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TECHNIQUES DU VIDE

Presentation · January 1999

DOI: 10.13140/RG.2.2.18359.47522

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Eric Chappel
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Eric Chappel & Andreas Böhm
Université Joseph Fourier
1999

1
 Partie Théorique
I. INTRODUCTION ....................................................................................................................................................... 4
A. APPLICATIONS ........................................................................................................................................................... 4
B. UNITÉS ........................................................................................................................................................................ 4

II. SYSTÈMES DE POMPAGE ..................................................................................................................................... 5

A. PRINCIPE ................................................................................................................................................................. 5
B. POMPAGE PRIMAIRE (P  10-3 TORR) ........................................................................................................................ 5
1. pompes à palettes (de 1.5 à 500 m3/h) ................................................................................................................ 6
2. pompes multipalettes ........................................................................................................................................... 6
3. pompes à pistons oscillants et trochoïdes ........................................................................................................... 6
C. POMPAGE INTERMÉDIAIRE (10-4<P<10 TORR).......................................................................................................... 6
1. les dépresseurs roots............................................................................................................................................ 6
2. les boosters ........................................................................................................................................................... 6
D. POMPAGE SECONDAIRE (10-7<P<10-3 TORR) ............................................................................................................ 7
1. Les pompes à diffusion d’huile ............................................................................................................................ 7
2. les pompes turbomoléculaires ............................................................................................................................. 7
E. POMPES CRYOGÉNIQUES ........................................................................................................................................... 7
1. pompage par condensation ................................................................................................................................. 8
2. Pompage par adsorption ..................................................................................................................................... 8
F. CHOIX D’UN SYSTÈME DE POMPAGE ADAPTÉ ........................................................................................................... 9
III. MESURES DE PRESSION .................................................................................................................................. 9
A. AU-DESSUS DE 0.5 MBAR........................................................................................................................................... 9
1. Manomètres mécaniques ..................................................................................................................................... 9
2. Manomètres à fluide ............................................................................................................................................ 9
3. Le manomètre à mercure..................................................................................................................................... 9
4. Le manomètre à huile ........................................................................................................................................ 10
5. Manomètres en pont .......................................................................................................................................... 10
B. VERS LES HAUTES PRESSIONS.................................................................................................................................. 10
1. Les jauges de Pirani .......................................................................................................................................... 10
2. Les jauges capacitives ....................................................................................................................................... 11
3. Les jauges à cathode froide ou jauges Penning ............................................................................................... 11
C. MESURE DE LA PRESSION D’UNE ENCEINTE FROIDE ............................................................................................... 12
IV. CALCUL DES CANALISATIONS DE POMPAGE .......................................................................................... 12
A. RÉGIME DE POMPAGE .............................................................................................................................................. 12
1. Régime turbulent ................................................................................................................................................ 12
2. Régime visqueux ................................................................................................................................................ 13
3. Régime intermédiaire ........................................................................................................................................ 13
4. Régime moléculaire ........................................................................................................................................... 14
5. Conséquence du régime de pompage sur la géométrie des canalisations ...................................................... 14
B. CONDUCTANCE D’UN TUBE ..................................................................................................................................... 14
C. ASSOCIATION DE CONDUCTANCES.......................................................................................................................... 15
D. CALCUL PRATIQUE D’UNE LIGNE DE POMPAGE ...................................................................................................... 15
1. Régime visqueux ................................................................................................................................................ 15
2. Régime moléculaire ........................................................................................................................................... 16
3. Régime intermédiaire ........................................................................................................................................ 16
E. CALCUL DU TEMPS DE POMPAGE............................................................................................................................. 16
V. INTRODUCTION ..................................................................................................................................................... 18
A. SCHÉMA DU CIRCUIT................................................................................................................................................ 19
B. DESCRIPTION DU MATÉRIEL (VOIR FICHE TECHNIQUE EN ANNEXE)....................................................................... 20
1. Pompage et appareils de mesure : .................................................................................................................... 20
2. Eléments du circuit : .......................................................................................................................................... 20

2
VI. EXPÉRIENCES ......................................................................................................................................................... 21
A. OBSERVATION DES DIFFÉRENTS RÉGIMES DE POMPAGE ........................................................................................ 21
B. VÉRIFICATION DE LA LOI DES CONDUCTANCES ...................................................................................................... 22
C. CRYOPOMPAGE ........................................................................................................................................................ 22
VII. ANNEXES ............................................................................................................................................................. 26
A. TABLE DE CONVERSION POUR UNITÉS DE PRESSION. .............................................................................................. 27
B. SCHÉMA ET ABAQUE – POMPE PASCAL .................................................................................................................. 28
C. SCHÉMA ET ABAQUES – POMPES TURBOMOLÉCULAIRES. ...................................................................................... 32
RÉSULTATS ......................................................................................................................................................................... 34

3
 Partie théorique

I. Introduction

A. Applications

Les techniques du vide sont intimement liées au développement de la

cryogénie ou technique des basses températures. La désignation «basses
températures» concerne toute température inférieure à - 196°C point de
liquéfaction de l’azote (sous 1 atm). L’appellation « très basses températures »
est réservée aux températures inférieures à –269°C (point de liquéfaction de
l’hélium sous 1 atm). La cryogénie rassemble l’ensemble des techniques liées
à la production, au stockage ou à l’utilisation des fluides cryogéniques. Un bon
isolement de ces fluides va nécessiter un vide très poussé. La cryogénie va
apporter un complément à la technique du vide : l’utilisation de cryopompes
comme pompes primaires associées à des pompes ioniques ou l’utilisation de
cryopompes à hélium liquide est de plus en plus fréquente.

La cryogénie tient d’ores et déjà une place prépondérante dans la

recherche et l’industrie (aérospatiale, santé, microinformatique, agro-
alimentaire...). Une sensibilisation aux techniques du vide les plus courantes
devient donc nécessaire.

Le TP proprement dit est précédé d’une description succincte des

systèmes de pompage usuels, avec leur spécificité respective (gamme
d’utilisation, vitesse de pompage...) puis d’un rappel sur le calcul des
canalisations de pompage et sur les mesures de pression. Les schémas des
différents appareils et le tableau des unités de pression sont donnés en
annexe.

B. unités

L’unité officielle de pression est le pascal (Pa) : c’est la pression

qu’exerce une force de 1 newton sur une surface de 1 m2. Les unités
adoptées pour ce TP sont le Torr et le millibar (mbar) :

4
 Exercice :

1 Torr 1mbar

=1 mm de mercure = …………………mm de mercure

=13600*9.81*0.001=133.4 Pa =………………….Pa

=1.32 10-3atm =………………….atm

=1.33 10-3bar =………………….bar

=1.33 mbar =………………….Torr

II. Systèmes de pompage

A. PRINCIPE

comprimer un gaz sous faible pression à la pression atmosphérique (pompe

primaire) ou à la pression de fonctionnement de la pompe primaire (pompe
secondaire).

Le constructeur fournit pour chaque pompe sa caractéristique débit-pression,

. dv
le débit de volume v  à la pression p de pompage.
dt
.
Le débit n en mole/s, lorsque le gaz est assimilé à un gaz parfait, est donné
. . . p .
par la relation : p v = n RT ou encore n= v
RT

R=8.32 Jmole-1K-1 T= température

Les constructeurs fournissent également des abaques permettant d’estimer le

temps de pompage d’une enceinte de volume V (voir en annexe).

B. Pompage primaire (p  10-3 Torr)

Il est utilisé pour :

 prévider (10-3-10-1 Torr) une enceinte en vue d’un pompage secondaire
 pomper avec un débit important à des pressions comprises entre 1 et 100
Torr

5
 Pompes utilisés :

1. pompes à palettes (de 1.5 à 500 m3/h)

Composées d’un rotor à palettes monté excentriquement, elles ont un ou

deux étages (pmin~10-2 ou 10-4 Torr respectivement) et peuvent être étanches
à l’hélium. Le refroidissement est assuré par convection naturelle ou forcée,
éventuellement par circulation d’eau.
La fiabilité de ces pompes est bonne, l’entretien se limitant à une vidange
régulière.

2. pompes multipalettes

Ces pompes à un étage sont adaptées à des débits élevés (170 à 1200
m3/h) aux pressions  1 Torr.

3. pompes à pistons oscillants et trochoïdes

Un piston cylindrique ou elliptique oscillant monté excentriquement

remplace ici les palettes. Ces pompes sont utilisées pour des débits >150 m3/h

C. Pompage intermédiaire (10-4<p<10 Torr)

Ceci concerne les débits importants. Les deux principaux types de pompes
utilisées sont :

1. les dépresseurs roots

Ils travaillent dans la gamme 10-3-50 Torr et doivent être associés à une
pompe primaire. Plusieurs roots peuvent être mis en série mais ce sont des
sources de vibration importantes.

2. les boosters

Dérivées des pompes secondaires à diffusion d’huile, elles offrent

l’avantage d’atteindre des pressions plus basses que les roots pour un même
débit, de moins vibrer. Cependant, la présence d’huile chauffée peut polluer
les circuits de refoulement ou d’aspiration.

6
D. Pompage secondaire (10-7<p<10-3 Torr)

Pour assurer des vides d’isolement, sont utilisées :

1. Les pompes à diffusion d’huile

Un faisceau de vapeur d’huile sort de diffuseurs à vitesse supersonique et

entraîne les molécules de gaz vers une paroi refroidie de la pompe où l’huile
se condense et va s’écouler vers la chambre d’ébullition. Les gaz pompés sont
alors libérés et ne peuvent rétrodiffuser. Ils sont comprimés puis aspirés par
une pompe primaire. Des baffles refroidis à l’eau ou à l’azote liquide évitent la
rétrodiffusion d’huile.
Le choix de l’huile est important, ainsi que celui du système de
refroidissement (refroidissement à air non adapté en présence de champs
magnétiques).

Deux incidents majeurs sont à éviter pour ces pompes :

 l’absence de refroidissement conduisant à un cracking de l’huile
 la mise à l’atmosphère de la pompe chaude entraînant une carbonisation de
l’huile

2. les pompes turbomoléculaires

Principe :
Dans le régime moléculaire, ce sont les parois de l’enceinte qui limitent le
trajet des molécules. Des ailettes tournant à grande vitesse vont donner au
gaz une direction privilégiée, ce qui permet à la suite de le piéger.
Les disques à ailettes fixes et mobiles alternent (les disques fixes
permettant de faire rebondir les molécules vers le refoulement de la pompe).
L’ensemble disque fixe-disque mobile est un étage de compression. Ce sont
les angles, le nombre et la longueur des ailettes qui déterminent les
performances de la pompe.
La vitesse nominale des aubes varie de 20000 à 100000 tr/min. Il faut
toujours remettre la pompe à l’atmosphère côté vide pour éviter la
rétrodiffusion d’huile de la pompe primaire. Des grilles de protection
empêchent l’entrée de corps étrangers. L’utilisation de ces pompes est
principalement limitée par son coût.

E. Pompes cryogéniques

C’est un moyen efficace qui permet d’obtenir des pressions comprises entre
10-10 et 10-1 Torr. Deux effets physiques sont utilisés ici : la condensation et
l’adsorption (piégeage d’atomes sur une surface)

7
 1. pompage par condensation

Les gaz sont condensés sur une paroi froide. Avec une source froide de 10
à 20 K, quasiment tous les gaz sont condensés (p<10-7 Torr), sauf le néon,
l’hydrogène et l’hélium.
La pompe est munie d’une ou plusieurs têtes froides et est montée en série
avec une pompe primaire.
Lors de l’arrêt de la pompe cryogénique, les gaz condensés et adsorbés
doivent être pompés. La fréquence de cette régénération des pompes
cryogéniques dépend des conditions de travail.

pompe primaire/ dewar

pompe secondaire
azote liquide

enceintes super isolation

(verre/ inox/ plast.)
reservoir
-5
vide (10 mbar)
absorbant

2. Pompage par adsorption

Certains substrats comme le graphite possèdent une énergie d’adsorption

Ea importante. Le rapport du nombre d’atomes en surface Ns par rapport au
nombre d’atomes en volume Nv à la température T est :

Ns
 e E a / T avec Ea en Kelvin
Nv

Pour le graphite, Ea=140 K. A 4 K, tous les atomes sont en surface et la

pression de volume est négligeable.
La capacité d’adsorption est définie en cm3 TNP de gaz adsorbé par g
d’adsorbant
(1 cm3 TNP=0.76 Torr.l)
Ce pompage est surtout utilisé dans les vases dewar où l’on place du
charbon actif dans le vide d’isolement. Il sert également au pompage de
circuits scellés. Ce système peu coûteux et efficace nécessite cependant
d’être régénérer périodiquement.

8
 F. Choix d’un système de pompage adapté

D’autres considérations peuvent être importantes :

 fonctionnement en l’absence d’huile qui privilégiera les pompes
turbomoléculaires ou cryogéniques
 pompage de gaz coûteux (3He) rendant essentiels les problèmes d’étanchéité
des pompes primaires
 champs de fuites magnétiques importants qui nécessitent l’éloignement des
pompes mécaniques
 Problèmes de vibrations pouvant réchauffer les expériences : dans ce cas, des
systèmes antivibratoires efficaces doivent être prévus entre les pompes
mécaniques et le cryostat.

III. mesures de pression

A. Au-dessus de 0.5 mbar

1. Manomètres mécaniques

Ces jauges mesurent directement la force mécanique exercée sur une

surface. Dans les manomètres Bourdon, cette pression est utilisée pour
déformer un tube. Amplifiée mécaniquement, la déformation est lue par une
aiguille se déplaçant devant un cadran. Très robustes et sans alimentation,
elles couvrent la gamme 1-1000 mbar.

2. Manomètres à fluide

La pression est mesurée simplement en plaçant le fluide dans un tube en U

dont une branche est sous vide et l’autre reliée à l’enceinte dont on veut
connaître la pression p. La relation donnant la pression p est simplement
p=gh, où  est la densité du fluide lors de la mesure, g l’accélération de la
pesanteur et h la différence de niveau entre les branches du tube en U.

3. Le manomètre à mercure

C’est l’appareil à l’origine de l’une des unités de pression : 1 Torr = 1 mm

de mercure. Facile à mettre en œuvre, il sert aussi de thermomètre et les
tables pression-température pour 4He sont souvent exprimées en Torr pour
des conditions normales de température et de gravité. Le tableau ci-dessous
donne quelques valeurs caractéristiques pour 4He :

9
 P en Torr T en Kelvin
760 4.215
37.8 T=2.172
1 1.27

Quelques précautions d’emploi doivent être prises : vannes d’isolement,

protection contre les surpressions, etc. Il faut aussi rappeler que le mercure est
très corrosif.

4. Le manomètre à huile

La densité de l’huile étant environ 14 fois plus faible que celle du mercure, ce
manomètre est destiné aux basses pressions (<50 Torr). La précision reste
satisfaisante jusqu’à 0.5 mbar. Le fluide utilisé est en général du phtalate de
butyle à faible tension de vapeur saturante. Dans une application
thermométrique, il faut mesurer précisément

5. Manomètres en pont

Dans la gamme 1-1000 mbar, ces appareils robustes sont formés d’un
capteur comprenant une plaquette de silicium sur laquelle sont évaporées des
résistances. Montées en pont et équilibrées à basse pression, l’application
d’une pression déséquilibre le pont. Le signal électrique amplifié est alors
affiché, ce qui permet une lecture directe de la pression. Il peut aussi être
utilisé dans une chaîne de contrôle ou de régulation.

B. Vers les hautes pressions

1. Les jauges de Pirani

Les jauges de Pirani exploitent le phénomène physique suivant : la

conductibilité thermique d’un gaz varie en fonction de la pression p tant que le
libre parcours moyen des particules Lp reste faible devant le diamètre des
canalisations. D’après la théorie cinétique des gaz, la conductibilité thermique
s’écrit
K=CvLp/3

Où C est la chaleur spécifique du gaz, v la vitesse moyennes des particules.

On peut monter facilement que

Lp  1/p .

Un filament chauffé à température constante est monté sur l’un des bras
d’un pont de Wheatstone. Le signal électrique produit représente la pression.
Ces jauges donnent une indication qui dépend de la nature du gaz. Elles sont
généralement calibrées pour de l’air ou de l’azote. Très fiables, bien

10
reproductibles et économiques, ces jauges de convection permettent de
mesurer une large gamme de pressions (1000 à 10-3 Torr) avec une précision
de quelques %.

T T
p p

V p

RR

2. Les jauges capacitives

Le principe de ce type de jauge est basé sur la mesure de la distorsion

élastique d’un diaphragme circulaire plat mis sous très haute tension. La
pression à mesurer exerce une force sur le diaphragme et le déforme. Un pont
capacitif permet de transformer cette information en indication de pression. La
mesure est indépendante de la nature du gaz. L’enceinte contenant le
diaphragme est chauffée à 100 ou 150 °C, ce qui évite les variations de la
température ambiante ainsi que la condensation des gaz en dessous de 100
°C. Ces jauges couvrent la gamme 1000-10-4 Torr.

3. Les jauges à cathode froide ou jauges Penning

Une cathode émet des électrons qui vont ioniser les molécules du gaz par
collision. Les ions collectés par l’anode vont générer un courant proportionnel
à la pression. Les valeurs indiquées dépendent de la nature du gaz. Ces
jauges sont destinées à la mesure de vide secondaire (10-3 à 10-10 Torr). Elles
sont très précises mais ne supportent pas une utilisation prolongée sous haute
pression (10-3-10-2) : la formation d’un dépôt va alors altérer son
fonctionnement.
cathode anode

i~p

+50V +200V

11
 C. Mesure de la pression d’une enceinte froide

De manière générale, la mesure de la pression p0 sur un volume placé à

basse température T0 se fait par l’intermédiaire d’un tube de rayon R reliant
cette enceinte à un capteur placé à la température ambiante Ta, et qui
donnera la pression du capteur pa. Lorsque le libre parcours moyen Lp
devient de l’ordre de grandeur des dimensions du tube, une différence de
pression pa-po va apparaître entre les extrémités du tube. En régime
stationnaire et en première approximation, le flux d’atomes J=nv est une
p
constante, n est la densité (n  ) et v la vitesse moyenne (v  T ). On a
T
donc :

p po pa
 Cte et 
T To Ta

La relation est en fait plus complexe et des abaques tenant compte cet
effet thermo-moléculaire ont été tracés. Pour l’hélium, une relation pratique
est :

   2,294 
pa  po T
 724,4( Rpa )  2 1   o  
pa   Ta  
 

R en cm, pa en µbar

IV. Calcul des canalisations de pompage

A. Régime de pompage

1. Régime turbulent

Pour des pressions et des débits élevés, des tourbillons se forment

dans l’écoulement et conduisent à une perte d’énergie. Le débit est alors
proportionnel à la racine carré de la différence de pression :
.
n  p

12
 2. Régime visqueux

Les tourbillons disparaissent et le débit est alors proportionnel à la

différence de pression :

.
n  P

Près des parois, le gaz est presque immobile tandis qu’au centre du
tube sa vitesse est maximale. L’écoulement est dit laminaire ou visqueux. Les
molécules ont de nombreux chocs entre elles mais peu avec les parois du
tube de pompage : le libre parcours moyen est faible. La viscosité du gaz est
un paramètre important.

L’étude des débits gazeux dans un régime non-turbulent est généralement

scindée en trois parties dont les limites sont indiquées par un nombre sans
dimension appelé « nombre de Knudsen » NK. NK est défini comme étant le
rapport du libre parcours moyen LP des molécules à une caractéristique
dimensionnelle de l’enveloppe dans laquelle circule le fluide. Si D est le
diamètre d’un tube cylindrique, on aura

NK= LP/ D

Pour l’écoulement visqueux NK< 0.01

Le libre parcours moyen LP en cm des molécules d’air à 25°C, sous une

pression P en mbar s’écrit :

LP=0.0068/P[mbar]

Ainsi D*P[mbar]> 0.68 mbar cm

En diminuant encore la pression, le nombre de chocs entre particules va

diminuer : le libre parcours moyen sera alors limité par les dimensions du tube.
Le régime est alors moléculaire et est séparé du régime visqueux par un
régime intermédiaire.

3. Régime intermédiaire

Ici LP~D ; donc 0.01< NK< 1 et 0.68 > D*P > 0.0068 mbar cm

13
 4. Régime moléculaire

Ici LP>>D ; donc NK > 1 et D*P < 0.0068 mbar cm

5. Conséquence du régime de pompage sur la géométrie des canalisations

En régime visqueux, les courbes, coudes, réductions de diamètre...

augmentent sensiblement la résistance à l’écoulement. Il faut donc privilégier
les canalisations droites.

En régime moléculaire, malgré les faibles quantités de gaz mises en jeu, il

est nécessaire que les canalisations soient les plus courtes possibles et
qu’elles aient le plus gros diamètre : Une pompe secondaire devant assurer un
vide d’isolement doit donc être placée à proximité du cryostat.

B. Conductance d’un tube

La notion de conductance est fondamentale pour caractériser le

comportement effectif d’un système de pompage dans le domaine du vide.
Elle traduit l’aptitude d’un composant passif (élément de canalisation, vanne,
accessoire...) à laisser passer un flux de gaz, d’une manière plus ou moins
restrictive.
Les valeurs des conductances sont différentes suivant la nature des
écoulements gazeux.

.
Dans une canalisation de pompage, le débit n est fixe et défini par le
système de pompage. Pour maintenir le débit, il faut assurer une différence
de pression p entre l’enceinte à pomper et la pompe. Dans une portion i de
la ligne de pompage, le gaz qui circule à la température Ti et à la pression
moyenne pi, subit une chute de pression (perte de charge) pi qui s’écrit :

. T
pi  n R i
Ci

Où R est la constante des gaz parfaits (R=8,32 J mole-1K-1) et Ci la

conductance à la pression pi de la ligne (Zi = 1/Ci est l’impédance
géométrique).

Entre l’enceinte à pression pe et la pompe à pression po, la différence de

pression est la somme des pi sur toutes les portions de la lignes :

14
 . T . T T 
pe  po  p  n R i  n R 1  2 ...
i Ci  C1 C2 

L’analogie avec un circuit électrique est évidente : il suffit de changer dans

.
la loi d’ohm la chute de tension U par p, le courant I par le débit n et la
T
résistance par le terme R i . En unités plus courantes, si l’on appelle Q le
C
-1
débit gazeux en torr.l.s et p la chute de pression en torr entre deux points
du circuit parcouru par le débit Q, alors la conductance en l.s-1 s’écrit
simplement :

Q
C
p

C. Association de conductances

Si plusieurs sections de conductance C1, C2,..., Cn sont placées en série,

alors la conductance totale s’écrit :

1 1 1 1
  ...
C C1 C2 Cn

Dans le cas d’une disposition en parallèle, on a :

C  C1  C2 ... Cn

D. Calcul pratique d’une ligne de pompage

1. Régime visqueux

Dans le régime d’écoulement visqueux, la conduction d’un tube de section

circulaire s’écrit :

. 5 . D 4 . P
3,310
C
. L

C : conductance en l.s-1
P : pression en micromètre de mercure
D : diamètre du tube en cm
L : longueur du tube en cm
µ : viscosité du gaz en poises (Air à 25°C : 0.0001846)

15
 2. Régime moléculaire

Lorsque l’écoulement est moléculaire, la conductance pour un tube long

(de longueur supérieure à 10 fois le libre parcours moyen des particules du
gaz) s’écrit :

28.7. T
12,1. D 3
293. M
C
L

T : température du gaz en K
M : masse moléculaire du gaz en g.mole-1 (Air à 25°C : 33.34)

On remarquera que la conductance est ici indépendante de la pression.

3. Régime intermédiaire

Quant à la région de transition (libre parcours moyen des molécules du

même ordre de grandeurs que les dimensions du tube), la formule complète
de Knudsen doit être utilisée :

  
  1  0,147 M 
1/ 2 DP  
D  DP  1 / 2   T  
 T
C  3,69.10  2    3,81   
L     M  1/ 2 DP  
 M
  1  0,181  
  T   

Ainsi toute amélioration de la conductance consiste à augmenter le

diamètre et diminuer la longueur en régime moléculaire, ou d’augmenter la
pression en régime visqueux.

E. Calcul du temps de pompage

Pour un système donné, les relations ci-dessus permettent d’en estimer la

conductance C. Si l’on raccorde une pompe de vitesse de pompage S (en
l.s-1) à un dispositif, la vitesse de pompage effective Seff dans ce dispositif
sera telle que :

16
 1 1 1
 
S eff S C

La durée du pompage, nécessaire à l’évacuation d’un volume donné peut

être calculée avec une bonne précision lorsque la pression est abaissée de
760 torr à 10-1 torr. Si V est le volume à vider, Seff la vitesse de pompage, le
temps t nécessaire pour passer de la pression P1 à la pression P2 sera :

V P 
t  K ln 1 
S eff  P2 

Le facteur de correction K tient en compte l’effet de dégazage. Les valeurs de

K varient entre 1.1 (1-1000 mbar), 1.5 (0.1-1 mbar) et 4 (0.001-0.1 mbar). Ils
sont valables pour l’acier dégraissé, mais peuvent être prises pour d’autres
matériaux. K varie beaucoup pour des pressions inférieures à 0.1 mbar (C’est
pour ce-là qu’il est très difficile de donner la durée de pompage exacte).

Entre 760 et 0,1 torr, les dégazages de parois ont un faible effet sur la durée
de pompage et seront négligés. Lorsqu’on atteint 10-3 torr, l’influence des
dégazages (parois, joints...) devient prépondérante. Dans un dispositif
nécessitant un pompage permanent, ces effets sont nuisibles car ils
accroissent la taille des pompes nécessaires. Dans les cryostats, ils
deviennent catastrophiques car, le vide étant scellé, ces dégazages vont peu à
peu dégrader le vide (il faut aussi tenir compte de la diffusion à travers les
parois).

D’une façon générale, les matériaux organiques dégazent 100 fois plus que
les aciers inoxydables. On peut diminuer les coefficients de dégazage en
chauffant les enceintes (diminution d’un facteur 10 pour un acier chauffé à 200
°C pendant 10 heures).

17
 PARTIE PRATIQUE

V. Introduction

Ce groupe de pompage a été conçu

 Pour un TP de 2 à 4 heures
 Pour comprendre et apprécier les performances et caractéristiques
globales de pompes primaire et secondaire
 Avec du matériel performant utilisé actuellement dans la recherche et
dans des processus de fabrication
 Avec un montage simple et intuitif qui peut facilement être modifié

ATTENTION

 Au matériel
 Aux unités dans les formules
 De bien nettoyer les joints
 De bien fermer les colliers
 Mettre en marche la pompe turbomoléculaire seulement si p<0.1 mbar
 Toujours noter les pressions amont et aval

18
 A. Schéma du circuit

Microvanne I
D Caoutchouc, rose
II
B
4 3 
plastique transp.
2.8*100cm III

2 1 plastique transp IV A
pompe
1*310cm
turbo pompe Cu, 50*0.2 cm
P2 V
P1 primaire Cu, 100*0.2 cm
VI
5 7
 
pompe 6
cryogénique
P3 VII
8 9
grand volume
C
10 11
X Y
12
B
circuit de grands tuyaux 13

19
B. Description du matériel (voir fiche technique en annexe)

 Vérifier, si tout le matériel est présent

1. Pompage et appareils de mesure :

1 pompe turbomoléculaire alcatel ATP80 (1 filtre pare-éclats)

1 pompe Pascal alcatel 2005

1 contrôleur ACT 200T

1 contrôleur de pression électronique µPascal
2 jauges de convection PI3
2 jauges Pirani CF2P

2. Eléments du circuit :

1 vase pour pompage cryogénique

1 dewar
1 grand réservoir
13 vannes à boisseaux dn25
1 microvanne
3 croix dn25
2 croix inégales dn 25/16
6 tés dn25
2 convergents dn25/16
2 obturateurs dn25
8 colliers de serrage dn16
32 colliers de serrage dn25
8 joints dn16
32 joints dn25
1 tube en cuivre dn16 de 10 mètres
3 tuyaux en plastique ou caoutchouc
2 petits tubes métalliques
5 tubes inox

20
VI. Expériences

A. Observation des différents régimes de pompage

Procédures
Réaliser ce circuit autour de la pompe primaire (P1) :

3 B

1 A
2 I

pompe
primaire
P1

1) Fermer toutes les vannes autour des pompes (primaire et secondaire) et

mettre la pompe P1 en marche.

2) Noter la pression indiquée par les manomètres A et B, puis ouvrir la vanne

micrométrique I d’un tour
Attendre l’équilibre (2 minutes) et noter les valeurs des pressions en A et B
Continuer jusqu’à l’ouverture complète de la vanne
Tracer les résultats sur du papier millimétrique et logarithmique
En déduire la caractéristique pression-ouverture de la vanne micrométrique

3) Remplacer la vanne micrométrique I par les éléments II – IV

Noter les pressions amont et aval (A et B) dans le cas d’équilibre (après 5
min)
Calculer le libre parcours moyen avant et après des différentes
conductances
Retrouver les différents régimes d’écoulements
Exprimer les pressions obtenues dans différentes unités (mbar, torr,
pascal...)
Estimer les conductances à l’aide des formules de Knudsen
En déduire la vitesse de pompage effective du système selon les
impédances (retrouver S dans l’annexe)
En déduire le temps de pompage (K=4)

21
 Retrouver les valeurs des conductances à partir de la différence de
pression entre les deux extrémités des impédances (attention aux unités,
surtout pour la pression !).

4) Placer A sur le té avant le grand volume VII (vanne 1 fermée)

Pomper le grand volume V et noter la valeur de la pression toutes les 10
secondes jusqu’à l’équilibre
Tracer les résultats sur papier millimétrique et logarithmique
Calculer le temps de pompage du grand volume V et comparer avec les
mesures (K=1.5).

5) Vérifier l’effet de plusieurs angles

B. Vérification de la loi des conductances

1) Procéder comme A.3 avec les tubes fins métalliques VII et VII
Noter la pression toutes les 20 secs
Tracer sur papier millimétré la pression en fonction du temps
Conclusion

2) Comme 1.), mais mettre les tubes en série puis en parallèle

Calculer le débit gazeux et retrouver dans les deux cas la loi des
conductances.

3) Ouvrir toutes les vannes pour pomper en primaire le grand circuit

Fermer la vanne 3 et 7 puis mettre en route la pompe turbomoléculaire
Pomper successivement dans un tube en cuivre, puis dans les deux en
série et en parallèle en notant à chaque fois les pressions à l’équilibre
Calculer le débit gazeux et retrouver dans les deux cas la loi des
conductances.

C. Cryopompage

 Fermer les vannes 7-13 sauf 10. Attendre l’équilibre

 Placer l’azote liquide dans le dewar
 Observer la pression avec les jauges Pirani C et D
 Déterminer les conductances des différents éléments du circuit dans ce
régime de pompage
 Retrouver la conductance du gros tube en inox par la mesure de la différence
de pression à ces extrémités

22
 Copie de TP

I.) Vanne micrométrique :

900
850
800
750
700 100
650
600
550
500 10
450

p [mbar]
p [mbar]

400
350
300 1
250
200
150
0,1
100
50
0
-50 0,01
-100 0 1 2 3 4 5 6
0 1 2 3 4 5 6
Nombre de tours
Nombre de tours
Fonction :

II.) Différentes conductances

B LP Régime A LP Régime C Seff Q t

mbar cm B mbar cm A Sec-1 l/s 10-3 Mbar s
l/sec
Caoutchouc
rose
1*110 cm
Tuyau plast.
2.8*100 cm
Tuyau plast.
1*110 cm
Tuyau Cu
0.2*50 cm
Tuyau Cu
0.2*100 cm
Tuyau Cu
0.2*150 cm
Tuyaux 0.3*50
+0.3*100 cm
Tuyaux :
4*110
2.4*80
1.6*80
20*35
Vtout=12.9 l
I

23
 ii.) Grand volume
1000 1000
950
900
850
800 100
750
700
650
600 10
p [mbar]

550

p [mbar]
500
450
400 1
350
300
250
200 0,1
150
100
50
0 0,01
0 80 160 240 320 400 480 560 640 720 800 880 960 -80 0 80 160 240 320 400 480 560 640 720 800 880 960
t [sec] t [sec]

iv.) Effet des coudes / angles :

v.) Petits tuyaux en cuivre

1,00
0,95
0,90
0,85
0,80
0,75
0,70
0,65
0,60
pression (mbar)

0,55
0,50
0,45
0,40
0,35
0,30
0,25
0,20
0,15
0,10
0,05
0,00
40 80 120 160 200 240 280
seconds
vi.) les grands tuyaux

D : 0.06µbar C avec p2 LP Régime C avec P3 LP Régime C Q

µbar cm P2 µbar cm P3 L/Sec 10-3 Mbar
l/sec
Sans tuyau
(tuyau 
2 en
parallèle
2*1.4*500
1 tuyau
1.4*500
2 en série
1.4*1000

24
vi) Loi des conductances

25
VII. ANNEXES

26
 A. Table de conversion pour unités de pression.

Newton : Millibar Torr Micron Atmosphère

2
A B N/m mbar Torr µ ou mTorr atm
Pascal : Pa
2
1 newton (N/m )=1 pascal 1 10-2 7.5 10-3 7.5 9.87 10-6
(Pa)
1 millibar (mbar) 100 1 0.75 750 9.87 10-4
1 Torr = 1 mm Hg 133 1.33 1 1000 1.32 10-3
-6
1 micron (µ)= 1.10 mm Hg 0.133 1.33 10-3 10-3 1 1.32 10-6
1 atmosphère (atm) 1.013 105 1013 760 7.6 10-5 1

B est obtenu en multipliant A par le coefficient du tableau

Exemple : 20 atm = 20 x 760 Torr

Le Pascal est l’unité standard internationale de pression

1 Pa = 1 N/m2

Le millibar et le Torr sont les unités les plus utilisées

1 mbar = 1 hPa
1 mbar = 0.75 Torr

Autres unités

1 µbar = 1 10-3 mbar

1 psi (pound per square inch ou lbf/inch2) = 51.71 Torr
1 psf (pound per square foot ou lbf/ft2) = 0.359 Torr
1 mm H2O = 9.81 Pa

27
B. Schéma et abaque – Pompe Pascal

28
29
30
31
C. Schéma et abaques – Pompes turbomoléculaires.

32
33
 Résultats

I.) Microvanne :

800

100

600

10

p [mbar]
p [mbar]

400

200
0,1

0
0,01
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Nombre de tours Nombre de tours

Fonction : régulation de pression très précise

II.) Différentes conductances

B LP Régime A LP Régime C Seff Q 10-3 t

mbar cm B mbar cm A Sec-1 l/s Mbar s
l/sec
Caoutchouc 0.041 0.165 Interm. 0.016 0.424 Interm 0.136 0.136 3.4 26
rose
1*110 cm
Tuyau plast. 0.020 0.34 Interm. 0.020 0.34 Interm. 0.576 0.572 0.01 47
2.8*100 cm
Tuyau plast. 0.072 0.095 interm 0.013 0.522 Interm. 0.057 0.057 3.3 63
1*310 cm (K=1.5)
Tuyau Cu 0.056 0.121 interm 0.008 0.85 Molec. 0.040 0.040 1.9 1
0.3*50 cm
Tuyau Cu 0.11 0.061 interm 0.012 0.56 Molec. 0.020 0.020 2.0 3
0.3*100 cm
Tuyau Cu 0.19 0.036 interm 0.04 0.17 interm/ 0.013 0.013 1.9 4
0.3*150 cm Molec.
Tuyaux 0.3*50 0.11 0.062 interm 0.013 0.52 Molec. 0.06 0.06 3.7 3
+0.3*100 cm
Tuyaux : 0.031 0.024
4*110 1.15
2.4*80 0.68 0.20 1.4 1014
1.6*80 interm interm 0.36 (K=1.5)
20*35 63.8
Vtout=12.9 l

34
 iii.) grand volume
1000 1000

800 100

600
10

p [mbar]
p [mbar]

400
1

200
0,1

0,01
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600 800 1000
t [sec] t [sec]

iv) les coudes / angles n’ont pas d’effet (le pompage n’est pas turbulent)

v.) petits tuyaux en cuivre 1000

100
1,0
Régime intermédiaire

10
50cm/2mm (1)
p [mbar]

0,8

100cm/2mm (2) 1
0,6
pression (mbar)

(1) + (2) 0,1

0,4
150cm/2mm
0,01
0 200 400 600 800 1000
0,2
t [sec]

0,0
0 70 140 210 280 350
seconds

vi.) les grands tuyaux

D : 0.06µbar C avec LP Régime C avec P3 LP Régime C Q

p2 cm P2 µbar cm P3 L/sec 10-3 Mbar
µbar l/sec
Sans tuyau 0.8 8.5 Mol. 0.53 12.8 Mol. 6.3 4.66
(tuyau 
2 en parallèle 6 1.1 Interm. 2-3 2.7 Mol. 0.122 0.63
2*1.4*500
1 tuyau 9 0.73 Interm. 4-5 1.5 Mol. 0.061 0.54
1.4*500
2 en série 18 0.38 Interm. 9 0.75 Interm 0.031 0.53
1.4*1000

vi) loi des conductances

le débit gazeux est approximativement constant

35

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