Techniques par évaporisation

thermique et les techniques

d’élaboration sur le matériau 2D

Élaboré par : Oumaima Jbeli

I-Technique par Evaporation Thermique :

1- Principe de l’évaporation thermique (par effet

joule)
Cette technique consiste à :
•Déposer dans un premier temps des grains, de la
grenaille ou Des petits bouts de fil du matériau à
évaporer dans une nacelle En tungstène, tantale,
molybdène ou carbone.
•Porter la nacelle à haute température par effet Joule.
•Les grains fondent puis le métal s’évapore et se
dépose sur le Substrat.
3 / matériels :
le matériau à déposer est placé dans un
creuset
•chambre est évacuée à une pression de 10^-6
10^-7 tor
•le creuset est chauffé pour évaporer le
matériau du creuset et condenser sur le
substrat froid
4/ les avantages et des inconvénients de l’évaporation thermique :

les avantages
• Vitesse de dépôt élevée (de 1 nm/min à 10µm/min).
• Méthode simple d’utilisation.
• Haute pureté des matériaux.
•Adapté aux applications électriques et optiques
•Bon pouvoir de recouvrement.
les inconvénients :
• La contamination potentielle par la nacelle elle-même.
• L’impossibilité d’évaporer des métaux à haute température de fusion.
• La limite sur l’épaisseur de la couche déposée étant donnée la faible quantité de
métal pouvant être déposée dans la nacelle
5 / applications :
Elle est applicable sur les métaux
• aluminium
• cuivre

6 / méthode d’élaboration de matériaux 2 D

La synthèse des matériaux 2D est un défi scientifique qui a poussé les chercheurs à Développer plusieurs méthodes.
Parmi ces méthodes, il existe des approches CVD (Chemical Vapor Deposition) qui sont adaptées à la synthèse de
matériaux de grandes surfaces et des Approches d’exfoliation mécanique qui donnent des matériaux de très bonne
qualité mais limité en taille
Exfoliation mécanique :
Le principe de l’exfoliation repose sur le fait
que les monocouches de graphène Sont
faiblement liées les unes aux autres par les
forces de Van Der Waals. Un ruban adhésif est
Utilisé pour faire un clivage micromécanique
sur un morceau de graphite HOPG (Highly
Oriented Pyrolytic Graphite). Cette opération
de collage-décollage est répétée plusieurs fois
avec le scotch sur le bout de graphite arraché,
pour permettre d’affiner les couches
arrachées Jusqu’à une dernière étape de Illustration de l’exfoliation des matériaux 2D, le cas
transfert sur un substrat isolant . L’inspection du graphène est pris comme exemple (a) cristal De
par Microscopie optique montre le transfert graphite mis en contact avec le ruban adhésif (b)
réussi de quelques couches de graphène sur
l’opération de collage-décollage répétée plusieurs
le substrat
fois Permet d’affiner le graphite © représentation
schématique : Transfert du graphène par exfoliation
mécanique En utilisant un ruban adhésif et un cristal
de Graphite. (d) Image en microscopie optique de
graphène exfolié Reporté sur SiO2.
C/Exfoliation en phase liquide lPE
L’exfoliation en phase liquide est une
méthode de production de matériaux de
graphène en utilisant un solvant comme
l’acide acétique, l’acide sulfurique et le
peroxyde d’hydrogène, pour exfolier le
graphite par ultrasons. La méthodologie de
sonication est utilisée dans LPE pour
exfolier le graphène à partir d’un matériau
en graphite, car le graphite contient
différentes couches de graphène qui sont
attachées par les forces de Van der Waals.
Cette méthode utilisée pour créer des
nanorubans de graphène, mais la
croissance à grande échelle du graphène
est également une tâche difficile dans
cette méthode.
B/Dépôt chimique en phase vapeur (CVD)

• Le CVD est l’une des méthodologies de dépôt

importantes utilisées pour les métaux de transition.
Dans le procédé CVD, le nickel et le cuivre sont utilisés
pour la production à grande échelle de graphène. Au
cours du processus CV Dun film de catalyseur
métallique se dépose sur le substrat. Une gravure
chimique est effectuée sur le matériau déposé sur le
substrat. Après attaque chimique, un mélange
contenant le carbone est envoyé dans la chambre de
réaction. La configuration expérimentale du processus Schéma de principe du montage
CVD est illustrée à la figure 7 . La qualité du graphène expérimental du procédé CVD
obtenu à partir du processus CVD est de haute qualité.