6 Lecon 6

Leçon 6 –
Capteurs de position et de
déplacement
229
Plan de la leçon 6
6.1 Contexte et définitions

6.2 Capteurs potentiométriques
6.3 Capteurs inductifs
6.4 Capteurs capacitifs
6.5 Codeurs optiques
6.6 Capteurs à triangulation
6.7 Capteurs optiques
6.8 Capteurs à propagation d’ondes
6.9 Synthèse
Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

230
6.1 Contexte et définitions

La position ou le déplacement d’un objet est une donnée souvent indispensable
dans bon nombre de situations industriels :
• robotique (automatisation de systèmes)
• contrôle de dimensions
• machinerie-outils
• mesures d’autres grandeurs physiques, ...
Ce type de capteurs se divise en 2 catégories :

• absolus (capteurs de position)
Référence
L
0 1 2 3 4 5 6 7
• relatifs (capteurs de déplacement)
∆L
231
6.2 Capteurs potentiométriques (1)

Principe
On sait que la résistance électrique d’un matériau est directement
proportionnelle à la longueur de celui-ci. On peut donc exploiter ceci pour en
faire un capteur de déplacement. C’est le capteur potentiométrique. L’objet est
fixé à un curseur mobile :
Le signal électrique de sortie est :
x
Curseur mobile V = Vs
Vs R0 D
où : - x : position du curseur
- D : longueur totale de la
R(x) V résistance

232

Potentiomètre bobiné
Le premier type de potentiomètre est constitué d’un long fil conducteur enroulé
autour d’un support. Des curseurs mobiles se déplacent contre cet enroulement
et assurent un contact électrique avec ceux-ci.
• Résolution : Dans ce cas de figure, la variation de R n’est pas une

fonction linéaire de x mais évolue par paliers.
Position 1 Position 2 R(x)

Curseur
δx
δxx
δx : plus petite variation de x détectable
(Valeur typique : 10 µm)
233

Potentiomètre à piste conductrice
Une autre réalisation de ce capteur est faite avec une piste résistive en parallèle
avec une piste conductrice :
3 La réponse est linéaire :

Piste conductrice
R est négligeable R(x)
Piste résistive 2
R est important
x
1
2 1 3

234

Forme circulaire et bilan synthèse
Les potentiomètres existent bien évidemment sous forme circulaire. Dans ce
cas, on mesure θ au lieu de x :
ou
1 3
2 1 3
•Bilan synthèse : 2
• Principe très simple coût faible à modéré
• Amplitude du signal électrique peut être importante
• Friction erreurs de finesse, usure (modification des performances)
• Nombre maximal de manœuvre : ~106
• Sensible à l’environnement : poussières, humidité, ...
235
6.3 Capteurs inductifs (1)

Capteur à entrefer variable
Un autre type de capteur est l’inductance variable. Plusieurs configurations
sont possibles.
• Capteur à entrefer variable – Principe
Déplacement de l’objet
Objet
lui-même
Entrefer
Matériau ½ℓair
ferromagnétique
Lignes de champ
magnétique
On montre que :
N2 dℓ 1  ℓ fer ℓ air 
L= où : Rm = ∫ =R=  + 
Rm µS µ0  µ fer S S 
236

On trouve :
1
L = µ0 N S
2
µ0 N 2 S
ℓ fer ℓ air >>
ℓ fer
µ fer
L≈
ℓ air +
µ fer ℓ air
ℓfer : longueur moyenne du flux dans le fer

ℓair : longueur moyenne du flux dans l’air
µ0 : perméabilité magnétique du vide
µfer :perméabilité relative du matériau ferromagnétique (~103 à 104)
N : nombre de tours du conducteur
ℓ : longueur parcourue par une ligne de flux
µ : perméabilité magnétique
S : section du circuit magnétique

237
6.3 Capteurs inductifs (3)6

• Mise en œuvre :
On utilise ce capteur pour mesurer de petits déplacements, ∆x, autour d’une
position moyenne, ℓ0 :
ℓ air = 2 ( ℓ 0 + ∆x )
µ0 N 2 S  
2
µ0 N 2 S µ0 N 2 S 1 ∆x  ∆x 
L= = = 1 − +   − ... 
2 ( ℓ 0 + ∆x ) 2ℓ 0 (1 + ∆x ℓ 0 ) 2ℓ 0  ℓ0  ℓ0  
 
Erreur
L = L0 + ∆L
• L’étendue de mesure : de l’ordre du mm
• La précision peut être de l’ordre du µm L1 L2
Existe en configuration push-pull :
- Sensibilité doublée
- Non-linéarité réduite au 3ième ordre :∆L1 - ∆L2
238

Capteur à noyau plongeur
Une autre configuration possible d’un capteur à déplacement inductif est celle
où un noyau ferromagnétique plonge à l’intérieur du cœur d’un solénoïde :
D
ℓ
Bobines Matériau ferromagnétique
La modèle électrique de ce capteur est le suivant :

ℓ D-ℓ
L’inductance globale de ce capteur est donnée par : L = Lair + L fer + 2 M

Lair = A ⋅ ℓ L fer = B ⋅ ( D − ℓ ) M = k Lair ⋅ L fer
(M : l’induction mutuelle
Pierre entre
Lemaître-Auger, LairINP-Esisar
Grenoble et Lfer)
239

Capteur à noyau plongeur
On trouve donc la relation suivante entre L et ℓ :
L = ( A − B ) ⋅ ℓ + B ⋅ D + 2k AB Dℓ − ℓ 2 ( )
A priori, cette relation ne semble pas linéaire du tout. Cependant, une étude
de cette fonction démontre qu’en pratique, l’impact du terme non-linéaire est
faible. On peut facilement considérer que ce capteur est linéaire (avec un
erreur de linéarité faible).
Existe aussi en configuration push-pull : L1 L2

- Sensibilité doublée
- Non-linéarité réduite
Remarque : Il existe un couplage entre L1 et L2 que l’on peut grandement

diminuer par un design approprié.

240
6.4 Capteurs capacitifs (1)

Principe physique
Un troisième type de capteur est le capteur capacitif.
En effet, la capacité d’un condensateur plan est donnée par :
A Surface
C = ε 0ε r
d Distance entre les armatures
Celle d’un condensateur cylindrique par :
ℓ longueur du cylindre
C = 2 πε r ε 0
ln  1 
r rayon de l’armature extérieure
 r2  rayon de l’armature intérieure
Les capacités dépendent des dimensions géométriques

En faisant varier une de ces dimensions, on obtient un
capteur de position/déplacement.
ε0 : permittivité du vide, εr : permittivité relative du diélectrique

241

Capacités à surface variable
On peut jouer sur la surface d’une capacité, i.e. la surface des armatures
métalliques en regard l’une avec l’autre. Pour des déplacement angulaire :
• Montage simple • Montage push-pull
αmax
Armature supérieure
α 0< α< π/2 α
1 2
Armature inférieure
r2
r2
C1 = ε air ε 0 α = C 0α
C = ε air ε 0 α 2d
2d
r2
C 2 = ε air ε 0 (α max − α ) = C 0 (α max − α )
2d
• Push-Pull
Réponse d’un diviseur de tension est linéaire :
Z1 C2  α 
= = 1 − 
Z1 + Z 2 C1 + C 2  α m ax 
242

3.4.2 Capacités à surface variable
Pour des déplacements linéaires :
• Montage simple
ℓ
C = 2πε air ε 0
ln ( r1 r2 )
ℓ
• Montage push-pull
L+ℓ
ℓ L
C1 = 2πε air ε 0
ln ( r1 r2 ) Z1 C2 1 ℓ
= = 1 + 
L−ℓ Z1 + Z 2 C1 + C 2 2  L
C2 = 2πε air ε 0
ln ( r1 r2 )
243

Capacités à écartement variable
On peut également jouer sur la distance entre les 2 armatures d’un
condensateur plan :
D
x
S 1 Montage potentiométrique :
C1 = ε air ε 0 = C0
D−x 1− x D
Z1 C2 1 x
S 1 = = 1 − 
C2 = ε air ε 0 = C0 Z1 + Z 2 C1 + C2 2  D 
D+x 1+ x D
L’étendue de mesure : ~ mm ; Précision : ~ µm

244
6.5 Codeurs optiques (1)

Principe
Les codeurs optiques sont des capteurs qui mesurent un déplacement angulaire
(i.e. une rotation) ou une position angulaire définie.
Ces capteurs sont constitués d’une roue reliée à l’objet de mesure qui,
séquentiellement, bloque puis laisse passer la lumière d’un émetteur vers un
capteur optique.
Disque codé
V Signaux obtenus
Photodiodes
Temps
Sources lumineuses

245

Codeur incrémental – Signaux en quadrature
Le problème, c’est de déterminer le sens de rotation (voir le signal A ci-dessous).
Pour le déterminer, nous avons besoin de 2 signaux déphasés de 90°.
V Signaux en quadrature
A:
A avance
B de 90°
B:
Schéma de principe
Temps
V
A:
B avance
A de 90°
B:
Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar Temps

246

Codeur incrémental
• Principe:
• Pour connaître la déplacement de l’objet, on compte le nombre d’impulsions
du signal A.
• Pour connaître le sens du déplacement, on compare le signal A avec le
signal B.
• Selon l’exemple précédent :
Lors d’une transition de A (0 → 1) : Exemple de disque
-B=0 sens anti-trigo
-B=1 sens trigo

247

Codeur absolu
On peut également mesurer la position absolue avec ce type de capteur. On
utilise alors plusieurs couples «source-détecteur», chacun donnant
l’information d’un bit du signal total. Une position angulaire est associée au
signal numérique total composé de N bits.
15 0
14 1 Valeur
13
décimale
2
0 0 0 0 0
12 3 1 0 0 0 1
2 0 0 1 0
11 4 ... ...
9 1 0 0 1
10 5
... ...
9 6 15 1 1 1 1
8 7

248

Codeur absolu – codage
En pratique, on utilise un codage de type Gray1 plutôt que le codage binaire
classique.
Code Gray : Exemple de disque (code Gray)
1seulbit change d’état par

changement de position

249
6.6 Capteurs à triangulation (1)

Description
Une technique de mesure de déplacement est basée sur le principe de la
triangulation.
On utilise pour cela une source optique infra-rouge et un détecteur optique
linéaire disposés comme suit :
Détecteur optique
linéaire
x
d = f(x)
LED

250

Principe
1) On éclaire un objet par un faisceau collimaté, 2) on collecte une partie de la
lumière diffusée par l’objet et 3) on fait converger cette lumière au point focal
d’une lentille sur un détecteur optique. 4) Ce détecteur mesure la position de la
tâche focale.
f
x
Thalès :
ℓ ℓ x
=
d f
LED
d
f ℓ
d =
x
251

Utilisation - Caractéristiques
• Utilisations de ce type de détecteur :
- Fonction auto-focus des appareils photo et des caméras
- Mesure précise de déplacement,
- Mesure de la hauteur d’un objet,
- Mesure de l'excentricité d’un objet circulaire en rotation,
- ...
Idéal pour la mesure de petits déplacement (0,1 µm) : bonne précision à une
distance de travail d’une dizaine de cm.
Capteur linéaire Capteur linéaire

2D 1D

252

Culture personnelle
Détecteur optique linéaire
Le détecteur linéaire est un détecteur qui permet de mesurer la position x d’un
faisceau lumineux.
Le faisceau optique va créer des paires électrons-trous dans un semi-
conducteur. Les trous vont demeurer à la surface et se diriger vers les
électrodes A ou B :
iA D iB
x
A B
Si p électrons et trous
R0 Si très résistif R0
VA Si n+ VB
VA = iA R0 R0 est petit VB = iB R0

253

Culture personnelle
• Schéma électrique équivalent :
Résistance du silicium
dopé p
A B
D
iA x iB
x
I0 RSi
Photodiode
hν
Résistance du silicium non dopé
254

Culture personnelle
En ce qui concerne les trous produits par le flux lumineux, ils vont se
scinder en 2 parties selon le principe d’un diviseur de courant :
RD − Rx Rx
iA = i0 iB = i0
RD RD
où : - i0 est le courant total produit par le flux lumineux
- RD est la résistance électrique du Si-p entre les points A et B
- R0 est la résistance électrique du Si-p entre le point d’impact du flux
lumineux et l’électrode A
Comme on a que RD ∝ D et Rx ∝ x, alors :
D−x x iA D − x D
iA = i0 iB = i0 η= = = −−1
1
D D iB x x
On obtient que :
D
x=
η+
+11
255
6.7 Capteurs optiques (1)

Capteur interférométrique
• Schéma de principe :
Miroir fixe
Lref Miroir mobile

Lame semi-réfléchissante
LASER
Lx
Détecteur optique
L’intensité optique mesurée par le détecteur est :
 2π 
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos  2 ( Lx − Lref ) 
 λ0 
256

Capteur optique interférométrique
• Principe :
A cause de la périodicité du signal, il est impossible de déterminer
Lx : L1 L2 L3 ...
électrique ??
Signal
L1 L2 L3 Lx
Ce type de capteur peut nous donner une information sur un déplacement

de l’objet par rapport à une référence inconnue. Cette référence est la
position de l’objet lors de la mise en route du capteur.
Par rapport à une position initiale L0, ce capteur vous donne une
information sur la quantité ∆L :
Lx = L0 + ∆L
257

• Principe :
 4π 
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos 
λ
( ∆L + L0 − Lref ) 
 0 
 4π 
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos  ∆L + φ0 
 λ0 
Avec la mesure d’un seul signal, il est impossible de connaître le sens du
déplacement :
L0
∆L > 0
électrique
Signal
Conduit
à
∆L < 0 Temps
L0 Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

258

• Principe :
Il faut nécessairement la présence d’un second signal en quadrature avec le
premier, comme dans le cas du codeur optique. Pour mieux comprendre,
regardons le cas où φ0 = 0 :
 4π π
I 2 = I ref + I x + 2 I ref I x cos  ( ±∆L ) + 
 4π  λ
 0 2
I1 = I ref + I x + 2 I ref I x cos  ( ±∆L ) 
 λ0   4π 
I 2 = I ref + I x − 2 I ref I x sin  ( )
±∆L
λ
 0 
 4π   4π 
I1 = I ref + I x + 2 I ref I x cos  ( ∆L )  I 2 = I ref + I x ∓ 2 I ref I x sin  ∆L 
λ
 0  λ
 0 
Information sur le signe de ∆L

259

3.7.1 Capteur optique interférométrique (V)
• Réalisations concrètes :
On peut réaliser ce type de capteur en optique de volume ou en optique
intégrée (guides d’ondes fabriqués sur un seul et même substrat.)
Schéma de principe en optique intégrée :
∆ϕ M Ref1
Entrée
M Ref2

260

3.7.1 Capteur optique interférométrique (VI)
• Principe (suite) :
Exemple de signaux obtenus lors d’un changement de direction de
l’objet :
− ∆L > 0 lorsque le signal A précède le signal B
− ∆L < 0 dans le cas contraire
Distance de mesure :
1à4m
Résolution :
< 50 nm

261

Capteur de déplacement à intensité (fibre optique)
• Principe :
On éclaire un objet réfléchissant par une nappe de fibres optiques et on mesure
l’énergie qui est réfléchie par l’objet et récupérée dans des fibres optiques.
Cette énergie dépend de la distance fibre/objet.
Source lumineuse Ensemble de fibres
Détecteur
Fibres émettrices
Fibres réceptrices
262

• Caractéristiques :
• La réponse de ce type de capteur dépend de la réflectivité de l’objet. En
fonction de l’objet, on calibre l’appareil en ajustant la tension de sortie du
«maximum optique» à la tension nominale donnée par le fabriquant.
• On travaille en mesurant de petits déplacement autour d’une position
centrale dans le domaine «près» ou «lointain».
PRES
Sensibilité : 0,01 à 0,05 µm/mV
Distance de travail : 30 µm à 120 µm
Etendue : 20 µm à 80 µm
LOINTAIN
Sensibilité : 0,12 à 3 µm/mV
Distance de travail : 360 µm à 4,2 mm
Etendue : 200 µm à 5 mm

263

• Exemples de sondes :

264
6.8 Capteurs à propagation d’ondes (1)

Principe physique
Une autre méthode pour la mesure de distance consiste à mesurer le temps de
vol d’une onde entre un émetteur et un détecteur. C’est le principe du radar.
• Configuration « aller simple » : Objet
Emetteur Récepteur
ℓ ℓ = vonde ⋅ t
• Configuration « aller-retour » :
Emetteur
Objet
Récepteur 1
ℓ= vonde ⋅ t
ℓ 2

265

Mesure du temps de vol
Lorsque c’est possible, on mesure le temps de vol directement. Souvent,
comptera le nombre d’impulsions produite par un compteur.
(N x)
HORLOGE COMPTEUR N impulsions
Début Fin
DETECTEUR
GENERATEUR
L
L = v ⋅ ( N TH )
Vitesse de propagation de Nombre d’impulsions Période de l’horloge
l’onde d’horloge
266

Capteur magnétostrictif
Champ magnétique longitudinal
Impulsion Détection : Effet Villari

électrique Torsion du tube induit un
changement d’aimantation qui
induit une tension électrique.
Tube
ferromagnétique
∆V
Champ magnétique
transversal circulaire
Effet Wiedmann
ΣB⇒
(torsion locale du tube)
Onde mécanique de torsion Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

267

Capteur magnétostrictif
• Exemples :

268

Ondes sonores
Avec un transducteur piézoélectrique, on peut aisément produire et détecter
des ondes ultrasoniques (f > 20 kHz).
Diaphragme métallique
fr Vibration
Elément piézoélectrique
On travaille près de la résonance

• Avantage :
Vson ds air ≈ 360 m/s ⇒ bonne
de vibration
Amplitude
précision pour courte distance

• Inconvénient :
Nécessite une absence totale de
f vent
fr
269

Ondes électromagnétiques
On peut aussi travailler avec des ondes électromagnétiques dans les domaines :
- radiofréquence (le radar),
- optique (télémètre optique).
Temps de vol:
Cette technique est bien adaptée à la mesure de très grandes distances.
Pour de courtes distances, les temps de vol sont très courts et cela est
problématique.
Exemple :
Plus petit temps mesurable : 1 ns
Résolution spatiale : 3 · 108 m/s × 10-9 s = 0,3 m = 30 cm !

270

Modulation de phase
Une solution au problème précédent est la technique de modulation de
phase. Cette technique est utilisée pour des courtes à moyennes distances.
• Principe:
On module le signal porteur (i.e. onde électromagnétique) à une fréquence fm
et on mesure la différence de phase du signal de retour
Source
P ( t ) = P0 1 + m sin ( 2π f mt ) 
Cible
Détecteur
Ps ( t ) = γ P0 1 + m sin ( 2π f mt − 4π f mτ )  z
τ= : temps de vol
γ : fraction de P0 reçue φ : déphasage c
m : facteur de modulation, [0,1] Le facteur 2 vient de l’aller/retour

271

Modulation de phase
Par une électronique adéquate, on mesure φ. Alors :
c
z = (φ + 2nπ )
4π f m
Il y a une ambigüité sur la phase (le multiple de 2π). La plage utile est donc limitée
à un déphasage compris entre 0 et 2π.
c
z =φ
4π f m
Cela limite la distance maximale d’utilisation.
c
En pratique: z grossier = φ
On utilise 2 fréquences de modulation: 4π f basse
• fbasse : détermine la portée c
• fhaute : détermine la résolution z précis = (φ + 2nπ )
4π f haute
z
272

Synthèse des techniques
Portée / Technologie optique appropriée

Note : pas vu dans le
cours
Source : Vincent DELAYE, Etude et réalisation d’un télémètre laser par temps de vol, Grenoble INP, 2000.

273
6.9 Synthèse de la leçon 6

o Connaître les capteurs de position/déplacement :
• Potentiomètres
• Inductances
• Capacités
• Codeurs optiques
• A triangulation
• Interférométriques
• A propagation d’ondes

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Leçon 6 –

6.1 Contexte et définitions

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.1 Contexte et définitions

Ce type de capteurs se divise en 2 catégories :

• relatifs (capteurs de déplacement)

6.2 Capteurs potentiométriques (1)

Le signal électrique de sortie est :

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.2 Capteurs potentiométriques (2)

• Résolution : Dans ce cas de figure, la variation de R n’est pas une

Position 1 Position 2 R(x)

6.2 Capteurs potentiométriques (3)

3 La réponse est linéaire :

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.2 Capteurs potentiométriques (4)

6.3 Capteurs inductifs (1)

6.3 Capteurs inductifs (2)

ℓfer : longueur moyenne du flux dans le fer

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.3 Capteurs inductifs (3)6

6.3 Capteurs inductifs (4)

La modèle électrique de ce capteur est le suivant :

L’inductance globale de ce capteur est donnée par : L = Lair + L fer + 2 M

6.3 Capteurs inductifs (5)

Existe aussi en configuration push-pull : L1 L2

Remarque : Il existe un couplage entre L1 et L2 que l’on peut grandement

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.4 Capteurs capacitifs (1)

Les capacités dépendent des dimensions géométriques

ε0 : permittivité du vide, εr : permittivité relative du diélectrique

6.4 Capteurs capacitifs (2)

α 0< α< π/2 α

6.4 Capteurs capacitifs (3)

6.4 Capteurs capacitifs (4)

L’étendue de mesure : ~ mm ; Précision : ~ µm

6.5 Codeurs optiques (1)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.5 Codeurs optiques (2)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar Temps

6.5 Codeurs optiques (3)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.5 Codeurs optiques (4)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.5 Codeurs optiques (5)

1seulbit change d’état par

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.6 Capteurs à triangulation (1)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.6 Capteurs à triangulation (2)

6.6 Capteurs à triangulation (3)

Capteur linéaire Capteur linéaire

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.6 Capteurs à triangulation (4)

Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar

6.6 Capteurs à triangulation (5)

6.6 Capteurs à triangulation (6)

6.7 Capteurs optiques (1)

Lref Miroir mobile

6.7 Capteurs optiques (2)

Ce type de capteur peut nous donner une information sur un déplacement

6.7 Capteurs optiques (3)

L0 Pierre Lemaître-Auger, Grenoble INP-Esisar