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1 Généralités
1.1 Définition du rayonnement
Ex: H → H+ + e
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Méthodes d'analyse de surfaces
Le REM est composé d’un champ électrique et d’un champ magnétique oscillants avec la
même fréquence, perpendiculaires l’un à l’autre ainsi qu’à la direction de leur propagation.
L’onde qui en résulte transporte de l’énergie dans le vide ou dans un milieu matériel sans
déplacement de matière.
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Méthodes d'analyse de surfaces
La gamme des ondes électromagnétiques est très étendue, depuis les basses fréquences des
ondes radio jusqu’au rayons cosmiques. L’ensemble de toutes ces ondes électromagnétiques
constitue le spectre électromagnétique. On peut ainsi répartir l’intensité d’un REM en fonction
de la longueur d’onde et de la fréquence.
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Méthodes d'analyse de surfaces
Les rayons gamma γ [10-14m−10-12m] : ils sont dus aux radiations émises par les
éléments radioactifs. Ils sont Très énergétiques, ils traversent facilement la matière et
sont très dangereux pour les cellules vivantes.
Les rayons X [10-12m−10-8m] : rayonnements très énergétiques traversant plus ou
moins facilement les corps matériels et un peu moins nocifs que les rayons gamma, ils
sont utilisés notamment en médecine pour les radiographies, dans l'industrie (contrôle
des bagages dans le transport aérien), et dans la recherche pour l'étude de la matière.
Les ultraviolets [10-8m−3,8*10-7m]: rayonnements qui restent assez énergétiques, ils
sont nocifs pour la peau. Heureusement pour nous, une grande part des ultraviolets est
stoppée par l'ozone atmosphérique qui sert de bouclier protecteur des cellules.
Le domaine visible [380nm-780nm]: correspond à la partie du spectre
électromagnétique perceptible par notre œil.
L’infrarouge [780nm-1mm] : rayonnement émis par tous les corps dont la température
est supérieure au zéro absolu (-273°C).
Les micro-ondes ou hyperfréquences [1mm-10cm].
Les ondes radio [10cm− ∞].
1.3.2 Caractéristiques d’un rayonnement électromagnétique
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Méthodes d'analyse de surfaces
𝑝=ℎ/𝜆
Unité : dans le système MKSA : Kg.s/m
1.3.5 DUALITE ONDE CORPUSCULE
En physique, la dualité onde-corpuscule est un principe selon lequel tous les objets de notre
univers présentent simultanément des propriétés d'ondes et de particules. C’est pourquoi
chaque objet physique doit être considéré comme particule et onde en même temps ; c.-à-d. à
chaque REM on associe une particule de masse nulle appelée photon et à chaque particule on
associe une onde dont la longueur est donnée par la relation de de Broglie.
1.3.6 Emission et absorption d’une onde électromagnétique
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Méthodes d'analyse de surfaces
un niveau d’énergie plus élevée nécessite un gain d’énergie et donc l’absorption d’une onde
électromagnétique.
2 Interactions photons-matière
L'effet Compton est la diffusion d'un photon très énergétique ( rayon X dur ou rayon γ de
longueur d'onde λ < 10-10 m environ ) sur un électron. Cette diffusion se comporte comme le
choc élastique des deux particules, elle se traduit par l’échange d'une partie de l’énergie entre
le photon et l’électron.
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Méthodes d'analyse de surfaces
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Méthodes d'analyse de surfaces
L’énergie du photon incident (rayon gamma) est totalement absorbée pour la création
d'une paire électron-positon. Ce processus est suivi d'une annihilation dans laquelle le positon
et un électron s'annihilent mutuellement en générant un paire de photons de 511 keV émis à
180° l'un de l'autre.
E : énergie du photon
T- : énergie cinétique de l’électron
T+ : énergie cinétique du positon
Donc pour qu’un photon gamma puisse créer une paire électron-positon il faut que :
𝐄 ≥ 𝟐𝐦𝟎 𝐜 𝟐
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Méthodes d'analyse de surfaces
L'importance relative entre ces trois phénomènes dépend de la nature du matériau et de l'énergie
du photon. On constate que :
Lorsqu’un faisceau de photons traverse un milieu, un certain nombre de ces photons est absorbe
suite à leurs interactions avec le milieu, alors que le reste de photons ne subira aucune
interaction et sortira du milieu avec les mêmes caractéristiques.
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Méthodes d'analyse de surfaces
𝒅𝑵 = 𝝁. 𝑵. 𝒅𝒙
𝒅𝑵
= 𝝁.dx
𝑵
𝝁 : Le coefficient d’atténuation qui représente la probabilité d’adsorption d’un photon par unité
d’épaisseur. Il dépend de la nature du milieu et de l’énergie du rayonnement.
𝝁 = 𝝁𝒑𝒉 + 𝝁𝒄 + 𝝁𝒑
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Méthodes d'analyse de surfaces
Lors d'une interaction élastique, l'électron primaire interagit avec un noyau des atomes du
matériau. Il ne perd pas, ou peu d'énergie mais il subit une diffusion élastique, c'est-à dire que
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Diffusion sans perte d’énergie = diffusion élastique
Diffusion avec perte d’énergie = diffusion inélastique
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Méthodes d'analyse de surfaces
Résultent de l’interaction des électrons du faisceau avec des noyaux d’atomes de l’échantillon,
réagissant de façon quasi élastique. Ces électrons sont réémis dans une direction proche de leur
direction d’origine avec une faible perte d’énergie. Les électrons rétrodiffusés sont caractérisés
à la sortie de l'échantillon par : une énergie cinétique élevée, et une bonne sensibilité à
chimique, c'est-à-dire une coupe de la surface du matériau où on voit la position des différents
éléments. Les surfaces blanches représentent les atomes les plus lourds.
L'interaction élastique produit tout de même certains effets sur le matériau car une toute petite
Effets thermiques (0,01 à 0,1 eV) : L'atome oscille légèrement par rapport à sa position
d'origine. Cela crée des vibrations dans le solide (phonons) qui génèrent de la chaleur.
C'est un effet parasite en microscopie, mais on se sert de cette propriété dans des fours
électroniques industriels.
Effets chimiques (3 à 5 eV) : Une liaison faible se rompt à cause de l'apport d'énergie.
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Méthodes d'analyse de surfaces
Effet de déplacement atomique (10 à 30 eV) : L'atome reçoit une énergie suffisante
pour être déplacé ; la structure du matériau s'en trouve modifiée. C'est un problème en
microscopie.
Lors d'une interaction inélastique, l'électron primaire interagit avec les électrons des atomes du
matériau. Celui-ci transfère alors une grande partie de son énergie. Plus le transfert est
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Méthodes d'analyse de surfaces
Ionisation
Lorsqu'un électron est éjecté de son cortège, l'atome est sous forme ionisée. Pour revenir à son
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Méthodes d'analyse de surfaces
état normal, un électron peut récupérer sa place par émission d'un photon X. Celui-ci peut aussi
être utilisé à des fins analytiques. L'atome peut aussi récupérer son état en éjectant un électron
peu lié, appelé électron Auger. Dans certaines spectroscopies, on détecte ces électrons pour
identifier les éléments du matériau.
Un des points les plus importants dans l'interaction ion/matière est de pouvoir décrire la
distribution des ions implantés, qui est, bien-sûr, reliée étroitement à la perte d'énergie des ions
au cours de leur parcours dans le solide.
3.3.1 Principe
Un ion est un atome qui a perdu des électrons. Il est caractérisé par un numéro atomique Zp
(nombre de protons du noyau), un nombre de masse Ap (nombre de protons + nombre de
neutrons) et une charge Qp (nombre d'électrons perdus). Lorsqu'ils sont accélérés à moyenne
et haute énergie1 (de 0, 5 à 400 MeV/n), les ions interagissent essentiellement avec les électrons
de la matière traversée. Les électrons concernés par cette interaction coulombienne peuvent
être élevés vers des états de plus haute énergie et même être éjectés de leurs atomes. On parle
alors de processus d'ionisation. Les ions sont donc des rayonnements dits ionisants.
Le ralentissement d’un ion dans la matière peut être décrit par deux processus quasi-
indépendants :
3.3.2 Les collisions élastiques liées aux chocs nucléaires
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Méthodes d'analyse de surfaces
Lorsque l’ion incident transmet de façon élastique de l’énergie cinétique au noyau de l’atome
cible. Au cours de cette collision nucléaire, l’interaction est de type coulombien, plus ou moins
écrantée. Ces transferts directs d’énergie conduisent à un endommagement pour tous les types
de cible (isolants, métaux…)
L’ion incident peut interagir de façon inélastique avec les atomes de la cible (excitation
électronique, ionisation des atomes au voisinage de la trajectoire des ions). Les défauts sont
alors produits par conversion indirecte de l’énergie déposée dans les cibles. Ce processus
d’endommagement est efficace essentiellement dans les isolants et dans certaines cibles
métalliques dans le cas de fortes densités d’ionisation. Bien que ces deux processus de perte
d’énergie existent toujours de façon simultanée, leur importance relative dépend de l’ion
projectile, de son énergie et pour leur efficacité, de la nature de la cible.
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