TP 2: Microsystème magnétoélastique

Abdelkrim Talbi, Olivier Bou Matar, Yannick Dusch, Nicolas Tiercelin

14 octobre 2019

Table des matières

1 Introduction 1

2 Poutre encastrée soumise à une contrainte suivant z à son extrémité. 1

3 Bilame magnétostrictif, étude stationnaire 3

4 Bilame magnétostrictif, étude dynamique 5

5 Compte rendu 5

1 Introduction
Dans ce TP, nous allons étudier l’actionnement magnéto-élastique d’une micro poutre encastrée. L’étude
sera réalisée en introduisant directement l’ensemble des équations qui régissent le problème, contrairement au
tutoriel "Piezoelectric microgripper" (sur l’actionnement d’une pince à l’aide d’un film piézoélectrique) réalisé à
l’aide du module Structural Mechanics de Comsol.

2 Poutre encastrée soumise à une contrainte suivant z à son extré-

mité.
On cherche à étudier la déformation d’une poutre en silicium encastrée et soumise à une force de 1 mN à
son extrémité comme l’indique la figure 1.
Le système élastique est régi par l’équation de la dynamique ci-dessous :

∂ 2 ui ∂Tij
ρ =
∂t2 ∂xj

Étant donné que nous sommes en régime stationnaire, l’équation devient :

∂Tij
= 0 avec Tij = Cijkl εij (Loi de Hooke)
∂xj

On se situe dans le cas d’un matériau considéré comme élastiquement isotrope et on utilisera donc les
notations réduites :

Figure 1 – Poutre en silicium encastrée.

1
 0 0 0
          
T1 σ11 C11 C12 C12 S1 S1 ε11
T2  σ22  C12 C11 C12 0 0 0  S2 
  S2   ε22 
0 0 0  S3 
        
T3  σ33  C12 C12 C11 S3   ε33 
 = =
  avec S4  = 2ε23 
  
T4  σ23   0 0 0 0 0 
   
C44  S4 
T5  σ13   0 0 0 0 0  S5  S5  2ε13 
        
C44
T6 σ12 0 0 0 0 0 C44 S6 S6 2ε12
1 ∂ui
 
∂uj
et εij = +
2 ∂xj ∂xi
Les coefficients élastiques C11 , C12 et C44 sont liés au module d’Young E et au coefficient de Poisson ν par :

E(1 − ν) Eν E
C11 = , C12 = et C44 =
(1 + ν)(1 − 2ν) (1 + ν)(1 − 2ν) 1+ν

Créer une nouvelle simulation sous Comsol :

• Sélectionnez successivement :
Model Wizard/3D/Mathematics/PDE Interfaces/General form → add
• Mettre trois variables d’état (Dependant Variables) : u1 , u1 , u3 . Elles correspondent au champ de dé-
placement ~u.
Dependant variable quantity → displacement field (m)
Source term quantity → Force density (N/m^3)
• Dans Global definitions, définissez un jeu de paramètres (parameters) dans lequel vous définirez le
module d’Young du Silicium (ESi= 170e9 [Pa]) et le coefficient de Poisson (nuSi= 0.28)
• Dans Component 1/Definitions, créez un jeu de variables dans lequel vous définirez :
— Les coefficients élastiques c11, c12 et c44 à partir de ESi et nuSi
— S1, S2, S3, S4, S5 et S6, sachant que dans Comsol, ∂u2 /∂x3 s’écrit par exemple u2z
— T1, T2, T3, T4, T5 et T6 en fonction des Si et cij
• Dans Geometry, définissez l’unité de longueur comme étant le micromètre. Créez un bloc de largeur 10 mm,
profondeur 2 mm et 50 µm de hauteur.
• Dans General form PDE/General form PDE 1,
— Remplissez la matrice Γ : en régime stationnaire, l’équation résolue par Comsol est ici ∇.Γ = f , et
l’équation réelle de notre système est
∂Tij
=0
∂xj
— La source f est ici 0.
• Dans General form PDE
— Créez une condition limite de Dirichlet sur la face en x = 0 telle que les déplacements sont nuls
(encastrement)
— Créez une condition limite Edge source sur une arrête de l’extrémité pour appliquer une contrainte
de 1 mN : La force s’exerce sur 2 mm, il faut donc donner une force linéique en N/m.
— Cette condition aux limites correspond à l’ajout d’une "source de flux" sur la frontière et à l’équation
−~n.Γ = σ~u. Pour que la poutre fléchisse vers le bas, i.e. dans la direction −~z = −~u3 , il faut donc
entrer une force positive.
• Ajoutez une étude pour une résolution en stationnaire : Add study/Stationary. Maillez et lancez la
résolution.
• Affichez le déplacement suivant z, ainsi que la déformée.
 Figure 2 – Configuration magnétique dans les échantillons multicouches utilisés.

3 Bilame magnétostrictif, étude stationnaire

Cette fois-ci on garde la même poutre encastrée, mais sans contrainte appliquée à l’extrémité. On définira en
plus un autre block de même largeur/profondeur que le précédent mais de 5 microns d’épaisseur, et sera placé
juste au-dessus du premier bloc. Le matériau aura un module d’Young Emag = 80e9[Pa], et un coefficient de
poisson de numag=0.25.
Outre les propriétés élastiques, ce bloc est magnétostrictif et comporte un axe facile. La figure 2 présente
la configuration magnétique dans les échantillons utilisés. Un champ magnétique H ~ est appliqué suivant l’axe
difficile de la couche. De par la structure de la couche mince, qui empêche la formation de parois de Bloch (c.f.
cours), l’aimantation se réoriente par rotation dans le plan et est repérée par l’angle ϕ fait avec l’axe difficile. Le
champ d’anisotropie est HA = 8e4[A/m]. On retrouvera l’expression de ϕ en fonction de H à partir de l’exercice
vu en cours. Cette valeur de phi sera définie dans la section des paramètres globaux.
L’expression de l’énergie élastique et magnétoélastique dans le film est :
"
1 α,0 1 1 1
     
Eme = b (εxx + εyy + εzz ) + b
V γ,2
εxx α12 − + εyy α22 − + εzz α32 −
3 3 3 3
#
+ 2 (α1 α2 εxy + α2 α3 εyz + α3 α1 εzx )

Le premier terme concerne la magnétostriction de volume, le second, la magnétostriction de Joule. bγ,0 et

b sont les coefficients de couplage magnétoélastiques respectifs des deux phénomènes exprimés en pascals, ε
γ,2

est le tenseur réduit des déformations. Les coefficients αi sont les cosinus directeurs de l’aimantation dans le
film, soit :
Mx My Mz
α1 = , α2 = et α3 =
M M M
Dans le cas d’une anisotropie de type uni axiale dans le plan avec un axe facile selon Ox, en utilisant les
notations définies au début, ces coefficients sont : α1 = sin φ, α1 = cos φ et α3 = 0 (aimantation dans le plan).
Alors :
1 1 1 1
     
V
Eme = bα,0 (εxx + εyy + εzz ) + bγ,2 εxx sin2 φ − + εyy cos2 φ − − εzz + εxy sin(2φ)
3 3 3 3

Les contraintes magnétoélastiques s’obtiennent en dérivant cette énergie :

V
∂Eme
τij =
∂εij
 Ainsi :
1 α,0 1
 
me
τxx = b +b γ,2
sin φ −
2
3 3
1 α,0 1
 
me
τyy = b +b γ,2
cos φ −
2
3 3
1 1
me
τzz = bα,0 − bγ,2
3 3
me
τyz =0
me
τxz =0
me
τxy = bγ,2 sin(2φ)

Cependant, dans le cas de notre couche magnétostrictive qui possède un axe d’anisotropie suivant la direction
x, nous devons avoir des contraintes magnétoélastiques nulles quand le champ magnétique appliqué est nul et
que par conséquent, l’aimantation est suivant l’axe d’anisotropie (ϕ = π/2, bilame ‘plat’ au repos). De plus,
on négligera la magnétostriction de volume (bα,0 = 0). Les contraintes magnétoélastiques sont donc corrigées
comme suit :
me
τxx = −bγ,2 cos2 ϕ
me
τyy = bγ,2 cos2 ϕ
me
τzz =0
me
τyz =0
me
τxz =0
me
τxy = bγ,2 sin(2φ)

1. Dans une nouvelle simulation, vous définirez un jeu de variables valables dans le bloc magnétostrictif
soustrayant les contraintes magnétostrictives aux T1...T6. On choisira ici un coefficient de magnéto-
striction de joule bgamma2 de -10 MPa. Pour le maillage, vous choisirez un maillage free triangular
(scale geometry 5 ;5 ;1) sur la face supérieure du bloc magnétostrictif, que vous distribuerez (swept
→ distribution, 3 éléménts) Lancez la résolution pour différentes valeurs de H comprises entre −HA
et HA (vous pourrez par exemple lancer une étude paramétrique (Study 1/Parametric Study) avec H
variable par pas de HA/10), et affichez la déformée. Faire une animation de la déformée en fonction de H.
2. Tracez la courbe de l’angle de flexion u3x et de torsion u3y sur un point au milieu de l’extrémité libre de
la poutre en fonction de H. pour cela :
• Dans Results/Data Sets → Cutpoint 3D, avec x=10000, y=1000, z=50.
• Créer 1D plot group puis ajoutez 2 point graphs : pour u3x et u3y avec le dataset Cut Point 3D
défini précédemment.
4 Bilame magnétostrictif, étude dynamique
On souhaite maintenant simuler la réponse dans le temps du bilame soumis à un champ magnétique alternatif
H(t) = H0 sin(2πf t) .Nous allons donc effectuer une étude temporelle.
Si on tient compte du temps, l’équation devient :

∂2u ∂u
ea + da + ∇.Γ = f
∂t2 ∂t
où ea est le coefficient de masse et da l’amortissement.
Pour cela, dans Global Parameters :
• Remplacer H par H0
• Définir f la fréquence d’excitation. On commencera par f=1[Hz]
Déplacer le calcul de phi dans les variables si ce n’est pas déjà le cas.
Dans les variables (Component x/Definitions/Variables y), définir : H=H0*sin(2*pi*f*t).
Définir pour chaque matériau une variable rho correspondant à sa masse volumique. Pour le silicium, on
prendra rho=2329 [Kg/m^3] et pour la couche magnétique rho=7850 [Kg/m^3]
Dans la physique : General Form PDE 1, il faut ajouter les données concernant ea et da . Ici, on ne prendra
pas l’amortissement en compte. Le terme de masse correspond à moins la masse volumique rho du matériau.
Ajoutez -rho sur les termes diagonaux de ea .
Ajoutez une nouvelle étude, temporelle cette fois : Add Study/Time dependent. Pour l’excitation en quasi-
statique (hors résonance) à 1 Hz, ajustez la zone temporelle. Par exemple, de 0 à 10 secondes par pas de 0.1
secondes : range(0,0.1,10).
Il faut choisir un solveur approprié :
• Study x/Show default solver
• Dans Solver config/solution x/Time dependant solver 1, changez la méthode de time stepping
pour generalized alpha qui permet de choisir manuellement un pas temporel (steps taken by solver).
Choisissez un pas adapté pour le calcul.
Effectuez la simulation et visualisez l’animation de la déformation en fonction du temps. Comme pour l’étude
paramétrique précédente, tracez la courbe de l’angle de flexion u3x et de torsion u3y sur un point au milieu de
l’extrémité libre de la poutre, mais cette fois en fonction du temps. Ajoutez aussi l’évolution de H sur le graphe.
Dans un second temps, nous allons étudier l’excitation de la poutre à sa fréquence de résonance. Le premier
mode de flexion se situe autour de f = 650 Hz.
• Refaire une simulation avec un champ d’excitation à cette fréquence (il faudra bien sur adapter la zone
temporelle et les pas de simulation)
• Refaire une simulation avec f = 325 Hz. Qu’observez-vous ? comment cela s’explique-t-il ?

5 Compte rendu
La compte rendu doit contenir a minima les éléments suivants :
1. Les caractéristiques de l’étude par éléments finis :
(a) Les équations aux dérivées partielles utilisées et l’étude menée (explorer pour cela les équations et
commentez le modèle)
(b) La géométrie du problème et les conditions aux limites
(c) Les caractéristiques du matériau utilisé dans le modèle
(d) Les caractéristiques du maillage
2. L’étude statique de la poutre chargée en introduisant les équations de la statique.
3. L’étude statique du bilame magnétoélastique
(a) Champ de déplacement de la poutre pour différentes valeurs de champ
(b) Courbes de l’angle de flexino et de l’angle de torsion en fonction du champ
4. L’étude dynamique du bilame magnétoélastique
(a) Courbes de l’angle de flexion et de l’angle de torsion en fonction du temps à 1 Hz
(b) Courbes de l’angle de flexion et de l’angle de torsion en fonction du temps à 650 Hz et 325 Hz