7 100 250 630 352 000 Conforme
38 8 603 8 603 303 686 352 000 Conforme
39 7 609 7 609 268 598 352 000 Conforme
40 7 956 7 956 280 847 352 000 Conforme
41 7 477 7 477 263 939 352 000 Conforme
42 7 145 7 145 252 219 352 000 Conforme
43 6 998 6 998 247 030 352 000 Conforme
44 7 653 7 653 270 151 352 000 Conforme
45 6 538 6 538 230 792 352 000 Conforme
46 3 679 3 679 129 869 352 000 Conforme
47 4 887 4 887 172 512 352 000 Conforme
48 7 648 7 648 269 975 352 000 Conforme
49 8 748 8 748 308 805 352 000 Conforme
50 7 689 7 689 271 422 352 000 Conforme
51 7 345 7 345 259 279 352 000 Conforme
52 7 888 7 888 278 447 352 000 Conforme
53 7 765 7 765 274 105 352 000 Conforme
54 6 997 6 997 246 995 352 000 Conforme
55 6 913 6 913 244 029 352 000 Conforme
56 7 474 7 474 263 833 352 000 Conforme
57 8 776 8 776 309 793 352 000 Conforme
B.6.5 Chacune des valeurs de concentration pour les particules D ≥ 0,5 µm est inférieure à la limite de
352 000 particules/m3 établie dans le Tableau 1; par conséquent, la propreté particulaire de l’air de la
salle satisfait aux exigences de la classe ISO visée.

ISO 14644-1:2015(F)

Annexe C
(informative)
Comptage et mesurage de macroparticules en suspension dans l’air
C.1 Principe
Dans certains cas, le plus souvent par la suite de contraintes spécifiques du procédé, des niveaux
de propreté de l’air peuvent être définis pour des populations de particules qui sortent de l’étendue
granulométrique fixée par la classification. La concentration maximale des particules en question, ainsi
que le choix d’une méthode d’essai pour établir la conformité, sont à définir par un accord entre client et
fournisseur. Des indications sur les méthodes d’essai et les formats à retenir pour les spécifications sont
données en C.2.
C.2 Cas des particules de taille supérieure à 5 µm (macroparticules) —

Descripteur M
C.2.1 Application
Si les risques de contamination dus à des particules de taille supérieure à 5 µm sont à évaluer, il convient
de mettre en œuvre des appareils de prélèvement et des modes opératoires de mesure adaptés aux
caractéristiques particulières de telles particules.
Le mesurage de la concentration de particules en suspension dans l’air dont la limite inférieure de
taille se situe entre 5 µm et 20 µm peut être effectué dans les trois états d’occupation définis: «après
construction», «au repos» et «en activité».
Étant donné que l’émission de particules dans l’environnement du procédé est normalement la source
principale des macroparticules en suspension dans l’air, il convient d’aborder le choix de l’appareil de
prélèvement et du mode opératoire de mesure à partir de l’application spécifique. Des paramètres tels
que la densité, la forme, le volume et le comportement aérodynamique des particules doivent être pris
en compte. Il peut également être nécessaire de mettre l’accent sur des constituants particuliers de la
population en suspension dans l’air, tels que les fibres.
C.2.2 Format descripteur M

Le descripteur M peut être spécifié comme un supplément à la classe de propreté particulaire de l’air. Le
descripteur M est exprimé dans le format suivant:
«ISO M (a; b); c»,
où
a est la concentration maximale admissible des macroparticules (exprimée en macroparticules

par mètre cube d’air);
b est le diamètre équivalent (ou les diamètres) associé à la méthode spécifiée de mesure des
macroparticules (exprimé en micromètres);
c est la méthode de mesure spécifiée.

EXEMPLE 1 Pour exprimer une concentration de 29 particules/m3 en particules de taille ≥ 5 µm mesurée avec
un compteur LSAPC, la désignation serait: «ISO M (29; ≥ 5 µm); compteur LSAPC».

ISO 14644-1:2015(F)

EXEMPLE 2 Pour exprimer une concentration de 2 500 particules/m3 en particules de taille > 10 µm mesurée
avec un compteur d’aérosols à temps de vol qui accède au diamètre aérodynamique, la désignation serait: «ISO M
(2 500; ≥ 10 µm); compteur d’aérosol à temps de vol».
EXEMPLE 3 Pour exprimer une concentration de 1 000 particules/m3 dans l’étendue granulométrique de 10 µm
à 20 µm mesurée avec un impacteur à cascade suivi d’un mesurage et d’un comptage au microscope, la désignation
serait: «ISO M (1 000; 10 µm à 20 µm); impacteur à cascade suivi d’un mesurage et d’un comptage au microscope».
NOTE 1 Lorsque la population particulaire échantillonnée contient des fibres, il est possible d’en tenir compte
en ajoutant au descripteur M un descripteur de fibres qui a le format: «Mfibre (a; b); c».
NOTE 2 Des méthodes d’essai appropriées pour le mesurage des concentrations de particules en suspension
dans l’air de tailles supérieures à 5 µm sont données dans IEST-G-CC1003[2].
C.3 Comptage des macroparticules en suspension dans l’air

C.3.1 Principe
La présente méthode d’essai décrit le mesurage de particules en suspension dans l’air, dont la taille
limite inférieure de classe est supérieure à un diamètre de 5 µm (macroparticules). Le mode opératoire
fourni en C.3 a été adapté de l’IEST-G-CC1003:1999[2]. Les mesurages peuvent être effectués dans une
salle propre ou une zone propre, l’installation étant dans l’un quelconque des trois états d’occupation
spécifiés: après construction, au repos et en activité. Les mesurages sont réalisés afin de définir la
concentration de macroparticules, et les principes donnés en 5.1, 5.2 et 5.4 peuvent s’appliquer. La
nécessité de prélever et de manipuler les échantillons de manière appropriée est clairement mise en
avant, afin de réduire le plus possible les pertes de macroparticules lors des opérations de manipulation.
C.3.2 Généralités
Il est recommandé que le nombre de points de prélèvement, l’emplacement des points et la quantité de
données requises soient conformes à A.4. Il convient que le client et le fournisseur se mettent d’accord
sur la concentration de microparticules autorisée, le diamètre équivalent des particules et la méthode
de mesure spécifiée. D’autres méthodes appropriées d’une précision équivalente et qui fournissent des
données équivalentes peuvent être utilisées par accord entre client et fournisseur. Si aucune autre méthode
n’a été convenue, ou en cas de différend, il convient d’utiliser la méthode de référence de l’Annexe C.
C.3.3 Considérations en matière de manipulation des échantillons

Le plus grand soin est nécessaire pour prélever et manipuler les macroparticules. Un exposé complet
des exigences pour des systèmes utilisables pour l’échantillonnage isocinétique ou anisocinétique et
pour le transport des particules jusqu’au point de mesure est donné dans l’IEST-G-CC1003:199[2].
C.3.4 Méthodes de mesure des macroparticules

Deux grandes catégories de méthodes sont données pour le mesurage des macroparticules. Il est
possible que les résultats ne soient pas comparables, si des méthodes différentes de mesure sont
employées. Pour cette raison, la corrélation entre des méthodes différentes peut ne pas être possible.
Les méthodes et les informations sur la taille des particules produites par les différentes méthodes sont
résumées en C.3.4.1 et C.3.4.2.
C.3.4.1 Mesurage in situ
Mesurage in situ de la concentration et de la taille des macroparticules par temps de vol ou par LSAPC:
a) le mesurage par LSAPC (C.4.1.2) détecte les macroparticules en utilisant une taille de particule
fondée sur un diamètre optique équivalent;
b) le mesurage de la taille de particules par temps de vol (C.4.1.3) détecte les macroparticules en
affichant une taille de particule fondée sur un diamètre aérodynamique.

ISO 14644-1:2015(F)

C.3.4.2 Collecte
Collecte par filtration ou effet d’inertie, suivie par le mesurage au microscope du nombre de particules
collectées et de leur taille:
a) le prélèvement sur filtre suivi d’un mesurage au microscope (C.4.2.2) détecte les macroparticules
en utilisant une taille de particule fondée sur le diamètre convenu;
b) le prélèvement par impacteur à cascade suivi d’un mesurage au microscope (C.4.2.3) détecte les
macroparticules en utilisant une taille de particule fondée sur le choix du diamètre de particule
signalé.
C.4 Méthodes de mesure des macroparticules

C.4.1 Mesurage des macroparticules sans collecte de particules
C.4.1.1 Généralités
Les macroparticules peuvent être mesurées sans qu’il soit nécessaire de procéder d’abord à leur
collecte dans l’air. Ce procédé fait appel au mesurage optique des particules en suspension dans l’air.
Un échantillon d’air est prélevé, à un débit spécifique, à travers un LSAPC, lequel révèle soit le diamètre
optique équivalent, soit le diamètre aérodynamique, des particules.
C.4.1.2 Mesurage au moyen d’un compteur de particules utilisant la diffusion de la lumière

(LSAPC)
Les modes opératoires pour le mesurage de macroparticules au moyen d’un LSAPC sont identiques à
celles de l’Annexe A pour le comptage des particules en suspension dans l’air, à une exception près.
Dans le cas présent, il n’est pas exigé que le LSAPC ait une sensibilité de détection des particules
présentant une taille inférieure à 1 µm, car les données ne sont recherchées que pour le comptage des
macroparticules. Il convient de s’assurer que le compteur prélève directement dans l’air au point de
prélèvement. Il convient que le LSAPC ait la capacité de prélever un débit d’échantillonnage de 28,3 l/min
et soit équipé d’une sonde adaptée au prélèvement isocinétique dans des zones à flux unidirectionnel.
Dans des zones de flux non unidirectionnel, il convient que le compteur soit disposé avec l’orifice
d’échantillonnage dirigé verticalement vers le haut.
Il convient de sélectionner une sonde d’échantillonnage permettant d’effectuer un prélèvement à peu
près isocinétique dans des zones à flux d’air unidirectionnel. Au cas où cela ne serait pas possible,
monter la sonde d’échantillonnage orientée face à la direction d’écoulement principal; dans des zones
où la vitesse d’écoulement de l’air échantillonné n’est pas maîtrisée et est susceptible de varier (par
exemple, un flux d’air non unidirectionnel), l’orifice de la sonde d’échantillonnage doit être orienté
verticalement vers le haut. Il convient que le tube de transport reliant la sonde au détecteur du compteur
soit le plus court possible. Pour l’échantillonnage de particules de taille supérieure ou égale à 1 µm, il
convient que la longueur du tube de transport ne dépasse pas la longueur et le diamètre recommandés
par le fabricant: en général, cette longueur ne dépasse pas 1 m.
Il convient de limiter les erreurs de prélèvement dues aux particules de grande taille non mesurées, car
retenues à l’intérieur du système de prélèvement.
Les réglages des plages granulométriques du compteur sont établis de façon à ne détecter que les
macroparticules. Il convient d’enregistrer les données concernant une seule taille inférieure à 5 µm
afin de s’assurer que la concentration des particules détectées de taille inférieure aux macroparticules
visées ne soit pas suffisamment élevée pour provoquer des erreurs de coïncidence lors du mesurage
des macroparticules. Il convient que la concentration de particules de cette plage granulométrique
inférieure, additionnée à la concentration des macroparticules, ne dépasse pas 50 % de la concentration
maximale de particules admissible spécifiée pour le compteur en question.

ISO 14644-1:2015(F)

C.4.1.3 Mesurage de la taille des particules par leur temps de vol
Les dimensions des macroparticules peuvent être mesurées à l’aide d’un appareil de mesure du temps
de vol. Un échantillon d’air est aspiré à l’intérieur de cet appareil et subit une accélération par détente à
travers une buse dans un vide partiel, où est située la zone de mesure. Toutes les particules se trouvant
prises dans l’échantillon subissent une accélération pour atteindre la vitesse de l’air se trouvant dans la
zone de mesure. L’accélération des particules varie inversement à la masse de la particule. La relation
entre la vitesse de l’air et la vitesse de la particule au point de mesure peut être utilisée pour déterminer
le diamètre aérodynamique de cette particule. Quand la différence de pression entre l’air ambiant et la
pression de la zone de mesure est connue, il est possible de calculer directement la vitesse de l’air. La
vitesse de la particule est mesurée par mesurage du temps de vol entre deux faisceaux laser. Il convient
que le dispositif de mesure du temps de vol soit capable de mesurer le diamètre aérodynamique
des particules jusqu’à un diamètre d’environ 20 µm, Les modes opératoires des prélèvements sont
identiques à ceux requis lors de l’utilisation d’un LSAPC pour mesurer des macroparticules. De plus,
les mêmes modes opératoires que pour le LSAPC sont utilisés avec ce compteur afin de déterminer les
plages granulométriques à enregistrer.
C.4.2 Mesurage des macroparticules avec collecte de particules
C.4.2.1 Généralités
Les macroparticules peuvent être mesurées en collectant les particules dans l’air. Un échantillon d’air
est envoyé vers un dispositif de collecte à un débit spécifique. L’analyse au microscope permet de
compter les particules collectées.
NOTE La masse des particules collectées peut également être déterminée, mais la propreté particulaire de
l’air étant déterminée par la concentration en nombre, la présente partie de l’ISO 14644 ne traite pas ce point.
C.4.2.2 Prélèvement sur filtre et mesurage à l’aide du microscope
Sélectionner une membrane filtrante avec porte-filtre ou un échantillonneur d’aérosol préassemblé: il

convient d’utiliser une membrane présentant une taille de pore inférieure ou égale à 2 µm. Étiqueter
le porte-filtre pour identifier son emplacement et installation. Brancher le refoulement sur une pompe
à vide capable d’aspirer l’air au débit recherché. Si le point d’échantillonnage où la concentration de
macroparticules doit être déterminée se situe dans une zone à flux d’air unidirectionnel, il convient
d’établir le débit de manière à effectuer un prélèvement isocinétique dans le porte-filtre ou dans la tête
d’échantillonnage de l’échantillonneur d’aérosol, cette tête devant être orientée face à l’écoulement
unidirectionnel.
Déterminer le volume de l’échantillon requise par la Formule (C.1).
Retirer le couvercle du porte-filtre ou de l’échantillonneur d’aérosol et le stocker dans un endroit
propre. Prélever l’air aux points de prélèvement déterminés par accord entre le client et le fournisseur.
Lorsqu’une pompe à vide portative est utilisée pour aspirer de l’air à travers la membrane filtrante, il
convient que cette pompe refoule en dehors de l’installation propre ou à travers un filtre approprié.
Après avoir effectué le prélèvement, remettre le couvercle sur le porte-filtre ou l’échantillonneur. Il
convient de transporter le porte-filtre d’échantillonnage de manière à ce que la membrane filtrante
soit maintenue en position horizontale à tout moment et ne soit pas exposée à des vibrations ou à des
chocs entre le temps de capture de l’échantillon et son analyse. Compter les particules présentes sur la
surface filtrante (voir l’ASTM F312-08)[3].
C.4.2.3 Prélèvement et mesurage à l’aide d’un impacteur à cascade
Dans un impacteur à cascade, la séparation des particules est réalisée au moyen de l’impaction
par inertie des particules. L’échantillon d’air traverse une série d’orifices de tailles décroissantes.
Les particules de plus grande taille sont piégées directement à l’aval des plus grands orifices, et les
particules plus petites sont piégées à chaque étage successif de l’impacteur. Le diamètre aérodynamique
est directement corrélé à la collecte des particules dans les différents étages de l’impacteur.

ISO 14644-1:2015(F)

Pour le mesurage de la propreté particulaire de l’air, un modèle d’impacteur à cascade destiné à la

collecte et au comptage des macroparticules peut être utilisé. Dans celui-ci, les particules sont déposées
à la surface des plaques amovibles qui sont retirées pour observation au microscope. Des débits de
prélèvement d’au moins 0, 47 l/s sont généralement utilisés pour ce type d’impacteur à cascade.
C.5 Mode opératoire de comptage des macroparticules

Déterminer la concentration du descripteur M pour la ou les plage(s) granulométrique(s) sélectionnées
« ISO M (a; b); c » par accord entre le client et le fournisseur et enregistrer les données recueillies.
Prélever à chaque point de prélèvement le volume d’air requis pour recueillir au moins 20 particules à la
taille considérée si on était à la limite de concentration définie.
Le volume unitaire de l’échantillon Vs à prélever à chaque point est déterminé par la Formule C.1:
 
 20 
V s =   × 1000 (C.1)
 C n,m 
où
Vs représente le volume élémentaire minimal à prélever à chaque point, exprimé en litres (excepté
dans le cas de D.4.2);
Cn,m représente la limite de la classe visée (en nombre de particules par mètre cube) pour la plus
grosse taille de particule considérée;

Quand une information concernant la stabilité des concentrations de macroparticules est requise,
effectuer au moins trois mesurages aux emplacements sélectionnés à des intervalles de temps convenus
par accord entre le client et le fournisseur.
Installer la sonde d’échantillonnage de l’appareil sélectionné et réaliser l’essai.
C.6 Rapports d’essai pour le prélèvement des macroparticules

Il est recommandé d’enregistrer les données et informations suivantes relatives aux essais:
a) définition des tailles de particules auxquelles l’appareil réagit;
b) méthode de mesure;
c) méthode de mesure du niveau ou de la limite du descripteur M en tant que complément à la classe ISO;
d) désignation du type de chaque instrument et appareil de mesure utilisé ainsi que de son état
d’étalonnage;
e) classe ISO de l’installation;
f) plage(s) granulométrique(s) des macroparticules et les valeurs pour chaque plage
granulométrique considérée;
g) débit d’échantillonnage à l’aspiration et débit dans le volume de détection de l’appareil;
h) emplacement du ou des point(s) de prélèvement;
i) programme d’échantillonnage pour la classification ou plan des protocoles d’échantillonnage
pour le contrôle;

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j) état(s) d’occupation;
k) autres informations pertinentes pour le mesurage, telles que la stabilité de la concentration des
macroparticules.
C.7 Adaptation du descripteur macroparticules pour faciliter la prise en compte

des particules de taille ≥ 5 µm pour des salles propres de classe ISO 5
Pour exprimer une concentration de 29 particules/m3 de taille ≥ 5 µm en suspension dans l’air,
mesurée à l’aide d’un LSAPC, on écrirait «ISO M (29; ≥ 5 µm); LSAPC» et pour une concentration de
20 particules/m3 on écrirait «ISO M (20; ≥ 5 µm); LSAPC» (voir Tableau 1; NOTE f).

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Annexe D
(informative)
Mode opératoire de prélèvement séquentiel
D.1 Contexte et limites

D.1.1 Contexte
Dans certaines circonstances, lorsqu’il est nécessaire ou requis de classer un environnement propre
maîtrisé présentant une très faible concentration en particules en limite de classe, le prélèvement
séquentiel peut constituer une technique permettant de réduire les volumes et les durées de
prélèvement. Le prélèvement séquentiel mesure le taux de comptage et prédit la probabilité de succès
ou d’échec de satisfaire aux exigences de la Classe ISO. Si l’air à soumettre à essai est significativement
plus contaminé ou moins contaminé que spécifié pour la classe à la taille de particule considérée,
l’utilisation du prélèvement séquentiel peut réduire, souvent de façon très significative, les volumes et
les durées de prélèvement.
Des avantages peuvent être également retirés dans les cas où la concentration est proche de la limite
spécifiée. Le prélèvement séquentiel est plus approprié pour les classes de propreté ISO 4 et plus
propres. Il peut également être utilisé pour les autres classes lorsque la limite de concentration fixée
pour la taille de particule sélectionnée est basse. Dans ce cas, le volume à prélever pour détecter
20 particules peut s’avérer trop important.
NOTE Pour des informations complémentaires sur le prélèvement séquentiel, voir IEST-G-CC1004[4] ou
JIS B 9920:2002[5].
D.1.2 Limites
Les principales limites du mode opératoire de prélèvement séquentiel sont:
a) ce mode opératoire est applicable seulement lorsque les valeurs attendues dans le volume
élémentaire à prélever sont < 20 particules pour la plus grosse taille de particule considérée
(voir A.4.4);
b) chaque prélèvement entraîne une surveillance supplémentaire et une analyse des données qui
pourront être facilitées par un traitement informatisé;
c) le volume de prélèvement réduit ne permet pas de déterminer les concentrations en particules de
façon aussi précise qu’avec un prélèvement conventionnel.
D.2 Principe du mode opératoire

Le mode opératoire est basé sur la comparaison en temps réel entre les comptages cumulés effectués
et les concentrations de référence. Ces concentrations de référence sont dérivées, pour les limites
supérieures et inférieures des formules suivantes:
Limite supérieure: Céchec = 3,96 + 1,03 E (D.1)

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Limite inférieure: Cconformité = −3,96 + 1,03 E (D.2)
où
Céchec représente la limite supérieure pour le comptage observé;
Cconformitéreprésente la limite inférieure pour le comptage observé;
E représente le comptage attendu (donné par la Formule (D.5), la limite de classe).

Selon la Formule (A.2), le volume élémentaire Vs est calculé comme suit:
 
 20 
Vs =   × 1000 (D.3)
 C n,m 
où
Vs représente le volume élémentaire minimal à prélever à chaque point, exprimé en litres;
Cn,mreprésente la limite de la classe visée (en nombre de particules par mètre cube) pour la taille de
particule considérée;

La durée totale de prélèvement t t est calculée comme suit:
Vs
tt = (D.4)
Q
où
VS représente le volume de prélèvement cumulé (en litres);
Q représente le débit de prélèvement du compteur de particules (en litres/seconde).

Le comptage attendu est défini comme suit:
Q × t × C n,m
E= (D.5)
1000
où
t est la durée de prélèvement (en secondes)

Pour aider à la compréhension, un graphique d’illustration d’un prélèvement séquentiel est présenté en
Figure D1. Au fur et à mesure du déroulement du comptage à chaque point de prélèvement, le cumul des
comptages observés est comparé en continu au comptage attendu en fonction de la fraction du volume
total à prélever. Si le comptage cumulé observé sur une fraction de temps donnée est inférieur à la limite
inférieure Cconformité pour le comptage attendu, l’air est réputé satisfaire aux exigences de la classe ou
aux limites de concentration et le prélèvement est arrêté.
Si le comptage cumulé observé sur une fraction de temps donnée dépasse la limite supérieure Céchec
pour le comptage attendu, l’air ne satisfait pas à la classe visée ou à la limite de concentration, et le
prélèvement est arrêté. Tant que les comptages cumulés restent entre les limites supérieure et
inférieure, le prélèvement est poursuivi jusqu’à ce qu’un comptage cumulé de 20 particules soit observé
ou que le volume cumulé de prélèvement V atteigne le volume minimal Vs permettant de compter au
moins 20 particules en limite supérieure de classe.

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Sur la Figure D.1, les comptages observés C sont présentés en fonction des comptages attendus E jusqu’à
ce que le prélèvement soit interrompu ou atteigne une valeur cumulée de 20 particules.
D.3 Mode opératoire de prélèvement

La Figure D.1 illustre les limites établies au moyen des Formules (D.1) et (D.2) et tronquées au point où
le comptage cumulé atteint 20 particules (E = 20, limite maximum du temps de prélèvement autorisé) et
que le cumul de volume prélevé atteint C = 20, le comptage maximum observé autorisé.
Légende
x Comptage attendu, E
y Comptage observé, C
1 Arrêt du prélèvement, ÉCHEC (C ≥ 3,96 + 1,03E)
2 Poursuite du comptage
3 Arrêt du prélèvement, CONFORMITÉ (C ≤ -3,96 + 1,03E)
Figure D.1 — Frontières de conformité ou d’échec du mode opératoire de

prélèvement séquentiel
L’incrémentation du temps de comptage correspond aux durées élémentaires nécessaires à

l’augmentation d’une unité du comptage théorique, la somme E de ces durées élémentaires représentant
le temps théorique nécessaire pour compter 20 particules si la propreté particulaire de l’air était à la
limite supérieure de la classe.
La mise en œuvre du mode opératoire de prélèvement séquentiel telle que présentée à la Figure D1 se
fait de la manière suivante:
1) enregistrer l’effectif total cumulé de particules comptées en fonction du temps;
2) calculer le comptage attendu au moyen de la formule décrite en D.2, Formule (D.5);
3) reporter le comptage total cumulé en fonction du comptage attendu comme dans la Figure D1;
4) comparer le comptage cumulé observé aux limites supérieures et inférieures calculées de la
Figure D.1;
5) si le comptage cumulé observé franchit la limite supérieure, le prélèvement est arrêté et l’air est
considéré comme ne satisfaisant pas aux exigences de la classe visée;
6) si le comptage cumulé observé franchit la limite inférieure, le prélèvement est arrêté et l’air est
considéré comme satisfaisant aux exigences de la classe visée;
7) si le comptage cumulé observé reste entre les deux limites, le prélèvement est poursuivi.

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Si le comptage total observé est inférieur ou égal à 20 à la fin de la période de prélèvement spécifié et n’a
pas franchi la limite supérieure, l’air est considéré comme étant conforme à la classe visée.
D.4 Exemples de prélèvement séquentiel

D.4.1 Exemple 1
a) Évaluation d’une salle propre avec une propreté de l’air cible de classe ISO 3 (0,1 µm,
1 000 particules/m3) à l’aide du mode opératoire de prélèvement séquentiel. Ce mode opératoire
étudie le taux de comptage et cherche à prédire le succès ou l’échec du comptage.
NOTE Le débit de prélèvement du compteur de particules est de 0,0283 m3/min (28,3 l/min ou 0,47 l/s).
b) Préparation avant le mesurage — méthode de calcul des valeurs limites de reference.

Le Tableau D.1 montre le résultat du calcul. Le comptage attendu est tout d’abord calculé à partir de la
durée de prélèvement. Le comptage de référence supérieur et le comptage de référence inférieur sont
ensuite calculés à l’aide des Formules (D.1) et (D.2), ou de la Figure D.1.
Tableau D.1 — Table de calcul des comptages de référence supérieur et inférieur

Période de Durée de Volume d’air
Comptage attendu Limite supérieure Limite inférieure
mesure prélèvement prélevé total
Céchec = Cconformité =
t litre Selon la Formule (D.5)
3,96 + 1,03 E -3,96 + 1,03 E
1ère 5 2,4 2,4 7 (6,4) N.A. (–1,5)
2ème 10 4,7 4,7 9 (8,8) 0 (0,9)
3ème 15 7,1 7,1 12 (11,2) 3 (3,3)
4ème 20 9,4 9,4 14 (13,7) 5 (5,8)
5ème 25 11,8 11,8 17 (16,1) 8 (8,2)
6ème 30 14,2 14,1 19 (18,5) 10 (10,6)
7ème 35 16,5 16,5 20 (21,0) 13 (13,0)
8ème 40 18,9 18,9 20 (23,4) 15 (15,5)
9ème 45 21,2 21,2 21 20
NOTE La valeur numérique entre parenthèses indique le résultat du calcul du comptage de référence supérieur et du
comptage de référence inférieur avec une décimale. Comme les résultats obtenus sont en nombre entier, chaque valeur
calculée est traitée au moment de l’examen comme étant le nombre entier indiqué.
Le comptage de référence supérieur est arrondi à la première décimale supérieure de la valeur calculée.
Le comptage de référence inférieur est arrondi à la première décimale inférieure de la valeur calculée.
Lorsque la valeur Cconformité calculée selon la Formule (D.2) est négative, cela est indiqué avec «NA» (non applicable).
Dans ce cas, il n’est pas possible de conclure que la propreté de l’air satisfait aux critères de la classe ISO visée, même si le
comptage de référence est égal à zéro.
c) Évaluation à l’aide du mode opératoire de prélèvement sequential.

Le comptage attendu fourni dans le premier mesurage est de 2,4; il est jugé en «ÉCHEC» lorsque le
comptage observé est supérieur ou égal à 7. Toutefois, lorsque le comptage observé durant cette
durée de prélèvement est compris entre 0 et 6, le résultat ne peut pas être jugé. Dans ce cas, le
prélèvement est poursuivi. Lorsque le prélèvement est poursuivi, le comptage observé cumulé
peut augmenter. Le prélèvement est poursuivi jusqu’à ce que le volume élémentaire à prélever
spécifié soit atteint ou que le comptage observé ait franchi l’une des limites pour Cconformité ou
Céchec, respectivement. Si le comptage cumulé observé est inférieur ou égal à 20 à la fin de la durée
de prélèvement et que la limite supérieure n’a pas été dépassée, la classe de propreté de l’air est
jugée «CONFORME». Si le comptage cumulé observé est inférieur ou égal aux valeurs arrondies à

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la décimale inférieure pour Céchec avant la fin de la durée, le prélèvement est arrêté et la classe est
jugée «CONFORME».
D.4.2 Exemple 2
Évaluation d’une salle propre avec une propreté de l’air cible de classe ISO 3 (0,5 µm, 35 particules/m3) à
l’aide du mode opératoire de prélèvement séquentiel. Le débit de prélèvement du compteur de particules
(Q) est de 0,0283 m3/min = 0,47 l/s.
Calculer le volume élémentaire VS selon la Formule (D.3).
 
 20  20
Vs =   × 1000 = × 1000 = 571, 429 litres (D.6)
 C n,m  35
Calculer la durée totale de prélèvement tt selon la Formule (D.4). Il s’agit de la durée la plus longue
nécessaire pour l’évaluation du point de prélèvement. Afin de réduire cette durée, il convient d’avoir
recours au mode opératoire de prélèvement séquentiel.
Vs
tt = = 1211, 5 s = 20, 19 min (D.7)
Q
Calculer le tableau de résultat:

1) calculer le comptage attendu E selon la Formule (D.5).
Q × t × C n,m
E= (D.8)
1000
2) calculer les limites supérieures et inférieures de comptage selon les Formules (D.1) et (D.2).
3) le résultat du calcul est montré dans le Tableau D.2 et à la Figure D.2.
Tableau D.2 — Résultat du calcul du volume d’air de prélèvement total, du comptage attendu, de
la limite supérieure et de la limite inférieure
Limites
t t Volume total d’air Comptage
prélevé, Q × t attendu, E Inférieure, Cconfor-
(min) (s) Supérieure, Céchec
mité
1 60 28,3 1,0 5 (5,0) N.A. (-2,9)
2 120 56,6 2,0 7 (6,0) N.A. (-1,9)
3 180 84,9 3,0 8 (7,0) N.A. (-0,9)
4 240 113,2 4,0 9 (8,0) 0 (0,1)
5 300 141,5 5,0 10 (9,1) 1 (1,1)
6 360 169,8 5,9 11 (10,1) 2 (2,2)
7 420 198,1 6,9 12 (11,1) 3 (3,2)
8 480 226,4 7,9 13 (12,1) 4 (4,2)
9 540 254,7 8,9 14 (13,1) 5 (5,2)
10 600 283,0 9,9 15 (14,2) 6 (6,2)
11 660 311,3 10,9 16 (15,2) 7 (7,3)
12 720 339,6 11,9 17 (16,2) 8 (8,3)
13 780 367,9 12,9 18 (17,2) 9 (9,3)
14 840 396,2 13,9 19 (18,2) 10 (10,3)
15 900 424,5 14,9 20 (19,3) 11 (11,3)

ISO 14644-1:2015(F)

Tableau D.2 (suite)

Limites
t t Volume total d’air Comptage
prélevé, Q × t attendu, E Inférieure, Cconfor-
(min) (s) Supérieure, Céchec
mité
16 960 452,8 15,8 20 (20,3) 12 (12,4)
17 1 020 481,1 16,8 20 (21,3) 13 (13,4)
18 1 080 509,4 17,8 20 (22,3) 14 (14,4)
19 1 140 537,7 18,8 20 (23,3) 15 (15,4)
20 1 200 566,0 19,8 20 (24,4) 16 (16,4)
20,19 = t t 1 211,5 571,429 = Vs 20 21 20
Sur la Figure D.2, les limites supérieure et inférieure admises pour les comptages sont tracées en
fonction du temps de comptage. Chaque barre verticale montre ces limites (supérieure et inférieure) à
des intervalles d’une minute.
Légende
x Durée de comptage (min)
y Limites de comptage (particules)
Limite supérieure pour le comptage observe
Limite inférieure pour le comptage observé
Figure D.2 — Représentation graphique des limites de conformité ou d’échec pour le

prélèvement séquentiel
Comparer le comptage cumulé observé et les limites supérieure et inférieure et appliquer le mode
opératoire décrit en D.3.
a) Situation d’échec, voir le Tableau D.3.

ISO 14644-1:2015(F)

Tableau D.3 — Exemples de comptages de particules par prélèvement séquentiel

Limite pour le comptage Comptage
observé cumulé Comptage
Comptage observé
t (min) t (s) observé Résultat
attendu, E Supérieure, Inférieure, durant
cumulé, C
Céchec Cconformité l’intervalle
1 60 1,0 5 N.A. 2 2 Poursuivre
2 120 2,0 7 N.A. 3 5 Poursuivre
3 180 3,0 8 N.A. 1 6 Poursuivre
4 240 4,0 9 0 0 6 Poursuivre
5 300 5,0 10 1 5 11 ÉCHEC
Le comptage attendu fourni dans le premier mesurage est de 1,0; le comptage cumulé observé est
jugé en «ÉCHEC» lorsqu’il est supérieur ou égal à 5. Toutefois, lorsque le comptage cumulé observé est
compris entre 0 et 5, il ne peut pas être jugé. Dans cet exemple, le prélèvement est poursuivi.
Lorsque le prélèvement se poursuit, le comptage cumulé observé augmente. Toutefois, ceci est facile à
apprécier car le comptage attendu et le comptage de référence augmentent. Au 5ème mesurage (t = 300 s),
le comptage cumulé observé est égal à 11 et dépasse la limite supérieure (10). Il est alors jugé en «ÉCHEC».
b) Situation de conformité, voir le Tableau D.4.
Tableau D.4 — Exemples de comptages de particules par prélèvement séquentiel

Limite pour le comptage Comptage
t observé cumulé Comptage
Comptage observé
t (min) observé Résultat
(s) attendu, E Supérieure, Inférieure, durant
cumulé, C
Céchec Cconformité l’intervalle
1 60 1.0 5 N.A. 0 0 Poursuivre
2 120 2.0 7 N.A. 0 0 Poursuivre
3 180 3.0 8 N.A. 0 0 Poursuivre
4 240 4.0 9 0 0 0 CONFORME
Le comptage attendu fourni dans le premier mesurage est de 1,0; le comptage cumulé observé est jugé
en «ÉCHEC» lorsqu’il est supérieur ou égal à 5. Toutefois, lorsque le comptage est compris entre 0 et 5,
il ne peut pas être jugé. Dans ce cas, le prélèvement est poursuivi, mais le comptage cumulé observé
n’augmente pas. Au 4ème mesurage (t = 240 s), le comptage cumulé observé est égal 0 et correspond à la
limite inférieure (0). Il est alors jugé «CONFORME».

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Annexe E
(informative)
Spécification des classes décimales de propreté et des tailles de

particules intermédiaires
E.1 Classes décimales de propreté intermédiaires

Si des classes de propreté intermédiaires sont requises, il convient d’utiliser le Tableau E.1.
Le Tableau E.1 indique les classes de propreté de l’air en nombre décimal intermédiaires admissibles. Les
incertitudes associées au mesurage des particules rendent les incréments inférieurs à 0,5 inappropriés,
et les notes en-dessous du tableau identifient les restrictions dues au prélèvement et aux limites de
prélèvement des particules.
Tableau E.1 — Classes de propreté particulaire de l’air en nombre décimal intermédiaires

Concentration de particules (particules/m3)a
Numéro de classe
ISO (N) 0,1 0,2 0,3 0,5 1,0 5,0
Classe ISO 1, 5 [32]b d d d d e
Classe ISO 2, 5 316 [75]b [32]b d d e
Classe ISO 3, 5 3 160 748 322 111 d e
Classe ISO 4, 5 31 600 7 480 3 220 1 110 263 e
Classe ISO 5, 5 316 000 74 800 32 200 11 100 2 630 e
Classe ISO 6, 5 3 160 000 748 000 322 000 111 000 26 300 925
Classe ISO 7, 5 c c c 1 110 000 263 000 9 250
Classe ISO 8, 5f c c c 11 100 000 2 630 000 92 500
a Toutes les concentrations données dans le tableau sont cumulées. Par exemple, pour la classe ISO 5,5, les
11 100 particules indiquées à 0,5 µm incluent toutes les particules de tailles égales ou supérieures à cette taille.
b Ces concentrations conduiront à prélever des volumes importants aux fins de classification. Voir Annexe D, Mode
opératoire de prélèvement séquentiel.
c Les concentrations maximales admissibles ne s’appliquent pas dans cette partie du tableau car elles sont très élevées.
d Les limites du prélèvement et les limites statistiques sur ces faibles concentrations rendent la classification
inappropriée.
e Les limites des mécanismes de prélèvement dues à la fois aux faibles concentrations et au prélèvement de particules de
tailles supérieures à 1 µm rendent la classification inappropriée à cause des particules potentiellement non mesurées car
retenues à l’intérieur du système de prélèvement.
f Cette classe n’est applicable qu’à l’état d’occupation en activité.

ISO 14644-1:2015(F)

E.2 Tailles de particules intermédiaires

Si les tailles de particules intermédiaires sont requises pour une classe en nombre entier ou en nombre
décimal, la Formule (E.1) peut être utilisée pour déterminer la concentration maximale admissible à la
taille de particule considérée:
 K 2,08
C n = 10 N ×   (E.1)
 D 
où
Cn représente la concentration maximale admissible (en particules par mètre cube d’air) des parti-
cules en suspension dont le diamètre est égal ou supérieur à la taille de particule considérée. Cn
est arrondi au chiffre entier le plus proche, en se limitant à trois chiffres significatifs;
N représente le numéro de classe ISO. Il ne doit pas être supérieur à 9 ni inférieur à 1;
D représente la taille considérée en micromètres; elle n’est pas indiquée dans le Tableau 1;
K représente une constante, 0,1, exprimée en micromètres.

ISO 14644-1:2015(F)

Annexe F
(informative)
Appareils de mesure
F.1 Introduction
La présente annexe décrit les appareils de mesure qu’il convient d’utiliser pour les essais recommandés
indiqués dans les Annexes A, C et D.
Dans la présente annexe, les données fournies dans les Tableaux F.1 et F.2 indiquent les exigences
minimales nécessaires pour chaque type d’appareil. Il convient de choisir l’appareil de mesure par
accord entre client et fournisseur.
La présente annexe est informative, et il n’y a pas lieu d’empêcher l’utilisation d’un appareil amélioré
lorsqu’il devient disponible. D’autres appareils d’essai peuvent être appropriés et utilisés par accord
entre client et fournisseur.
F.2 Spécification des Instruments

Il convient d’utiliser les instruments suivants pour les essais recommandés indiqués dans les
Annexes A, C et D:
a) compteur de particules individuelles utilisant la diffusion de la lumière (LSAPC);
NOTE Les spécifications pour le compteur LSAPC sont données dans l’ISO 21501-4:2007[1].
b) compteur de macroparticules;
c) compteur de particules à temps de vol;
d) mesures au microscope des particules recueillies sur papier filtre. Voir l’ASTM F312-8[3].
Les termes et les définitions de ces instruments sont indiqués dans l’Article 3.
Tableau F.1 — Spécifications pour le compteur de macroparticules

Élément Spécification
La taille minimum de détection devrait se situer dans l’étendue granulométrique
allant de 5 µm à 80 µm et être appropriée au mesurage de la taille considérée et
Limites de mesure compatible avec la capacité de l’instrument. La concentration particulaire maxi-
male admissible pour le LSAPC doit être supérieure ou égale à la concentration
maximale réelle attendue pour la taille de particules considérée
Résolution de 20 % pour des particules calibrées de la taille spécifiée par le fabri-
Résolution
cant
Erreur maximale tolérée 20 % du comptage particulaire à la taille spécifiée

ISO 14644-1:2015(F)

Tableau F.2 — Spécifications pour le compteur de particules à temps de vol

Élément Spécification
Taille de particule 0,5 µm à 20 µm; concentration particulaire 1,0 × 103/m3 à
Limites de mesure
1,0 × 108/m3
Résolution Diamètre aérodynamique: 0,02 µm à 1,0 µm; 0,03 µm à 10 µm
Erreur maximale tolérée 10 % de la mesure complète

ISO 14644-1:2015(F)

Bibliographie
[1] ISO 21501-4:2007, Détermination de la distribution granulométrique — Méthodes d’interaction

lumineuse de particules uniques — Partie 4: Compteur de particules en suspension dans l’air en
lumière dispersée pour espaces propres
[2] ASTM F312-08, Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from
Aerospace Fluids on Membrane Filters. ASTM International
[3] IEST-G-CC1003. Measurement of Airborne Macroparticles. Institute of Environmental Sciences
and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999
[4] IEST-G-CC1004. Sequential-Sampling Plan for Use in Classification of the Particulate Cleanliness
of Air in Cleanrooms and Clean Zones. Institute of Environmental Sciences and Technology,
Arlington Heights, Illinois, 1999
[5] JIS B 9920:2002, Classification of air cleanliness for cleanrooms. Japanese Standards Association

NF - EN - ISO - 14644-1 (Fevr 2016) Salles Propres - Part1 Classification Particulaire (FR)

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FA162637 ISSN 0335-3931

Indice de classement : X 44-101-1

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Norme française homologuée

Correspondance La Norme européenne EN ISO 14644-1:2015 a le statut d'une norme française et

Résumé Le présent document spécifie la classification de la propreté de l’air des salles

Descripteurs Thésaurus International Technique : salle propre, pureté, atmosphère maîtrisée,

Modifications Par rapport au document remplacé, révision de la norme.

© AFNOR — Tous droits réservés Version de 2016-02-P

Pour comprendre les normes

L’attention du lecteur est attirée sur les points suivants :

Technologies des salles propres AFNOR X44B

Composition de la commission de normalisation

MME AGRAPART CNRS

MME ALLOUL-MARMOR ASPEC

M ARNOULD LCB — LABORATOIRE DE CHIMIE ET DE BIOLOGIE

MME BAUDOUX CONFORMAT

M BERGERON ECOLE NORMALE SUPERIEURE DE LYON

MME BESSIÈRES MILLIPORE SAS

MME BIZET BERTIN TECHNOLOGIES

MME FAYE CNES

M HARGREAVES JOHN HARGREAVES ASSISTANCE ET CONSEIL (ASPEC)

M LHERBIER ALPA GROUPE

M MIGUET GROUPE SERVICES FRANCE

M RIGNAC EDF R&D

MME ROCHE FAURE QEI

DR THIBAUDON RNSA LABORATOIRE (ASPEC)

MME TOVENA-PECAULT CEA CESTA

ICS : 13.040.35 Remplace EN ISO 14644-1:1999

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Cleanrooms and associated controlled

La présente Norme européenne a été adoptée par le CEN le 27 novembre 2015.

Europäisches Komitee für Normung

Centre de Gestion : 17 Avenue Marnix, B-1000 Bruxelles

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iv ﻿ © ISO 2015 – Tous droits réservés

— Partie 1: Principes généraux et méthodes

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vi ﻿ © ISO 2015 – Tous droits réservés

© ISO 2015 – Tous droits réservés ﻿ vii

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

© ISO 2015 – Tous droits réservés ﻿ 1

3.2 Particules en suspension dans l’air

2 ﻿ © ISO 2015 – Tous droits réservés

3.3 États d’occupation

3.4 Appareils de mesure (voir l’Annexe F)

[SOURCE: Guide ISO/IEC 99:2007, 4.14]

© ISO 2015 – Tous droits réservés ﻿ 3

[SOURCE: Guide ISO/IEC 99:2007, 4.26]

3.5 Spécifications de l’instrument

Note 2 à l’article: Voir le Tableau F.2 pour les spécifications.

4.1 État(s) d’occupation

4.2 Taille(s) de particule

4.3 Numéro de classe ISO

4 ﻿ © ISO 2015 – Tous droits réservés

Tableau 1 — Classes ISO de la propreté particulaire de l’air

3 1 000 237 102 35b d e

4 10 000 2 370 1 020 352 83b e

5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 d, e, f

6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293

4.4 Expression de la classification

Classe ISO 4; au repos; 0,2 µm; 0,5 µm

4.5 Classes décimales intermédiaires de propreté et tailles de particules de référence

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