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UE 5AC02
Capteurs Industriels
Capteurs magnétiques
Eric Vourc’h
eric.vourch@satie.ens-cachan.fr
Grandeur Unités
2 T Electroaimant
Champs
biomagnétiques
Les capteurs magnétiques peuvent être utilisés directement pour des mesures de
champs, mais aussi pour des mesures de distances, de vitesses, pour des mesures de
courants, pour la détection de pièces métalliques, pour du contrôle non destructif…
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
3
Introduction
B0cosw0t
Coeff .lié au
gain de l’ampli
4
Introduction
Les technologies de capteurs de champ sont variées, le bon choix dépend de
l’application visée et des contraintes que l’on se fixe…
Coût
Encombrement
Facilité de mise en oeuvre
Diverses dérives : Sensibilité à la T°, offset.
5
Introduction
Caractéristiques liées aux erreurs de mesures
Erreur systématique, erreur accidentelle
6
Introduction
Caractéristiques liées aux erreurs de mesures
Erreur systématique, erreur accidentelle
X0 Erreur systématique
Erreur accidentelle
t
Introduction
Origine des erreurs systématiques :
8
Introduction
Soit par exemple une grandeur mesurée X[n] consistant en une superposition de
X0 : la valeur vraie
esyst : une erreur systématique (biais)
b[n] : un bruit
X[n] = X0 + esyst+b[n]
Il est intéressant, pour quantifier l’incertitude sur la valeur mesurée, d’en calculer
l’espérance et l’écart type.
Espérance : E X
N
pn Xn m
n 1
Variance : Var X E X E X 2 E X m2
Ecart-type : Var X est une indication de la dispersion des
résultats par rapport à la valeur moyenne
10
Introduction
Justesse, fidélité, précision
X m 2
pX
1
exp
2 2 2
X1
PX X1 pX dX
11
Introduction
Justesse, fidélité, précision
12
Introduction
Justesse, fidélité, précision
13
Introduction
Justesse, fidélité, précision
Justesse :
Fidélité :
Précision :
14
Introduction
Parenthèse : Le bruit en électronique
Le bruit thermique
Facteur de bruit
Formule de Friis
15
Introduction
Le bruit en électronique
Conséquences du bruit sur la mesure d’un capteur muni d’une électronique de
conditionnement.
Exemple des tête de lecture de disques durs magnétiques (à base de capteurs GMR)
1 1 0 1 0
t
La tête de lecture mesure le champ
magnétique à la frontière de deux
domaines magnétiques du disque.
Idéalement le résultat est binaire. t
X0(t)= valeur vraie
X(t) = valeur mesurée
16
1 1 0 1 0
Introduction
Conséquences du bruit
Le rôle du récepteur optimal est de reconstruire le signal binaire à partir de la mesure bruitée
Signal NRZ
Circuit de
Recup. décision
d’horloge
17
Introduction
Conséquences du bruit
1 1 0 1 0
X0
Echantillonnage
X(t)
Comparaison à un seuil
t
0 1 1 1 0
Décision
t
Transitions du canal 18
Introduction
Conséquences du bruit
19
Introduction
20
Introduction
Performances intrinsèques de différents capteurs de champ
en termes de densité spectrale de bruit en champ
[Ref] Niveau de bruit de champ magnétique intrinsèque au capteur (pT/Hz) en fonction de la fréquence.
C. Dolabdjian Laboratoire GREYC – Caen France. 21
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
22
Capteurs inductifs
• Mono-capteurs inductifs
Exemple d’application
• Multi-capteurs inductifs
• Ceintures de Rogowski
• Tachymètre à réluctance variable
23
Capteurs inductifs
Principe
D’après le loi de Lenz, une inductance peut être utilisée pour mesurer un champ magnétique
variable via la f.e.m. de sortie.
i(t)
d
e t ~ e(t)
dt
Sensibilité
B(t)
d d d
e t n B0 dS nA B0 cos t
dt dt A dt
En pratique une bobine n’est pas assimilable à une inductance pure. Sa bande
passante est donc limitée et sa sensibilité n’augmente pas indéfiniment avec la
fréquence.
24
C
Capteurs inductifs
26
Capteurs inductifs
Résolution
C’est la plus petite valeur que le capteur est en mesure d’identifier, la résolution est liée
au bruit.
En l’occurrence, le terme de bruit prépondérant est celui lié à la résistance.
Bruit thermique :
R
R 4kTR f V
Source de bruit thermique équivalente à R
!!! Pour les bobines de très faibles dimensions, le bruit intrinsèque est faible mais le
signal de sortie aussi, cela implique d’utiliser des amplificateurs ; or, ils constituent une
source de bruit supérieure au bruit thermique.
27
Capteurs inductifs
Exemples de composants du commerce
3 technologies de bobines de faibles dimensions
8 couches
1mm
Sensibilité : 7,02 V/T
Résistance : 3,5 Ω 3mm
Bruit attendu : 0,24 nV
1 couche 1mm
Sensibilité : 0,90 V/T
Résistance : 55 Ω
29
Capteurs inductifs
Un exemple d’application
Le contrôle non destructif à
Signaux CF Z=V/I ou e/I
courants de Foucault (CF)
Z dépend de
I(t) Champ magnétique • la géométrie de la cible
~ • ses propriétés électromagnétiques (,)
V(t)
Champ magnétique e(t) • du positionnement capteur-cible
de réaction
CF induits Im Z
Z’
30
Capteurs inductifs
Structures multi-capteurs
On peut réaliser des multi-capteurs constitués de réseaux de bobines.
Ils peuvent être exploités dans des stratégies d’émission /réception variées.
[Ref] FLEXIBLE AND ARRAY EDDY CURRENT PROBES FOR THE INSPECTION OF COMPLEX PARTS
B. Marchand, JM. Decitre, O. Casula CEA, LIST, F-91191 Gif-sur-Yvette, France 33
Capteurs inductifs
Structures multi-capteurs
CND CF
Ref. : Larousse
35
Capteurs inductifs
CND courant de Foucault appliqué à la métallurgie
Mesures d’épaisseur de galvanisation
Les techniques CF (notamment les mesures d’impédance normalisées qui seront traitées en TP) sont utilisées
dans l’industrie pour la mesure d’épaisseur de couches conductrices.
Pour la mesure d’épaisseur de galvanisation de tôles en acier, des capteurs CF sont placés près des buses de
soufflage qui régulent l’épaisseur de zinc déposée sur la tôle issue du bain de galvanisation.
Nota : Des techniques d’instrumentation de type mesures différentielles sont mises en œuvre afin d’affranchir les
mesures des effets des vibrations des tôles.
Zn 100 µm
Capteurs CF
36
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
La ceinture de Rogowski effectue une mesure de courant par l’intermédiaire d’un capteur
inductif.
37
[Ref] “Isolated current and voltage transducers” Characteristics – applications - calculations LEM
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
38
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
39
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
f.e.m.
40
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
41
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
42
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
Insensibilité à la position du conducteur
43
Capteurs inductifs
Ceintures de Rogowski
Variante technologique
Structure de capteur de Rogowski en technologie PCB (circuits imprimés)
44
[Ref] “Isolated current and voltage transducers” Characteristics – applications - calculations LEM
Capteurs inductifs
Tachymètre à réluctance variable
Le capteur consiste en une bobine à noyau magnétique soumise à l’induction d’un aimant
permanent.
Il est placé en vis-à-vis d’une roue dentée ferromagnétique solidaire de la pièce tournante
dont on veut déterminer la vitesse.
La discontinuité magnétique, i.e. la variation d’entrefer, engendre une variation de la
réluctance du circuit et par suite une variation du flux d’induction embrassé par la bobine.
Cette variation qui, compte tenu de la denture de la roue, est périodique, crée en sortie du
capteur une force électromotrice de fréquence proportionnelle à la vitesse de rotation.
Capteur magnétique
d’impulsions Profil de roue face
t au capteur
d
dt
t FEM résultante
Aimant
Entrefer permanent
variable
45
Capteurs inductifs
Tachymètre à réluctance variable
d
dt t
Circuits de conditionnement s
Redressement Moyennage s
/Trigger
v
Capteur
inductif
V(t)
t
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
47
Effet Hall
Principe
L’effet Hall se manifeste dans les semi-conducteurs et les conducteurs
(échantillon de matériau long).
Il faut que le conducteur soit parcouru par un courant I (d’électrons ou/et de trous),
orienté selon la longueur de l’échantillon.
Il faut que le conducteur soit soumis à un champ magnétique B I
Matériau
SC I
e-
vdn
48
Effet Hall
L’effet Hall se manifeste que ce soit avec les porteurs de type n (électrons)
ou les porteurs de type p (trous).
v dn µn E e v dp µ p E e
n : densité d’électrons/m3 p : densité de trous/m3
Fn = -e.vdn^B Fp = e.vdp^B
49
Effet Hall
Illustration : Porteurs de type n
B
Fn = -evdn^B I
Ee=- evdn
vdn
B I
Fn
Ee
+++
+++
51
Effet Hall
On atteint le régime stationnaire lorsque FH = -eEH compense Fn :
Fn B I
EH Ee
FH
+++ +++ +++ +++
+++ +++ +++ +++
F n F H n 0 evdn B eE H n 0
E H n vdn B E H n µn E e B
52
Effet Hall
Angle de Hall :
On appelle angle de Hall Hn l’angle qui sépare le vecteur champ électrique total
( E E e E H n ) du vecteur densité de courant.
E
Hn E Hn
B
J Ee
EH n µn Ee B
tan H n µn B
Ee Ee
53
Effet Hall
Régime stationnaire
Fn B I VHn
EH Ee
FH
+++ +++ +++ +++
+++ +++ +++ +++
h
VH n E H n dz µn Ee B h
0 54
Effet Hall
Champ et tension de Hall :
Jn
E Hn v dn B µn E e B µn B
e n µn
1 I
E Hn Jn B or, Jn
en hd
1 RH
En définissant la constante de Hall RH n il vient : EH n I B
en hd
h
RH n
or VH E H n dz donc VH n I B VH est proportionnelle à I et à B ;
0
d elle est proportionnelle à la mobilité
des porteurs et donc inversement
Or VH n µn Ee B h proportionnelle à la densité de
charges puisque µn=1/(.n).
55
Effet Hall
Caractéristiques et paramètres sensibles
RH n
On a VH n I B Pour une mesure de B correcte
d Le courant de polarisation doit être
constant et stable
Terme constant La constante de Hall doit le rester
56
Effet Hall
1 Pour que la sensibilité du capteur de Hall soit “grande”, le
RH n matériau doit présenter une forte mobilité µ, i.e. une faible
en densité de porteurs n.
Choix du matériau eu égard à la mobilité µ
Les SC sont préférés aux conducteurs en raison de leurs densités de porteurs
plus faibles (i. e. mobilité plus grande) de plusieurs ordres de grandeur (exple : un
SC comporte de 107 fois moins d’e- par unité de volume que le cuivre).
57
Effet Hall
Choix du matériau eu égard à l’Influence de la température (*) µV/(A/m)=µ.m
A ce titre, l’InAs et le GaAs sont avantageux car ils ont des constantes de Hall RH
faiblement sensibles à la T° (RH 10% pour [-40° à 100°])
Bande passante
Pour linéariser la réponse sur les capteurs de pécision, une résistance ajustable est
placée en dérivation de la polarisation.
Mise en oeuvre
Correction
I
Réglage de l’offset
en fct° de T°
Réglage de la
linéarité de la
réponse
Les capteurs de Hall peuvent être, ou ne pas être, associés à une électronique de conditionnement.
D’un côté l’encombrement est plus faible et de l’autre les performances sont meilleures.
61
Effet Hall
Conclusion
Principales caractéristiques des capteurs à effet Hall
62
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
63
Rappels sur le magnétisme
Les capteurs que nous verrons par la suite (AMR, GMR, Fluxgate…) utilisent des
matériaux ferromagnétiques.
Leur compréhension mérite quelques rappels sur le magnétisme.
Généralités
Une source de courant J engendre une induction magnétique B :
▶ Echelle microscopique :
moment
S magnétique
de spin
▶ Diamagnétisme
67
Rappels sur le magnétisme
▶ Paramagnétisme
C
T
68
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme
Lorsqu’un matériau ferromagnétique est plongé dans un champ extérieur on
constate un accroissement du champ, mais cet accroissement est supérieur de
plusieurs ordres à celui qui se produit pour un matériau paramagnétique.
De plus, lorsque l’on supprime le champ extérieur il persiste une aimantation. C’est
le phénomène de rémanence.
69
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
Le fer cristallise dans le système cubique centré (CC). En raison des interactions des
moments magnétiques atomiques ceux-ci s’alignent dans les directions présentant
une grande densité d’atomes, type (1,0,0), appelées direction de facile aimantation (un
cristal CC possède 3 directions équivalentes).
Un cristal ferromagnétique devrait a priori être caractérisé par une aimantation spontanée.
Ca n’est pas le cas à l’échelle macroscopique.
70
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
Le ferromagnétisme ne s’explique pas uniquement
par l’interaction des moments magnétiques. Il faut
pour cela faire appel à la théorie des champs
moléculaires de Weiss. Domaine de
Bext fermeture
Un matériau ferromagnétique est divisé en
domaines dits de Weiss séparés par des parois
de Bloch. A l’intérieur d’un domaine, l’orientation
Domaine de Weiss
magnétique est identique.
Déplacement des parois de Bloch et variation des domaines de Weiss d’un matériau
ferromagnétique sous l’influence d’un champ extérieur Bext.
71
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
72
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
Revenons aux domaines…
On distingue les matériaux ferromagnétiques doux, à cycle étroit (Hc < 100 A.m-1) et donc
à faibles pertes, des matériaux durs, à cycle large dont l’excitation coercitive H peut atteindre
plusieurs centaines de kA.m-1
B
Remarque à propos des pertes :
Matériau doux
Au cours de la désaimantation, une
partie de l’énergie absorbée par la
matière lors de l’aimantation est H
dissipée sous forme de chaleur. Les 0
pertes par hystérésis sont
proportionnelles à la taille du cycle. Matériau dur
73
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
74
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
Revenons aux domaines…
Dans un matériau paramagnétique, l’énergie d’agitation thermique l’emportant sur celle
des interactions, les moments magnétiques sont orientés aléatoirement en l’absence de
champ magnétique appliqué. En présence d’un champ, ces moment tendent à s’orienter
comme le champ de sorte que l’aimantation du matériau devient proportionnelle au
champ appliqué. Mais l’effet d’aimantation reste limité (comparé au
ferromagnétisme).
Matériau paramagnétique
en l’absence de champ
Matériau ferromagnétique
en présence de champ
Ferrimagnétique
(Fe3O4)
Ferrimagnetisme : les moments magnétiques adjacents, qui n’ont pas la même
intensité, tendent à s’aligner de façon anti-parallèle (sans champ appliqué). Il y a
donc une aimantation macroscopique.
76
Rappels sur le magnétisme
▶ Ferromagnétisme …
Revenons aux domaines…
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
78
Magnétorésistance anisotrope
Principe
Le phénomène de magnétorésistance anisotrope (anisotropic magnetoresistance :
AMR) se manifeste dans les métaux de transition ferromagnétique.
Magnétorésistance : application de Ha variation de R
Principe de la mesure de champ : Loi d’Ohm. On applique un courant fixe à l’AMR et
on mesure la tension à ses bornes, en présence d’un champ Ha, R varie de R et V de
V. La mesure de V permet de déduire Ha.
Procédé de fabrication : Les matériaux ferromagnétiques utilisés se présentent sous
forme de couches minces (d’épaisseur [10nm 50nm]). Pour les rendre anisotropes on
procède à un recuit sous champ. L’échantillon possèdera ainsi un axe de facile
aimantation (axe selon lequel est appliqué le fort champ magnétique durant la phase de
traitement du matériau).
Une fois le matériau traité, en l’absence de champ magnétique appliqué, le vecteur
magnétisation M pointe dans la direction de facile aimantation.
y
Ha 0
Axe de facile
M aimantation
x
79
Magnétorésistance anisotrope
En présence d’un champ extérieur Ha, M subit une rotation (sa direction à tendance à
se rapprocher de celle de Ha).
80
Magnétorésistance anisotrope
Dans le cas où Ha est orienté selon l’axe de difficile aimantation (Ha = Hy dans le cas
de la figure ci-dessous), l’angle est relié à Ha (i. e. Hy) par * :
Hy
sin (Eq. 2-1)
H0
Où H0 est le champ d’anisotropie, c. a. d. la valeur que doit prendre Ha = Hy pour que
l’aimantation bascule de l’axe facile à l’axe difficile… (c’est une caract. de l’échantillon)
y
Axe de difficile
aimantation
Illusatation : Ha à l’axe
de facile aimantation
I
Ha M Axe de facile
aimantation
x
E J u M J u M h J u M
Rque : Eq. vraie quelles
que soient les directions
de J et de Ha
(Eq. 2-2)
J : densité de courant
82
Magnétorésistance anisotrope
Considérons le cas particulier où : I axe de facile aimantation
et H axe facile
v
y
E J u M J u M h J u M (Eq. 2-2)
vraie les directions
de J et de Ha
E J J cos cos h 0
E cos 2 J E cos 2 J (Eq. 2-3)
vraie pour
I axe facile
avec
83
Magnétorésistance anisotrope
Hy
Or, on sait par ailleurs que sin (Eq. 2-1) vraie les directions de J et de Ha
H0
Hy
Or, dans le cas qui nous concerne, (I // axe facile…) on a : sin (Eq. 2-5)
H0
2
Hy
(Eq. 2-5) cos 1 sin 1
2 2
0
H
H 2
Donc, d’après (Eq. 2-4) 1
y
(Eq. 2-6) Eq. d’une parabole
H0
vraie pour J axe facile
H 2
R R R 1
y
Résistance dans la direction du courant
H0
84
Magnétorésistance anisotrope
Résistance dans la
R
direction du courant
R R R
H 2
R R R 1
y
H0
Courbe obtenue
en pratique
En pratique la réponse n’est pas exactement une parabole, la courbe présente un point
d’inflexion… (effet du champ démagnétisant)
85
Magnétorésistance anisotrope
Caractéristiques et paramètres sensibles
Inconvénients de la forme de la caractéristique R(H) R
▶ Non linéarité
En H=0 la sensibilité est nulle et R(H) n’est pas monotone dans cette zone…
86
Magnétorésistance anisotrope
Mise en oeuvre
Polarisation par champ induit
Pour linéariser la réponse du capteur et lever l’ambiguïté sur le sens du champ mésuré
une solution consiste à appliquer un champ Hpol de polarisation
Hpol
H
Hpol-Hmax Hpol+Hmax
87
Magnétorésistance anisotrope
Polarisation par champ induit…
Pour appliquer Hpol on peut par exemple l’induire au moyen d’un conducteur
soit isolé, soit déposé sur le barreau magnétorésistif et parcouru par le même
courant (voir figure).
v
y
Le conducteur qui induit le champ de polarisation est mis en série avec celui
qui alimente le barreau magnétorésistif
88
Magnétorésistance anisotrope
Linéarisation de R(H) par modification de la direction du courant
Un moyen d’obtenir une magnétorésistance présentant une caractéristique
linéarisée est d’appliquer I, non pas //t à l’axe de facile aimantation, mais à 45° de
cet axe.
y
Ha J
/4
M Axe de facile
aimantation
x
Or,
E J u M J u M h J u M (Eq. 2-2)
EJ J J u M u J uJ u h 0
M
EJ J J cos 2 ( ) 89
Magnétorésistance anisotrope
cos / 4
2
2
cos sin
1
cos 2 / 4 cos 2 sin2 2 sin cos
2
2
1
2
cos 2 / 4 1 2 sin 1 sin2 1 2
1
2
H
H0
1
H
H 0
90
Magnétorésistance anisotrope
La résistivité dans la direction du La résistance rencontrée par
courant est donc le courant est donc
2 2
R R R
1 H H 1 H H
1 1
2 H 0 2 H 0 H 0
H 0
/ 4
/ 4
avec angle
entre I et l’axe
facile
0
Pour obtenir des lignes de courant orientée de 45°/t l’axe facile on peut
réaliser des structures de Barber Pole.
Ces structures alternent couches ferromagnétiques et couches
conductrices obliques (Al par exemple).
y
H
x
axe facile
Matériau ferromagnétique
92
Magnétorésistance anisotrope
Pont de Wheatstone Pour n’être sensible qu’à la variation de résistance R on peut utiliser un
montage en pont de Wheatstone
94
Magnétorésistance anisotrope
Conclusion
95
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
96
Magnétorésistance géante
La magnétorésistance géante : une question de « taille »
On l’a vu (rappels sur le magnétisme), la géométrie et les dimensions, d’un échantillon de
matériau ferromagnétique influent (pour des questions de minimisation d’énergie) sur
l’orientation de l’aimantation de ses domaines magnétiques.
Une magnétorésistance géante est obtenue par empilement de couches minces et
ultraminces (≈ nm) ferromagnétiques et de métaux non magnétiques.
Principe
Le phénomène de magnétorésistance géante combine deux phénomènes indépendants :
97
Magnétorésistance géante
Historique ▶ 1986 : Grunberg et al. et 1987 Carbone et al. : Mise en évidence d’un
couplage d’échange indirect entre deux couches ferromagnétiques
séparées par un métal non magnétique.
▶ 1988 : Découverte de la magnétorésistance Géante par Albert Fert et al.
Dans des multicouches constituées d’une alternance de couches fer (de 2nm)
et chrome (0,9 nm).
2 nm
Fe (ferromagnétique)
Fe (ferromagnétique)
Cr (métal non magnétique)
… …
H 0 H H sat
R = R0 R < R0
kGauss
99
Magnétorésistance géante
Note sur le couplage indirect* Ref. : Techniques de l’Ingénieur, Dieny, Fedeli
Fe
Cr
(*) Le couplage magnétique est dit direct si les couches ferromagnétiques sont en contact direct, il est dit indirect lorsque100
les couches sont séparées par une couche métallique.
Magnétorésistance géante
Nous avons vu en quoi consistait l’un des deux phénomènes responsables de l’effet GMR :
le couplage indirect entre couches magnétiques.
Le second phénomène dit de diffusion électronique dépendante du spin est celui qui est
à l’origine de la diminution de résistance quand on passe d’un alignement magnétique // à un
alignement anti//.
101
Magnétorésistance géante
Modèle de Mott à deux courants
Les électrons de conduction ont un moment magnétique propre (spin) qui ne peut être que //
(électrons spin up ↑) ou bien anti// (électrons spin down ↓) à l’aimantation locale.
Par ailleurs, le mode de transport des électrons de conduction est le régime diffusif.
La diffusion désigne les collisions des électrons avec les impuretés et les défauts
cristallins du milieu. Or, la diffusion d’un électron qui se déplace dans un champ
magnétique est dépendante de son spin (moment magnétique).
En effet, les libre parcours moyens (distance parcourue par un électron libre entre deux
chocs successifs avec des impuretés, des défauts cristallins et c.) sont très différents :
↑= 7 nm et ↓ ≈ 0,7 nm pour le Ni80Fe20.
102
Magnétorésistance géante
En quoi la dimension des couches importe-t-elle ?
Un électron de spin donné traverse plus facilement matériau dont l’aimantation est
// à son spin qu’un matériau dont l’aimantation est anti// car il subira moins de
collisions (faible ).
moyen ↓
↑
Électron spin up
et sd
Aimantation locale
Sens du courant
R R
R R
R R R R
R R
2 R R
R R ReHq H s 22RR
ReHq= 0 R R 104
2
Magnétorésistance géante
Structures de GMR
GMR multicouches (multilayer GMR)
… …
GMR multicouches
… …
… … … …
kGauss
105
Magnétorésistance géante
Structures de GMR…
GMR à vanne de spin (spin valve GMR)
Une couche antiferromagnétique est utilisée pour fixer l’aimantation d’une couche
ferromagnétique dite dure. Ceci se fait par couplage direct (la couche piégeante et la
couche piégée étant directement en contact).
Une couche ferromagnétique dite douce est séparée de la couche piégée par une
couche conductrice suffisamment épaisse pour que le couplage magnétique entre elles
soit faible et que les aimantations soient indépendantes.
La couche douce est libre de s’orienter dans un champ extérieur.
Ta
FeMn Couche piégeante
Co Couche piégée
Cu Couche non magnétique
NiFe Couche libre
Ta
Si Substrat
106
Magnétorésistance géante
GMR à vanne de spin…
La couche dite piégée (couche dure) ne l’est pas strictement. Son aimantation basculera pour
un champ appliqué supérieur à son champ de saturation qui est élevé. Il est très supérieur à
celui de la couche douce : Hpsat >> Hlsat.
C’est pourquoi les variations de magnétorésistance d’une vanne de spin évoluent comme suit :
R/R
Basculement
couche douce
10%
Courbe de
magnétorésistance d’une Basculement
structure à vanne de spin : couche dure
cycle obtenu pour un champ
appliqué dépassant Hpsat
Piégé
Libre
H
-Hpsat Hpsat
0 30 kA/m
-Hlsat Hlsat 107
Magnétorésistance géante
GMR à vanne de spin…
R/R
Piégé
Libre
H
-Hpsat Hlsat
0 10 kA/m
Hlsat
Rq. : Cycle d’hystérésis non centré à cause d’un faible couplage magnétique au travers
de la couche conductrice 108
Magnétorésistance géante
TMR Magnétorésistance à effet tunnel
Les TMR ont une structure semblable à la vanne de spin à la différence près que la
couche conductrice est remplacée par une couche isolante, d’une épaisseur de l’ordre
de 1nm, qui fait office de barrière tunnel (souvent alumine Al2O3).
Substrat
109
Magnétorésistance géante
TMR… Le fctt d’une TMR est semblable à celui d’une vanne de spin
Couche Couche
piégée libre
Couche Couche
piégée libre
110
Magnétorésistance géante
TMR … Calcul de R/R connaissant les densités d’e-
Le courant est la somme des contributions indépendantes des ↑ et ↓.
Or, d’après la règle d’or de Fermi, dans une structure « tunnel », la densité de courant pour
un canal de spin donné est proportionnelle au produit de la densité d’états au niveau de
Fermi de l’électrode émettrice des électrons par la densité d’états au niveau de Fermi de
l’électrode réceptrice.
Config d’aimantation //
Conductance
en config //
G// n1 E f n2 E f n1 E f n2 E f
Ganti // n1 E f n2 E f n1 E f n2 E f
112
Magnétorésistance géante
Mise en oeuvre
GMR multicouches : « linéarisation » par polarisation par champ induit
GMR : caract. paire sensibles à |H|, pour détecter le sens du champ, il faut appliquer
un champ de polarisation (même pb que pour les AMR)
GMR normalisée
R/R(H=0)) R/R(H=0))
1 1
Intervalle de mesure
de H : [-Hmax +Hmax]
Hpol
0,5 Hs 0,5
H (kG) H (kG)
0 20 40 113
Hpol-Hmax Hpol+Hmax
Magnétorésistance géante
Mise en oeuvre
Vannes de spin : «linéarisation » par structure couche piégée couche
libre
Pour la mesure de champ il est préférable que la caractéristique de la vanne de spin
soit symétrique par rapport à H=0 et impaire.
I
Substrat
Rmin
H
114
Magnétorésistance géante
Applications
Têtes de lecture de disques durs
Mémoires MRAM
Capteurs de champ magnétique
découvertes applications
115
Magnétorésistance géante
Têtes de lecture de disques durs Disque magnétique
Moteur
Pistes magnétiques
Bras mobile
Piste :
N SN SS N S NN SS N
116
Magnétorésistance géante
Têtes de lecture de disques durs…
117
Magnétorésistance géante
Têtes de lecture de disques durs… Champ vertical non nul 1
Codage des 0 et 1 sur une piste magnétique
Champ vertical nul 0
Bit lu 0 1 0 1 1
Sortie
de GMR
Tête de
lecture
SV-GMR 0 1 0 1 1
Piste
N S N S S N S N N S S N
118
Lignes de champ
Magnétorésistance géante
Têtes de lecture de disques durs…
Tête d’écriture lecture
Les GMR (SV-GMR) sont utilisées dans les têtes de lecture des disques durs en
raison de leurs faibles dimensions et de leur haute sensibilité au champ
magnétique.
119
Magnétorésistance géante
Têtes de lecture de disques durs…
Areal density Gbit/inch2
R/R=18%
R/R=12%
R/R=8%
R/R=2%
Année 120
Magnétorésistance géante
MRAM
Les MTJ (magnetic tunnel junction, i. e., GMR tunnel) sont utilisées dans une
nouvelle génération de mémoires à accès aléatoire : les MRAM (magnetic random
access memory).
121
Magnétorésistance géante
MRAM
Couche douce
1 Barriere tunnel Ligne d’écriture
Couche dure I1
0 MTJ
122
Magnétorésistance géante
MRAM
123
Magnétorésistance géante
MRAM
124
Magnétorésistance géante
125
Magnétorésistance géante
Conclusion
Principales caractéristiques des GMR
126
Plan du cours
• Introduction
• Capteurs inductifs
• Capteurs de Hall
• Rappels sur le magnétisme
• Magnétorésistances anisotropes (AMR)
• Magnétorésistances géantes (GMR)
• FluxGates
127
Fluxgate
Principe
Caractéristique idéale
Caractéristique réelle
Un fluxgate (porte de flux) repose sur
l’emploi d’un matériau magnétique
doux au cycle d’hystérésis de forme
très carrée
H B Flux -d/dt
B
H0 H
-d/dt
Bob2 -d/dt t
128
Fluxgate
Sortie du fluxgate en l’absence de champ à mesurer
B
H t
H -d/dt
t
129
Fluxgate
Sortie du fluxgate en présence d’un champ à mesurer
B
H t
H -d/dt
H0 t
t On déduit H0 de la mesure de
l’intervalle entre les impulsions 130
Fluxgate
Mise en oeuvre
Mesure en boucle fermée t
Hex
Excitation triangulaire
Bob1
Excitation
H0
fem SHP
Bob2 DI
SHN
G(p)
Bob3
Boucle de
rétroaction
Sans asservissement la plage de mesure se limite à
Vs (dont on déduit H0)
la plage [-Hlin Hlin] (très réduite…) pour laquelle B(H)
est linéaire
132
Conclusion
Rappel des caractéristiques déterminantes dans le choix d’un capteur de champ
Coût
Encombrement
133
Conclusion
L ’un des critère de choix de telle ou telle technologie de capteurs de champ peut être sa
résolution (+ petite valeur que le capteur est en mesure d’identifier), celle-ci est liée au
bruit.
(pT/Hz)
Niveau de bruit de champ 100000,0 Hall
magnétique intrinsèque au capteur
10000,0
MR ENS
1000,0
GMI
1,0
SQUID dc
0,1
134
Conclusion
Principales caractéristiques des types de capteurs magnétiques
Effet Hall (Théoriquement 0.05mV/G De -40 à 150°C Faible Typiquement Oui Faible
Infinie : pas de 431,5mm
saturation)
0,1mT<B<30T
1G<B<0,3MG
MR 1µT<B<5mT 1mV/G De -40 à 175°C Moyenne Typiquement Oui Elevé
10mG<B<50G 0,3%/°C 551,5 mm
135
Conclusion
136
Annexe
Pont de Wheastone symétrique
Z 2 Z1 ea ea Ea . cos t
vm . avec
Z 2 Z1 2
Z1 Z 0 Z Z ea
vm .
Z0 2
Z 2 Z 0 Z
L1 ( x) L0 .(1 x) ea
vm .x.
L2 ( x) L0 .(1 x) 2
137