ISO 14644-3-Méthodes D'essai

r é s e r vé
Usage t e ur
t i l i s a
à1u
NF EN ISO 14644-3
OCTOBRE 2019
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BOUTIQUE AFNOR
Nom : GNING Babacar
Pour : INSTITUT PASTEUR
Client : 90308500
Commande : N20201029-478613-T
le : 29/10/2020 à 12:34
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GNING Babacar (bgning@pasteur.sn) Pour : INSTITUT PASTEUR
FA129012 ISSN 0335-3931
NF EN ISO 14644-3
Octobre 2019
Indice de classement : X 44-101-3
ICS : 13.040.35
Salles propres et environnements maîtrisés

apparentés — Partie 3 : Méthodes d'essai
E : Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
D : Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Teil 3: Prüfverfahren
Norme française
homologuée par décision du Directeur Général d'AFNOR en novembre 2019.
Remplace la norme homologuée NF EN ISO 14644-3 (X 44-103), de mars 2006.
Correspondance La Norme européenne EN ISO 14644-3:2019 est mise en application avec le statut de norme
française par publication d’un texte identique et reproduit intégralement la Norme
internationale ISO 14644-3:2019, version corrigée 2020-06.
La version anglaise de cette norme française a été prépubliée dès que la norme européenne
a été disponible, en octobre 2019.
Résumé Le présent document fournit des méthodes d’essai relatives au fonctionnement des salles
propres et zones propres dans le but de satisfaire aux classifications de propreté de l’air et
aux conditions maîtrisées associées. Les essais de classification de la propreté sont décrits
dans la NF ISO 14644-1 (classification de la propreté particulaire de l’air et pour les
macroparticules). Les niveaux d’autres caractéristiques associées peuvent être déterminés
à l’aide de la NF ISO 14644-8 (niveaux de propreté chimique de l’air), la NF ISO 14644-9
(niveaux de propreté particulaire des surfaces) et la NF ISO 14644-10 (niveaux de propreté
chimique des surfaces). Des essais de performance sont spécifiés pour deux types de salles
propres et de zones propres : des essais mettant en œuvre un écoulement soit unidirectionnel,
soit non unidirectionnel et dans trois états possibles d’occupation : après construction, au
repos et en activité. Les méthodes d’essai, les appareillages d’essai recommandés ainsi que
les modes opératoires d’essai permettant de déterminer les paramètres de performance sont
indiqués. Quand la méthode d’essai est susceptible de modification en fonction du type de
salle propre ou de zone propre dont il est question, des modes opératoires alternatifs sont
proposés. Pour certains essais, plusieurs méthodes et appareils sont recommandés afin de
tenir compte des considérations spécifiques de plusieurs applications.
Descripteurs Thésaurus International Technique : salle propre, atmosphère maîtrisée, contrôle

contamination atmosphérique, définition, métrologie, mesurage, densité de particule,
concentration, filtre d'air, débit, électrostatique, instrument de mesurage, essai.
Modifications Par rapport au document remplacé, révision technique de la norme.
Corrections Par rapport au 1er tirage, intégration de la version corrigée 2020-06 de la norme internationale
ISO 14644-3.
Éditée et diffusée par l’Association Française de Normalisation (AFNOR) — 11, rue Francis de Pressensé — 93571 La Plaine Saint-Denis Cedex
Tél. : + 33 (0)1 41 62 80 00 — Fax : + 33 (0)1 49 17 90 00 — www.afnor.org
© AFNOR — Tous droits réservés Version corrigée 1 de 2020-07-P

NF EN ISO 14644-3 —2—
La norme La norme est destinée à servir de base dans les relations entre partenaires
économiques, scientifiques, techniques et sociaux.
La norme par nature est d’application volontaire. Référencée dans un contrat, elle
s’impose aux parties. Une réglementation peut rendre d’application obligatoire tout ou
partie d’une norme.
La norme est un document élaboré par consensus au sein d’un organisme de
normalisation par sollicitation des représentants de toutes les parties intéressées.
Son adoption est précédée d’une enquête publique.
La norme fait l’objet d’un examen régulier pour évaluer sa pertinence dans le temps.
Toute norme française prend effet le mois suivant sa date d’homologation.
Pour comprendre L’attention du lecteur est attirée sur les points suivants :
les normes Seules les formes verbales doit et doivent sont utilisées pour exprimer une ou des
exigences qui doivent être respectées pour se conformer au présent document.
Ces exigences peuvent se trouver dans le corps de la norme ou en annexe qualifiée de
«normative». Pour les méthodes d’essai, l’utilisation de l’infinitif correspond à une
exigence.
Les expressions telles que, il convient et il est recommandé sont utilisées pour
exprimer une possibilité préférée mais non exigée pour se conformer au présent
document. Les formes verbales peut et peuvent sont utilisées pour exprimer une
suggestion ou un conseil utiles mais non obligatoires, ou une autorisation.
En outre, le présent document peut fournir des renseignements supplémentaires destinés
à faciliter la compréhension ou l'utilisation de certains éléments ou à en clarifier
l'application, sans énoncer d'exigence à respecter. Ces éléments sont présentés sous forme
de notes ou d'annexes informatives.
Commission Une commission de normalisation réunit, dans un domaine d’activité donné, les
de normalisation expertises nécessaires à l’élaboration des normes françaises et des positions françaises
sur les projets de norme européenne ou internationale. Elle peut également préparer
des normes expérimentales et des fascicules de documentation.
La composition de la commission de normalisation qui a élaboré le présent document est
donnée ci‐après. Lorsqu’un expert représente un organisme différent de son organisme
d’appartenance, cette information apparaît sous la forme : organisme d’appartenance
(organisme représenté).
Vous avez utilisé ce document, faites part de votre expérience à ceux qui l'ont
élaboré.
Scannez le QR Code pour accéder au questionnaire de ce document ou
retrouvez‐nous sur http://norminfo.afnor.org/norme/103587.
—3— NF EN ISO 14644-3
Technologies des salles propres AFNOR X44B
Composition de la commission de normalisation

Président : MME VANDRIESSCHE
Secrétariat : MME FORTIN — AFNOR
M ARNOULD LCB FOOD SAFETY
MME BAUDOUX CONFORMAT
M BERGERON ECOLE NORMALE SUPERIEURE DE LYON

MME BESSIÈRES MILLIPORE SAS
MME BIZET BERTIN TECHNOLOGIES
M BOMBARDIER FAURE QEI
MME DUBACQ BERTIN TECHNOLOGIES
M DUHEM INTERTEK FRANCE
M DUVAL CONFORMAT
MME FAYE CNES
MME FERRAND ICARE
M HARGREAVES JOHN HARGREAVES ASSISTANCE ET CONSEIL

(ASPEC — ASSO PREVENTION ETUDE CONTAMINATION)
M LAMIC ELIS
MME MORIAU IGIENAIR
M PASTEL IGIENAIR
M POINSOT ICARE
M RIGNAC EDF — R&D
M THAVEAU AEROLAB
DR THIBAUDON RNSA LABORATOIRE

(ASPEC — ASSO PREVENTION ETUDE CONTAMINATION)
MME VANDRIESSCHE ASPEC — ASSO PREVENTION ETUDE CONTAMINATION
M VANHÉE CAMFIL
M VARILH MAPE — MESURE ANALYSE PROCESS ENVIRONNEMENT
Avant-propos national
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de droits de
propriété industrielle ou de droits analogues. AFNOR ne saurait être tenu pour responsable de ne pas avoir identifié
de tels droits de propriété et averti de leur existence.
Entre les versions 2005 et 2019 de la NF ISO 14644-3, certains changements importants sont à signaler pour guider
le lecteur :
— Notions métrologiques : Ajout de deux définitions (Sensibilité et Résolution) et Préconisation d’une Erreur
Maximale Tolérée (EMT) pour la sélection des appareils de mesure.
— Nouveau test : Essai de séparation pour des dispositifs séparatifs (ou de protection rapprochée) positionnés dans
une ambiance de classe de propreté moins performante.
NF EN ISO 14644-3 —4—
— Nouveau critère : Critère d’uniformité d’un flux aéraulique basé sur l’application d’une formule.
— Méthodologies : des précisions sont apportées selon les différents essais :
- Mesure du débit d’air en conduit : selon méthodologie convenue entre client et fournisseur
- Mesure de débit d’air au balomètre : ajout d’un facteur de correction sur le débit d’air en fonction de la
comparaison avec les essais effectués en conduit
- Gradient de pression : si les mesures sont inférieures au résultat attendu, confirmation nécessaire du sens
d’écoulement de l’air (test de visualisation de flux)
- Test d’intégrité :
• Si plusieurs régimes de vitesse existent sur une installation, choisir le niveau le plus élevé de sortie d’air.
• Modification du critère de fuite pour les filtres H13, revu à la baisse : 0,1 % (et non 0,01 % comme en 2005),
nouveau critère adopté en consensus international. Attention au suivi des installations dans le temps.
La norme peut être adaptée par accord client-fournisseur.
• Pour la méthodologie au compteur optique de particules : suppression du facteur K de pénétration du filtre
- Température et Humidité relative :
• Il n’y est plus question de méthodes d’essais spécifiques aux salles propres. Le lecteur est orienté vers des
normes plus générales comme la NF ISO 7726.
• Plus de distinction entre un essai général et un essai complet.
• Période de temps de mesurage soumise à accord client-fournisseur.
- Temps de récupération :
• Deux possibilités 10:1 (cf. cinétique d’élimination des particules, selon NF S 90-351) ou 100:1.
• Notion nouvelle : positionner la sonde aux emplacements jugés critiques.
— Appareils d’essai : Les caractéristiques sont simplifiées et portent sur les limites de mesurage, la résolution
et l’EMT.
NORME EUROPÉENNE EN ISO 14644-3

EUROPÄISCHE NORM
EUROPEAN STANDARD Octobre 2019
ICS : 13.040.35 Remplace l' EN ISO 14644-3:2005
Version française
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Partie 3 : Méthodes d'essai
(ISO 14644-3:2019)
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Cleanrooms and associated controlled environments —

Teil 3: Prüfverfahren Part 3: Test methods
(ISO 14644-3:2019) (ISO 14644-3:2019)
La présente Norme européenne a été adoptée par le CEN le 24 juillet 2019.
Les membres du CEN sont tenus de se soumettre au Règlement Intérieur du CEN/CENELEC, qui définit les
conditions dans lesquelles doit être attribué, sans modification, le statut de norme nationale à la Norme
européenne. Les listes mises à jour et les références bibliographiques relatives à ces normes nationales
peuvent être obtenues auprès du Centre de Gestion du CEN/CENELEC ou auprès des membres du CEN.
La présente Norme européenne existe en trois versions officielles (allemand, anglais, français). Une version
dans une autre langue faite par traduction sous la responsabilité d'un membre du CEN dans sa langue
nationale et notifiée au Centre de Gestion du CEN/CENELEC, a le même statut que les versions officielles.
Les membres du CEN sont les organismes nationaux de normalisation des pays suivants : Allemagne,
Autriche, Belgique, Bulgarie, Chypre, Croatie, Danemark, Espagne, Estonie, Finlande, France, Grèce,
Hongrie, Irlande, Islande, Italie, Lettonie, Lituanie, Luxembourg, Malte, Norvège, Pays-Bas, Pologne,
Portugal, République de Macédoine du Nord, République de Serbie, République Tchèque, Roumanie,
Royaume-Uni, Slovaquie, Slovénie, Suède, Suisse et Turquie.
COMITÉ EUROPÉEN DE NORMALISATION

Europäisches Komitee für Normung
European Committee for Standardization
CEN-CENELEC Management Centre : Rue de la Science 23, B-1040 Bruxelles
© CEN 2019 Tous droits d’exploitation sous quelque forme et de quelque manière que ce soit réservés dans le monde
entier aux membres nationaux du CEN.
Réf. n° EN ISO 14644-3:2019 F
EN ISO 14644-3:2019 (F)
Avant-propos européen
Le présent document (EN ISO 14644-3:2019) a été élaboré par le Comité Technique ISO/TC 209 « Salles propres
et environnements maîtrisés apparentés » en collaboration avec le Comité Technique CEN/TC 243 « Technologie
des salles propres » dont le secrétariat est tenu par BSI.
La présente Norme européenne devra recevoir le statut de norme nationale, soit par publication d’un texte identique,
soit par entérinement, au plus tard en avril 2020 et les normes nationales en contradiction devront être retirées au
plus tard en avril 2020.
L'attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l'objet de droits de
propriété intellectuelle ou de droits analogues. Le CEN ne saurait être tenu responsable de l’identification de tels ou
tels brevets.
Ce document remplace l’EN ISO 14644-3:2005.
Selon le règlement intérieur du CEN/CENELEC, les instituts de normalisation nationaux des pays suivants sont tenus
de mettre cette Norme européenne en application : Allemagne, Autriche, Belgique, Bulgarie, Chypre, Croatie,
Danemark, Espagne, Estonie, Finlande, France, Grèce, Hongrie, Irlande, Islande, Italie, Lettonie, Lituanie,
Luxembourg, Malte, Norvège, Pays-Bas, Pologne, Portugal, République de Macédoine du Nord, République
tchèque, Roumanie, Royaume-Uni, Serbie, Slovaquie, Slovénie, Suède, Suisse et Turquie.
Notice d’entérinement
Le texte de l’ISO 14644-3:2019 a été approuvé par le CEN comme EN ISO 14644-3:2019 sans aucune modification.
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ISO 14644-3:2019(F)

Sommaire Page
Avant-propos............................................................................................................................................................................................................................... iv
Introduction...................................................................................................................................................................................................................................v
1 Domaine d’application.................................................................................................................................................................................... 1
2 Références normatives.................................................................................................................................................................................... 1
3 Termes et définitions........................................................................................................................................................................................ 1
3.1 Termes généraux.................................................................................................................................................................................... 2
3.2 Termes relatifs aux particules en suspension dans l’air...................................................................................... 3
3.3 Termes relatifs aux filtres à air et systèmes de filtration.................................................................................... 4
3.4 Termes relatifs à l’écoulement de l’air et à d’autres états physiques........................................................ 4
3.5 Termes relatifs au mesurage électrostatique................................................................................................................ 5
3.6 Termes relatifs aux appareils et aux conditions de mesure.............................................................................. 6
3.7 Termes relatifs aux états d’occupation................................................................................................................................ 6
4 Modes opératoires d’essai........................................................................................................................................................................... 7
4.1 Essais de salle propre......................................................................................................................................................................... 7
4.1.1 Généralités............................................................................................................................................................................. 7
4.1.2 Essais complémentaires............................................................................................................................................. 7
4.2 Principe.......................................................................................................................................................................................................... 8
4.2.1 Mesurage de la pression différentielle de l’air........................................................................................ 8
4.2.2 Mesurage du flux d’air.................................................................................................................................................. 8
4.2.3 Direction et visualisation de l’écoulement de l’air.............................................................................. 8
4.2.4 Essai de récupération................................................................................................................................................... 8
4.2.5 Mesurage de la température................................................................................................................................... 9
4.2.6 Mesurage de l’humidité............................................................................................................................................... 9
4.2.7 Recherches de fuite sur l’élément de filtration installé................................................................... 9
4.2.8 Essai de recherche de fuite de confinement.............................................................................................. 9
4.2.9 Essais électrostatiques et essai de générateur d’ions....................................................................... 9
4.2.10 Essai de sédimentation de particules............................................................................................................. 9
4.2.11 Essai de séparation......................................................................................................................................................... 9
5 Rapports d’essai..................................................................................................................................................................................................10
Annexe A (informative) Sélection et liste des essais complémentaires recommandés.................................11
Annexe B (informative) Méthodes d’essais complémentaires.................................................................................................16
Annexe C (informative) Appareil d’essai........................................................................................................................................................48
Bibliographie............................................................................................................................................................................................................................ 57
© ISO 2019 – Tous droits réservés iii

ISO 14644-3:2019(F)

Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes
nationaux de normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est
en général confiée aux comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude
a le droit de faire partie du comité technique créé à cet effet. Les organisations internationales,
gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’ISO participent également aux travaux.
L’ISO collabore étroitement avec la Commission électrotechnique internationale (IEC) en ce qui
concerne la normalisation électrotechnique.
Les procédures utilisées pour élaborer le présent document et celles destinées à sa mise à jour sont
décrites dans les Directives ISO/IEC, Partie 1. Il convient, en particulier de prendre note des différents
critères d’approbation requis pour les différents types de documents ISO. Le présent document a été
rédigé conformément aux règles de rédaction données dans les Directives ISO/IEC, Partie 2 (voir www
.iso.org/directives).
L’attention est attirée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de
droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence. Les détails concernant
les références aux droits de propriété intellectuelle ou autres droits analogues identifiés lors de
l’élaboration du document sont indiqués dans l’Introduction et/ou dans la liste des déclarations de
brevets reçues par l’ISO (voir www.iso.org/brevets).
Les appellations commerciales éventuellement mentionnées dans le présent document sont données
pour information, par souci de commodité, à l’intention des utilisateurs et ne sauraient constituer un
engagement.
Pour une explication de la nature volontaire des normes, la signification des termes et expressions
spécifiques de l’ISO liés à l’évaluation de la conformité, ou pour toute information au sujet de l’adhésion
de l’ISO aux principes de l’Organisation mondiale du commerce (OMC) concernant les obstacles
techniques au commerce (OTC), voir le lien suivant: www.iso.org/iso/f r/avant-propos.html.
Le présent document a été élaboré par le comité technique ISO/TC 209, Salles propres et environnements
maîtrisés apparentés.
Il convient que l’utilisateur adresse tout retour d’information ou toute question concernant le présent
document à l’organisme national de normalisation de son pays. Une liste exhaustive desdits organismes
se trouve à l’adresse www.iso.org/f r/members.html.
Cette deuxième édition de l’ISO 14644-3 annule et remplace la première édition (ISO 14644-3:2005), qui
a fait l’objet d’une révision technique. Les principales modifications par rapport à l’édition précédente
sont les suivantes:
— simplification et correction de l’Article B.7 pour répondre aux préoccupations concernant sa
complexité et aux erreurs relevées;
— transfert des recommandations concernant la classification de la propreté particulaire de l’air dans
l’ISO 14644-1[1];
— révision ou clarification du texte de l’intégralité du document afin de faciliter son application.
Une liste de toutes les parties de la série ISO 14644 se trouve sur le site web de l’ISO.
La présente version corrigée de l'ISO 14644-3:2019 inclut les corrections suivantes:
— les réferences ont été corrigées dans le Tableau A.1, B.4.4, C.1, C.4.2 et C.4.3;
— la formulation a été revue en B.2.1 a) et dans le Tableau B.2;
— l'ancienne Figure B.2 a été supprimée.
iv © ISO 2019 – Tous droits réservés

ISO 14644-3:2019(F)

Introduction
Les salles propres et environnements maîtrisés apparentés permettent la maîtrise de la contamination
à des niveaux appropriés à la conduite d’activités sensibles à la contamination. Parmi les produits
et procédés qui bénéficient de cette maîtrise de la contamination aérienne figurent entre autres
l’aérospatial, la microélectronique, l’industrie pharmaceutique, les dispositifs médicaux, la santé et
l’agroalimentaire.
Le présent document décrit des méthodes d’essai appropriées au mesurage des performances d’une
salle propre, d’une zone propre ou d’un environnement maîtrisé apparenté, incluant les dispositifs
séparatifs et les zones maîtrisées ainsi que toutes les structures associées, les systèmes de traitement
de l’air et les servitudes.
NOTE Le présent document n’expose pas tous les modes opératoires d’essai des paramètres d’une salle
propre. Le mode opératoire et l’appareillage nécessaires à l’essai portant sur les classes de propreté particulaire
de l’air et pour les macroparticules sont fournis dans l’ISO 14644-1[1] et les spécifications relatives à la
surveillance de la propreté particulaire de l’air à l’échelle nanométrique sont fournies dans l’ISO 14644-12[8]. Les
modes opératoires et les appareils utilisés pour caractériser d’autres paramètres présentant un intérêt pour les
salles propres et zones propres destinées à des produits ou à des procédés spécifiques sont traités dans d’autres
documents élaborés par l’ISO/TC 209 [par exemple, des modes opératoires pour la maîtrise et le mesurage de
matières viables (série ISO 14698), le contrôle du bon fonctionnement d’une salle propre (ISO 14644-4[3]) et
l’essai des dispositifs séparatifs (ISO 14644-7[4])]. De plus, d’autres normes peuvent être considérées comme
applicables. D’autres niveaux d’attribut de propreté associés peuvent être déterminés à l’aide de l’ISO 14644-8[5]
(niveaux de propreté chimique de l’air), l’ISO 14644-9[6] (niveaux de propreté particulaire des surfaces) et
l’ISO 14644-10[7] (niveaux de propreté chimique des surfaces).
© ISO 2019 – Tous droits réservés v

NORME INTERNATIONALE ISO 14644-3:2019(F)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Partie 3:
Méthodes d'essai
1 Domaine d’application
Le présent document fournit des méthodes d’essai relatives au fonctionnement des salles propres et
zones propres dans le but de satisfaire à la classification de propreté de l’air, aux autres attributs de
propreté et aux conditions maîtrisées associées.
Des essais de performance sont spécifiés pour deux types de salles propres et de zones propres: des
essais mettant en œuvre un flux d’air soit unidirectionnel, soit non unidirectionnel et dans trois états
possibles d’occupation: après construction, au repos et en activité.
Les méthodes d’essai, l’appareillage d’essai recommandé ainsi que les modes opératoires d’essai
permettant de déterminer les paramètres de performance sont indiqués. Quand la méthode d’essai est
susceptible de modification en fonction du type de salle propre ou de zone propre dont il est question,
des modes opératoires alternatifs sont proposés.
Pour certains essais, plusieurs méthodes et appareils sont recommandés afin de tenir compte des
considérations spécifiques de plusieurs applications. Des méthodes alternatives ne figurant pas dans le
présent document peuvent être utilisées sous réserve d’un accord entre le client et le fournisseur. Des
méthodes alternatives ne fournissent pas nécessairement des mesurages équivalents.
Le présent document ne s’applique pas au mesurage effectué sur des produits ou des procédés situés
dans les salles propres, les zones propres ou les dispositifs séparatifs.
NOTE Le présent document ne prétend pas traiter les aspects de sécurité associés à son utilisation
(par exemple, lors de la mise en œuvre de matériaux, d’opérations et d’équipements dangereux). Il relève de la
responsabilité de l’utilisateur du présent document d’établir des pratiques appropriées en matière d’hygiène et
de sécurité et de déterminer l’applicabilité des limitations réglementaires avant son utilisation.
2 Références normatives
Le présent document ne contient aucune référence normative.
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions suivants s’appliquent.
L’ISO et l’IEC tiennent à jour des bases de données terminologiques destinées à être utilisées en
normalisation, consultables aux adresses suivantes:
— ISO Online browsing platform: disponible à l’adresse https://w ww.iso.org/obp/;
— IEC Electropedia: disponible à l’adresse http://w ww.electropedia.org/.
© ISO 2019 – Tous droits réservés 1

ISO 14644-3:2019(F)

3.1 Termes généraux

3.1.1
salle propre
salle dans laquelle la concentration en nombre des particules en suspension dans l’air (3.2.1) est
maîtrisée et classée, et qui est construite et utilisée de façon à minimiser l’introduction, la production
et la rétention des particules à l’intérieur de la pièce
Note 1 à l'article: La classe de concentration particulaire (3.2.4) de l’air est spécifiée.
Note 2 à l'article: Le niveau des autres attributs de propreté de l’air tels que les concentrations chimiques,
viables ou nanométriques, ainsi que le niveau de ceux des surfaces tels que les concentrations particulaires,
nanométriques, chimiques et viables pourrait être aussi spécifié et maîtrisé.
Note 3 à l'article: D’autres paramètres physiques pertinents, par exemple la température, l’humidité, la pression,
les vibrations et les propriétés électrostatiques, pourraient être maîtrisés si requis.
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.1.1, modifiée — La Note 1 à l’article a été modifiée.]

3.1.2
zone propre
espace défini dans lequel la concentration en nombre des particules en suspension dans l’air (3.2.1) est
maîtrisée et classée, et qui est construit et utilisé de façon à minimiser l’introduction, la production et la
rétention de particules à l’intérieur de l’espace
Note 1 à l'article: La classe de concentration particulaire (3.2.4) de l’air est spécifiée.
Note 2 à l'article: Le niveau des autres attributs de propreté de l’air tels que les concentrations chimiques,
viables ou nanométriques, ainsi que le niveau de ceux des surfaces tels que les concentrations particulaires,
nanométriques, chimiques et viables pourrait être aussi spécifié et maîtrisé.
Note 3 à l'article: La zone propre peut être un espace défini à l’intérieur d’une salle propre (3.1.1), ou peut être
concrétisée par un dispositif séparatif. Un tel dispositif peut être situé à l’intérieur d’une salle propre ou non.
Note 4 à l'article: D’autres paramètres physiques pertinents, par exemple la température, l’humidité, la pression,
les vibrations et les propriétés électrostatiques, pourraient être maîtrisés si requis.
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.1.2 modifiée — La Note 1 à l’article a été modifiée.]

3.1.3
installation
une salle propre (3.1.1) ou une ou plusieurs zones propres (3.1.2) incluant toutes les structures associées,
les systèmes de traitement de l’air et les servitudes
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.1.3]
3.1.4
dispositif séparatif
équipement utilisant des moyens structurels et dynamiques pour créer des niveaux assurés de
séparation entre l’intérieur et l’extérieur d’un volume défini
Note 1 à l'article: Des exemples de dispositifs séparatifs spécifiques à l’industrie sont les postes à air propre, les
enceintes de confinement, les boîtes à gants, les isolateurs et les mini-environnements.
[SOURCE: ISO 14644-7:2004, 3.17]

3.1.5
résolution
plus petite variation de la grandeur mesurée qui produit une variation perceptible de l’indication
correspondante
Note 1 à l'article: La résolution peut dépendre, par exemple, du bruit (interne ou externe) ou du frottement. Elle
peut aussi dépendre de la valeur de la grandeur mesurée.
2 © ISO 2019 – Tous droits réservés

ISO 14644-3:2019(F)

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.4.1]

3.1.6
sensibilité
quotient de la variation de l’indication d’un système de mesure par la variation correspondante de la
valeur de la grandeur mesurée
3.2 Termes relatifs aux particules en suspension dans l’air

3.2.1
particule en suspension dans l’air
objet solide ou liquide, viable ou non viable, en suspension dans l’air, dont la taille se situe dans la plage
granulométrique comprise entre 1 nm et 100 µm
Note 1 à l'article: Pour les besoins de classification, se référer à l’ISO 14644-1:2015, 3.2.1.
3.2.2
diamètre particulaire médian en nombre
diamètre particulaire médian fondé sur le nombre de particules
Note 1 à l'article: Pour la médiane en nombre, une moitié du nombre total des particules est composée par les
particules de taille inférieure à la taille de la médiane en nombre et l’autre moitié par les particules de taille
supérieure à la taille de la médiane en nombre.
3.2.3
diamètre particulaire médian en masse
diamètre particulaire médian fondé sur la masse des particules
Note 1 à l'article: Pour la médiane en masse, une moitié de la masse totale des particules est composée par
les particules de taille inférieure à la taille de la médiane en masse et l’autre moitié par les particules de taille
supérieure à la taille de la médiane en masse.
3.2.4
concentration particulaire
nombre de particules individuelles par unité de volume d’air
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.3]
3.2.5
taille de particule
diamètre d’une sphère qui, dans un instrument donné de mesure des tailles de particules, donne une
réponse qui est équivalente à la réponse de la particule à mesurer
Note 1 à l'article: Pour les instruments faisant appel aux caractéristiques de la diffusion de la lumière et capables
de compter les particules individuellement, on utilise le terme diamètre optique équivalent.
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.2]

3.2.6
distribution granulométrique
distribution cumulée des concentrations particulaires (3.2.4) en fonction de la taille de particule (3.2.5)
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.4, modifiée — La définition a été modifiée.]
3.2.7
aérosol d’essai
suspension dans un gaz de particules solides et/ou liquides possédant une distribution granulométrique
et une concentration connues et maîtrisées

ISO 14644-3:2019(F)

3.3 Termes relatifs aux filtres à air et systèmes de filtration

3.3.1
essai par aérosol
contrôle d’un filtre ou d’un élément de filtration installé (3.3.6) par exposition à un aérosol d’essai (3.2.7)
3.3.2
fuite admissible
pénétration maximale autorisée à travers une fuite (3.3.8), détectable par balayage (3.3.9) d’une
installation (3.1.3) de filtration au moyen d’un compteur de particules en suspension dans l’air utilisant
la diffusion de la lumière (LSAPC) ou d’un photomètre d’aérosol (3.6.2), déterminée par accord entre le
client et le fournisseur
3.3.3
dispositif de dilution
dispositif servant à mélanger un aérosol à un air de dilution ne comportant pas de particules, dans un
rapport volumétrique connu, afin d’en réduire la concentration
3.3.4
dispositif de filtration
montage constitué d’un filtre, d’un cadre et de tout autre mécanisme de support ou caisson
3.3.5
filtre terminal
filtre monté en position terminale avant que l’air ne pénètre dans la salle propre (3.1.1) ou la zone
propre (3.1.2)
3.3.6
élément de filtration installé
dispositif de filtration (3.3.4) monté dans un plafond, une paroi, un appareil ou un conduit d’air
3.3.7
recherche de fuite sur l’élément de filtration installé
essai effectué pour confirmer le montage correct des filtres par vérification de l’absence de fuite par
passage direct dans l’installation (3.1.3) de filtration et de l’absence de défaut et de fuite (3.3.8) dans les
filtres et dans la structure de montage
3.3.8
fuite
<d’un élément de filtration> pénétration de contaminants dépassant une valeur de concentration en
aval attendue par suite d’une absence d’intégrité ou d’un défaut
3.3.9
balayage
méthode de recherche de fuites (3.3.8) dans des filtres et parties d’un ensemble de filtration, par laquelle
la sonde d’entrée d’un photomètre d’aérosol (3.6.2) ou d’un compteur de particules en suspension dans
l’air utilisant la diffusion de la lumière est déplacée par passes successives, se recouvrant partiellement,
sur la surface définie pour l’essai
3.4 Termes relatifs à l’écoulement de l’air et à d’autres états physiques

3.4.1
taux de renouvellement de l’air
taux exprimant le nombre de renouvellements d’un volume d’air par unité de temps et calculé en
divisant le volume d’air soufflé pendant cette unité de temps par le volume de la salle propre (3.1.1) ou
de la zone propre (3.1.2)

ISO 14644-3:2019(F)

3.4.2
section de mesurage
aire de coupe transversale considérée pour mesurer ou contrôler un paramètre de performance tel que
la vitesse d’écoulement de l’air
3.4.3
flux d’air non unidirectionnel
distribution de l’air où l’air soufflé entrant dans la salle propre (3.1.1) ou la zone propre (3.1.2) se mélange
avec l’air intérieur par phénomène d’induction
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.8]
3.4.4
débit d’air soufflé
volume d’air par unité de temps soufflé à l’intérieur d’une salle propre (3.1.1) ou d’une zone propre (3.1.2)
à partir de filtres terminaux (3.3.5) ou de conduits d’air
3.4.5
débit d’air total
volume d’air par unité de temps traversant une coupe transversale de salle propre (3.1.1) ou de zone
propre (3.1.2)
3.4.6
flux d’air unidirectionnel
flux d’air maîtrisé traversant l’ensemble d’un plan de coupe d’une salle propre (3.1.1) ou zone propre
(3.1.2) possédant une vitesse régulière et des filets considérés comme étant parallèles
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.7]
3.4.7
uniformité des vitesses
régime de flux d’air unidirectionnel (3.4.6) dans lequel les mesures point par point de la vitesse (rapidité
et direction du flux d’air) se situent dans la plage d’un pourcentage défini de la vitesse moyenne
d’écoulement de l’air
3.5 Termes relatifs au mesurage électrostatique

3.5.1
temps de décharge
temps requis pour réduire la tension à un niveau de la tension initiale, positive ou négative, de charge
initiale d’une plaque conductrice isolée disposée pour l’essai
3.5.2
tension induite
tension s’accumulant sur une plaque conductrice isolée, disposée sans charge initiale au contact d’une
atmosphère ionisée
3.5.3
propriété de dissipation de charge électrostatique
capacité à réduire une charge électrostatique accumulée en surface d’un plan de travail ou d’un produit
à une valeur spécifique ou à un niveau de charge nominale nulle, grâce à la conduction ou à tout autre
mécanisme
3.5.4
niveau de tension de surface
niveau de tension, négative ou positive, de la charge électrostatique accumulée en surface d’un plan de
travail ou d’un produit, indiqué au moyen d’un instrument approprié

ISO 14644-3:2019(F)

3.6 Termes relatifs aux appareils et aux conditions de mesure

3.6.1
générateur d’aérosol
appareil capable de générer une matière particulaire de plage granulométrique appropriée (par
exemple entre 0,05 µm et 2 µm) à une concentration constante, qui peut être produite par des moyens
thermiques, hydrauliques, pneumatiques, acoustiques ou électrostatiques
3.6.2
photomètre d’aérosol
appareil de mesure de la concentration en masse de particules en suspension dans l’air (3.2.1) utilisant la
diffusion de la lumière dans une chambre optique pour effectuer les mesurages
3.6.3
hotte de captage de flux d’air dotée d’un dispositif de mesure
dispositif équipé d’un appareil de sorte à recouvrir complètement le filtre ou la bouche de soufflage et
à capter l’air afin de mesurer directement le débit d’air soufflé
3.6.4
LSAPC (light scattering airborne particle counter)
compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière
instrument capable de compter et de mesurer individuellement les particules en suspension dans l’air
(3.2.1) et de fournir les données de mesure en termes de diamètre optique équivalent
Note 1 à l'article: Les spécifications relatives aux compteurs de particules sont données dans l’ISO 21501-4.
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.5.1, modifiée — Le terme «compteur de particules individuelles en

suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière» a été supprimé. La Note 1 à l’article a été
reformulée.]
3.6.5
plaque témoin
matériau de surface définie utilisé à la place de l’évaluation directe d’une surface spécifique quand cette
surface est soit inaccessible, soit trop sensible pour accepter la manipulation
3.7 Termes relatifs aux états d’occupation

3.7.1
après construction
condition dans laquelle la salle propre (3.1.1) ou la zone propre (3.1.2) est achevée, avec toutes les
servitudes connectées et en fonctionnement, mais hors présence des équipements, du mobilier, des
matières de production et des personnes
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.3.1]
3.7.2
au repos
condition dans laquelle la salle propre (3.1.1) ou la zone propre (3.1.2) est achevée et les équipements
sont installés et en fonctionnement selon un mode convenu, mais hors présence des personnes
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.3.2]
3.7.3
en activité
condition convenue dans laquelle la salle propre (3.1.1) ou la zone propre (3.1.2) fonctionne selon le mode
prescrit avec les équipements en fonctionnement ainsi qu’avec l’effectif spécifié présent
[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.3.3]

ISO 14644-3:2019(F)

4 Modes opératoires d’essai
4.1 Essais de salle propre
4.1.1 Généralités
L’ISO 14644-1[1] doit être mise en œuvre afin de classer une salle propre ou une zone propre en fonction
de la concentration particulaire de l’air. Si requis, il convient de sélectionner d’autres attributs de
propreté supplémentaires (voir Tableau 1).
NOTE Chaque norme contient des spécifications relatives aux méthodes d’essai basées sur les
caractéristiques des attributs spécifiques, des recommandations relatives à l’évaluation des données d’essai et
des spécifications concernant l’appareillage d’essai.
Tableau 1 — Essais portant sur les attributs de propreté des salles propres et zones propres
Description générale Référencé dans
Niveaux de propreté particulaire des surfaces ISO 14644-9[6]
Niveaux de propreté chimique de l’air ISO 14644-8[5]
Niveaux de propreté chimique des surfaces ISO 14644-10[7]
Surveillance de la propreté particulaire de l’air à l’échelle nanométrique ISO 14644-12[8]
4.1.2 Essais complémentaires
Le Tableau 2 présente d’autres essais appropriés pouvant être utilisés pour le mesurage des
performances d’une installation de salle propre ou de zone propre. Ces essais peuvent être appliqués à
chacun des trois états d’occupation désignés; se reporter à l’Annexe B pour de plus amples informations
sur les applications suggérées. Ces essais peuvent ne pas couvrir tous les besoins. Ils peuvent donc
ne pas tous être requis pour un projet donné. Il convient que les essais et méthodes d’essai soient
sélectionnés selon les termes d’un accord conclu entre le client et le fournisseur. Les essais sélectionnés
peuvent également être répétés de façon régulière dans le cadre d’une surveillance de routine ou
d’essais à intervalles réguliers. Des lignes directrices pour la sélection des essais et une liste de contrôle
des essais sont données à l’Annexe A. Les méthodes d’essai sont décrites dans l’Annexe B.
NOTE Les méthodes d’essai décrites dans l’Annexe B sont uniquement exposées sommairement. Des
méthodes spécifiques peuvent être développées pour satisfaire aux besoins d’une application particulière.
Tableau 2 — Essais complémentaires

Référence dans l’ISO 14644-3
Essais complémentaires Principe Mode opéra- Appareil
toire à employer
Mesurage de la pression différentielle de l’air 4.2.1 B.1 C.2
Mesurage du flux d’air 4.2.2 B.2 C.3
Direction et visualisation de l’écoulement de l’air 4.2.3 B.3 C.4
Essai de récupération 4.2.4 B.4 C.5
Mesurage de la température 4.2.5 B.5 C.6
Mesurage de l’humidité 4.2.6 B.6 C.7
Recherche de fuite sur l’élément de filtration installé 4.2.7 B.7 C.8
Essai de recherche de fuite de confinement 4.2.8 B.8 C.9
NOTE Ces essais complémentaires ne sont pas présentés par ordre d’importance ou chronologique. L’ordre dans lequel
les essais sont effectués peut se fonder sur les exigences d’un document spécifique ou après accord entre le client et le
fournisseur.
a L’essai de sédimentation de particules peut également être considéré comme un essai de performance de salle propre à
l’état d’occupation «en activité».

ISO 14644-3:2019(F)

Tableau 2 (suite)
Référence dans l’ISO 14644-3
Essais complémentaires Principe Mode opéra- Appareil
toire à employer
Essais électrostatiques et essai de générateur d’ions 4.2.9 B.9 C.10
Essai de sédimentation de particulesa 4.2.10 B.10 C.11
Essai de séparation 4.2.11 B.11 C.12
NOTE Ces essais complémentaires ne sont pas présentés par ordre d’importance ou chronologique. L’ordre dans lequel
les essais sont effectués peut se fonder sur les exigences d’un document spécifique ou après accord entre le client et le
fournisseur.
a L’essai de sédimentation de particules peut également être considéré comme un essai de performance de salle propre à
l’état d’occupation «en activité».
4.2 Principe
4.2.1 Mesurage de la pression différentielle de l’air
L’objet de cet essai est de vérifier la capacité du système de ventilation de la salle propre à maintenir la
pression différentielle spécifiée entre la salle propre et son environnement. Il convient d’effectuer cet
essai une fois que la salle propre a satisfait aux critères d’acceptation en termes de vitesse d’écoulement
de l’air ou de débit d’air soufflé, d’uniformité des vitesses et à tout autre essai applicable. Les détails de
cet essai de pression différentielle sont donnés en B.1.
4.2.2 Mesurage du flux d’air
Cet essai est réalisé dans le but de mesurer le flux d’air soufflé introduit dans des salles propres ou
zones propres à flux d’air unidirectionnel et non unidirectionnel. Dans les applications à flux d’air
unidirectionnel, la vitesse d’écoulement de l’air soufflé peut être mesurée avec des mesures de points
individuels pour permettre le mesurage de la vitesse et la détermination de l’uniformité des vitesses. La
moyenne des mesures de points individuels de la vitesse peut être utilisée pour calculer le volume d’air
soufflé et le taux de renouvellement de l’air (nombre de renouvellements d’un volume d’air par heure).
Dans les applications à flux d’air non unidirectionnel, des mesures de points individuels de la vitesse ne
sont habituellement pas requises, car l’uniformité des vitesses n’est généralement pas nécessaire. Dans
ces cas, des mesures du volume d’air soufflé peuvent être mesurées directement, puis utilisées pour
le calcul du taux de renouvellement de l’air (nombre de renouvellements d’un volume d’air par heure)
pour la salle propre ou la zone propre. Les modes opératoires d’essai pour le mesurage du flux d’air sont
donnés en B.2.
4.2.3 Direction et visualisation de l’écoulement de l’air
L’objet de cet essai est de démontrer que la direction d’écoulement de l’air et l’uniformité de ses vitesses
sont conformes aux spécifications de conception et de performance. L’essai de direction d’écoulement
de l’air peut être réalisé à l’état d’occupation «au repos» afin de déterminer les régimes d’écoulement
d’air de base de la salle propre et peut être répété à l’état «en activité» en simulant des activités réelles.
Les modes opératoires sont donnés en B.3.
4.2.4 Essai de récupération
L’essai de récupération s’effectue afin de déterminer si la salle propre ou la zone propre est capable de
revenir à la classe spécifiée de propreté dans un laps de temps fini, après une brève exposition à un
aérosol d’essai. Cet essai n’est pas recommandé pour un flux d’air unidirectionnel. Le mode opératoire
de cet essai est donné en B.4. Lorsqu’un aérosol artificiel est utilisé, il convient de prendre en compte le
risque de contamination de la salle propre ou de la zone propre par des résidus.

ISO 14644-3:2019(F)

4.2.5 Mesurage de la température
L’objet de cet essai est de vérifier que les niveaux de température de l’air restent à l’intérieur des limites
de maîtrise, pendant la période de temps spécifiée par le client, pour la zone particulière soumise à
essai. Les modes opératoires pour ces essais sont donnés en B.5.
4.2.6 Mesurage de l’humidité
L’objet de cet essai est de vérifier que les niveaux d’humidité (exprimés en humidité relative ou en point
de rosée) restent à l’intérieur des limites de maîtrise pendant la période de temps spécifiée par le client,
pour la zone particulière soumise à essai. Les modes opératoires pour ces essais sont donnés en B.6.
4.2.7 Recherches de fuite sur l’élément de filtration installé
Ces essais sont effectués en vue de confirmer que l’élément de filtration terminal à très haute efficacité
a été bien installé, en vérifiant l’absence de fuites par passage direct dans l’installation de filtration
d’air, ainsi que l’absence de défauts au niveau des filtres (petits trous et autres dommages survenus
dans le média filtrant, la structure et le joint d’étanchéité, et fuites dans le châssis de la batterie de
filtres). Ces essais ne servent pas à déterminer l’efficacité du média filtrant. Les essais sont effectués en
introduisant un aérosol d’essai en amont des filtres et en effectuant la recherche par balayage à l’aval
direct des filtres et de leur structure de support ou en procédant à l’échantillonnage dans un conduit de
ventilation en aval. Des méthodes de détection de fuite sont données en B.7.
4.2.8 Essai de recherche de fuite de confinement
Cet essai s’effectue en vue de déterminer s’il y a entrée d’air non-filtré dans la salle propre ou dans la ou
les zones propres, en provenance de l’extérieur de la ou des enceintes de la salle propre ou de la ou des
zones propres, à travers des joints, raccords, portes et plafonds sous pression. Le mode opératoire de
cet essai est donné en B.8.
4.2.9 Essais électrostatiques et essai de générateur d’ions
L’objet de ces essais est d’évaluer les niveaux de tension électrostatique présents sur des objets, les
propriétés de dissipation de charge électrostatique des matériaux et les performances des générateurs
d’ions (c’est-à-dire des ioniseurs) utilisés pour la maîtrise électrostatique des salles propres ou zones
propres. Les essais électrostatiques s’effectuent afin d’évaluer le niveau de tension électrostatique
présent en surface des plans de travail et des produits, ainsi que les propriétés de dissipation de charge
des sols, plans de travail, etc. L’essai d’un générateur d’ions s’effectue afin d’évaluer les performances
de l’ioniseur dans l’élimination des charges électrostatiques présentes sur des surfaces. Les modes
opératoires pour ces essais sont donnés en B.9.
4.2.10 Essai de sédimentation de particules
L’objet de cet essai est de vérifier la quantité et la taille des particules provenant de l’air de la salle
propre déposées sur une surface au cours d’une période convenue. Les modes opératoires sont donnés
en B.10.
4.2.11 Essai de séparation
L’objet de cet essai est d’évaluer l’efficacité de la séparation réalisée par un flux d’air spécifique,
en générant des particules dans la zone la moins bien classée et en déterminant la concentration
particulaire de la zone protégée située de l’autre côté de la séparation. Les modes opératoires sont
donnés en B.11.

ISO 14644-3:2019(F)

5 Rapports d’essai
Le résultat de chaque essai doit être enregistré dans un rapport d’essai, et ce dernier doit comporter les
informations suivantes:
a) le nom et l’adresse de l’organisme chargé d’effectuer l’essai ainsi que la date à laquelle l’essai a été
effectué;
b) une référence au présent document (ISO 14644-3:2019);
c) l’identification claire de l’emplacement physique de la salle propre ou zone propre soumise à essai
(en faisant également référence aux zones adjacentes si nécessaire), avec les coordonnées des
emplacements où les mesurages et échantillonnages ont été effectués;
d) les critères de désignation spécifiques pour la salle propre ou zone propre, y compris la
classification ISO, le ou les états d’occupation concernés et la ou les tailles de particules considérées;
e) les détails de la méthode d’essai adoptée, avec mention de toute condition particulière concernant
l’essai ou de déviation par rapport à la méthode d’essai et l’identification de l’appareil d’essai et de
son certificat d’étalonnage en cours de validité;
f) le résultat de l’essai, avec les données obtenues enregistrées selon l’exigence particulière de l’article
approprié de l’Annexe B et une déclaration sur l’état de conformité à la désignation cible;
g) toutes autres exigences particulières définies par référence à l’article de l’Annexe B relatif aux
essais particuliers.

ISO 14644-3:2019(F)

Annexe A
(informative)
Sélection et liste des essais complémentaires recommandés
A.1 Généralités
Il convient de prendre des précautions lors de la détermination de l’ordre de réalisation des essais de
performance de la salle propre, la zone propre ou la zone maîtrisée.
Il convient que la sélection et l’ordre des essais fassent l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur
et que toute non-conformité soit identifiée le plus tôt possible afin de ne pas compromettre d’autres
essais dans l’ordre de réalisation.
A.2 Liste des essais

Le Tableau A.1 fournit une liste des essais et appareils recommandés.
Tableau A.1 — Liste des essais complémentaires recommandés

Sélection du Mode opéra- Référence Sélec- Appareil d’essai Référence Commen
mode opéra- toire d’essai du mode tion de de l’appareil taires
toire d’essai opératoire l’appareil
et de l’ordre d’essai d’essaib
des essaisa
Pression diffé- B.1 Micromanomètre électro- C.2.2
rentielle de l’air nique
Manomètre à tube incliné C.2.3
Manomètre mécanique de C.2.4
pression différentielle
Flux d’air B.2 C.3
Uniformité des B.2.2.2 Anémomètre thermique C.3.1.2
vitesses à l’inté- Anémomètre tridimen- C.3.1.3
rieur de la salle sionnel à ultrasons ou
propre ou zone équivalent
propre (pour un
flux d’air unidi- Anémomètre à hélice C.3.1.4
rectionnel) Ensemble de tubes C.3.1.6
Vitesse d’écou- B.2.2.3 Anémomètre thermique C.3.1.2
lement de l’air Anémomètre tridimen- C.3.1.3
soufflé (pour un sionnel à ultrasons ou
flux d’air unidi- équivalent
rectionnel)
Anémomètre à hélice C.3.1.4
Ensemble de tubes C.3.1.6
Mesurage du B.2.2.4 Anémomètre thermique C.3.1.2
débit d’air souf- Anémomètre tridimen- C.3.1.3
flé par le biais sionnel à ultrasons ou
de la vitesse de équivalent
l’air au niveau
des filtres (pour Anémomètre à hélice C.3.1.4
un flux d’air uni- Ensemble de tubes C.3.1.6
directionnel)

ISO 14644-3:2019(F)

Tableau A.1 (suite)

des essaisa
Débit d’air B.2.2.5 Débitmètre à orifice C.3.2.3
soufflé dans les déprimogène
conduits d’air Tube Venturi C.3.2.4
(pour un flux
d’air unidirec- Tubes de Pitot et mano- C.3.1.5
tionnel) mètre
Anémomètre thermique C.3.1.2
Débit d’air B.2.3.2 Hotte de captage de flux C.3.2.2
soufflé en entrée d’air dotée d’un dispositif
(pour une ins- de mesure
tallation à flux
d’air non unidi-
rectionnel)
Calcul du débit B.2.3.3 Anémomètre thermique C.3.1.2
d’air soufflé par Anémomètre tridimen- C.3.1.3
le biais de la sionnel à ultrasons ou
vitesse de l’air équivalent
au niveau des
filtres (pour un Anémomètre à hélice C.3.1.4
flux d’air non
unidirectionnel)
Débit d’air B.2.3.4 Débitmètre à orifice C.3.2.3
soufflé dans les déprimogène
conduits d’air Tube Venturi C.3.2.4
(pour un flux
d’air non unidi- Tubes de Pitot et mano- C.3.1.5
rectionnel) mètre
Anémomètre thermique C.3.1.2
Direction et B.3 Traceurs C.4.4.1
visualisation de Anémomètre thermique C.4.2
l’écoulement de
l’air Anémomètre tridimen- C.4.3
sionnel à ultrasons ou
équivalent
Générateur d’aérosol C.4.4
Nébulisateur à ultrasons C.4.4.2
Générateur de brouillard C.4.4.3
Récupération B.4 Compteur de particules C.5.1
en suspension dans l’air
utilisant la diffusion de la
lumière (LSAPC)
Fluides aérosolisables C.5.3
Équipement, dispositif de C.5.4
dilution
Thermomètre C.6
Température B.5 Thermomètre à dilatation C.6 a)
Thermomètre électrique C.6 b)
Thermomanomètres C.6 c)

ISO 14644-3:2019(F)

Tableau A.1 (suite)

des essaisa
Humidité B.6 Hygromètre à condensa- C.7 a)
tion
Hygromètre à variation de C.7 b)
la conductivité électrique
Recherche de B.7 C.8
fuite sur l’élé-
ment de filtra-
tion installé
Recherche de B.7.2 Photomètre d’aérosol C.8.1
fuite sur un élé- Générateur d’aérosol C.8.3
ment de filtra-
tion installé, par Fluides aérosolisables C.8.4
balayage à l’aide d’essai
d’un photomètre
d’aérosols
Recherche de B.7.3 Compteur de particules C.8.2
fuite sur un élé- en suspension dans l’air
ment de filtra- utilisant la diffusion de la
tion installé, par lumière (LSAPC)
balayage à l’aide Générateur d’aérosol C.8.3
d’un LSAPC
d’essai
dilution
Recherche de B.7.4 Photomètre d’aérosol C.8.1
fuite globale Compteur de particules C.8.2
sur les filtres en suspension dans l’air
montés dans des utilisant la diffusion de la
conduits ou des lumière (LSAPC)
centrales de trai-
tement de l’air Générateur d’aérosol C.8.3
d’essai
Équipement, dispositif C.8.5
de dilution (méthode au
LSAPC uniquement)
Fuite de confine- B.8 C.9
ment
Méthode au B.8.2.1 Compteur de particules C.9.1
compteur de en suspension dans l’air
particules en utilisant la diffusion de la
suspension dans lumière (LSAPC)
l’air utilisant la Générateur d’aérosol C.9.2
diffusion de la
lumière (LSAPC) Fluides aérosolisables C.9.3
d’essai
dilution

ISO 14644-3:2019(F)

Tableau A.1 (suite)

des essaisa
Méthode au B.8.2.2 Générateur d’aérosol C.9.2
photomètre Fluides aérosolisables C.9.3
d’aérosol d’essai
Photomètre d’aérosol C.9.5
Électrostatisme B.9 C.10
et générateur
d’ions
Électrostatisme B.9.2.1 Voltmètre électrostatique C.10.1
Ohmmètre à grande C.10.2
résistance
Moniteur à plaque chargée C.10.3
Générateur B.9.2.2 Voltmètre électrostatique C.10.1
d’ions Ohmmètre à grande C.10.2
résistance
Moniteur à plaque chargée C.10.3
Sédimentation B.10 Sélection de la composi- C.11.1
de particules tion des plaques témoins
Dispositif d’examen de C.11.2
surface de plaque support
Photomètre/compteur de C.11.3
sédimentation d’aérosol
Compteur de particules C.11.4
superficielles
Dispositif de mesure de C.11.5
sédimentation des parti-
cules
Moniteur optique de sédi- C.11.6
mentation des particules
Essai de sépara- B.11 Compteur de particules C.12.1
tion en suspension dans l’air
utilisant la diffusion de la
lumière (LSAPC)
d’essai
dilution
a Dans les cases de la première colonne, les personnes chargées de programmer les essais peuvent numéroter
les méthodes d’essai sélectionnées, en fonction de l’ordre des essais.
b Dans la quatrième colonne, les personnes chargées de programmer les essais peuvent sélectionner les appa-
reils d’essai appropriés en fonction de la méthode d’essai choisie.

ISO 14644-3:2019(F)

A.3 Planification des essais et de la vérification

Il convient que des essais soient au moins réalisés:
a) dans le cadre de la classification conformément à l’ISO 14644-1;
b) au stade de la vérification au cours de la mise en fonctionnement;
c) au stade de la vérification après identification et résolution de défaillances;
d) au stade de la vérification après toute modification;
e) au cours des essais à intervalles réguliers.
Il convient de procéder à une évaluation des risques afin d’établir les intervalles appropriés pour les
essais périodiques.
Il convient d’utiliser les données de surveillance, les tendances et le résultat de l’essai afin de confirmer
et, le cas échéant, d’ajuster les intervalles de temps pour les essais sélectionnés.

ISO 14644-3:2019(F)

Annexe B
(informative)
Méthodes d’essais complémentaires
B.1 Mesurage de la pression différentielle de l’air

B.1.1 Généralités
L’objet du présent essai est de vérifier la capacité de l’installation dans son intégralité à maintenir la
pression différentielle de l’air spécifiée entre la salle propre et son environnement et entre des salles
propres et des zones propres séparées à l’intérieur de l’installation[18]. Cet essai peut être effectué
dans l’un quelconque des trois états d’occupation spécifiés et peut également être répété de façon
régulière comme composant d’un programme de surveillance régulière de l’unité, comme décrit dans
l’ISO 14644-2[2].
B.1.2 Mode opératoire de l’essai portant sur la pression différentielle de l’air

Il est recommandé de confirmer les points suivants avant de commencer le mesurage de la pression
différentielle entre les salles ou entre les salles et les zones extérieures:
— il convient de définir les valeurs et la plage acceptable de pression différentielle entre les salles;
— le volume d’air soufflé et l’équilibrage des soufflages de l’unité de traitement d’air sont conformes
aux spécifications;
— il convient de fermer les composants des salles propres susceptibles d’avoir une incidence sur la
pression différentielle entre les salles, tels que les portes, fenêtres, dispositifs de transfert d’objets,
etc. Pendant le déroulement de l’essai, il convient de maintenir ouvertes les ouvertures permanentes;
— le système de traitement d’air est en fonctionnement et les conditions sont stabilisées;
— il convient que les systèmes d’extraction fonctionnent tel que convenu et spécifié.
Il convient de mesurer les pressions différentielles entre chaque salle propre ou zone propre individuelle
et la ou les salles adjacentes qui y sont reliées.
Cela inclut le mesurage de la pression différentielle entre la ou les salles classées reliées à l’environnement
non classé.
Pour éviter d’éventuelles erreurs de mesure, il convient de prendre en compte les éléments suivants:
a) l’installation de points de mesure permanents;
b) il convient de ne pas réaliser de mesurage dans la salle propre ou la zone propre à proximité
d’orifices de soufflage d’air, de dispositifs de refoulement d’air, de dispositifs de mise en mouvement
de l’air, de portes, et de toute autre zone présentant une vitesse de l’air localement élevée, pouvant
influencer la pression locale au point de mesure;
c) lorsque la pression différentielle mesurée est inférieure à une valeur convenue, il convient de
confirmer le sens de l’écoulement de l’air entre les salles au moyen de méthodes de visualisation
des flux.

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B.1.3 Appareils destinés au mesurage de la pression différentielle de l’air

Des descriptions des appareils et les spécifications relatives au mesurage sont données en C.2. Un
micromanomètre électronique, un manomètre à tube incliné ou un manomètre mécanique de pression
différentielle peut être utilisé.
Il convient que l’appareil possède un certificat d’étalonnage en cours de validité.
B.1.4 Rapports d’essai

Selon la spécification de l’accord conclu entre le client et le fournisseur, il convient d’enregistrer les
données et les informations suivantes conformément à l’Article 5:
a) type d’essais et de mesurages et conditions de mesurage;
b) désignations du type de chaque instrument et appareil de mesure utilisé, et son état d’étalonnage;
c) classes de propreté des salles considérées;
d) emplacements des points de mesure et, si nécessaire, emplacement du point de référence;
e) état(s) d’occupation.
B.2 Mesurage du flux d’air

L’objet de ces essais est d’évaluer la vitesse d’écoulement de l’air et son uniformité, et le débit d’air soufflé
dans les salles propres et zones propres. Le mesurage de la distribution de la vitesse d’écoulement de
l’air est nécessaire dans les salles propres et zones propres à écoulement unidirectionnel, et celui du
débit d’air soufflé dans les salles propres à flux d’air non unidirectionnel. Le mesurage du débit d’air
soufflé est effectué afin d’évaluer le volume d’air soufflé dans la salle propre ou zone propre par unité
de temps. Le débit d’air soufflé est mesuré en aval des filtres terminaux ou dans des conduits d’air. Les
deux méthodes font appel au mesurage de la vitesse de l’air traversant un plan d’aire connue, le débit de
l’air étant le produit de la vitesse d’écoulement de l’air et de l’aire du plan de mesurage. Il convient que
la sélection des modes opératoires de mesurage fasse l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.
Lors du mesurage de la vitesse d’écoulement de l’air, il convient de considérer avec soin les conditions
suivantes:
a) il convient de choisir la direction de la sonde en prenant en compte la direction d’écoulement de l’air;
b) il convient que la durée des mesurages soit suffisamment longue pour obtenir des mesures
répétables et il convient d’enregistrer la vitesse moyenne ou le débit d’air soufflé ainsi obtenu(e).
B.2.2 Mode opératoire pour l’essai portant sur les installations à flux d’air
unidirectionnel
B.2.2.1 Généralités
La vitesse d’écoulement unidirectionnel détermine les performances d’une salle propre à flux d’air
unidirectionnel. Cette vitesse peut être mesurée à proximité de la surface des filtres de soufflage
terminaux, ou à l’intérieur de la pièce. Cela est réalisé en définissant le plan de mesurage perpendiculaire
à la direction d’écoulement de l’air soufflé et en le partageant en points de mesure (cellules de grille)
d’aires égales[18].

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B.2.2.2 Vitesse d’écoulement de l’air soufflé
Il est recommandé de mesurer la vitesse d’écoulement de l’air à une distance d’environ 150 mm à
300 mm du filtre ou du plan d’entrée.
Le nombre de points de mesure (cellules de grille) dépend fortement de l’instrumentation utilisée
pour effectuer les mesurages, de la configuration de l’infrastructure de la salle, de l’emplacement des
équipements du procédé et de la conception de la cellule de filtration installée. Il convient de déterminer
le nombre minimal de points de mesure (cellules de grille) à l’aide de la Formule (B.1):
N = 10 × A (B.1)
où
N est le nombre minimal de points de mesure (cellules de grille; il convient d’arrondir N au nombre
entier supérieur le plus proche);
A est la surface mesurée en m2.

Lorsqu’il est nécessaire de connaître la vitesse moyenne d’une zone à flux d’air unidirectionnel, celle-ci
est calculée à l’aide de la Formule (B.2):
Va = (∑Vn) / N (B.2)
où
Va est la vitesse moyenne en m/s;
∑Vn est la somme de toutes les vitesses mesurées (Vn) en m/s;
Vn est la vitesse mesurée en chacun des centres de cellules de la grille, en m/s;
N est le nombre d’emplacements ayant fait l’objet d’un mesurage de vitesse (Vn).
Il est recommandé qu’au moins un point soit mesuré pour chaque sortie de filtre ou unité motorisée de
filtration.
Si les données mesurées sont utilisées pour déterminer le débit de l’écoulement d’air selon B.2.2.4 ou
l’uniformité de la vitesse selon B.2.2.3, il peut être avantageux d’augmenter le nombre de points de
mesure (cellules de grille).
Pour les petites zones, il peut être nécessaire d’augmenter le nombre de points de mesure (cellules de
grille) afin d’améliorer la probabilité de détection des vitesses d’écoulement de l’air non uniformes.
Il convient que la durée de mesurage en chaque point soit suffisante pour permettre de mesurer des
valeurs répétables. Il est recommandé d’enregistrer les valeurs temporelles moyennes des vitesses
mesurées pour de multiples emplacements.
NOTE 1 Si l’emplacement du mesurage de la vitesse d’écoulement de l’air soufflé est trop proche de la source,
il existe un risque d’erreur de mesure due à la variabilité de la distribution de l’écoulement d’air. Si la vitesse
d’écoulement de l’air soufflé est mesurée à une trop grande distance du filtre, la mesure peut être compromise.
NOTE 2 Une barrière temporaire peut être utilisée pour exclure toutes perturbations susceptibles d’affecter le
flux d’air unidirectionnel.

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B.2.2.3 Uniformité des vitesses à l’intérieur de la salle propre ou zone propre
L’uniformité des vitesses peut être mesurée selon B.2.2.2 ou comme convenu entre le client et le
fournisseur.
NOTE Lorsque du matériel de production et des postes de travail sont installés, il est important de confirmer
l’absence de toute variation significative de l’écoulement de l’air.
Il convient que les données à prendre en compte dans la détermination de l’uniformité des vitesses et
l’écart maximal, c’est-à-dire la vitesse et ses variations, fassent l’objet d’un accord entre le client et le
fournisseur.
Il convient de calculer l’écart-type et la moyenne sur la base des mesures de la vitesse et de l’uniformité
des vitesses, UV, obtenue à l’aide de la Formule (B.3):
UV = [1 − (σ / Va)] ⨯ 100 (B.3)
où
σ est l’écart-type;
Va est la vitesse moyenne.

L’écart de vitesse maximal, Dmax, est calculé à l’aide de la Formule (B.4):
Dmax = [(Vd – Va) / Va] ⨯ 100 (B.4)
où
smaxest l’écart maximal en %;
Va est la vitesse moyenne;
Vd est la mesure présentant la variance la plus élevée de la moyenne.
B.2.2.4 Calcul du débit d’air soufflé d’après le mesurage de la vitesse
Les résultats de l’essai portant sur la vitesse d’écoulement de l’air effectué conformément à B.2.2.2
peuvent être utilisés pour calculer le débit total de l’air soufflé à l’aide de la Formule (B.5):
Q = ∑(Vn × Ac) (B.5)
où
Ac est l’aire de chaque cellule définie comme l’aire libre du média divisée par le nombre de points
de mesure (cellules de grille) en m2;
Q est le débit d’air total en m3/s;
Vn est la vitesse d’écoulement de l’air au centre de chaque cellule en m/s;
∑ est la somme pour toutes les cellules.

NOTE La précision du débit d’air soufflé, lorsqu’il est calculé par cette méthode, peut être influencée par de
nombreux facteurs, tels que le choix de l’appareil d’essai, le choix des points de mesure, le nombre de points de
mesure (cellules de grille), la distance au filtre et le calcul de la surface des cellules ouvertes.

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B.2.2.5 Calcul du débit d’air soufflé d’après le mesurage de la vitesse dans les conduits d’air
Le débit d’air soufflé dans les conduits peut être déterminé à l’aide d’appareils tels que des débitmètres
à orifices déprimogènes, des tubes Venturi, des tubes de Pitot et des anémomètres.
Dans le cas où des tubes de Pitot avec des manomètres ou des anémomètres (thermiques ou de type
à hélice) sont utilisés pour un conduit rectangulaire, il convient de partager la section du conduit en
points de mesure (cellules de grille) d’aires égales et de mesurer ensuite la vitesse d’écoulement de l’air
au centre de chaque cellule. Il convient que le nombre de points de mesure (cellules de grille) fasse
l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur. Il convient que le débit d’air soufflé soit évalué de
manière identique à celle définie en B.2.2.4. Dans le cas d’un conduit circulaire, le débit mesuré par des
tubes de Pitot peut être déterminé par le mode opératoire décrit typiquement dans l’ISO 5167-5[24].
NOTE Lors du mesurage du débit d’air soufflé, il peut apparaître des différences de résultats entre la
méthode de mesure basée sur la vitesse à l’entrée du filtre et celle procédant aux mesurages dans le conduit d’air.
B.2.3 Mode opératoire pour l’essai portant sur les installations à flux d’air non
unidirectionnel
Dans certains cas, le mesurage de la vitesse d’écoulement de l’air soufflé en provenance des sorties
individuelles est nécessaire pour déterminer le débit d’air soufflé provenant de chaque sortie[18].
B.2.3.2 Mesurage du débit d’air soufflé à l’aide d’une hotte de captage
À cause de l’effet des turbulences locales liées à l’écoulement de l’air et aux vitesses de flux d’air issus
d’une sortie d’air, il est recommandé d’employer une hotte de captage de flux d’air pour collecter tout
l’air provenant de chaque filtre terminal ou bouche de soufflage. Le débit d’air soufflé est mesuré en
utilisant une hotte de captage de flux d’air dotée d’un dispositif de mesure, ou bien la vitesse de l’air
sortant d’une hotte de captage de flux d’air est multipliée par l’aire efficace. Il convient que l’ouverture
de la hotte de captage de flux d’air soit placée complètement sur le filtre ou la bouche de soufflage et que
la face du cône soit située contre une surface plane pour éviter une fuite directe de l’air et l’affichage
de valeurs imprécises. Lorsqu’une hotte de captage de flux d’air dotée d’un dispositif de mesure est
adoptée, il convient que le débit d’air soufflé au niveau de chaque filtre terminal ou bouche de soufflage
d’air soit mesuré directement à la sortie de la hotte.
Il convient de vérifier l’exactitude de la hotte de captage de flux d’air afin de démontrer qu’elle fournit des
résultats exacts pour le type de sortie d’air mesuré, et il convient d’appliquer un facteur de correction
en cas de résultats inexacts. Le facteur de correction est fonction de l’écoulement. Il correspond à une
vérification in situ et s’appuie sur la différence entre le mesurage de référence dans les conduits d’air et
la sortie d’air.
En outre, dans le cas où une sortie d’air est équipée de bouches de soufflage (tourbillon), la hotte de
captage de flux d’air peut être adaptée au type d’écoulement de la bouche de soufflage.
B.2.3.3 Calcul du débit d’air soufflé d’après le mesurage de la vitesse
L’évaluation du débit d’air soufflé sans hotte de captage de flux d’air peut être réalisée avec un
anémomètre à l’aval de chaque filtre terminal. Ce débit est déterminé en multipliant la vitesse
d’écoulement de l’air par l’aire (libre) corrigée de la sortie. Une barrière temporaire peut être utilisée
pour exclure toutes perturbations susceptibles d’affecter le flux d’air unidirectionnel.
Concernant le nombre de points de mesure (cellules de grille) et le calcul du débit d’air soufflé, se
reporter respectivement à B.2.2.2 et B.2.2.4.
S’il est impossible de partager la section de mesurage en points de mesure (cellules de grille) d’aires
égales, la vitesse moyenne de l’air pondérée par la surface de la section peut être substituée à la vitesse
moyenne du soufflage.

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La précision du débit d’air soufflé, lorsqu’il est calculé par cette méthode, peut être influencée par de
nombreux facteurs, tels que le choix de l’appareil d’essai, le choix des points de mesure, le nombre de
points de mesure (cellules de grille), la distance au filtre et le calcul de la surface des cellules ouvertes.
Il convient de tenir compte de ces éventuelles variations lors de la réalisation de cet essai.
B.2.3.4 Calcul du débit d’air soufflé d’après le mesurage de la vitesse dans les conduits d’air
Il convient de déterminer le débit d’air soufflé dans les conduits d’air de la même manière que celle
définie en B.2.2.5.
B.2.4 Appareils destinés aux essais portant sur le flux d’air

Une description des appareils et les spécifications relatives au mesurage sont données en C.3. Pour
mesurer la vitesse d’écoulement de l’air, il est possible d’utiliser des anémomètres thermiques, à hélice,
à ultrasons ou leurs équivalents.
Pour mesurer le débit d’air soufflé, il est possible d’utiliser des hottes de captage de flux d’air, des
débitmètres à orifices déprimogènes, des tubes Venturi, des tubes de Pitot, des ensembles de tubes avec
manomètres ou leurs équivalents.
Il convient que les mesurages de la vitesse d’écoulement de l’air soient effectués à l’aide d’un appareil
non sensible aux variations de vitesse point par point intervenant sur de petites distances; par exemple,
il est possible d’utiliser un anémomètre thermique si les cellules sélectionnées sont de petite taille
et des points de mesure (cellules de grille) complémentaires sont utilisés. De même, il est possible
d’utiliser un anémomètre à hélice de sensibilité suffisante et suffisamment grande pour mesurer une
vitesse moyenne de l’air dans une plage de variation.
Il convient que l’appareil choisi possède un certificat d’étalonnage en cours de validité.

b) désignations du type de chaque appareil de mesure utilisé, et son état d’étalonnage;
c) points de mesure et distance les séparant du filtre;
d) état(s) d’occupation;
e) résultat des mesurages;
f) autres données significatives pour le mesurage.
B.3 Direction et visualisation de l’écoulement de l’air

L’objet de l’essai de direction et de visualisation de l’écoulement de l’air est de démontrer que la direction
d’écoulement de l’air et l’uniformité de ses vitesses sont conformes aux spécifications de conception et
de performance.
NOTE 1 La mécanique des fluides numérique (MFN), utilisée comme outil d’estimation ou d’analyse, n’est pas
considérée dans le présent document.
NOTE 2 La méthode des fils servant de traceurs peut ne pas donner une indication exacte de la direction
d’écoulement de l’air en raison des caractéristiques du matériau traceur, telles que le poids du fil.

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B.3.2 Méthodes
L’essai portant sur la direction et la visualisation de l’écoulement de l’air peut être effectué selon les
quatre types de méthode suivants:
a) méthode des fils servant de traceurs;
b) méthode d’injection d’un traceur;
c) méthode de visualisation de l’écoulement d’air au moyen de techniques de traitement de l’image;
d) méthode de visualisation de l’écoulement d’air par mesurage de la distribution des vitesses.
Dans les méthodes a) et b) ci-dessus, l’écoulement de l’air à l’intérieur de la salle propre ou la zone
propre est réellement visualisé par l’utilisation de traceurs constitués de fils de fibres ou de particules.
Des dispositifs tels que des caméscopes enregistrent les profils. Il convient que les fils de fibres ou les
particules qui jouent le rôle de traceurs ne puissent contribuer à la contamination et soient capables de
suivre avec précision le profil d’écoulement de l’air. Il est également admis d’utiliser un autre appareil,
tel qu’un générateur de particules «traceurs» et une source lumineuse de haute intensité.
La méthode c) est utilisée pour mettre en évidence de manière quantitative la distribution des vitesses
d’écoulement de l’air à l’intérieur de la salle propre ou zone propre. Cette méthode est fondée sur des
techniques de traitement de l’image des particules traceurs par moyen informatique.
Il convient de veiller à ce que le personnel ne perturbe pas les profils d’écoulement étudiés.
NOTE 1 L’écoulement de l’air est susceptible d’être perturbé par d’autres paramètres comme la pression
différentielle, la vitesse de l’air ou la température.
NOTE 2 Des techniques de visualisation de l’écoulement de l’air appropriées permettent d’évaluer de manière
optimale l’efficacité de la distribution de l’air dans les salles propres, zones propres et zones maîtrisées à
flux d’air unidirectionnel. Cependant, la méthode peut également être utilisée dans des zones à flux d’air non
unidirectionnel.
B.3.3 Modes opératoires pour la direction et la visualisation du flux d’air
B.3.3.1 Méthode des fils servant de traceurs
Le présent essai est effectué par observation de fils de soie, de monofilaments Nylon, de petites bandes
de tissus, de minces rubans de film, par exemple. Ces indicateurs sont fixés au bout de bâtonnets ou
montés aux intersections d’un grillage de fils métalliques placés dans la veine d’air. Ils donnent une
indication visuelle de la direction de l’écoulement et de ses fluctuations dues aux turbulences. Un
éclairage efficace aide à l’observation et à l’enregistrement de cet écoulement de l’air.
B.3.3.2 Méthode d’injection d’un traceur
Le présent essai est effectué par observation ou mise en évidence du comportement de particules
«traceurs» qui peuvent être exposées à l’éclairage d’une source lumineuse de haute intensité. L’essai
fournit des informations concernant la direction d’écoulement de l’air et l’uniformité des vitesses dans
une salle propre, zone propre ou zone maîtrisée. Les particules traceurs peuvent être générées à partir
de substances telles que l’eau déionisée, l’alcool/le glycol vaporisé ou produit de manière chimique, etc.
Il convient de choisir les sources avec soin de façon à éviter la contamination des surfaces.
Il convient de considérer la taille souhaitée des gouttelettes pour sélectionner la méthode de génération
de ces gouttelettes. Il convient que les gouttelettes soient d’une taille suffisante pour être détectées
par les techniques disponibles de traitement de l’image sans atteindre une taille telle que les effets
gravitationnels ou autres fassent dévier leur mouvement par rapport à celui de l’écoulement de l’air
observé.

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B.3.3.3 Méthode de visualisation de l’écoulement d’air au moyen de techniques de traitement

de l’image
Les données obtenues par la méthode de traitement d’images décrite en B.3.3.2 et conservées sur
séquence vidéo ou sur pellicule fournissent des caractéristiques quantitatives de l’écoulement de l’air
en termes de vecteurs bidimensionnels de la vitesse de l’air dans la zone. Cette technique de traitement
nécessite un ordinateur numérique muni des interfaces adéquates et de logiciels appropriés. Afin
d’atteindre une meilleure résolution dans l’espace, des dispositifs tels qu’une source lumineuse laser
peuvent être utilisés.
B.3.3.4 Évaluation de la distribution de l’écoulement de l’air par le mesurage des distributions

des vitesses
La distribution des vitesses d’écoulement de l’air peut être déterminée en disposant des appareils de
mesure de la vitesse d’écoulement de l’air, tels que des anémomètres thermiques ou à ultrasons, en
plusieurs points définis de la salle propre ou zone propre examinée. Le traitement des données de
mesurage fournit l’information concernant la distribution des écoulements.
B.3.4 Appareils utilisés pour l’essai de la direction et de la visualisation des

écoulements d’air
Les appareils utilisés pour les essais portant sur la direction et la visualisation des écoulements
diffèrent pour chaque méthode d’essai. L’appareil approprié pour chaque méthode d’essai est donné en
C.4 ainsi qu’aux Tableaux B.1 et B.2.
Tableau B.1 — Matières ou particules utilisées pour la méthode des fils servant de traceurs ou
d’injection d’un traceur
Grandeur Description
Matières utilisées pour la méthode des fils servant Fil de soie, coton, etc.
de traceurs
Particules utilisées dans la méthode d’injection Nébulisation d’eau déionisée ou d’un autre fluide,
d’un traceur de 0,5 µm à 50 µm de diamètre. Bulles de densité neutre
en suspension dans l’air au point de mesure. Brouillard
d’essai organique ou inorganique.
Appareils d’enregistrement d’images pour enregis- Divers appareils, tels les appareils photographiques et les
trer les images ou représentations visualisées des caméras vidéo, complétés de fonctions de prise ultrara-
particules traceurs pide, d’un stroboscope ou d’une synchronisation et des
appareils d’enregistrement d’image, sont utilisés dans les
modes opératoires de visualisation des écoulements.
NOTE Après la visualisation de l’écoulement, il est généralement nécessaire de nettoyer de nouveau la salle
propre ou zone propre.
Tableau B.2 — Sources lumineuses pour la visualisation des écoulements

Grandeur Description
Pour l’observation ou la représentation contrastée Lampes au tungstène, fluorescentes, lampes halogènes,
des écoulements d’air, il est nécessaire d’utiliser au mercure ou lasers (lasers He-Ne, aux ions d’argon, YAG,
diverses sources lumineuses etc.), avec ou sans adjonction d’un stroboscope ou de dis-
positifs synchronisés avec l’appareil d’enregistrement.
Pour le mesurage quantitatif au moyen de la La méthode du plan de lumière laser peut être utilisée,
visualisation des écoulements, effectué à l’aide de celle-ci consistant en l’utilisation de sources laser de haute
techniques de traitement des images intensité (laser argon ou YAG), d’optiques comportant un
objectif cylindrique et un contrôleur, pour la visualisation
des flux d’air en deux dimensions.

ISO 14644-3:2019(F)


a) type d’essais, méthode de visualisation et conditions d’essai;
c) emplacements des points de visualisation;
d) images stockées sur des photographies ou tout autre support d’enregistrement, ou données brutes
pour chaque mesurage (dans le cas de techniques de traitement de l’image ou de mesurage de la
distribution des vitesses), si cela est spécifié;
e) il convient de joindre un plan de l’emplacement précis de tout appareil au rapport de visualisation
des écoulements;
f) état(s) d’occupation.
B.4 Essai de récupération

Cet essai est effectué afin de déterminer la capacité de l’installation à réduire, par dilution, la
concentration des particules en suspension dans l’air. La capacité de récupération de la propreté
après un événement qui a généré des particules constitue l’une des fonctions les plus importantes
de l’installation. Le présent essai est uniquement recommandé pour les installations à flux d’air
non unidirectionnel, car la capacité de récupération repose sur la dilution et le mélange de l’air se
produisant dans les installations à flux d’air non unidirectionnel, mais non dans les installations à flux
d’air unidirectionnel où la contamination est éliminée par le flux d’air unidirectionnel. La capacité de
récupération d’une salle propre à flux d’air non unidirectionnel est influencée par les caractéristiques
de distribution telles que l’efficacité de la ventilation, les conditions thermiques et les obstructions.
L’essai de récupération peut être effectué à l’aide d’un LSAPC ou d’un photomètre d’aérosol. Lorsqu’un
aérosol artificiel est utilisé, il convient de prendre en compte le risque de contamination de la salle
propre ou de la zone propre par des résidus.
B.4.2 Capacité de récupération de la propreté

La capacité de récupération est évaluée en utilisant le temps de récupération de 100 à 1 ou 10 à 1 et/
ou le taux de récupération de la propreté. Le temps de récupération de 100 à 1 ou 10 à 1 est défini
comme étant le temps nécessaire pour réduire la concentration initiale par un facteur 100 (ou 10).
Le taux de récupération de la propreté est défini comme le taux de variation de la concentration
particulaire par unité de temps. Il est possible d’estimer ces deux paramètres à partir de la même
courbe de décroissance de la concentration particulaire. Il convient de mesurer les concentrations dans
la plage de temps où la décroissance de la concentration particulaire est décrite par une simple fonction
exponentielle et indiquée par une ligne droite sur un graphique semi-logarithmique (les concentrations
étant représentées en ordonnée sur une échelle logarithmique et les valeurs de temps en abscisse sur
une échelle linéaire). En outre, il convient que la concentration d’essai ne soit pas trop élevée pour faire
apparaître des pertes par coïncidence ou trop faible pour conduire à une incertitude sur le comptage.
L’objet de l’essai portant sur le temps de récupération est d’évaluer l’intervalle de temps nécessaire à
la concentration pour atteindre un niveau de propreté cible après une augmentation temporaire de la
concentration particulaire dans la salle propre ou zone propre en raison d’un arrêt planifié à des fins
de maintenance ou d’une défaillance imprévue de l’installation. L’objet de l’évaluation par le taux de
récupération est d’établir la capacité locale de l’installation à redevenir propre après une augmentation
temporaire de la concentration particulaire autour du point de mesure. La pente de la courbe de
décroissance sur un graphique semi-logarithmique indique cette capacité locale.

ISO 14644-3:2019(F)

L’essai 100 à 1 n’est pas recommandé pour les classes ISO 8 et ISO 9.
NOTE Le mesurage du taux de récupération n’indique pas seulement le taux de récupération, mais aussi le
taux de renouvellement de l’air par unité de temps à l’emplacement où les mesurages ont été réalisés. Si le taux
de renouvellement de l’air local à l’emplacement est comparé au taux de renouvellement de l’air global de la salle
propre, il est possible d’obtenir l’efficacité du système de ventilation à alimenter l’emplacement du mesurage en
air propre.
B.4.3 Mode opératoire de l’essai de récupération
B.4.3.1 Sélection des points de mesure
Placer la sonde du LSAPC dans le plan de travail en un ou des emplacements appropriés (pouvant
inclure les emplacements critiques ou les emplacements présumés comme étant les plus défavorables).
Il convient que les points de mesure et le nombre de mesurages à réaliser soient déterminés par accord
entre le client et le fournisseur. Il peut être inapproprié de sélectionner des emplacements de mesurage
qui donnent des capacités de récupération non représentatives de la salle propre, comme sous une
bouche d’air sans bouche de soufflage.
B.4.3.2 Méthode d’essai
Il convient de prendre des précautions afin d’éviter de fortes concentrations de particules en

suspensions dans l’air qui peuvent provoquer des erreurs de coïncidence et une contamination des
composants optiques du LSAPC. Avant de procéder à l’essai, calculer la concentration nécessaire pour
effectuer l’essai du temps de récupération. Si la concentration dépasse la concentration maximale du
LSAPC au-delà de laquelle des coïncidences de particules se produisent, utiliser un dispositif de dilution.
Mode opératoire d’essai:
a) installer et régler le compteur de particules conformément au mode d’emploi du fabricant et au
certificat d’étalonnage de l’appareil;
b) il convient que la taille de particule utilisée pour cet essai soit inférieure à 1 µm. Il est recommandé
que le canal granulométrique utilisé par le LSAPC corresponde à celui de la concentration maximale
en nombre de l’aérosol;
c) il convient de contaminer la partie de la salle propre à examiner au moyen d’un aérosol pendant le
fonctionnement des centrales de traitement de l’air;
d) augmenter la concentration particulaire initiale pour qu’elle soit 10 fois ou 100 fois supérieure, en
fonction du niveau de propreté cible (voir Note 1);
e) commencer les mesurages à des intervalles ne dépassant pas 1 min et enregistrer les temps et les
concentrations correspondantes;
f) il convient de tracer les résultats de la décroissance logarithmique de la concentration particulaire
en fonction du temps afin de garantir que les résultats utilisés sont pris lorsque la décroissance
est exponentielle, c’est-à-dire lorsque la ligne de décroissance est droite, et non au début où la
décroissance n’a pas été établie ou à la fin où le comptage de fond dans la salle propre réduit le taux
de décroissance.
NOTE 1 Le niveau de propreté cible peut être soit le niveau de propreté de la conception, soit le niveau établi
par la réalisation d’essais conformément à l’ISO 14644-1 à l’état «au repos», soit un niveau de propreté alternatif
convenu, en supposant que le niveau est un point de la courbe de décroissance pris là où la décroissance est
exponentielle.
NOTE 2 Si nécessaire, une méthode alternative, quoique moins conventionnelle, peut consister à mettre à
l’arrêt le système de ventilation, ajouter les particules d’essai, les mélanger avec un ventilateur d’air ambiant si
nécessaire et remettre le système de ventilation en service.

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B.4.3.3 Évaluation par le temps de récupération de 10 à 1 ou 100 à 1
Mode opératoire de l’évaluation:

a) noter le temps où la concentration particulaire atteint 10⨯ ou 100⨯ le seuil de concentration
cible (t10n ou t100n);
b) noter le temps où la concentration particulaire atteint le niveau de propreté cible, tn;
c) le temps de récupération de 10 à 1 est représenté par t0,1 = (tn − t10n);
d) le temps de récupération de 100 à 1 est représenté par t0,01 = (tn − t100n).
B.4.3.4 Évaluation par le taux de récupération
Les performances de récupération peuvent être déterminées à partir de la pente de la courbe de

décroissance de la concentration des particules, comme suite:
a) commencer les mesurages et enregistrer le temps et la concentration en continu. Il convient que
le temps d’échantillonnage soit aussi court que possible, tout en restant suffisamment long pour
que le comptage ait une pertinence statistique. Il convient que les intervalles de temps entre les
échantillonnages soient aussi courts que possible;
b) tracer les données de la décroissance de la concentration particulaire sur un graphique semi-
logarithmique (les concentrations étant représentées en ordonnée sur une échelle logarithmique et
les valeurs de temps en abscisse sur une échelle linéaire);
c) définir des limites de concentration supérieure et inférieure dans lesquelles la courbe de
décroissance mesurée est considérée comme étant quasiment une ligne droite;
d) le taux de récupération de la propreté est obtenu à partir de la pente de la courbe comprise entre
les concentrations supérieure et inférieure. Le taux de récupération de la propreté entre deux
mesurages est calculé à l’aide de la Formule (B.6):
1 C 
r = −2 , 3 × log  1  (B.6)
t1 −t0  C0 
où
C0 est la concentration supérieure, à t0;
C1 est à concentration inférieure, à t1;
r est le taux de récupération de la propreté;
t1 − t0 est le temps entre les moments où la concentration mesurée franchit C0 et C1.

NOTE L’efficacité de la ventilation d’un ou plusieurs emplacements critiques dans la salle propre peut
être déterminée en comparant le taux de récupération à l’emplacement ou aux emplacements avec le taux de
récupération global de la salle propre. Lorsque l’air et la contamination dans la salle propre sont totalement
mélangés au début de l’essai de récupération portant sur cette salle propre, le taux de récupération global de
la salle propre est identique à son taux de renouvellement de l’air. De ce fait, l’efficacité de la ventilation peut
être obtenue en comparant le taux de récupération à l’emplacement ou aux emplacements avec le taux de
renouvellement de l’air de la salle propre.
Pour obtenir des valeurs comparables à l’essai de récupération, il est nécessaire de tenir compte de
l’influence de la différence de température entre l’air entrant et le point de mesure de la capacité de
récupération, qui induit des variations de l’écoulement d’air dans la salle propre. Cette différence de
température peut varier entre les états d’occupation «au repos» et «après construction» en raison
des variations d’apports de chaleur dans la salle propre et entre les différentes exigences relatives au

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réchauffement ou au refroidissement saisonniers. Il convient de mesure le différentiel de température

entre l’air entrant et le point de mesure de la capacité de récupération.
B.4.4 Appareillage de l’essai de récupération

Les appareils énumérés ci-dessous peuvent être utilisés pour un essai de récupération:
— générateur d’aérosol et aérosol généré artificiellement, ayant les mêmes caractéristiques que celles
décrites en C.5;
— compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière (LSAPC),
présentant l’efficacité décrite en C.5.1;
— dispositif de dilution, si nécessaire, tel que décrit en C.5.4;
— thermomètre.
NOTE Un essai de récupération peut également être réalisé au moyen d’un photomètre d’aérosol.

a) désignations du type de chaque appareil de mesure utilisé, et son état d’étalonnage;
b) nombre et emplacement des points de mesure;
c) état(s) d’occupation;
d) résultat des mesurages.
B.5 Mesurage de la température

L’objet de cet essai est de vérifier la capacité de l’installation à maintenir le niveau de température de
l’air à l’intérieur des limites de maîtrise et pendant la période de temps convenues entre le client et le
fournisseur, pour la zone particulière soumise à essai. Se reporter à l’ISO 7726[28] et autres documents
connexes pour de plus amples informations sur les méthodes d’essai appropriées.
B.5.2 Appareillage de mesure de la température

Il convient d’effectuer le mesurage de la température à l’aide d’un capteur présentant une exactitude
conforme à l’ISO 7726,[28] par exemple:
a) des thermomètres;
b) des dispositifs de mesure de température à résistance;
c) des thermistances.
Il convient que l’appareil possède un certificat d’étalonnage en cours de validité.
B.6 Mesurage de l’humidité

L’objet de cet essai est de vérifier la capacité de l’installation à maintenir le niveau d’humidité de l’air
(exprimée en termes d’humidité relative ou de point de rosée) à l’intérieur des limites de maîtrise et

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pendant la période de temps convenues entre le client et le fournisseur pour la zone soumise à essai.
Se reporter à l’ISO 7726[28] et autres documents connexes pour de plus amples informations sur les
méthodes d’essai appropriées.
B.6.2 Appareillage de mesure de l’humidité

Il convient d’effectuer le mesurage de l’humidité à l’aide d’un capteur possédant une exactitude de
mesure telle que définie dans l’ISO 7726[28].
Les capteurs généralement utilisés sont:
a) le capteur d’humidité à condensateur diélectrique à couche mince;
b) le capteur de point de rosée;
c) le psychromètre.
B.7 Recherche de fuite sur l’élément de filtration installé

AVERTISSEMENT — Les aérosols d’essai peuvent induire une contamination particulaire ou
moléculaire inacceptable à l’intérieur de certaines installations. Certains aérosols d’essai
peuvent constituer un risque pour la sécurité dans certaines circonstances. Le présent document
ne traite pas des questions de sécurité associées à ces méthodes. Il relève de la responsabilité
de l’utilisateur du présent document de consulter et d’appliquer les pratiques en matière de
sécurité, les évaluations de risques et les limitations réglementaires appropriées avant d’utiliser
le présent document.
B.7.1.1 Méthodes
Ces essais sont effectués en vue de confirmer que les éléments de filtration installés à efficacité
globale MPPS de 99,95 % ou supérieure ont été bien installés, en vérifiant l’absence de fuites par
passage direct dans l’installation ainsi que l’absence de défauts au niveau des filtres (petits trous et
autres dommages survenus dans le média filtrant, la structure et le joint d’étanchéité, et fuites dans le
châssis de la batterie de filtres). Des parties des méthodes d’essai données en B.7 ont été adaptées de
l’IEST-RP-CC034.4[21].
Ces essais ne servent pas à déterminer l’efficacité du média filtrant. La recherche de fuites établit le
niveau de fuite applicable aux performances de propreté de l’installation. Les essais sont effectués en
introduisant un aérosol d’essai en amont des filtres et en effectuant la recherche par balayage à l’aval
direct des filtres et de leur structure de support ou en procédant à l’échantillonnage dans un conduit
de ventilation en aval. Cet essai s’applique à des salles propres et zones propres dans l’état d’occupation
«après construction» ou «au repos» et s’effectue lors de la mise en fonctionnement de salles propres
et zones propres nouvelles ou lorsque des installations existantes exigent une requalification et après
remplacement des filtres à air à haute efficacité.
Deux modes opératoires s’appliquant à des filtres montés en plafond, dans une paroi ou sur un appareil
sont décrits en B.7.2 et B.7.3. Un mode opératoire s’appliquant à des filtres montés à l’intérieur d’un
conduit est décrit en B.7.4. Les méthodes et l’appareillage sont différents, la méthode décrite en B.7.2
mesurant une concentration en masse à l’aide d’un photomètre d’aérosol et la méthode décrite en B.7.3
mesurant le nombre de particules à l’aide d’un LSAPC.
B.7.1.2 Méthode au photomètre d’aérosol
La méthode au photomètre d’aérosol (B.7.2) peut être utilisée pour l’essai:

a) des salles propres et zones propres dotées de tout type de systèmes de traitement d’air;

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b) des installations où le dégazage d’aérosol d’essai à base d’huile déposé sur les filtres et la paroi des
conduits n’est pas considéré comme susceptible de nuire aux produits et/ou aux procédés et/ou au
personnel se trouvant à l’intérieur de la salle propre ou zone propre.
NOTE La méthode au photomètre d’aérosol peut exiger une concentration d’aérosol en amont supérieure par
comparaison à la méthode au LSAPC.
B.7.1.3 Méthode au compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la

lumière (LSAPC)
La méthode au LSAPC (B.7.3) peut être utilisée pour l’essai:

a) des salles propres et zones propres dotées de tout type de systèmes de traitement d’air;
b) des installations où le dégazage d’aérosol volatil à base d’huile déposé sur les filtres et la paroi des
conduits ne peut être toléré et où l’utilisation d’un aérosol solide est recommandée.
NOTE 1 Cette méthode requiert une série de calculs pour être mise en place et peut également exiger
l’utilisation d’un système de dilution (voir C.5.4). Les calculs peuvent être réalisés manuellement, à l’aide
d’ordinateurs indépendants, d’ordinateurs reliés à des instruments ou à l’aide de LSAPC adaptés automatisés.
NOTE 2 Cette méthode peut également être utilisée avec un aérosol à base d’huile avec lequel le dégazage peut
être toléré.
B.7.2 Modes opératoires pour la recherche de fuite sur un élément de filtration installé,
par balayage à l’aide d’un photomètre d’aérosol
Les étapes préparatoires sont données en B.7.2.2, B.7.2.3, B.7.2.5 et B.7.2.6, les critères d’acceptation
en B.7.2.4, le mode opératoire d’essai proprement dit en B.7.2.7 et les actions de réparation se trouvent
en B.7.6[17][18][21].
B.7.2.2 Détermination des dimensions de la sonde
Il est souhaitable de choisir une sonde dont l’entrée est rectangulaire et de dimensions Dp = 1 cm
et Wp = 8 cm ou une sonde d’entrée circulaire de diamètre Dp = 3,6 cm. Dp est la dimension de la sonde
parallèle à la direction du balayage, en centimètres; Wp est la dimension de la sonde perpendiculaire à
la direction du balayage, en centimètres.
B.7.2.3 Détermination de la vitesse de déplacement de la sonde
Il est recommandé que la vitesse de déplacement latéral de la sonde, Sr, soit environ égale à 5 cm/s[21].
B.7.2.4 Critères d’acceptation
Durant le balayage, il convient que toute indication d’une fuite supérieure ou égale à la limite
caractérisant une fuite admissible implique de maintenir la sonde à l’emplacement de cette fuite. Il
convient que cet emplacement soit identifié grâce à la position de la sonde induisant la valeur maximale
affichée par le photomètre d’aérosol.
Une fuite détectée supérieure à 0,01 % de la concentration en masse en amont est réputée dépasser
la pénétration maximale admissible. Cependant, pour les dispositifs de filtration d’une efficacité
global MPPS ≥ 99,95 % et inférieure à 99,995 %, le critère d’acceptation est de 0,1 %.
Si des dispositifs de filtration d’une efficacité globale MPPS inférieure à 99,95 % doivent être soumis
à essai, un critère d’acceptation différent est nécessaire, convenu par accord entre le client et le
fournisseur.
Concernant les actions à prendre pour éliminer les fuites détectées, voir B.7.6.

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B.7.2.5 Sélection de l’aérosol d’essai en amont
Il convient de rajouter un aérosol généré artificiellement par une buse Laskin, un générateur
thermique ou un appareil similaire au flux d’air en amont afin que l’aérosol naturel en amont atteigne
la concentration homogène d’essai requise. Pour cette méthode de production, le diamètre particulaire
médian en masse est typiquement compris entre 0,3 µm et 0,7 µm, avec un écart-type géométrique
inférieur ou égal à 1,7.
NOTE Un guide sur les fluides aérosolisables est donné en C.8.4.
B.7.2.6 Concentration de l’aérosol d’essai en amont et sa vérification
Il convient que la concentration de l’aérosol d’essai en amont du filtre soit comprise entre 1 mg/m3
et 100 mg/m3.
NOTE Tous les photomètres ne sont pas capables d’utiliser 1 mg/m3 pour l’essai en amont.
Il convient de réaliser des mesurages appropriés pour vérifier l’homogénéité du mélange de l’aérosol
ajouté au flux d’air soufflé. Lorsqu’un système est soumis à essai pour la première fois, il convient de
valider que l’aérosol se mélange de manière satisfaisante. Pour effectuer une telle validation, il convient
que l’emplacement de tous les points d’injection et points d’échantillonnage soit défini et enregistré.
Il convient que les mesurages de concentrations d’aérosols effectués en amont immédiat des filtres ne
varient pas de plus de ±15 % dans le temps par rapport à la valeur moyenne mesurée. Une concentration
inférieure à la moyenne a pour effet de réduire la sensibilité de l’essai pour les petites fuites, tandis
qu’une concentration plus importante accroît la sensibilité pour de telles fuites. Il convient que toute
information plus détaillée concernant la conduite du contrôle du mélange air/aérosol fasse l’objet d’un
accord entre le client et le fournisseur.
B.7.2.7 Mode opératoire pour la recherche de fuite par balayage sur un élément de filtration
installé
Avant de mettre en œuvre ce mode opératoire, il convient de procéder à l’essai portant sur la vitesse
d’écoulement de l’air (B.2). Lorsque les installations fonctionnent à différentes vitesses d’écoulement
de l’air, il convient de sélectionner le niveau le plus élevé pour la recherche de fuite par balayage sur le
dispositif de filtration. Cet essai est effectué en introduisant l’aérosol spécifique d’essai en amont du ou
des filtres et en recherchant des fuites sur la face aval du ou des filtres et de la structure ou du cadre de
montage du filtre par balayage à l’aide de la sonde du photomètre comme suit:
a) mesurer la concentration d’aérosol en amont des filtres conformément à B.7.2.6. Il convient
d’utiliser cette concentration d’aérosol comme la référence des 100 % en amont pour le photomètre.
Les mesurages en amont sont ensuite affichés en tant que pourcentage de pénétration de la
concentration en amont;
b) il convient ensuite d’effectuer des passes avec la sonde à une vitesse de déplacement ne dépassant
pas 5 cm/s en faisant en sorte que les passes successives se chevauchent (1 cm recommandé).
Il convient de maintenir la sonde à une distance inférieure ou égale à 3 cm par rapport à la face aval
du filtre ou de son cadre;
c) il convient que ce balayage s’effectue sur l’ensemble de la face aval de chaque filtre, de son périmètre,
du joint entre le cadre du filtre et la structure de la grille, y compris tout raccordement;
d) il convient de répéter le mesurage de la concentration particulaire en amont des filtres à des
intervalles raisonnables entre les balayages de recherche de fuite et après avoir effectué ceux-ci,
afin de confirmer la stabilité de la concentration de l’aérosol d’essai (voir B.7.2.6).

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B.7.3 Modes opératoires de recherche de fuite sur un élément de filtration installé, par
balayage à l’aide d’un LSAPC
Les étapes préparatoires sont données de B.7.3.2 à B.7.3.7, le mode opératoire d’essai en B.7.3.8 et B.7.3.9,
les critères d’acceptation en B.7.3.4 et les actions de réparation en B.7.6. Un exemple d’une application
avec évaluation est donné en B.7.3.10.
Cette méthode propose une approche en deux étapes:
— Étape 1: il convient d’effectuer un balayage sur la face propre du filtre afin de détecter la présence
d’une fuite éventuelle. Durant le balayage avec un LSAPC, la détection d’un comptage en nombre de
particules dépassant le comptage acceptable attendu, Na, pendant le temps d’échantillonnage, Ts,
indique la présence éventuelle d’une fuite. Dans ce cas, il convient de passer à la seconde étape. S’il n’y
a aucune indication de fuites éventuelles, des recherches supplémentaires ne sont pas nécessaires.
La détermination de Na est décrite en B.7.3.5 et Ts est décrit en B.7.3.8.2. Le mode opératoire pour la
recherche par balayage de l’étape 1 est décrit en B.7.3.8.
— Étape 2: il convient de replacer la sonde à l’endroit où le comptage de particules est maximal,
sous chaque fuite éventuelle, et d’effectuer un nouveau mesurage à l’aide de la sonde immobilisée.
Durant ce mesurage à l’aide du LSAPC, la détection d’un comptage de particules dépassant la
valeur acceptable définie pour les conditions d’essai données, Nar, durant le temps de prélèvement
stationnaire Tr, indique la présence d’une fuite. La détermination de Nar et Tr est décrite en B.7.3.9.2.
Le mode opératoire pour le nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde de l’étape 2 est décrit
en B.7.3.9.
B.7.3.2 Détermination des dimensions de la sonde
Il convient que l’aire de la sonde garantisse que la vitesse de l’air passant dans la sonde est identique à
celle au niveau du filtre, avec une variation de ± 20 %. L’aire de la sonde d’admission peut être calculée
à l’aide de la Formule (B.7):
Dp × Wp = Qva/U (B.7)
où
Dp est la dimension de la sonde parallèle à la direction du balayage en cm;
Qva est le débit d’échantillonnage du LSAPC en cm3/s;
U est la vitesse au niveau du filtre en cm/s;
Wp est la dimension de la sonde perpendiculaire à la direction du balayage, en cm.

Il est souhaitable de choisir une sonde dont l’entrée est rectangulaire et de dimensions Dp = 1 cm
et Wp = 8 cm ou une sonde d’entrée circulaire de diamètre Do = 3,6 cm. Les dimensions de sonde
recommandées sont basées sur un débit d’échantillonnage, Qvs, de 0,000 472 m3/s (= 472 cm3/s, 28,3 l/
min ou 1 pi3/min).
Si la vitesse au niveau du filtre est inhabituellement élevée (> 1 m/s), une dimension de sonde plus
petite, Dp, peut être calculée à l’aide de la Formule (B.7).

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Pour une sonde circulaire, la Formule (B.8) peut être utilisée afin de déterminer la valeur de Dp.
D p = 2 × D0 × W s − W s 2 (B.8)
où
Dp est la dimension nominale de la sonde parallèle à la direction du balayage, en cm;
D0 est la dimension réelle de la sonde (diamètre), en cm;
Ws est la dimension de chevauchement de la sonde perpendiculaire à la direction du balayage, en cm.

Pour une sonde circulaire de 3,6 cm de diamètre, Dp est de 2,54 cm.
Légende
a Chevauchement.
b Direction du balayage.
Figure B.1 — Schéma des dimensions d’une sonde circulaire
NOTE Afin de balayer l’aire de la surface cible le plus efficacement possible, il est nécessaire de
sélectionner Ws, car Dp devient égale à Wp. Dans le cas d’une sonde circulaire de 3,6 cm de diamètre, la Dp la plus
efficace est de 2,54 cm.
B.7.3.3 Détermination de la vitesse de déplacement de la sonde
Pour une sonde d’entrée rectangulaire de Dp = 1 cm et Wp = 8 cm, la vitesse de déplacement de la

sonde, Sr, est de 5 cm/s ou inférieure.
Pour une sonde d’entrée circulaire de 3,6 cm de diamètre, la vitesse de déplacement de la sonde, Sr, est
de 12 cm/s ou inférieure.

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Lorsque les concentrations d’aérosols en amont ne peuvent pas être atteintes, il est nécessaire de
modifier la vitesse de déplacement. La vitesse de déplacement, Sr, en cm/s peut être déterminée en
supposant que le débit d’échantillonnage du LSAPC est de 0,000 472 m3/s et en utilisant la Formule (B.9).
Dp
S r = C c × Pl × 0 , 000 472 × (B.9)
Np
où
Cc est la concentration de l’aérosol d’essai en amont du filtre, en particules/m3;
Np est le comptage particulaire médian attendu qui caractérise la fuite admissible, en particules;
Pl est la pénétration maximale admissible de l’installation de filtration à soumettre à essai à 0,3 µm.
B.7.3.4 Taille de particule à compter et critères d’acceptation
Il convient que la taille de particule à compter soit supérieure ou égale à 0,3 µm.
Durant le balayage, il convient que toute indication d’une fuite implique de maintenir la sonde à
l’emplacement de cette fuite. Il convient que cet emplacement soit identifié grâce à la position de la sonde.
Une fuite détectée supérieure à 0,01 % de la concentration en nombre en amont est réputée dépasser
la pénétration maximale admissible. Cependant, pour les dispositifs de filtration d’une efficacité
globale MPPS ≥ 99,95 % et inférieure à 99,995 %, le critère d’acceptation est de 0,1 %.
Si des dispositifs de filtration d’une efficacité globale MPPS inférieure à 99,95 % doivent être soumis
à essai, un critère d’acceptation différent est nécessaire, convenu par accord entre le client et le
fournisseur.
B.7.3.5 Comptage particulaire attendu
Le comptage particulaire admissible au cours du balayage (étape 1) est Na et il est souhaitable de

sélectionner une valeur de Na de 0 ou 1.
La limite inférieure de confiance détermine Na. Elle peut être calculée à l’aide de la Formule (B.10).
Na = N p − 2 N p (B.10)
où Np est le comptage particulaire médian attendu qui caractérise la fuite admissible de particules.
Il s’agit de la valeur Np qui est reprise de la Formule (B.9) et la Formule (B.11) peut être utilisée pour la
calculer:
N p = ( N a + 2) + 2 1 + N a (B.11)
Lorsque Na = 0, Np est égal à 4, et lorsque Na = 1, Np est égal à 5,83.

NOTE Des valeurs plus élevées de Na et Np peuvent être sélectionnées en cas de risques de faux positifs
causés par une «infiltration» de particules dans un média filtrant non endommagé.
B.7.3.6 Sélection de l’aérosol d’essai en amont
Il convient de rajouter un aérosol polydispersé généré artificiellement au flux d’air en amont afin
d’atteindre la concentration homogène d’essai requise. Pour cette méthode de production, le diamètre
particulaire médian est typiquement compris entre 0,1 µm et 0,5 µm, avec un écart-type géométrique
inférieur ou égal à 1,7. Pour cette méthode de production, le diamètre particulaire médian en masse est
typiquement compris entre 0,3 µm et 0,7 µm, avec un écart-type géométrique inférieur ou égal à 1,7.

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En variante, des microsphères de diamètre approprié peuvent être utilisées comme aérosol d’essai.
Lorsqu’un aérosol artificiel ne peut pas être ajouté, il convient d’utiliser un aérosol atmosphérique
comme aérosol d’essai en amont.
NOTE Un guide sur les fluides aérosolisables est donné en C.8.4.
B.7.3.7 Concentration de l’aérosol d’essai en amont et sa vérification
Il convient que la concentration de l’aérosol d’essai en amont du filtre soit suffisamment élevée
pour permettre d’atteindre des comptages satisfaisants selon les exigences définies en B.7.3.3. La
concentration de l’aérosol d’essai en amont du filtre est déterminée à l’aide de la Formule (B.12):
C ≥ Np × Sr / (QVs × Dp × PL) (B.12)
où
Dp est la dimension de la sonde parallèle à la direction du balayage, en cm;
Pl est la pénétration maximale admissible de l’installation de filtration à soumettre à essai à 0,3 µm;
QVs est le débit d’échantillonnage réel de l’appareil de mesure, en m3/s;
Sr est la vitesse de déplacement de la sonde, en cm/s.

D’après les recommandations relatives à la dimension de la sonde et à la vitesse de déplacement
indiquées en B.7.3.2 et B.7.3.3, la concentration de l’aérosol d’essai en amont du filtre peut être
sélectionnée en utilisant la Formule (B.12).
Dans la plupart des cas, il convient d’ajouter un aérosol généré à l’aérosol d’essai alimentant le filtre
en amont, afin d’atteindre une concentration d’essai suffisamment élevée. Pour vérifier de telles
concentrations, un dispositif de dilution peut être nécessaire, afin de ne pas dépasser la concentration
maximale admise pour le LSAPC (erreur de coïncidence).
La concentration de l’aérosol d’essai peut être ajustée en faisant varier la vitesse de déplacement de la
sonde à l’aide de la Formule (B.9).
Il convient de réaliser des mesurages appropriés pour vérifier l’homogénéité du mélange de l’aérosol
ajouté au flux d’air soufflé. Lorsqu’un système est soumis à essai pour la première fois, il convient de
valider que l’aérosol se mélange de manière satisfaisante. Pour effectuer une telle validation, il convient
que l’emplacement de tous les points d’injection et points d’échantillonnage soit défini et enregistré.
Il convient que les mesurages de concentrations d’aérosols effectués à l’amont immédiat des filtres ne
varient pas de plus de ±15 % dans le temps par rapport à la valeur moyenne mesurée. Une concentration
inférieure à la moyenne aura pour effet de réduire la sensibilité de l’essai pour les petites fuites, tandis
qu’une concentration plus importante va accroître la sensibilité pour de telles fuites. Il convient que
toute information plus détaillée concernant la conduite du contrôle du mélange air/aérosol fasse l’objet
d’un accord entre le client et le fournisseur.
Lorsque les concentrations de l’aérosol d’essai en amont du filtre varient de façon significative dans le
temps, il convient de poursuivre ces mesurages durant le balayage de recherche des fuites afin d’obtenir
des données nécessaires au calcul avec les comptages séquentiels en aval.

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B.7.3.8 Mode opératoire pour l’étape 1 de la recherche de fuite par balayage sur un élément de
filtration installé
B.7.3.8.1 Généralités
Avant de mettre en œuvre ce mode opératoire, il convient de procéder à l’essai portant sur la vitesse
d’écoulement de l’air (voir B.2). Lorsque les installations fonctionnent à différentes vitesses d’écoulement
de l’air, il convient de sélectionner le niveau le plus élevé pour la recherche de fuite par balayage sur le
dispositif de filtration. Cet essai est effectué en introduisant l’aérosol spécifique d’essai en amont du ou
des filtres et en recherchant des fuites sur la face aval du ou des filtres et de la structure ou du cadre de
montage du filtre par balayage à l’aide de la sonde du LSAPC comme suit:
a) il convient de mesurer d’abord l’aérosol en amont des filtres selon les exigences définies en B.7.3.7
afin de vérifier la concentration d’aérosol;
b) il convient ensuite d’effectuer des passes avec la sonde à une vitesse ne dépassant pas la valeur de
Sr énoncée en B.7.3.3, en faisant en sorte que les passes successives se chevauchent légèrement. Il
convient de maintenir la sonde à une distance approximative de 3 cm par rapport à la face aval du
filtre ou de son cadre;
c) il convient que ce balayage s’effectue sur l’ensemble de la face aval de chaque filtre, de son périmètre,
du joint entre le cadre du filtre et la structure de la grille, y compris tout raccordement;
d) il convient de répéter le mesurage de la concentration d’aérosol en amont des filtres à des
intervalles raisonnables entre les balayages de recherche de fuite et après avoir effectué ceux-ci,
afin de confirmer la stabilité de la concentration de l’aérosol d’essai (voir B.7.3.7).
B.7.3.8.2 Paramètres de mesure de deux types de balayage
En général, les LSAPC sont conçus pour compter les particules contenues dans un volume spécifique de
l’air échantillonné. De nombreux LSAPC ne sont pas capables de mesurer des comptages de particules
sur des durées très courtes afin de fournir un mesurage continu dans le temps.
Ainsi, pour la recherche de fuite sur l’élément de filtration installé par balayage à l’aide d’un LSAPC, il
convient de choisir les conditions correspondant à Na = 0 ou Na = 1 (Na est le comptage de particules
acceptable dans les conditions d’essai données).
De cette façon, la recherche de fuite est vérifiée lors de chaque comptage de l’essai, ou pendant les
périodes séparant deux comptages.
Si l’appareil émet un son lors de chaque comptage, ce son peut permettre de vérifier la présence
d’une fuite.
Si l’appareil peut fournir des comptages sur des durées très courtes afin de fournir un mesurage continu,
n’importe quelle valeur de Na peut convenir. L’absence de fuite est vérifiée si le comptage observé est
inférieur ou égal à Na pendant le temps (Dp / Sr).
Dans des conditions d’essai raisonnables, les deux types de balayage suivants peuvent être choisis:
a) Type de balayage (a): choix de Na = 0 pour des particules de 0,3 µm;
— convient lorsque les prévisions indiquent que la fréquence d’un nouveau mesurage avec
immobilisation de la sonde est très faible;
— les essais de type (a) nécessitent une concentration en amont plus faible que celle des essais de
type (b);
— l’absence de fuite est vérifiée si le comptage est égal à 0; l’essai de balayage peut alors se
poursuivre.

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b) Type de balayage (b): choix de Na = 1 pour des particules de 0,3 µm;

— convient lorsque les prévisions indiquent qu’un nouveau mesurage avec immobilisation de la
sonde peut s’avérer nécessaire;
— les essais de type (b) nécessitent une concentration en amont supérieure à celle pour les essais
de type (a); cependant, l’influence de l’erreur de comptage du LSAPC est réduite;
— l’absence de fuite est vérifiée si le comptage observé est égal à 0 ou 1. L’essai de balayage peut
alors se poursuivre.
B.7.3.9 Mode opératoire d’un nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde
Un comptage de particules supérieur à Na indique la présence éventuelle d’une fuite et il convient de

contrôler son emplacement au moyen d’un nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde.
B.7.3.9.2 Détection d’une fuite par un nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde
a) Comptages observés inférieurs à Nar [particules]: les comptages observés durant Tr inférieurs ou
égaux à Nar confirment l’absence de fuites.
b) Comptages observés supérieurs à Nar [particules]: si le comptage observé est supérieur à Nar, un
nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde peut être considéré. Si le comptage observé est
toujours supérieur à Nar, il convient d’envisager que le filtre ait une fuite.
B.7.3.9.3 Détermination des paramètres de mesure d’un nouveau mesurage avec

immobilisation de la sonde
Le temps de prélèvement stationnaire, Tr, recommandé est de 10 s.

Le comptage particulaire caractérisant la fuite admissible, Npr, et le comptage acceptable lors du nouveau
mesurage avec immobilisation de la sonde, Nar, sont calculés à l’aide des Formules (B.13) et (B.14):
Npr = Cc × Pl × QVS × Tr (B.13)
N ar = N pr − 2 N pr (B.14)
où
Dp est la dimension de la sonde parallèle à la direction du balayage, en cm;
Nar est le comptage acceptable lors du nouveau mesurage avec immobilisation de la sonde;
Npr est le comptage particulaire qui caractérise la fuite admissible;
Pl est la pénétration maximale admissible de l’installation de filtration à soumettre à essai à 0,3 µm;
QVS est le débit d’échantillonnage réel de l’appareil de mesure, en m3/s;
Tr est le ou les temps de prélèvement stationnaire recommandés.

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B.7.3.10 Exemple d’une application avec évaluation
Des exemples de paramètres de mesure sont indiqués au Tableau B.3. Ce tableau fournit un exemple
de paramètres pour Dp = 1 cm et Wp = 8 cm avec une vitesse de déplacement Sr = 5 cm/s, et une sonde
circulaire de 3,6 cm de diamètre et une vitesse de déplacement Sr = 12 cm/s.
Tableau B.3 — Exemple d’une application avec évaluation

Paramètres de mesure Sonde rectangulaire Sonde circulaire
(1 cm × 8 cm) (diamètre 3,6 cm)
Type de balayage type (a) type (b) type (a) type (b)
Pénétration maximale admissible du dispositif de
Pl 0,000 1 (0,01 %) 0,000 1 (0,01 %)
filtration à soumettre à essai
Dimension nominale de la sonde parallèle à la
Dp 1 2,54
direction du balayage [cm]
Sr Vitesse de déplacement latéral de la sonde [cm/s] 5 12
Qvs Débit d’échantillonnage réel de l’appareil de 0,000 472 0,000 472
mesure [m3/s]
Comptage particulaire attendu caractérisant
Np la fuite admissible correspondant à Na [comp- 4,0 5,83 4,0 5,83
tages] – Étape 1
Comptage acceptable durant Ts lors de l’essai de
Na 0 1 0 1
balayage [comptages] – Étape 1
Concentration de l’aérosol d’essai en amont du
Cc 423 728 814 617 584 746 400 373 682 583 544 642
filtre [particules/m3]
Comptage particulaire attendu pendant Tr = 10 s
durant le temps de prélèvement stationnaire
Npr 200,00 291,50 188,98 275,43
caractérisant la fuite admissible correspondant
à Nar [comptages] – Étape 2
Comptage acceptable pendant Tr = 10 s durant le 171,72 257,35 161,48 242,24
Nar temps de prélèvement stationnaire [comptages] –
Étape 2 (arrondi) (171) (257) (161) (242)
B.7.4 Mode opératoire pour la recherche de fuite globale sur les filtres montés dans des
conduits ou des unités de traitement d’air (UTA)
Ce mode opératoire peut être utilisé pour évaluer la fuite globale de filtres montés dans des conduits.
Il peut également être utilisé pour déterminer la fuite globale d’ensembles de filtres à étages multiples,
sans soumettre à essai chaque étage séparément. Il est important de savoir que ce mode opératoire
est nettement moins sensible pour la recherche de fuites que la méthode décrite en B.7.2 et B.7.3. Le
résultat de la recherche de fuite globale est influencé par le volume d’air soufflé total dans le système,
car l’augmentation du volume d’air soufflé augmente la dilution de la fuite. Par conséquent, il convient
d’utiliser cette méthode lorsque des installations de filtration montées sur conduit desservent des
salles propres moins critiques et lorsqu’il n’est pas possible de procéder à des essais de balayage sur ces
mêmes installations de filtration. Si la zone considérée est critique, il convient d’adopter la méthode par
balayage.
NOTE 1 Cet essai n’a pas été conçu pour couvrir les dispositifs de filtration de type HEPA à l’extraction.
L’essai est effectué en introduisant l’aérosol d’essai en amont des filtres installés à distance de la
salle propre ou zone propre. La concentration particulaire en amont est tout d’abord mesurée. La
concentration particulaire de l’air filtré est ensuite mesurée et comparée à la concentration amont pour
déterminer la fuite globale ou la pénétration globale de l’installation de filtration[19].
Il convient que l’essai portant sur la vitesse d’écoulement de l’air (voir B.2) en vue d’une qualification
initiale soit réalisé en préalable à cet essai. Il convient d’effectuer en premier lieu le mesurage de la
concentration d’aérosol en amont selon les exigences définies en B.7.2.6 (méthode au photomètre
d’aérosol) ou B.7.3.7 (méthode au LSAPC), afin de vérifier la concentration d’aérosol et son homogénéité.

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Il convient que le mesurage de la concentration d’aérosol en aval soit effectué aux emplacements où un
mélange uniforme a été obtenu. En l’absence de mélange homogène, il convient d’effectuer une série
de mesurages à plusieurs emplacements équidistants d’un même plan, à une distance comprise entre
30 cm et 100 cm en aval du filtre. Il s’agit là d’une méthode d’échantillonnage par grille et il convient
que l’emplacement et le nombre de mesurages fassent l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.
Il convient de répéter les mesurages de la concentration totale de l’aérosol d’essai ou de la concentration
particulaire en amont des filtres à des intervalles de temps raisonnables, afin de confirmer la stabilité
de la source de l’aérosol d’essai (voir B.7.2.6 et B.7.3.7).
À l’aide d’un photomètre, à partir de la concentration totale de l’aérosol d’essai ou de la concentration
particulaire mesurée, la pénétration locale est mesurée sous la forme d’un pourcentage de pénétration
pour chaque emplacement de mesure en aval. À l’aide d’un LSAPC, à partir de la concentration
particulaire d’essai mesurée, il convient de calculer les pourcentages de pénétration locale pour chaque
emplacement de mesure en aval pour la taille de particule utilisée. Il convient que chaque pourcentage
de concentration en aval soit inférieur au pourcentage de concentration spécifié ou convenu entre le
client et le fournisseur.
Les réparations ou la rectification de fuites peuvent être faites selon les exigences définies en B.7.6 ou
par des modes opératoires convenus entre le client et le fournisseur.
NOTE 2 Pour des applications où il est requis de rechercher les fuites par balayage sur des filtres montés dans
des conduits, les méthodes sont décrites en B.7.2 et B.7.3.
B.7.5 Appareils et matériaux pour la recherche de fuite sur un élément de filtration

installé
B.7.5.1 Photomètre d’aérosol (voir C.8.1), limité aux cas où les comptages ou les concentrations
de fond représentent moins de 10 % du comptage ou de la concentration qui caractérisent une fuite
admissible.
B.7.5.2 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière

(LSAPC) (voir C.8.2), limité aux cas où les comptages ou les concentrations de fond représentent moins
de 10 % du comptage ou de la concentration qui caractérisent une fuite admissible.
B.7.5.3 Générateur(s) d’aérosol pneumatique(s) ou thermique(s) approprié(s) capable(s) de

produire un aérosol d’essai à une concentration appropriée dans les plages granulométriques souhaitées
(voir C.8.3).
B.7.5.4 Dispositif de dilution d’aérosol (voir C.5.4).
B.7.5.5 Fluides aérosolisables (voir C.8.4).
Il convient que tous les appareils cités de B.7.5.1 à B.7.5.3 possèdent un certificat d’étalonnage en cours
de validité.
B.7.6 Réparations et modes opératoires de réparation

Il convient que la réparation de fuite ne soit acceptable que si elle a fait l’objet d’un accord entre le client
et le fournisseur. Il convient que la méthode de réparation prenne en compte toute instruction venant
du fabricant de l’appareil ou du client.
Lors de la sélection des produits utilisés pour la réparation, il convient de prendre en compte le
dégazage et la déposition moléculaire sur les produits et les procédés.
Il convient de réparer toute fuite détectée dans les filtres, le joint ou la structure de support.

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Le filtre ou la structure de support peuvent également être réparés par des modes opératoires convenus
par le client et le fournisseur.
Après avoir terminé la réparation et après avoir laissé un intervalle de temps convenable pour la
polymérisation, il convient de rebalayer l’emplacement de la fuite à l’aide de la sonde pour rechercher
des fuites éventuelles selon la méthode définie.

informations et les données suivantes conformément à l’Article 5:
a) méthode d’essai: photomètre d’aérosol ou compteur de particules en suspension dans l’air utilisant
la diffusion de la lumière (LSAPC);
c) spécification du filtre;
d) toute condition spécifique et/ou déviation de la présente méthode d’essai et tout mode opératoire
spécial ayant fait l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur;
e) concentrations d’aérosols mesurées en amont, avec l’emplacement des points d’échantillonnage et
la durée de prélèvement correspondante;
f) débit d’échantillonnage et, pour les mesurages au LSAPC, la plage granulométrique;
g) concentration moyenne de l’aérosol calculée en amont et sa distribution;
h) critères d’acceptation calculés appliqués aux mesurages effectués en aval;
i) résultat du mesurage aval pour chaque filtre clairement identifié, section de zone ou emplacement
de mesurage;
j) résultat final de l’essai pour chaque emplacement défini;
k) si aucune fuite n’est observée, l’essai est déclaré satisfaisant. En revanche, si une fuite est détectée,
consigner son emplacement, l’opération de réparation effectuée et le résultat du nouvel essai à cet
emplacement.
B.8 Essai de recherche de fuite de confinement

Le présent essai est effectué afin de déterminer s’il y a intrusion d’air contaminé dans les zones propres,
provenant des zones environnantes à l’atmosphère non maîtrisée et pour contrôler les plafonds sous
pression pour d’éventuelles fuites.
B.8.2 Modes opératoires de l’essai de fuite de confinement
B.8.2.1 Méthode au compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la

lumière (LSAPC)
Mesurer la concentration de particules en dehors de l’enceinte de la salle propre, à proximité immédiate

de la surface ou de l’huisserie à évaluer. Il convient que cette concentration soit supérieure à celle de la
salle propre par un facteur de 103, et égale à au moins (3,5 ⨯ 106) particules/m3 pour la taille de particule
à mesurer. Si la concentration est inférieure, générer un aérosol pour augmenter la concentration.

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Pour rechercher des fuites à travers des joints de dilatation, des fissures ou des conduits de service,
balayer à l’aide de la sonde l’intérieur de l’enceinte à une distance inférieure ou égale à 5 cm du joint, du
couvre-joint ou de la jointure à contrôler, à une vitesse de déplacement de la sonde d’environ 5 cm/s.
Pour détecter une éventuelle entrée d’air par une porte ouverte, les méthodes de visualisation sont
recommandées.
Enregistrer et consigner dans un rapport toute valeur observée supérieure à 10−2 fois la concentration
de particules en suspension dans l’air mesurée à l’extérieur, pour la taille de particule considérée.
NOTE Le nombre et l’emplacement des points de mesure utilisés pour cet essai sont convenus entre le client
et le fournisseur.
B.8.2.2 Méthode au photomètre d’aérosol
Produire un aérosol à l’extérieur de la salle propre ou du dispositif conformément à B.7.2.2, dans une
concentration suffisamment élevée pour que le photomètre d’aérosol dépasse 0,1 %.
Une valeur affichée supérieure à 0,01 % indique la présence d’une fuite.
Pour rechercher des fuites à travers des joints de dilatation, des fissures ou des jointures entre
composants, balayer à l’aide de la sonde l’intérieur de l’enceinte à une distance inférieure ou égale à
5 cm du joint ou du couvre-joint à contrôler, à une vitesse de déplacement de la sonde d’environ 5 cm/s.
Pour détecter une éventuelle entrée d’air par une porte ouverte, mesurer la concentration à l’intérieur
de l’enceinte à une distance comprise entre 0,3 m et 1 m de la porte ouverte.
Enregistrer et consigner dans un rapport toute observation supérieure à 0,01 % sur l’échelle du
photomètre.
B.8.3 Appareillage pour l’essai de fuite de confinement
B.8.3.1 Source d’aérosol généré artificiellement, comme décrit en B.7.5, avec un certificat
d’étalonnage en cours de validité.
B.8.3.2 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière

(LSAPC), conforme aux exigences définies en C.8.2 (ou photomètre, tel que spécifié en C.8.1) et
possédant un certificat d’étalonnage en cours de validité et une sensibilité de seuil de détection inférieur
de la taille de particule inférieure ou égale à 0,5 µm.

b) technique de recueil des données;
c) emplacements des points de mesure;
e) résultat des mesurages.

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B.9 Essais électrostatiques et essai de générateur d’ions

Cet essai consiste en deux parties. L’une concerne l’essai électrostatique et l’autre est l’essai du générateur
d’ions (ou ioniseur). L’objet de l’essai électrostatique est d’évaluer le niveau de charge (tension)
électrostatique présente sur la surface des plans de travail et des produits et le temps de dissipation de
la tension électrostatique du sol, des plans de travail et d’autres composants de la salle propre ou zone
propre. Les propriétés de dissipation de charge électrostatique sont évaluées en mesurant la résistance
de surface et la résistance de fuite caractérisant ces surfaces. L’essai du générateur d’ions est effectué
afin d’évaluer le niveau de performance de générateurs d’ions en mesurant le temps de décharge de
témoins portant une charge initiale et en déterminant la tension induite de plaques témoins de contrôle.
Les résultats de chaque mesurage indiquent l’efficacité d’élimination ou de neutralisation des charges
électrostatiques et le déséquilibre entre la quantité d’ions positifs et négatifs générés.
B.9.2 Mode opératoire d’essais électrostatique et du générateur d’ions
B.9.2.1 Mode opératoire d’essai électrostatique
B.9.2.1.1 Mesurage du niveau de charge électrostatique de surface
La présence de charges électrostatiques positives ou négatives en surface des plans de travail et des
produits est mesurée à l’aide d’un voltmètre électrostatique ou d’un voltmètre de champ.
Régler l’affichage du voltmètre électrostatique ou du voltmètre de champ sur zéro en présentant la
sonde en face d’une plaque métallique reliée à la terre. Il convient de tenir la sonde de sorte que son
orifice soit parallèle à la plaque, à une distance conforme aux instructions du fabricant. Il convient que
la plaque métallique utilisée pour le réglage du zéro ait une aire suffisante en regard de la taille de
l’orifice de la sonde et de l’espace entre la sonde et la plaque.
Pour mesurer la charge de surface, positionner la sonde et la maintenir près de la surface de l’objet
dont il s’agit de mesurer la charge. Il convient de tenir la sonde de la même manière que pour le réglage
du zéro. Pour obtenir un mesurage valide, il convient que l’aire d’un objet soit suffisamment importante,
par rapport à la taille de l’orifice de la sonde et à l’espace entre la sonde et la surface d’essai.
Enregistrer l’affichage du voltmètre électrostatique.
Il convient que le point de mesure ou l’objet à mesurer soit déterminé par accord entre le client et le
fournisseur.
B.9.2.1.2 Mesurage des propriétés de dissipation de charge électrostatique
Les propriétés de dissipation de charge sont évaluées en mesurant la résistance de surface (résistance
entre plusieurs points situés sur la surface) et la résistance de fuite (résistance entre la surface et la
terre). Ces valeurs sont mesurées à l’aide d’un ohmmètre capable de mesurer des valeurs élevées.
La résistance de surface ou de fuite est mesurée à l’aide d’électrodes de masse et de dimensions
appropriées. Il convient que ces électrodes soient disposées à la distance nécessaire de la surface
pendant le mesurage de la résistance de surface.
Il convient que tout détail particulier des conditions d’essai fasse l’objet d’un accord entre le client et le
fournisseur.

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B.9.2.2 Mode opératoire d’essai d’un générateur d’ions
L’objet de cet essai est d’évaluer la performance de générateurs bipolaires d’ions. L’essai consiste en
des mesurages du temps de décharge et de la tension induite. Le mesurage du temps de décharge
est effectué afin d’évaluer l’efficacité d’élimination des charges statiques par l’emploi de générateurs
d’ions. Le mesurage de la tension induite est effectué afin d’évaluer le déséquilibre entre ions positifs et
négatifs dans un débit d’air ionisé émanant d’un générateur d’ions. Un déséquilibre ionique peut avoir
pour résultat une tension résiduelle indésirable.
Ces mesurages sont effectués à l’aide de plaques témoins conductrices, d’un voltmètre électrostatique,
d’un chronomètre et d’une source d’énergie. (Parfois, l’appareil réunissant ces éléments est appelé un
moniteur à plaque chargée.)
B.9.2.2.2 Mesurage du temps de décharge
Ce mesurage est effectué à l’aide de plaques témoins (c’est-à-dire des plaques conductrices isolées)
possédant une capacitance connue (par exemple 20 pF). Pour commencer, la plaque est chargée pour
atteindre une tension positive ou négative connue, à l’aide d’une source d’énergie.
L’évolution de la charge électrostatique est mesurée en exposant la plaque à un flux d’air ionisé par les
générateurs d’ions bipolaires soumis à l’essai. Il convient de mesurer la variation de tension de la plaque
dans le temps à l’aide d’un voltmètre électrostatique et d’un chronomètre.
Le temps de décharge est défini comme étant le temps nécessaire pour réduire la tension électrostatique
de la plaque à 10 % de sa charge initiale.
Il convient de mesurer le temps de décharge pour des plaques à charge négative et à charge positive.
Il convient que l’emplacement des points de mesure et les critères d’acceptation des résultats fassent
l’objet d’un accord entre le client et le fournisseur.
B.9.2.2.3 Mesurage de la tension induite
La tension induite est mesurée en utilisant une plaque témoin chargée montée sur un isolant. L’évolution
de la charge sur la plaque isolée est mesurée à l’aide d’un voltmètre électrostatique.
Il convient que la plaque soit d’abord reliée à la terre afin d’éliminer toute charge résiduelle. Il convient
de confirmer que la tension présente sur la plaque a bien une valeur nulle.
La tension induite est mesurée en exposant la plaque au flux d’air ionisé jusqu’à obtenir l’affichage d’une
valeur stable au voltmètre.
La tension induite acceptable due à l’action d’un générateur d’ions dépend de la sensibilité électrostatique
des objets se trouvant dans la zone de travail. Il convient qu’une valeur acceptable de tension induite
soit fixée par accord entre le client et le fournisseur.
B.9.3 Appareillage d’essais électrostatique et du générateur d’ions
B.9.3.1 Voltmètre électrostatique ou appareil de mesure de champ électrostatique, permettant

de mesurer le niveau de charge de surface dans l’essai électrostatique.
B.9.3.2 Ohmmètre à résistance élevée capable de mesurer des propriétés de dissipation de charge
électrostatique dans l’essai électrostatique.

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B.9.3.3 Voltmètre électrostatique ou moniteur de champ électrostatique et plaque témoin

conductrice ou moniteur à plaque chargée, pour l’essai du générateur d’ions.
Ces appareils sont décrits en C.10. Il convient que l’appareil possède un certificat d’étalonnage en cours
de validité.

c) température, humidité et autres données relatives à l’environnement si nécessaire;
d) emplacements des points de mesure;
e) état(s) d’occupation;
f) résultat des mesurages;
g) autres données significatives pour le mesurage.
B.10 Essai de sédimentation de particules

Le présent essai décrit les modes opératoires et l’appareillage nécessaires au mesurage de la
sédimentation des particules qui sont déposées à partir de l’air sur la surface des produits ou autres
surfaces de travail critiques à l’intérieur d’une salle propre ou zone propre. La taille et le nombre de
particules qui se déposent sur une surface d’essai donnée, telle qu’une plaque témoin, en un temps donné
sont identifiés à l’aide de microscopes optiques, de microscopes électroniques, d’appareils d’examen
superficiel ou d’un dispositif de détection du taux de sédimentation des particules afin d’obtenir les
informations relatives au taux de sédimentation de particules. Il convient que les informations relatives
au taux de sédimentation des particules soient consignées en termes de masse, surface de particule ou
nombre de particules par unité de surface par unité de temps.
B.10.2 Mode opératoire pour l’essai de sédimentation des particules
B.10.2.1 Collecte des particules sur des plaques témoin
La plaque témoin est placée dans le même plan et adjacente à la surface à risque à l’état d’occupation
«en activité». Il convient qu’elle ait le même potentiel électrique que la surface d’essai. La surface à risque
se trouve à l’emplacement étudié. Il convient de suivre les modes opératoires et méthodes suivants lors
de la manipulation et de la collecte des particules sur les plaques témoins ou autres surfaces d’essai:
a) vérifier que tous les appareils de ventilation de la salle propre fonctionnent correctement,
conformément aux exigences de fonctionnement;
b) identifier chaque plaque témoin et la nettoyer afin de réduire sa concentration particulaire
superficielle au niveau le plus faible possible. Déterminer la concentration particulaire de fond
pour chaque plaque témoin avant exposition;
c) retenir 10 % des plaques témoins comme plaques de contrôle. Il convient de manipuler celles-ci
exactement de la même manière que les plaques témoins sans exposition;
d) transporter toutes les plaques témoins aux emplacements d’essai de manière à éviter la
contamination particulaire de l’air ou par contact de surface;

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e) exposer la plaque témoin d’essai adjacente à une surface à risque dans la salle propre, comme un
emplacement où le produit est exposé à la contamination par des particules en suspension dans l’air;
f) déterminer les intervalles de temps pour l’exposition des plaques témoins d’essai en s’appuyant
sur la propreté de l’air de la salle propre et à l’aide de l’appareil de comptage de particules. Il
convient que la durée d’exposition aille d’environ une heure à la durée nécessaire pour obtenir une
sédimentation de particules suffisante pour fournir des données statistiquement valables;
g) exposer les plaques témoins au cours de l’état «en activité»; il peut être nécessaire de les exposer au
cours de plusieurs sessions de fabrication afin de garantir que les plaques ne sont pas utilisées dans
des conditions d’air propre à l’état «inoccupé» lorsqu’aucun produit n’est exposé;
h) après exposition, recouvrir et collecter les plaques témoins exposées et les conserver dans des
récipients fermés afin de les tenir à l’abri d’une contamination ultérieure.
B.10.2.2 Comptage et identification de la taille des particules recueillies
Il convient de procéder au comptage et à l’identification de la taille des particules recueillies sur les
surfaces d’essai afin d’obtenir des données reproductibles, utilisables pour déterminer la propreté de
l’emplacement soumis à essai.
En utilisant une plaque témoin, le nombre de particules et leurs tailles peuvent être déterminés par un
ou plusieurs moyens:
a) microscope optique avec graticule étalonné linéaire ou circulaire;
b) microscope électronique avec une grille étalonnée présentant un pas de ligne connu;
c) système d’examen de surface utilisant des informations d’étalonnage dimensionnel fournies par le
fabricant.
En utilisant une plaque témoin, le TSP peut être calculé comme suit:
a) procéder au comptage et à l’identification de la taille des particules sur la surface de mesure
des plaques témoins, incluant les plaques témoins de contrôle et les attribuer à des plages
granulométriques appropriées, selon les diamètres cumulés des particules;
b) soustraire les valeurs de la propreté initiale de la plaque témoin de chaque résultat d’essai;
c) calculer la concentration nette dans une unité de mesure de surface donnée et calculer le nombre
de particules qui se déposent en un temps donné. Lorsque des unités de mesure appropriées sont
utilisées, ce calcul donne un TSP en termes de nombre de particules déposées par mètre carré par
seconde.
Lorsque plusieurs résultats d’essai sont obtenus, enregistrer la valeur moyenne du TSP à chaque
emplacement et, le cas échéant, son écart-type.
B.10.3 Appareillage pour l’essai de sédimentation de particules

Une variété d’appareils peut être utilisée pour compter des particules qui se sont déposées sur une
surface d’essai et identifier leur taille. Ces appareils sont répartis dans les catégories suivantes:
a) des microscopes optiques (particules de taille égale ou supérieure à 2 µm);
b) des microscopes électroniques (particules de taille égale ou supérieure à 0,02 µm);
c) des appareils d’examen de surface de couche mince (particules de taille égale ou supérieure
à 0,01 µm);
d) des dispositifs de détection du TSP (particules de taille égale ou supérieure à 5 µm);
e) un dispositif de mesure du TSP en temps réel (particules supérieures à 15 µm).

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Lors de la sélection de l’appareil de comptage et d’identification de la taille des particules, il convient

de prendre en compte son aptitude à détecter les particules dans la plage granulométrique considérée.
Parmi les autres facteurs à prendre en compte figurent le temps nécessaire au prélèvement et à l’analyse.
Il convient que l’appareil utilisé possède un certificat d’étalonnage en cours de validité.
B.10.4 Détermination de la durée et de la surface d’échantillonnage

Plus le TSP est faible, plus la surface exposée A et le temps d’exposition T nécessaires sont importants.
Il convient que le produit de A ⨯ T soit suffisamment grand pour permettre la détermination exacte
du TSP. Une valeur de 20 est suggérée pour une utilisation avec la plus grosse particule considérée
[voir Formule (B.15)]:
A ⨯ T ≥ 20 (B.15)
où
A est l’aire de la surface exposée;
T est le temps d’exposition.

données et les informations suivantes:
a) type d’essais et de mesurages, conditions de mesurage et état d’occupation;
d) résultat des mesurages.
B.11 Essai de séparation

Cet essai décrit les modes opératoires et l’appareillage nécessaires pour évaluer l’effet protecteur d’un
flux d’air de séparation spécifique. Il peut être réalisé à travers une huisserie ou le périmètre d’une zone
appartenant à une classe supérieure à la zone environnante, ou ayant une fonction spécifique différente.
Cet essai est effectué en générant un aérosol en suspension dans l’air dans la zone ayant la classe la plus
basse, en la mesurant et en utilisant le résultat du mesurage comme concentration de référence, et en
mesurant la concentration de particules de l’autre côté du périmètre dans la zone protégée. Cet essai
peut être réalisé en différents emplacements choisis le long du périmètre en cours d’évaluation.
Il convient de réaliser avant cet essai un essai de classification particulaire de l’air dans les zones
environnantes ainsi que la zone protégée afin de déterminer le niveau de base de la concentration
particulaire. Il convient que la concentration particulaire d’essai soit suffisante pour pouvoir évaluer le
facteur de protection.
NOTE Un essai de direction et de visualisation de l’écoulement de l’air peut être réalisé afin d’identifier le
périmètre de la zone protégée.
B.11.2 Mode opératoire
B.11.2.1 Génération de la concentration de référence
Pour contrôler le flux d’air protecteur dans les zones environnantes, il convient de générer un nombre
suffisant de particules. Les particules d’aérosol d’essai recommandées sont décrites en C.5.3. Il convient

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que la taille moyenne des particules soit supérieure ou égale à 0,5 µm, sauf en cas d’accord entre le
client et le fournisseur sur une taille de particule différente.
Il convient de tenir compte des points suivants afin de générer un nombre suffisant de particules:
a) vérifier que tous les appareils de la salle propre fonctionnent correctement conformément à un état
d’occupation convenu;
b) pour établir la concentration d’essai, il convient d’utiliser l’effet protecteur à vérifier pour calculer
le nombre de particules d’essai en fonction de la concentration particulaire prévue à l’intérieur de la
zone protégée. Il convient que cette concentration prévue soit au moins égale à 10 fois le comptage
de référence à l’emplacement à vérifier.
B.11.2.2 Géométrie de l’équipement
Il convient de déterminer la géométrie de l’équipement d’essai. Il convient que la ou les sondes dans la
zone protégée ne soient pas à plus de 0,1 m de la barrière d’air déterminée. Il convient que la sonde de
mesure de la concentration d’essai dans la zone ayant la classe la plus basse ne soit pas à plus de 1 m de
la barrière d’air déterminée (entre le générateur d’aérosol et la barrière d’air). Il convient de placer le
générateur d’aérosol à environ 1 m à 1,5 m de la sonde de mesure de la concentration d’essai.
NOTE Le nombre d’emplacements servant à déterminer l’effet protecteur dépend du périmètre, de la forme
de la zone protégée et de l’accord convenu entre le client et le fournisseur.

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B.11.2.3 Mode opératoire du mesurage
a) Il convient de déterminer les temps d’échantillonnage conformément à l’ISO-14644-1:2015, A.4.4.

b) Commencer par générer des particules du côté ayant la classe la plus basse de la barrière d’air, en
s’assurant que la force du flux sortant de l’appareil d’essai ne surpasse pas celle de la barrière d’air.
c) Consigner la concentration particulaire mesurée par chaque sonde dans la zone ayant la classe la
plus basse. Il convient d’effectuer un minimum de trois mesurages d’une minute.
NOTE Un dispositif de dilution peut être nécessaire lors du mesurage d’une concentration élevée.
d) Consigner la concentration particulaire mesurée par chaque sonde dans la zone protégée. Il
convient d’effectuer un minimum de trois mesurages d’une minute.
B.11.2.4 Calcul de l’indice de protection
L’indice de protection est calculé à l’aide de la Formule (B.16):

PIX = –log (C X/CRef ) (B.16)
où
CRef est la concentration particulaire de référence, exprimée en p/m3, pour les particules ≥ 0,5 μm
(concentration d’essai) du compteur de particules de référence le plus proche (valeur recom-
mandée: >5 ⨯ 106/m3);
CX est la concentration particulaire moyenne au point de mesure x, exprimée en p/m3, pour les
particules ≥ 0,5 μm;
PIX est l’indice de protection.

informations et les données suivantes conformément à l’Article 5:
b) technique de recueil des données;
e) résultat des mesurages.

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Annexe C
(informative)
Appareil d’essai
C.1 Généralités
L’Annexe C décrit les appareils de mesure qu’il convient d’utiliser dans les essais recommandés indiqués
dans le présent document.
Les données figurant dans les Tableaux C.1 à C.9 indiquent les exigences minimales nécessaires pour
chaque appareil. Les appareils sont listés et numérotés de manière à correspondre à l’Annexe B. Les
personnes chargées de programmer les essais peuvent se référer à l’Annexe C pour sélectionner les
appareils d’essai et à l’Annexe A pour une liste des essais recommandés pour une installation et l’ordre
dans lequel il convient de les effectuer. Il convient également de sélectionner les appareils de mesure
selon un schéma convenu entre le client et le fournisseur.
La présente annexe n’empêche pas l’utilisation future d’un appareil ayant reçu des améliorations.
L’utilisation d’autres appareils peut s’avérer souhaitable, sous réserve d’un accord entre le client et le
fournisseur.
Il convient de choisir un appareil d’essai dont les limites et la plage de mesurage conviennent à son
application. Il convient également d’étalonner l’appareil à l’aide de points d’étalonnage couvrant
l’ensemble de sa plage d’utilisation prévue. Il convient que la sensibilité de chaque appareil d’essai
(3.1.6) soit de 1.
Les exigences minimales relatives à l’appareil d’essai sont données dans la présente annexe, avec une
exigence spécifiée pour l’erreur maximale tolérée. Ci-dessous figure une explication concernant la façon
d’estimer l’erreur maximale tolérée d’un appareil de mesure de la vitesse d’écoulement de l’air.
Il existe au moins trois contributions à l’erreur maximale tolérée:
— l’incertitude d’étalonnage élargie (fournie dans le certificat d’étalonnage);
— la somme des valeurs absolues des erreurs aléatoires (après correction des erreurs systématiques,
des erreurs aléatoires[29] persistent. Chacune de ces erreurs donne lieu à des variations lors de
mesurages répétés de la grandeur à mesurer);
— dérive annuelle.
Aux fins de cet exemple, l’incertitude d’étalonnage élargie a été fixée à 0,025 m/s, la somme des erreurs
aléatoires est de 0,03 m/s et la dérive annuelle est de 0,005 m/s.
L’ajout de ces trois contributions donne 0,06 m/s. En supposant que les erreurs sont symétriques de
part et d’autre de 0, il en résulte que les limites d’erreur (erreurs maximales tolérées) sont de ±0,06 m/s.
NOTE Cette valeur de 0,06 m/s n’est pas une incertitude. Les limites d’erreur indiquent plutôt l’intervalle
autorisé à l’intérieur duquel l’erreur de mesure peut se trouver[29].
C.2 Mesurage de la pression différentielle de l’air

C.2.1 Généralités
Les exigences minimales relatives à l’appareil d’essai permettant de mesurer la pression différentielle
de l’air sont données dans le Tableau C.1.

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Tableau C.1 — Appareil d’essai permettant de mesurer la pression différentielle

Grandeur Exigences minimales
Limites de mesurage S/O
Résolution 0,5 Pa (0 Pa–49,9 Pa)
1,0 Pa (≥50 Pa)
Erreur maximale tolérée La valeur la plus élevée entre 2 Pa et 5 % de la valeur mesurée
(Des manomètres mécaniques peuvent être utilisés pour surveiller en continu la
valeur de référence, mais pas pour effectuer les mesurages des essais, en raison des
éventuelles erreurs qui leur sont associées)
C.2.2 Manomètre électronique, pour afficher ou transmettre la valeur de la pression différentielle

de l’air entre une salle propre ou zone propre et l’espace qui l’entoure en détectant la variation de la
capacitance électrostatique ou de la résistance électronique provoquée par le déplacement d’un
diaphragme.
C.2.3 Manomètre à tube incliné, pour mesurer la différence de pression de l’air entre deux points,
en détectant visuellement une modulation sur une échelle inclinée qui indique la pression millimétrique
dans un tube rempli d’un liquide tel l’eau ou l’alcool. Des précautions doivent être prises lors de
l’utilisation de ce type de dispositif de mesure. Il convient d’utiliser cet appareil à l’horizontale et dans
une position fixe.
C.2.4 Manomètre mécanique de pression différentielle, pour mesurer la pression différentielle

de l’air entre deux zones en détectant l’ampleur du déplacement d’une aiguille reliée à un engrenage ou
une liaison magnétique, dû au déplacement d’un diaphragme. Des précautions doivent être prises lors de
l’utilisation de ce type de dispositif de mesure. Il convient d’utiliser cet appareil à l’horizontale et dans
une position fixe.
Lors de l’utilisation de cet appareil, il convient de porter une attention particulière à la sélection d’une
plage de mesure appropriée.
C.3 Mesurage du flux d’air

C.3.1 Appareil de mesure de la vitesse d’écoulement de l’air
C.3.1.1 Généralités
Les exigences minimales relatives à l’appareil d’essai permettant de mesurer la vitesse d’écoulement de
l’air sont données dans le Tableau C.2.
Tableau C.2 — Appareil d’essai permettant de mesurer la vitesse d’écoulement de l’air

Résolution 0,01 m/s (0,20 m/s–0,99 m/s)
0,1 m/s (≥1,00 m/s)
Erreur maximale tolérée 0,1 m/s (0,20 m/s-1,00 m/s)
10 % de la valeur mesurée (>1,00 m/s)
C.3.1.2 Anémomètre thermique, pour calculer la vitesse de l’air en mesurant la puissance

thermique nécessaire pour maintenir le capteur chauffé par électricité et exposé au flux d’air à une
température définie.

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C.3.1.3 Anémomètre tridimensionnel à ultrasons ou équivalent, pour mesurer la vitesse de l’air

en captant la dérive de la fréquence du son (ou vitesse acoustique) entre des points séparés placés dans
la veine d’air mesurée.
C.3.1.4 Anémomètre à hélice, pour mesurer la vitesse de l’air en comptant le nombre de tours par
unité de temps des hélices exposées au flux d’air.
C.3.1.5 Tube de Pitot et manomètre, pour mesurer la vitesse de l’air à partir de la différence des
pressions totale et statique à un endroit dans la veine d’air.
C.3.1.6 Ensemble de tubes, pour mesurer la vitesse de l’air à partir de la différence des pressions
totale et statique à un endroit dans la veine d’air. Les grilles de moyennage du flux d’air utilisent de
multiples ensembles de tubes pour mesurer simultanément l’écoulement de l’air sur une grille et fournir
une vitesse moyenne, grâce à un manomètre multimètre électrique.
C.3.2 Débitmètre
Les exigences minimales relatives à l’appareil d’essai permettant de mesurer le débit d’air soufflé sont
données dans le Tableau C.3.
Tableau C.3 — Appareil d’essai permettant de mesurer le débit d’air soufflé

Résolution 0,001 m3/s
0,01 m3/s (0 m3/s–0,1 m3/s)
Erreur maximale tolérée
10 % de la valeur mesurée (>0,1 m3/s)
C.3.2.2 Hotte de captage de flux d’air dotée d’un dispositif de mesure, pour mesurer le débit
d’air soufflé transitant par une section à l’intérieur de laquelle il peut y avoir des variations d’écoulement
et fournissant un débit global pour cette section. Le débit total est recueilli et concentré de sorte que la
vitesse au point de mesure représente la vitesse moyenne sur l’ensemble de la section.
C.3.2.3 Débitmètre à orifice déprimogène, se reporter à l’ISO 5167-2[22].
C.3.2.4 Tube Venturi, se reporter à l’ISO 5167-4[23].
C.4 Direction et visualisation de l’écoulement de l’air
C.4.1 Appareils, matières et accessoires pour l’essai de direction et de visualisation des

écoulements, voir Tableaux B.1 et B.2.
C.4.2 Anémomètre thermique, voir C.3.1.2.
C.4.3 Anémomètre tridimensionnel à ultrasons ou équivalent, voir C.3.1.3.

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C.4.4 Générateur d’aérosol.
Les générateurs d’aérosol adaptés à la formation d’un traceur pour la visualisation d’un écoulement
peuvent également être traités en B.3.4. Certains exemples d’application, comme les générateurs de
particules et les nébulisateurs à ultrasons, sont traités ci-dessous.
C.4.4.2 Nébulisateur à ultrasons, pour former un aérosol (brouillard), par l’emploi d’ondes
acoustiques focalisées afin d’aérosoliser un liquide (par exemple de l’eau D.I.) sous forme de fines
gouttelettes.
C.4.4.3 Générateur de brouillard, pour générer des aérosols (brouillards). Aérosol produit
thermiquement constitué d’eau D.I./de glycols/d’alcools.
C.5 Essai de récupération
C.5.1 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière

(LSAPC), disposant d’un moyen de compter et d’identifier la taille des particules discrètes en suspension
dans l’air et d’en enregistrer les données de taille en termes de diamètre optique équivalent.
Se reporter à l’ISO 14644-1[1].
C.5.2 Générateur d’aérosol, ayant la capacité de générer des particules appartenant à la plage
granulométrique allant de 0,1 µm à 1,0 µm, à concentration constante, et qui peuvent être générées par
une méthode ordre thermique, hydraulique, pneumatique, acoustique, chimique ou électrostatique.
C.5.3 Fluides aérosolisables d’essai. Généralement, les substances suivantes sont utilisées pour
générer des aérosols d’essai, solides ou liquides, par pulvérisation ou atomisation dans l’atmosphère:
a) huile d’oléfine polyalpha (PAO), PAO de 4 centistokes;

b) sébaçate de dioctyle (DOS);
c) di-2-éthylhexyl sébaçate (DEHS);
d) phtalate de dioctyle (2-éthylhexyl) (DOP1)) (par exemple, CAS n° 117-81-72));
e) huile minérale de qualité alimentaire (par exemple, CAS n° 8042-47-5);
f) huile de paraffine (par exemple, CAS n° 64742-46-7);
g) microsphères de diamètre approprié.
Si la concentration requise peut être obtenue, l’aérosol atmosphérique peut être utilisé.
C.5.4 Dispositif, équipement de dilution, dans lequel l’aérosol est mélangé avec de l’air propre selon
un rapport volumique connu pour réduire la concentration.
1) Dans certains pays, l’utilisation de DOP est découragée dans les essais portant sur des filtres pour des raisons
de sécurité.
2) N° CAS, Numéro de registre du Chemical Abstract Service (CAS), les substances ont été enregistrées dans
Chemical Abstract, distribué par l’American Chemical Society[14].

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C.6 Mesurage de la température

Il convient d’effectuer le mesurage de la température à l’aide d’un capteur présentant une exactitude
conforme à l’ISO 7726,[28] par exemple:
a) thermomètres à dilatation;
1) thermomètre à dilatation utilisant un matériau liquide;
2) thermomètre à dilatation utilisant un matériau solide;
b) thermomètres électriques;
1) thermomètre à résistance variable, incluant:
— une résistance en platine;
— une thermistance;
2) thermomètre basé sur la génération d’une force électromotrice (thermocouple);
c) thermomanomètres (variation de pression d’un liquide en fonction de la température).
L’exigence minimale portant sur la résolution de l’appareil est de 20 % de la plage admissible de
température entre le point de consigne et la plage de variation maximale admissible par rapport à celui-ci.
NOTE L’exigence en matière de plage, précision, etc. dépend de l’utilisation prévue de la salle propre ou zone
propre. L’ISO 7726[28] concerne un usage général.
C.7 Mesurage de l’humidité

Il convient d’effectuer le mesurage de l’humidité à l’aide d’un capteur possédant une exactitude de
mesure telle que définie dans l’ISO 7726[28].
Les capteurs généralement utilisés sont:
a) hygromètre à condensation (par exemple, psychromètre);
b) hygromètre à variation de la conductivité électrique;
1) hygromètre au chlorure de lithium;
2) hygromètre à capacitance.
Il convient que la résolution minimale des mesurages réalisés avec l’appareil soit égale à 20 % de la plage
admissible d’humidité relative entre le point de consigne et la plage de variation maximale admissible
par rapport à celui-ci.
NOTE L’exigence en matière de plage, précision, etc. dépend de l’utilisation prévue de la salle propre ou zone
propre. L’ISO 7726 concerne un usage général.
C.8 Recherche de fuite sur l’élément de filtration installé
C.8.1 Photomètre d’aérosol, pour mesurer la concentration en masse des aérosols en milligrammes
par mètre cube (mg/m3). Le photomètre d’aérosol utilise la diffusion de la lumière vers l’avant provenant
d’une cellule optique pour effectuer ce mesurage. Cet appareil peut être utilisé pour mesurer directement
la pénétration de fuite d’un filtre.
Les spécifications minimales du photomètre d’aérosol sont données dans le Tableau C.4.

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Tableau C.4 — Photomètres d’aérosol

Limites de mesurage 0,000 1 mg/m3 à 100 mg/m3
Résolution 0,000 1
Erreur maximale tolérée 10 % pour la plage sélectionnée
Il convient que les dimensions de la tubulure de la sonde d’échantillonnage (longueur et diamètre

intérieur) soient conformes aux recommandations du fabricant.
NOTE Les dimensions de la sonde de prélèvement sont détaillées en B.7.2.2.
C.8.2 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière

(LSAPC), voir C.5.1.
C.8.3 Générateur d’aérosol, voir C.5.2.
C.8.4 Fluides aérosolisables d’essai, voir C.5.3.
C.8.5 Dispositif, équipement de dilution, voir C.5.4.
C.9 Essai de recherche de fuite de confinement
C.9.1 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière,

voir C.5.1.
C.9.3 Fluides aérosolisables, voir C.5.3.
C.9.4 Dispositif de dilution, voir C.5.4.
C.9.5 Photomètre d’aérosol, voir C.8.1.
C.10 Essai électrostatique et essai de générateur d’ions
C.10.1 Voltmètre électrostatique, pour mesurer la tension (le potentiel) moyenne dans une zone
restreinte en mesurant l’intensité du champ électrique à une électrode située à l’intérieur d’une sonde,
à travers un petit orifice de cette sonde.
Les exigences minimales relatives au voltmètre électrostatique sont données dans le Tableau C.5.
Tableau C.5 — Spécification pour un voltmètre électrostatique

Limites de mesurage ±(1–20) kV
Résolution 10 V (1 kV–20 kV)
Erreur maximale tolérée 10 % de la valeur lue

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C.10.2 Ohmmètre à grande résistance, pour mesurer la résistance de matériaux et de composants

d’isolation, en mesurant le courant de fuite d’un appareil qui applique une tension élevée au composant à
contrôler.
Les exigences minimales relatives à l’ohmmètre à grande résistance sont données dans le Tableau C.6.
Tableau C.6 — Spécifications pour un ohmmètre à grande résistance

Limites de mesurage 1 000 Ω à 20 GΩ
Résolution 0,01 MΩ
Erreur maximale tolérée 5 % de chaque pleine échelle
Tension d’essai 100 V CC à 1 000 V
C.10.3 Moniteur à plaque chargée, pour mesurer les propriétés de neutralisation d’un ioniseur ou
d’un dispositif d’ionisation.
Les exigences minimales relatives à un moniteur à plaque chargée sont données dans le Tableau C.7.
Tableau C.7 — Spécifications pour un moniteur à plaque chargée

Limites de mesurage ±5 kV
Résolution 0,1 V (<100 V) 1,0 V (>99 V)
Erreur maximale tolérée 5 % de la pleine échelle
C.11 Essai de sédimentation de particules
C.11.1 Matériau des plaques témoins. Selon la taille des particules à détecter et le moyen de mesurage,
les matériaux suivants peuvent être utilisés:
a) des membranes filtrantes microporeuses;

b) du ruban adhésif double-face;
c) des boîtes de Pétri;
d) des boîtes de Pétri comportant un polymère de contraste (noir), tel qu’une résine de polyester;
e) de la pellicule photographique (en lé);
f) des plaques pour examen au microscope (nues ou revêtues d’une couche de métal évaporé);
g) des plaques-miroir métalliques ou en verre;
h) des tranches semi-conductrices vierges;
i) des substrats de photomasque en verre;
j) une plaque en plastique transparent.
Il convient que la surface de la plaque témoin présente une texture appropriée à la taille des particules
qui sont comptées afin d’assurer la bonne visibilité de celles-ci. Il convient que le matériau choisi pour
les plaques témoins soit électrostatiquement neutre. Il convient que le moyen de mesurage employé ait
une capacité de résolution et de comptage adaptée à la taille de particule la plus petite à comptabiliser.
Il convient que les plaques témoins devant être transparentes soient exemptes de défauts.

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La sédimentation de particules peut être déterminée en mesurant la zone de couverture des particules
déposées ou en comptant (et en mesurant la taille) des particules déposées sur la plaque témoin au cours
de l’exposition. Le mesurage de la sédimentation de particules peut être divisé en tailles de particules
comprises dans la plage de niveau de propreté de l’air (0,1 µm à 5,0 µm) et en macroparticules (de taille
supérieure ou égale à 5 µm).
Tableau C.8 — Mesurage de la sédimentation de particules par un appareil d’examen de surface

Limites de mesurage Concentration superficielle en nombre: 1/cm2 à 106/cm2
Taille de particule: 0,1 µm à 5 µm
Résolution Taille de particule: 0,1 µm
Erreur maximale tolérée Taille de particule: 1 µm
Tableau C.9 — Appareil d’essai de mesure de la sédimentation des macroparticules

Zone de couverture: 1 m2/m2 à 5 000·10−6 m2/m2
Limites de mesurage
Taille de particule: ≥ 5 à ≥ 500 µm
Zone de couverture: 10·10−6 m2/m2
Résolution
Taille de particule: 10 µm
Zone de couverture: 20·10−6 m2/m2
Erreur maximale tolérée
Taille de particule: 20 µm
C.11.2 Dispositif d’examen de surface en couche, pour mesurer les particules à l’aide d’un dispositif
d’examen équipé d’un laser et de dispositifs d’imagerie microscopique ou électromicroscopique
permettant de mesurer la taille des particules détectées.
C.11.3 Photomètre/compteur de sédimentation d’aérosol, pour mesurer la lumière totale diffusée

par une particule sédimentée sur une plaque de prélèvement en verre opaque et transmettant ces
données en termes d’un taux de sédimentation qui est rapporté à la concentration de particules qui
pourraient se déposer par sédimentation sur des surfaces critiques.
L’étalonnage est réalisé par des particules fluorescentes de 4 µm et 10 µm ou des microsphères de

polystyrène de 90 µm et 45 µm de taille nominale. La surface mesurée est < 2 cm2.
C.11.4 Compteur de particules en surface, pour mesurer le nombre (et la taille) de particules
individuelles déposées sur une surface par diffusion de la lumière.
La surface mesurée est comprise entre 0,2 cm2 et 3 cm2. La surface mesurée peut être augmentée en
procédant à un balayage. La résolution de la taille va de 0,1 µm à 25 µm en fonction du système optique
sélectionné.
C.11.5 Dispositif de mesure de sédimentation des particules, pour déterminer le nombre et la

taille de particules sur une plaque témoin en verre. Le verre est éclairé par en dessous. Un tableau de
coordonnées est utilisé pour balayer la zone d’intérêt. Un logiciel de visualisation peut être utilisé pour
déterminer la distribution granulométrique. Le taux de sédimentation de particules peut être déterminé
à partir de la distribution granulométrique, de la surface de mesurage et du temps d’exposition.
C.11.6 Moniteur optique de sédimentation des particules
Un système optique détecte les particules sur une surface inclinée en examinant la variation
du motif d’interférence d’un faisceau laser étendu. Il est possible de mesurer des surfaces allant
de 10 cm2 à 100 cm2. Un exemple d’appareil commercial a une surface de détection de 60 cm2. Les

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particules ≥ 20 µm peuvent être détectées. Le résultat de la sédimentation de particules est donné sur
la surface horizontale projetée.
C.12 Essai de séparation
C.12.1 Compteur de particules en suspension dans l’air utilisant la diffusion de la lumière,

voir C.5.1.
C.12.3 Fluides aérosolisables, voir C.5.3.
C.12.4 Dispositif de dilution, voir C.5.4.

ISO 14644-3:2019(F)

Bibliographie
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[2] ISO 14644-2, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 2: Surveillance du
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[3] ISO 14644-4, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 4: Conception,
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[7] ISO 14644-10, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 10: Classification de
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[8] ISO 14644-12, Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 12: Spécification de
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conduites en charge de section circulaire — Partie 2: Diaphragmes
conduites en charge de section circulaire — Partie 4: Tubes de Venturi
conduites en charge de section circulaire — Partie 5: Cônes de mesure
[25] No JACA 24:1989, Standardization and Evaluation of Clean Room Facilities
[26] JIS B 9921, Light scattering automatic particle counter. Japanese Industrial Standards Committee
[27] SEMI E14-93, Measurement of particle contamination contributed to the product from the process
or support tool
[28] ISO 7726, Ergonomie des ambiances thermiques — Appareils de mesure des grandeurs physiques
[29] Evaluation of measurement data — Guide to the expression of the expression of uncertainty in
measurement, JCGM 100:200, corrected version 2010, (GUM)

ISO 14644-3-Méthodes D'essai

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r é s e r vé

Nom : GNING Babacar

Pour : INSTITUT PASTEUR

FA129012 ISSN 0335-3931

Indice de classement : X 44-101-3

Salles propres et environnements maîtrisés

Descripteurs Thésaurus International Technique : salle propre, atmosphère maîtrisée, contrôle

Modifications Par rapport au document remplacé, révision technique de la norme.

© AFNOR — Tous droits réservés Version corrigée 1 de 2020-07-P

NF EN ISO 14644-3 —2—

—3— NF EN ISO 14644-3

Technologies des salles propres AFNOR X44B

Composition de la commission de normalisation

M ARNOULD LCB FOOD SAFETY

MME BAUDOUX CONFORMAT

M BERGERON ECOLE NORMALE SUPERIEURE DE LYON

MME BIZET BERTIN TECHNOLOGIES

M BOMBARDIER FAURE QEI

MME DUBACQ BERTIN TECHNOLOGIES

M DUHEM INTERTEK FRANCE

MME FERRAND ICARE

M HARGREAVES JOHN HARGREAVES ASSISTANCE ET CONSEIL

DR THIBAUDON RNSA LABORATOIRE

MME VANDRIESSCHE ASPEC — ASSO PREVENTION ETUDE CONTAMINATION

M VARILH MAPE — MESURE ANALYSE PROCESS ENVIRONNEMENT

NF EN ISO 14644-3 —4—

NORME EUROPÉENNE EN ISO 14644-3

ICS : 13.040.35 Remplace l' EN ISO 14644-3:2005

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche — Cleanrooms and associated controlled environments —

La présente Norme européenne a été adoptée par le CEN le 24 juillet 2019.

COMITÉ EUROPÉEN DE NORMALISATION

CEN-CENELEC Management Centre : Rue de la Science 23, B-1040 Bruxelles

EN ISO 14644-3:2019 (F)

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© ISO 2019 – Tous droits réservés ﻿ v

NORME INTERNATIONALE ISO 14644-3:2019(F)

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés —

© ISO 2019 – Tous droits réservés ﻿ 1

3.1 Termes généraux

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.1.1, modifiée — La Note 1 à l’article a été modifiée.]

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.1.2 modifiée — La Note 1 à l’article a été modifiée.]

[SOURCE: ISO 14644-7:2004, 3.17]

2 ﻿ © ISO 2019 – Tous droits réservés

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.4.1]

3.2 Termes relatifs aux particules en suspension dans l’air

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.2.2]

© ISO 2019 – Tous droits réservés ﻿ 3

3.3 Termes relatifs aux filtres à air et systèmes de filtration

3.4 Termes relatifs à l’écoulement de l’air et à d’autres états physiques

4 ﻿ © ISO 2019 – Tous droits réservés

3.5 Termes relatifs au mesurage électrostatique

© ISO 2019 – Tous droits réservés ﻿ 5

3.6 Termes relatifs aux appareils et aux conditions de mesure

[SOURCE: ISO 14644-1:2015, 3.5.1, modifiée — Le terme «compteur de particules individuelles en

3.7 Termes relatifs aux états d’occupation

6 ﻿ © ISO 2019 – Tous droits réservés

4 Modes opératoires d’essai

4.1 Essais de salle propre

4.1.2 Essais complémentaires

Tableau 2 — Essais complémentaires

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NORME INTERNATIONALE ISO 14644-3:2019(F)

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